JPH08512387A - A valve for regulating the flow of fluid with an electrically heatable regulating mechanism made of a shape memory material - Google Patents

A valve for regulating the flow of fluid with an electrically heatable regulating mechanism made of a shape memory material

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JPH08512387A
JPH08512387A JP7503776A JP50377695A JPH08512387A JP H08512387 A JPH08512387 A JP H08512387A JP 7503776 A JP7503776 A JP 7503776A JP 50377695 A JP50377695 A JP 50377695A JP H08512387 A JPH08512387 A JP H08512387A
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JP7503776A
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ギュンター フォス,
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ライボルト アクチエンゲゼルシヤフト
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K31/00Actuating devices; Operating means; Releasing devices
    • F16K31/002Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by temperature variation

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  • Temperature-Responsive Valves (AREA)

Abstract

(57)【要約】 電気的に加熱可能な形状を記憶する材料から成る調節機構を用いて流体の流れを調整する弁であって、前記調節機構が閉鎖部材をばねの戻し力に抗して、温度に関連した長さ変化の程度に応じて閉鎖部材の位置を弁坐に対して相対的に調節する形式のものにおいて、流体の状態(例えば圧力、流量、混合組成等)をコンスタントに保つことは、調整機構が、相移行範囲内で形状記憶材料(SMA)の温度に定電流によって加熱された糸(1)であり、糸(1)を取囲む弁体(20)が該糸(1)と協働して、特別な形式で、貫流する流体の流れの状態における変化に応働する熱交換装置を構成することで達成される。 (57) [Summary] A valve for regulating a fluid flow using an adjusting mechanism made of an electrically heatable shape-memorizing material, the adjusting mechanism preventing a closing member from resisting a return force of a spring. , In a form in which the position of the closure member is adjusted relative to the valve seat depending on the degree of temperature-related length change, keeps the fluid state (eg pressure, flow rate, mixture composition etc.) constant That is, the adjusting mechanism is the thread (1) heated by the constant current to the temperature of the shape memory material (SMA) within the phase transition range, and the valve body (20) surrounding the thread (1) is the thread (1). It is achieved in cooperation with 1) by constructing a heat exchange device which reacts in a special manner to changes in the flow state of the fluid flowing through it.

Description

【発明の詳細な説明】 電気的に加熱可能な、形状記憶材料から成る 調節機構で流体の流れを調整するための弁 本発明は、電気的に加熱可能な、形状記憶材料から成る調節機構で流体の流れ を調整するための弁であって、調節機構が、ばねの戻し力に抗して、温度に基づ く長さ変化の程度に応じて、閉鎖部材の、弁坐に対する相対位置を調節する形式 のものに関する。 ドイツの期刊誌Management Wissen8/88、59ページ「Tich-Highlights」 によればロボット制御のための圧縮空気弁が公知である。この弁はきわめて小さ い構造形式、簡単な構成及び迅速な切換パルスですぐれている。この弁は、この 弁とは異なって大きくかつ高価である従来使用されていた電磁式弁の代わりとな る。この場合には前記弁の磁石はしばしばセンサ及び敏感なマイクロ電子的な回 路のための故障源になる。 新しいきわめて小型であるこの弁は能動素子として形状記憶合金を使用してい る。この合金の分子構造には固体相の幾何学的な形状が記憶させられているので 、温度に関連して幾何学的な変化が行われる。この公知の圧縮空気弁は圧縮ばね により閉鎖位置に保持される弁先端と結合された形状記憶金属ピンを有している 。形状記憶金属ピンは電気的な回路に統合されている 。電流が流されていないと、ばねは弁を閉じた状態に保つ。この場合、形状記憶 金属は低温状態で比較的に長い幾何学的な形を維持する。形状記憶金属が電流で 加熱されると、形状記憶金属は第2の高温状態に変態しかつ短くなる。この場合 には、ばね力が克服されかつ弁が開放される。 この弁の公知の構造は開放もしくは閉鎖機能を有する純然たる制御機構である 。流体の流れをこの公知の弁で調整することは実施できない。 EP−A1−0391018号明細書によれば測定及び析出装置のためのセン サが公知である。これは、測定しようとする値が直接又は間接的にセンサ部材の 材料に影響を及ぼすセンサ部材である。センサ部材は形状記憶材料から成り、そ の材料の組織的な相移行範囲における温度にその稼動温度を調節可能に加熱可能 である。公知の測定兼分析装置の機能の特徴はセンサの温度が、調整可能な加熱 電流でコンスタントに保たれ、この場合、線材区分にかかる電圧、加熱電流又は 加熱力が測定値として使用されることである。この公知の装置においては、測定 しようとする値は、加熱電流調整によって保たれた形状記憶材料の低温相から高 温相への相組織移行範囲における温度に対する影響を有している。すなわち、加 熱電流は材料の温度変化に合わせて後調整される。 流体の流れの直接的な調整は公知の測定兼分析装置 では不可能で、流体の流れのために付加的な電気機械的なもしくは電磁的な調整 機構が必要であり、この調整機構が公知の測定兼析出装置によって制御される必 要がある。このような配置は費用がかかり、故障しやすく、したがって満足でき るものではない。 本発明の課題は、冒頭に述べた形式の電気的に加熱可能な形状記憶材料から成 る調節機構を用いて流体の流れを調整するための弁であって、貫流する流体の流 れの所定の状態を一定に保つ意味で直接的に調整するために使用可能でかつその 上、構造が複雑でなくかつきわめて小型である形式のものを提供することである 。 本発明の課題は請求項1の上位概念に記載した形式の弁において、調節機構が 形状を記憶する材料SMA(SMA=Shape Memory Alloy)の相移行範囲内の温 度に定電流で加熱可能な糸であって、糸を取囲む弁体がこれと協働して、貫流す る流体の流れの状態における変化に特別な形式で応働する熱交換装置として構成 されていることによって解決された。 前記弁は利点をもって、流体の流れの直接的な調整に適する。この場合流体の 流れは、例えば一定の圧力範囲、一定の流れ範囲又は一定のガス混合範囲の他に 、一定の温度範囲における状態の比較的に狭まい平衡範囲内へ調整される。 本発明の構成では、弁は、SMA糸を受容する、調 整しようとする流体の流れを導く、SMA糸と流体の流れとの間の熱交換に役立 つ通路もしくは接続部を有している。 この弁と体系的な弁ヴァリエーションに共通であることは、形状記憶材料から 成る調節機構の収縮もしくは離角が閉鎖メカニズムの作動に利用されていること である。この弁及び弁ヴァリエーションの配置における別の共通性は、流体の流 れの変化によって惹起される調節機構の相移行範囲における長さ変化が、弁を通 る流体の案内値もしくは流過値の直接的な変化を結果としてもたらし、この案内 値が調節機構の温度に関連した長さの単調関数であることである。線材の温度に とっては運転中に発生する、当該システムの熱勘定に影響を及ぼす、すべてのパ ラメータが関係する。これは例えば、 −流体の温度T −流体の導熱性Wもしくは種々異なる流体成分 −流体の流過値q −流体の圧力p −線材における電子的な、特にコンスタントな加熱力P である。 弁の周囲(壁)温度を一定であると仮定すると、弁の案内性はこれらの値の1 つ又は複数の関数になる。 L=f(T,W,q,p,P) 運転形式又は構成的な処置によって、線材に対する前記値の影響は、弁の構造 に応じて、加熱力が一定に保たれた状態で、案内値の変化で直接的にプロセス媒 体により補償される。例えば弁の特別な構成により、弁を流れる流体の圧力が線 材と接触するが流れは接触しないようにすること又はその反対が達成される。こ の場合には構成形式は収縮する糸が弁の閉鎖又は開放を行うように選択すること ができる。 以下に弁の実際の使用に有意義な実施態様について記載する。例えばこの弁は 圧力調整機構として構成され、導電性を有しない材料から成る、SMA糸とばね と閉鎖部材とを受容する孔と、接続通路を有する弁坐と接続通路からなる側方へ 分岐する副通路とを受容するヘッド部分と、閉じられた底部分とを有することが できる。この場合、ばねはSMA線材の弁側の端部と弁底におけるSMA線材の 他方の端部との間の電流のための導体としてそれぞれ電流源に接続されている。 この構造形式では糸を取囲むガス圧は、弁が開放されている状態では、副通路 から接続通路を通って流れる流体の圧力と等しい。ガス流はSMA線材に著しい 影響を及ぼすことなく弁を通過することができる。導熱性が圧力に関連する圧力 範囲において弁は調整動作を発揮する。圧力が低下すると糸温度が上昇する。糸 は収縮しかつ弁を開放する。圧力が上昇すると、反対にガス流は絞られる。一定 の電気的な加熱力に対して は、所定の限界内でコンスタントに保たれる平衡圧が発生させられる。 他の実施態様においては、弁は流過調整機構として構成され、底部分における 流入通路とヘッド部分における流出通路とを有している。この構成ではガス流は SMA線材に沿って流れ、熱を導出する。適当な流れ範囲においては導出された 熱は流れの関数である。線材温度を流体の所定のコンスタントな流れに際して相 移行限界に保持するコンスタントな電気的な出力においては、増加する流れが糸 温度を低下させる作用が実現される。この場合、糸は長くなり、弁の案内値は減 少される。減少する流れはその反対の現象をもたらす。このような形式で流過す る流体の流れは平衡状態を保とうとする。この平衡状態は狭まい限界内で一定に 保たれる。この場合、調節された流れは供給された電圧もしくは加熱力にほぼ比 例する。したがってこの弁タイプはガスを圧力制御するための電気的な調整回路 における調節部材として適する。これとは異なって公知技術に従って製作された ガス流のための比例弁は問題があり、きわめて費用がかかりかつ故障しやすい。 本発明の別の実施態様においては弁は混合調整機構として構成され、ヘッド部 分は比較的に高い導熱性を有するガス成分のための流入通路と混合物流入のため の副通路とを備えた弁坐を有し、底部分はコンスタントに調整された混合物の流 出通路を有している。この 弁タイプは物理的な基礎として異なるガス種の導熱特性を使用している。ガス混 合体において濃度が変化すると、その結果として一般的に導熱性の変化がもたら される。弁が閉じられた状態でガス流が弁ヘッドにおける副通路から底部分にお ける流出通路に流れると、SMA線材の加熱力は所定のコンスタントな流れ状態 においては、ガス成分の所定の混合体濃度と平衡状態にある。この場合、高い方 の導熱性を有するガス成分はヘッド部分の当初閉じられていた流入通路に作用す る。このガス成分が混合体において減少すると、導熱性は低下し、線材はその温 度を上昇させかつ短くなるので、弁は開放しかつ高い方の導熱性を有する成分は 付加的に増量される。このような形式で比較的に狭まい、限界内で混合濃度の平 衡状態が得られる。 別の有利な弁ヴァリエーションはガス漏れ探査器、特にヘリューム漏れ探索器 のための保護弁として構成されている。弁は底部分における流入通路とヘッド部 分における、探索器への接続通路と、弁体のヘッド側の端部における、弁坐に対 する副接続部内のバイパス開口とを有している。探査運転においては高いヘリュ ーム凝縮物が漏れ探査器で探査される。たいていは責任のある粗い漏れは、高い ヘリューム濃度のガス流が装置をすでに通過してからはじめて確認される。その 結果として非敏感性と長い回復時間がもたらされる。このような場合に保護弁は ガス流を遮断する。加熱力 は濃度がわずかである場合に弁を開放するように調節されている。ヘリュームを 多く含んだガス流が底部分における流入通路を通って流入すると、ガス流におけ るヘリュームの濃度が高いことに基づき、SMA線材は、ガスの導熱性が大きく なる結果、冷却され、長くなりかつ弁を閉じる。次いでガス流はバイパス開口だ けを介して逃がされることになる。ヘリューム濃度が低下すると、弁は再び出発 状態に移動する。すなわち弁は開放される。 本発明の別の実施態様においては、弁は、閾値スイッチとして構成され、中央 で分割された弁体と、底部分におけるガス流入通路と、閉鎖部材を案内して受容 する、中間壁における弁坐で閉鎖可能な第1の孔とを有し、この第1の孔に弁体 において第2の孔が接続され、この第2の孔が閉鎖部材の先端に固定的に結合さ れたSMA糸を受容している。このSMA糸は出口側で、流出通路を有するヘッ ド部分に固定されている。この場合、この弁は解放後その状態にロックされかつ 外から後退させられなければならない切換え弁である。ガス流が弁を底部分から ヘッド部分へ通過すると、流れが所定の閾値を越えた場合には、ガス流が完全に 遮断される。これによって線材濃度はさらに上昇しかつ弁は閉じられた位置にロ ックされる。 流過調整機構として構成されたバリエーションにおける弁の有利な構成の特徴 は流体の流れの、熱交換を 強める流体の集束を高めて流体の流れを案内するために、SMA線材を取囲む、 比較的に狭まい、底部分の流入通路と弁坐との間を延びるセラミック小管が配置 されていることである。 次に本発明を略示した有利な実施例について説明する。この場合、図面には本 発明の有利な構成を特徴とが示されている。 第1図はガス状の媒体の圧力をコンスタントに調整する弁構造の略示図。 第2図は第1図の弁構造の回路図。 第3図はガス流のコンスタントな流過調整を行う弁構造の略示図。 第4図は第3図の弁構造の回路図。 第5図はガスのコンスタントな混合調整を行うための弁構造の略示図。 第6図は第5図の弁の回路図。 第7図はヘリューム漏れ探査器のための保護弁の働きをする弁構造の略示図。 第8図は閾値スイッチの働きをする弁構造の略示図。 第9図は第3図と第4図に示したコンスタントな流れ調整を行うための弁を、 SMA線材を取囲むセラミック小管と共に断面して示した図。 図面に略示した弁構造バリエーションは共通の特徴もしくは類似した特徴とし て、導電性ではない材料か ら成る弁体20を有し、この弁体20は弁坐22を有するヘッド部分25と底部 分26とを備えている。弁体20は孔24内に、電気的に加熱可能な形状記憶材 料から成る、SMA糸の形をした調節機構を有する閉鎖部材21と戻しばね23 とを受容している。 以後記述する弁バリエーションにおいて、形状記憶材料から成る線材1の収縮 もしくは離角が閉鎖部材21の作動に用いられることが共通ではあるが、原理的 には線材1の代わりに曲げ又はねじりによる形状変化を呈する他の幾何学的な形 を使用することもできる。構成の簡易性並びに機能の理解性に基づき線材原理を 選びかつ例として図示した。又、閉鎖部材21として円錐又はニードル弁体を用 いることも実施例に過ぎず、これに限定されるものではない。この場合にも原理 的には他の弁タイプを使用することができる。駆動装置の配置は、原則的には、 調節機構として使用したSMA線材1の相移行範囲における長さの変化が、弁坐 における案内値、ひいては流体流過量の変化をもたらし、したがって案内値が調 節機構の長さの単調関数であるように選択されている。 特に流過する流体の流れの状態における変化に応働する熱交換装置の形に弁を 原則的に構成することにより、線材1のそのつどの長さが、加熱力を一定に保っ た状態で、糸温度の関数として流体の流れの種々異なる物理的なパラメータに影 響されることが達成される ようになった。したがって線材1の温度に対しては、システムの熱勘定に影響を 及ぼす、運転中に発生するすべてのパラメータ、例えば温度、導熱性、流過量、 圧力及びガスの混合形式が責任があることになる。 第1図には定圧器のための配置が示されている。SMA糸を取囲むガス圧は副 通路28の接続部Aにおける圧力と等しい。なぜならばこの副通路28は弁体2 0の孔24と接続されているからである。SMA糸1の高温状態で閉鎖部材21 が開放されている場合には、ガス流が弁のヘッド部分25における接続通路B、 27と副通路28との間で流れることができる。導熱性が圧力に関連する圧力範 囲においては、弁は調整動作を発揮する。圧力が低下すると糸1の温度は上昇す る。糸1は収縮しかつ弁を開放する。圧力が上昇すると、反対にガス流が絞られ る。したがって固定した電気的な加熱力に対しては、比較的に狭まい限界内でコ ンスタントに保たれる平衡圧が調節される。第1図による弁構造は、閉じられた 底部分26を有している。この場合にはばね23はSMA線材1の弁側の端部と SMA線材1の、弁底26における他方の端部との間の電流のための導体として 、それぞれ1つの電流源2に、電流接続部3,4を介して接続されている。 第2図においては第1図の弁構造の回路図が示されている。この回路図にはガ ス流がBからAへかつバキュームタンク11と弁体20とを介してバキュームポ ンプ10へ流れる精密バキューム装置の配置が示されている。この場合、弁体2 0は流体の流れに対する副接続路に配置された、SMA糸1の形をした調節機構 を有している。このSMA糸1は電流接続部3,4を介して電流源2に接続され ている。この電流源2は調整可能な電流源として示されているが、一定に保とう とする圧力に対しては一定に調整される。 第3図による弁構造は、定流調整を行うシステムを示している。この構造では ガス流はSMA線材を通過しかつ熱を導出する。したがって適当な流れ範囲にお いては導出される熱は流れの関数である。相移行範囲における線材温度に相応し て与えられた電気的な出力のもとで、増加する流れは糸温度を低下させるのに対 し、減少する流れはその反対に作用する。この場合、流れは平衡状態をもたらそ うとする。弁は底部26に符号Bを備えた流入通路30を有し、ヘッド部分25 は符号Aを備えた流出通路29を有している。電気的な接続部と符号はその他の 点では第1図のものと同じである。 第4図においては、第3図の流れ調整弁の回路が示されている。この場合にも 同じ部材には同じ符号が付けられている。ベンチュレータ9からは符号Bで示さ れた流体の流れが、加熱されたSMA糸1に沿って、弁を介して流出通路Aに向 って送られる。流れが変化するとすでに述べたようにSMA糸が電流源2によっ てコンスタントに加熱されている状態で、このSMA糸の温度が変化する。この 場合には閉鎖機構21は相応に作動される。 第5図においては混合調整機構として構成された弁が示されている。この場合 には閉鎖部材21とSMA線材1の調節機構と戻しばね25とを有する弁20が 設けられている。少なくとも2つの成分から成る調整しようとする混合物はヘッ ド部分25における、符号Aで示された流入通路33を通って弁内に流入し、S MA糸1に沿って流れ、符号Cで示された底側の流出通路34を通って弁から流 出する。当初、弁閉鎖体21によって遮断された、高い方の導熱性を有するガス 成分は符号Bで示された流入通路32に作用する。導熱性はガスの種類に関連す る。ガス混合物において成分の濃度が移動すると、流れが一定である場合に導熱 性の変化がもたらされる。この効果を図示の弁構造は利用している。接続部Aを 通っては常に例えば2部分の混合物が流出口Aに向って流れる。導熱性の高い方 の成分が混合物において減少すると導熱性が減退し、SMA線材1はその温度を 上昇させかつ短くなり、閉鎖部材21は弁坐22から離される。これによって、 導熱性の高方の成分のための流入通路32の流れ横断面が開放され、混合物は再 びコンスタントな混合濃度に調整される。 このための回路図は第6図に示されている。ファン 8によて例えば2成分の流体混合物が符号Aを有する流入通路33を介して弁体 30を通って、符号Cを有する流出通路34に送られる。ファン7は弁が開放さ れている場合に、導熱性の高い方の成分を符号Bを有する流入通路32を通して 、記述した形式で流体混合物流の混合率を高めるために搬送する。他の部材は同 じ符号で示されている。 第7図においてはガス漏れ探査器、特にヘリューム漏れ探査器のための保護弁 としての構造を有する弁が示されている。底部分26には流入通路30があり、 この流入通路30は導管で探査先端と接続されている。流入通路30は符号Dで 示されている。ヘッド部分25には探査器に対する接続部を有する流出通路29 がある。流出通路29は符号Eを有している。さらにヘッド部分25のすぐ横に はバイパス開口25がある。所定のヘリューム濃度と探査器の流れ値に対しては 、SMA線材1の誘導された加熱力とヘリューム濃度の小さい漏れ探査器流によ る熱導出との間には平衡状態が生じる。この場合には弁は開放される。ヘリュー ムをより多く含有する流体の流れが符号Dで示したところに流入すると、SMA 線材1からより多くの熱が導出され、このSMA線材1は長くなった幾何学的な 形をとる。これにより閉鎖部材21は弁坐22を閉じ、ガス流はバイパス開口3 5を介してしか逃げることができなくなる。 弁は択一的に圧力又は流れのための閾値スイッチとしても構成できる。解離後 にその状態にロックされ外から戻されなければならないこのような弁は、第8図 に示されている。弁は中央で分割された弁体20、底部分26におけるガス流入 通路30、ヘッド部分25における流出通路を29を有している。符号Fを有す るガス流入通路30には、ガス閉鎖部材21を案内して受容する、中間壁19に おける弁坐22で閉鎖可能な第1の孔24が接続している。さらに弁は、流れ方 向で第2の孔18を有している。この第2の孔18は閉鎖部材21の先端17と 固定的に結合されたSMA糸1を弁の調節機構として受容している。このSMA 糸1は流出側でヘッド部分25に固定されている。SMA線材の加熱は電流接続 部3,4を介して電流源2によって行われる。作用中に流体の流れは概略的に示 した弁をFからGへ通過する。流れが所定の閾値を下回ると、ガス流は遮断され 、ひいてはガス流による熱導出が中断される。これによって線材温度が引続き上 昇しかつ弁がこの位置にロックされる。 第9図に示したように、流体の流れとSMA糸との間の特に強い熱交換は流れ 案内小管16を有する弁の構造により達成することができる。この配置では、コ ンスタントに加熱されたSMA糸と貫流する流体の流れとの間の熱交換の熱的な 平衡は、流体の流れの速度とこれによって惹起される多かれ少なかれ迅速な熱搬 送との間の関連性によって決められる。セラミック小管16によってSMA糸1 のすぐ近くに集束された流れによって、前記平衡、ひいては弁の機能はきわめて 敏感になる。 前述の弁タイプは一般的な弁タイプに比して一連の利点を有する。 これらの利点とは −簡単で、比較的に安価な構造、 −小型である構造形態、 −特殊な特性、これによって簡易化された適応性 −0.5V以下の電圧と0.5A以下の電流を用いた運転が可能で、特別な使用 領域での使用が可能 −磁石とその磁界が省略されることに基づき、センサ及び敏感なマイクロ電子回 路の故障の回避である。Detailed Description of the Invention                 Electrically heatable, made of shape memory material                 A valve for regulating the flow of fluid with a regulating mechanism   The present invention is an electrically heatable, regulative mechanism of shape memory material that allows fluid flow. Is a valve for adjusting the A type in which the relative position of the closing member with respect to the valve seat is adjusted according to the degree of change in length. Regarding things.   German management magazine Management Wissen 8/88, page 59 "Tich-Highlights" A compressed air valve for robot control is known from US Pat. This valve is extremely small It has excellent structure, simple structure and quick switching pulse. This valve is this It is an alternative to the solenoid valve that was used in the past, which is large and expensive unlike the valve. It In this case the valve magnet is often a sensor and a sensitive microelectronic Become the source of failure for the road.   The new, extremely compact valve uses shape memory alloys as active elements. It Since the geometrical shape of the solid phase is memorized in the molecular structure of this alloy, , A geometric change is made in relation to temperature. This known compressed air valve is a compression spring Has a shape memory metal pin coupled to the valve tip that is held in a closed position by . Shape memory metal pins are integrated into the electrical circuit . When no current is applied, the spring keeps the valve closed. In this case, shape memory Metals maintain a relatively long geometric shape at low temperatures. Shape memory metal is electric current When heated, the shape memory metal transforms and shortens to a second high temperature state. in this case The spring force is overcome and the valve is opened.   The known construction of this valve is a pure control mechanism with an opening or closing function. . It is not possible to regulate the fluid flow with this known valve.   According to EP-A1-03991018, a sensor for a measuring and depositing device is provided. Is known. This is because the value to be measured is directly or indirectly measured by the sensor member. A sensor member that affects the material. The sensor member is made of shape memory material, Ability to adjust its operating temperature to a temperature within the systematic phase transition range of the material Is. The feature of the function of the known measurement and analysis device is that the temperature of the sensor can be adjusted by heating. It is kept constant by electric current, in which case the voltage, heating current or The heating power is to be used as a measurement. In this known device, the measurement The value to be tried is high from the low temperature phase of the shape memory material maintained by the heating current adjustment. It has an effect on the temperature in the range of phase structure transition to the warm phase. That is, The thermal current is readjusted as the temperature of the material changes.   Direct adjustment of fluid flow is a known measurement and analysis device Is not possible with an additional electromechanical or electromagnetic adjustment for fluid flow A mechanism is required and this adjustment mechanism must be controlled by a known measuring and depositing device. It is necessary. Such an arrangement is costly, prone to failure and therefore satisfactory. Not something.   The object of the invention consists of an electrically heatable shape memory material of the type mentioned at the outset. A valve for regulating the flow of fluid using a regulating mechanism that It can be used to adjust directly in the sense that it keeps its given state constant, and The first is to provide a form that is not complicated in structure and is extremely small. .   The object of the present invention is to provide a valve of the type described in the preamble of claim 1 in which the adjusting mechanism is Temperature within the phase transition range of SMA (Shape Memory Alloy), a material that remembers shapes It is a thread that can be heated with a constant current every time, and the valve body that surrounds the thread cooperates with it to flow through it. Configured as a heat exchange device that reacts in a special manner to changes in the fluid flow conditions Has been resolved by being.   Said valve is advantageously suitable for direct regulation of fluid flow. In this case the fluid The flow can be, for example, a constant pressure range, a constant flow range or a constant gas mixing range. , Adjusted to a relatively narrow equilibrium range of conditions in a certain temperature range.   In a configuration of the invention, the valve receives a SMA thread, Useful for heat exchange between the SMA yarn and the fluid flow, which guides the fluid flow to be adjusted One passage or connection.   What is common to this valve and systematic valve variations is that The contraction or declination of the adjusting mechanism used to actuate the closing mechanism Is. Another commonality in the arrangement of this valve and valve variation is the fluid flow. The change in length in the phase transition range of the regulatory mechanism caused by this change is This results in a direct change in the guiding or flow-through value of the The value is a monotonic function of length related to the temperature of the adjusting mechanism. To the temperature of the wire For all the performance-related effects that affect the system's heat budget. Parameters are involved. This is for example -Fluid temperature T -The thermal conductivity W of the fluid or different fluid components -Fluid flow value q -Fluid pressure p -Electronic, especially constant heating power P in the wire Is.   Assuming that the ambient (wall) temperature of the valve is constant, the guideability of the valve is one of these values. Can be one or more functions.     L = f (T, W, q, p, P)   Depending on the mode of operation or the constructive measures, the effect of the above values on the wire depends on the valve structure. Depending on the temperature, the heating force is kept constant and the guide value changes directly to the process medium. Be compensated by the body. The pressure of the fluid flowing through the valve is A contact with the material but not the flow or vice versa is achieved. This In the case of, the type of construction should be chosen so that the contracting thread closes or opens the valve. Can be.   The following describes embodiments that are meaningful for the actual use of the valve. For example, this valve SMA thread and spring configured as a pressure adjusting mechanism and made of a non-conductive material And a seat for receiving the closing member and a connecting passage, and a lateral direction including the valve seat and the connecting passage. May have a head portion for receiving a bifurcating secondary passage and a closed bottom portion it can. In this case, the spring is the end of the SMA wire on the valve side and the SMA wire on the valve bottom. Each is connected to a current source as a conductor for a current between it and the other end.   In this construction type, the gas pressure surrounding the thread is such that the valve is opened and the auxiliary passage Equal to the pressure of the fluid flowing from through the connection passage. Gas flow is remarkable for SMA wire It can pass through the valve without affecting it. Pressure where heat conductivity is related to pressure In the range, the valve exerts a regulating action. When the pressure decreases, the yarn temperature rises. yarn Contracts and opens the valve. When the pressure rises, on the contrary, the gas flow is throttled. Constant Against the electric heating power of Generate an equilibrium pressure that is constantly kept within predetermined limits.   In another embodiment, the valve is configured as a flow adjustment mechanism and the bottom portion It has an inflow passage and an outflow passage in the head portion. In this configuration the gas flow is It flows along the SMA wire and releases heat. Derived in the appropriate flow range Heat is a function of flow. The temperature of the wire is proportional to the constant flow of the fluid. At constant electrical output that keeps the transition limit, the increasing flow The effect of lowering the temperature is realized. In this case, the thread becomes longer and the guide value of the valve decreases. Be reduced. A decreasing flow brings about the opposite phenomenon. Flow through in this way The flowing fluid tries to maintain equilibrium. This equilibrium state is constant within narrow limits To be kept. In this case, the regulated flow is approximately proportional to the applied voltage or heating power. For example. This valve type is therefore an electrical regulator circuit for pressure control of gas. Suitable as an adjusting member in. Different from this, it was manufactured according to known technology. Proportional valves for gas flow are problematic, extremely expensive and prone to failure.   In another embodiment of the present invention, the valve is configured as a mixing adjustment mechanism and the head Minutes due to the inflow passage for the gas components with relatively high heat conductivity and the mixture inflow And a valve seat with a secondary passage, the bottom part of which constantly regulates the flow of the mixture. It has an exit. this The valve type uses the heat transfer characteristics of different gas species as a physical basis. Gas mixture Changes in concentration during coalescence generally result in changes in thermal conductivity. To be done. With the valve closed, the gas flow from the secondary passage in the valve head to the bottom part. Flowing into the outflow passage, the heating power of the SMA wire is in a constant constant flow state. In equilibrium with a given mixture concentration of gas components. In this case, the higher one Of the heat-conducting gas component acts on the initially closed inflow passage of the head part. It If this gas component is reduced in the mixture, the heat conductivity will decrease and the wire will lose its temperature. The valve opens and the higher heat-conducting component In addition, the dose is increased. In this way, it is relatively narrow, and the mixing concentration is flat within the limits. An equilibrium is obtained.   Another advantageous valve variation is a gas leak probe, especially a helium leak probe. Configured as a protective valve for. The valve has an inflow passage at the bottom and the head The connecting passage to the searcher and the valve seat at the head end of the valve disc. And a bypass opening in the sub-connector. High heli in exploration operation Rume condensate is probed with a leak probe. Coarse leaks, which are usually responsible, are high Only after the gas stream with a helium concentration has passed through the device is it confirmed. That The result is insensitivity and long recovery times. In this case the protection valve Cut off the gas flow. Heating power Is adjusted to open the valve when the concentration is low. Helium If a rich gas flow enters through the inflow passage at the bottom, Due to the high concentration of helium, the SMA wire has a large gas thermal conductivity. As a result, it cools, lengthens and closes the valve. Then the gas flow is a bypass opening It will be escaped through the injury. Valve starts again when helium concentration decreases Move to state. That is, the valve is opened.   In another embodiment of the invention, the valve is configured as a threshold switch and has a central Guide valve for the valve body, the gas inflow passage at the bottom, and the closing member. And a first hole that can be closed with a valve seat in the intermediate wall, and the valve body is provided in the first hole. A second hole is connected at the second end and is fixedly connected to the tip of the closure member. Receiving the SMA thread that has been removed. This SMA thread has a head with an outlet passage on the outlet side. It is fixed to the part. In this case, the valve is locked in that condition after release and It is a switching valve that must be retracted from the outside. Gas flow through the valve from the bottom Passing to the head section, if the flow exceeds a certain threshold, the gas flow is completely Be cut off. This causes the wire concentration to rise further and the valve to move to the closed position. Be locked.   Advantageous design features of the valve in a variant designed as a flow-through adjustment mechanism Heat exchange of the fluid flow Surround the SMA wire to enhance the focusing of the fluid and guide the fluid flow, Small ceramic tubules that are relatively narrow and extend between the bottom inflow passage and the valve seat That is what is being done.   An advantageous embodiment of the invention will now be described. In this case, the book The advantageous features of the invention are characterized.   FIG. 1 is a schematic view of a valve structure for constantly adjusting the pressure of a gaseous medium.   FIG. 2 is a circuit diagram of the valve structure of FIG.   FIG. 3 is a schematic view of a valve structure for performing constant flow rate adjustment of gas flow.   FIG. 4 is a circuit diagram of the valve structure of FIG.   FIG. 5 is a schematic view of a valve structure for performing constant gas mixing adjustment.   FIG. 6 is a circuit diagram of the valve of FIG.   FIG. 7 is a schematic view of a valve structure that functions as a protective valve for a helium leak probe.   FIG. 8 is a schematic view of a valve structure that functions as a threshold switch.   FIG. 9 shows the valve for constant flow regulation shown in FIGS. 3 and 4, The figure shown in section with the ceramic small tube surrounding the SMA wire rod.   Variations in the valve structure outlined in the drawings are common or similar. A non-conductive material A valve body 20 comprising a head portion 25 having a valve seat 22 and a bottom portion. Minutes 26 and. The valve body 20 has a shape memory material that can be electrically heated in the hole 24. Closure member 21 and return spring 23 with adjusting mechanism in the form of SMA thread Accepts and.   In the valve variations described below, the shrinkage of the wire 1 made of shape memory material Alternatively, the separation angle is commonly used to actuate the closing member 21, but in principle In place of the wire rod 1, other geometrical shapes exhibiting a shape change due to bending or twisting Can also be used. Based on the simplicity of construction and the understanding of functions Selected and illustrated as an example. Further, a conical or needle valve body is used as the closing member 21. However, this is only an example and the present invention is not limited to this. In this case also the principle Alternatively, other valve types can be used. The arrangement of the drive device is, in principle, The change in length in the phase transition range of the SMA wire 1 used as the adjusting mechanism is Change in the guide value, and thus the fluid flow rate, and thus the guide value is adjusted. It is chosen to be a monotonic function of the length of the node mechanism.   In particular, the valve is in the form of a heat exchange device that responds to changes in the flow state of the flowing fluid. By constructing in principle, the length of each wire 1 keeps the heating power constant. Under different conditions, it affects different physical parameters of the fluid flow as a function of yarn temperature. Is achieved It became so. Therefore, the temperature of the wire 1 affects the heat balance of the system. All parameters that occur during operation, such as temperature, thermal conductivity, flow-through, The form of pressure and gas mixing will be the responsibility.   FIG. 1 shows the arrangement for the constant pressure device. The gas pressure surrounding the SMA thread is sub It is equal to the pressure at the connection A of the passage 28. Because the sub passage 28 of the space is the valve body 2 This is because it is connected to the hole 24 of 0. The closing member 21 when the SMA thread 1 is in a high temperature state Is open, the gas flow allows the connection passage B in the valve head portion 25, It can flow between 27 and the sub-passage 28. Pressure range where heat conductivity is related to pressure In the enclosure, the valve exerts a regulating action. When the pressure decreases, the temperature of thread 1 rises It The thread 1 contracts and opens the valve. When the pressure rises, on the contrary, the gas flow is throttled. It Therefore, for a fixed electric heating force, The equilibrium pressure that is constantly maintained is adjusted. The valve structure according to FIG. 1 is closed It has a bottom portion 26. In this case, the spring 23 is connected to the valve-side end of the SMA wire 1. As a conductor for current between the SMA wire 1 and the other end of the valve bottom 26 , Each of which is connected to one current source 2 via current connecting portions 3 and 4.   A circuit diagram of the valve structure of FIG. 1 is shown in FIG. This circuit diagram shows The flow is from B to A, and through the vacuum tank 11 and the valve body 20 An arrangement of precision vacuum devices flowing to the pump 10 is shown. In this case, the valve body 2 0 is an adjusting mechanism in the form of a SMA thread 1 arranged in the sub-connection for the flow of fluid have. The SMA thread 1 is connected to the current source 2 via the current connecting portions 3 and 4. ing. This current source 2 is shown as an adjustable current source, but keep it constant. The pressure is adjusted to be constant.   The valve structure according to FIG. 3 shows a system for constant flow regulation. In this structure The gas stream passes through the SMA wire and dissipates heat. Therefore, in an appropriate flow range In turn, the heat released is a function of flow. Corresponding to the wire temperature in the phase transition range Under the given electrical output, the increasing flow is effective in decreasing the yarn temperature. However, the decreasing flow acts in the opposite way. In this case, the flow creates an equilibrium To try The valve has an inlet passage 30 with a reference B at the bottom 26 and a head portion 25 Has an outflow passage 29 with the symbol A. Electrical connections and symbols are other The point is the same as that of FIG.   In FIG. 4, the circuit of the flow regulating valve of FIG. 3 is shown. Also in this case The same members have the same reference numerals. Reference numeral B from the venturator 9 The flow of the generated fluid is directed along the heated SMA yarn 1 through the valve to the outflow passage A. Will be sent. When the flow changes, the SMA thread is driven by the current source 2 as described above. The temperature of this SMA yarn changes while being constantly heated. this In that case, the closing mechanism 21 is actuated accordingly.   FIG. 5 shows a valve configured as a mixing adjusting mechanism. in this case A valve 20 having a closing member 21, an adjusting mechanism for the SMA wire 1 and a return spring 25 It is provided. The mixture to be prepared consisting of at least two components is Through the inflow passage 33 indicated by the symbol A in the valve portion 25 and flowing into the valve Flows along the MA yarn 1 and out of the valve through a bottom side outflow passage 34, indicated by C. Put out. Gas with higher heat conductivity initially blocked by valve closure 21 The components act on the inflow passage 32, which is designated by the symbol B. Thermal conductivity is related to the type of gas It When the concentrations of the constituents in the gas mixture move, heat transfer occurs when the flow is constant. A change in sex is brought about. The valve structure shown in the drawing utilizes this effect. Connect part A Through it, for example, the two-part mixture always flows towards the outlet A. High thermal conductivity When the amount of the component in the mixture decreases in the mixture, the heat conductivity decreases, and the SMA wire 1 decreases its temperature. Raised and shortened, the closure member 21 is moved away from the valve seat 22. by this, The flow cross section of the inflow passage 32 for the heat-conducting higher components is opened and the mixture is regenerated. And constant mixture concentration is adjusted.   The circuit diagram for this is shown in FIG. fan 8, a fluid mixture of two components, for example, via an inflow passage 33 having the symbol A Through 30 it is sent to an outflow passage 34 with the symbol C. Fan 7 has the valve open , The higher heat-conducting component through the inflow passage 32 having the symbol B , Transport to increase the mixing rate of the fluid mixture stream in the described manner. Other members are the same The same reference numerals are used.   In FIG. 7, a gas leak probe, in particular a protective valve for a helium leak probe A valve having the structure as is shown. The bottom portion 26 has an inflow passage 30, This inflow passage 30 is connected to the probe tip by a conduit. The inflow passage 30 is designated by D It is shown. The head portion 25 has an outflow passage 29 with a connection to the probe. There is. The outflow passage 29 has the symbol E. Right next to the head part 25 Has a bypass opening 25. For a given helium concentration and probe flow value , Induced heating power of SMA wire 1 and leakage probe flow with low helium concentration An equilibrium state occurs between the heat dissipation and the heat dissipation. In this case the valve is opened. Helew When the flow of the fluid containing a larger amount of the inflows into the place indicated by the symbol D, the SMA More heat is drawn from the wire 1 and this SMA wire 1 has a longer geometrical shape. Take shape. This causes the closure member 21 to close the valve seat 22 and the gas flow to the bypass opening 3 You can only escape via 5.   The valve can alternatively be configured as a threshold switch for pressure or flow. After dissociation Such a valve, which must be locked in its position and returned from the outside, is shown in FIG. Is shown in. The valve is a centrally divided valve body 20, gas inflow in the bottom portion 26 The passage 30 has an outflow passage 29 in the head portion 25. Has the code F The gas inflow passage 30 for guiding and receiving the gas closing member 21 is provided in the intermediate wall 19. A first hole 24, which can be closed at the valve seat 22 in the opening, is connected. Furthermore, the valve is It has a second hole 18 in the direction. The second hole 18 and the tip 17 of the closing member 21 It accepts a fixedly bound SMA thread 1 as a valve regulatory mechanism. This SMA The thread 1 is fixed to the head portion 25 on the outflow side. SMA wire heating is current connection It is carried out by the current source 2 via the parts 3, 4. The flow of fluid during operation is shown schematically Pass the valve from F to G. When the flow drops below a certain threshold, the gas flow is shut off. As a result, the heat dissipation by the gas flow is interrupted. This keeps the wire temperature high. Ascend and the valve is locked in this position.   As shown in FIG. 9, a particularly strong heat exchange between the fluid flow and the SMA yarn is This can be achieved by the structure of the valve with the guide tube 16. In this arrangement, The thermal exchange of heat between the SMA yarn that is constantly heated and the flow of fluid through it. Equilibrium is the rate of fluid flow and the resulting more or less rapid heat transfer. Determined by the relevance of sending. SMA thread 1 by ceramic small tube 16 Due to the focused flow in the immediate vicinity of the Be sensitive.   The valve types described above have a series of advantages over common valve types.   What are these benefits -Simple, relatively inexpensive structure, -A small structural form, -Special characteristics, which makes it easier to adapt It can be operated with a voltage of -0.5V or less and a current of 0.5A or less, and is used for special purposes. Can be used in the area -Sensors and sensitive microelectronic circuits based on the omission of the magnet and its magnetic field. Avoiding road failures.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1. 電気的に加熱可能な形状を記憶する材料から成る調節機構を用いて流体の 流れを調整する弁であって、前記調節機構が閉鎖部材をばねの戻し力に抗して、 温度に関連した長さ変化の程度に応じて閉鎖部材の位置を弁坐に対して相対的に 調節する形式のものにおいて、前記調節機構が相移動範囲内の形状記憶材料(S MA)の温度に定電流によって加熱された糸(1)であって、糸(1)を取囲む 弁体(20)が該糸(1)と協働して、貫流する流体の流れの状態の変化に特別 な形式で応働する熱交換装置を構成していることを特徴とする、電気的に加熱可 能な形状を記憶する材料から成る調節機構を用いて流体の流れを調整する弁。 2. SMA糸(1)を受容する、調整しようとする流体の流れを案内する、S MA糸(1)と流体の流れとの間の熱交換に役立つ孔(24)並びに通路(27 )もしくは接続部(28−30;32−35)を有している、請求項1記載の弁 。 3. 弁が圧力調整機構として構成され、導電性ではない材料から成る弁体(2 0)を有し、該弁体(20)がSMA糸(1)、ばね(23)並びに閉鎖部材( 21)を受容する孔(24)と、接続通路(27)を有する弁坐(22)と該接 続通路から側方に分 岐する副通路(28)とを受容するヘッド部分(25)と、閉じられた底部分( 26)とを有し、前記ばね(23)がSMA線材(1)の弁側の端部とSMA線 材(1)の、弁底(26)における他方の端部との間の電流の導体として電流源 (2)に接続されている、請求項1又は2記載の弁。 4. 弁が流過調整機構として構成され、底部分(26)における流入通路(3 0)並びにヘッド部分(25)における流出通路(29)を有している、請求項 1又は2記載の弁。 5. 弁が混合調整機構として構成され、ヘッド部分(25)が導熱性の比較的 に高いガス成分のための流入通路(32)を備えた弁坐(22)と混合物流入た めの副通路(33)とを有し、底部分(26)がコンスタントに調整された混合 物のための流出通路(34)を有している。請求項1又は2記載の弁。 6. 弁がガス漏れ探査器、特にヘリューム漏れ探査器のための保護弁として構 成され、底部分(26)における流入通路(30)と、ヘッド部分(25)にお ける、漏れ探査器への接続部としての流出通路(29)と、弁体(20)のヘッ ド側の端部における、弁坐(22)への副接続部におけるバイパス開口(35) とを有している、請求項1又は2記載の弁。 7. 弁が閾値スイッチとして構成され、中央で分割さ れた弁体(20)を有し、該弁体(20)が底部分(26)におけるガス流入通 路(30)と、閉鎖部材(21)を案内して受容する、中間壁(19)における 弁坐(22)で閉鎖可能な第1の孔(24)を有し、この第1の孔(24)に弁 体(20)において第2の孔(18)が接続しており、該第2の孔(18)が、 閉鎖部材(21)の先端(17)に固定的に結合されたSMA糸(1)を受容し ており、該SMA糸(1)が流出側で、流出通路(29)を有するヘッド部分( 25)に固定されている、請求項1又は2記載の弁。 8. 弁が流体の流れの、熱交換を強める流れ密度を高めて流体の流れを案内す るために、SMA線材(1)を取囲む、比較的に狭まい、底部分(26)におけ る流入通路(30)と弁坐(22)との間を延びるセラミック小管(16)を有 している、請求項4記載の弁。[Claims] 1. Of the fluid using an adjusting mechanism made of a material that memorizes an electrically heatable shape A flow regulating valve, wherein the adjusting mechanism resists the closure member against the return force of the spring, The position of the closure member relative to the valve seat is dependent on the degree of temperature-related length change. In the adjusting type, the adjusting mechanism has a shape memory material (S A yarn (1) heated by a constant current to the temperature of (MA) and surrounding the yarn (1) The valve body (20) cooperates with the thread (1) to specially change the flow state of the fluid flowing therethrough. It can be electrically heated, which is characterized by constituting a heat exchange device that operates in various forms. A valve that regulates the flow of fluid using an adjustment mechanism made of a material that remembers its effective shape. 2. Receiving the SMA thread (1), guiding the flow of the fluid to be adjusted, S Holes (24) and passages (27) that help in heat exchange between the MA thread (1) and the fluid flow. ) Or connection (28-30; 32-35). . 3. The valve is configured as a pressure regulating mechanism, and the valve body (2 0) and the valve body (20) has an SMA thread (1), a spring (23) and a closing member ( 21) and a valve seat (22) having a connecting passage (27) for receiving the hole (24) and the connection. Minutes from the connecting passage to the side A head portion (25) for receiving a diverging sub-passage (28) and a closed bottom portion ( 26) and the spring (23) is connected to the valve-side end of the SMA wire (1) and the SMA wire. A current source as a conductor of current between the material (1) and the other end of the valve bottom (26) The valve according to claim 1 or 2, which is connected to (2). 4. The valve is configured as a flow-through adjustment mechanism, and the inflow passage (3 0) as well as an outflow passage (29) in the head part (25). The valve according to 1 or 2. 5. The valve is configured as a mixing and adjusting mechanism and the head portion (25) is relatively heat-conductive. The valve seat (22) with an inlet passage (32) for high gas content and mixture admitted With a secondary passage (33) for adjusting the bottom part (26) to be constantly adjusted. It has an outflow passage (34) for goods. The valve according to claim 1 or 2. 6. The valve serves as a protective valve for gas leak probes, especially helium leak probes. Formed in the inflow passage (30) in the bottom portion (26) and in the head portion (25). The outflow passage (29) as a connection to the leak probe and the head of the valve body (20). By-pass opening (35) at the secondary end to the valve seat (22) at the end on the door side A valve according to claim 1 or 2, having: 7. The valve is configured as a threshold switch, split in the middle Has a valve body (20) which is opened, and the valve body (20) has a gas inflow passage in the bottom portion (26). In the intermediate wall (19) for guiding and receiving the passage (30) and the closure member (21). It has a first hole (24) that can be closed by a valve seat (22) and a valve is provided in this first hole (24). The second hole (18) is connected in the body (20), and the second hole (18) is Receiving the SMA thread (1) fixedly attached to the tip (17) of the closure member (21) The SMA thread (1) is on the outflow side and has a head portion (outflow passage (29)). Valve according to claim 1 or 2, which is fixed to 25). 8. The valve guides the fluid flow by increasing the flow density of the fluid flow, which enhances heat exchange. In order to surround the SMA wire (1) in a relatively narrow space, A ceramic small tube (16) extending between the inflow passage (30) and the valve seat (22). The valve according to claim 4, wherein
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