JPH08509833A - 昼光下で視やすい薄膜elディスプレイ - Google Patents

昼光下で視やすい薄膜elディスプレイ

Info

Publication number
JPH08509833A
JPH08509833A JP6514474A JP51447494A JPH08509833A JP H08509833 A JPH08509833 A JP H08509833A JP 6514474 A JP6514474 A JP 6514474A JP 51447494 A JP51447494 A JP 51447494A JP H08509833 A JPH08509833 A JP H08509833A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
display panel
metal
easy
daylight
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP6514474A
Other languages
English (en)
Inventor
ブジレク,ラッセル,エイ
モナーキー,ドミニック,エル
ポドバ,マイロスロウ
スワットソン,リチャード,アール
Original Assignee
ウェスチングハウス・ノーデン・システムズ,インコーポレイテッド
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ウェスチングハウス・ノーデン・システムズ,インコーポレイテッド filed Critical ウェスチングハウス・ノーデン・システムズ,インコーポレイテッド
Publication of JPH08509833A publication Critical patent/JPH08509833A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B33/00Electroluminescent light sources
    • H05B33/12Light sources with substantially two-dimensional radiating surfaces
    • H05B33/26Light sources with substantially two-dimensional radiating surfaces characterised by the composition or arrangement of the conductive material used as an electrode
    • H05B33/28Light sources with substantially two-dimensional radiating surfaces characterised by the composition or arrangement of the conductive material used as an electrode of translucent electrodes
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B33/00Electroluminescent light sources
    • H05B33/12Light sources with substantially two-dimensional radiating surfaces
    • H05B33/22Light sources with substantially two-dimensional radiating surfaces characterised by the chemical or physical composition or the arrangement of auxiliary dielectric or reflective layers
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10S428/917Electroluminescent

Landscapes

  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Abstract

(57)【要約】 交流薄膜ELディスプレイパネルは各透明電極の上に電気的接触するように形成した金属アシスト構造と、光吸収性の黒ずんだ層とを有し、これらの組み合わせにより昼光の下で視やすいELディスプレイパネルが提供される。

Description

【発明の詳細な説明】 昼光下で視やすい薄膜ELディスプレイ 関連出願との相互参照 本出願は、1992年6月11日付けで出願され、同一の譲受人に譲渡され、 共に係属中の出願第07/897,210号(発明の名称:ELディスプレイの ための低抵抗で熱安定性を有する電極構造);出願第07/990,322号( 発明の名称:黒ずんだ金属電極を有する昼光下で視やすい薄膜ELディスプレイ )(弁護士整理番号N−1221);及び出願第07/989,672号(発明 の名称:光吸収性物質の遷移組成層を有する昼光下で視やすい薄膜ELディスプ レイ)(弁護士整理番号N−1222)に関連する主題を含んでいる。 技術分野 本発明はELディスプレイパネルに関し、さらに詳細にはパネルを昼光下で視 やすくするため周囲光の反射を減少することに関する。 背景技術 薄膜EL(TFEL)ディスプレイパネルは陰極線管(CRT)及び液晶ディ スプレイ(LCD)のような他のディスプレイ技術に比べて幾つかの利点を有す る。CRTと比べるとTFELは必要とする電力が少なく、可視角が大きく、一 段と薄い。また、LCDと比較して可視角が大きく、補助光源が不要であると共 にディスプレイ面積を大きくできる。 図1は典型的な従来型TFELディスプレイパネルを示す。このTFELディ スプレイはガラスパネル10、複数の透明電極12、第1の誘電体層14、けい 光体層16、第2の誘電体層18、透明電極12に直交する複数の金属電極20 を有する。透明電極12は通常、インジウム−錫酸化物(ITO)であり、金属 電極20はアルミニウムが普通である。誘電体層14,18はけい光体層16を 過大な直流電流から保護する。透明電極12と金属電極20の間に約200ボル トの電圧を印加すると、誘電体層14,18とけい光体層16の間の界面の1つ から電子がけい光体層に侵入し、そこで急速に加速される。けい光体層16は通 常、マンガンでドープされたZnSよりなる。けい光体層16に入った電子はこ のマンガンを励起し、マンガンが光子を放出する。光子は第1誘電体層14、透 明電極12及びガラスパネル10を通過して可視像を形成する。 現存のTFELは用途によっては満足できるものであるが、さらに進んだ用途 ではより明るく高いコントラストの画面、大型の画面、また昼光下で視やすい画 面が必要とされる。周りの光が多いところでパネルに適当なコントラストを与え る1つのアプローチとして周囲の反射光を減少させる円偏光フィルタを用いるこ とがある。このアプローチによると適度の周囲光がある状態でかなりのコントラ ストが得られるが、高コスト及び約37%の最大光反射率を含む多くの問題点も ある。 発明の開示 本発明の目的は、周囲光の反射を減少させてTFELディスプレイのコントラ ストを向上させることにより昼光下で視やすいディスプレイを提供することにあ る。 本発明の別の目的は、高コントラストの大型TFELディスプレイを提供する ことにある。 本発明によると、低抵抗の透明電極を有するTFELディスプレイの多層構造 に光吸収性の黒ずんだ物質の層が包含される。 本発明は直射日光の下で視やすいTFELディスプレイパネルを提供する。本 発明の他の特徴は、低抵抗電極を有する(これによりディスプレイを早いレート で駆動できる)TFELディスプレイにおいて光吸収性の黒ずんだ物質の層を用 いることにより36インチよりも大きいような大型で,高コントラストのディス プレイが実現できることである。 本発明の上記及び他の目的、特徴及び利点は添付図面に示したような実施例の 以下の詳細な説明からさらに明らかになるであろう。 図面の簡単な説明 図1は従来型TFELディスプレイの横断面図である。 図2は本発明によるTFELディスプレイの横断面図である。 図3はPrMnO3の組成対抵抗率及び誘電定数のグラフである。 図4は図2の単一のITOライン及びその関連の金属アシスト構造の拡大した 横断面図である。 図5は本発明のTFELディスプレイの別の実施例を示す横断面図である。 図6はさらに別の実施例の横断面図である。 発明を実施するための最適モード 一実施例において、ELディスプレイパネルにはパネルに当たる周囲光の反射 を抑えるために光吸収性で黒ずんだ物質の層が含まれている。 図2を参照して、金属アシスト構造22は透明電極12と電気接触し、電極1 2の長さ全体に亘って延びる。金属アシスト構造22は、TFELディスプレイ パネルの透明電極12及び他の構造と適合性ある導電性金属の1または2以上の 層よりなる。金属アシスト構造22により覆われる光透過領域を小さくするため に、金属アシスト構造は透明電極12の小部分だけを覆うようにする必要がある 。例えば、金属アシスト構造22は透明電極12の約10%またはそれ以下を覆 うようにできる。従って、幅が約250pm(10ミル)の典型的な透明電極1 2では、金属アシスト構造22と透明電極のオーバーラップの大きさを約25μ m(1ミル)またはそれ以下にする必要がある。オーバーラップを約6μm(0 .25ミル)乃至約13μm(0.5ミル)の小さいものにすることが望ましい 。金属アシスト構造22と透明電極12のオーバーラップをできるだけ少なくす る必要があるが、金属アシスト構造は電気抵抗を小さくするためにできるだけ幅 広にする必要がある。例えば、幅が約50pm(2ミル)乃至約75μm(3ミ ル)の金属アシスト構造22が望ましい。これら2つの設計パラメータは、金属 アシスト構造22を透明電極だけでなくガラスパネル10ともオーバーラップさ せることにより満足することができる。現在の製造方法により、金属アシスト構 造22の厚さを第1誘電体層16の厚さに等しいかそれ以下にして第1誘電体層 16 が透明電極12及び金属アシスト構造を適当に覆うようにする必要がある。例え ば、金属アシスト構造22は厚さを約250nm以下にすることができる。好ま しくは、金属アシスト構造22の厚さを約200nm以下、例えば150nm乃 至約200nmにする。しかしながら、製造方法の改善により金属アシスト構造 22を第1誘電体層16よりも厚くすることが実際的になるかもしれない。 TFELディスプレイパネルはまた、アルミニウムの後部電極20により反射 される周囲光の量を減少させることによってディスプレイのコントラストを改善 するために光吸収性の黒ずんだ物質の層24を有する。黒ずんだ物質の層24は アルミニウムの後部電極20と直接接触し、その抵抗率は後部電極間の漏洩電流 に起因するその後部電極20の間の電気的クロストークを充分に減少できるほど の大きさでなければならない。好ましくは、この黒ずんだ物質の抵抗率は少なく とも108オーム/cmでなければならない。黒ずんだ物質の層24はまた第2 誘電体18の誘電定数と少なくとも等しいかそれよりも大きい誘電定数をもつ必 要があり、その好ましい誘電定数の値は7よりも大きい。拡散反射率を0.5% より小さくするため、この黒ずんだ物質は約105/cmの光吸収係数をもたね ばならない。 黒ずんだ物質の層24の候補材料としてはGe、CdTe、CdSe、Sb2 3、GeN及びPrMnO3がある。Geの使用では充分な成功が得られなかっ た。より適当な材料としては、その高いブレークダウンしきい値からGeNがあ ろう。適当な組成のPrMnO3は108オーム/cmより大きい抵抗率と、20 0と300の間の誘電定数と、500nmで105/cmよりも大きい光吸収係 数を有する。これらの特性の組み合わせでこのPrMnO3は好ましい黒色の層 の材料となる。Pr−Mn酸化物薄膜はRFスパッタリング法を用い、基板温度 を200°C乃至350°Cの範囲にして、ArまたはAr+O2の雰囲気中で 付着させることができる。図3は、このPrMnO3の抵抗率と誘電定数をPr −Mn酸化物薄膜の組成を変えることにより特定の用途に適合するように調整で きることを示している。ライン25に沿って示すこのPrMnO3で得られる極 端に高い誘電定数は、ディスプレイのしきい電圧を顕著に増加させずにPrMn O3を使用できることを示唆していることに注意されたい。 図4を参照して、金属アシスト構造22の好ましい実施例は、接着層26、第 1の耐熱金属層28、主要導体層30、第2の耐熱金属層32がサンドイッチに なったものである。接着層26は金属アシスト構造22のガラスパネルと透明電 極12への接着を促進する。この接着層は、ガラスパネル10、透明電極12及 び第1耐熱金属層28に、接着層26或いは他の任意の層をこれらの構造からの 剥がすように作用する応力を発生させずに、接着できる任意の導電性金属或いは 合金を含むことができる。適当な金属としてはCr、V、Tiがある。Crは容 易に蒸発して良好な接着を与える点で好ましい。好ましくは、接着層26の厚さ を接触する構造体間に安定な接合が形成されるに必要な値に限定する。例えば、 接着層26はその厚さを約10nm乃至約20nmにする。第1耐熱金属層28 がガラスパネル10及び透明電極12と安定で低応力の接合を形成するものであ れば、接着層26は不要であろう。その場合、金属アシスト構造22は2つの耐 熱金属層28、32と主要導体層30の3層だけで形成できる。 耐熱金属層28、32は、ディスプレイを以下に述べるようにアニーリングし てけい光体層を活性化する際、主要導体層30が酸化されないように保護すると 共に、この主要導体層が第1誘電体層14及びけい光体層168内へ拡散しない ようにする。従って、耐熱金属層28、32はアニーリング温度で安定であり、 主要導体層30への酸素の浸透を阻止することができ、また第1誘電体層14ま たはけい光体層16への主要導体層30の拡散を阻止できる金属または合金を含 む必要がある。適当な金属としてはW、Mo、Ta、Rh、Osがある。耐熱金 属層28、32の厚さは共に最大約50nmである。耐熱金属層の抵抗率は主要 導体層30の抵抗率よりも高いため、耐熱金属層28、32をできるだけ薄くし て主要導体層30をできるだけ厚くする必要がある。好ましくは、耐熱金属層2 8、32の厚さは約20nm乃至約40nmである。 主要導体層30は金属アシスト構造22を流れる電流の大部分を導通させる。 この主要導体層はAl、Cu、AgまたはAuのような導電率の高い金属または 合金で形成できる。Alは導電率が高く、コストが低く、後の処理との適合性が よいため好ましい。主要導体層30は金属アシスト構造22の導電率を最大にす るためできるだけ厚くする必要がある。その厚さは金属アシスト構造22全体の 厚さと他の層の厚さとにより制限を受ける。例えば、主要導体層30の厚さは最 大約200nmである。主要導体層30の厚さは好ましくは約50nm乃至約1 80nmである。 本発明のTFELディスプレイは所望の構造を形成する任意の方法で製造可能 である。透明電極12、誘電体層14、18、けい光体層16及び金属電極20 は当業者に知られた従来の方法で形成できる。金属アシスト構造22はエッチバ ック(etch-back)法、リフトオフ(lift-off)法、或いは他の任意適当な方法 で形成可能である。 図2に示すようなTFELディスプレイを製造する第1のステップとして、適 当なガラスパネル10の上に透明な導体の層を付着させる。ガラスパネルとして は、以下に述べるけい光体のアニーリングに耐え得る任意の耐高温ガラスを用い ることができる。例えば、ガラスパネルとしてコーニング7059(Corning Gl assworks,Corning,NY)のようなホウケイ酸ガラスがある。透明な導体として は、導電性で所望の用途にとり充分な光透過性を持つ任意適当な材料を用いる。 例えば、透明な導体としてITOがあるが、これは約10モル%のInよりなり 、導電性で、約200nmの厚さで約85%の光透過性を有する遷移金属の半導 体である。透明な導体としては、ガラスを完全に覆い所望の導電性を与える任意 適当な厚さのものでよい。適当なITO層がすでに付着されたガラスパネルはド ネリー社(Donnelly Corporation,Holland,MI)から購入することが可能であ る。本発明のTFELディスプレイを製造する残りの工程については、透明電極 としてITOを用いる例を説明する。当業者にとっては別の透明な導体を用いる 方法も同様であることが分かるであろう。 ITO電極12は従来のエッチバック法または他の任意適当な方法によりIT O層として形成可能である。例えば、ITO電極12となるITO層の一部を浄 化して耐エッチング剤マスクで覆うことができる。耐エッチング剤マスクは、I TO層に適当なホトレジスト化学物質を適用し、このホトレジスト化学物質に適 当な波長の光を露光し、ホトレジスト化学物質を現像することによって形成可能 である。2−エトキシエチルアセテート、n−ブチルアセテート、キシレン及び キシロールを主要成分として含むホトレジスト化学物質は本発明にとって適当で ある。かかるホトレジスト化学物質の1つとしてAZ4210ホトレジスト(Ho echst Celanese Corp.,Somerville,NJ)がある。AZ現像剤(Hoechst Celane se Corp.,Somerville,NJ)はAZ4210ホトレジストに適合する知的財産権 に係わる現像剤である。他の市販のホトレジスト化学物質及び現像剤も本発明に とって適当であろう。ITOのマスクで覆わなかった部分は適当なエッチング剤 で除去してITO層にITO電極12の側部を画定するチャンネルを形成する。 エッチング剤は、マスクで覆ったITOまたはマスクで覆わなかったITOの下 にあるガラスに損傷を与えずにマスクで覆わなかったITOを除去できなければ ならない。適当なITOエッチング剤は、約1000ミリリットルの水、約20 00ミリリットルのHCl、及び約370gの無水FeCl3を混合することに より調製可能である。このエッチング剤は約55°Cで用いると特に効果的であ る。マスクで覆わなかったITOを除去するに必要な時間はITO層の厚さによ る。例えば、厚さ300nmのITO層は約2分で除去することができる。IT O電極12の側部は図示のように面取りをして第1誘電体層14がITO電極を 適当に覆うことができるようにする必要がある。ITO電極12の大きさと間隔 はTFELディスプレイの寸法による。例えば、高さ12.7cm(5インチ) 、幅17.8cm(7インチ)の典型的なディスプレイに、厚さ約30nm、幅 約250μm(10ミル)で、間隔が約125μm(5ミル)のITO電極12 を形成できる。エッチング終了後、耐エッチング剤マスクを水酸化テトラメチル アンモニウムを含むもののような適当なストリップ剤で除去する。AZ400T ホトレジストストリップ剤(Hoechst Celanese Corp.)はAZ4210ホトレジ ストと適合する市販の製品である。他の市販のストリップ剤にもまた本発明に適 合するものがある。 ITO電極12を形成した後、金属アシスト構造を形成する金属の層を均一な 組成と抵抗の層を形成できる従来の方法によりITO電極の上に付着させる。適 当な方法としてはスパッタリング及び熱蒸着がある。好ましくは、全ての金属層 を単一の工程で付着させ、金属界面の酸化や表面汚染を防止することによって接 着性を向上させる。モデルVES−2550(Airco Temescal,Berkley,CA) のような電子ビーム蒸着装置、或いは3またはそれ以上の金属源を使用できる任 意 のそれに匹敵する装置を用いることができる。金属層はそれらがITOに近い順 にパネルの表面全体に亘って所望の厚さに付着させる必要がある。 金属アシスト構造22はエッチバックを含む任意適当な方法により金属層とし て形成できる。金属アシスト構造22となる金属層の部分は従来の方法で市販の ホトレジスト化学物質より形成した耐エッチング剤マスクで覆うことができる。 ITOを覆うのに用いると同じ方法及び化学物質を金属アシスト構造22に対し て使用することができる。金属層のマスクで覆わない部分は一連のエッチング剤 によりそれらが付着されたとは逆の順序で除去する。エッチング剤はパネル上の 他の任意の層に損傷を与えずに単一の、マスクで覆われていない金属層を除去で きるものでなければならない。適当なタングステンエッチング剤は約400ミリ リットルの水、約5ミリリットルの30重量%のH22の溶液、約3gのKH2 PO4、約2gのKOHを混合することにより調製できる。約40°Cで特に効 果的であるこのエッチング剤は約40nmのタングステン耐熱金属層を約30秒 で除去できる。適当なアルミニウムエッチング剤は約25ミリリットルの水、約 160ミリリットルのH3PO4、約10ミリリットルのHNO3、約6ミリリッ トルのCH3COOHを混合することによって調製可能である。室温で効果的な このエッチング剤は約120nmのアルミニウム主要導体層を約3分で除去でき る。HClO4及びCe(NH42(NO36を含む市販のクロムエッチング剤 はクロム層に用いることができる。CR−7ホトマスク(Cyantek Corp.,Fremo nt,CA)は本発明に適合する1つのクロムエッチング剤である。このエッチング 剤は約40°Cで特に効果的である。他の市販のクロムエッチング剤もまた本発 明に適合する。ITO電極12に関しては、段部を適切に遮蔽できるように金属 アシスト構造22の側部を面取りする必要がある。 誘電体層14,18及びけい光体層16はスパッタリングまたは熱蒸着を含む 任意適当な従来方法によりITOライン12及び金属アシスト構造22の上に付 着させることができる。2つの誘電体層14,18は約80nm乃至約250n mのような任意適当な厚さでよく、けい光体層16を過大な電流から保護するた めキャパシタとして作用可能な任意の誘電体により形成すればよい。好ましくは 、誘電体層14,18の厚さは約200nmであり、SiOxxよりなる。けい 光体層16は約1%未満のマンガンをドープしたZnSのような任意の従来型T FELけい光体でよく、任意の厚さにすることができる。好ましくは、けい光体 層16の厚さは約500nmである。これらの層を付着させた後、ディスプレイ を約500°Cで約1時間加熱してけい光体をアニーリングする必要がある。ア ニーリングによりマンガン原子がZnS格子のZn部位に移動し、励起されると そこから光子を放出する。 けい光体層16をアニーリングして後、金属電極20をエッチバックまたはリ フトオフを含む任意適当な方法により第2誘電体層18の上に形成する。金属電 極20はアルミニウムのような任意の高導電性金属から形成可能である。ITO 電極12と同じように、金属電極20のサイズ及び間隔はディスプレイの寸法に より異なる。例えば、高さ12.7cm(5インチ)、幅17.8cm(7イン チ)の典型的なTFELディスプレイの金属電極20を厚さが約100nm、幅 が約250μm(10ミル)、間隔が約125μm(5ミル)にすることができ る。金属電極20はグリッドを形成するためにITO電極12と直交させる必要 がある。 図5は別の実施例を示す。この実施例において画像はディスプレイのガラスパ ネル10の方からでなくてカラーフィルタ38の側から見る。カラーフィルタ3 8により単色でなくて多色の画像を形成できる。この別の実施例ではアルミニウ ムの電極20がガラスパネル10の上に、また光吸収性の黒ずんだ物質の層24 がアルミニウム電極20の上に配置され、これに続いて第1誘電体層14が黒ず んだ物質層24を被覆する。第1誘電体層14と第2誘電体層18の間にけい光 体層16が配設される。それぞれが図4に示す金属アシスト構造22を組み込ん だ複数の透明電極12が第2誘電体層18の上に配設される。第2誘電体層18 の非被覆部分、透明電極12及び金属アシスト構造22の上には偏光層39が配 設され、平らな面を形成する。そしてこの平らな面の上には赤と緑の縞が隣接配 置されたガラス板のようなカラーフィルタ38が配設される。偏光層39はスパ ンオンガラス(spun-on-glass)、透明なポリマー物質或いは珪酸ナトリウムの ような材料を含んでもよい。当業者は上述のTFELディスプレイ製造方法を図 5に示すようなディスプレイを製造できるようにいかに変更するかが解るであろ う。 例えば、当業者はけい光体層16のアニーリング後第2誘電体層18の上に透明 電極12を形成できることが解るであろう。 図6は本発明のさらに別の実施例を示す。図6の実施例は図2の実施例に似て いるが、これら2つの実施例は主として、黒ずんだ層24と第2誘電体層18の 位置関係が逆である点で相違する。図6に示す実施例の残りの層は図2の実施例 と同一またはほぼ同一の材料を用いる。 図2、5及び6に示す実施例とは別に、本発明のTFELディスプレイは、低 抵抗電極と、光吸収性の黒ずんだ物質の層との組み合わせによる利点を有する任 意の他の構成にすることができる。 本発明は従来技術と比べていくつかの利点を有する。例えば、低抵抗電極と光 吸収性の黒ずんだ物質の層との組み合わせにより、高コントラストと、高いリフ レッシュレートによる大きな明るさとが得られる全てのサイズのTFELディス プレイを実現できる。このため、低抵抗電極がパネル全部にパネル全体に亘って 一様な明るさを与えるに充分な電流を供給することができ、また黒ずんだ層の物 質が周囲光の反射を減少させてパネルのコントラストを改善することから、表示 画面の大きさが約91cm(36インチ)×91cmのような大型TFELディ スプレイが可能になる。低抵抗電極と黒ずんだ層とを有するディスプレイは、昼 光の下で直接視やすい薄膜ELディスプレイを提供するのに充分なコントラスト を得るにつき重要である。 本発明を特定の実施例に関連して図示説明したが、本発明の精神及び範囲から 逸脱することなく図示の実施例に対して種々の他の変形、削除及び追加を行える ことが当業者にとって理解されるであろう。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 モナーキー,ドミニック,エル アメリカ合衆国,コネチカット州 06851, ノーウォーク,ウェイフェアリング・ロー ド 5 (72)発明者 ポドバ,マイロスロウ アメリカ合衆国,コネチカット州 06492, ウォーリングフォード,ハイヒル・ロード 87 (72)発明者 スワットソン,リチャード,アール アメリカ合衆国,コネチカット州 06611, トランブル,ヘッジホッグ・ロード 21

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1.1.昼光の下で視やすいELディスプレイパネルであって、 ガラス基板と、 前記ガラス基板上に付着され、それぞれの一部の上に金属アシスト構造が電気 的接触状態に形成された複数の平行な透明電極と、 前記複数の透明電極の上に付着された第1の誘電体層と、 前記第1誘電体層の上に付着されたけい光体層と、 前記けい光体層の上に付着された第2の誘電体層と、 前記第2誘電体層の上に付着され、反射光を減少させる、光吸収性の黒ずんだ 物質の層と、 各々が前記光吸収性の黒ずんだ物質層の上方に平行に付着された複数の金属電 極とより成るELディスプレイパネル。 2.前記金属アシスト構造の各々は、第1の耐熱金属層と、第1耐熱金属層の上 に形成された主要導体層と、主要導体層の上に形成された第2の耐熱金属層とよ り成り、第1及び第2耐熱金属層はELディスプレイが前記けい光体層を活性化 するためアニーリングされるとき主要導体層を酸化しないように保護することが できる、請求項1の昼光の下で視やすいELディスプレイパネル。 3.前記金属アシスト構造は前記透明電極の約10%またはそれ以下を覆う、請 求項2の昼光の下で視やすいELディスプレイパネル。 4.前記光吸収性の黒ずんだ物質層はPbMnO3である、請求項2の昼光の下 で視やすいELディスプレイパネル。 5.前記光吸収性の黒ずんだ物質層の抵抗率は少なくとも108オーム/cmで ある請求項1の昼光の下で視やすいELディスプレイパネル。 6.前記光吸収性の黒ずんだ物質層の誘電定数は少なくとも7である、請求項1 の昼光の下で視やすいELディスプレイパネル。 7.前記光吸収性の黒ずんだ物質層の吸収定数は約105/cmである、請求項 1の昼光の下で視やすいELディスプレイパネル。 8.前記光吸収性の黒ずんだ物質層はGeNである、請求項1の昼光の下で視や すいELディスプレイパネル。 9.前記金属アシスト構造の端縁部は面取りされている、請求項2の昼光の下で 視やすいELディスプレィパネル。 10.前記光吸収性の黒ずんだ物質層は別個の黒ずんだ層である、請求項9の昼 光の下で視やすいELディスプレイパネル。 11.前記金属アシスト構造はさらに前記第1耐熱金属層と透明電極との間に形 成された接着層を有し、前記接着層は透明電極と前記第1耐熱金属層に接着可能 である、請求項2の昼光の下で視やすいELディスプレイパネル。 12.前記金属アシスト構造は前記透明電極の約10%またはそれ以下を覆う、 請求項11の昼光の下で視やすいELディスプレイパネル。 13.前記光吸収性の黒ずんだ物質層はPbMnO3である、請求項12の昼光 の下で視やすいELディスプレイパネル。 14.前記光吸収性の黒ずんだ物質層の抵抗率は少なくとも108オーム/cm である請求項13の昼光の下で視やすいELディスプレイパネル。 15.前記光吸収性の黒ずんだ物質層の誘電定数は少なくとも7である、請求項 14の昼光の下で視やすいELディスプレイパネル。 16.前記光吸収性の黒ずんだ物質層の吸収定数は約105/cmである、請求 項15の昼光の下で視やすいELディスプレイパネル。 17.前記光吸収性の黒ずんだ物質層はGeNである、請求項16の昼光の下で 視やすいELディスプレイパネル。 18.前記金属アシスト構造の端縁部は面取りされている、請求項17の昼光の 下で視やすいELディスプレィパネル。 19.前記光吸収性の黒ずんだ物質層は別個の黒ずんだ層である、請求項18の 昼光の下で視やすいELディスプレイパネル。 20.昼光の下で反対側から視覚可能なELディスプレイパネルであって、 ガラス基板と、 各々が前記ガラス基板上に平行に付着された複数の金属電極と、 前記複数の金属電極の各々と前記ガラス基板の露出部分の上方に形成された光 吸収性の黒ずんだ物質の層と 前記光吸収性の黒ずんだ物質層の上に付着された第1の誘電体層と、 前記第1誘電体層の上に付着されたけい光体層と、 前記けい光体層の上に付着された第2の誘電体層と、 前記第2誘電体層の上に付着され、それぞれの一部の上に金属アシスト構造が 電気的接触状態に形成された複数の平行な透明電極とより成るELディスプレイ パネル。 21.前記複数の平行な透明電極の各々と前記第2誘電体層の露出部分の上に付 着されて平らな面を形成する偏光層と、 前記平らな面の上に設けたカラーフィルタをさらに備えた、請求項20の昼光 の下で視やすいELディスプレイパネル。 22.前記金属アシスト構造の各々は、第1の耐熱金属層と、第1耐熱金属層の 上に形成された主要導体層と、主要導体層の上に形成された第2の耐熱金属層と より成り、第1及び第2耐熱金属層はELディスプレイが前記けい光体層を活性 化するためアニーリングされるとき主要導体層を酸化しないように保護すること ができる、請求項20の昼光の下で視やすいELディスプレイパネル。 23.前記金属アシスト構造は前記透明電極の約10%またはそれ以下を覆う、 請求項22の昼光の下で視やすいELディスプレイパネル。 24.前記光吸収性の黒ずんだ物質層はPbMnO3である、請求項23の昼光 の下で視やすいELディスプレイパネル。 25.前記光吸収性の黒ずんだ物質層の抵抗率は少なくとも108オーム/cm である請求項22の昼光の下で視やすいELディスプレイパネル。 26.前記光吸収性の黒ずんだ物質層の誘電定数は少なくとも7である、請求項 22の昼光の下で視やすいELディスプレイパネル。 27.前記光吸収性の黒ずんだ物質層の吸収定数は約105/cmである、請求 項22の昼光の下で視やすいELディスプレイパネル。 28.前記光吸収性の黒ずんだ物質層はGeNである、請求項22の昼光の下で 視やすいELディスプレイパネル。 29.前記金属アシスト構造の端縁部は面取りされている、請求項22の昼光の 下で視やすいELディスプレイパネル。 30.前記光吸収性の黒ずんだ物質層は別個の黒ずんだ層である、請求項22の 昼光の下で視やすいELディスプレィパネル。 31.前記光吸収性の黒ずんだ物質層は光吸収性の黒ずんだ物質の遷移組成層で ある、請求項22の昼光の下で視やすいELディスプレイパネル。 32.前記光吸収性の黒ずんだ物質の遷移組成層は不定比窒化珪素、SiNX、 である、請求項31の昼光の下で視やすいELディスプレイパネル。 33.前記金属アシスト構造はさらに前記第1耐熱金属層と透明電極との間に形 成された接着層を有し、前記接着層は透明電極と前記第1耐熱金属層に接着可能 である、請求項22の昼光の下で視やすいELディスプレイパネル。 34.前記偏光層はスパンオンガラス物質よりなる、請求項22の昼光の下で視 やすいELディスプレイパネル。 35.前記偏光層は透明なポリマーよりなる、請求項22の昼光の下で視やすい ELディスプレイパネル。 36.前記偏光層は珪酸ナトリウムよりなる、請求項22の昼光の下で視やすい ELディスプレイパネル。
JP6514474A 1992-12-16 1993-12-13 昼光下で視やすい薄膜elディスプレイ Pending JPH08509833A (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US990,991 1992-12-16
US07/990,991 US5445898A (en) 1992-12-16 1992-12-16 Sunlight viewable thin film electroluminescent display
PCT/US1993/012139 WO1994014299A1 (en) 1992-12-16 1993-12-13 Sunlight viewable thin film electroluminescent display

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH08509833A true JPH08509833A (ja) 1996-10-15

Family

ID=25536729

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP6514474A Pending JPH08509833A (ja) 1992-12-16 1993-12-13 昼光下で視やすい薄膜elディスプレイ

Country Status (7)

Country Link
US (1) US5445898A (ja)
EP (1) EP0674826A1 (ja)
JP (1) JPH08509833A (ja)
KR (1) KR960700622A (ja)
CA (1) CA2151466A1 (ja)
RU (1) RU2131647C1 (ja)
WO (1) WO1994014299A1 (ja)

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5445899A (en) * 1992-12-16 1995-08-29 Westinghouse Norden Systems Corp. Color thin film electroluminescent display
US5504389A (en) * 1994-03-08 1996-04-02 Planar Systems, Inc. Black electrode TFEL display
US5578225A (en) * 1995-01-19 1996-11-26 Industrial Technology Research Institute Inversion-type FED method
US5994721A (en) 1995-06-06 1999-11-30 Ois Optical Imaging Systems, Inc. High aperture LCD with insulating color filters overlapping bus lines on active substrate
US5641974A (en) * 1995-06-06 1997-06-24 Ois Optical Imaging Systems, Inc. LCD with bus lines overlapped by pixel electrodes and photo-imageable insulating layer therebetween
US5668437A (en) * 1996-05-14 1997-09-16 Micro Display Technology, Inc. Praseodymium-manganese oxide layer for use in field emission displays
US5986391A (en) * 1998-03-09 1999-11-16 Feldman Technology Corporation Transparent electrodes
US6771019B1 (en) * 1999-05-14 2004-08-03 Ifire Technology, Inc. Electroluminescent laminate with patterned phosphor structure and thick film dielectric with improved dielectric properties
US6843697B2 (en) 1999-06-25 2005-01-18 Micron Display Technology, Inc. Black matrix for flat panel field emission displays
TW522752B (en) * 2000-10-20 2003-03-01 Toshiba Corp Self-luminous display panel and method of manufacturing the same
BE1015374A3 (ja) 2003-02-21 2005-02-01 Boucherie Nv G B
TWI475737B (zh) 2006-03-08 2015-03-01 Semiconductor Energy Lab 發光元件、發光裝置及電子裝置
WO2008072148A2 (en) * 2006-12-12 2008-06-19 Philips Intellectual Property & Standards Gmbh Voltage-operated layered arrangement
JP2008293772A (ja) * 2007-05-24 2008-12-04 Panasonic Corp プラズマディスプレイパネル及びその製造方法、並びにプラズマディスプレイパネル
KR100964225B1 (ko) * 2008-03-19 2010-06-17 삼성모바일디스플레이주식회사 유기 발광 디스플레이 장치
KR100927587B1 (ko) * 2008-04-30 2009-11-23 삼성모바일디스플레이주식회사 액정 표시 장치
WO2010024006A1 (ja) * 2008-09-01 2010-03-04 シャープ株式会社 有機エレクトロルミネセンスパネル、有機エレクトロルミネセンスディスプレイ、有機エレクトロルミネセンス照明、及び、それらの製造方法

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3560784A (en) * 1968-07-26 1971-02-02 Sigmatron Inc Dark field, high contrast light emitting display
US4287449A (en) * 1978-02-03 1981-09-01 Sharp Kabushiki Kaisha Light-absorption film for rear electrodes of electroluminescent display panel
US4547702A (en) * 1983-10-11 1985-10-15 Gte Products Corporation Thin film electroluminscent display device
US4602189A (en) * 1983-10-13 1986-07-22 Sigmatron Nova, Inc. Light sink layer for a thin-film EL display panel
DE3561435D1 (en) * 1984-03-23 1988-02-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd Thin film el panel
US4613793A (en) * 1984-08-06 1986-09-23 Sigmatron Nova, Inc. Light emission enhancing dielectric layer for EL panel
US4740781A (en) * 1985-02-08 1988-04-26 Itt Gilfillan Touch panel data entry device for thin film electroluminescent panels
JPS61284092A (ja) * 1985-06-07 1986-12-15 アルプス電気株式会社 薄膜el表示素子
US4870322A (en) * 1986-04-15 1989-09-26 Hoya Corporation Electroluminescent panel having a layer of germanium nitride between an electroluminescent layer and a back electrode
US4963788A (en) * 1988-07-14 1990-10-16 Planar Systems, Inc. Thin film electroluminescent display with improved contrast
KR930010129B1 (ko) * 1990-10-31 1993-10-14 주식회사 금성사 박막 el 표시소자의 제조방법 및 구조
US5559399A (en) * 1992-06-11 1996-09-24 Norden Systems, Inc. Low resistance, thermally stable electrode structure for electroluminescent displays

Also Published As

Publication number Publication date
CA2151466A1 (en) 1994-06-23
KR960700622A (ko) 1996-01-20
WO1994014299A1 (en) 1994-06-23
US5445898A (en) 1995-08-29
EP0674826A1 (en) 1995-10-04
RU2131647C1 (ru) 1999-06-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH08509833A (ja) 昼光下で視やすい薄膜elディスプレイ
US5400047A (en) High brightness thin film electroluminescent display with low OHM electrodes
US5517080A (en) Sunlight viewable thin film electroluminescent display having a graded layer of light absorbing dark material
EP0645073B1 (en) Low resistance, thermally stable electrode structure for electroluminescent displays
RU2131174C1 (ru) Цветная электролюминесцентная индикаторная панель (варианты)
US5521465A (en) Sunlight viewable thin film electroluminscent display having darkened metal electrodes
JPH08509834A (ja) 高コントラスト薄膜elディスプレイ
JPH10206889A (ja) アクティブマトリクス型液晶表示装置及びその製造方法
JPH10239704A (ja) 反射型液晶表示装置およびその製造方法
JPH01144595A (ja) 薄膜el素子
JPH0666155B2 (ja) 電極の形成方法
JPH0460317B2 (ja)
JPH0460318B2 (ja)
JPH07106067A (ja) 薄膜エレクトロルミネセンス素子およびその製造方法
JPS6252888A (ja) 薄膜el素子
JPH02207487A (ja) 薄膜el素子の形成方法
JPS6180793A (ja) 薄膜el素子
JPH03119691A (ja) 薄膜エレクトロルミネッセンス素子
JPH0744074B2 (ja) 薄膜el素子
JPS58216392A (ja) 薄膜el素子
JPS61211994A (ja) 薄膜el素子
JPH01122596A (ja) 薄膜elパネル