JPH084829A - 除振台位置制御方法 - Google Patents
除振台位置制御方法Info
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- JPH084829A JPH084829A JP14172594A JP14172594A JPH084829A JP H084829 A JPH084829 A JP H084829A JP 14172594 A JP14172594 A JP 14172594A JP 14172594 A JP14172594 A JP 14172594A JP H084829 A JPH084829 A JP H084829A
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- Vibration Prevention Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 除振台１の制御対象物が静止状態のときに、
制御対象物の相対位置に固定された水平方向変位センサ
４ａ、４ｂにより検出された各検出距離の変位信号
Ｓ1、Ｓ2を目標値として予め制御回路６に記憶させる。
そして、制御対象物が水平方向に変位したときに、制御
回路６は水平方向変位センサ４ａ、４ｂにより検出され
る各検出距離を制御回路６に記憶された目標値に制御す
るために、制御回路６からの制御信号Ｓ3に基づき電気
空圧アナログ弁７を介して水平方向アクチュエータ５
ａ、５ｂをフィードバック制御させる。したがって、制
御対象物を必ず静止基準点の位置に位置制御することが
できる。 【効果】 これにより除振台の調整作業の大幅な省力化
を図ることができ、また、制御系の品質を向上させるこ
とができる。
制御対象物の相対位置に固定された水平方向変位センサ
４ａ、４ｂにより検出された各検出距離の変位信号
Ｓ1、Ｓ2を目標値として予め制御回路６に記憶させる。
そして、制御対象物が水平方向に変位したときに、制御
回路６は水平方向変位センサ４ａ、４ｂにより検出され
る各検出距離を制御回路６に記憶された目標値に制御す
るために、制御回路６からの制御信号Ｓ3に基づき電気
空圧アナログ弁７を介して水平方向アクチュエータ５
ａ、５ｂをフィードバック制御させる。したがって、制
御対象物を必ず静止基準点の位置に位置制御することが
できる。 【効果】 これにより除振台の調整作業の大幅な省力化
を図ることができ、また、制御系の品質を向上させるこ
とができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は除振台位置制御方法に係
り、特に、制御対象物に水平方向の制御力を注入して水
平方向の位置制御を行なう除振台位置制御方法に関す
る。
り、特に、制御対象物に水平方向の制御力を注入して水
平方向の位置制御を行なう除振台位置制御方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来から、基礎または床である支持体上
に空気バネで支持された精密機器が搭載された定盤のよ
うな制御対象物の水平方向の位置制御は、制御対象物に
水平方向変位センサを搭載して水平方向の変位を検出さ
せ、この変位信号が電気空圧アナログ弁に入力され、電
気空圧アナログ弁が開閉され、空気を水平方向の位置制
御用の空気バネに給気、また空気バネから空気を排気す
ることにより行なわれている。また、電気空圧アナログ
弁を制御するために線形フィードバック制御や線形フィ
ードフォワード制御の理論を用いた制御回路が使用され
ている。
に空気バネで支持された精密機器が搭載された定盤のよ
うな制御対象物の水平方向の位置制御は、制御対象物に
水平方向変位センサを搭載して水平方向の変位を検出さ
せ、この変位信号が電気空圧アナログ弁に入力され、電
気空圧アナログ弁が開閉され、空気を水平方向の位置制
御用の空気バネに給気、また空気バネから空気を排気す
ることにより行なわれている。また、電気空圧アナログ
弁を制御するために線形フィードバック制御や線形フィ
ードフォワード制御の理論を用いた制御回路が使用され
ている。
【０００３】この制御対象物の水平方向の変位を検出す
る水平方向変位センサを制御対象物に搭載するには、制
御対象物に水平方向の制御力を注入しない状態でこの制
御対象物を静止させる。この際、図４（ａ）、（ｂ）に
示すように、制御対象物１１は常に支持体１２の所定位
置に静止することになる。この制御対象物１１の静止位
置を基準にして、水平方向変位センサ１３ａ、１３ｂを
制御対象物１１の相対位置にそれぞれ取付ける。水平方
向変位センサ１３ａ、１３ｂの取付位置は、支持体１２
の側面１２ａ、１２ｂに対して水平方向変位センサ１３
ａ、１３ｂの検出可能範囲の中央値、例えば５ｍｍを検
出距離とすることができる位置とする。この検出距離５
ｍｍが制御対象物１１を制御するための目標値となる。
る水平方向変位センサを制御対象物に搭載するには、制
御対象物に水平方向の制御力を注入しない状態でこの制
御対象物を静止させる。この際、図４（ａ）、（ｂ）に
示すように、制御対象物１１は常に支持体１２の所定位
置に静止することになる。この制御対象物１１の静止位
置を基準にして、水平方向変位センサ１３ａ、１３ｂを
制御対象物１１の相対位置にそれぞれ取付ける。水平方
向変位センサ１３ａ、１３ｂの取付位置は、支持体１２
の側面１２ａ、１２ｂに対して水平方向変位センサ１３
ａ、１３ｂの検出可能範囲の中央値、例えば５ｍｍを検
出距離とすることができる位置とする。この検出距離５
ｍｍが制御対象物１１を制御するための目標値となる。
【０００４】したがって、制御対象物１１が水平方向に
変位すると、図５に示すように、制御対象物１１の相対
位置に取付けられた水平方向変位センサ１３ａ、１３ｂ
からの変位信号に基づき電気空圧アナログ弁１６が開閉
され、空気を対向する空気バネ１４ａ、１４ｂに給気、
また空気バネ１４ａ、１４ｂから空気を排気することに
よって制御する。
変位すると、図５に示すように、制御対象物１１の相対
位置に取付けられた水平方向変位センサ１３ａ、１３ｂ
からの変位信号に基づき電気空圧アナログ弁１６が開閉
され、空気を対向する空気バネ１４ａ、１４ｂに給気、
また空気バネ１４ａ、１４ｂから空気を排気することに
よって制御する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】このような水平方向変
位センサ１３ａ、１３ｂは、検出距離が目標値に定まる
ようにスペーサ等を用いて厳密に取付けられるが、人間
の勘に頼って行なっているので、どうしても取付誤差が
生じてしまう。例えば水平方向変位センサ１３ａ、１３
ｂの検出距離である現在値をｄ1、ｄ2とする。この水平
方向変位センサ１３ａ、１３ｂの現在値がｄ1＝５ｍ
ｍ、ｄ2＝５ｍｍになるように制御対象物１１に対して
水平方向変位センサ１３ａ、１３ｂを取付けたつもり
が、ｄ1＝５．１ｍｍ、ｄ2＝５．１ｍｍになっていたと
する。この状態で線形フィードバック制御や線形フィー
ドフォワード制御の理論を用いた制御回路１５によって
目標値５ｍｍに制御すると、制御対象物１１は支持体１
２の所定位置に静止するように制御されるが、この支持
体１２の所定位置においては水平方向変位センサ１３
ａ、１３ｂの現在値はｄ1＝５．１ｍｍ、ｄ2＝５．１ｍ
ｍになっている。
位センサ１３ａ、１３ｂは、検出距離が目標値に定まる
ようにスペーサ等を用いて厳密に取付けられるが、人間
の勘に頼って行なっているので、どうしても取付誤差が
生じてしまう。例えば水平方向変位センサ１３ａ、１３
ｂの検出距離である現在値をｄ1、ｄ2とする。この水平
方向変位センサ１３ａ、１３ｂの現在値がｄ1＝５ｍ
ｍ、ｄ2＝５ｍｍになるように制御対象物１１に対して
水平方向変位センサ１３ａ、１３ｂを取付けたつもり
が、ｄ1＝５．１ｍｍ、ｄ2＝５．１ｍｍになっていたと
する。この状態で線形フィードバック制御や線形フィー
ドフォワード制御の理論を用いた制御回路１５によって
目標値５ｍｍに制御すると、制御対象物１１は支持体１
２の所定位置に静止するように制御されるが、この支持
体１２の所定位置においては水平方向変位センサ１３
ａ、１３ｂの現在値はｄ1＝５．１ｍｍ、ｄ2＝５．１ｍ
ｍになっている。
【０００６】したがって、制御回路１５はこの水平方向
変位センサ１３ａ、１３ｂの現在値ｄ1＝５．１ｍｍ、
ｄ2＝５．１ｍｍをそれぞれ目標値５ｍｍになるように
電気空圧アナログ弁１６を介して空気バネ１４ａ、１４
ｂを制御する。しかし、水平方向変位センサ１３ａ、１
３ｂによって検出された各現在値が目標値５ｍｍより大
きくなるので、制御回路１５は電気空圧アナログ弁１６
を介して対向する各空気バネ１４ａ、１４ｂの圧力を下
げることになり、制御不能状態に陥る問題点があった。
変位センサ１３ａ、１３ｂの現在値ｄ1＝５．１ｍｍ、
ｄ2＝５．１ｍｍをそれぞれ目標値５ｍｍになるように
電気空圧アナログ弁１６を介して空気バネ１４ａ、１４
ｂを制御する。しかし、水平方向変位センサ１３ａ、１
３ｂによって検出された各現在値が目標値５ｍｍより大
きくなるので、制御回路１５は電気空圧アナログ弁１６
を介して対向する各空気バネ１４ａ、１４ｂの圧力を下
げることになり、制御不能状態に陥る問題点があった。
【０００７】また、水平方向変位センサ１３ａ、１３ｂ
の現在値がｄ1＝５ｍｍ、ｄ2＝５ｍｍになるように制御
対象物１１に対して取付けたつもりが、ｄ1＝４．９ｍ
ｍ、ｄ2＝４．９ｍｍになっていた場合には、水平方向
変位センサ１３ａ、１３ｂによって検出された各現在値
が目標値５ｍｍより小さくなるので、制御回路１５は電
気空圧アナログ弁１６を介して対向する各空気バネ１４
ａ、１４ｂの圧力を上げことになり、やはり制御不能状
態に陥る問題点があった。
の現在値がｄ1＝５ｍｍ、ｄ2＝５ｍｍになるように制御
対象物１１に対して取付けたつもりが、ｄ1＝４．９ｍ
ｍ、ｄ2＝４．９ｍｍになっていた場合には、水平方向
変位センサ１３ａ、１３ｂによって検出された各現在値
が目標値５ｍｍより小さくなるので、制御回路１５は電
気空圧アナログ弁１６を介して対向する各空気バネ１４
ａ、１４ｂの圧力を上げことになり、やはり制御不能状
態に陥る問題点があった。
【０００８】なお、水平方向変位センサ１３ａ、１３ｂ
の取付けた位置が目標値と異なる場合には、目標値を各
水平方向変位センサ１３ａ、１３ｂの現在値に調整しな
ければならない。
の取付けた位置が目標値と異なる場合には、目標値を各
水平方向変位センサ１３ａ、１３ｂの現在値に調整しな
ければならない。
【０００９】
【目的】本発明は、このような従来の問題点を解決する
ためになされたもので、制御対象物に固定された水平方
向変位センサの取付精度に係わらず、制御対象物を確実
に制御することができる除振台位置制御方法を提供する
ことを目的とする。
ためになされたもので、制御対象物に固定された水平方
向変位センサの取付精度に係わらず、制御対象物を確実
に制御することができる除振台位置制御方法を提供する
ことを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
る本発明の除振台位置制御方法は、基礎、床または地盤
等である設置面上に位置する制御対象物の相対位置に固
定された少なくとも２つ以上の水平方向変位センサから
出力される水平方向の変位信号に基づき制御対象物を水
平方向アクチュエータによって水平方向に制御する除振
台位置制御方法において、制御対象物が静止状態のとき
に各水平方向変位センサにより検出される各検出距離を
目標値として予め記憶手段に記憶させ、制御対象物が水
平方向に変位したときに各水平方向変位センサにより検
出される各検出距離を記憶手段に記憶された目標値に制
御するものである。
る本発明の除振台位置制御方法は、基礎、床または地盤
等である設置面上に位置する制御対象物の相対位置に固
定された少なくとも２つ以上の水平方向変位センサから
出力される水平方向の変位信号に基づき制御対象物を水
平方向アクチュエータによって水平方向に制御する除振
台位置制御方法において、制御対象物が静止状態のとき
に各水平方向変位センサにより検出される各検出距離を
目標値として予め記憶手段に記憶させ、制御対象物が水
平方向に変位したときに各水平方向変位センサにより検
出される各検出距離を記憶手段に記憶された目標値に制
御するものである。
【００１１】
【作用】この除振台位置制御方法によれば、制御対象物
が静止状態のときに各水平方向変位センサにより検出さ
れる各検出距離を目標値として予め記憶手段に記憶させ
る。そして、制御対象物が水平方向に変位したときに各
水平方向変位センサにより検出される各検出距離を、記
憶手段に記憶された目標値に制御する。
が静止状態のときに各水平方向変位センサにより検出さ
れる各検出距離を目標値として予め記憶手段に記憶させ
る。そして、制御対象物が水平方向に変位したときに各
水平方向変位センサにより検出される各検出距離を、記
憶手段に記憶された目標値に制御する。
【００１２】
【実施例】以下、本発明による除振台位置制御方法の一
実施例について図面を参照して説明する。図３（ａ）、
（ｂ）において、本発明の除振台位置制御方法を適用し
た除振台１は、基礎または床である設置面としての支持
体２上に空気バネ（図示せず）で支持された精密機器が
搭載された定盤のような制御対象物３が設けられてい
る。制御対象物３には水平方向の変位を検出して水平方
向の変位信号を出力する非接触水平方向変位センサ４
ａ、４ｂが制御対象物３の相対位置に取付けられる。こ
の非接触水平方向変位センサ４ａ、４ｂの検出距離は、
支持体２の側面２ａ、２ｂ迄の検出距離で、この各検出
距離は非接触水平方向変位センサ４ａ、４ｂの検出可能
範囲の中央値を検出距離として非接触水平方向変位セン
サ４ａ、４ｂを制御対象物３に取付けている。なお、非
接触水平方向変位センサ４ａ、４ｂとしては、例えば、
渦電流素子、差動トランス、ＬＥＤ、レーザー素子等が
採用できる。
実施例について図面を参照して説明する。図３（ａ）、
（ｂ）において、本発明の除振台位置制御方法を適用し
た除振台１は、基礎または床である設置面としての支持
体２上に空気バネ（図示せず）で支持された精密機器が
搭載された定盤のような制御対象物３が設けられてい
る。制御対象物３には水平方向の変位を検出して水平方
向の変位信号を出力する非接触水平方向変位センサ４
ａ、４ｂが制御対象物３の相対位置に取付けられる。こ
の非接触水平方向変位センサ４ａ、４ｂの検出距離は、
支持体２の側面２ａ、２ｂ迄の検出距離で、この各検出
距離は非接触水平方向変位センサ４ａ、４ｂの検出可能
範囲の中央値を検出距離として非接触水平方向変位セン
サ４ａ、４ｂを制御対象物３に取付けている。なお、非
接触水平方向変位センサ４ａ、４ｂとしては、例えば、
渦電流素子、差動トランス、ＬＥＤ、レーザー素子等が
採用できる。
【００１３】ここで、制御対象物３とは、定盤のような
被除振質量のみならず、これに搭載されたステッパ（縮
小投影型露光機）のようなＩＣ、ＬＳＩの半導体製造・
検査装置、電子顕微鏡、光応用装置等の精密機器が含ま
れるものである。また、この除振台１は図１に示すよう
に、非接触水平方向変位センサ４ａ、４ｂからの水平方
向の変位信号Ｓ1、Ｓ2により駆動され制御対象物３に水
平方向の変位制御力Ｆ1、Ｆ2を注入する水平方向アクチ
ュエータ５ａ、５ｂを備えている。水平方向アクチュエ
ータ５ａ、５ｂとしては空気バネ、空圧シリンダ等が採
用される。
被除振質量のみならず、これに搭載されたステッパ（縮
小投影型露光機）のようなＩＣ、ＬＳＩの半導体製造・
検査装置、電子顕微鏡、光応用装置等の精密機器が含ま
れるものである。また、この除振台１は図１に示すよう
に、非接触水平方向変位センサ４ａ、４ｂからの水平方
向の変位信号Ｓ1、Ｓ2により駆動され制御対象物３に水
平方向の変位制御力Ｆ1、Ｆ2を注入する水平方向アクチ
ュエータ５ａ、５ｂを備えている。水平方向アクチュエ
ータ５ａ、５ｂとしては空気バネ、空圧シリンダ等が採
用される。
【００１４】なお、変位を検出する水平方向は二次元で
あるので、水平方向の変位信号Ｓ1、Ｓ2を出力する非接
触水平方向変位センサ４ａ、４ｂから水平方向アクチュ
エータ５ａ、５ｂに至る制御系もＸ、Ｙ方向にそれぞれ
設けられる。この除振台１の制御系は非接触水平方向変
位センサ４ａ、４ｂからの水平方向の変位信号Ｓ1、Ｓ2
を処理して制御信号Ｓ3を生成する記憶手段である制御
回路６と、制御回路６からの制御信号Ｓ3により駆動す
る電気空圧アナログ弁７とから成る。電気空圧アナログ
弁７は制御回路６からの制御信号Ｓ3に基づき空気を水
平方向アクチュエータ５ａ、５ｂに給気、水平方向アク
チュエータ５ａ、５ｂから空気を排気させる。この電気
空圧アナログ弁７にはコンプレッサ（図示せず）などの
空圧源から圧縮された空気が印加されている。したがっ
て、水平方向アクチュエータ５ａ、５ｂは電気空圧アナ
ログ弁７からの圧縮された空気で、制御対象物３に水平
方向の変位制御力Ｆ1、Ｆ2を与える。
あるので、水平方向の変位信号Ｓ1、Ｓ2を出力する非接
触水平方向変位センサ４ａ、４ｂから水平方向アクチュ
エータ５ａ、５ｂに至る制御系もＸ、Ｙ方向にそれぞれ
設けられる。この除振台１の制御系は非接触水平方向変
位センサ４ａ、４ｂからの水平方向の変位信号Ｓ1、Ｓ2
を処理して制御信号Ｓ3を生成する記憶手段である制御
回路６と、制御回路６からの制御信号Ｓ3により駆動す
る電気空圧アナログ弁７とから成る。電気空圧アナログ
弁７は制御回路６からの制御信号Ｓ3に基づき空気を水
平方向アクチュエータ５ａ、５ｂに給気、水平方向アク
チュエータ５ａ、５ｂから空気を排気させる。この電気
空圧アナログ弁７にはコンプレッサ（図示せず）などの
空圧源から圧縮された空気が印加されている。したがっ
て、水平方向アクチュエータ５ａ、５ｂは電気空圧アナ
ログ弁７からの圧縮された空気で、制御対象物３に水平
方向の変位制御力Ｆ1、Ｆ2を与える。
【００１５】この電気空圧アナログ弁７を制御する制御
回路６の動作は図２に示すように、制御対象物３が静止
状態において制御回路６を駆動させると、制御回路６は
非接触水平方向変位センサ４ａ、４ｂの各検出距離であ
る現在値を読み込みｄ1、ｄ2と記憶する（ステップ１０
１）。この記憶されたｄ1、ｄ2をそれぞれ制御対象物３
の位置制御の目標値ｒ1、ｒ2とする（ステップ１０
２）。この制御対象物３における水平方向の静止基準点
において制御対象物３が変位すると、制御回路６は制御
対象物３の変位による非接触水平方向変位センサ４ａ、
４ｂの各検出距離である現在値ｄ1′、ｄ2′と目標値ｒ
1、ｒ2とを比較し、非接触水平方向変位センサ４ａ、４
ｂの各現在値ｄ1′、ｄ2′が目標値ｒ1、ｒ2になるまで
フィードバック制御される（ステップ１０３、１０
４）。このような制御回路６はマイクロコンピュータが
使用される。
回路６の動作は図２に示すように、制御対象物３が静止
状態において制御回路６を駆動させると、制御回路６は
非接触水平方向変位センサ４ａ、４ｂの各検出距離であ
る現在値を読み込みｄ1、ｄ2と記憶する（ステップ１０
１）。この記憶されたｄ1、ｄ2をそれぞれ制御対象物３
の位置制御の目標値ｒ1、ｒ2とする（ステップ１０
２）。この制御対象物３における水平方向の静止基準点
において制御対象物３が変位すると、制御回路６は制御
対象物３の変位による非接触水平方向変位センサ４ａ、
４ｂの各検出距離である現在値ｄ1′、ｄ2′と目標値ｒ
1、ｒ2とを比較し、非接触水平方向変位センサ４ａ、４
ｂの各現在値ｄ1′、ｄ2′が目標値ｒ1、ｒ2になるまで
フィードバック制御される（ステップ１０３、１０
４）。このような制御回路６はマイクロコンピュータが
使用される。
【００１６】このように構成された除振台１の位置制御
方法について説明する。除振台１の制御対象物３の静止
位置を基準（静止基準点）にして、非接触水平方向変位
センサ４ａ、４ｂを制御対象物３の相対位置にそれぞれ
取付ける。非接触水平方向変位センサ４ａ、４ｂの取付
け位置は、支持体２の側面２ａ、２ｂに対して非接触水
平方向変位センサ４ａ、４ｂの検出可能範囲の中央値、
例えば５ｍｍを現在値ｄ1、ｄ2とすることができる位置
とする。
方法について説明する。除振台１の制御対象物３の静止
位置を基準（静止基準点）にして、非接触水平方向変位
センサ４ａ、４ｂを制御対象物３の相対位置にそれぞれ
取付ける。非接触水平方向変位センサ４ａ、４ｂの取付
け位置は、支持体２の側面２ａ、２ｂに対して非接触水
平方向変位センサ４ａ、４ｂの検出可能範囲の中央値、
例えば５ｍｍを現在値ｄ1、ｄ2とすることができる位置
とする。
【００１７】ここで非接触水平方向変位センサ４ａ、４
ｂによって検出される現在値がｄ1＝５ｍｍ、ｄ2＝５ｍ
ｍになるように制御対象物３に対して取付けたつもり
が、ｄ1＝５．１ｍｍ、ｄ2＝５．２ｍｍになっていたと
する。このような制御対象物３における水平方向の静止
基準点（ｄ1＝５．１ｍｍ、ｄ2＝５．２ｍｍ）におい
て、位置制御を開始するために制御回路６を駆動させ
る。この時には制御対象物３は静止状態なので、制御回
路６は非接触水平方向変位センサ４ａ、４ｂから入力さ
れる現在値の水平方向の変位信号Ｓ1、Ｓ2を読み込みｄ
1＝５．１ｍｍ、ｄ2＝５．２ｍｍと記憶する。そして、
制御回路６はこの記憶されたｄ1＝５．１ｍｍ、ｄ2＝
５．２ｍｍをそれぞれ制御対象物３の位置制御の目標値
ｒ1＝ｄ1＝５．１ｍｍ、ｒ2＝ｄ2＝５．２ｍｍとする。
ｂによって検出される現在値がｄ1＝５ｍｍ、ｄ2＝５ｍ
ｍになるように制御対象物３に対して取付けたつもり
が、ｄ1＝５．１ｍｍ、ｄ2＝５．２ｍｍになっていたと
する。このような制御対象物３における水平方向の静止
基準点（ｄ1＝５．１ｍｍ、ｄ2＝５．２ｍｍ）におい
て、位置制御を開始するために制御回路６を駆動させ
る。この時には制御対象物３は静止状態なので、制御回
路６は非接触水平方向変位センサ４ａ、４ｂから入力さ
れる現在値の水平方向の変位信号Ｓ1、Ｓ2を読み込みｄ
1＝５．１ｍｍ、ｄ2＝５．２ｍｍと記憶する。そして、
制御回路６はこの記憶されたｄ1＝５．１ｍｍ、ｄ2＝
５．２ｍｍをそれぞれ制御対象物３の位置制御の目標値
ｒ1＝ｄ1＝５．１ｍｍ、ｒ2＝ｄ2＝５．２ｍｍとする。
【００１８】この制御対象物３の位置制御の目標値ｒ1
＝ｄ1＝５．１ｍｍ、ｒ2＝ｄ2＝５．２ｍｍが制御信号
Ｓ3として電気空圧アナログ弁７に入力され、電気空圧
アナログ弁７はこの制御信号Ｓ3に基づき非接触水平方
向変位センサ４ａ、４ｂにそれぞれ対応した水平方向ア
クチュエータ５ａ、５ｂに空気を給気、水平方向アクチ
ュエータ５ａ、５ｂから空気を排気させることにより除
振台１をフィードバック制御させる。
＝ｄ1＝５．１ｍｍ、ｒ2＝ｄ2＝５．２ｍｍが制御信号
Ｓ3として電気空圧アナログ弁７に入力され、電気空圧
アナログ弁７はこの制御信号Ｓ3に基づき非接触水平方
向変位センサ４ａ、４ｂにそれぞれ対応した水平方向ア
クチュエータ５ａ、５ｂに空気を給気、水平方向アクチ
ュエータ５ａ、５ｂから空気を排気させることにより除
振台１をフィードバック制御させる。
【００１９】これにより、非接触水平方向変位センサ４
ａ、４ｂによって検出される現在値と、制御対象物３の
位置制御の目標値とを確実に一致させることができるの
で、水平方向アクチュエータ５ａの内圧が上昇している
ときには、水平方向アクチュエータ５ｂの内圧を下降さ
せ、また水平方向アクチュエータ５ａの内圧が下降して
いるときには、水平方向アクチュエータ５ｂの内圧を上
昇させることができるので、制御対象物３は必ず静止基
準点の位置に静止するように位置制御される。
ａ、４ｂによって検出される現在値と、制御対象物３の
位置制御の目標値とを確実に一致させることができるの
で、水平方向アクチュエータ５ａの内圧が上昇している
ときには、水平方向アクチュエータ５ｂの内圧を下降さ
せ、また水平方向アクチュエータ５ａの内圧が下降して
いるときには、水平方向アクチュエータ５ｂの内圧を上
昇させることができるので、制御対象物３は必ず静止基
準点の位置に静止するように位置制御される。
【００２０】
【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明の除振台位置制御方法によれば、基礎、床または地盤
等である設置面上に位置する制御対象物の相対位置に固
定された少なくとも２つ以上の水平方向変位センサから
出力される水平方向の変位信号に基づき制御対象物を水
平方向アクチュエータによって水平方向に制御する除振
台位置制御方法において、制御対象物が静止状態のとき
に各水平方向変位センサにより検出される各検出距離を
目標値として予め記憶手段に記憶させ、制御対象物が水
平方向に変位したときに各水平方向変位センサにより検
出される各検出距離を記憶手段に記憶された目標値に制
御するので、各水平方向変位センサをスペーサ等を用い
て厳密に調整することなく取付けることができ、また、
制御対象物を静止状態での位置に制御することができ、
さらに、制御系が制御不能状態に陥ることを確実に防止
することができる。
明の除振台位置制御方法によれば、基礎、床または地盤
等である設置面上に位置する制御対象物の相対位置に固
定された少なくとも２つ以上の水平方向変位センサから
出力される水平方向の変位信号に基づき制御対象物を水
平方向アクチュエータによって水平方向に制御する除振
台位置制御方法において、制御対象物が静止状態のとき
に各水平方向変位センサにより検出される各検出距離を
目標値として予め記憶手段に記憶させ、制御対象物が水
平方向に変位したときに各水平方向変位センサにより検
出される各検出距離を記憶手段に記憶された目標値に制
御するので、各水平方向変位センサをスペーサ等を用い
て厳密に調整することなく取付けることができ、また、
制御対象物を静止状態での位置に制御することができ、
さらに、制御系が制御不能状態に陥ることを確実に防止
することができる。
【００２１】これにより、除振台の調整作業の大幅な省
力化を図ることができ、また、制御系の品質を向上させ
ることができる。
力化を図ることができ、また、制御系の品質を向上させ
ることができる。
【図１】本発明の除振台位置制御方法を適用した除振台
のブロック図。
のブロック図。
【図２】本発明の除振台位置制御方法のフローチャート
図。
図。
【図３】本発明の除振台位置制御方法を適用した除振台
の図で、（ａ）は上部断面図、（ｂ）は側面図。
の図で、（ａ）は上部断面図、（ｂ）は側面図。
【図４】従来の除振台の図で、（ａ）は上部断面図、
（ｂ）は側面図。
（ｂ）は側面図。
【図５】従来の除振台のブロック図。
１…除振台 ２…支持体（設置面） ３…制御対象物 ４ａ、４ｂ…非接触水平方向変位センサ ５ａ、５ｂ…水平方向アクチュエータ ６…制御回路（記憶手段） ７…電気空圧アナログ弁 ｄ1、ｄ2…検出距離 ｒ1、ｒ2…目標値
Claims (1)
- 【請求項１】基礎、床または地盤等である設置面上に位
置する制御対象物の相対位置に固定された少なくとも２
つ以上の水平方向変位センサから出力される水平方向の
変位信号に基づき前記制御対象物を水平方向アクチュエ
ータによって水平方向に制御する除振台位置制御方法に
おいて、前記制御対象物が静止状態のときに前記各水平
方向変位センサにより検出される各検出距離を目標値と
して予め記憶手段に記憶させ、前記制御対象物が水平方
向に変位したときに前記各水平方向変位センサにより検
出される各検出距離を前記記憶手段に記憶された前記目
標値に制御することを特徴とする除振台位置制御方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14172594A JPH084829A (ja) | 1994-06-23 | 1994-06-23 | 除振台位置制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14172594A JPH084829A (ja) | 1994-06-23 | 1994-06-23 | 除振台位置制御方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH084829A true JPH084829A (ja) | 1996-01-12 |
Family
ID=15298760
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14172594A Pending JPH084829A (ja) | 1994-06-23 | 1994-06-23 | 除振台位置制御方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH084829A (ja) |
-
1994
- 1994-06-23 JP JP14172594A patent/JPH084829A/ja active Pending
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20040122 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040413 |
|
| A521 | Written amendment |
Effective date: 20040611 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040706 |