JPH0845046A - 浮上磁気ヘッド用スライダのテーパ部形成方法 - Google Patents
浮上磁気ヘッド用スライダのテーパ部形成方法Info
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- JPH0845046A JPH0845046A JP6197411A JP19741194A JPH0845046A JP H0845046 A JPH0845046 A JP H0845046A JP 6197411 A JP6197411 A JP 6197411A JP 19741194 A JP19741194 A JP 19741194A JP H0845046 A JPH0845046 A JP H0845046A
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- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明は、テーパ部が容易に且つ正確に形成さ
れ得るようにした、浮上磁気ヘッド用スライダのテーパ
部形成方法を提供することを目的とする。 【構成】複数個の浮上磁気ヘッド用スライダを、その浮
上面のリーディングエッジが最下端に位置するように、
支持台１１上に並んで取り付け、垂直軸の周りに回転駆
動する上面が平坦な円板１４上を一側に向かって張力を
もって走行する研磨テープ１３の表面に、当接させるこ
とにより、テーパ部１６ａを形成するように、浮上磁気
ヘッド用スライダのテーパ部形成方法を構成する。
れ得るようにした、浮上磁気ヘッド用スライダのテーパ
部形成方法を提供することを目的とする。 【構成】複数個の浮上磁気ヘッド用スライダを、その浮
上面のリーディングエッジが最下端に位置するように、
支持台１１上に並んで取り付け、垂直軸の周りに回転駆
動する上面が平坦な円板１４上を一側に向かって張力を
もって走行する研磨テープ１３の表面に、当接させるこ
とにより、テーパ部１６ａを形成するように、浮上磁気
ヘッド用スライダのテーパ部形成方法を構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えばハードディスク
ドライブ装置等の磁気記録・再生装置で使用される、浮
上磁気ヘッド用スライダの製造方法に関するものであ
る。
ドライブ装置等の磁気記録・再生装置で使用される、浮
上磁気ヘッド用スライダの製造方法に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、例えばハードディスクドライブ装
置用の浮上磁気ヘッドは、例えば図２に示すように構成
されている。即ち、図２において、浮上磁気ヘッド１
は、スライダ２と、該スライダ２の一端に取り付けられ
た薄膜ヘッドとして構成されたヘッド本体３，４とを含
んでいる。
置用の浮上磁気ヘッドは、例えば図２に示すように構成
されている。即ち、図２において、浮上磁気ヘッド１
は、スライダ２と、該スライダ２の一端に取り付けられ
た薄膜ヘッドとして構成されたヘッド本体３，４とを含
んでいる。
【０００３】上記スライダ２は、図示のようにその下面
の両側に、ＡＢＳ（エアベアリングサーフェース）とし
て作用する浮上面５，６が形成されていると共に、該浮
上面５，６のリーディングエッジ側には、テーパ部５
ａ，６ａが備えられている。
の両側に、ＡＢＳ（エアベアリングサーフェース）とし
て作用する浮上面５，６が形成されていると共に、該浮
上面５，６のリーディングエッジ側には、テーパ部５
ａ，６ａが備えられている。
【０００４】このように構成された浮上磁気ヘッド１に
よれば、浮上磁気ヘッド１が、回転する磁気ディスク
（図示せず）の表面に接近したとき、該磁気ディスクの
回転により、スライダ２の浮上面５，６と磁気ディスク
の表面との間に流入する空気流によって、スライダ２が
浮揚力を受ける。そして、この浮揚力により、スライダ
２及びヘッド本体３，４は、上記磁気ディスクの表面か
ら、微小な一定間隔をもって、浮上走行するようになっ
ている。これにより、該ヘッド本体３，４は、磁気ディ
スクの表面に対して、磁気記録情報の記録または再生を
行なう。
よれば、浮上磁気ヘッド１が、回転する磁気ディスク
（図示せず）の表面に接近したとき、該磁気ディスクの
回転により、スライダ２の浮上面５，６と磁気ディスク
の表面との間に流入する空気流によって、スライダ２が
浮揚力を受ける。そして、この浮揚力により、スライダ
２及びヘッド本体３，４は、上記磁気ディスクの表面か
ら、微小な一定間隔をもって、浮上走行するようになっ
ている。これにより、該ヘッド本体３，４は、磁気ディ
スクの表面に対して、磁気記録情報の記録または再生を
行なう。
【０００５】ところで、上述のように構成された浮上磁
気ヘッドは、スライダ２の材料として、例えばアルチッ
ク（Ａｌ2Ｏ3−Ｔｉｃ）が使用されていると共に、テー
パ部５ａ，６ａの傾斜角度θは、３０’乃至５０’程度
の微小角度である。
気ヘッドは、スライダ２の材料として、例えばアルチッ
ク（Ａｌ2Ｏ3−Ｔｉｃ）が使用されていると共に、テー
パ部５ａ，６ａの傾斜角度θは、３０’乃至５０’程度
の微小角度である。
【０００６】従って、このテーパ部５ａ，６ａを形成す
る場合には、図３に示すように、複数個、図示の場合に
は、５個のスライダ２を支持台７上に載置して、このよ
うな支持台７を、図４に示すように、ラップ装置（また
は平面研削盤）の加工治具８上に環状に複数個（図示の
場合、４個）装着する。そして、この加工治具８を図５
に示すように、ラップ装置のダイヤモンド砥粒を吹き付
けたラップ盤９の表面に当接させる。
る場合には、図３に示すように、複数個、図示の場合に
は、５個のスライダ２を支持台７上に載置して、このよ
うな支持台７を、図４に示すように、ラップ装置（また
は平面研削盤）の加工治具８上に環状に複数個（図示の
場合、４個）装着する。そして、この加工治具８を図５
に示すように、ラップ装置のダイヤモンド砥粒を吹き付
けたラップ盤９の表面に当接させる。
【０００７】この場合、支持台７は、角度調整用ピン７
ａにより、加工治具８に対して、傾斜して取り付けられ
る。これにより、支持台７上に支持された各スライダ２
は、その下面のリーディングエッジ側が、テーパ部５
ａ，６ａの傾斜角度θだけ傾斜して、ラップ盤９の表面
に当接することになる。
ａにより、加工治具８に対して、傾斜して取り付けられ
る。これにより、支持台７上に支持された各スライダ２
は、その下面のリーディングエッジ側が、テーパ部５
ａ，６ａの傾斜角度θだけ傾斜して、ラップ盤９の表面
に当接することになる。
【０００８】かくして、この状態から、加工治具８が、
ラップ盤９に対して押し付けられながら、回転駆動せし
められることにより、各スライダ２は、そのリーディン
グエッジの角が研削され、テーパ部５ａ，６ａが形成さ
れることになる。
ラップ盤９に対して押し付けられながら、回転駆動せし
められることにより、各スライダ２は、そのリーディン
グエッジの角が研削され、テーパ部５ａ，６ａが形成さ
れることになる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うに構成された浮上磁気ヘッド用スライダ２のテーパ部
５ａ，６ａの形成方法においては、図６に示すように被
加工部である浮上磁気ヘッド１のスライダ２の僅かな高
さ寸法の差、即ちスライダ２の高さａに対して、Δａの
寸法差があると、テーパ部５ａ，６ａの傾斜角度θが微
小であることから、該テーパ部５ａ，６ａの長さが、所
定の長さｂに対して、Δｂだけずれることになり、大幅
な寸法誤差が生じてしまう。
うに構成された浮上磁気ヘッド用スライダ２のテーパ部
５ａ，６ａの形成方法においては、図６に示すように被
加工部である浮上磁気ヘッド１のスライダ２の僅かな高
さ寸法の差、即ちスライダ２の高さａに対して、Δａの
寸法差があると、テーパ部５ａ，６ａの傾斜角度θが微
小であることから、該テーパ部５ａ，６ａの長さが、所
定の長さｂに対して、Δｂだけずれることになり、大幅
な寸法誤差が生じてしまう。
【００１０】さらには、一つの支持台７に取り付けられ
た複数個の浮上磁気ヘッド１に関して、各スライダ２の
誤差による高さのバラツキに基づいて、スライダ２のテ
ーパ部５ａ，６ａの長さに比較的大きなバラツキが生ず
る。これに対して、このようなテーパ部５ａ，６ａの加
工のための研磨量は、例えば２μｍ程度と僅かであるた
め、加工途中における調整作業は、極めて困難である。
従って、浮上磁気ヘッド１は、スライダ２のテーパ部５
ａ，６ａの加工の際の歩留まりが低くなってしまうとい
う問題があった。
た複数個の浮上磁気ヘッド１に関して、各スライダ２の
誤差による高さのバラツキに基づいて、スライダ２のテ
ーパ部５ａ，６ａの長さに比較的大きなバラツキが生ず
る。これに対して、このようなテーパ部５ａ，６ａの加
工のための研磨量は、例えば２μｍ程度と僅かであるた
め、加工途中における調整作業は、極めて困難である。
従って、浮上磁気ヘッド１は、スライダ２のテーパ部５
ａ，６ａの加工の際の歩留まりが低くなってしまうとい
う問題があった。
【００１１】また、ラップ装置における加工の場合に
は、図４に示すように、加工治具８に対して、各支持台
７をバランスよく配置する必要がある。このため、加工
すべき浮上磁気ヘッド用スライダ２が少ない場合には、
例えば一つの支持台７にのみ浮上磁気ヘッド用スライダ
２を載置し、他の支持台には、ダミーを載置することに
より、加工を行なうようにしているが、生産能力が落
ち、工程数が増えてしまうという問題があった。
は、図４に示すように、加工治具８に対して、各支持台
７をバランスよく配置する必要がある。このため、加工
すべき浮上磁気ヘッド用スライダ２が少ない場合には、
例えば一つの支持台７にのみ浮上磁気ヘッド用スライダ
２を載置し、他の支持台には、ダミーを載置することに
より、加工を行なうようにしているが、生産能力が落
ち、工程数が増えてしまうという問題があった。
【００１２】さらに、平面研削盤における加工の場合に
は、複数個の浮上磁気ヘッド用スライダ２が同時に加工
できるが、サブミクロン単位の絶対寸法の追い込みが困
難であり、加工にバラツキが生じてしまうという問題が
あった。
は、複数個の浮上磁気ヘッド用スライダ２が同時に加工
できるが、サブミクロン単位の絶対寸法の追い込みが困
難であり、加工にバラツキが生じてしまうという問題が
あった。
【００１３】本発明は、以上の点に鑑み、テーパ部が容
易に且つ正確に形成され得るようにした、浮上磁気ヘッ
ド用スライダのテーパ部形成方法を提供することを目的
としている。
易に且つ正確に形成され得るようにした、浮上磁気ヘッ
ド用スライダのテーパ部形成方法を提供することを目的
としている。
【００１４】
【課題を解決するための手段】上記目的は、本発明によ
れば、下面両側に長手方向に延びる浮上面を備えている
と共に、該浮上面のリーディングエッジ側にテーパ部が
設けられている、浮上磁気ヘッド用スライダにおいて、
複数個の浮上磁気ヘッド用スライダを、その浮上面のリ
ーディングエッジが最下端に位置するように、支持台上
に並んで取り付け、垂直軸の周りに回転駆動する上面が
平坦な円板上を一側に向かって張力をもって走行する研
磨テープの表面に、当接させることにより、テーパ部を
形成するようにした、浮上磁気ヘッド用スライダのテー
パ部形成方法により、達成される。
れば、下面両側に長手方向に延びる浮上面を備えている
と共に、該浮上面のリーディングエッジ側にテーパ部が
設けられている、浮上磁気ヘッド用スライダにおいて、
複数個の浮上磁気ヘッド用スライダを、その浮上面のリ
ーディングエッジが最下端に位置するように、支持台上
に並んで取り付け、垂直軸の周りに回転駆動する上面が
平坦な円板上を一側に向かって張力をもって走行する研
磨テープの表面に、当接させることにより、テーパ部を
形成するようにした、浮上磁気ヘッド用スライダのテー
パ部形成方法により、達成される。
【００１５】本発明による方法は、好ましくは、研磨テ
ープが、表面にダイヤモンド砥粒、例えば粒径０．５乃
至１μｍのダイヤモンド砥粒を吹き付けたテープであ
る。
ープが、表面にダイヤモンド砥粒、例えば粒径０．５乃
至１μｍのダイヤモンド砥粒を吹き付けたテープであ
る。
【００１６】本発明による方法は、好ましくは、上記円
板が、ガラス円板である。
板が、ガラス円板である。
【００１７】
【作用】上記構成によれば、支持台により固定保持され
た複数個の浮上磁気ヘッド用スライダの浮上面のリーデ
ィングエッジに対して、一側に向かって走行する研磨テ
ープを圧接すると共に、該研磨テープの内側から、回転
駆動する円板によりバックアップする。これにより、上
記スライダ浮上面のリーディングエッジは、研磨テープ
の送りと円板の回転による擬似的な螺旋運動によって、
研磨されることになり、かくしてテーパ部が形成され
る。
た複数個の浮上磁気ヘッド用スライダの浮上面のリーデ
ィングエッジに対して、一側に向かって走行する研磨テ
ープを圧接すると共に、該研磨テープの内側から、回転
駆動する円板によりバックアップする。これにより、上
記スライダ浮上面のリーディングエッジは、研磨テープ
の送りと円板の回転による擬似的な螺旋運動によって、
研磨されることになり、かくしてテーパ部が形成され
る。
【００１８】研磨テープが、表面にダイヤモンド砥粒、
例えば粒径０．５乃至１μｍのダイヤモンド砥粒を塗布
されたテープである場合には、スライダ自体が硬度の高
い材料により構成されている場合であっても、確実にテ
ーパ部の形成が行なわれ得ることになる。
例えば粒径０．５乃至１μｍのダイヤモンド砥粒を塗布
されたテープである場合には、スライダ自体が硬度の高
い材料により構成されている場合であっても、確実にテ
ーパ部の形成が行なわれ得ることになる。
【００１９】上記円板が、ガラス円板である場合には、
研磨テープをバックアップする円板の表面に関して、凹
凸が少なく、高い平面度が得られるので、スライダのテ
ーパ部の正確な形成が可能になる。
研磨テープをバックアップする円板の表面に関して、凹
凸が少なく、高い平面度が得られるので、スライダのテ
ーパ部の正確な形成が可能になる。
【００２０】
【実施例】以下、図面に示した実施例に基づいて、本発
明を詳細に説明する。図１は、本発明による浮上磁気ヘ
ッド用スライダのテーパ部形成方法を実施するための研
磨装置の一実施例を示している。即ち図１において、研
磨装置１０は、複数個の浮上磁気ヘッド用スライダを支
持する支持台１１が傾斜して取り付けられる加工治具１
２と、該加工治具１２の下方で、水平方向一側に向かっ
て走行する研磨テープ１３と、該研磨テープ１３の下側
で、回転駆動せしめられる円板１４とから構成されてい
る。
明を詳細に説明する。図１は、本発明による浮上磁気ヘ
ッド用スライダのテーパ部形成方法を実施するための研
磨装置の一実施例を示している。即ち図１において、研
磨装置１０は、複数個の浮上磁気ヘッド用スライダを支
持する支持台１１が傾斜して取り付けられる加工治具１
２と、該加工治具１２の下方で、水平方向一側に向かっ
て走行する研磨テープ１３と、該研磨テープ１３の下側
で、回転駆動せしめられる円板１４とから構成されてい
る。
【００２１】上記加工治具１２は、その下面１２ａが平
坦に形成されていると共に、その上面には、垂直の穴１
２ｂ，１２ｃが設けられている。そして、該加工治具１
２は、その上方から、押圧部材１５の係合ピン１５ａ，
１５ｂがそれぞれ加工治具１２の穴１２ｂ，１２ｃに係
合することにより、水平方向に移動しないように保持さ
れると共に、図１（Ｂ）に矢印で示すように、該押圧部
材１５によって、所定の下向きの荷重が加えられるよう
になっている。
坦に形成されていると共に、その上面には、垂直の穴１
２ｂ，１２ｃが設けられている。そして、該加工治具１
２は、その上方から、押圧部材１５の係合ピン１５ａ，
１５ｂがそれぞれ加工治具１２の穴１２ｂ，１２ｃに係
合することにより、水平方向に移動しないように保持さ
れると共に、図１（Ｂ）に矢印で示すように、該押圧部
材１５によって、所定の下向きの荷重が加えられるよう
になっている。
【００２２】該加工治具１２の下面に取り付けられる支
持台１１は、図１（Ｃ）に示すように、従来と同様に、
一つの支持台１１に対して、複数個、図示の場合には、
５個の浮上磁気ヘッド用スライダ１６が並んで載置され
ている。そして、該支持台１１は、加工治具１２の下面
１２ａに対して、形成すべきテーパ面の傾斜角度θだけ
傾斜した状態で、取り付けられる。この傾斜した状態で
の取り付けは、支持台１１と加工治具１２の間に、角度
調整用ピン１７を介在させることにより、従来と同様に
して、行なわれる。これにより、支持台１１上の複数個
の浮上磁気ヘッド１６は、その浮上面のリーディングエ
ッジが最下端に位置するように、加工治具１２の下面に
対して装着されることになる。
持台１１は、図１（Ｃ）に示すように、従来と同様に、
一つの支持台１１に対して、複数個、図示の場合には、
５個の浮上磁気ヘッド用スライダ１６が並んで載置され
ている。そして、該支持台１１は、加工治具１２の下面
１２ａに対して、形成すべきテーパ面の傾斜角度θだけ
傾斜した状態で、取り付けられる。この傾斜した状態で
の取り付けは、支持台１１と加工治具１２の間に、角度
調整用ピン１７を介在させることにより、従来と同様に
して、行なわれる。これにより、支持台１１上の複数個
の浮上磁気ヘッド１６は、その浮上面のリーディングエ
ッジが最下端に位置するように、加工治具１２の下面に
対して装着されることになる。
【００２３】上記研磨テープ１３は、例えば粒径０．５
乃至１μｍ程度のダイヤモンド砥粒を塗布されたテープ
が使用されている。これにより、例えばアルチック（Ａ
ｌ2Ｏ3−Ｔｉｃ）等の硬質材料により形成されたスライ
ダ１６が容易に研磨され得る。
乃至１μｍ程度のダイヤモンド砥粒を塗布されたテープ
が使用されている。これにより、例えばアルチック（Ａ
ｌ2Ｏ3−Ｔｉｃ）等の硬質材料により形成されたスライ
ダ１６が容易に研磨され得る。
【００２４】また、円板１４は、ガラスにより形成され
ている。これにより、円板１４の上面は、凹凸が少な
く、高い平面度を有することになる。
ている。これにより、円板１４の上面は、凹凸が少な
く、高い平面度を有することになる。
【００２５】さらに、加工治具１２の下面には、セラミ
ック製のボールポイント１８が取り付けられており、こ
れにより、押圧部材１５の押下による支持台１１の傾斜
角度が確保され得るようになっている。
ック製のボールポイント１８が取り付けられており、こ
れにより、押圧部材１５の押下による支持台１１の傾斜
角度が確保され得るようになっている。
【００２６】本発明実施例による研磨装置１０は、以上
のように構成されており、先づ支持台１１上に複数個の
スライダ１６を載置して、該支持台１１を加工治具１２
の下面に対して角度θだけ傾斜した状態で、取り付け
る。
のように構成されており、先づ支持台１１上に複数個の
スライダ１６を載置して、該支持台１１を加工治具１２
の下面に対して角度θだけ傾斜した状態で、取り付け
る。
【００２７】この状態から、円板１４を回転駆動させる
と共に、研磨テープ１３を図面にて矢印方向に走行させ
る。そして、押圧部材１５により加工治具１２を下方に
押圧する。これにより、加工治具１２の下面に取り付け
られた支持台１１、そしてスライダ１６は、研磨テープ
１３の表面に当接されることになる。
と共に、研磨テープ１３を図面にて矢印方向に走行させ
る。そして、押圧部材１５により加工治具１２を下方に
押圧する。これにより、加工治具１２の下面に取り付け
られた支持台１１、そしてスライダ１６は、研磨テープ
１３の表面に当接されることになる。
【００２８】このとき、研磨テープ１３は、回転駆動さ
れる円板１４によってバックアップされているので、押
圧部材１５の荷重によるスライダ１６の研磨テープ１３
表面への押圧が、確実に行なわ得ると共に、上記スライ
ダ１６の浮上面のリーディングエッジは、研磨テープ１
３の送りと円板１４の回転による擬似的な螺旋運動によ
って、研磨されることになる。これにより、通常の研磨
テープによる研磨作業に比較して、単位時間当たりの運
動量が多くなり、比較的大きな研磨量が得られることに
なる。
れる円板１４によってバックアップされているので、押
圧部材１５の荷重によるスライダ１６の研磨テープ１３
表面への押圧が、確実に行なわ得ると共に、上記スライ
ダ１６の浮上面のリーディングエッジは、研磨テープ１
３の送りと円板１４の回転による擬似的な螺旋運動によ
って、研磨されることになる。これにより、通常の研磨
テープによる研磨作業に比較して、単位時間当たりの運
動量が多くなり、比較的大きな研磨量が得られることに
なる。
【００２９】尚、研磨が進行するに連れて、加工治具１
２は、下方に向かって移動することになるが、所定量の
研磨が完了したときに、加工治具１２の下面から下方に
延びるボールポイント１８が、研磨テープ１３を介して
円板１４の表面に当接することにより、それ以上の過剰
な研磨が行なわれ得ないようになっている。
２は、下方に向かって移動することになるが、所定量の
研磨が完了したときに、加工治具１２の下面から下方に
延びるボールポイント１８が、研磨テープ１３を介して
円板１４の表面に当接することにより、それ以上の過剰
な研磨が行なわれ得ないようになっている。
【００３０】さらに、押圧部材１５の荷重を調整するこ
とにより、スライダ１６のテーパ部の形成は、研磨時間
の調整によって行なわれ得ることになり、自動化が可能
となる。
とにより、スライダ１６のテーパ部の形成は、研磨時間
の調整によって行なわれ得ることになり、自動化が可能
となる。
【００３１】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、支
持台により固定保持された複数個の浮上磁気ヘッド用ス
ライダの浮上面のリーディングエッジに対して、一側に
向かって走行する研磨テープを圧接すると共に、該研磨
テープの内側から、回転駆動する円板によりバックアッ
プする。これにより、上記スライダ浮上面のリーディン
グエッジは、研磨テープの送りと円板の回転による擬似
的な螺旋運動によって、研磨されることになり、かくし
てテーパ部が形成される。
持台により固定保持された複数個の浮上磁気ヘッド用ス
ライダの浮上面のリーディングエッジに対して、一側に
向かって走行する研磨テープを圧接すると共に、該研磨
テープの内側から、回転駆動する円板によりバックアッ
プする。これにより、上記スライダ浮上面のリーディン
グエッジは、研磨テープの送りと円板の回転による擬似
的な螺旋運動によって、研磨されることになり、かくし
てテーパ部が形成される。
【００３２】研磨テープが、表面にダイヤモンド砥粒、
例えば粒径０．５乃至１μｍのダイヤモンド砥粒を塗布
されたテープである場合には、スライダ自体が硬度の高
い材料により構成されている場合であっても、確実にテ
ーパ部の形成が行なわれ得ることになる。
例えば粒径０．５乃至１μｍのダイヤモンド砥粒を塗布
されたテープである場合には、スライダ自体が硬度の高
い材料により構成されている場合であっても、確実にテ
ーパ部の形成が行なわれ得ることになる。
【００３３】上記円板が、ガラス円板である場合には、
研磨テープをバックアップする円板の表面に関して、凹
凸が少なく、高い平面度が得られるので、スライダのテ
ーパ部の正確な形成が可能になる。
研磨テープをバックアップする円板の表面に関して、凹
凸が少なく、高い平面度が得られるので、スライダのテ
ーパ部の正確な形成が可能になる。
【００３４】かくして、本発明によれば、テーパ部が容
易に且つ正確に形成され得るようにした、浮上磁気ヘッ
ド用スライダのテーパ部形成方法が提供され得ることに
なる。
易に且つ正確に形成され得るようにした、浮上磁気ヘッ
ド用スライダのテーパ部形成方法が提供され得ることに
なる。
【図１】本発明による浮上磁気ヘッド用スライダのテー
パ部形成方法を実施するための研磨装置の一実施例を示
し、（Ａ）は概略斜視図，（Ｂ）は概略断面図、及び
（Ｃ）は浮上磁気ヘッド用スライダの支持台の斜視図で
ある。
パ部形成方法を実施するための研磨装置の一実施例を示
し、（Ａ）は概略斜視図，（Ｂ）は概略断面図、及び
（Ｃ）は浮上磁気ヘッド用スライダの支持台の斜視図で
ある。
【図２】浮上磁気ヘッドの構成例を示す、（Ａ）は概略
斜視図、及び（Ｂ）は概略側面図である。
斜視図、及び（Ｂ）は概略側面図である。
【図３】従来のテーパ部形成方法にて図２の浮上磁気ヘ
ッドのスライダ浮上面にテーパ部を形成するための支持
台を示す概略斜視図である。
ッドのスライダ浮上面にテーパ部を形成するための支持
台を示す概略斜視図である。
【図４】図３の支持台を使用してラップ装置により加工
を行なうための加工治具の概略平面図である。
を行なうための加工治具の概略平面図である。
【図５】図４の加工治具を使用して浮上磁気ヘッドのス
ライダテーパ面を形成するラップ装置の概略側面図であ
る。
ライダテーパ面を形成するラップ装置の概略側面図であ
る。
【図６】図５のラップ装置による浮上磁気ヘッドのテー
パ部形成状態を示す側面図であ。
パ部形成状態を示す側面図であ。
１０ 研磨装置 １１ 支持台 １２ 加工治具 １３ 研磨テープ １４ 円板 １５ 押圧部材 １６ スライダ １６ａ テーパ部 １７ 角度調整用ピン １８ ボールポイント
Claims (4)
- 【請求項１】 下面両側に長手方向に延びる浮上面を備
えていると共に、該浮上面のリーディングエッジ側にテ
ーパ部が設けられている、浮上磁気ヘッド用スライダに
おいて、 複数個の浮上磁気ヘッド用スライダを、その浮上面のリ
ーディングエッジが最下端に位置するように、支持台上
に並んで取り付け、垂直軸の周りに回転駆動する上面が
平坦な円板上を一側に向かって張力をもって走行する研
磨テープの表面に、当接させることにより、テーパ部を
形成するようにした、浮上磁気ヘッド用スライダのテー
パ部形成方法。 - 【請求項２】 研磨テープが、表面にダイヤモンド砥粒
を塗布されたテープであることを特徴とする、請求項１
に記載の浮上磁気ヘッド用スライダのテーパ部形成方
法。 - 【請求項３】 ダイヤモンド砥粒が、粒径０．５乃至１
μｍであることを特徴とする、請求項２に記載の浮上磁
気ヘッド用スライダのテーパ部形成方法。 - 【請求項４】 上記円板が、ガラス円板であることを特
徴とする、請求項１から３の何れかに記載の浮上磁気ヘ
ッド用スライダのテーパ部形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6197411A JPH0845046A (ja) | 1994-07-30 | 1994-07-30 | 浮上磁気ヘッド用スライダのテーパ部形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6197411A JPH0845046A (ja) | 1994-07-30 | 1994-07-30 | 浮上磁気ヘッド用スライダのテーパ部形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0845046A true JPH0845046A (ja) | 1996-02-16 |
Family
ID=16374074
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6197411A Pending JPH0845046A (ja) | 1994-07-30 | 1994-07-30 | 浮上磁気ヘッド用スライダのテーパ部形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0845046A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7712205B2 (en) * | 2004-11-16 | 2010-05-11 | Sae Magnetics (H.K.) Ltd. | Method of manufacturing a magnetic head |
-
1994
- 1994-07-30 JP JP6197411A patent/JPH0845046A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7712205B2 (en) * | 2004-11-16 | 2010-05-11 | Sae Magnetics (H.K.) Ltd. | Method of manufacturing a magnetic head |
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