JPH0843134A - 光学式位置検出装置 - Google Patents
光学式位置検出装置Info
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- JPH0843134A JPH0843134A JP17838494A JP17838494A JPH0843134A JP H0843134 A JPH0843134 A JP H0843134A JP 17838494 A JP17838494 A JP 17838494A JP 17838494 A JP17838494 A JP 17838494A JP H0843134 A JPH0843134 A JP H0843134A
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- scale
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Abstract
(57)【要約】
【目的】メインスケール長手方向位置だけでなく、長手
方向に垂直なずれ量やメインスケール面に垂直な方向を
軸とする回転ずれを検出可能な光学式位置検出装置を得
る。 【構成】 第１部材１に取付けられ長手方向に平行な格
子線を持った格子トラックと垂直な格子線を持った格子
トラックを備えたメインスケール１０と、長手方向位置
検出部を具備し第１部材１に対しＺ方向に相対変位する
第２部材２に取付けられスライダ２０と長手方向に垂直
な方向のずれ量を検出可能な揺動検出部を具備した２つ
のスライダ２１、２２と、前記２つの揺動検出部から得
た２つのずれ量から第２部材２のＸ方向を軸とする回転
ずれ量を求める。
方向に垂直なずれ量やメインスケール面に垂直な方向を
軸とする回転ずれを検出可能な光学式位置検出装置を得
る。 【構成】 第１部材１に取付けられ長手方向に平行な格
子線を持った格子トラックと垂直な格子線を持った格子
トラックを備えたメインスケール１０と、長手方向位置
検出部を具備し第１部材１に対しＺ方向に相対変位する
第２部材２に取付けられスライダ２０と長手方向に垂直
な方向のずれ量を検出可能な揺動検出部を具備した２つ
のスライダ２１、２２と、前記２つの揺動検出部から得
た２つのずれ量から第２部材２のＸ方向を軸とする回転
ずれ量を求める。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は工作機械等のテーブル等
が直線運動したときの位置を検出して位置データを出力
する光学式位置検出装置、特にその位置ずれを確実に検
出する光学式位置検出装置に関する。
が直線運動したときの位置を検出して位置データを出力
する光学式位置検出装置、特にその位置ずれを確実に検
出する光学式位置検出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図９は、従来の光学式位置検出装置と従
来の光学式位置検出装置を使った加工機を示した概略図
である。なお、紙面に垂直な方向をＸ軸、図の上下方向
をＹ軸、図の左右方向をＺ軸と呼ぶ。一般的に光学式位
置検出装置は、目盛の記録されたメインスケール１１０
と、メインスケール１１０に対してその長手方向に相対
変位してメインスケール１１０上の目盛を読み取り、メ
インスケール１１０の長手方向に関する位置を検出する
機能を備えたスライダ１２０と、からなっている。光学
式位置検出装置のメインスケール１１０は、通常、加工
機のベッドと呼ばれる第１部材１に取付けられている。
そして、スライダ１２０は第１部材に対してＺ方向つま
りメインスケールの長手方向に相対移動する第２部材２
に取り付けられている。さらに第２部材には加工用工具
３が取り付けられており所望の加工を行なう。このよう
な構成の加工機では、第１部材に対する第２部材のＺ方
向の位置を光学式位置検出装置で検出し、検出した位置
データを制御装置で読み込み、モータ等のアクチュエー
タを使って第２部材を第１部材上でＺ方向に移動させる
ことにより、加工用工具３の加工点Ｍを所望の位置に正
確に位置決めさせる。
来の光学式位置検出装置を使った加工機を示した概略図
である。なお、紙面に垂直な方向をＸ軸、図の上下方向
をＹ軸、図の左右方向をＺ軸と呼ぶ。一般的に光学式位
置検出装置は、目盛の記録されたメインスケール１１０
と、メインスケール１１０に対してその長手方向に相対
変位してメインスケール１１０上の目盛を読み取り、メ
インスケール１１０の長手方向に関する位置を検出する
機能を備えたスライダ１２０と、からなっている。光学
式位置検出装置のメインスケール１１０は、通常、加工
機のベッドと呼ばれる第１部材１に取付けられている。
そして、スライダ１２０は第１部材に対してＺ方向つま
りメインスケールの長手方向に相対移動する第２部材２
に取り付けられている。さらに第２部材には加工用工具
３が取り付けられており所望の加工を行なう。このよう
な構成の加工機では、第１部材に対する第２部材のＺ方
向の位置を光学式位置検出装置で検出し、検出した位置
データを制御装置で読み込み、モータ等のアクチュエー
タを使って第２部材を第１部材上でＺ方向に移動させる
ことにより、加工用工具３の加工点Ｍを所望の位置に正
確に位置決めさせる。
【０００３】次に、従来の光学式位置検出装置の内部の
構成を図１０に示し、以下にその機能を簡単に説明す
る。前述したスライダ１２０には、発光素子３１とコリ
メータレンズ３２とインデックススケール１３３と光電
変換素子１３４とからなる検出手段が含まれており、メ
インスケール１１０上に記録された目盛を読み取る。動
作を具体的に説明すると、発光素子３１から出てコリメ
ータレンズ３２で平行光束となった光が，メインスケー
ル１１０とインデックススケール１３３を透過した後、
光電変換素子１３４に入射し光電変換される。メインス
ケール１１０の格子トラックには、図１１のように光学
格子がその格子線方向がメインスケールの長手方向に垂
直になるように施されている。また、インデックススケ
ール１３３にも、メインスケール１１０の格子トラック
に対応して格子トラックが設けられている。ここでメイ
ンスケール１１０に対し、スライダがメインスケール１
１０の長手方向に相対的に変位すると光電変換素子１３
４に入射する光量が周期的に変化し、変位信号を得るこ
とができる。通常，この周期的な変位信号をカウントし
たり、さらに細かく内挿分割して位置検出を行う。
構成を図１０に示し、以下にその機能を簡単に説明す
る。前述したスライダ１２０には、発光素子３１とコリ
メータレンズ３２とインデックススケール１３３と光電
変換素子１３４とからなる検出手段が含まれており、メ
インスケール１１０上に記録された目盛を読み取る。動
作を具体的に説明すると、発光素子３１から出てコリメ
ータレンズ３２で平行光束となった光が，メインスケー
ル１１０とインデックススケール１３３を透過した後、
光電変換素子１３４に入射し光電変換される。メインス
ケール１１０の格子トラックには、図１１のように光学
格子がその格子線方向がメインスケールの長手方向に垂
直になるように施されている。また、インデックススケ
ール１３３にも、メインスケール１１０の格子トラック
に対応して格子トラックが設けられている。ここでメイ
ンスケール１１０に対し、スライダがメインスケール１
１０の長手方向に相対的に変位すると光電変換素子１３
４に入射する光量が周期的に変化し、変位信号を得るこ
とができる。通常，この周期的な変位信号をカウントし
たり、さらに細かく内挿分割して位置検出を行う。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】図９に示した加工機に
おいて、第２部材の移動をガイドするガイド機構が理想
的であれば、第２部材は姿勢を変えることなしに第１部
材上でＺ方向にだけ直線的に移動する。しかしながら、
現実にはガイド機構の真直度誤差やガタ等によって、第
２部材がわずかながらＹ方向に変位したり、Ｘ方向を軸
として回転するいわゆるピッチングを発生することがあ
る。このようなずれが発生すると、図９に示した光学式
位置検出装置のスライダの検出点Ｄａは、メインスケー
ル上で正確な位置に位置決めされているにもかかわら
ず、加工用工具の加工点、つまり刃先位置ＭはＺ方向や
Ｙ方向にずれることとなり正確な加工ができなくなる。
例えば、第２部材がピッチングによってＸ軸を中心に左
に回転すると、刃先はＥだけずれてしまい加工誤差を発
生してしまう。また、第２部材がＹ方向に変位した場合
は当然加工点ＭもＹ方向にずれてしまい加工誤差を発生
してしまう。本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたものであり、その目的は、メインスケール長手方向
位置だけでなく、長手方向に垂直なずれ量やメインスケ
ール面に垂直な方向を軸とする回転ずれを検出可能な光
学式位置検出装置を提供することにある。
おいて、第２部材の移動をガイドするガイド機構が理想
的であれば、第２部材は姿勢を変えることなしに第１部
材上でＺ方向にだけ直線的に移動する。しかしながら、
現実にはガイド機構の真直度誤差やガタ等によって、第
２部材がわずかながらＹ方向に変位したり、Ｘ方向を軸
として回転するいわゆるピッチングを発生することがあ
る。このようなずれが発生すると、図９に示した光学式
位置検出装置のスライダの検出点Ｄａは、メインスケー
ル上で正確な位置に位置決めされているにもかかわら
ず、加工用工具の加工点、つまり刃先位置ＭはＺ方向や
Ｙ方向にずれることとなり正確な加工ができなくなる。
例えば、第２部材がピッチングによってＸ軸を中心に左
に回転すると、刃先はＥだけずれてしまい加工誤差を発
生してしまう。また、第２部材がＹ方向に変位した場合
は当然加工点ＭもＹ方向にずれてしまい加工誤差を発生
してしまう。本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたものであり、その目的は、メインスケール長手方向
位置だけでなく、長手方向に垂直なずれ量やメインスケ
ール面に垂直な方向を軸とする回転ずれを検出可能な光
学式位置検出装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】以上の目的を達成するた
めに、請求項１記載の発明は、スケール長手方向に垂直
な格子線を持った長手方向位置検出用格子トラックと長
手方向に平行な格子線を持った揺動検出用格子トラック
とが施され、第１部材に取り付けられたメインスケール
と、前記第１部材と相対的に移動する第２部材に取り付
けられ、光源と前記メインスケール上の長手方向位置検
出用格子トラックに対応する格子トラックが施されたイ
ンデックススケールと前記メインスケールを透過あるい
は反射した光を光電変換する光電変換素子とを備え、前
記メインスケール長手方向に関する位置を検出する長手
方向位置検出手段と、前記第２部材に取り付けられ、光
源と前記メインスケール上の揺動検出用格子トラックに
対応する格子トラックが施されたインデックススケール
と前記メインスケールを透過あるいは反射した光を光電
変換する光電変換素子とを備え、前記メインスケールの
長手方向に垂直な方向に関するずれ量を検出する少なく
とも１つ以上の揺動検出手段と、を有することを特徴と
する。請求項２記載の発明は、請求項１記載の光学式位
置検出装置において、前記揺動検出手段から得られたず
れ量から、前記第１部材に対する前記第２部材のメイン
スケール面に垂直な方向を軸とする回転ずれ量を求める
回転ずれ算出手段を有することを特徴とする。請求項３
記載の発明は、請求項１記載の光学式位置検出装置にお
いて、１本のメインスケールに対し、前記長手方向位置
検出手段と前記揺動検出手段のうちいずれか一方を１つ
以上備えた少なくとも１つ以上のスライダを持つことを
特徴とする。請求項４記載の発明は、スケール長手方向
に垂直な格子線を持った長手方向位置検出用格子トラッ
クと長手方向に平行な格子線を持った第１の揺動検出用
格子トラックとが施され、第１部材に取り付けられた第
１のメインスケールと、長手方向に平行な格子線を持っ
た第２の揺動検出用格子トラックが施され、前記第１の
メインスケールに垂直で長手方向に平行に設けられた第
２のメインスケールと、前記第１部材と相対的に移動す
る第２部材に取り付けられ、光源と前記第１のメインス
ケール上の長手方向位置検出用格子トラックに対応する
格子トラックが施されたインデックススケールと前記第
１のメインスケールを透過あるいは反射した光を光電変
換する光電変換素子とを備え、前記第１のメインスケー
ル長手方向に関する位置を検出する長手方向位置検出手
段と、前記第２部材に取り付けられ、光源と前記第１の
メインスケール上の第１の揺動検出用格子トラックに対
応する格子トラックが施されたインデックススケールと
前記第１のメインスケールを透過あるいは反射した光を
光電変換する光電変換素子とを備え、前記第１のメイン
スケールの長手方向に垂直な方向に関するずれ量を検出
する第１の揺動検出手段と、前記第２部材に取り付けら
れ、光源と前記第２のメインスケール上の第２の揺動検
出用格子トラックに対応する格子トラックが施されたイ
ンデックススケールと前記第２のメインスケールを透過
あるいは反射した光を光電変換する光電変換素子とを備
え、前記第２のメインスケールの長手方向に垂直な方向
に関するずれ量を検出する第２の揺動検出手段と、を有
することを特徴とする。
めに、請求項１記載の発明は、スケール長手方向に垂直
な格子線を持った長手方向位置検出用格子トラックと長
手方向に平行な格子線を持った揺動検出用格子トラック
とが施され、第１部材に取り付けられたメインスケール
と、前記第１部材と相対的に移動する第２部材に取り付
けられ、光源と前記メインスケール上の長手方向位置検
出用格子トラックに対応する格子トラックが施されたイ
ンデックススケールと前記メインスケールを透過あるい
は反射した光を光電変換する光電変換素子とを備え、前
記メインスケール長手方向に関する位置を検出する長手
方向位置検出手段と、前記第２部材に取り付けられ、光
源と前記メインスケール上の揺動検出用格子トラックに
対応する格子トラックが施されたインデックススケール
と前記メインスケールを透過あるいは反射した光を光電
変換する光電変換素子とを備え、前記メインスケールの
長手方向に垂直な方向に関するずれ量を検出する少なく
とも１つ以上の揺動検出手段と、を有することを特徴と
する。請求項２記載の発明は、請求項１記載の光学式位
置検出装置において、前記揺動検出手段から得られたず
れ量から、前記第１部材に対する前記第２部材のメイン
スケール面に垂直な方向を軸とする回転ずれ量を求める
回転ずれ算出手段を有することを特徴とする。請求項３
記載の発明は、請求項１記載の光学式位置検出装置にお
いて、１本のメインスケールに対し、前記長手方向位置
検出手段と前記揺動検出手段のうちいずれか一方を１つ
以上備えた少なくとも１つ以上のスライダを持つことを
特徴とする。請求項４記載の発明は、スケール長手方向
に垂直な格子線を持った長手方向位置検出用格子トラッ
クと長手方向に平行な格子線を持った第１の揺動検出用
格子トラックとが施され、第１部材に取り付けられた第
１のメインスケールと、長手方向に平行な格子線を持っ
た第２の揺動検出用格子トラックが施され、前記第１の
メインスケールに垂直で長手方向に平行に設けられた第
２のメインスケールと、前記第１部材と相対的に移動す
る第２部材に取り付けられ、光源と前記第１のメインス
ケール上の長手方向位置検出用格子トラックに対応する
格子トラックが施されたインデックススケールと前記第
１のメインスケールを透過あるいは反射した光を光電変
換する光電変換素子とを備え、前記第１のメインスケー
ル長手方向に関する位置を検出する長手方向位置検出手
段と、前記第２部材に取り付けられ、光源と前記第１の
メインスケール上の第１の揺動検出用格子トラックに対
応する格子トラックが施されたインデックススケールと
前記第１のメインスケールを透過あるいは反射した光を
光電変換する光電変換素子とを備え、前記第１のメイン
スケールの長手方向に垂直な方向に関するずれ量を検出
する第１の揺動検出手段と、前記第２部材に取り付けら
れ、光源と前記第２のメインスケール上の第２の揺動検
出用格子トラックに対応する格子トラックが施されたイ
ンデックススケールと前記第２のメインスケールを透過
あるいは反射した光を光電変換する光電変換素子とを備
え、前記第２のメインスケールの長手方向に垂直な方向
に関するずれ量を検出する第２の揺動検出手段と、を有
することを特徴とする。
【０００６】
【作用】本発明の光学式位置検出装置によれば、メイン
スケール上にはメインスケール長手方向に垂直な格子線
を持った長手方向位置検出用格子トラックと長手方向に
平行な格子線を持った揺動検出用格子トラックとが備え
られており、長手方向の位置を位置検出用格子トラック
に対向する長手方向位置検出手段によって、そして、長
手方向に垂直な方向のずれ量を揺動検出用格子トラック
に対向する揺動検出手段によって検出する。また、回転
ずれ算出手段は、揺動検出用格子トラックに複数の揺動
検出手段を対向させることによってメインスケール面に
垂直な軸を中心に発生する回転ずれ量も検出する。ま
た、第１のメインスケールに垂直で長手方向に平行に第
２のメインスケールを設けることで、第２部材のＹ方向
のずれだけでなくＸ方向のずれも検出することができ
る。
スケール上にはメインスケール長手方向に垂直な格子線
を持った長手方向位置検出用格子トラックと長手方向に
平行な格子線を持った揺動検出用格子トラックとが備え
られており、長手方向の位置を位置検出用格子トラック
に対向する長手方向位置検出手段によって、そして、長
手方向に垂直な方向のずれ量を揺動検出用格子トラック
に対向する揺動検出手段によって検出する。また、回転
ずれ算出手段は、揺動検出用格子トラックに複数の揺動
検出手段を対向させることによってメインスケール面に
垂直な軸を中心に発生する回転ずれ量も検出する。ま
た、第１のメインスケールに垂直で長手方向に平行に第
２のメインスケールを設けることで、第２部材のＹ方向
のずれだけでなくＸ方向のずれも検出することができ
る。
【０００７】
【実施例】図１は、本発明の第１の実施例を示すもので
ある。第１部材と第２部材と加工用工具との関係は図９
と同じであるので説明を省略する。この実施例によれ
ば、第１部材には１本のメインスケール１０が取り付け
られており、一方の第２部材には３つのスライダ２０、
２１、２２が取り付けられている。３つのスライダ２０
〜２２のうち両端のスライダ２１、２２には、メインス
ケールの長手方向に垂直なＹ軸方向のずれを検出する揺
動検出手段としての揺動検出部が具備されている。ま
た、中央のスライダ２０にはメインスケールの長手方向
に関する位置を検出する長手方向位置検出手段としての
長手方向位置検出部が具備されている。
ある。第１部材と第２部材と加工用工具との関係は図９
と同じであるので説明を省略する。この実施例によれ
ば、第１部材には１本のメインスケール１０が取り付け
られており、一方の第２部材には３つのスライダ２０、
２１、２２が取り付けられている。３つのスライダ２０
〜２２のうち両端のスライダ２１、２２には、メインス
ケールの長手方向に垂直なＹ軸方向のずれを検出する揺
動検出手段としての揺動検出部が具備されている。ま
た、中央のスライダ２０にはメインスケールの長手方向
に関する位置を検出する長手方向位置検出手段としての
長手方向位置検出部が具備されている。
【０００８】次に、この実施例に使われるメインスケー
ル１０、揺動検出部および長手方向位置検出部について
具体的に説明する。図２は本実施例で使われるメインス
ケール１０を示すものである。メインスケール１０上に
は、揺動検出用格子トラック１１と長手方向位置検出用
格子トラック１２が形成されている。揺動検出用トラッ
ク１１は、例えばエッチング等によって形成された光学
格子であり格子線方向はメインスケール長手方向であ
る。長手方向位置検出用格子トラック１２も、揺動検出
用トラック１１同様な方法で形成された光学格子である
が格子線方向はメインスケール長手方向に垂直な方向で
ある。揺動検出部を図３に示し動作を説明する。揺動検
出部は発光素子３１とコリメータレンズ３２とインデッ
クススケール３３と光電変換素子３４とからなってお
り、発光素子３１から出た光はコリメータレンズ３２に
よって平行光束となりメインスケール１０の揺動検出用
格子トラック１１を透過し、さらにインデックススケー
ル３３上の格子トラックも透過して、光電変換素子３４
で光電変換される。また、インデックススケール３３上
の格子トラックの格子線方向は、メインスケール１０上
の揺動検出用格子トラック１１に対応してそれと平行に
なるように形成されている。このような構成を有する揺
動検出部が、各スライダ２１、２２の移動に対応してメ
インスケール１０に対してＹ方向に変位するとメインス
ケール１０上の格子線とインデックススケール３３上の
格子線との対向関係が変化して光電変換素子３４に入射
する光量も変化する。この光量変化からメインスケール
１０に対する揺動検出部のＹ方向のずれ量を検出するこ
とができる。長手方向位置検出部を図４に示し動作を説
明する。長手方向位置検出部は、発光素子３１とコリメ
ータレンズ３２とインデックススケール４３と光電変換
素子４４とからなっており、発光素子３１から出た光は
コリメータレンズ３２によって平行光束となり、メイン
スケール１０の長手方向位置検出用格子トラック１２を
透過し、さらにインデックススケール４３上の格子トラ
ックも透過して、光電変換素子４４で光電変換される。
また、インデックススケール４３上の格子トラックの格
子線方向は、メインスケール１０上の長手方向位置検出
用格子トラック１２に対応してそれと平行になるように
形成されている。このような構成を有する長手方向位置
検出部が、スライダ２０の移動に対応してメインスケー
ル１０に対してＺ方向に変位するとメインスケール１０
上の格子線とインデックススケール４３上の格子線との
対向関係が変化して光電変換素子４４に入射する光量も
変化する。この光量変化からメインスケール１０に対す
る長手方向位置検出部のＺ方向の位置を検出することが
できる。
ル１０、揺動検出部および長手方向位置検出部について
具体的に説明する。図２は本実施例で使われるメインス
ケール１０を示すものである。メインスケール１０上に
は、揺動検出用格子トラック１１と長手方向位置検出用
格子トラック１２が形成されている。揺動検出用トラッ
ク１１は、例えばエッチング等によって形成された光学
格子であり格子線方向はメインスケール長手方向であ
る。長手方向位置検出用格子トラック１２も、揺動検出
用トラック１１同様な方法で形成された光学格子である
が格子線方向はメインスケール長手方向に垂直な方向で
ある。揺動検出部を図３に示し動作を説明する。揺動検
出部は発光素子３１とコリメータレンズ３２とインデッ
クススケール３３と光電変換素子３４とからなってお
り、発光素子３１から出た光はコリメータレンズ３２に
よって平行光束となりメインスケール１０の揺動検出用
格子トラック１１を透過し、さらにインデックススケー
ル３３上の格子トラックも透過して、光電変換素子３４
で光電変換される。また、インデックススケール３３上
の格子トラックの格子線方向は、メインスケール１０上
の揺動検出用格子トラック１１に対応してそれと平行に
なるように形成されている。このような構成を有する揺
動検出部が、各スライダ２１、２２の移動に対応してメ
インスケール１０に対してＹ方向に変位するとメインス
ケール１０上の格子線とインデックススケール３３上の
格子線との対向関係が変化して光電変換素子３４に入射
する光量も変化する。この光量変化からメインスケール
１０に対する揺動検出部のＹ方向のずれ量を検出するこ
とができる。長手方向位置検出部を図４に示し動作を説
明する。長手方向位置検出部は、発光素子３１とコリメ
ータレンズ３２とインデックススケール４３と光電変換
素子４４とからなっており、発光素子３１から出た光は
コリメータレンズ３２によって平行光束となり、メイン
スケール１０の長手方向位置検出用格子トラック１２を
透過し、さらにインデックススケール４３上の格子トラ
ックも透過して、光電変換素子４４で光電変換される。
また、インデックススケール４３上の格子トラックの格
子線方向は、メインスケール１０上の長手方向位置検出
用格子トラック１２に対応してそれと平行になるように
形成されている。このような構成を有する長手方向位置
検出部が、スライダ２０の移動に対応してメインスケー
ル１０に対してＺ方向に変位するとメインスケール１０
上の格子線とインデックススケール４３上の格子線との
対向関係が変化して光電変換素子４４に入射する光量も
変化する。この光量変化からメインスケール１０に対す
る長手方向位置検出部のＺ方向の位置を検出することが
できる。
【０００９】次に、上述したメインスケール１０、揺動
検出部および長手方向位置検出部を具備した光学式位置
検出装置の動作を図１を用いて説明する。従来技術の説
明で述べたように、図示した加工機において、第２部材
２の移動をガイドするガイド機構が理想的であれば、第
２部材２は姿勢を変えることなしに第１部材１上でＺ方
向にだけ直線的に移動する。しかしながら、現実にはガ
イド機構の真直度誤差やガタ等によって、第２部材２が
わずかながらＹ方向に変位したり、Ｘ方向を軸として回
転するいわゆるピッチングを発生することがある。この
ようなずれが発生すると、光学式位置検出装置のスライ
ダ２０の検出点Ｄａはメインスケール１０上で正確な位
置に位置決めされているにもかかわらず、加工用工具３
の刃先位置ＭはＺ方向やＹ方向にずれることとなり正確
な加工ができなくなる。例えば、第２部材２がピッチン
グによってＸ軸を中心に左に回転すると、刃先はＥだけ
ずれてしまい加工誤差を発生してしまう。また、第２部
材２がＹ方向に平行に変位した場合は当然加工点ＭもＹ
方向にずれてしまい加工誤差を発生してしまう。しか
し、本実施例によれば、もし、第２部材２が姿勢を変え
ることなくＹ方向にずれた場合は、揺動検出部を備えた
スライダ２１、２２には同じ向きで同じ量のＹ方向ずれ
量が検出される。その場合は、Ｙ方向の位置を制御する
制御装置とアクチュエータ（図示せず）によって、検出
された量だけ移動させることによってずれ量は補正さ
れ、加工用工具３の加工点Ｍを正確な位置に位置決めす
ることができる。また、第２部材２が例えば点Ｄａを中
心にＸ方向を軸として左方向に回転ずれを発生した場
合、揺動検出部を備えたスライダ２１、２２には逆の向
きで同じ量のＹ方向のずれが発生するが、本実施例にお
いては、この揺動検出部から得られたずれ量から、第１
部材１に対する第２部材２のメインスケール１０の面に
垂直な方向を軸とする回転ずれ量を求める回転ずれ算出
手段としての回転ずれ算出部１５を設けたことで、その
回転ずれ量を求めることができる。例えば、そのずれ量
をｄとすると傾斜の勾配は２ｄ／（Ｌ１＋Ｌ２）とな
り、回転中心Ｄａから加工点Ｍまでの距離をＬ０とする
と、加工点Ｍのずれ量Ｅは、２ｄ・Ｌ０／（Ｌ１＋Ｌ
２）で表される。ここで、回転の中心Ｄａから加工点Ｍ
とを結ぶ線と座標軸のなす角度が分かっていれば、この
ずれ量ＥのＹ方向成分とＺ方向成分である回転ずれ量Ｅ
y 、Ｅz をそれぞれ算出することができる。したがっ
て、Ｙ方向の位置を制御する制御装置とアクチュエータ
（図示せず）によって、加工点ＭのずれのＹ方向成分Ｅ
y だけ加工点を移動させることによってＹ方向ずれ量は
補正され、同様にＺ方向の位置を制御する制御装置とア
クチュエータ（図示せず）によって、加工点のずれのＺ
方向成分Ｅz だけ加工点を移動させることによってＺ方
向ずれ量は補正され加工用工具３の加工点Ｍを正確な位
置に位置決めすることができる。第２部材２のＹ軸に平
行なずれと、回転ずれが同時に起こった場合でも上述の
方法を組み合わせれば簡単に加工点Ｍの位置を正確に位
置決めすることができる。なお、上記においては、２つ
のスライダ２１、２２を用いて加工点Ｍのずれ量Ｅを求
めたが、回転の中心Ｄａ以外の位置に設けられ１つの揺
動検出部を備えた１つのスライダのみでも多少の精度は
劣るが回転ずれ量を求めることができる。
検出部および長手方向位置検出部を具備した光学式位置
検出装置の動作を図１を用いて説明する。従来技術の説
明で述べたように、図示した加工機において、第２部材
２の移動をガイドするガイド機構が理想的であれば、第
２部材２は姿勢を変えることなしに第１部材１上でＺ方
向にだけ直線的に移動する。しかしながら、現実にはガ
イド機構の真直度誤差やガタ等によって、第２部材２が
わずかながらＹ方向に変位したり、Ｘ方向を軸として回
転するいわゆるピッチングを発生することがある。この
ようなずれが発生すると、光学式位置検出装置のスライ
ダ２０の検出点Ｄａはメインスケール１０上で正確な位
置に位置決めされているにもかかわらず、加工用工具３
の刃先位置ＭはＺ方向やＹ方向にずれることとなり正確
な加工ができなくなる。例えば、第２部材２がピッチン
グによってＸ軸を中心に左に回転すると、刃先はＥだけ
ずれてしまい加工誤差を発生してしまう。また、第２部
材２がＹ方向に平行に変位した場合は当然加工点ＭもＹ
方向にずれてしまい加工誤差を発生してしまう。しか
し、本実施例によれば、もし、第２部材２が姿勢を変え
ることなくＹ方向にずれた場合は、揺動検出部を備えた
スライダ２１、２２には同じ向きで同じ量のＹ方向ずれ
量が検出される。その場合は、Ｙ方向の位置を制御する
制御装置とアクチュエータ（図示せず）によって、検出
された量だけ移動させることによってずれ量は補正さ
れ、加工用工具３の加工点Ｍを正確な位置に位置決めす
ることができる。また、第２部材２が例えば点Ｄａを中
心にＸ方向を軸として左方向に回転ずれを発生した場
合、揺動検出部を備えたスライダ２１、２２には逆の向
きで同じ量のＹ方向のずれが発生するが、本実施例にお
いては、この揺動検出部から得られたずれ量から、第１
部材１に対する第２部材２のメインスケール１０の面に
垂直な方向を軸とする回転ずれ量を求める回転ずれ算出
手段としての回転ずれ算出部１５を設けたことで、その
回転ずれ量を求めることができる。例えば、そのずれ量
をｄとすると傾斜の勾配は２ｄ／（Ｌ１＋Ｌ２）とな
り、回転中心Ｄａから加工点Ｍまでの距離をＬ０とする
と、加工点Ｍのずれ量Ｅは、２ｄ・Ｌ０／（Ｌ１＋Ｌ
２）で表される。ここで、回転の中心Ｄａから加工点Ｍ
とを結ぶ線と座標軸のなす角度が分かっていれば、この
ずれ量ＥのＹ方向成分とＺ方向成分である回転ずれ量Ｅ
y 、Ｅz をそれぞれ算出することができる。したがっ
て、Ｙ方向の位置を制御する制御装置とアクチュエータ
（図示せず）によって、加工点ＭのずれのＹ方向成分Ｅ
y だけ加工点を移動させることによってＹ方向ずれ量は
補正され、同様にＺ方向の位置を制御する制御装置とア
クチュエータ（図示せず）によって、加工点のずれのＺ
方向成分Ｅz だけ加工点を移動させることによってＺ方
向ずれ量は補正され加工用工具３の加工点Ｍを正確な位
置に位置決めすることができる。第２部材２のＹ軸に平
行なずれと、回転ずれが同時に起こった場合でも上述の
方法を組み合わせれば簡単に加工点Ｍの位置を正確に位
置決めすることができる。なお、上記においては、２つ
のスライダ２１、２２を用いて加工点Ｍのずれ量Ｅを求
めたが、回転の中心Ｄａ以外の位置に設けられ１つの揺
動検出部を備えた１つのスライダのみでも多少の精度は
劣るが回転ずれ量を求めることができる。
【００１０】本発明の第２の実施例を図５に示し、説明
する。基本的な構成は第１の実施例と同じであるので説
明を省略する。本実施例では、第２部材２には２つのス
ライダ５０、５１が取付けられている。２つのスライダ
のうちスライダ５１には前述した揺動検出部が具備され
ており、もう一方のスライダ５０には揺動検出部と前述
した長手方向位置検出部とが両方具備されている。この
場合第２部材２のＺ方向の位置は、スライダ５０内の長
手方向位置検出部によって検出可能である。また、第２
部材２のＹ方向のずれやＸ軸を中心にしたピッチングは
スライダ４０内の揺動検出部と、スライダ５１内の揺動
検出部とによって検出し、第１の実施例と同じように補
正することによって簡単に加工点の位置を正確に位置決
めすることができる。
する。基本的な構成は第１の実施例と同じであるので説
明を省略する。本実施例では、第２部材２には２つのス
ライダ５０、５１が取付けられている。２つのスライダ
のうちスライダ５１には前述した揺動検出部が具備され
ており、もう一方のスライダ５０には揺動検出部と前述
した長手方向位置検出部とが両方具備されている。この
場合第２部材２のＺ方向の位置は、スライダ５０内の長
手方向位置検出部によって検出可能である。また、第２
部材２のＹ方向のずれやＸ軸を中心にしたピッチングは
スライダ４０内の揺動検出部と、スライダ５１内の揺動
検出部とによって検出し、第１の実施例と同じように補
正することによって簡単に加工点の位置を正確に位置決
めすることができる。
【００１１】本発明の第３の実施例を図６に示し、説明
する。基本的な構成は第１の実施例と同じであるので説
明を省略する。本実施例では、第２部材２には１つのス
ライダ６０が取付けられている。スライダ６０には２つ
の前述した揺動検出部と前述した１つの長手方向位置検
出部とが両方具備されている。この場合、第２部材２の
Ｚ方向の位置は、長手方向位置検出部によって検出可能
である。また、第２部材のＹ方向のずれやＸ軸を中心に
したピッチングは２つの揺動検出部とによって検出し、
第１の実施例と同じように補正することによって簡単に
加工点の位置を正確に位置決めすることができる。ま
た、このように２つの揺動検出部と長手方向位置検出部
を合わせ持つ構成を簡素化したスライダの内部の構成の
例を図７に示す。この構成においては、１つのインデッ
クススケール５３上に揺動検出のための２つの格子トラ
ックと長手方向位置検出のための格子トラックが併せて
施されている。そして、一組の発光素子３１とコリメー
タレンズ３２で揺動検出と長手方向位置検出に必要な範
囲を照らしている。メインスケール１０とインデックス
スケール５３上の３つの格子トラックを透過した光はそ
れぞれに光電変換素子で光電変換される。この実施例に
よれば、１のスライダで効果を得ることができるので省
スペースに寄与する。また、図７のように一体化された
インデックススケール５３や、１組の発光素子３１とコ
リメータレンズ３２による構成によってさらにスライダ
自体をコンパクトにすることができる。
する。基本的な構成は第１の実施例と同じであるので説
明を省略する。本実施例では、第２部材２には１つのス
ライダ６０が取付けられている。スライダ６０には２つ
の前述した揺動検出部と前述した１つの長手方向位置検
出部とが両方具備されている。この場合、第２部材２の
Ｚ方向の位置は、長手方向位置検出部によって検出可能
である。また、第２部材のＹ方向のずれやＸ軸を中心に
したピッチングは２つの揺動検出部とによって検出し、
第１の実施例と同じように補正することによって簡単に
加工点の位置を正確に位置決めすることができる。ま
た、このように２つの揺動検出部と長手方向位置検出部
を合わせ持つ構成を簡素化したスライダの内部の構成の
例を図７に示す。この構成においては、１つのインデッ
クススケール５３上に揺動検出のための２つの格子トラ
ックと長手方向位置検出のための格子トラックが併せて
施されている。そして、一組の発光素子３１とコリメー
タレンズ３２で揺動検出と長手方向位置検出に必要な範
囲を照らしている。メインスケール１０とインデックス
スケール５３上の３つの格子トラックを透過した光はそ
れぞれに光電変換素子で光電変換される。この実施例に
よれば、１のスライダで効果を得ることができるので省
スペースに寄与する。また、図７のように一体化された
インデックススケール５３や、１組の発光素子３１とコ
リメータレンズ３２による構成によってさらにスライダ
自体をコンパクトにすることができる。
【００１２】本発明の第４の実施例を図８に示し説明す
る。本実施例では、前述の実施例で説明したメインスケ
ール１０を第１のメインスケールとした場合、この第１
のメインスケールに対して垂直でかつ長手方向に平行に
なるように新たに第２のメインスケール１２０を設けた
ことを特徴とする。この第２のメインスケール１２０に
は、長手方向に平行な格子線を持つ第２の揺動検出用ト
ラック１３が設けられている。また、スライダ側の検出
手段は図示しないが第２の揺動検出用トラック１３に対
応して新たに第２の揺動検出部を設ける。このように構
成された実施例によれば、第２部材のＹ方向のずれだけ
でなくＸ方向のずれも検出することができる。また、第
２の揺動検出用トラックに対して複数の揺動検出部を設
けることにより第２部材がＹ軸のまわりに回転するず
れ、つまり、ヨーイング成分も検出することができる。
したがって、この実施例によれば、第２部材のＺ方向の
位置の他に、Ｙ方向のずれ、Ｘ方向のずれ、そして、Ｘ
軸を中心とした回転ずれ（ピッチング）、Ｙ軸を中心と
した回転ずれ（ヨーイング）を同時に検出することが可
能となる。なお、上記各実施例における検出手段では、
メインスケールを透過した光を光電変換する構成にした
が、メインスケールに反射する光を光電変換するような
構成にしても同等の効果を得ることができる。また、本
発明は、１本のメインスケールに対し、長手方向位置検
出手段と揺動検出手段のうちいずれか一方を１つ以上備
えた少なくとも１つ以上のスライダを持つことを特徴と
するものなので、長手方向位置検出部、揺動検出部及び
これらを備えるスライダの組合せは、上述した各実施例
に限られたものではない。
る。本実施例では、前述の実施例で説明したメインスケ
ール１０を第１のメインスケールとした場合、この第１
のメインスケールに対して垂直でかつ長手方向に平行に
なるように新たに第２のメインスケール１２０を設けた
ことを特徴とする。この第２のメインスケール１２０に
は、長手方向に平行な格子線を持つ第２の揺動検出用ト
ラック１３が設けられている。また、スライダ側の検出
手段は図示しないが第２の揺動検出用トラック１３に対
応して新たに第２の揺動検出部を設ける。このように構
成された実施例によれば、第２部材のＹ方向のずれだけ
でなくＸ方向のずれも検出することができる。また、第
２の揺動検出用トラックに対して複数の揺動検出部を設
けることにより第２部材がＹ軸のまわりに回転するず
れ、つまり、ヨーイング成分も検出することができる。
したがって、この実施例によれば、第２部材のＺ方向の
位置の他に、Ｙ方向のずれ、Ｘ方向のずれ、そして、Ｘ
軸を中心とした回転ずれ（ピッチング）、Ｙ軸を中心と
した回転ずれ（ヨーイング）を同時に検出することが可
能となる。なお、上記各実施例における検出手段では、
メインスケールを透過した光を光電変換する構成にした
が、メインスケールに反射する光を光電変換するような
構成にしても同等の効果を得ることができる。また、本
発明は、１本のメインスケールに対し、長手方向位置検
出手段と揺動検出手段のうちいずれか一方を１つ以上備
えた少なくとも１つ以上のスライダを持つことを特徴と
するものなので、長手方向位置検出部、揺動検出部及び
これらを備えるスライダの組合せは、上述した各実施例
に限られたものではない。
【００１３】
【発明の効果】本発明の光学式位置検出装置は、第１部
材上に取付けられ長手方向位置検出用格子トラックと揺
動検出用トラックが両方設けられた１本のメインスケー
ルと、第２部材上にとりつけられた長手方向位置検出手
段と少なくとも１つ以上の揺動検出手段によって、第１
部材上でメインスケール長手方向に移動する第２部材の
位置を読み取るだけでなく、回転ずれ算出手段を設けた
ことにより第２部材のメインスケール長手方向に垂直な
方向に関するずれ量や、メインスケール面に垂直な方向
を軸とする回転ずれ量を検出することができる。また、
第１のメインスケールに垂直で長手方向に平行に第２の
メインスケールを設けることで、第２部材のＹ方向のず
れだけでなくＸ方向のずれも検出することができる。従
って、制御装置やアクチュエータで検出したずれ量を補
正して制御することで、第２部材上の加工工具の加工点
の位置を正確に位置決めすることができる。
材上に取付けられ長手方向位置検出用格子トラックと揺
動検出用トラックが両方設けられた１本のメインスケー
ルと、第２部材上にとりつけられた長手方向位置検出手
段と少なくとも１つ以上の揺動検出手段によって、第１
部材上でメインスケール長手方向に移動する第２部材の
位置を読み取るだけでなく、回転ずれ算出手段を設けた
ことにより第２部材のメインスケール長手方向に垂直な
方向に関するずれ量や、メインスケール面に垂直な方向
を軸とする回転ずれ量を検出することができる。また、
第１のメインスケールに垂直で長手方向に平行に第２の
メインスケールを設けることで、第２部材のＹ方向のず
れだけでなくＸ方向のずれも検出することができる。従
って、制御装置やアクチュエータで検出したずれ量を補
正して制御することで、第２部材上の加工工具の加工点
の位置を正確に位置決めすることができる。
【図１】 本発明に係る光学式位置検出装置の第１実施
例の構成を示す概略図である。
例の構成を示す概略図である。
【図２】 第１実施例で使われるメインスケールを示す
概略図である。
概略図である。
【図３】 第１実施例の揺動検出部を説明する概略図で
ある。
ある。
【図４】 第１実施例の長手方向位置検出部を説明する
概略図である。
概略図である。
【図５】 第２実施例の構成を示す概略図である。
【図６】 第３実施例の構成を示す概略図である。
【図７】 第３実施例の揺動検出部と長手方向位置検出
部を説明する概略図である。
部を説明する概略図である。
【図８】 第４実施例で使われるメインスケールを示す
概略図である。
概略図である。
【図９】 従来の光学式位置検出装置と従来の光学式位
置検出装置を使った加工機を示した概略図である。
置検出装置を使った加工機を示した概略図である。
【図１０】 従来のスライダの内部に設けられた検出手
段の構成を示した図である。
段の構成を示した図である。
【図１１】 従来の光学式位置検出装置で使われるメイ
ンスケールを示す概略図である。
ンスケールを示す概略図である。
１ 第１部材 ２ 第２部材 ３ 加工工具 １０、１１０、１２０ メインスケール １１１ 格子トラック １１、１３ 揺動検出用格子トラック １２ 長手方向位置検出用格子トラック １５ 回転ずれ算出部 ２０、２１、２２、５０、５１、６０、１２０ スライ
ダ ３１ 発光素子 ３２ コリメータレンズ ３３、４３、５３、１３３ インデックススケール ３４、４４、１３４ 光電変換素子
ダ ３１ 発光素子 ３２ コリメータレンズ ３３、４３、５３、１３３ インデックススケール ３４、４４、１３４ 光電変換素子
Claims (4)
- 【請求項１】 スケール長手方向に垂直な格子線を持っ
た長手方向位置検出用格子トラックと長手方向に平行な
格子線を持った揺動検出用格子トラックとが施され、第
１部材に取り付けられたメインスケールと、 前記第１部材と相対的に移動する第２部材に取り付けら
れ、光源と前記メインスケール上の長手方向位置検出用
格子トラックに対応する格子トラックが施されたインデ
ックススケールと前記メインスケールを透過あるいは反
射した光を光電変換する光電変換素子とを備え、前記メ
インスケール長手方向に関する位置を検出する長手方向
位置検出手段と、 前記第２部材に取り付けられ、光源と前記メインスケー
ル上の揺動検出用格子トラックに対応する格子トラック
が施されたインデックススケールと前記メインスケール
を透過あるいは反射した光を光電変換する光電変換素子
とを備え、前記メインスケールの長手方向に垂直な方向
に関するずれ量を検出する少なくとも１つ以上の揺動検
出手段と、 を有することを特徴とする光学式位置検出装置。 - 【請求項２】 前記揺動検出手段から得られたずれ量か
ら、前記第１部材に対する前記第２部材のメインスケー
ル面に垂直な方向を軸とする回転ずれ量を求める回転ず
れ算出手段を有することを特徴とする請求項１記載の光
学式位置検出装置。 - 【請求項３】 １本のメインスケールに対し、前記長手
方向位置検出手段と前記揺動検出手段のうち少なくとも
いずれか一方を１つ以上備えた少なくとも１つ以上のス
ライダを持つことを特徴とする請求項１記載の光学式位
置検出装置。 - 【請求項４】 スケール長手方向に垂直な格子線を持っ
た長手方向位置検出用格子トラックと長手方向に平行な
格子線を持った第１の揺動検出用格子トラックとが施さ
れ、第１部材に取り付けられた第１のメインスケール
と、 長手方向に平行な格子線を持った第２の揺動検出用格子
トラックが施され、前記第１のメインスケールに垂直で
長手方向に平行に設けられた第２のメインスケールと、 前記第１部材と相対的に移動する第２部材に取り付けら
れ、光源と前記第１のメインスケール上の長手方向位置
検出用格子トラックに対応する格子トラックが施された
インデックススケールと前記第１のメインスケールを透
過あるいは反射した光を光電変換する光電変換素子とを
備え、前記第１のメインスケール長手方向に関する位置
を検出する長手方向位置検出手段と、 前記第２部材に取り付けられ、光源と前記第１のメイン
スケール上の第１の揺動検出用格子トラックに対応する
格子トラックが施されたインデックススケールと前記第
１のメインスケールを透過あるいは反射した光を光電変
換する光電変換素子とを備え、前記第１のメインスケー
ルの長手方向に垂直な方向に関するずれ量を検出する第
１の揺動検出手段と、 前記第２部材に取り付けられ、光源と前記第２のメイン
スケール上の第２の揺動検出用格子トラックに対応する
格子トラックが施されたインデックススケールと前記第
２のメインスケールを透過あるいは反射した光を光電変
換する光電変換素子とを備え、前記第２のメインスケー
ルの長手方向に垂直な方向に関するずれ量を検出する第
２の揺動検出手段と、 を有することを特徴とする光学式位置検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17838494A JP3230789B2 (ja) | 1994-07-29 | 1994-07-29 | 光学式位置検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17838494A JP3230789B2 (ja) | 1994-07-29 | 1994-07-29 | 光学式位置検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0843134A true JPH0843134A (ja) | 1996-02-16 |
| JP3230789B2 JP3230789B2 (ja) | 2001-11-19 |
Family
ID=16047556
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17838494A Expired - Fee Related JP3230789B2 (ja) | 1994-07-29 | 1994-07-29 | 光学式位置検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3230789B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014059297A (ja) * | 2012-08-20 | 2014-04-03 | Dmg Mori Seiki Co Ltd | スケール装置、位置情報生成方法及び多軸ステージ装置 |
| CN103884276A (zh) * | 2012-12-20 | 2014-06-25 | 约翰内斯·海德汉博士有限公司 | 光学位置测量装置 |
| CN109612569A (zh) * | 2018-12-29 | 2019-04-12 | 中国计量科学研究院 | 一种激光干涉法低频振动校准的长冲程振动台导轨弯曲修正方法 |
| JP2020008581A (ja) * | 2018-07-04 | 2020-01-16 | ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツングＤｒ． Ｊｏｈａｎｎｅｓ Ｈｅｉｄｅｎｈａｉｎ Ｇｅｓｅｌｌｓｃｈａｆｔ Ｍｉｔ Ｂｅｓｃｈｒａｎｋｔｅｒ Ｈａｆｔｕｎｇ | スピンドルまたは回転テーブルのための測定装置 |
-
1994
- 1994-07-29 JP JP17838494A patent/JP3230789B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014059297A (ja) * | 2012-08-20 | 2014-04-03 | Dmg Mori Seiki Co Ltd | スケール装置、位置情報生成方法及び多軸ステージ装置 |
| CN103884276A (zh) * | 2012-12-20 | 2014-06-25 | 约翰内斯·海德汉博士有限公司 | 光学位置测量装置 |
| JP2014122901A (ja) * | 2012-12-20 | 2014-07-03 | Dr Johannes Heidenhain Gmbh | 光学的位置測定装置 |
| JP2020008581A (ja) * | 2018-07-04 | 2020-01-16 | ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツングＤｒ． Ｊｏｈａｎｎｅｓ Ｈｅｉｄｅｎｈａｉｎ Ｇｅｓｅｌｌｓｃｈａｆｔ Ｍｉｔ Ｂｅｓｃｈｒａｎｋｔｅｒ Ｈａｆｔｕｎｇ | スピンドルまたは回転テーブルのための測定装置 |
| CN109612569A (zh) * | 2018-12-29 | 2019-04-12 | 中国计量科学研究院 | 一种激光干涉法低频振动校准的长冲程振动台导轨弯曲修正方法 |
| CN109612569B (zh) * | 2018-12-29 | 2021-04-09 | 中国计量科学研究院 | 一种激光干涉法低频振动校准的长冲程振动台导轨弯曲修正方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3230789B2 (ja) | 2001-11-19 |
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