JP7316743B2

JP7316743B2 - 回転テーブル

Info

Publication number: JP7316743B2
Application number: JP2022507711A
Authority: JP
Inventors: 虎陳; 慧杰劉; 静文劉; 文彬蒋; 玉▲トン▼ 黄
Original assignee: Dalian Kede Numerical Control Co Ltd
Current assignee: Dalian Kede Numerical Control Co Ltd
Priority date: 2019-08-15
Filing date: 2020-08-14
Publication date: 2023-07-28
Anticipated expiration: 2040-08-14
Also published as: CN112388339A; WO2021027915A1; EP4015139A1; JP2022543665A; US20220288731A1; KR20220066259A; KR102641552B1; EP4015139A4

Description

本発明は関連性を有する運動制御機構の技術分野に属し、特にリンク回転テーブル及びその非干渉制御方法に関する。

リンクの非干渉制御方法について、主な応用事例は出願番号がＣＮ２０１８１０８０６３３３．１、出願人が科徳数控股▲ふん▼有限公司、名称が「ボールねじをドラッグするクレードル型回転テーブル」である中国特許出願であり、該構造の簡略化された運動プロセスは図２に示すとおりである。

従来の制御方法によれば、二方向の軸運動を単独で制御し、垂直方向をＺ０軸、水平方向をＸ軸、回転テーブルの水平スライド機構をＸ′、回転テーブル揺動機構をＡ軸とした場合、Ｚ０軸のリニアスケールが回転テーブルベースに取り付けられ、方向はＺ０軸の垂直方向ガイドレールと平行であり、Ｚ０軸読み取りヘッドがＺ軸ねじナットに取り付けられ、Ｘ軸リニアスケールがベッドに取り付けられ、方向はＸ軸ガイドレールと平行であり、Ｘ軸読み取りヘッドが回転テーブルベースに取り付けられ、回転テーブル工作機械に伴って水平に変位する。この従来の取り付け方法には、制御時に以下のようないくつかの欠点が存在する。

１．Ｚ０軸が回転テーブルをドラッグする時に生じる回転テーブルの水平変位ΔＸ′を追加計算する必要がある。

２．回転テーブルの水平瞬間変位で算出された値は一般的に一定の遅延及び誤差を有し、Ｘ軸コマンドに重畳され、表現位置が正確ではなく、精度に悪影響を及ぼす。

３．一般的なリニア軸の制御方法に比べて修正が大きく、応用が煩雑である。

４．Ａ軸とＸ軸に、制御アルゴリズムにおける相互の結合関係が存在する。

上記従来技術に存在する課題を解決するために、本発明は、Ｘ軸の動的性能に対する要件を低下させ、Ｚ０軸により生じる回転テーブルの水平変位ΔＸ′を手動計算する必要がなく、且つ制御精度を向上させるリンク回転テーブル及びその非干渉制御方法を提供する。

技術的解決手段は以下のとおりである。

リンク回転テーブルは、回転テーブルコラムと、リンク回転テーブルと、Ｘ軸リニアスケール読み取りヘッドと、Ｘ軸リニアスケールと、回転テーブルベースと、摺動機構Ａと、摺動機構Ｂと、を含むものであり、前記回転テーブルコラムは前記回転テーブルベースに垂直に取り付けられ、前記回転ターンテーブルは摺動機構Ａを介して前記回転テーブルコラムにスライド可能に接続され、前記リンク回転テーブルは前記摺動機構Ｂを介して前記回転テーブルベースに摺動可能に接続され、前記Ｘ軸リニアスケール読み取りヘッドは前記摺動機構Ｂに取り付けられ、前記Ｘ軸リニアスケールは前記回転テーブルベースの下方に取り付けられ、且つ前記Ｘ軸リニアスケール読み取りヘッドに対向して設置される、ことを特徴とする。

さらに、前記摺動機構Ａは、Ｚ０軸ボールねじと、Ｚ０軸ラムと、リンク機構第１回転ノードと、リンク機構ロッドと、Ｚ０軸ガイドレールと、を含み、前記Ｚ０軸ガイドレールは前記回転テーブルコラムに設けられ、前記Ｚ０軸ボールねじは前記Ｚ０軸ガイドレールに接続され、前記Ｚ０軸ラムは前記Ｚ０軸ガイドレールに摺動可能に接続され、前記リンク機構ロッドの一端は前記リンク機構第１回転ノードを介して前記Ｚ０軸ラムに回転可能に接続され、他端は前記リンク回転テーブルに接続される。

さらに、前記摺動機構Ｂは、水平ガイドレールと、リンク機構第２回転ノードと、水平ラムと、を含み、前記水平ガイドレールは前記回転テーブルベースに設けられ、前記リンク回転テーブルは前記リンク機構第２回転ノードを介して前記水平ラムに回転可能に接続され、前記水平ラムは前記水平ガイドレールに摺動可能に接続され、前記Ｘ軸リニアスケール読み取りヘッドは前記水平ラムに取り付けられる。

さらに、リンク回転テーブルは、リンク回転テーブルラムと、ベッドと、回転テーブルガイドレールと、回転テーブルドラッグねじと、回転テーブルドラッグナットと、を含み、前記ベッドに前記回転テーブルガイドレールと、回転テーブルドラッグねじと、リンク回転テーブルラムが設けられ、前記リンク回転テーブルラムは前記回転テーブルガイドレールに摺動可能に接続され、前記回転テーブルドラッグねじに前記回転テーブルドラッグナットが設けられる。

本発明は、さらに、三角構造の斜辺の長さＬを測定するステップＳ１と、システムに入力されたＡ軸座標を、Ｚ０＝Ｌ*ｃｏｓαに従ってＺ０軸の座標に換算してＺ０軸に入力し、ただし、Ｚ０はＺ０軸のナット位置のＺ０軸基準点に対する長さを表し、基準点はリンク構造の２つの回転ノードの変位軌跡の延長線の交差部に位置し、αは回転テーブルの角度を表し、すなわち回転テーブルの法線とＸ′軸の正方向との夾角であるステップＳ２と、を含むリンク回転テーブルの非干渉制御方法を含む。

速度制御方法であれば、ΔＺ０＝Ｌ*（ｃｏｓα_１－ｃｏｓα_２）に従ってＺ０の周期的な変位に換算してＺ０軸に入力し、ΔＺ０はＺ０軸の変位、α_１は回転テーブルの移動前の角度、α_２は回転テーブルの移動後の角度を示す。

さらに、三角構造の斜辺の長さＬを測定する前に、リンク回転テーブルの組み立てを行うステップは、
Ｘ軸リニアスケールをＸ軸に平行にベッドに取り付けるステップＳ０．１と、
Ｘ軸リニアスケールの読み取りヘッドをＸ軸リニアスケールに位置合わせし、水平ラムに固定し、リンク回転テーブルの水平移動を繰り返して、読み取りを検査するステップＳ０．２と、
リンク回転テーブルの円形スケールをＡ軸の回転中心に対向して同軸に取り付けるステップＳ０．３と、を含む。

さらに、三角構造の斜辺の長さＬを取得するステップは、
Ｚ０を第１位置に移動させ、Ｚ０の座標Ｚ０_１と、Ａ軸の角度α_１と、を記録するステップと、Ｚ０を第２位置に移動させ、Ｚ０の座標Ｚ０_２と、回転テーブルの角度α_２と、を記録するステップと、Ｌ＊ｃｏｓα_１－Ｌ＊ｃｏｓα_２＝Ｚ０_１－Ｚ０_２に基づいて、Ｌ＝ΔＺ０／（ｃｏｓα_１－ｃｏｓα_２）で表される三角構造の斜辺の長さＬを算出するステップと、を含む。

さらに、ステップＳ２は、
コマンドＡ０であるΔαをＺ０コントローラに送信し、コマンドＸをＸ軸コントローラに送信するステップＳ２．１と、
Ｚ０コントローラはコマンド及びフィードバックされたＡ軸回転角に基づいて次の周期にＡ軸が走行すべき距離Δαを算出し、送信されたコマンド角度Δαは追従誤差及び速度フィードフォワードを含み、Ａ０軸コントローラはコマンド及びフィードバックされたＡ軸回転角に基づいて次の周期にＡ軸が走行すべき距離Δαを算出し、送信されたコマンド角度Δαは追従誤差及び速度フィードフォワードを含み、Ｘ軸は同様のフローを実行するステップＳ２．２と、
Ｚ０アクチュエータに入力する前に、ΔαはΔＺ０＝Ｌ（ｃｏｓα_１－ｃｏｓ（α_１＋Δα））に基づき、現在のＺ０が走行すべき直線距離ΔＺ０に換算し、さらにコマンドをＺ０アクチュエータに送信し、ΔＸをＸ軸アクチュエータに送信するステップＳ２．３と、
Ｚ０アクチュエータは回転テーブル連動機構を駆動してＡ軸揺動角変化Δα′と、Ｘ軸方向水平変位ΔＸ′を生成し、ただし、Δα′は次の周期の閉ループ演算に関与するために用いられ、Ｘ軸アクチュエータは同様に変位ΔＸ_０を生成し、ΔＸ_０は回転テーブル連動機構が生成した水平変位ΔＸ′と重畳して次の周期の閉ループ演算に関与するステップＳ２．４と、
ステップＳ２．１～ステップＳ２．４を周期的に繰り返し実行するＳ２．５と、を含む。

本発明に記載のリンク回転テーブル及びその非干渉制御方法の有益な効果は以下のとおりである。従来の制御方法において、Ｚ０軸とＸ軸の閉ループ制御はそれぞれ干渉せず、水平方向の変位を手動計算してから、さらに水平方向の変位をＸ軸コマンドに手作業で追加する必要があり、その間には、計算により生じる誤差だけでなく大きな遅延も存在する。しかし制御アルゴリズムを変更することで、Ｚ０軸の移動によって生成された水平変位は、オーバーレイ測定の方式によってＸ軸の閉ループに直接取り込まれ、リニアスケールによって直接計算された変位は精度が高く、遅延がないため、このような機械構造におけるより効果的な制御レベルを達成できる。

また最適化された制御アルゴリズムは、Ａ軸が回転する過程において、Ｘ軸にＲＴＣＰによる運動特性を持たせ、Ｘ軸モータの動的性能に対する要件を低下させる。

本発明のリンク回転テーブルの構造概略図である。背景技術に係る解決手段の構造の簡略化された運動プロセスの概略図である。従来の制御アルゴリズム図である。本発明の非干渉制御アルゴリズムの原理図である。本発明の非干渉制御アルゴリズムの制御フローチャートである。

以下に図１～図５を参照しながら、リンク回転テーブル及びその非干渉制御方法についてさらに説明する。

リンク回転テーブルは、回転テーブルコラム１と、リンク回転テーブル８と、Ｘ軸リニアスケール読み取りヘッド１０と、Ｘ軸リニアスケール１３と、回転テーブルベース１４と、摺動機構Ａと、摺動機構Ｂと、を含むものであり、前記回転テーブルコラム１は前記回転テーブルベース１４に垂直に取り付けられ、前記リンク回転テーブル８は摺動機構Ａを介して前記回転テーブルコラム１にスライド可能に接続され、前記リンク回転テーブル８は前記摺動機構Ｂを介して前記回転テーブルベース１４に摺動可能に接続され、前記Ｘ軸リニアスケール読み取りヘッド１０は前記摺動機構Ｂに取り付けられ、前記Ｘ軸リニアスケール１３は前記回転テーブルベース１４の下方に取り付けられ、且つベッドに固定され、且つ前記Ｘ軸リニアスケール読み取りヘッド１０に対向して設置される、ことを特徴とする。

さらに、前記摺動機構Ａは、Ｚ０軸ボールねじ２と、Ｚ０軸ラム３と、リンク機構第１回転ノード４と、リンク機構ロッド５と、Ｚ０軸ガイドレール６と、を含み、前記Ｚ０軸ガイドレール６は前記回転テーブルコラム１に設けられ、前記Ｚ０軸ボールねじ２は前記Ｚ０軸ガイドレール６に接続され、前記Ｚ０軸ラム３は前記Ｚ０軸ガイドレール６に摺動可能に接続され、前記リンク機構ロッド５の一端は前記リンク機構第１回転ノード４を介して前記Ｚ０軸ラム３に回転可能に接続され、他端は前記リンク回転テーブル８に接続される。

さらに、前記摺動機構Ｂは、水平ガイドレール７と、リンク機構第２回転ノード９と、水平ラム１１と、を含み、前記水平ガイドレール７は前記回転テーブルベース１４に設けられ、前記リンク回転テーブル８は前記リンク機構第２回転ノード９を介して前記水平ラム１１に回転可能に接続され、前記水平ラム１１は前記水平ガイドレール７に摺動可能に接続され、前記Ｘ軸リニアスケール読み取りヘッド１０は前記水平ラム１１に取り付けられる。

さらに、リンク回転テーブルは、リンク回転テーブルラム１２と、ベッド１５と、回転テーブルガイドレール１６と、回転テーブルドラッグねじ１７と、回転テーブルドラッグナット１８と、を含み、前記ベッド１５に前記回転テーブルガイドレール１６と、回転テーブルドラッグねじ１７と、リンク回転テーブルラム１２が設けられ、前記リンク回転テーブルラム１２は前記回転テーブルガイドレール１６に摺動可能に接続され、前記回転テーブルドラッグねじ１７に前記回転テーブルドラッグナット１８が設けられ、前記リンク回転テーブルラム１２は回転テーブルベース１４の上面に固定され、さらにベッド１５上の回転テーブルガイドレール１６に摺動可能に接続される。

リンク回転テーブルの非干渉制御方法は、三角構造の斜辺の長さＬを測定するステップＳ１と、システムに入力されたＡ軸座標を、Ｚ０＝Ｌ*ｃｏｓαに従ってＺ０軸の座標に換算してＺ０軸に入力し、ただし、Ｚ０はＺ０軸のナット位置のＺ０軸基準点に対する長さを表し、基準点はリンク構造の２つの回転ノードの変位軌跡の延長線の交差部に位置し、αは回転テーブルの角度を表し、すなわち回転テーブルの法線とＸ′軸の正方向との夾角であるステップＳ２と、を含む。

速度制御方法であれば、ΔＺ０＝Ｌ＊（ｃｏｓα_１－ｃｏｓα_２）に従ってＺ０の周期的な変位に換算してＺ０軸に入力し、ただし、ΔＺ０はＺ０軸の変位、α_１は回転テーブルの移動前の角度、α_２は回転テーブルの移動後の角度を示す。

さらに、三角構造の斜辺の長さＬを取得するステップは、
Ｚ０を第１位置に移動させ、Ｚ０の座標Ｚ０_１と、Ａ軸の角度α_１と、を記録するステップと、Ｚ０を第２位置に移動させ、Ｚ０の座標Ｚ０_２と、回転テーブルの角度α_２と、を記録するステップと、Ｌ*ｃｏｓα_１－Ｌ*ｃｏｓα_２＝Ｚ０_１－Ｚ０_２に基づいて、Ｌ＝ΔＺ０／（ｃｏｓα_１－ｃｏｓα_２）で表される三角構造の斜辺の長さＬを算出するステップと、を含む。

さらに、ステップＳ２は、
コマンドＡ０であるΔαをＺ０コントローラに送信し、コマンドＸをＸ軸コントローラに送信するステップＳ２．１と、
Ｚ０コントローラはコマンド及びフィードバックされたＡ軸回転角に基づいて次の周期にＡ軸が走行すべき距離Δαを算出し、送信されたコマンド角度Δαは追従誤差及び速度フィードフォワードを含み、
Ａ０軸コントローラはコマンド及びフィードバックされたＡ軸回転角に基づいて次の周期にＡ軸が走行すべき距離Δαを算出し、送信されたコマンド角度Δαは追従誤差及び速度フィードフォワードを含み、Ｘ軸は同様のフローを実行するステップＳ２．２と、
Ｚ０アクチュエータに入力する前に、Δαは式ΔＺ０＝Ｌ（ｃｏｓα_１－ｃｏｓ（α_１＋Δα））に基づき、現在のＺ０が走行すべき直線距離ΔＺ０に換算し、さらにコマンドをＺ０アクチュエータに送信し、ΔＸをＸ軸アクチュエータに送信するステップＳ２．３と、
Ｚ０アクチュエータは回転テーブル連動機構を駆動してＡ軸揺動角変化Δα′と、Ｘ軸方向水平変位ΔＸ′を生成し、Δα′は次の周期の閉ループ演算に関与するために用いられ、Ｘ軸アクチュエータは同様に変位ΔＸ_０を生成し、ΔＸ_０は回転テーブル連動機構が生成した水平変位ΔＸ′と重畳して次の周期の閉ループ演算に関与するステップＳ２．４と、
ステップＳ２．１～ステップＳ２．４を周期的に繰り返し実行するＳ２．５と、を含む。

本願が提供する制御方法は、変更が容易で迅速であり、コストが低く、効果が顕著である。本願に記載の技術的解決手段を実現するには、Ｘ軸の読み取りヘッドを回転テーブルベースから回転テーブル支持スライダに改造するだけでよい。

従来の制御方法は図３に示すアルゴリズム原理図のとおりである。

本願が提供する制御手段の原理は図４に示す原理図のとおりである。

なお、図における破線部分は別途実現する必要がなく、Ｘ軸読み取りヘッドの取り付け位置を変更するだけでよく、Ｘ軸制御アルゴリズムはいかなる変更も行う必要がない。

従来の制御アルゴリズムでは、Ｚ０に基づいて水平方向の変位を算出し、且つコマンドＸに追加する必要があるが、ここでは、読み取りヘッドが回転テーブル支持スライダに取り付けられるため、Ｚ０軸の移動により生じる回転テーブルの水平変位に対して、リニアスケール（又は他の測定装置）を介して、リアルタイムにフィードバックされた変位をＸ軸の閉ループにリアルタイムにフィードバックすることができる。

Ｘ軸のコマンドＸが変化しない場合、Ｚ０軸が回転テーブルをドラッグする過程で回転テーブルの水平中心が変化しないことを自動的に実現することができ、即ち図２においてＡ軸の回転中心であるＸの左側は常にＸ１である。

この制御構造に特有の利点は、以下のように要約される。

１．回転テーブルの水平変位はリニアスケールで測定されるため、水平変位を計算する部分を省き、労力を節約する。

２．回転テーブルの水平変位はリニアスケールで測定されるため、数値のリアルタイム性と精度を保証することができ、制御が有するべき精度を保証する。

３．実際の応用においては、読み取りヘッドが回転テーブル支持スライダに取り付けられ、回転テーブルが水平に生成する変位がＸ軸の水平変位フィードバックに自動的に加えられるため、Ｘ軸の制御アルゴリズムを変更する必要が全くなく、同様に労力を節約する。

＜実施ステップ＞
取り付けは以下のとおりである。

ステップ１．リニアスケールをＸ軸に平行にベッドに取り付け、誤りがないことを検査した後、ステップ２を実施する。

ステップ２．Ｘ軸リニアスケール読み取りヘッドをリニアスケールに位置合わせし、水平回転テーブルの支持スライダに固定し、回転テーブルの水平移動を繰り返して読み取りが正常であることを検査した後、ステップ３を実施する。

ステップ３．回転テーブルの円形スケールをＡ軸の回転中心に対向して同軸に取り付け、誤りがないことを繰り返し検査した後、ステップ４を実施する。

測定は以下のとおりである。

ステップ４．三角構造の斜辺の長さを測定し、長さを測定した後にＺ０を繰り返し移動させて、斜辺の長さとＡ軸角度とＺ０座標とが三角形に完全に整合するか否かを検証し、測定完了後にステップ６を続けて実行し、各位置で算出された三角形の差が大きい場合、改めて組み立てを検査し、且つステップ１から再度実施する。正確な測定装置がなければステップ５を実施する。

５．Ｚ０を第１位置に移動させ、Ｚ０の座標Ｚ０_１と、Ａ軸の角度α_１と、を記録し、Ｚ０を第２位置に移動させ、Ｚ０の座標Ｚ０_２と、回転テーブルの角度α_２と、を記録し、回転テーブルの機械構造が直角に取り付けられるため、斜辺の長さをＬと仮定すると、下記の式に従って斜辺の長さを算出することができる。

結果を計算する時には、複数の位置を探して計算されたＬが正確であるか否かを検証すべきであり、繰り返し計算されたＬ値の差が大きい場合、機械の組み立ての結果が直角ではないことを示しており、機械の組み立てをしっかり検査し、且つステップ１から改めて実施する。算出された斜辺の長さが正確であると考えられる場合、ステップ６を実施する。

アルゴリズムは以下のとおりである。

６．システムのＡ軸制御方法を変更し、システムに入力されたＡ軸座標を、Ｚ０＝Ｌ＊ｓｉｎαに従ってＺ０軸の座標に換算して、Ｚ０軸に入力する。速度制御方法であれば、ΔＺ０＝Ｌ＊（ｃｏｓα_１－ｃｏｓα_２）に従ってＺ０の周期的な変位（すなわち速度）に換算し、Ｚ０軸に入力し、他の軸はいずれもいかなる変更も必要としない。

リンクの非干渉制御のフローチャートは図５に示すとおりである。

非干渉制御ステップは、
コマンドＡ０であるΔαをＺ０コントローラに送信し、コマンドＸをＸ軸コントローラに送信するステップ１と、
Ａ０コントローラはコマンド及びフィードバックされたＡ軸回転角に基づいて次の周期にＡ軸が走行すべき距離Δαを算出し、送信されたコマンド角度Δαは追従誤差及び速度フィードフォワードを含み、ΔＸも同様であるステップ２と、
Ｚ０アクチュエータに入力する前に、式に基づき、Δαを現在のＺ０が走行すべき直線距離ΔＺ０に換算し、さらにコマンドをＺ０アクチュエータ、一般的にはサーボモータやインバータ等のアクチュエータに送信し、ΔＸも同様にＸ軸アクチュエータに送信するステップ３と、
Ｚ０アクチュエータは回転テーブル連動機構を駆動してＡ軸揺動角変化Δα′と、Ｘ軸方向水平変位ΔＸ′を生成し、Δα′は次の周期の閉ループ演算に関与するために用いられ、Ｘ軸アクチュエータは同様に変位ΔＸ_０を生成し、ΔＸ_０は回転テーブル連動機構が生成した水平変位ΔＸ′と重畳して次の周期の閉ループ演算に関与するステップ４と、
これらを周期的なサイクルで実施するステップ５と、を含む。

以上は、本発明の好ましい具体的な実施形態に過ぎず、本発明の保護範囲はこれに限定されず、当業者が本発明に開示する技術的範囲内において、本発明の技術的解決手段及びその発明概念に基づいて同等置換又は変更を行うことは、いずれも本発明の保護範囲内に含まれるべきである。

１回転テーブルコラム
２Ｚ０軸ボールねじ
３Ｚ０軸ラム
４リンク機構第１回転ノード
５リンク機構ロッド
６Ｚ０軸ガイドレール
７水平ガイドレール
８リンク回転テーブル
９リンク機構第２回転ノード
１０Ｘ軸リニアスケール読み取りヘッド
１１水平ラム
１２リンク回転テーブルラム
１３Ｘ軸リニアスケール
１４回転テーブルベース
１５ベッド
１６回転テーブルガイドレール
１７回転テーブルドラッグねじ
１８回転テーブルドラッグナット

Claims

回転テーブルコラム（１）と、回転テーブル（８）と、Ｘ軸リニアスケール（１３）から電気的に位置を読み取るＸ軸リニアスケール読み取りヘッド（１０）と、回転テーブルベース（１４）と、摺動機構Ａと、摺動機構Ｂと、を含み、
前記回転テーブルコラム（１）は前記回転テーブルベース（１４）に垂直に取り付けられ、前記回転テーブル（８）は摺動機構Ａを介して前記回転テーブルコラム（１）にスライド可能に接続され、前記回転テーブル（８）は前記摺動機構Ｂを介して前記回転テーブルベース（１４）に摺動可能に接続され、前記Ｘ軸リニアスケール読み取りヘッド（１０）は前記摺動機構Ｂに取り付けられ、前記Ｘ軸リニアスケール（１３）は前記回転テーブルベース（１４）の下方に取り付けられ、且つ前記Ｘ軸リニアスケール読み取りヘッド（１０）に対向して設置される、
前記摺動機構Ａは、Ｚ０軸ボールねじ（２）と、Ｚ０軸ラム（３）と、リンク機構第１回転ノード（４）と、リンク機構ロッド（５）と、Ｚ０軸ガイドレール（６）と、を含み、前記Ｚ０軸ガイドレール（６）は前記回転テーブルコラム（１）に設けられ、前記Ｚ０軸ボールねじ（２）は前記Ｚ０軸ガイドレール（６）に接続され、前記Ｚ０軸ラム（３）は前記Ｚ０軸ガイドレール（６）に摺動可能に接続され、前記リンク機構ロッド（５）の一端は前記リンク機構第１回転ノード（４）を介して前記Ｚ０軸ラム（３）に回転可能に接続され、他端は前記回転テーブル（８）に接続される、
前記摺動機構Ｂは、水平ガイドレール（７）と、リンク機構第２回転ノード（９）と、水平ラム（１１）と、を含み、前記水平ガイドレール（７）は前記回転テーブルベース（１４）に設けられ、前記回転テーブル（８）は前記リンク機構第２回転ノード（９）を介して前記水平ラム（１１）に回転可能に接続され、前記水平ラム（１１）は前記水平ガイドレール（７）に摺動可能に接続され、前記Ｘ軸リニアスケール読み取りヘッド（１０）は前記水平ラム（１１）に取り付けられる、
さらに、回転テーブルラム（１２）と、ベッド（１５）と、回転テーブルガイドレール（１６）と、回転テーブルドラッグねじ（１７）と、回転テーブルドラッグナット（１８）と、を含み、
前記ベッド（１５）に前記回転テーブルガイドレール（１６）と、回転テーブルドラッグねじ（１７）と、回転テーブルラム（１２）が設けられ、前記回転テーブルラム（１２）は前記回転テーブルガイドレール（１６）に摺動可能に接続され、前記回転テーブルドラッグねじ（１７）に前記回転テーブルドラッグナット（１８）が設けられる、
ことを特徴とする、回転テーブル。