JPH0835823A

JPH0835823A - Ｉｃリード形状検査装置

Info

Publication number: JPH0835823A
Application number: JP17279594A
Authority: JP
Inventors: Jiyunko Kutanda; 純子九反田
Original assignee: NEC Kyushu Ltd
Current assignee: NEC Kyushu Ltd
Priority date: 1994-07-25
Filing date: 1994-07-25
Publication date: 1996-02-06
Anticipated expiration: 2011-09-18
Also published as: JP2534835B2

Abstract

(57)【要約】【目的】ＩＣリード形状検査装置においてレーザ変位計
による測定と平行させて搬送動作を実行させることによ
り搬送時間のロスを低減し、装置構成の簡素化を図るこ
とによって測定精度の向上と測定の高速化を図る。【構成】レーザ変位計３ａ，３ｂと、被測定用ＩＣ４個
を搭載し、そうちの２個をそれぞれ１辺ずつ同時測定す
るようにしたＩＣ搭載用ステージ１と、レーザ変位計３
ａ，３ｂを２台搭載するＸＹステージと、測定前のＩＣ
が収納される供給部５と、測定終了後のＩＣを収納する
収納部６と、供給部５からＩＣ搭載用ステージ１の所定
搭載位置に被測定用ＩＣを供給する搬送部７と、この搬
送部７に含まれ、ＩＣ保持部９ａをもち供給位置と供給
部５間を９０°回転に同期して往復移動する供給搬送ア
ーム８ａと測定後のＩＣ保持部９ｂをもち収納位置およ
び収納部間を９０°回転に同期し往復移動する収納搬送
アーム８ｂとを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はＩＣリード形状検査装置
に係わり、特にレーザ変位計の装備台数の組み合せおよ
びその走査位置を工夫したＩＣリード形状検査装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】従来のこの種のＩＣリード形状検査装置
は、ＩＣの集積度の著しい向上に伴ない、１個のＩＣに
使用されるリードピン数も増加してきたため、リードピ
ン間のピッチも必然的に狭小化が促進されてきた。これ
に対応して、組立完成したＩＣの検査の一工程として実
施される外観検査においても、これらリードピンの整列
不良、浮き上り等を見逃すことなく選別するための高精
度な検査装置の要求が高まってきた。

【０００３】この種の検査装置には、上述した検査精度
の向上のためにレーザ変位計が従来から用いられてい
る。このレーザ変位計は、レーザ光を所定の入射角度で
リード面に照射し、そのリード面から反射してきた反射
光量とその変位量を測定することによって、被検査ＩＣ
におけるリード配列の状態を検出するものである。

【０００４】このレーザ変位計を用いた検査装置におけ
る検査速度の高速化および装置構成の簡易化を図るため
に、検査装置本体およびその周辺装置に関しては種々の
工夫あるいは改善が提案されてきた。この種の従来例の
一例としてＩＣリード形状検査装置の腰部の平面図を示
した図７を参照すると、このＩＣリード形状検査装置
は、被測定用ＩＣを搭載し所定のタイミングで９０°ず
つ回転するＩＣ搭載用ステージ２０と、モータ駆動によ
り所定の距離を移動しかつレーザ光を被測定用ＩＣのリ
ードピンに照射し、その反射光を用いてリード形状を測
定するレーザ変位計３と、測定前の被測定用ＩＣ３が収
納される供給部５と、測定終了後の被測定用ＩＣ３を収
納する収納部６と、供給部５から（ＩＣ搭載用）ステー
ジ２０の所定搭載位置に被測定用ＩＣ３を吸着部９によ
り吸着して搬送し供給するとともに、ステージ２０から
収納部６に測定終了後の被測定用ＩＣ３を供給する搬送
部７とを備えて構成されている。

【０００５】上述した構成において、まず、供給部５か
ら被測定用ＩＣを吸着部９により吸着して搬送装置７に
よりステージ２０の測定位置１０に搭載する。この状態
でこのステージ２０の上に配置され往復移動するように
したレーザ変位計３を用いて、レーザ光をステージ２０
上の被測定用ＩＣの４辺をＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄとすると、例
えばＢ辺およびＤ辺のリードピン表面を右端から左端へ
走査して照射する。このとき、もしリードピンの形状、
整列状態および上下方向の浮きがあればその反射光量お
よび変位量を検出してこれらの不具合を検出する。

【０００６】次に、ステージ２０を例えば反時計方向に
９０°回転させて被測定用ＩＣの残ったＣ辺およびＡ辺
のリードピンの表面右端から左端へ走査して照射するこ
とにより、被測定用ＩＣ４が検査出来たことになる。こ
れら全てのリードピンの検査が完了したので、搬送装置
７の搬送アームを駆動してステージ２０上の被測定用Ｉ
Ｃを収納部６に移送する。

【０００７】上述した従来のＩＣリード検査装置は、ス
テージ２０へのＩＣの搭載→レーザ変位計３による測定
→ステージ２０からＩＣを収納部６へ移送、の流れが直
列になって処理されるので、機構の複雑さ、インデック
スの低さが問題であった。これらの問題を解決した検査
装置の例が、特開平２−２５３１１号公報に記載されて
いる。同公報記載の検査装置は、回転するステージ上に
４個の被測定用ＩＣとこれら４個のＩＣごとにレーザ変
位計をそれぞれ１台、合計４台備えて、４個のＩＣそれ
ぞれの同一方向の辺、例えば第１番目のＩＣはＡ辺、第
２番目のＩＣはＢ辺、第３番目のＩＣはＣ辺、第４番目
のＩＣはＤ辺をそれぞれ対応するレーザ変位計により走
査して同時に４個のＩＣの一辺を測定する。この一辺の
測定ごとにステージを９０°ずつ回転させて次の辺を測
定し、同様の動作を繰り返し、４回の動作で４個のＩＣ
４を測定する。測定が終了したＩＣから順次に（９０°
の回転ごとに）収納箱に搬送され、搬送後の空いたＩＣ
搭載位置に次測定ＩＣが供給される。この装置は２回転
で４個、すなわち１回転当り２個のＩＣの検査、収納お
よび供給を平行して実行する。

【０００８】また、検査装置の他の改善例が、特開平３
−１９５０４０号公報に記載されている。同公報記載の
検査装置は、互に同期して反回転するとともにその接点
で測定後のＩＣおよび測定前のＩＣの受渡しをする回転
テーブルとロータリヘッドとを有し、回転テーブル上に
は４５°間隔で８個のＩＣが搭載され、１つ置きに同一
方向にＩＣのそれぞれ異る辺を走査する４台のレーザ変
位計がセットされている。この装置は２回転で８個のＩ
Ｃ、すなわち１回転当り４個のＩＣを検査し、平行して
検査後のＩＣを収納し、かつ検査するＩＣを供給する。

【０００９】これらの従来例はいずれも検査、収納およ
び供給を平行して実行するので、最初に述べた従来例の
場合よりも検査効率がよい。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】前述したように上述し
た２つの従来例は、いずれも検査、収納および供給を平
行して実行することが出来るので、高速にリード形状検
査を実行することが可能である。しかしながら、１個の
被検査用ＩＣの有する４辺をそれぞれ１辺ずつ１方向に
走査して測定する構成になっているため、４個の被検査
用ＩＣに対して４台のレーザ変位計を必要とし、２回転
しなければ４個の被検査用ＩＣの測定を完了させること
が出来ない構成になっている。

【００１１】そのため、レーザ変位計を４台用いて測定
するために機構的な構造が複雑になり、さらにこれらの
データ処理も複雑になり、さらに、４台のレーザ変位計
間の相互関係を整合するための機構的、ソフトウエア的
なオフセット調整が困難になるという欠点があった。

【００１２】すなわち、レーザ走査によって得られるリ
ードピンの状態を示すデータは、４台のレーザ変位計か
らそれぞれ同時に出力されるため、個々のレーザ変位計
の補正値（オフセット値）を必要とし、これを加算した
上で１個の被検査用ＩＣのコプラナリティおよびリード
ピッチといった値を算出しなければならない。

【００１３】さらに、検査装置全体の制御において、４
台のレーザ変位計それぞれの位置データおよび動作デー
タが必要になり、必然的にデータ数が増大する。そのた
め処理部が複雑化する。

【００１４】また、４台のレーザ変位計を用いた場合
は、それぞれのレーザ変位計間の機差の他に４個所ある
ＩＣ搭載用ステージ面の高さ、およびその状態すなわち
ステージ面の凹凸および光沢等のバラツキがある。これ
を補正するためにレーザ変位計から照射する光量の絞り
等のような機械的な調整、およびレーザ変位計から出力
されるデータに加算する補正値を、４台のレーザ変位計
それぞれに対して考慮する必要がある。そのため、これ
ら検査装置の立ち上げ時およびレーザ変位計の交換時に
多大な工数を必要とする。

【００１５】本発明の目的は、上述の欠点に鑑みなされ
たものであり、ＩＣリード形状検査装置においてレーザ
変位計による測定と平行させて搬送動作を実行させるこ
とにより搬送時間のロスを低減し、装置構成の簡素化を
図ることによって測定精度の向上と、測定の高速化を図
ることにある。

【００１６】

【課題を解決するための手段】本発明のＩＣリード形状
検査装置の特徴は、被測定用ＩＣを搭載し所定のタイミ
ングで９０°ずつ回転するＩＣ搭載用ステージと、モー
タ駆動により所定の距離を移動しかつレーザ光を前記被
測定用ＩＣのリードピンに照射しその反射光を用いて前
記リード形状を測定するレーザ変位計と、測定前の前記
被測定用ＩＣが収納される供給部と、測定終了後の前記
被測定用ＩＣを収納する収納部と、前記供給部からＩＣ
搭載用ステージの所定搭載位置に前記被測定用ＩＣを供
給するとともに前記ステージから前記収納部に前記測定
終了後の前記被測定用ＩＣを供給する搬送部とを備えた
ＩＣリード形状検査装置において；前記被測定用ＩＣの
測定時および供給収納時ごとに回転し、所定の基準位置
から回転角０°および９０°の位置を測定位置、１８０
°の位置を収納位置および２７０°の位置を供給位置と
し、かつ前記測定位置に対応した搭載位置に搭載され前
記被測定用ＩＣ２個をそれぞれ１辺ずつ同時測定するよ
うにした前記ＩＣ搭載用ステージと、前記被測定用ＩＣ
２個をそれぞれ測定する前記レーザ変位計を２台搭載し
モータ駆動によりＸ方向およびＹ方向に所定の距離を移
動するＸＹステージとを有し、前記測定位置に対応した
搭載位置に搭載された前記被測定用ＩＣ２個それぞれ
を、第１ステップでは第１辺のリードピンを水平にＸ方
向へ同時走査し、かつ第２ステップでは前記第１辺に対
向する第２辺のリードを水平にＸ方向へ同時走査して測
定する測定手段と、前記第２ステップ終了ごとに前記Ｉ
Ｃ搭載用ステージが９０°ずつ回転して前記収納位置に
重なったとき測定後の前記２個を順次に前記収納部に収
納し、前記収納によって空になった搭載位置に前記供給
部から新に被測定用ＩＣを順次に供給する搬送手段とを
有することにある。

【００１７】本発明のＩＣリード形状検査装置の他の特
徴は、被測定用ＩＣを搭載し所定のタイミングで１８０
°ずつ回転するＩＣ搭載用ステージと、モータ駆動によ
り所定の距離を移動可能でかつレーザ光を前記被測定用
ＩＣのリードピンに照射しその反射光を用いて前記リー
ド形状を測定するレーザ変位計と、測定前の前記被測定
用ＩＣが収納される供給部と、測定終了後の前記被測定
用ＩＣを収納する収納部と、前記ステージの所定位置に
前記供給部から前記被測定用ＩＣを供給するとともに前
記ステージから前記測定終了後の前記被測定用ＩＣを前
記収納部に供給する搬送部とを備えたＩＣリード形状検
査装置において；前記被測定用ＩＣの測定時および供給
収納時ごとに回転し、所定の基準位置から回転角０°お
よび９０°の位置をそれぞれ測定位置、１８０°および
２７０°の位置をそれぞれ収納供給位置とし、かつ前記
測定位置に対応した搭載位置に搭載される前記被測定用
ＩＣ２個をそれぞれ１辺ずつ同時測定するようにしたＩ
Ｃ搭載用ステージと、前記レーザ変位計を４個搭載しモ
ータ駆動により所定の距離を移動するＸＹステージとを
有し、前記同時測定する前記被測定用ＩＣ２個のそれぞ
れを、第１ステップでは第１辺の一端から他端へリード
ピンを水平方向に同時走査し、第２ステップでは前記第
１辺の他端に隣接する第２辺の一端から他端へリードピ
ンを前記水平方向に対して直角方向にそれぞれ同時に水
平走査し、第３ステップでは前記第２辺の他端に隣接す
る第３辺の一端から他端へリードピンを前記第１ステッ
プと逆方向にそれぞれ同時に水平走査し、第４ステップ
では前記第３辺の他端にに隣接する第４辺の一端から他
端へリードピンを前記第２ステップと逆方向にそれぞれ
同時に水平走査してリード形状を測定する測定手段と、
前記測定後前記ＩＣ搭載ステージを１８０°回転して前
記被測定用ＩＣ２個を前記所定の搭載位置からそれぞれ
収納しかつ次に測定すべき前記被測定用ＩＣ２個を前記
所定の搭載位置にそれぞれ搭載する搬送手段とを有する
ことにある。

【００１８】

【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
ながら説明する。

【００１９】図１は本発明のＩＣリード形状検査装置の
第１の実施例の主要部を示す平面図である。

【００２０】図１を参照すると、このＩＣリード形状検
査装置は、モータ４ｃ駆動により所定の距離を移動し、
かつレーザ光を被測定用ＩＣのリードピンに照射しその
反射光を用いてリード形状を測定するレーザ変位計３ａ
およびモータ駆動による距離移動の機能をもたないレー
ザ変位計３ｂと、被測定用ＩＣの測定時および供給収納
時ごとに回転し、回転軸からそれぞれ所定の等距離にあ
って、回転軸を中心にＸ軸から回転角０°および９０°
の位置を測定位置１０ａおよび１０ｂ、１８０°の位置
を収納位置１０ｃ、および２７０°の位置を供給位置１
０ｄとし、かつこれらの測定位置に対応する搭載位置、
すなわち正側Ｘ軸上、正側Ｙ軸上、負側Ｘ軸上および負
側Ｙ軸上に搭載され、正側Ｘ軸上および正側Ｙ軸上の被
測定用ＩＣの２個をそれぞれ１辺ずつ同時測定するよう
にしたＩＣ搭載用ステージ１と、被測定用ＩＣ２個をそ
れぞれ測定するレーザ変位計３ａおよび３ｂを２台搭載
し、モータ４ａおよび４ｂの駆動によりＸ軸方向および
Ｙ軸方向に所定の距離を移動するＸＹステージと、測定
前の被測定用ＩＣが収納される供給部５と、測定終了後
の被測定用ＩＣを収納する収納部６と、供給部５からＩ
Ｃ搭載用ステージ１の搭載位置（負側Ｙ軸上）に被測定
用ＩＣを供給するとともに、ＩＣ搭載用ステージ１の収
納位置（負側Ｘ軸上）から収納部６に測定終了後の被測
定用ＩＣを供給する搬送部７と、この搬送部７に含ま
れ、測定すべき被測定用ＩＣを吸着する保持部９ａをも
ち、かつあらかじめ定められた供給位置（回転角２７０
°の位置）と供給部５間を９０°回転のタイミングに応
答して往復移動する供給搬送アーム８ａと測定後の被測
定用ＩＣを吸着する保持部９ｂをもち、かつあらかじめ
定められた収納位置（回転角１８０°の位置）および収
納部間を９０°回転のタイミングに同期して往復移動す
る収納搬送アーム８ｂとを備えて構成される。

【００２１】上述の構成において、まず、被測定用ＩＣ
のパッケージ形状が正方形の場合について説明する。こ
のＩＣリード形状検査装置の動作は、搬送部７が搬送ア
ーム９ａを駆動して供給部５に収納されたＩＣのうちの
１個、例えばこれを第１のＩＣとすると、この第１のＩ
Ｃを吸着部９ａで吸着し、搬送部７上を水平移動して供
給位置１０ｄ（回転角２７０°の位置）に対応するＩＣ
搭載用ステージ１上の負側Ｙ軸上の搭載位置にセットす
る。ここでＩＣ搭載用ステージ１を９０°反時計方向に
回転させると第１のＩＣは正側Ｘ軸上の測定位置１０ａ
に移動すると同時に、搬送アーム８ａは再び往復移動し
て第１のＩＣが移動した後の負側Ｙ軸上にある供給位置
１０ｄに次の第２のＩＣを供給部５から供給しセットす
る。

【００２２】測定のステップ１では、この状態でＸＹス
テージ２のモータ４ａおよび４ｂを駆動してＸ方向およ
びＹ方向に移動させてレーザ変位計３ａが第１のＩＣの
Ｂ辺の一端に位置するように調整される。この調整後モ
ータ４ｂを駆動しながらＸＹステージ２をＸ軸と平行に
移動させ、レーザ変位計３ａが第１のＩＣのＢ辺のリー
ドピンを走査して形状を測定する。

【００２３】ステップ２では、モータ４ａおよび４ｂを
駆動してＸ方向およびＹ方向、すなわち斜め方向に移動
させながらレーザ変位計３ａが第１のＩＣのＤ辺の一端
に位置するように調整される。この調整後モータ４ｂを
駆動しながらＸＹステージ２をＸ軸と平行に移動させ、
レーザ変位計３ａが第１のＩＣのＤ辺の一端から他端へ
リードピンを走査して形状を測定する。

【００２４】ステップ２の測定が終了し、ここでもう１
度ＩＣ搭載用ステージ１を９０°反時計方向に回転させ
ると第１のＩＣは正側Ｙ軸上の測定位置１０ｂに、第２
のＩＣは負側Ｙ軸上の供給位置１０ｄから正側Ｘ軸上の
測定位置１０ａにそれぞれ移動する。これで測定すべき
２個のＩＣが所定の測定位置にセットされたことにな
る。このとき、第１のＩＣはＢおよびＤ辺が既に測定済
みであり、９０°回転によってこのＢおよびＤ辺はＹ軸
と平行になり、したがって次に測定すべきＡおよびＣ辺
はＸ軸と平行な状態に転回している。

【００２５】続いて測定位置１０ｂおよび１０ａにある
第１および第２のＩＣを同時測定することになる。すな
わち、第１のステップでは、ＸＹステージ２のモータ４
ａおよび４ｂを駆動してＸ方向およびＹ方向に移動させ
ながらレーザ変位計３ａが第２のＩＣのＢ辺の一端に、
レーザ変位計３ｂが第１のＩＣのＣ辺の一端にそれぞれ
位置するように調整される。この調整後モータ４ｂを駆
動しながらＸＹステージ２をＸ軸と平行に移動させ、レ
ーザ変位計３ａが第２のＩＣのＢ辺のリードピンを、レ
ーザ変位計３ｂが第１のＩＣのＣ辺のリードピンをそれ
ぞれ走査して形状を測定する。

【００２６】ステップ１の測定が終了すると、モータ４
ａおよび４ｂを駆動させてＸＹステージ２をＸ方向およ
びＹ方向、すなわち斜め方向に移動させながらレーザ変
位計３ａが第２のＩＣのＤ辺の一端に、レーザ変位計３
ｂが第１のＩＣのＡ辺の一端に位置するように調整され
る。

【００２７】ステップ２では、この調整後モータ４ｂを
駆動しながらＸＹステージ２をＸ軸と平行に移動させ、
レーザ変位計３ａが第２のＩＣのＤ辺のリードピンを、
レーザ変位計３ｂが第１のＩＣのＡ辺のリードピンを走
査して形状を測定する。

【００２８】ここまでの動作により、第１のＩＣはその
４辺のリードピンの測定が全て終了し、第２のＩＣはＢ
およびＤ辺のみの測定が終了したので、ＩＣ搭載用ステ
ージ１をさらに９０°反時計方向に回転させることによ
り、第１のＩＣは測定位置１０ｂから収納位置１０ｃ
（回転角１８０°）へ、第２のＩＣは測定位置１０ａか
ら測定位置１０ｂへと転回し、さらに、供給位置１０ｄ
には第３のＩＣが供給部５から搬送アーム８ａにより供
給されセットされる。

【００２９】この後、測定位置１０ａおよび１０ｂにお
いては上述した測定すべき２個のＩＣが所定の搭載位置
にセットされた状態の測定を続行し、収納位置１０ｃに
転回した第１のＩＣは、搬送アーム８ｂの吸着部９ｂに
より吸着されて搬送され収納部６に収納される。

【００３０】続いてＩＣ搭載用ステージ１をさらに９０
°反時計方向に回転させることにより、第２のＩＣは測
定位置１０ｂから収納位置１０ｃへ、第３のＩＣは測定
位置１０ａから測定位置１０ｂへと転回し、さらに、第
１のＩＣが収納されて空になった搭載位置は供給位置１
０ｄ上に転回し、ここへ第４のＩＣが供給部５から搬送
アーム８ａにより供給されセットされる。以上のサイク
ルを繰り返すことにより引き続き測定を実行する。

【００３１】次に、被測定用ＩＣのパッケージ形状が長
方形の場合について説明する。ここで長方形ＩＣの長辺
がＡおよびＣ辺、短辺がＢおよびＤ辺であるとする。す
なわち、レーザ変位計３ａの走査方向に短辺のＢおよび
Ｄ辺が対応するようにあらかじめ供給部１０ｄにＩＣを
供給する時点で、セット方向が搬送アーム８ａの吸着部
９ａを回転させることにより調整されセットされる。

【００３２】長方形パッケージのＩＣ測定のステップ
は、測定位置１０ａでの測定終了までは前述したステッ
プ１および２と同様であるから説明を省略し、測定位置
１０ａおよび１０ｂ上に被測定用ＩＣが転回された状態
から説明する。

【００３３】測定位置１０ａにおけるステップ２の測定
が終了し、ここでもう１度ＩＣ搭載用ステージ１を９０
°反時計方向に回転させると第１の長方形ＩＣは正側Ｙ
軸上の測定位置１０ｂに、第２の長方形ＩＣは負側Ｙ軸
上から正側Ｘ軸上の測定位置１０ａにそれぞれ転回す
る。これで測定すべき２個のＩＣが所定の測定位置、す
なわち測定位置１０ａでは長辺がＹ軸と平行に、測定位
置１０ｂでは長辺がＸ軸と平行にセットされたことにな
る。このとき、第１の長方形ＩＣは短辺ＢおよびＤが既
に測定済みであり、９０°回転によってこの短辺Ｂおよ
びＤはＹ軸と平行になり、したがって次に測定すべきＡ
およびＣ辺はＸ軸と平行な状態に転回している。

【００３４】続いて測定位置１０ａおよび１０ｂ上に転
回された第１および第２の長方形ＩＣを同時測定するこ
とになる。すなわち、第１のステップでは、ＸＹステー
ジ２のモータ４ａおよび４ｂを駆動してＸ方向およびＹ
方向に移動させながらレーザ変位計３ａが第２の長方形
ＩＣの短辺Ｂの一端に、レーザ変位計３ｂが第１の長方
形ＩＣの長辺Ｃの一端にそれぞれ位置するように調整さ
れる。この調整後モータ４ｂを駆動しながらＸＹステー
ジ２をＸ軸と平行に移動させ、レーザ変位計３ａが第２
の長方形ＩＣの短辺Ｂのリードピンを、レーザ変位計３
ｂが第１の長方形ＩＣの長辺Ｃのリードピンをそれぞれ
走査して形状を測定する。

【００３５】ステップ１の測定が終了すると、モータ４
ａおよび４ｂを駆動させてＸＹステージ２をＸ方向およ
びＹ方向、すなわち斜め方向に移動させながらレーザ変
位計３ａが第２の長方形ＩＣのＤ辺の一端に、レーザ変
位計３ｂが第１の長方形ＩＣのＡ辺の一端に位置するよ
うに調整しなければならない。しかし、Ｙ軸に平行な辺
は第１の長方形ＩＣが短辺ＢおよびＤで、第２の長方形
ＩＣが長辺ＡおよびＣになっており等長でないため、Ｘ
Ｙステージの一定の移動だけではレーザ変位計３ａが第
２の長方形ＩＣのＤ辺の一端に、レーザ変位計３ｂが第
１の長方形ＩＣのＡ辺の一端にそれぞれ位置するように
調整することが出来ない。

【００３６】そこで、あらかじめモータ４ｃの駆動によ
りレーザ変位計３ａをＹ軸と平行に移動させて長辺およ
び短辺の差分だけ位置調節を行ない、しかる後にＸＹス
テージ２をＸ軸と平行に移動させながらレーザ変位計３
ａおよび３ｂが第２の長方形ＩＣのＤ辺の一端および第
１の長方形ＩＣのＡ辺の一端にそれぞれ位置させてステ
ップ２を実行する。ステップ２は、モータ４ｂを駆動し
ながらＸＹステージ２をＸ軸と平行に移動させ、レーザ
変位計３ａが第２のＩＣのＤ辺のリードピンを、レーザ
変位計３ａが第１のＩＣのＡ辺のリードピンを走査して
形状を測定する。

【００３７】この後の動作は、前述した四角形のＩＣの
場合と同様であるから説明を省略する。

【００３８】次に、リードピンが対向する２辺のみにあ
る被測定用ＩＣの場合は、上述した正方形および長方形
の場合と同様に測定可能である。

【００３９】例えば、ＡおよびＣ辺にはリードピンがな
く、ＢおよびＤ辺にリードピンがあり、測定位置１０ａ
においてＢおよびＤ辺のリードピンを測定するようにＩ
Ｃを配置したとすると、測定位置１０ａでの測定終了後
９０°回転させて測定位置１０ｂに転回させる。このと
き、測定位置１０ｂ上のＩＣはレーザ変位計３ｂの走査
方向に対してはリードピンのないＡおよびＣ辺が対応す
るので、このままではリードピンの無いところを測定す
ることになる。したがって、あらかじめどのレーザ変位
計を使用するかを選択して装置に設定しておく必要があ
る。

【００４０】その他の動作は前述した他の形状のＩＣの
場合と同様でありここでの説明は省略する。

【００４１】次に、上述した動作におけるレーザ変位
計、ＩＣ搭載用（回転）ステージ、搬送アームおよび搬
送アームの吸着部の動作タイミングを説明する。これら
のタイミングチャートを示した図２を参照すると、レー
ザ変位計の動作パルスはハイレベルで走査状態、ロウレ
ベルで停止状態を示す。回転ステージの動作パルスはハ
イレベルで回転状態、ロウレベルで停止状態を示す。搬
送アームの上下移動の動作パルスはハイレベルで上昇状
態、ロウレベルで下降状態を示す。搬送アームの左右移
動の動作パルスはハイレベルで動作状態、ロウレベルで
停止状態を示す。搬送アームの吸着動作パルスは供給時
および収納時ともハイレベルでＯＮ状態、ロウレベルで
ＯＦＦ状態を示す。

【００４２】回転ステージが動作状態から停止すると所
定の期間経過後ＸＹステージとレーザ変位計が走査状態
となり次に回転ステージが動作状態となるタイミングま
で継続する。したがって回転ステージの動作中はレーザ
変位計が動作することはない。搬送アームの移動はレー
ザ変位計の走査開始とともに測定部側の上下左右動作お
よび供給収納部側の上下左右動作を各１回ずつ繰り返
し、レーザ変位計の走査停止とともに回転ステージの次
の動作が開始しその動作終了とともに搬送アームの移動
は停止する。すなわち回転ステージ１回の動作につき搬
送アームの動作は測定側と供給収納側の合計２回の動作
が行われる。この搬送アームの測定部側の動作から供給
収納側の動作への切り変りのタイミングで供給側の吸着
動作がＯＮに、収納側の吸着動作がＯＦＦになる。

【００４３】上述した本実施における測定結果の出力波
形を示した図３を参照すると、左側の図はＩＣの側面図
でリードピンを６本とし、左側が第１ピンとする。正常
なピンは第１、第３および第６ピンであり、第２および
第３ピンは短かくなっており、第５ピンは斜にずれてい
る状態を示す。右側の波形図は測定出力のモニタ波形で
あり、横軸にリードピンの本数（数字の１が側面図の第
１ピンに対応）、縦軸に変位計の高さデータを示す。同
図からリードピン２および３の高さデータがそれぞれ高
い方にずれ、リードピン５が右にずれていることが分か
る。

【００４４】なお、上述した第１の実施例では、レーザ
変位計はＸ軸と平行に２台配置した例を説明したが、こ
れに限定されるものではなく、ＸＹステージの腰部のみ
を示した図４（ａ）〜（ｃ）に示したように、レーザ変
位計が所定の間隔を保った状態で互に平行に配置されて
もよい。またＸＹステージはＬ字構造で説明したが、上
述したレーザ変位計の配置が可能であればその形状は限
定されない。

【００４５】本実施例によれば、ＸＹステージにおける
位置決め基準はＩＣ中心、または、リードピン先端等に
統一することにより、２台のレーザ変位計３ａおよび３
ｂは同一のＸＹステージ２上に測定位置１０ａおよび１
０ｂの中心間距離と等距離に固定化（長方形のようにレ
ーザ変位計の位置調節可能の場合もその位置関係は相対
的に等しく、調節後は固定化されているのと同等とみな
せる）することが可能となり、測定位置１０ａおよび１
０ｂを走査させるレーザ変位計３ａおよび３ｂの１つの
辺および対向する辺間の移動量および方向は、１つのＸ
Ｙステージを１つの移動量データで制御出来ることにな
る。

【００４６】さらに、リードピンの状態によってはレー
ザ光の照射方向およびレーザ変光計の走査方向が異なる
と測定精度に誤差が生じ、両方が同一方向であれば測定
精度が向上することもあるので、同一ＩＣを測定する場
合には誤差の生じる要因を排除するために測定条件を統
一する必要がある。したがって、本実施例によれば２台
のレーザ変位計を１台のＸＹステージで動かすので、走
査方向を変えること、および走査方向を同じにすること
の両方が容易に制御可能である。

【００４７】次に、第２の実施例を平面図で示した図５
を参照すると、この図に示したＩＣリード形状検査装置
の第１の実施例との相違点は、第１の実施例で用いたＸ
Ｙステージ搭載のレーザ変位計３ａおよび３ｂと水平方
向に対して直角にそれぞれ配置されたレーザ変位計３ｃ
および３ｄおよびその位置調節用モータ４ｃおよび４ｄ
を有することである。すなわち、ＸＹステージ２に搭載
され、同時測定をする被測定用ＩＣ２個のうち、回転角
９０°の測定位置１０ｂに対応した搭載位置にある被測
定用ＩＣでＸ軸と平行に対向するＡ辺およびＣ辺のリー
ドピンをそれぞれ走査するレーザ変位計３ｂおよびＹ軸
と平行に対向するＢ辺およびＤ辺のリードピンをそれぞ
れ走査しかつＸ軸方向への位置節機能をもつレーザ変位
計３ｄと、回転角０°の測定位置１０ａに対応する搭載
位置にある被測定用ＩＣでＹ軸と平行に対向するＡ辺お
よびＣ辺のリードピンをそれぞれ走査するレーザ変位計
３ｃおよびＸ軸と平行に対向するＢ辺およびＤ辺のリー
ドピンをそれぞれ走査しかつＹ軸方向への位置節機能を
もつレーザ変位計３ａと、被測定用ＩＣの収納部に追加
された供給部５ｂと、供給部に追加された収納部６ｂと
を備えたことである。それ以外の構成要素は同一であ
り、同一の構成要素には同一の符号を付して構成の説明
は省略する。

【００４８】図５に併せてレーザ変位計の走査方向を示
した図６を参照して説明する。まず、被測定用ＩＣのパ
ッケージ形状が正方形の場合について説明する。なお、
本実施例においても、このＩＣリード形状検査装置の動
作は、搬送部７が搬送アーム８ａを駆動して供給部５ａ
に収納されたＩＣのうちの１個、例えばこれを第１のＩ
Ｃとすると、この第１のＩＣを吸着部９ａで吸着し、搬
送部７上を水平移動して供給収納位置１０ｄ（回転角２
７０°の位置）に対応するＩＣ搭載用ステージ１上の搭
載位置（負側Ｙ軸上）にセットする。

【００４９】同時に搬送部７が搬送アーム８ｂを駆動し
て供給部５ｂに収納されたＩＣのうちの１個、例えばこ
れを第２のＩＣとすると、この第２のＩＣを吸着部９ｂ
で吸着し、搬送部７上を水平移動して供給収納位置１０
ｃ（回転角１８０°の位置）に対応するＩＣ搭載用ステ
ージ１上の搭載位置（負側Ｘ軸上）にセットする。

【００５０】ここでＩＣ搭載用ステージ１を１８０°反
時計方向に回転させると第１のＩＣは正側Ｙ軸上の測定
位置１０ｂ上に、第２のＩＣは正側Ｘ軸上の測定位置１
０ａ上にそれぞれ転回すると同時に、搬送アーム９ａは
再び往復移動して第１のＩＣが移動した後の負側Ｙ軸上
にある供給収納位置１０ｄ上の搭載位置に次の第３のＩ
Ｃを供給部５ａから供給してセットし、同様に搬送アー
ム９ｂも再び往復移動して第２のＩＣが移動した後の負
側Ｘ軸上にある供給収納位置１０ｃ上の搭載位置に次の
第４のＩＣを供給部５ｂから供給しセットする。

【００５１】測定のステップ１では、この状態でＸＹス
テージ２のモータ４ａおよび４ｂを駆動してＸ方向およ
びＹ方向に移動させながらレーザ変位計３ｂが測定位置
１０ｂ上の第１のＩＣのＣ辺の一端に、レーザ変位計３
ａが測定位置１０ａ上の第２のＩＣのＢ辺の一端に位置
するように調整される。この調整後モータ４ｂを駆動し
ながらＸＹステージ２をＸ軸と平行に移動させ、レーザ
変位計３ｂが第１のＩＣのＣ辺のリードピンを一端から
他端へ（図６（ａ））、レーザ変位計３ａが第２のＩＣ
のＢ辺の一端から他端へ（図６（ｂ））それぞれリード
ピンを走査して形状を測定する。

【００５２】ステップ２では、モータ４ａを駆動しなが
らＸＹステージ２をＹ軸と平行に移動させてレーザ変位
計３ｄが第１のＩＣのＣ辺の他端に接するＤ辺の一端か
ら他端へ（図６（ａ））、レーザ変位計３ｃが第２のＩ
ＣのＢ辺の他端に接するＡ辺の一端から他端へ（図６
（ｂ））それぞれリードピンを走査して形状を測定す
る。

【００５３】ステップ３では、モータ４ｂを駆動しなが
らＸＹステージ２をＸ軸と平行に移動させ、レーザ変位
計３ｄが第１のＩＣのＤ辺の他端に接するＡ辺の一端か
ら他端へ（図６（ａ））、レーザ変位計３ａが第２のＩ
ＣのＡ辺の他端に接するＤ辺の一端から他端へ（図６
（ｂ））それぞれリードピンを走査して形状を測定す
る。

【００５４】ステップ４では、モータ４ａを駆動しなが
らＸＹステージ２をＹ軸と平行に移動させ、レーザ変位
計３ｄが第１のＩＣのＡ辺の他端に接するＢ辺の一端か
ら他端へ（図６（ａ））、レーザ変位計３ａが第２のＩ
ＣのＤ辺の他端に接するＣ辺の一端から他端へ（図６
（ｂ））それぞれリードピンを走査して形状を測定す
る。

【００５５】ステップ４の測定が終了したここまでの動
作により第１および第２のＩＣはそれぞれの４辺が同時
に測定されたことになる。したがって、ここでＩＣ搭載
用ステージ１を１８０°反時計方向に回転させると第１
のＩＣは負側Ｙ軸上の供給収納位置１０ｄに、第２のＩ
Ｃは負側Ｘ軸上の供給収納位置１０ｃにそれぞれ移動す
る。同時に第３のＩＣは正側Ｙ軸上の測定位置１０ｂ
に、第４のＩＣは正側Ｘ軸上の測定位置１０ａにそれぞ
れ移動する。これで次に測定すべき２個のＩＣが所定の
測定位置にセットされたことになる。

【００５６】以下同様にしてステップ１〜４を繰り返す
ことにより測定を継続する。

【００５７】次に、被測定用ＩＣのパッケージ形状が長
方形の場合について説明する。ここでも第１の実施例と
同様に、長方形ＩＣの長辺がＡおよびＣ辺、短辺がＢお
よびＤ辺であるとする。すなわち、レーザ変位計３ａの
走査方向に短辺のＢおよびＤ辺が対応し、レーザ変位計
３ｄの走査方向に長辺のＢおよびＤ辺が対応するように
あらかじめ供給収納部１０ｃおよび１０ｄにＩＣを供給
する時点で、セット方向が搬送アーム９ａおよび９ｂの
吸着部を回転させることにより調整されセットされる。

【００５８】なお、測定位置１０ａおよび１０ｂ上の対
応する位置にＩＣがセットされるまでの動作は、前述し
た正方形パッケージの場合と同様であるからここでは省
略し、測定位置１０ａおよび１０ｂ上に被測定用ＩＣが
搭載された状態から説明する。

【００５９】長方形パッケージのＩＣ測定のステップ
は、測定位置１０ｂおよび１０ａ上にある第１および第
２のＩＣを同時測定することになる。すなわち、第１の
ステップでは、ＸＹステージ２のモータ４ａおよび４ｂ
を駆動してＸ方向およびＹ方向に移動させながらレーザ
変位計３ａが第２のＩＣのＢ辺の一端に、レーザ変位計
３ｄが第１のＩＣのＣ辺の一端のそれぞれ走査可能な個
所に位置するように調整する。しかる後、モータ４ｂを
駆動しながらＸＹステージ２をＸ軸と平行に移動させ、
レーザ変位計３ａが第２のＩＣのＢ辺の一端から他端
へ、レーザ変位計３ｂが第１のＩＣのＣ辺の一端から他
端へそれぞれリードピンを走査して形状を測定する。こ
のとき第２のＩＣのＢ辺の走査距離が長辺と短辺の差分
オーバするのでＸＹステージ２をその差分だけ元に戻し
てＢ辺の他端（終点）まで戻る。そのためレーザ変位計
３ｂの位置は戻した差分だけ第１のＩＣの長辺Ｃの途中
まで戻った状態にある。

【００６０】ステップ２では、まずレーザ変位計３ｄの
みをあらかじめ上記の差分だけモータ４ｄを駆動してＸ
軸に平行にＹ軸方向へ移動して位置調節しＣ辺の他端ま
で移動させる。しかる後モータ４ａを駆動してＸＹステ
ージ２をＹ軸に平行に長辺分移動させ、レーザ変位計３
ｄにより第１のＩＣのＤ辺を、レーザ変位計３ｃにより
第２のＩＣのＡ辺をそれぞれ走査してリードピンの形状
を測定する。このとき第１のＩＣのＤ辺の走査距離が長
辺と短辺の差分相当の距離オーバするのでＸＹステージ
２をその差分だけＹ軸に平行にバックさせる（レーザ変
位計３ａの位置も当然長辺の途中まで差分だけ移動す
る）とともに、レーザ変位計３ｄの位置調節を元に戻
す。この元へ戻した距離分だけＸＹステージ２をＸ軸に
平行に移動して第１のＩＣのＡ辺の一端（始点）へ移動
する。

【００６１】ステップ３では、上記移動により第２のＩ
ＣのＤ辺を測定するレーザ変位計３ａの位置が長短辺の
差分だけＹ軸方向の距離が不足するので、モータ４ｃを
駆動してレーザ変位計３ａのみをあらかじめＹ軸に平行
移動させて位置調節し差分を補正する。しかる後にモー
タ４ｂを駆動してＸＹステージ２をＸ軸に平行に移動さ
せ、レーザ変位計３ｂにより第１のＩＣのＡ辺を、レー
ザ変位計３ａにより第２のＩＣのＤ辺（走査開始点は差
分だけＤ辺の始点から左へずれている）をそれぞれ走査
して形状を測定する。測定後レーザ変位計３ａの位置調
節を元に戻し、この元へ戻した距離分だけＸＹステージ
２をＹ軸に平行に移動させ、レーザ変位計３ｃが第２の
ＩＣのＣ辺の一端（始点）へ来るように移動する。

【００６２】ステップ４では、モータ４ａを駆動してＸ
Ｙステージ２をＹ軸に平行に長辺分動させ、レーザ変位
計３ｄにより第１のＩＣのＢ辺（走査開始点は差分だけ
Ｂ辺の始点から下へずれている）を、レーザ変位計３ａ
により第２のＩＣのＣ辺をそれぞれ走査してリードピン
の形状を測定する。

【００６３】この後の動作は正方形パッケージの場合と
同様であり、ここでの説明を省略する。

【００６４】次に、リードピンが対向する２辺のみにあ
る被測定用ＩＣの場合は、上述した正方形および長方形
の場合と同様に測定可能である。

【００６５】例えば、第１の実施例と同様にＡおよびＣ
辺にはリードピンがなく、ＢおよびＤ辺にリードピンが
あり、測定位置１０ａにおいてＡおよびＣ辺のリードピ
ンを、測定位置１０ｂにおいてＢおよびＤ辺のリードピ
ンを測定するようにＩＣを配置したとすると、このと
き、測定位置１０ａ上のＩＣはレーザ変位計３ａの走査
方向に対してはリードピンのあるＢおよびＤ辺が対応
し、測定位置１０ｂ上のＩＣはレーザ変位計３ｃの走査
方向に対してはリードピンのないＡおよびＣ辺が対応す
るので、このままではリードピンの無いところを測定す
ることになる。したがって、あらかじめどのレーザ変位
計を使用するかを選択して装置に設定しておく必要があ
る。

【００６６】その他の動作は前述した他の形状のＩＣの
場合と同様でありここでの説明は省略する。

【００６７】本実施例においても、ＸＹステージにおけ
る位置決め基準はＩＣ中心、または、リードピン先端等
に統一することにより、２組のレーザ変位計３ａ〜３ｂ
および３ｃ〜３ｄは、それぞれ同一のＸＹステージ２上
に測定位置１０ａおよび１０ｂ並に１０ｃおよび１０ｄ
の中心間距離と等距離に固定化（長方形のようにレーザ
変位計の位置調節可能の場合もその位置関係は相対的に
等しく、調節後は固定化されているのと同等とみなせ
る）することが可能となり、測定位置１０ａおよび１０
ｂ並に１０ｃおよび１０ｄを走査させるレーザ変位計３
ａおよび３ｂ並に３ｃおよび３ｄの１つの辺および対向
する辺間の移動量および方向は、１つのＸＹステージを
２つの移動量データで制御出来ることになる。

【００６８】さらに、本実施例の場合も４台のレーザ変
位計を１台のＸＹステージで動かすので、２組のレーザ
変位計のそれぞれは走査方向を変えること、および走査
方向を同じにすることの両方が容易に制御可能である。

【００６９】本実施例の場合は、レーザ変位計を４台配
置する点では従来例と同じであるが、４ステップの走査
工程によって同時に２個のＩＣを測定すことが可能であ
るから、ＩＣ搭載ステージを１回転させるごとに４個の
測定を終了することができ従来例よりも測定の高速化が
可能である。

【００７０】また、レーザ変位計４台を２組に分け、そ
れぞれの組は対称性を有するので、従来技術の欠点であ
った機構的な構造が複雑になり、さらにこれらのデータ
処理も複雑になり、さらに、４台のレーザ変位計間の相
互関係を整合するための機構的、ソフトウエア的なオフ
セット調整が困難、という欠点は従来例よりも軽減され
る。これらの欠点の軽減度合とレーザ変位計の台数との
点では第１の実施例よりも劣るが、高速化の利点があ
る。

【００７１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のＩＣリー
ド形状検査装置は、リード形状の測定を被測定用ＩＣを
ＩＣ搭載ステージに供給する動作および測定終了後のＩ
Ｃを収納する動作を平行して実行し、２個所の測定位置
に対応するレーザ変位計をそれぞれ１台ずつ、または２
個所の測定位置に対応するレーザ変位計をそれぞれ２台
ずつのいずれかの組み合せで、被測定用ＩＣの２辺のリ
ードピンを同時測定するので、検査処理能力が高く、検
査装置機構の簡素化、データ処理の簡素化、レーザ変位
計相互間のオフセット調整の簡略化、オフセット調整に
よる測定値のバラツキを軽減できるので、測定精度の向
上と測定の高速化が図れる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例を示す平面図である。

【図２】本実施例の動作説明用タイミングチャートであ
る。

【図３】本実施例における測定結果の一例を示すモニタ
図である。

【図４】本発明の第１の実施例の変形を示すＸＹステー
ジの腰部の平面図である。

【図５】本実施例の第２の実施例を示す平面図である。

【図６】第２の実施例におけるＸＹステージの走査方向
を示す図である。

【図７】従来のＩＣリード形状検査装置の一例を示す平
面図である。

【符号の説明】

１ＩＣ搭載用ステージ（ステージ）２ＸＹステージ３ａ〜３ｄレーザ変位計４ａ〜４ｄレーザ変位計用モータ５，５ａ，５ｂ供給部６，６ａ，６ｂ収納部７搬送部８ａ，８ｂ搬送アーム９ａ，９ｂ吸着部１０ａ〜１０ｄ測定位置

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被測定用ＩＣを搭載し所定のタイミング
で９０°ずつ回転するＩＣ搭載用ステージと、モータ駆
動により所定の距離を移動しかつレーザ光を前記被測定
用ＩＣのリードピンに照射しその反射光を用いて前記リ
ード形状を測定するレーザ変位計と、測定前の前記被測
定用ＩＣが収納される供給部と、測定終了後の前記被測
定用ＩＣを収納する収納部と、前記供給部からＩＣ搭載
用ステージの所定搭載位置に前記被測定用ＩＣを供給す
るとともに前記ステージから前記収納部に前記測定終了
後の前記被測定用ＩＣを供給する搬送部とを備えたＩＣ
リード形状検査装置において；前記被測定用ＩＣの測定
時および供給収納時ごとに回転し、所定の基準位置から
回転角０°および９０°の位置を測定位置、１８０°の
位置を収納位置および２７０°の位置を供給位置とし、
かつ前記測定位置に対応する搭載位置に搭載され前記被
測定用ＩＣ２個をそれぞれ１辺ずつ同時測定するように
した前記ＩＣ搭載用ステージと、前記被測定用ＩＣ２個
をそれぞれ測定する前記レーザ変位計を２台搭載しモー
タ駆動によりＸ方向およびＹ方向に所定の距離を移動す
るＸＹステージとを有し、前記測定位置に対応する搭載
位置に搭載された前記被測定用ＩＣ２個それぞれを、第
１ステップでは第１辺のリードピンを水平にＸ方向へ同
時走査し、かつ第２ステップでは前記第１辺に対向する
第２辺のリードを水平にＸ方向へ同時走査して測定する
測定手段と、前記第２ステップ終了ごとに前記ＩＣ搭載
用ステージが９０°ずつ回転して前記収納位置に重なっ
たとき測定後の前記２個を順次に前記収納部に収納し、
前記収納によって空になった搭載位置に前記供給部から
新に被測定用ＩＣを順次に供給する搬送手段とを有する
ことを特徴とするＩＣリード形状検査装置。
【請求項２】前記測定手段は、前記測定用ＩＣ４個が
前記ＩＣ搭載用ステージ上の中心点を原点とするＸおよ
びＹ軸上にあって原点に対して互に等間隔で搭載され９
０°ごとの回転時にそれぞれが順次に２つの前記測定位
置、前記収納位置および前記供給位置に重なり、かつ前
記測定用ＩＣの所定の辺が前記ＸおよびＹ軸にそれぞれ
平行になるように配置される前記ＸＹステージと、この
ＸＹステージに搭載され、前記同時測定用のＩＣ２個の
うち、前記回転角９０°の測定位置上にあるＩＣでＸ軸
と平行に対向する２辺のリードピンをそれぞれ走査する
第１のレーザ変位計および前記回転角０°の測定位置上
にあるＩＣでＸ軸と平行に対向する２辺のリードピンを
それぞれ走査しかつＹ軸と平行方向に位置調節機能をも
つ第２のレーザ変位計とを備え、前記第１ステップから
第２ステップまでを実行するごとに９０°ずつ回転させ
て次の測定に移行するように構成することを特徴とする
請求項１記載のＩＣリード形状検査装置。
【請求項３】前記被測定用ＩＣが長方形の形状であっ
て長辺および短辺のリードピン数が異なる場合は、前記
第２のレーザ変位計に前記リードピンの多い長辺が対応
するようにあらかじめ前記搬送手段によって前記被測定
用ＩＣを供給し、前記第１ステップ終了後に前記位置調
節機能を用いて長辺および短辺の差分だけ前記第２のレ
ーザ変位計のみをＹ軸と平行方向に所定の距離移動させ
た後残りの前記短辺分の距離は前記第１および第２のレ
ーザ変位計を同時に移動させて前記第２ステップを実行
する機能を有することを特徴とする請求項２記載のＩＣ
リード形状検査装置。
【請求項４】前記搬送手段は、測定すべき前記被測定
用ＩＣを吸着する保持部をもちかつあらかじめ定められ
た前記供給位置と前記供給部間を９０°回転のタイミン
グに応答して往復移動する供給搬送アームと測定後の前
記被測定用ＩＣを吸着する保持部をもちかつあらかじめ
定められた前記収納位置および前記収納部間を所定のタ
イミングに同期して往復移動する収納搬送アームを含み
これらの搬送アームを駆動する搬送部を有し、前記ＩＣ
搭載用ステージの９０°ごとの回転によって前記４個所
の搭載位置がそれぞれ順次に前記供給位置および収納位
置に重なったとき、前記供給アームを移動させて前記供
給部から前記収納位置に重なった前記搭載位置に前記被
測定用ＩＣを供給し、かつ前記供給動作と平行して前記
収納搬送アームを移動させ前記収納位置に重なった前記
搭載位置に前記第２ステップ終了後の前記被測定用ＩＣ
があればこれを前記収納部に収納する動作を順次繰り返
えして実行する機能からなることを特徴とする請求項１
記載のＩＣリード形状検査装置。
【請求項５】被測定用ＩＣを搭載し所定のタイミング
で１８０°ずつ回転するＩＣ搭載用ステージと、モータ
駆動により所定の距離を移動可能でかつレーザ光を前記
被測定用ＩＣのリードピンに照射しその反射光を用いて
前記リード形状を測定するレーザ変位計と、測定前の前
記被測定用ＩＣが収納される供給部と、測定終了後の前
記被測定用ＩＣを収納する収納部と、前記ステージの所
定位置に前記供給部から前記被測定用ＩＣを供給すると
ともに前記ステージから前記測定終了後の前記被測定用
ＩＣを前記収納部に供給する搬送部とを備えたＩＣリー
ド形状検査装置において；前記被測定用ＩＣの測定時お
よび供給収納時ごとに回転し、所定の基準位置から回転
角０°および９０°の位置をそれぞれ測定位置、１８０
°および２７０°の位置をそれぞれ収納供給位置とし、
かつ前記測定位置に対応する搭載位置に搭載される前記
被測定用ＩＣ２個をそれぞれ１辺ずつ同時測定するよう
にしたＩＣ搭載用ステージと、前記レーザ変位計を４個
搭載しモータ駆動により所定の距離を移動するＸＹステ
ージとを有し、前記同時測定する前記被測定用ＩＣ２個
のそれぞれを、第１ステップでは第１辺の一端から他端
へリードピンを水平方向に同時走査し、第２ステップで
は前記第１辺の他端に隣接する第２辺の一端から他端へ
リードピンを前記水平方向に対して直角方向にそれぞれ
同時に水平走査し、第３ステップでは前記第２辺の他端
に隣接する第３辺の一端から他端へリードピンを前記第
１ステップと逆方向にそれぞれ同時に水平走査し、第４
ステップでは前記第３辺の他端に隣接する第４辺の一端
から他端へリードピンを前記第２ステップと逆方向にそ
れぞれ同時に水平走査してリード形状を測定する測定手
段と、前記測定後前記ＩＣ搭載ステージを１８０°回転
して前記被測定用ＩＣ２個を前記所定の搭載位置からそ
れぞれ収納しかつ次に測定すべき前記被測定用ＩＣ２個
を前記所定の搭載位置にそれぞれ搭載する搬送手段とを
有することを特徴とするＩＣリード形状検査装置。
【請求項６】前記測定手段は、前記被測定用ＩＣ４個
が前記ＩＣ搭載ステージ上の中心点を原点とするＸおよ
びＹ軸上にあって原点に対して互に等間隔で搭載され前
記１８０°ごとの回転時にそれぞれが２つの前記測定位
置、２つの前記収納供給位置に重なり、かつ前記被測定
用ＩＣの所定の辺が前記ＸおよびＹ軸にそれぞれ平行に
なるように配置される前記ＩＣ搭載ステージと、前記Ｘ
Ｙステージに搭載され、前記同時測定用の被測定用ＩＣ
２個のうち、前記回転角９０°の測定位置に対応した前
記搭載位置にある前記被測定用ＩＣでＸ軸と平行に対向
する２辺のリードピンをそれぞれ走査する第１のレーザ
変位計およびＹ軸と平行に対向する２辺のリードピンを
それぞれ走査しかつＸ軸と平行方向への位置節機能をも
つ第２のレーザ変位計と、前記回転角０°の測定位置に
対応した前記搭載位置にある前記被測定用ＩＣでＸ軸と
平行に対向する２辺のリードピンをそれぞれ走査する第
３のレーザ変位計およびＹ軸と平行に対向する２辺のリ
ードピンをそれぞれ走査しかつＸ軸と平行方向への位置
節機能をもつ第４のレーザ変位計とを備え、前記第１ス
テップから第４ステップまでを実行することにより前記
被測定用ＩＣ２個の同時測定を終了し１８０°回転させ
て次の測定に移行するように構成されることを特徴とす
る請求項１記載のＩＣリード形状検査装置。
【請求項７】前記被測定ＩＣが長方形の形状であって
長辺および短辺のリードピン数が異なる場合は、前記第
２のレーザ変位計の前記位置調節方向に前記リードピン
の多い長辺が対応するようにあらかじめ前記搬送手段に
よって前記被測定ＩＣを供給し、前記第１ステップ終了
後に前記位置調節機能を用いて前記長辺および前記短辺
の差分だけ前記第２のレーザ変位計をＸ軸と平行方向に
前記長辺および前記短辺の差分相当の距離だけ前記ＸＹ
ステージから離れる方向に移動させた後前記第２ステッ
プを実行し、前記第２のレーザ変位計の前記位置調節を
元に戻した後前記第３ステップを実行し、前記第３ステ
ップ終了後に前記位置調節機能を用いて前記第４のレー
ザ変位計をＹ軸と平行方向でかつ前記差分相当の距離だ
け前記ＸＹステージから離れる方向に移動させた後前記
第４ステップを実行する機能を有することを特徴とする
請求項６記載のＩＣリード形状検査装置。
【請求項８】前記搬送手段は、前記被測定用ＩＣを吸
着する保持部をもちかつあらかじめ定められた供給収納
位置と前記供給部間および前記収納部間とを１８０°回
転のタイミングに応答して往復移動する第１および第２
の搬送アームとを含み、これらの搬送アームを駆動する
搬送部を有し、前記ＩＣ搭載用ステージの１８０°ごと
の回転によって前記測定位置に対応する搭載位置の前記
被測定用ＩＣ２個がそれぞれ前記供給収納位置上で重な
ったとき、前記搭載位置が空であれば前記第１および前
記第２の搬送アームを移動させて前記供給部から前記搭
載位置に前記測定用ＩＣをそれぞれ供給し、かつ前記搭
載位置上に前記第４ステップ終了後の前記被測定用ＩＣ
があればそれを前記収納部に収納する動作を順次繰り返
えして実行する機能からなることを特徴とする請求項１
記載のＩＣリード形状検査装置。