JPH08338704A - 面間距離測定装置およびその測定方法 - Google Patents

面間距離測定装置およびその測定方法

Info

Publication number
JPH08338704A
JPH08338704A JP14640095A JP14640095A JPH08338704A JP H08338704 A JPH08338704 A JP H08338704A JP 14640095 A JP14640095 A JP 14640095A JP 14640095 A JP14640095 A JP 14640095A JP H08338704 A JPH08338704 A JP H08338704A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
distance
frequency
displacement
setting
face
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP14640095A
Other languages
English (en)
Inventor
Atsushi Ito
厚志 伊藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sanmei Electric Co Ltd
Original Assignee
Sanmei Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sanmei Electric Co Ltd filed Critical Sanmei Electric Co Ltd
Priority to JP14640095A priority Critical patent/JPH08338704A/ja
Publication of JPH08338704A publication Critical patent/JPH08338704A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 相対する2面間の距離を高精度で測定するこ
とのできる面間距離測定装置およびその測定方法を提供
すること。 【構成】 基準面12を有するハウジング11上に配設
された検出コイル15と測定子21を有し検出コイル1
5と軸線上を移動可能な変位鉄心20と発振回路25と
を備え基準面12と測定子21との間の距離に対応した
発振周波数を出力する変位検出器10と、複数の設定距
離に対応したテーブル設定用のディジタル信号を出力す
るテーブル設定器31と発振周波数を計数するカウンタ
36と前記ディジタル信号を設定周波数に換算処理して
距離対周波数テーブルの設定を行い計数された周波数と
該テーブルとを照合して折線近似演算を行う演算器38
と該テーブルを記憶するテーブル記憶手段43とを備え
発振周波数に対応した距離信号を出力する演算装置30
と、表示器45と、を具備してなる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、間隙を保持して相対
し離隔移動可能に形成された2面間の距離を測定する面
間距離測定装置およびその測定方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、樹脂成形用金型等の相対する2個
の割型により形成されたキャビティのような閉鎖的空間
の2面間の距離を測定するには、一般には、キャビティ
に粘土を詰め、一度型締めしてから金型を開き、2個の
割型で圧縮された粘土を取出してノギス等で計測して、
相対する2面間の距離測定が行なわれていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このような従
来の面間距離測定方法においては、測定に手間がかかる
とともに、測定精度が低いという問題があった。
【0004】2点間の距離の精密測定には、電気的手段
を用いた高精度の測定器が広く使用されている。例え
ば、差動変圧器を使用したものは、3個のコイルを連設
し、その軸方向に移動する可動鉄心の機械的変位に比例
した出力電圧を出力するように構成されている。ここで
測定の対象とする相対する2面間の距離は、例えば、1
7〜22mm程度の狭い間隙であり、変位方向に長い差
動変圧器形測定器は、このような間隙の距離測定には適
していない。
【0005】また、1個のコイルと可動鉄心とにより狭
い間隙内に収まる測定器を構成した場合、このような測
定器は、出力電圧が鉄心の変位に対して直線的に比例せ
ず、また、測定器を工業的に量産したとき、コイルの巻
き方のばらつきや、測定子等の機械的構成部品の加工寸
法の誤差、および電気回路の構成部品の定数のばらつき
等により、測定器ごとに鉄心の変位とそれに対する出力
電圧が変ってくる。そのため、測定器の校正に時間がか
かり、しかも、生産された各測定器間の器差を零にする
ことは事実上困難であった。また、この各測定器間の器
差を、構成要素のマイクロコンピュータでソフト的に処
理しようとする場合には、各測定器に対応した換算テー
ブルを個別につくる必要があり、ROMに記録するデー
タが統一できず、量産には不向きであった。
【0006】この発明は、上記にかんがみてなされたも
のであり、その目的とするところは、相対する2面間の
距離を高精度で測定することのできる面間距離測定装置
およびその測定方法を提供しようとするものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】この発明は上記目的を達
成するためになされたものであり、本発明の面間距離測
定装置は、離隔移動可能に形成されるとともに間隙を保
持して相対する2面間の距離に対応した発振周波数を出
力する変位検出器と、前記発振周波数に対応した距離信
号を出力する演算装置と、前記距離信号を表示する表示
器と、を具備し、前記変位検出器は、前記相対する2面
の一側に当接する基準面を有するハウジングと、前記ハ
ウジングの基準面に直交する軸線を有して配設された検
出コイルと、先端部に測定子を有し前記検出コイルと同
軸状に設けられるとともに該測定子方向へ移動可能に付
勢されて前記相対する2面の他側に当接可能な変位鉄心
と、前記検出コイルと変位鉄心とを含み前記変位鉄心の
変位に対応した周波数を発生する発振回路と、を備え、
前記演算装置は、複数の設定距離にそれぞれ対応したテ
ーブル設定用のディジタル信号を出力可能なテーブル設
定器と、前記変位検出器の発振周波数を計数するカウン
タと、前記ディジタル信号を設定周波数に換算処理して
距離対周波数テーブルの設定を行うとともに、前記カウ
ンタで計数された周波数と前記距離対周波数テーブルと
を照合して折線近似演算を行う演算器と、前記距離対周
波数テーブルを記憶するテーブル記憶手段と、を備え、
て構成されてなることを特徴とする面間距離測定装置で
ある。
【0008】本発明の面間距離測定方法は、離隔移動可
能に形成されるとともに間隙を保持して相対する2面間
の距離を測定する面間距離測定方法であって、基準面を
有するハウジング上に配設された検出コイルと測定子を
有し前記検出コイルの軸線上を移動可能な変位鉄心と発
振回路とを備え前記基準面と測定子との間の測定距離に
対応した発振周波数を出力する変位検出器を使用し、前
記変位検出器の基準面と測定子とを前記相対する2面に
当接させて当該相対する2面間の距離に対応した発振周
波数を出力し、その発振周波数をカウンタで計数し、テ
ーブル設定器よりのディジタル信号を換算処理して設定
された距離対周波数テーブルと前記計数された周波数と
を照合して折線近似演算を行い計数された周波数に対応
した距離を算出する、ことを特徴とする面間距離測定方
法である。
【0009】また、演算装置のテーブル設定器が、前記
複数の設定距離に対応した設定電圧をそれぞれ調整可能
な複数の可変抵抗器と、前記複数の可変抵抗器を選択的
に接続する選択スイッチと、前記設定電圧をテーブル設
定用のディジタル信号に変換するA/D変換器と、を備
えて構成されてもよい。
【0010】また、演算装置のテーブル設定器が、前記
複数の設定距離に対応したテーブル設定用のディジタル
信号をそれぞれ設定可能な複数のディジタルスイッチ
と、前記複数のディジタルスイッチを選択的に接続する
選択スイッチと、を備えて構成されてもよい。
【0011】
【作用】この発明は上記のように構成されたものであ
り、測定対象である相対する2面の一側に変位検出器の
基準面を当接し、相対する2面の他側に測定子を当接す
る。このとき、変位鉄心は、相対する2面間距離に応じ
て移動し、発振回路は検出コイルと変位鉄心との相対位
置に対応した発振周波数を出力する。
【0012】演算装置は、テーブル設定時において、テ
ーブル設定手段の可変抵抗器が設定距離に対応したテー
ブル設定用のディジタル信号を出力し、演算器がそのデ
ィジタル信号を設定周波数に換算処理し、カウンタによ
り計数された発振周波数と設定周波数とを比較し、可変
抵抗器の調整により両周波数を合致させて距離対周波数
テーブルの設定を行なう。
【0013】距離測定時においては、テーブル設定手段
の可変抵抗器のディジタル信号に基づいて、距離対周波
数テーブルをテーブル記憶手段に一時的に記憶し、カウ
ンタで係数された周波数と距離対周波数テーブルとを照
合するとともに、折線近似演算を行い、発振周波数に対
応した距離信号を出力し、表示器が距離信号を相対する
2面間距離として表示する。
【0014】
【実施例】以下、この発明の実施例を図面に基づいて説
明する。
【0015】図1は、本発明の一実施例の面間距離測定
装置の正面図、図2は同じく断面図、図3は構成を示す
ブロック図である。
【0016】本発明の面間距離測定装置1は、基準面1
2と測定子21との間の距離に対応した発振周波数Fを
出力する変位検出器10と、発振周波数Fに対応した距
離信号Xを出力する演算装置30と、表示器45と、を
備えて構成されている。
【0017】変位検出器10は、基準面12を有するハ
ウジング11と、検出コイル15と、測定子21を有す
る変位鉄心20と、検出コイル15,変位鉄心20を含
む発振回路25とを備えて構成されている。
【0018】ハウジング11は、非磁性材により、偏平
な箱状に形成され、底面が距離測定の一側の基準となる
基準面12として形成されるとともに、上面にパネル1
3が設けられている。検出コイル15は、逆T字状のコ
ア16に円筒状に巻装されるとともに、ガイド18を介
して軸線を基準面12に直交して配設されている。ま
た、ガイド18には、変位鉄心20を検出コイル15の
軸線方向に案内するガイド孔18aが形成されている。
【0019】変位鉄心20は、図2における上端部に半
球状に突出した測定子21を有するほぼ筒状の磁性材か
らなり、検出コイル15の外周側を覆って上下動可能に
設けられるとともに、検出コイル15と同軸線上をばね
22により測定子21方向へ移動付勢されている。な
お、変位鉄心20の外周には、軸線方向に延びる条溝2
0aが設けられ、ガイド18に設けられたピン23によ
り、変位鉄心20の抜け出しが防止されている。
【0020】発振回路25は、図4の回路図に示すよう
に、検出コイル15、およびコンデンサC1 ,C2 、入
力抵抗R、反転回路28とにより構成され、変位鉄心2
0の移動によって検出コイル15のインダクタンスを変
化させ、変位鉄心20の変位に対応した発振周波数Fを
発生するように形成されている。
【0021】演算装置30は、テーブル設定器31と、
カウンタ36と、演算器38と、テーブル記憶手段43
とを備えて構成されている テーブル発生器31は、例えば図7に示すように、距離
測定範囲が複数に分割され、その複数のポイントを距離
対周波数テーブルの基準となる設定距離X0 ,X1 ,--
- Xn として設定している。そして、設定距離X0 ,X
1 ,--- Xn にそれぞれ対応して、設定電圧V0 ,V
1 ,--- Vn を調整可能な可変抵抗器32a,32b,
---32nと、後述するセットスイッチ41の信号を受
けて可変抵抗器32a,32b, ---32nを選択的に
接続する選択スイッチ33と、設定電圧V0 ,V1 ,--
- Vn をディジタル信号を変換するA/D変換器34を
備えて構成されている。そして、A/D変換器34のデ
ィジタル信号は、演算器30へ出力するように構成され
ている。なお、実施例では5個の可変抵抗器32a〜3
2eで形成されている。
【0022】カウンタ36は、変位検出器10の発振周
波数Fを計数して演算器38へ出力するように形成され
ている。
【0023】演算器38は、マイクロコンピュータを主
体に構成されており、各演算処理を実行するCPU,お
よびCPUのプログラム等を記憶するRAMとROMを
備えている。そして、ディジタル信号化された設定電圧
0 ,V1 ,--- Vn を、予め調製してある設定電圧対
設定周波数の換算テーブルを参照して、それぞれの設定
周波数F0 ,F1 ,--- Fn に換算処理を行ない、この
設定電圧V0 ,V1 ,--- Vn は基準となる変位検出器
10により設定距離X0 ,X1 ,--- Xn に対応して設
定されているため、設定電圧V0 ,V1 ,--- Vn を介
して設定距離X 0 ,X1 ,--- Xn 対設定周波数F0
1 ,--- Fn テーブル、すなわち、距離対周波数テー
ブル(図7にその一例を示す)の設定を行なう。
【0024】また、カウンタ36を計数された発振周波
数Fと、距離対周波数テーブルとを照合して、折線近似
補正の演算を行い、発振周波数Fに対応した計測距離X
の距離信号を出力するように形成されている。なお、演
算器38には、テーブル設定と距離測定のモードを切換
えるモード切換スイッチ40,およびテーブル設定用の
セットスイッチ41が接続されている。
【0025】テーブル記憶手段43は、データの書換え
が可能なRAMからなり、距離測定モード時に、テーブ
ル設定器31で設定される設定距離X0 〜に基づいて設
定された距離対周波数テーブルを記憶するように形成さ
れている。
【0026】表示器45は、距離信号を一時的に保持す
るホールド回路(図示省略)を備え、リセット釦46に
より信号保持を解除するように形成されている。なお、
符号48は電池であり、電源スイッチ49を介して電源
を供給するように形成されている。また、本実施例で
は、演算装置30および表示器45は、ハウジング11
内に装備されている。
【0027】次に、図6のフローチャートを参照して、
本面間距離測定装置1のテーブル設定モードにおける距
離対周波数テーブルの設定動作を説明する。
【0028】組立てられたばかりの面間距離測定装置1
は、まず、モード切換スイッチ40をテーブル設定モー
ドに切換え、図5に示すような調整治具55上に定置す
る。
【0029】電源スイッチ49をオンにすると、演算装
置30は、初期化を行ってスタートし、選択スイッチ3
3は可変抵抗器32aを選択し、表示器45は、設定距
離X 0 での設定を示す「X0 」を所定時間表示する。そ
して、変位検出器10の基準面12と測定子21との間
の距離を調整ねじ56により所定の設定距離X0 に調整
する(ステップ100)。このとき、可変抵抗器32a
は、その摺動子の位置に対応した設定電圧V0 を出力
し、A/D変換器34を介してディジタル信号化された
設定電圧V0 は演算器38に組込まれる(ステップ10
1)。
【0030】次いで、演算器38は、予め調製された換
算テーブルを参照して、設定電圧V 0 を設定周波数F0
に換算処理する(ステップ102)。
【0031】また、変位検出器10は、変位鉄心20が
設定距離X0 に対応した位置によって検出コイル15の
インタグタンスを可変し、設定距離X0 に対応した発振
周波数Fを出力する。この発振周波数Fは、カウンタ3
6により計数され、演算器38に読込まれる(ステップ
103)。
【0032】次いで演算器38において、換算処理され
た設定周波数F0 と発振周波数Fの差ΔFが演算され
(ステップ104)、ΔFの値が表示器45に表示され
る(ステップ105)。
【0033】ΔFの表示が0以外のときは、可変抵抗器
32aを可変して設定電圧V0 を調整し、上記ステップ
101〜105を繰返しΔFを0に近付ける。ΔFが0
になったとき、可変抵抗器32aによる設定電圧V0
換算された設定周波数F0 が発振周波数Fと一致したこ
とになる。すなわち、変位検出器10が設定距離X0
ときの発振周波数Fは、可変抵抗器22aの設定電圧V
0 (摺動子の設定位置)と等価となる。ここで、セット
スイッチ41をオンにして、次の設定距離X1の設定に
移る(ステップ106)。
【0034】次に、選択スイッチ33が可変抵抗器32
bを選択し、表示器45は設定距離X1 での設定を示す
「X1 」を所定時間表示する。そして、変位検出器10
の基準面12と測定子21との間の距離を、調整ねじ5
6により所定の設定距離X1に調整する(ステップ11
0)。以下のステップでは、ステップ101〜106の
設定距離X0 をX1 に、設定電圧V0 をV1 に、設定周
波数F0 をF1 に読み替えて、ステップ111〜116
を進める。
【0035】このように、順次、各設定距離X0 〜Xn
ごとに可変抵抗器32a〜32nを調整し、設定距離X
n における調整,設定ステップ120〜126が終了す
ると、例えば、「EEE」の表示が行われる。これによ
り、面間距離測定装置1の校正が終了し、各可変抵抗器
32a,32b,--- 32nは、それぞれの摺動子が、
設定距離X0 ,X1 ,--- Xn に対応した設定電圧V
0 ,V1 ,--- Vn を介して、設定周波数F0 ,F1
--- Fn を記憶したものとなり、モード切換スイッチ4
0を距離測定モードに切換えて、テーブル設定モードを
終了する。
【0036】次に、面間距離測定装置1による2面間距
離の測定について、図8のフローチャートを参照して説
明する。
【0037】面間距離測定の対象物は、一側が固定状態
にあり、他側が所定の間隙を保持して対面するとともに
距離移動可能に形成されている。この2面を離隔させ
て、相対する2面の一側に基準面12を当接して定置
し、電源スイッチ49をオンにして、その後面間距離を
所定の間隙に戻す。
【0038】これにより、測定子21は2面の他側に当
接し、検出コイル15に対する変位鉄心20の相対位置
が定まる。電源スイッチ49のオンにより、変位検出器
10は変位鉄心20の位置に対応した発振周波数Fを出
力し、演算装置30は、初期化を行なってスタートし、
テーブル設定器31の選択スイッチ33は、まず可変抵
抗器32aを選択する。そして、可変抵抗器32aの摺
動子の設定位置より、設定電圧V0 を演算器38に読込
む(ステップ201)。
【0039】次いで、演算器38は、予め調製された換
算テーブルを参照して、設定電圧V 0 を設定周波数F0
に換算処理する(ステップ202)。
【0040】次に、この設定周波数F0 を設定距離X0
に対応する周波数として、テーブル記憶手段43に記憶
する(ステップ203)。続いて、選択スイッチ33
は、可変抵抗器32bを選択し、その摺動子の設定位置
により、設定電圧V1 を演算器38に読込む(ステップ
211)。
【0041】以下ステップ202,203の設定距離X
0 をX1 に、設定電圧V0 をV1 に、設定周波数F0
1 に読み換えて、ステップ212,213の処理を行
なう。このように、順次、設定距離X0 〜Xn ごとに、
可変抵抗器32a〜32nを選択し、設定距離Xn にお
ける設定周波数Fn の処理ステップ221〜223が実
行されて、テーブル記憶手段43に距離対周波数テーブ
ルが記憶形成される。
【0042】続いて、ステップ230においてカウンタ
計測を開始し、発振周波数Fに基づいて計測距離Xの演
算処理が行なわれる。まず、カウンタ36が変位検出器
10の発振周波数Fを計数し、計数された発振周波数F
およびテーブル記憶手段43に記憶された距離対周波数
テーブルが演算器38に読込まれる。
【0043】次いで、発振周波数Fが設定周波数F0
り高いか否かを判断し(ステップ232)、YESのと
きはステップ242へ進み、NOの場合は計測不能を示
す表示、例えば「999」を表示してステップ230へ
戻る(ステップ233)。
【0044】ステップ242では、発振周波数Fが設定
周波数F1 より高いか否かを判断し、YESのときはス
テップ252へ進み、NOの場合は、設定周波数F0
対応する設定距離X0 よりのプラス偏差距離ΔXを、 計算式 ΔX=(F−F0 )/{(F1 −F0 )/m
1 } より演算する(ステップ243)。なお、m1 は、設定
距離X0 とX1 との間を等分する整数値である。
【0045】続いて、設定距離X0 に偏差距離ΔXを加
算して、計測距離Xを演算し(ステップ244)、距離
信号として出力して表示器45に距離表示を行ない(ス
テップ265)、ステップ230へ戻る。
【0046】ステップ252では、発振周波数Fが設定
周波数F2 より高いか否かを判断し、YESのときは、
更に高い周波数側へ移行し、NOの場合は、設定距離X
1 よりのプラス偏差距離ΔXを、 計算式 ΔX=(F−F1 )/{(F2 −F1 )/m
2 } より演算する(ステップ253)。なお、m2 は、設定
距離X1 とX2 との間を等分する整数値である。
【0047】続いて、設定距離X1 に偏差距離ΔXを加
算して、計測距離Xを演算し(ステップ254)、距離
信号を出力してステップ265へ進む。ステップ252
で判定がYESのときは、発振周波数F>設定周波数F
3 を判断し、更にYESのときは、順次、設定周波数F
n へ移行する。
【0048】そして、ステップ262で、発振周波数F
が設定周波数Fn より高いか否かを判断し、YESのと
きはステップ266へ進み、NOの場合は、設定距離X
n-1よりのプラス偏差距離ΔXを、 計算式 ΔX=(F−Fn-1 )/{(Fn −Fn-1
/mn } より演算する(ステップ263)。なお、mn は、設定
距離Xn-1 とXn との間を等分する整数値である。
【0049】続いて、測定距離Xn-1 に偏差距離ΔXを
加算して、計測距離Xを演算し(ステップ264)、距
離信号を出力して、ステップ265へ進む。また、ステ
ップ266では、計測不能を示す「999」を表示して
ステップ230へ戻る。
【0050】上記のステップ243,244、ステップ
253,254、ステップ263,264の処理は、演
算器38による折線近似補正の演算であり、他に近似曲
線や演算テーブル等による手段で代用することもでき
る。
【0051】なお、面間距離測定装置1が測定対象物よ
り取出されても、表示器45はホールド回路により計測
距離X表示を保持しており、リセット釦46のオンによ
り、表示は消滅する。また、電源スイッチ49のオフに
より、テーブル記憶手段43に記憶された距離対周波数
テーブルは消滅し、各可変抵抗器32a〜32nの摺動
子位置がテーブル設定のパラメータとして機械的に記憶
されている。
【0052】図9は、この発明の他の実施例を示し、複
数のディジタルスイッチによるテーブル設定器に特徴を
有する。なお、以下の説明では、第1実施例との重複部
分については、同一符号を付して説明を省略する。
【0053】この第2実施例のテーブル設定器51は、
設定距離X0 〜Xn に対応した設定信号D0 〜Dn を設
定可能なディジタルスイッチ52a〜52nと選択スイ
ッチ33とを備えて構成されている。各ディジタルスイ
ッチ52a〜52nは、例えば、8ビットのディップス
イッチからなり、0〜255の数値のディジタル信号
を、設定信号D0 〜Dn として設定入力することができ
る。この設定信号D0 〜Dn は、第1実施例の設定電圧
0 〜Vn のそれぞれに対応したテーブル設定用のディ
ジタル信号とすることができる。
【0054】これにより、A/D変換器を省略できると
ともに、テーブル設定器51の環境条件に対する安定度
を高めることができる。
【0055】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
の面間距離測定装置およびその方法によれば、変位検出
器の発振周波数出力を、距離対周波数テーブルを用いて
計測距離値に変換しているので、変位検出器の構成部品
の加工寸法のばらつき、発振回路を構成する電気部品の
定数のばらつき等による精度低下を回避して、2面間距
離を高精度で測定することができる。
【0056】また、テーブル設定器の設定用可変抵抗器
(またはディジタルスイッチ)をもとに距離対周波数テ
ーブルを設定するので、機械的に一度設定すれば、電源
をオフしても、また電池を取外しても、上記テーブルを
設定する設定電圧(または設定用ディジタル信号)は機
械的に保存されており、再設定することなく、高精度で
測定を行なうことができる。
【0057】さらに、テーブル設定器や演算器のプログ
ラムを共通なものが使用できるので、ROMメモリはマ
スクROMを使用することができ、本測定装置の量産を
効果的かつ経済的に行うことができる効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の面間距離測定装置の一実施例の正面
図。
【図2】図1の側面断面図。
【図3】図1の装置の構成を示すブロック図。
【図4】変位検出器の発振回路の回路図。
【図5】テーブル設定モードにおける変位検出器を示す
断面図。
【図6】テーブル設定モードにおける動作フローチャー
ト。
【図7】距離対周波数テーブルの一例を示す曲線図。
【図8】測定モードにおける動作フローチャート。
【図9】第2実施例の面間距離測定装置の構成を示すブ
ロック図。
【符号の説明】
1 面間距離測定装置 10 変位検出器 11 ハウジング 12 基準面 15 検出コイル 20 変位鉄心 21 測定子 25 発振回路 30 演算装置 31 テーブル設定器 32a〜32n 可変抵抗器 33 選択スイッチ 36 カウンタ 38 演算器 43 テーブル記憶手段 45 表示器 51 テーブル設定器 52a〜52n ディジタルスイッチ

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 離隔移動可能に形成されるとともに間隙
    を保持して相対する2面間の距離に対応した発振周波数
    を出力する変位検出器と、前記発振周波数に対応した距
    離信号を出力する演算装置と、前記距離信号を表示する
    表示器と、を具備し、 前記変位検出器は、 前記相対する2面の一側に当接する基準面を有するハウ
    ジングと、 前記ハウジングの基準面に直交する軸線を有して配設さ
    れた検出コイルと、 先端部に測定子を有し前記検出コイルと同軸状に設けら
    れるとともに該測定子方向へ移動可能に付勢されて前記
    相対する2面の他側に当接可能な変位鉄心と、 前記検出コイルと変位鉄心とを含み前記変位鉄心の変位
    に対応した周波数を発生する発振回路と、を備え、 前記演算装置は、 複数の設定距離にそれぞれ対応したテーブル設定用のデ
    ィジタル信号を出力可能なテーブル設定器と、 前記変位検出器の発振周波数を計数するカウンタと、 前記ディジタル信号を設定周波数に換算処理して距離対
    周波数テーブルの設定を行うとともに、前記カウンタで
    計数された周波数と前記距離対周波数テーブルとを照合
    して折線近似演算を行う演算器と、 前記距離対周波数テーブルを記憶するテーブル記憶手段
    と、を備え、 て構成されてなることを特徴とする面間距離測定装置。
  2. 【請求項2】 離隔移動可能に形成されるとともに間隙
    を保持して相対する2面間の距離を測定する面間距離測
    定方法であって、 基準面を有するハウジング上に配設された検出コイルと
    測定子を有し前記検出コイルの軸線上を移動可能な変位
    鉄心と発振回路とを備え前記基準面と測定子との間の測
    定距離に対応した発振周波数を出力する変位検出器を使
    用し、 前記変位検出器の基準面と測定子とを前記相対する2面
    に当接させて当該相対する2面間の距離に対応した発振
    周波数を出力し、 その発振周波数をカウンタで計数し、 テーブル設定器よりのディジタル信号を換算処理して設
    定された距離対周波数テーブルと前記計数された周波数
    とを照合して折線近似演算を行い計数された周波数に対
    応した距離を算出する、 ことを特徴とする面間距離測定方法。
  3. 【請求項3】 請求項1記載の面間距離測定装置であっ
    て、 前記演算装置のテーブル設定器が、前記複数の設定距離
    に対応した設定電圧をそれぞれ調整可能な複数の可変抵
    抗器と、 前記複数の可変抵抗器を選択的に接続する選択スイッチ
    と、 前記設定電圧をテーブル設定用のディジタル信号に変換
    するA/D変換器と、 を備えてなることを特徴とする面間距離測定装置。
  4. 【請求項4】 請求項1記載の面間距離測定装置であっ
    て、 前記演算装置のテーブル設定器が、前記複数の設定距離
    に対応したテーブル設定用のディジタル信号をそれぞれ
    設定可能な複数のディジタルスイッチと、 前記複数のディジタルスイッチを選択的に接続する選択
    スイッチと、 を備えてなることを特徴とする面間距離測定装置。
JP14640095A 1995-06-13 1995-06-13 面間距離測定装置およびその測定方法 Pending JPH08338704A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP14640095A JPH08338704A (ja) 1995-06-13 1995-06-13 面間距離測定装置およびその測定方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP14640095A JPH08338704A (ja) 1995-06-13 1995-06-13 面間距離測定装置およびその測定方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH08338704A true JPH08338704A (ja) 1996-12-24

Family

ID=15406853

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP14640095A Pending JPH08338704A (ja) 1995-06-13 1995-06-13 面間距離測定装置およびその測定方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH08338704A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103292768A (zh) * 2013-06-04 2013-09-11 苏州宝骅机械技术有限公司 一种用于检测法兰密封件密封分离量的检测装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103292768A (zh) * 2013-06-04 2013-09-11 苏州宝骅机械技术有限公司 一种用于检测法兰密封件密封分离量的检测装置
CN103292768B (zh) * 2013-06-04 2015-11-18 苏州宝骅机械技术有限公司 一种用于检测法兰密封件密封分离量的检测装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR920003613B1 (ko) 측장기(測長器)
JPH04231801A (ja) コーティング厚さ測定計器
KR920003637B1 (ko) 이차측 출력을 배증할 수 있는 측장방법과 그 장치
KR940001737B1 (ko) 변위 측정기
JPH08338704A (ja) 面間距離測定装置およびその測定方法
US4914609A (en) Displacement measuring apparatus
US4505042A (en) Dimension measuring instrument
JPH0340324B2 (ja)
US5179856A (en) Pressure gauge
CN204639796U (zh) 一种同轴度偏差测量数显装置
US3869802A (en) Gauging apparatus
CN113654439A (zh) 一种张拉组件的位移测量装置
JPS5819503A (ja) 寸法測定装置
US6286227B1 (en) Micrometer system and process of use therefor
KR920003614B1 (ko) 송신기부착 변위 측정기
JP2009250678A (ja) 材料試験機
KR100239928B1 (ko) 오실로스코프의 수평축 전자눈금 교정하는 방법 및 장치
JP3136500B2 (ja) 間隙測定具
JPS63241401A (ja) 差動式変位測定器
JPH09166408A (ja) 面間距離測定装置
JP2908816B2 (ja) 同調方法及びqメータ
JP3061111B2 (ja) 寸法測定装置
SU1422198A1 (ru) Устройство дл автоматической поверки стрелочных электроизмерительных приборов
US4137498A (en) Magnetic flux standard and method for calibrating fluxmeters
US3018556A (en) Measuring and gauging devices

Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20040309