JPH08335499A - 永久磁石による可変ミラー磁場発生方式 - Google Patents

永久磁石による可変ミラー磁場発生方式

Info

Publication number
JPH08335499A
JPH08335499A JP7175355A JP17535595A JPH08335499A JP H08335499 A JPH08335499 A JP H08335499A JP 7175355 A JP7175355 A JP 7175355A JP 17535595 A JP17535595 A JP 17535595A JP H08335499 A JPH08335499 A JP H08335499A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic field
movable
magnet
permanent magnet
yoke
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP7175355A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoshihisa Shirokabe
義久 白壁
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to JP7175355A priority Critical patent/JPH08335499A/ja
Publication of JPH08335499A publication Critical patent/JPH08335499A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Plasma Technology (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】永久磁石を用いたミラー磁場発生装置におい
て、磁場強度が可変なミラー磁場発生方式を実現する。 【構成】永久磁石ならびに鉄リターンヨークからなるミ
ラー磁場発生装置において、磁気回路の一部分に可動部
を設ける。そしてこの可動部を動かすことによって磁場
強度を可変にする。これにより、永久磁石による可変ミ
ラー磁場が発生可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、プラズマ閉じ込めの
ための磁場発生方式に関し、特にミラー型磁場の発生方
式に関するものである。
【0002】
【従来の技術】プラズマの生成を必要とする分野では、
高密度のプラズマを実現するために、プラズマ閉じ込め
磁場が使用される。ミラー型磁場は、その中でも広く用
いられている磁場形状の一種である。従来は、ミラー磁
場形成のためには、ソレノイド型コイルを用いていた。
この方式では、一般に必要とされる磁場強度を得るため
のコイル並びに鉄ヨークの大きさはある程度大きくなる
ため、装置全体としても必然的に大きくならざるを得な
かった。またコイルに電流を流すために電源と電気代が
必要となり、それに伴う配線、冷却系、制御系、インタ
ロック系なども含めると、装置の建設・運転に要する経
費と労力は大きな負担となっていた。この困難を避ける
ために、永久磁石を用いてミラー磁場を形成する方式
も、ある程度用いられてきた。しかしこの方式では磁場
強度が固定になってしまうという短所があった。一般に
最適なプラズマ閉じ込めが達成される磁場形状を得るに
は、実験的に磁場強度を調整して最適化することが必要
である。永久磁石を用いた固定ミラー磁場では、このよ
うな最適化の可能性が失われるため、装置として可能な
最大限の性能が達成できないという難点があった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本発明では、上記の問
題点を解消するために、永久磁石を用いて、同時に磁場
強度を可変としたミラー磁場の発生方式を実現する。
【0004】
【課題を解決するための手段】そのための手段として、
本発明では永久磁石ならびに鉄リターンヨークから成る
ミラー磁場発生のための磁気回路のうち、一部分に可動
部を設ける。そしてこの可動部分を動かすことによっ
て、磁場強度を可変にする。例えば図1では、径方向に
磁化された一対のリング型磁石1を用いて軸対称のミラ
ー型磁場を形成している。図で一点鎖線は回転対称軸を
表わす。リング型磁石の一方は内向きに磁化されてお
り、他方は外向きに磁化されている。これらリング型磁
石はそれぞれ同じくリング型の可動ヨーク2に固定され
ている。可動ヨーク2は固定ヨーク3の内側におかれ、
3の内壁に沿って、それぞれ左右に可動範囲4で示した
範囲内で動かせるようになっている。
【0005】
【作用】このようにすると、両方の可動ヨークがいかな
る位置に置かれていても、中心部には磁力線5で示した
ような形のミラー型磁場が発生されることになる。ミラ
ー磁場の強度は、可動ヨークの位置を変えることで変化
させることができる。可動ヨークが、それぞれの可動範
囲内で互いに最も近接した位置に置かれたとき(図1の
配置がこれに当たる)、ミラー磁場は最大強度が得られ
る。両方の可動ヨークを最も外側に置くと、磁場強度は
最小となる。2個の可動ヨークを独立かつなめらかに移
動させる機構を設けることにより、ミラー磁場強度を上
記最大値と最小値との間で連続的に任意の値を取らせる
ことが可能となる。
【0006】
【実施例】上述の原理に基づく可変ミラー磁場発生方式
は、図1の例に限らず、異なった形状でも可能である。
例えば図2の形状では、磁石1の位置を固定し、可動ヨ
ーク2のみを動かしているが、この方式でも可変ミラー
磁場が得られる。この時、図2で示したように可動ヨー
クが一番外側に置かれたときが最大磁場強度に対応す
る。可動ヨークが可動範囲4内で一番内側に置かれたと
きには、磁石で生成された磁力線5の多くが直接隣接す
る可動ヨーク内に流れ込んで、外部に流れ出るものが減
少するため、磁場強度は最小となる。このように、本原
理を適用した可変ミラー磁場装置は、具体的な装置の要
求に応じて様々な形状で実現できる。図1の例を適用し
た、可変ミラー磁場によるプラズマ閉じ込め装置の例を
図3に示す。磁気回路の内側に図のように内部を真空に
保ったプラズマ容器1を置き、容器内に適量のプラズマ
化したい気体状物質とプラズマ加熱パワーとを導入すれ
ば、ここにプラズマが生成される。プラズマ閉じ込めを
行なうミラー磁場の強度を、プラズマの状態に応じて調
整することで、高密度のプラズマが得られることにな
る。本発明の原理を適用すれば、高密度のプラズマから
高強度のイオンビームを引き出す装置(イオン源)も容
易に作ることができる。図4に、本発明に基づいて筆者
が考案したイオン源の原理図を示す。ここでも図1の例
と同様に、可動ヨーク2をリング型磁石1も含めて動か
すことで、最適なプラズマ閉じ込めのためのミラー磁場
強度が得られる。ここに図のようにイオンビーム引き出
し電極5を置き、適切な電圧を与えることで、6に示し
たようにイオンビームが得られる。この形状に基づいて
具体的に得られたミラー磁場の強度分布を図5に示す。
ここで実線1は可動ヨーク同志が互いに最も近接されて
置かれた最大磁場強度を示し、点線2は逆に最も離した
ときの最小磁場強度を示す。図のように、プラズマ容器
長3に対応する領域では、一定の範囲内で明らかに強度
可変な磁場が実現されている。
【0007】
【発明の効果】本発明の方式を用いれば、永久磁石を用
いて磁場強度が可変なミラー磁場を発生することができ
る。これにより、従来はソレノイド型コイルを用いてい
た同等の装置に比べて、得られる性能を損なうことなく
大幅に小型化することが可能となる。また、電力並びに
これに付随する経費・設備等も全て不要となるため、装
置全体の建設経費、建設期間も格段に縮小することがで
きる。一方従来の永久磁石を用いていた同等の装置に比
べると、磁場が可変であるため、磁場の最適化による性
能の向上が可能となっている。このように、本方式によ
れば従来の最高レベルと同等のものが容易に建設可能と
なる。また、これにより、従来用いられていた分野のみ
ならず、これまで装置の大きさや必要な電力等の制限か
ら適用できなかったような分野でも、ミラー磁場装置が
実現可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の原理に基づく可変ミラー磁場発生装置
の縦断面図である。
【図2】本発明の原理に基づく可変ミラー磁場発生装置
の、別の実施例の縦断面図である。
【図3】本発明の原理に基づく可変ミラー磁場発生装置
を用いた、プラズマ閉じ込め装置の実施例の縦断面図で
ある。
【図4】本発明の原理に基づく可変ミラー磁場発生装置
を用いた、イオンビーム発生装置(イオン源)の実施例
の縦断面図である。
【図5】上記イオンビーム発生装置(イオン源)におい
て発生される可変ミラー磁場の、磁場強度分布を示す図
(グラフ)である。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】永久磁石を用いてミラー磁場を発生し、磁
    気回路の一部分に可動部を設けることで磁場強度を可変
    にすることを特徴とする、可変ミラー磁場発生方式。
JP7175355A 1995-06-07 1995-06-07 永久磁石による可変ミラー磁場発生方式 Pending JPH08335499A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7175355A JPH08335499A (ja) 1995-06-07 1995-06-07 永久磁石による可変ミラー磁場発生方式

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7175355A JPH08335499A (ja) 1995-06-07 1995-06-07 永久磁石による可変ミラー磁場発生方式

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH08335499A true JPH08335499A (ja) 1996-12-17

Family

ID=15994630

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7175355A Pending JPH08335499A (ja) 1995-06-07 1995-06-07 永久磁石による可変ミラー磁場発生方式

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH08335499A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100978618B1 (ko) * 2007-12-12 2010-08-30 가부시키가이샤 나노빔 Ecr 이온소스의 자장강도 보정방법 및 장치
KR101311467B1 (ko) * 2011-11-25 2013-09-25 한국기초과학지원연구원 전자 맴돌이 공명 이온원 장치 및 이의 인출 전류를 증가시키는 방법

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100978618B1 (ko) * 2007-12-12 2010-08-30 가부시키가이샤 나노빔 Ecr 이온소스의 자장강도 보정방법 및 장치
KR101311467B1 (ko) * 2011-11-25 2013-09-25 한국기초과학지원연구원 전자 맴돌이 공명 이온원 장치 및 이의 인출 전류를 증가시키는 방법

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6194409B2 (ja) 永久磁石リニアアクチュエータ
US5345207A (en) Magnet configuration with permanent magnets
US7876014B2 (en) Permanent magnet rotor with increased magnetic flux
US7163602B2 (en) Apparatus for generating planar plasma using concentric coils and ferromagnetic cores
JP4422801B2 (ja) カソードスパッタリング装置
CN1049555C (zh) 一种用于化学过程的炬装置
US5557172A (en) Plasma beam generating method and apparatus which can generate a high-power plasma beam
US9805901B2 (en) Compact magnet design for high-power magnetrons
KR20030096041A (ko) 방전플라즈마처리시스템
JPH08335499A (ja) 永久磁石による可変ミラー磁場発生方式
JP2003257329A (ja) Ecrイオン源およびecrイオン源におけるイオン価数の制御方法
KR100262477B1 (ko) 자기 초점 조정 장치
JP2007224343A (ja) マグネトロンスパッタリング装置
CN103945632B (zh) 角向速度连续可调的等离子体射流源及该射流源的使用方法
KR102443757B1 (ko) 스퍼터링 장치, 박막 제조 방법
US3312858A (en) Deflecting system for charge carrier beams
JP2000277323A (ja) 磁場可変マグネット
WO2011065518A1 (ja) 誘導加速セクターサイクロトロン
US3783170A (en) Electric arc furnace apparatus having a shaped magnetic field for increasing the utilized area of the arcing surface of an electrode and improving the heating efficiency
JPS63244546A (ja) 永久磁石を用いた多重極レンズ
JP2876280B2 (ja) ビーム発生方法及び装置
JP4294158B2 (ja) 荷電粒子加速装置
JP4219925B2 (ja) マグネトロンスパッタ装置
JP2006049020A (ja) Ecrイオン源に用いられるプラズマ閉じ込め用のミラー磁場発生装置及び方法
JPH08508390A (ja) 2重に末端化された界磁コイルアクチュエータ