JPH08327654A - 加速度センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ２軸を中心として回転する２方向の加速度を
検出することができ、加速度を検出する感度がよい、加
速度センサを提供する。 【構成】 加速度センサ１０は正方形板状の重り１２を
含む。重り１２の４つの角部には、Ｌ字形の４つの結合
部１４ａ〜１４ｄを介して、４つの振動子１６ａ〜１６
ｄの短冊状の振動板１８ａ〜１８ｄの一端がそれぞれ結
合される。振動板１８ａ〜１８ｄの他端側の支持部２０
ａ〜２０ｄおよび２２ａ〜２２ｄは、基板２４に挿通さ
れ、基板２４の主面の電極にはんだ付けされる。振動板
１８ａ〜１８ｄには、８個の圧電素子２６ａ１，２６ａ
２，２６ｂ１，２６ｂ２，２６ｃ１，２６ｃ２，２６ｄ
１，２６ｄ２が接着される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は加速度センサに関し、
特にたとえば、外的振動によって生じる加速度を検出
し、適切な制振を行うビデオカメラの手ぶれ防止装置な
どの除振システムに応用できる加速度センサに関する。

【０００２】

【従来の技術】加速度センサは種々の方式のものが実用
化されているが、その中でも金属からなる振動板にセラ
ミックからなる圧電素子が接着された振動子を有する振
動型の加速度センサは、高感度で０Ｈｚに近い低周波か
ら加速度の測定が可能であるとともに構造が簡単である
などの特徴を有しているため、広く使われている。

【０００３】従来の振動型の加速度センサには、振動子
が片持ち梁構造で振動子の先端に重りが付けられたもの
や振動子の両端が固定され振動子の中央に重りが付けら
れたものがある。これらの加速度センサでは、それに加
速度が加わると、圧電素子を含む振動子が湾曲し、その
加速度に対応した信号が振動子の圧電素子から得られ
る。そのため、圧電素子から得られた信号を測定するこ
とによって、加速度が検出される。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところが、従来の振動
型の加速度センサでは、構造上、振動子が振動板の主面
に直交する方向にしか湾曲しないので、１方向の加速度
しか検出することができない。

【０００５】一方、たとえばビデオカメラの手ぶれ防止
装置などにおいては、水平軸を中心として回転する加速
度とそれに直交する垂直軸を中心として回転する加速度
との２軸を中心として回転する２方向の加速度を検出す
る必要がある。

【０００６】そのため、従来技術では、ビデオカメラの
手ぶれ防止装置などにおいて、２個の加速度センサを２
方向に配置して使用する必要があり、配置空間の増大や
部品点数の増大などの問題がある。

【０００７】そこで、本願発明者は、２軸を中心として
回転する２方向の加速度を検出することができる、加速
度センサを考え出した。この加速度センサは、４隅が支
持された４角形状の枠体の内側に重りが配置され、枠体
を構成する４つの振動板に４つの圧電素子がそれぞれ接
着されたものである。この加速度センサでは、対向する
２つの振動板に接着された２つの圧電素子から得られる
信号によって、１軸を中心として回転する加速度が検出
され、対向する他の２つの振動板に接着された２つの圧
電素子から得られる信号によって、他の１軸を中心とし
て回転する加速度が検出される。ところが、この加速度
センサでは、振動板の両端が支持されているので、振動
板および圧電素子が変形しにくく、圧電素子から得られ
る信号の電圧が小さく、加速度を検出する感度があまり
よくない。

【０００８】それゆえに、この発明の主たる目的は、２
軸を中心として回転する２方向の加速度を検出すること
ができ、加速度を検出する感度がよい、加速度センサを
提供することである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】この発明は、重りと、第
の１軸上に設けられる第１の結合部と、第１の軸に直交
する第２の軸上に設けられる第２の結合部と、その一端
が第２の結合部を介して重りに結合され、その他端が支
持される第１の振動板と、その他端が第１の結合部を介
して重りに結合され、その他端が支持される第２の振動
板と、第１の振動板に形成される第１の圧電素子と、第
２の振動板に形成される第２の圧電素子とを含む、加速
度センサである。

【００１０】なお、この発明にかかる加速度センサおい
て、第１の軸を中心として回転する加速度に対応した信
号を検出するための第１の検出手段が第１の圧電素子に
接続され、第２の軸を中心として回転する加速度に対応
した信号を検出するための第２の検出手段が第２の圧電
素子に接続されてもよい。

【００１１】

【作用】この発明にかかる加速度センサに第１の軸を中
心として回転する加速度が加わった場合、重りが第１の
結合部を中心軸として回転する。そのため、第１の振動
板が、第１の圧電素子とともに変形する。この場合、第
１の振動板の他端のみが支持されているので、第１の振
動板および第１の圧電素子は変形しやすい。したがっ
て、第１の圧電素子には、第１の軸を中心として回転す
る加速度に対応した電圧の大きい信号が発生する。な
お、第１の軸を中心として回転する加速度に対応した信
号は、たとえば上述の第１の検出手段によって検出され
る。

【００１２】また、この発明にかかる加速度センサに第
２の軸を中心として回転する加速度が加わった場合、重
りが第２の結合部を中心軸として回転する。そのため、
第２の振動板が、第２の圧電素子とともに変形する。こ
の場合、第２の振動板の他端のみが支持されているの
で、第２の振動板および第２の圧電素子は変形しやす
い。したがって、第２の圧電素子には、第２の軸を中心
として回転する加速度に対応した電圧の大きい信号が発
生する。なお、第２の軸を中心として回転する加速度に
対応した信号は、たとえば上述の第２の検出手段によっ
て検出される。

【００１３】

【発明の効果】この発明によれば、第１の軸および第２
の軸を中心として回転する２方向の加速度を検出するこ
とができる、加速度センサが得られる。そのため、この
発明にかかる加速度センサでは、２個の加速度センサを
使用することなく、たとえばビデオカメラの手ぶれ防止
装置などを構成することができる。

【００１４】さらに、この発明によれば、第１の圧電素
子および第２の圧電素子から得られる信号の電圧が大き
いので、加速度を検出する感度がよい。

【００１５】この発明の上述の目的、その他の目的、特
徴および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳
細な説明から一層明らかとなろう。

【００１６】

【実施例】図１はこの発明の一実施例を示す正面図であ
り、図２は図１に示す実施例の要部を示す図解図であ
り、図３は図１に示す実施例に用いられる発振回路、第
１の検出回路および第２の検出回路を示すブロック図で
ある。加速度センサ１０は重り１２を含む。重り１２
は、たとえば対角線が５ｍｍ、厚さが０．２ｍｍの正方
形板状に形成される。

【００１７】重り１２の４つの角部には、たとえばＬ字
形の４つの結合部１４ａ〜１４ｄを介して、４つの振動
子１６ａ〜１６ｄの短冊状の振動板１８ａ〜１８ｄの一
端がそれぞれ結合される。この場合、第１の結合部とし
て２つの結合部１４ｂおよび１４ｄは、重り１２に結合
される一端側部分が、重り１２の中心を通る第１の軸
（水平軸Ｘ）上に配置される。また、第２の結合部とし
て２つの結合部１４ａおよび１４ｃは、重り１２に結合
される一端側部分が、重り１２の中心を通り第１の軸
（水平軸）に直交する第２の軸（垂直軸Ｙ）上に配置さ
れる。さらに、第１の振動板としての振動板１８ａおよ
び１８ｃは、第２の軸（垂直軸）に直交するようにかつ
互いに逆向きに配置され、第２の振動板としての振動板
１８ｂおよび１８ｄは、第１の軸（水平軸）に直交する
ようにかつ互いに逆向きに配置される。すなわち、重り
１２、結合部１４ａ〜１４ｄおよび振動板１８ａ〜１８
ｄは、卍形に形成される。なお、結合部１４ａ〜１４ｄ
は、それぞれ、たとえば長さ１ｍｍ、幅０．２ｍｍ、厚
さ０．２ｍｍに細長く形成される。また、振動板１８ａ
〜１８ｄは、それぞれ、たとえば、長さ１０ｍｍ、幅２
ｍｍ、厚さ０．２ｍｍに形成される。

【００１８】振動板１８ａの他端には、特に図２に示す
ように、支持部２０ａが振動板１８ａの主面に直交する
方向に延びるように形成される。さらに、振動板１８ａ
の他端側の両側部には、２つの支持部２２ａ，２２ａが
振動板１８ａの主面に直交する方向に延びるように形成
される。同様に、振動板１８ｂ〜１８ｄの他端および他
端側の両側部には、３つの支持部２０ｂ〜２０ｄおよび
６つ支持部２２ｂ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｃ，２２ｄ，
２２ｄが、振動板１８ｂ〜１８ｄの主面に直交する方向
に延びるように形成される。なお、これらの支持部２０
ａ〜２０ｄおよび２２ａ〜２２ｄは、それぞれ、たとえ
ば長さ４ｍｍ、幅０．５ｍｍ、厚さ０．２ｍｍに形成さ
れる。これらの支持部２０ａ〜２０ｄおよび２２ａ〜２
２ｄは、たとえばガラス−エポキシ系のプリント基板な
どの基板２４に挿通され、基板２４の主面の電極にはん
だ付けされる。それによって、振動板１８ａ〜１８ｄの
他端側部分が基板２４に取り付けられる。

【００１９】なお、重り１２、結合部１４ａ〜１４ｄ、
振動板１８ａ〜１８ｄ、支持部２０ａ〜２０ｄおよび２
２ａ〜２２ｄは、たとえば、Ｆｅ−Ｎｉ合金（４２Ｎ
ｉ）からなる厚さ０．２ｍｍの板材をホトリソグラフィ
によるエッチングおよび曲げ加工によって一体的に形成
される。このエッチングには、たとえば、ポリビニルア
ルコール系のレジストや塩化第２鉄からなるエッチング
液が用いられる。

【００２０】振動板１８ａの一方主面および他方主面に
は、特に図２に示すように、２つの圧電素子２６ａ１お
よび２６ａ２が、たとえばエポキシ樹脂などの接着剤で
それぞれ接着される。同様に、振動板１８ｂの一方主面
および他方主面には２つの圧電素子２６ｂ１，２６ｂ２
が接着され、振動板１８ｃの一方主面および他方主面に
は２つの圧電素子２６ｃ１，２６ｃ２が接着され、振動
板１８ｄの一方主面および他方主面には２つの圧電素子
２６ｄ１，２６ｄ２が接着される。なお、各圧電素子
は、たとえば、チタン酸ジルコン酸鉛を主成分とするセ
ラミックからなる圧電体層を含み、圧電体層の両面にた
とえばＡｇを焼結して電極がそれぞれ形成され、長さ１
０ｍｍ、幅２ｍｍ、厚さ０．２ｍｍに形成される。ま
た、振動板１８ａ〜１８ｄの一方主面に接着される圧電
素子２６ａ１，２６ｂ１，２６ｃ１，２６ｄ１の圧電体
層は、外側から内側（振動板側）に向かって分極され
る。さらに、振動板１８ａ〜１８ｄの他方主面に接着さ
れる圧電素子２６ａ２，２６ｂ２，２６ｃ２，２６ｄ２
の圧電体層は、外側（基板側）から内側（振動板側）に
向かって分極される。

【００２１】８個の圧電素子２６ａ１，２６ａ２，２６
ｂ１，２６ｂ２，２６ｃ１，２６ｃ２，２６ｄ１，２６
ｄ２の外側の電極には、８個の抵抗２８ａ１，２８ａ
２，２８ｂ１，２８ｂ２，２８ｃ１，２８ｃ２，２８ｄ
１，２８ｄ２の一端がそれぞれ接続される。８個の抵抗
の他端と振動板１８ａ〜１８ｄ（８個の圧電素子の内側
の電極）との間には、駆動手段としての発振回路３０が
接続される。発振回路３０は、振動子１６ａ〜１６ｄを
振動するための駆動信号を発生するためのものであっ
て、たとえば直列接続される増幅回路３２と位相補正回
路３４とで構成される。増幅回路３２は、８個の圧電素
子の内側の電極から得られる信号を増幅するためのもの
である。また、位相補正回路３４は、増幅回路３２から
得られる駆動信号の位相を補正し、その位相を補正した
駆動信号を８個の圧電素子の外側の電極に与えるための
ものである。

【００２２】また、第１の圧電素子として用いられる圧
電素子２６ａ１および２６ｃ１の外側の電極には、第１
の検出手段としての第１の検出回路４０が接続される。
第１の検出回路４０は、第１の圧電素子から第１の軸
（水平軸Ｘ）を中心として回転する加速度に対応した信
号を検出するためのものであって、たとえば第１の差動
回路４２および第１の同期検波回路４４で構成される。
第１の差動回路４２の２つの入力端には、圧電素子２６
ａ１および２６ｃ１の外側の電極がそれぞれ接続され
る。第１の差動回路４２の出力端は、第１の同期検波回
路４４の入力端に接続される。第１の同期検波回路４４
の別の入力端には、増幅回路３２の出力端が接続され
る。第１の同期検波回路４４は、第１の差動回路４２か
ら得られる信号を、発振回路３０の増幅回路３２から出
力される駆動信号に同期して検波するためのものであ
る。

【００２３】さらに、第２の圧電素子として用いられる
圧電素子２６ｂ１および２６ｄ１の外側の電極には、第
２の検出手段としての第２の検出回路５０が接続され
る。第２の検出回路５０は、第２の圧電素子から第２の
軸（垂直軸Ｙ）を中心として回転する加速度に対応した
信号を検出するためのものであって、たとえば第２の差
動回路５２および第２の同期検波回路５４で構成され
る。第２の差動回路５２の２つの入力端には、圧電素子
２６ｂ１および２６ｄ１の外側の電極がそれぞれ接続さ
れる。第２の差動回路５２の出力端は、第２の同期検波
回路５４の入力端に接続される。第２の同期検波回路５
４の別の入力端には、増幅回路３２の出力端が接続され
る。第２の同期検波回路５４は、第２の差動回路５２か
ら得られる信号を、発振回路３０の増幅回路３２から出
力される駆動信号に同期して検波するためのものであ
る。

【００２４】この実施例では、発振回路３０の出力信号
が、８個の抵抗２８ａ１，２８ａ２，２８ｂ１，２８ｂ
２，２８ｃ１，２８ｃ２，２８ｄ１，２８ｄ２を介し
て、８個の圧電素子２６ａ１，２６ａ２，２６ｂ１，２
６ｂ２，２６ｃ１，２６ｃ２，２６ｄ１，２６ｄ２の外
側の電極に与えられる。そして、８個の圧電素子の内側
の電極から得られる信号が、振動板１８ａ〜１８ｄを介
して発振回路３０にフィードバックされる。それによっ
て、振動子１２は自励振駆動により振動する。この場
合、８個の圧電素子２６ａ１，２６ａ２，２６ｂ１，２
６ｂ２，２６ｃ１，２６ｃ２，２６ｄ１，２６ｄ２が伸
びている場合には、振動板１８ａ〜１８ｄが伸び、重り
１２が右回りに少し回転する。逆に、８個の圧電素子２
６ａ１，２６ａ２，２６ｂ１，２６ｂ２，２６ｃ１，２
６ｃ２，２６ｄ１，２６ｄ２が縮んでいる場合には、振
動板１８ａ〜１８ｄが縮み、重り１２が左回りに少し回
転する。このような振動によって、振動板１８ａ〜１８
ｄに慣性が与えられる。

【００２５】また、この実施例では、第１の軸（水平軸
Ｘ）を中心として回転する加速度が加わった場合、重り
１２が２つの結合部１４ｂおよび１４ｄを中心軸として
回転し、たとえば図４に示すように、振動板１８ａの一
端側部分および振動板１８ｃの一端側部分が外側および
内側に互いに逆に変形する。そのため、圧電素子２６ａ
１および２６ｃ１が互いに逆に変形し、圧電素子２６ａ
１および２６ｃ１には、加速度の大きさに応じた互いに
逆相の信号が発生する。

【００２６】そして、この実施例では、第１の差動回路
４０によって圧電素子２６ａ１および２６ｃ１に発生す
る信号の差が検出される。また、第１の差動回路４０の
出力信号は、第１の同期検波回路４２によって、駆動信
号に同期して検波される。そのため、第１の同期検波回
路４２からは、第１の軸（水平軸Ｘ）を中心として回転
する加速度に対応した信号が得られる。

【００２７】なお、圧電素子２６ａ１および２６ｃ１に
与えられる駆動信号は同じであるため、駆動信号成分は
第１の差動回路４０で相殺される。したがって、駆動信
号成分は、第１の差動回路４０および第１の同期検波回
路４２から出力されない。

【００２８】また、この実施例では、第２の軸（垂直軸
Ｙ）を中心として回転する加速度が加わった場合、重り
１２が２つの結合部１４ａおよび１４ｃを中心軸として
回転し、たとえば図５に示すように、振動板１８ｂの一
端側部分および振動板１８ｄの一端側部分が外側および
内側に互いに逆に変形する。そのため、圧電素子２６ｂ
１および２６ｄ１が互いに逆に変形し、圧電素子２６ｂ
１および２６ｄ１には、加速度の大きさに応じた互いに
逆相の信号が発生する。

【００２９】そして、この実施例では、第２の差動回路
５０によって圧電素子２６ｂ１および２６ｄ１に発生す
る信号の差が検出される。また、第２の差動回路５０の
出力信号は、第２の同期検波回路５２によって、駆動信
号に同期して検波される。そのため、第２の同期検波回
路５２からは、第２の軸（垂直軸Ｙ）を中心として回転
する加速度に対応した信号が得られる。

【００３０】なお、圧電素子２６ｂ１および２６ｄ１に
与えられる駆動信号は同じであるため、駆動信号成分は
第２の差動回路５０で相殺される。したがって、駆動信
号成分は、第２の差動回路５０および第２の同期検波回
路５２から出力されない。

【００３１】また、この実施例では、厚み方向（軸Ｚの
方向）に加速度が加わった場合、たとえば図６に示すよ
うに、重り１２が外側に突き出し、振動板１８ａ〜１８
ｄの各一端側部分が外側に同相に変形する。そのため、
圧電素子２６ａ１，２６ｂ１，２６ｃ１，２６ｄ１が同
相に変形し、圧電素子２６ａ１，２６ｂ１，２６ｃ１，
２６ｄ１には、同相の信号が発生する。したがって、圧
電素子２６ａ１，２６ｂ１，２６ｃ１，２６ｄ１に発生
した信号は、第１の差動回路４０および第２の差動回路
５０で相殺され、第１の差動回路４０および第２の差動
回路５０から出力されない。

【００３２】したがって、この実施例では、第１の軸
（水平軸Ｘ）を中心として回転する加速度と第２の軸
（垂直軸Ｙ）を中心として回転する加速度との２軸を中
心として回転する２方向の加速度を検出することができ
る。

【００３３】また、この実施例では、振動子１６ａ〜１
６ｄの振動板１８ａ〜１８ｄの他端のみが支持されてい
るので、振動板の両端が支持されている加速度センサに
比べて、振動板および圧電素子が変形しやすく、圧電素
子から得られる信号の電圧が大きく、加速度を検出する
感度がよい。

【００３４】さらに、この実施例では、重り１２、結合
部１４ａ〜１４ｄおよび振動板１８ａ〜１８ｄが平板か
ら形成されるため、全体の厚みが薄い。

【００３５】また、この実施例では、重り１２、結合部
１４ａ〜１４ｄおよび振動板１８ａ〜１８ｄをエッチン
グによって高精度に形成できるため、量産性がよい。

【００３６】図７は図１に示す実施例の変形例を示す正
面図である。図７に示す実施例は、図１に示す実施例と
比べて、特に、結合部１４ａ〜１４ｄがそれぞれＶ字形
に形成されるとともに、振動子１６ａ〜１６ｄが重り１
２の４辺に沿ってそれぞれ支持される。

【００３７】図７に示す実施例では、図１に示す実施例
と同様に、第１の軸（水平軸Ｘ）を中心として回転する
加速度と第２の軸（垂直軸Ｙ）を中心として回転する加
速度との２軸を中心として回転する２方向の加速度を検
出することができる。

【００３８】また、図７に示す実施例でも、図１に示す
実施例と同様に、加速度を検出する感度がよく、全体の
厚みが薄く、量産性がよい。

【００３９】さらに、図７に示す実施例では、図１に示
す実施例と比べて、振動子１６ａ〜１６ｄが重り１２の
４辺に沿って支持されるので小型になる。

【００４０】なお、上述の各実施例では、重り１２およ
び振動板１８ａ〜１８ｄなどの材料としてＦｅ−Ｎｉ合
金が用いられているが、恒弾性鋼やインバーなどの他の
材料が用いられてもよい。

【００４１】重り１２は、その役割からたとえば振動板
１８ａ〜１８ｄなどの他の部材より厚く形成されてもよ
い。また、重り１２は、正方形板状に限らず、菱形板
状、長方形板状、円板状、ブロック状、球状などの他の
形状に形成されてもよい。

【００４２】結合部１４ａ〜１４ｄは、それぞれ、Ｌ字
形やＶ字形に限らず、Ｉ字形などの他の形状に形成され
てもよい。

【００４３】振動板１８ａ〜１８ｄは、感度を考慮すれ
ば薄く形成されるほうがよく、強度を考慮すれば厚く形
成されるほうがよく、感度および強度の両者を考慮すれ
ばたとえば０．１ｍｍ〜１ｍｍの厚さに形成されるのが
望ましい。また、振動板１８ａ〜１８ｄは、縮退の影響
を避けるなどの事情から、すべてが同じ長さに形成され
ることに限らず、たとえば２つの振動板１８ａおよび１
８ｃが他の２つの振動板１８ｂおよび１８ｄより長く形
成されてもよい。さらに、振動板１８ａ〜１８ｄは、第
１の軸（水平軸Ｘ）の方向の加速度や第２の軸（垂直軸
Ｙ）の方向の加速度による影響を避けるために、その幅
をその厚さより十分に広くすることが望ましい。

【００４４】重り１２、結合部１４ａ〜１４ｄおよび振
動板１８ａ〜１８ｄは、卍形などに限らず、十字形など
の他の形状に形成されてもよい。なお、重り１２、結合
部１４ａ〜１４ｄおよび振動板１８ａ〜１８ｄが十字形
に形成される場合に比べて、図１に示す実施例では、そ
れらが卍形に形成されるので、全体が小型になり、図７
に示す実施例では、振動板１８ａ〜１８ｄが重り１２の
４辺に沿って支持されるので、さらに小型になる。

【００４５】振動板１８ａ〜１８ｄを基板２４に取り付
けるためには、支持部２０ａ〜２０ｄおよび２２ａ〜２
２ｄを用いる代わりに、たとえば合成樹脂やゴムなどの
緩衝材が振動板１８ａ〜１８ｄと基板２４との間に介在
され、振動板１８ａ〜１８ｄと緩衝材と基板２４とがた
とえばねじ止め、はんだ接合、銀ろう付け、接着剤、両
面接着性テープなどで接続されてもよい。

【００４６】基板２４としては、ガラス−エポキシ系の
プリント基板以外に、アルミナなどからなるセラミック
基板やガラス基板なども使用できる。

【００４７】なお、基板２４を他の部材に接合するため
には、たとえば合成樹脂やゴムなどの緩衝材が基板２４
と他の部材との間に介在され、基板２４と緩衝材と他の
部材とがたとえばねじ止め、はんだ接合、銀ろう付け、
接着剤、両面接着性テープなどで接合されてもよい。

【００４８】また、上述の各実施例では振動板１８ａ〜
１８ｄが長さ振動するが、この発明では、振動板１８ａ
〜１８ｄを他のモードで振動させてもよく、あるいは、
発振回路およびそれに関連する抵抗や圧電素子を除去す
ることによって振動板１８ａ〜１８ｄを振動させなくて
もよい。

【００４９】さらに、圧電素子の圧電体層の分極方向
は、駆動手段、第１の検出手段および第２の検出手段の
位相に対応して変更されてもよい。たとえば、すべての
圧電素子の圧電板層の分極方向が、上述の各実施例の逆
にされてもよい。

【００５０】また、第１の軸（水平軸Ｘ）を中心として
回転する加速度に対応した信号を得るためには、上述の
各実施例では２つの圧電素子２６ａ１および２６ｃ１に
発生する信号の差が検出されているが、たとえば２つの
圧電素子２６ａ１および２６ｃ２に発生する信号の和が
検出されてもよい。同様に、第２の軸（垂直軸Ｙ）を中
心として回転する加速度に対応した信号を得るために
は、上述の各実施例では２つの圧電素子２６ｂ１および
２６ｄ１に発生する信号の差が検出されているが、たと
えば２つの圧電素子２６ｂ１および２６ｄ２に発生する
信号の和が検出されてもよい。

【００５１】さらに、上述の各実施例では各振動板１８
ａ〜１８ｄに２つずつの圧電素子が形成されているが、
各振動板１８ａ〜１８ｄに１つずつの圧電素子が形成さ
れてもよい。このように、振動板１８ａ〜１８ｄに形成
される圧電素子の数は、任意に変更されてもよい。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例を示す正面図である。

【図２】図１に示す実施例の要部を示す図解図である。

【図３】図１に示す実施例に用いられる発振回路、第１
の検出回路および第２の検出回路を示すブロック図であ
る。

【図４】図１に示す実施例において、第１の軸（水平軸
Ｘ）を中心として回転する加速度が加わったときの振動
子の変形状態を示す図解図である。

【図５】図１に示す実施例において、第２の軸（垂直軸
Ｙ）を中心として回転する加速度が加わったときの振動
子の変形状態を示す図解図である。

【図６】図１に示す実施例において、厚み方向（軸Ｚの
方向）に加速度が加わったときの変形状態を示す図解図
である。

【図７】図１に示す実施例の変形例を示す正面図であ
る。

【符号の説明】

１０ 加速度センサ １２ 重り １４ａ〜１４ｄ 結合部 １６ａ〜１６ｄ 振動子 １８ａ〜１８ｄ 振動板 ２０ａ〜２０ｄ 支持部 ２２ａ〜２２ｄ 支持部 ２４ 基板 ２６ａ１，２６ａ２ 圧電素子 ２６ｂ１，２６ｂ２ 圧電素子 ２６ｃ１，２６ｃ２ 圧電素子 ２６ｄ１，２６ｄ２ 圧電素子 ２８ａ１，２８ａ２ 抵抗 ２８ｂ１，２８ｂ２ 抵抗 ２８ｃ１，２８ｃ２ 抵抗 ２８ｄ１，２８ｄ２ 抵抗 ３０ 発振回路 ３２ 増幅回路 ３４ 位相補正回路 ４０ 第１の検出回路 ４２ 第１の差動回路 ４４ 第１の同期検波回路 ５０ 第２の検出回路 ５２ 第２の差動回路 ５４ 第２の同期検波回路

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 重りと、 第の１軸上に設けられる第１の結合部と、 前記第１の軸に直交する第２の軸上に設けられる第２の
   結合部と、 その一端が前記第２の結合部を介して前記重りに結合さ
   れ、その他端が支持される第１の振動板と、 その他端が前記第１の結合部を介して前記重りに結合さ
   れ、その他端が支持される第２の振動板と、 前記第１の振動板に形成される第１の圧電素子と、 前記第２の振動板に形成される第２の圧電素子とを含
   む、加速度センサ。
2. 【請求項２】 前記第１の圧電素子に接続され、前記第
   １の軸を中心として回転する加速度に対応した信号を検
   出するための第１の検出手段と、 前記第２の圧電素子に接続され、前記第２の軸を中心と
   して回転する加速度に対応した信号を検出するための第
   ２の検出手段とを含む、請求項１に記載の加速度セン
   サ。