JPH08320004A - 固定機構 - Google Patents
固定機構Info
- Publication number
- JPH08320004A JPH08320004A JP12506695A JP12506695A JPH08320004A JP H08320004 A JPH08320004 A JP H08320004A JP 12506695 A JP12506695 A JP 12506695A JP 12506695 A JP12506695 A JP 12506695A JP H08320004 A JPH08320004 A JP H08320004A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fixed
- base
- stone
- fixing mechanism
- iron
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】簡単な構成で、安価に高精度の被取付物を歪無
く取付け固定することでき、また熱膨張率の異なる２つ
以上の物体の固定を実現すること。 【構成】ばね、固定ねじ、スペ−サ、高精度ＸＹステ−
ジベ−ス（石製）、架台定盤（鉄製）から構成され、高
精度ＸＹステ−ジベ−ス（石製）は、架台定盤（鉄製）
に固定された前記固定ねじに前記ばねのばね力を介して
押付けられる構成とする。
く取付け固定することでき、また熱膨張率の異なる２つ
以上の物体の固定を実現すること。 【構成】ばね、固定ねじ、スペ−サ、高精度ＸＹステ−
ジベ−ス（石製）、架台定盤（鉄製）から構成され、高
精度ＸＹステ−ジベ−ス（石製）は、架台定盤（鉄製）
に固定された前記固定ねじに前記ばねのばね力を介して
押付けられる構成とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、観察用、検査用等のた
めに被検査物を乗せるための高精度物体（例えば、Ｘ−
Ｙステージ）を歪なく、取付けベースに固定する機構に
関するものである。
めに被検査物を乗せるための高精度物体（例えば、Ｘ−
Ｙステージ）を歪なく、取付けベースに固定する機構に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来は、物体同士（たとえばステージと
ベース）をねじなどにより完全に固定していたため、被
固定物に取付面状態により歪が生じる、というという問
題があった。
ベース）をねじなどにより完全に固定していたため、被
固定物に取付面状態により歪が生じる、というという問
題があった。
【０００３】また、熱膨張差が著しい時等にも、歪が生
じ製品の精度に影響をおよぼす、という問題があった。
じ製品の精度に影響をおよぼす、という問題があった。
【０００４】また、ねじを緩め膨張差を逃がす等の対策
をとっていたが、このとき、ねじ１本々々には設計値以
上の力が加わり、また振動などにより横からのＧによっ
て物体同士の位置がずれる、という問題があった。
をとっていたが、このとき、ねじ１本々々には設計値以
上の力が加わり、また振動などにより横からのＧによっ
て物体同士の位置がずれる、という問題があった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明には、これらの
問題を除去し、簡単な構成で、安価に高精度の被取付物
を歪無く取付け固定することでき、また熱膨張率の異な
る２つ以上の物体の固定を実現することを目的とする。
問題を除去し、簡単な構成で、安価に高精度の被取付物
を歪無く取付け固定することでき、また熱膨張率の異な
る２つ以上の物体の固定を実現することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の構成を図１に示
す。
す。
【０００７】本発明の固定機構は、ばね１と固定ねじ
２、スペ−サ３、高精度ＸＹステ−ジベ−ス（石製）
４、架台定盤（鉄製）５から構成されている。
２、スペ−サ３、高精度ＸＹステ−ジベ−ス（石製）
４、架台定盤（鉄製）５から構成されている。
【０００８】ここで、高精度ＸＹステ−ジベ−ス（石
製）４は、架台定盤（鉄製）５に固定された固定ねじ２
にばね１のばね力を介して押付けられている。
製）４は、架台定盤（鉄製）５に固定された固定ねじ２
にばね１のばね力を介して押付けられている。
【０００９】また、高精度ＸＹステ−ジベ−ス（石製）
４と架台定盤（鉄製）５の隙間には摩擦力減衰（及び高
精度製品の固定時には３点支持による平面度の確保）の
目的でスペ−サ３が配置されており、高精度ＸＹステ−
ジベ−ス（石製）４の外周面の内の１面にダンパ−（図
示せず）を、その面に向き合う面にストッパピン（図示
せず）を配置し、高精度ＸＹステ−ジベ−ス（石製）の
内部で、このダンパ−とストッパピンの支持点を結ぶ線
上の以外の任意の点に位置決めピン（図示せず）を配置
する。
４と架台定盤（鉄製）５の隙間には摩擦力減衰（及び高
精度製品の固定時には３点支持による平面度の確保）の
目的でスペ−サ３が配置されており、高精度ＸＹステ−
ジベ−ス（石製）４の外周面の内の１面にダンパ−（図
示せず）を、その面に向き合う面にストッパピン（図示
せず）を配置し、高精度ＸＹステ−ジベ−ス（石製）の
内部で、このダンパ−とストッパピンの支持点を結ぶ線
上の以外の任意の点に位置決めピン（図示せず）を配置
する。
【００１０】
【作用】その結果、高精度ＸＹステ−ジベ−ス（石製）
４と架台定盤（鉄製）５の歪誤差は、固定ねじ２とスペ
−サ３の取付け部バカ穴で吸収され、高精度ＸＹステ−
ジベ−ス（石製）４（及びその上のＸＹステージ本体）
と架台定盤（鉄製）５のねじれや反りといった歪を解消
することができ、高精度ＸＹステ−ジを架台定盤上に組
込んだ後も、温度変化に影響されることなく高精度を維
持することができる。
４と架台定盤（鉄製）５の歪誤差は、固定ねじ２とスペ
−サ３の取付け部バカ穴で吸収され、高精度ＸＹステ−
ジベ−ス（石製）４（及びその上のＸＹステージ本体）
と架台定盤（鉄製）５のねじれや反りといった歪を解消
することができ、高精度ＸＹステ−ジを架台定盤上に組
込んだ後も、温度変化に影響されることなく高精度を維
持することができる。
【００１１】
【実施例】以下、図１から図４に本発明の実施例を示
す。
す。
【００１２】図１は、固定ねじ２の部分の拡大断面図、
図２は、装置の平面図、図３は正面図、図４は側面図で
ある。これらの図において、ばね１と固定ねじ２、スペ
−サ３、高精度ＸＹステ−ジベ−ス（石製）４、架台定
盤（鉄製）５、位置決めピン６、ダンパ−７から構成さ
れている。
図２は、装置の平面図、図３は正面図、図４は側面図で
ある。これらの図において、ばね１と固定ねじ２、スペ
−サ３、高精度ＸＹステ−ジベ−ス（石製）４、架台定
盤（鉄製）５、位置決めピン６、ダンパ−７から構成さ
れている。
【００１３】前述の通り、本発明の固定機構は、図１に
示すとおり、ばね１と固定ねじ２、スペ−サ３、高精度
ＸＹステ−ジベ−ス（石製）４、架台定盤（鉄製）５か
ら構成されている。９はＸ−Ｙステージである。
示すとおり、ばね１と固定ねじ２、スペ−サ３、高精度
ＸＹステ−ジベ−ス（石製）４、架台定盤（鉄製）５か
ら構成されている。９はＸ−Ｙステージである。
【００１４】高精度ＸＹステ−ジベ−ス（石製）４は、
架台定盤（鉄製）５に固定された固定ねじ２にばね１の
ばね力を介して押付けられている。
架台定盤（鉄製）５に固定された固定ねじ２にばね１の
ばね力を介して押付けられている。
【００１５】高精度ＸＹステ−ジベ−ス（石製）４と架
台定盤（鉄製）５の隙間には摩擦力減衰（及び高精度製
品の固定時には３点支持による平面度の確保）の目的で
スペ−サ３が配置されており、高精度ＸＹステ−ジベ−
ス（石製）４の外周面の内の１面に図２に示すダンパ−
７を、その面に向き合う面にストッパピン８を配置し、
高精度ＸＹステ−ジベ−ス（石製）の内部で、このダン
パ−とストッパピンの支持点を結ぶ線上の以外の任意の
点に位置決めピン６を配置して構成する。
台定盤（鉄製）５の隙間には摩擦力減衰（及び高精度製
品の固定時には３点支持による平面度の確保）の目的で
スペ−サ３が配置されており、高精度ＸＹステ−ジベ−
ス（石製）４の外周面の内の１面に図２に示すダンパ−
７を、その面に向き合う面にストッパピン８を配置し、
高精度ＸＹステ−ジベ−ス（石製）の内部で、このダン
パ−とストッパピンの支持点を結ぶ線上の以外の任意の
点に位置決めピン６を配置して構成する。
【００１６】以下、この動作について説明する。
【００１７】高精度ＸＹステ−ジは、駆動部重量約５０
Ｋｇｆ、加速度０．２Ｇで駆動され、スペ−サ３と架台
定盤（鉄製）５の摩擦係数を０．２とする。
Ｋｇｆ、加速度０．２Ｇで駆動され、スペ−サ３と架台
定盤（鉄製）５の摩擦係数を０．２とする。
【００１８】また、不意の水平方向の力（例えば、人が
押した場合）を１５Ｋｇｆと想定する。
押した場合）を１５Ｋｇｆと想定する。
【００１９】この時、水平方向換算力は常時１０Ｋｇ
ｆ、ピ−ク時２５Ｋｇｆとなる。よって、ばね１によっ
て水平方向換算力１５Ｋｇｆ以上、すなわち垂直方向力
７５Ｋｇｆ以上を保つことにより、高精度ＸＹステ−ジ
ベ−ス（石製）４は、架台定盤（鉄製）５上に安定に固
定されることになる。
ｆ、ピ−ク時２５Ｋｇｆとなる。よって、ばね１によっ
て水平方向換算力１５Ｋｇｆ以上、すなわち垂直方向力
７５Ｋｇｆ以上を保つことにより、高精度ＸＹステ−ジ
ベ−ス（石製）４は、架台定盤（鉄製）５上に安定に固
定されることになる。
【００２０】そして、温度変化による高精度ＸＹステ−
ジベ−ス（石製）４と架台定盤（鉄製）５の熱膨張差
は、固定ねじ２取付け部のバカ穴で吸収され、高精度Ｘ
Ｙステ−ジベ−ス（石製）４、及び架台定盤（鉄製）５
の歪による高精度ＸＹステ−ジの精度低下等を解消する
ことができる。
ジベ−ス（石製）４と架台定盤（鉄製）５の熱膨張差
は、固定ねじ２取付け部のバカ穴で吸収され、高精度Ｘ
Ｙステ−ジベ−ス（石製）４、及び架台定盤（鉄製）５
の歪による高精度ＸＹステ−ジの精度低下等を解消する
ことができる。
【００２１】また、温度変化などによる膨張収縮によっ
ておこる相対位置ずれは、架台定盤（鉄製）５上に位置
決めピン６によって基準位置を設け、ダンパ−７等によ
る高精度ＸＹステ−ジベ−ス（石製）４の位置決めピン
への押し当てを行い、規制する。
ておこる相対位置ずれは、架台定盤（鉄製）５上に位置
決めピン６によって基準位置を設け、ダンパ−７等によ
る高精度ＸＹステ−ジベ−ス（石製）４の位置決めピン
への押し当てを行い、規制する。
【００２２】なお、図１におけるスペースａと熱膨張率
との関係は次に示す通りである。
との関係は次に示す通りである。
【００２３】仕様値で考えられる最大温度変化をΔＴ
（Ｋ）とし、長手方向の取付けピッチの摂氏０度での長
さをＬ０（ｍｍ）とすると、 ａ≧Ｌ０×（α１−α２）×ΔＴ α１：定盤の線膨張率（／Ｋ） ΔＴ：最大温度変
化（Ｋ） α２：ベースの線膨張率（／Ｋ） となり、ａはこの値を確保することにより、ΔＴ時に於
いても、固定ねじ及び定盤とスペーサ及びベースの間に
無理な力が働くことはない。
（Ｋ）とし、長手方向の取付けピッチの摂氏０度での長
さをＬ０（ｍｍ）とすると、 ａ≧Ｌ０×（α１−α２）×ΔＴ α１：定盤の線膨張率（／Ｋ） ΔＴ：最大温度変
化（Ｋ） α２：ベースの線膨張率（／Ｋ） となり、ａはこの値を確保することにより、ΔＴ時に於
いても、固定ねじ及び定盤とスペーサ及びベースの間に
無理な力が働くことはない。
【００２４】
【発明の効果】本発明によれば、特別な部品を使用する
ことなく、適正なばねの検討を行うだけで、熱膨張率の
異なる２つ以上の物体の固定機構を、簡単な構成で、高
精度で、安価に実現することが出来る。
ことなく、適正なばねの検討を行うだけで、熱膨張率の
異なる２つ以上の物体の固定機構を、簡単な構成で、高
精度で、安価に実現することが出来る。
【図１】本発明の構成断面図
【図２】本発明の一実施例を示す平面図
【図３】本発明の一実施例を示す正面図
【図４】本発明の一実施例を示す側面図
１ ばね ２ 固定ねじ ３ スペ−サ ４ 高精度ＸＹステ−ジベ−ス（石製） ５ 架台定盤（鉄製） ６ 位置決めピン ７ ダンパ− ８ ストッパピン
Claims (5)
- 【請求項１】ねじ込み部の径を小さくした段付きねじ
と、該段付きねじをベースにねじ込むことによって圧縮
されるばねにより、被固定物を前記ばね力により、ベー
ス上に押しつけることにより固定する固定機構。 - 【請求項２】請求項１記載の被固定物は少なくとも１つ
の嵌合穴を有し、ベース上には前記嵌合穴と嵌合するピ
ンと前記被固定物の外周に近接するストッパピンとを植
立し、嵌合後の前記嵌合ピンを回転軸として、前記スト
ッパピンに前記被固定物を押し付ける手段を有する固定
機構。 - 【請求項３】請求項２記載の押し付け手段は、前記被固
定物に加振力が作用し、前記被固定物を移動させようと
する力以上の力を有することを特徴とする高精度固定機
構。 - 【請求項４】請求項１記載の被固定物と前記ベースは、
前記段付きねじ部３ヶ所の座のみで接触し、前記嵌合ピ
ン部では前記被固定物と前記ベース間には隙間があり接
触しないことを特徴とする固定機構。 - 【請求項５】請求項４記載の被固定物の前記段付きねじ
部の隙間は、両者の熱膨張差以上有することを特徴とす
る高精度固定機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12506695A JPH08320004A (ja) | 1995-05-24 | 1995-05-24 | 固定機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12506695A JPH08320004A (ja) | 1995-05-24 | 1995-05-24 | 固定機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08320004A true JPH08320004A (ja) | 1996-12-03 |
Family
ID=14900982
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12506695A Pending JPH08320004A (ja) | 1995-05-24 | 1995-05-24 | 固定機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08320004A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006247474A (ja) * | 2005-03-08 | 2006-09-21 | Dainippon Printing Co Ltd | 位置制御ステージ装置及び基板処理装置 |
| WO2015190470A1 (ja) * | 2014-06-13 | 2015-12-17 | 株式会社Ihi | 可変ノズルユニット及び可変容量型過給機 |
-
1995
- 1995-05-24 JP JP12506695A patent/JPH08320004A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006247474A (ja) * | 2005-03-08 | 2006-09-21 | Dainippon Printing Co Ltd | 位置制御ステージ装置及び基板処理装置 |
| WO2015190470A1 (ja) * | 2014-06-13 | 2015-12-17 | 株式会社Ihi | 可変ノズルユニット及び可変容量型過給機 |
| US10125673B2 (en) | 2014-06-13 | 2018-11-13 | Ihi Corporation | Variable nozzle unit and variable geometry turbocharger |
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