JPH08313589A - Method for diagnosing/inspection connection between lsi package and substrate - Google Patents

Method for diagnosing/inspection connection between lsi package and substrate

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JPH08313589A
JPH08313589A JP7116831A JP11683195A JPH08313589A JP H08313589 A JPH08313589 A JP H08313589A JP 7116831 A JP7116831 A JP 7116831A JP 11683195 A JP11683195 A JP 11683195A JP H08313589 A JPH08313589 A JP H08313589A
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JP
Japan
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pads
copper foil
lsi
pad
lsi package
Prior art date
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Pending
Application number
JP7116831A
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Japanese (ja)
Inventor
Yuji Takei
雄二 武居
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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Abstract

PURPOSE: To easily and highly reliably diagnose/inspect the connection between an LSI package and substrate by making a plurality of copper foil pads connectable depending upon the wetting states of bumps and connecting a plurality of bonding pads to the copper foil pads, in a chain-like state. CONSTITUTION: A plurality of bonding pads (a) and (b) are provided in each buffer section 1 and 2 and a plurality of copper foil pads PAD1-3 are provided on an LSI package. At the time of performing diagnosis/inspections, the buffer sections 1 and 2 connect the pads (a) and (b) to selector circuits, etc. As a result, the pads PAD1-3 are connected in a chain-like state when the solder bumps have good solder wettability and the bumps are accurately formed on the copper foil pads PAD1-3, because the pad (a) of the buffer section 1 is connected to the pad (b) of the buffer section 2 on the copper foil pad PAD2. Therefore, the connection between an LSI package and substrate can be diagnosed/inspected easily by confirming the coincidence between an input signal SIG1 from the pad PAD1 or output signal SIG2 from a buffer and the output signal from the pad PAD3.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、LSIパッケージと基
板との接続診断/検査に関し、特にBGA(Ball Gri
d Array)等の表面実装型パッケージと基板との接続診
断/検査に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to diagnosis / inspection of connection between an LSI package and a board, and more particularly to BGA (Ball Grid).
d Array) etc. related to the connection diagnosis / inspection between the surface mount type package and the board.

【0002】[0002]

【従来の技術】LSI実装後の接続診断/検査方法に
は、電気的に確認するか、視覚的に確認するかのどちら
かである。電気的にはLSIパッケージの接続を確認す
る方法として、IEEEで標準化されているJTAGと
呼ばれるバウダリスキャン回路を用いて検査する方法が
ある。また、視覚的には、X線検査で接続を確認する方
法がある。
2. Description of the Related Art A connection diagnosis / inspection method after mounting an LSI is to either electrically check or visually check. As a method of electrically confirming the connection of the LSI package, there is a method of inspecting using a boundary scan circuit called JTAG which is standardized by IEEE. Further, visually, there is a method of confirming the connection by an X-ray inspection.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】LSIパッケージと基
板の接続部を検査する場合、目視検査できないため、X
線による検査機を用いて視覚的に検査する方法がある
が、コスト面で問題となる。
When inspecting the connecting portion between the LSI package and the substrate, it is not possible to perform visual inspection.
There is a method of visually inspecting with a line inspection machine, but this poses a cost problem.

【0004】また、電気的に接続診断/検査を行う場
合、接続部が半田の濡れ性が悪く、ただ接触しているだ
けなのか、半田の濡れ性が良く、半田ボールが溶融し
て、きちんと接続されているのか、分からないという欠
点がある。
Further, when the connection diagnosis / inspection is performed electrically, the wettability of the solder is good because the wettability of the solder is poor at the connection portion, and the solder ball melts properly, and the solder ball is properly melted. There is a drawback that you do not know if it is connected.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明の目的は、LSI
パッケージのプリント基板への実装時における両者の接
続性信頼度を、簡単な構成によって高めることができる
LSIパッケージの構造、半導体集積論理回路を提供す
るものである。
An object of the present invention is to provide an LSI
(EN) Provided is a structure of an LSI package and a semiconductor integrated logic circuit capable of increasing the reliability of connection between the package and a printed circuit board when the package is mounted on the printed circuit board.

【0006】本発明による半導体集積論理回路は、複数
の入出力バッファを有し、前記複数の入出力バッファ
は、夫々複数のボンディングパッドを有し、当該ボンデ
ィングパッドに対して、前記入出力バッファに対応する
入出力か又は、前記複数のボンディングパッドどうし
を、接続するかを選択して与えるセレクタ回路を設けた
こと、また、本発明によるLSIパッケージは、BGA
等の表面実装型パッケージで半田バンプ(半田ボール)
を有し、前記半導体集積論理回路の複数ボンディングパ
ッドに対応する複数の銅箔パッド(LSIのリード)を
設けたこと、さらには、半田バンプをLSIパッケージ
側でなく、基板側に設けたことを特徴とする。
A semiconductor integrated logic circuit according to the present invention has a plurality of input / output buffers, and each of the plurality of input / output buffers has a plurality of bonding pads. The LSI package according to the present invention is provided with a selector circuit which provides a corresponding input / output or a selector circuit for selectively connecting the plurality of bonding pads.
Solder bumps (solder balls) with surface mount packages such as
And a plurality of copper foil pads (leads of the LSI) corresponding to the plurality of bonding pads of the semiconductor integrated logic circuit are provided, and further, the solder bumps are provided not on the LSI package side but on the substrate side. Characterize.

【0007】[0007]

【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。
Next, the present invention will be described with reference to the drawings.

【0008】図1は本発明のLSIパッケージの外観を
示す。
FIG. 1 shows the appearance of the LSI package of the present invention.

【0009】図1において、半田バンプ(半田ボール)
はLSIパッケージ側でなく、基板側に設けてある。
In FIG. 1, solder bumps (solder balls)
Is provided not on the LSI package side but on the substrate side.

【0010】図2は、本発明の銅箔パッドの一実施例を
示すものである。図2において、銅箔パッドは、複数の
入出力バッファに対して、夫々2ケ有する場合を示し、
銅箔パッドA,Bがそれに対応する。また、銅箔パッド
は半田ペーストを施し、形状は円形とし、実装時に前記
半田ペーストは、図1の基板上の半田バンプ(半田ボー
ル)と均等に引き合うため、実装精度が半田ボールの半
径分までずれても、センターに戻され正確に実装される
というセルフアライメント機能を考慮している。従っ
て、実装時半田バンプは、外側銅箔パッドBまで均等に
濡れる。
FIG. 2 shows an embodiment of the copper foil pad of the present invention. In FIG. 2, the copper foil pad has two input / output buffers, and
The copper foil pads A and B correspond to this. Further, the copper foil pad is provided with solder paste and has a circular shape, and the solder paste evenly attracts the solder bumps (solder balls) on the substrate of FIG. 1 at the time of mounting. Even if it is misaligned, the self-alignment function is considered so that it can be returned to the center and mounted correctly. Therefore, the solder bumps evenly wet the outer copper foil pads B during mounting.

【0011】図3は、本発明の半導体集積論理回路にお
ける、入出力バッファ部の基本回路構成の一例を示す。
FIG. 3 shows an example of the basic circuit configuration of the input / output buffer section in the semiconductor integrated logic circuit of the present invention.

【0012】図3において、DATA1は入出力時にデ
ータの遣り取りをするための信号線である。また、EN
1及び、EN2は各バッファのイネーブル信号線であ
り、低レベルを入力することによって、イネーブル状態
になりデータ出力を行うことができ、高レベルを入力す
ることによって、ディスイネーブルになりハイインピー
ダンス状態となる。
In FIG. 3, DATA1 is a signal line for exchanging data at the time of input / output. Also, EN
1 and EN2 are enable signal lines of each buffer. By inputting a low level, it becomes an enable state and data output can be performed, and by inputting a high level, it is disenabled and becomes a high impedance state. Become.

【0013】従って、外部からLSI内部にデータを入
力する場合は、EN1及び、EN2に高レベルを入力す
る。また、LSI内部から外部へデータを出力する場合
は、EN1に高レベルを入力し、EN2に低レベルを入
力する。さらに、LSIパッケージと基板との接続診断
/検査時に、ボンディングパッドaとbを接続する場合
は、EN2に高レベルを入力し、EN1に低レベルを入
力することにより実現することができる。
Therefore, when data is input from the outside to the inside of the LSI, a high level is input to EN1 and EN2. When data is output from the inside of the LSI to the outside, a high level is input to EN1 and a low level is input to EN2. Further, when the bonding pads a and b are connected at the time of connection diagnosis / inspection between the LSI package and the substrate, it can be realized by inputting a high level to EN2 and a low level to EN1.

【0014】図4は、本発明の半導体集積論理回路にお
ける、入出力バッファ部の基本回路構成の他の例であ
る。
FIG. 4 shows another example of the basic circuit configuration of the input / output buffer section in the semiconductor integrated logic circuit of the present invention.

【0015】図4において、セレクタにより、通常の双
方向バッファとしての動作とLSIパッケージと基板と
の接続診断/検査時のボンディングパッドaとbを接続
する動作とをセレクト信号SEL1によって切り換える
ことにより、実現したものである。
In FIG. 4, the selector switches the operation as a normal bidirectional buffer and the operation for connecting the bonding pads a and b at the time of diagnosis / inspection of the connection between the LSI package and the substrate by the select signal SEL1. It was realized.

【0016】図5は、本発明の一実施例を示すものであ
る。
FIG. 5 shows an embodiment of the present invention.

【0017】図5において、バッファ部1及び、バッフ
ァ部2は、前記図3及び、図4で説明した通り、LSI
パッケージと基板との接続診断/検査時は、ボンディン
グパッドaとbがセレクタ回路等により接続される。
In FIG. 5, the buffer unit 1 and the buffer unit 2 are LSIs as described in FIGS. 3 and 4.
During the connection diagnosis / inspection between the package and the substrate, the bonding pads a and b are connected by a selector circuit or the like.

【0018】また、PAD1,PAD2及び、PAD3
は、前記図2で説明した通り、半田バンプの濡れ性が良
く正確に実装されていれば、PAD2において、バッフ
ァ部1のaとバッファ部2のbは接続される。
Further, PAD1, PAD2, and PAD3
As described above with reference to FIG. 2, if the solder bumps have good wettability and are mounted correctly, in the PAD 2, a of the buffer unit 1 and b of the buffer unit 2 are connected.

【0019】かかる接続によって、PAD1からPAD
3までがチェイン状に接続され、従来電気的に接続診断
/検査を行う場合、接続部が半田の濡れ性が悪く、ただ
接触しているだけなのか、半田の濡れ性が良く、半田ボ
ールが溶融して、きちんと接続されているのか、分から
ないという欠点があったものを、PAD1からの入力デ
ータ:SIG1あるいは、バッファからの出力データ:
SIG2と、PAD3からの出力データとの一致を確認
することにより、容易に接続性の診断/検査が可能とな
る。
With this connection, PAD1 to PAD
Up to 3 are connected in a chain shape, and when conventionally performing electrical connection diagnosis / inspection, the wettability of the solder is poor at the connection part and the solder wettability is good and the solder ball is What had the drawback of not knowing whether it was melted and connected properly was that the input data from PAD1: SIG1 or the output data from the buffer:
By confirming the match between the SIG2 and the output data from the PAD3, it is possible to easily diagnose / inspect the connectivity.

【0020】図6に半田バンプと銅箔パッドの接続性を
示す。
FIG. 6 shows the connectivity between the solder bumps and the copper foil pads.

【0021】図6において、(1)はオープン状態、
(2)はただ接触していあるだけの状態、(3)は半田
バンプの濡れ性が悪い状態、(4)は半田バンプの濡れ
性が良い状態で銅箔パッドのA,Bが接続されているこ
とを示している。
In FIG. 6, (1) is an open state,
(2) is a state where they are just in contact, (3) is a state where the solder bumps have poor wettability, and (4) is a state where the solder bumps have good wettability. It indicates that

【0022】なお、銅箔パッド、バッファ部及び、ボン
ディングパッドは、もっと多数もしくは複数あってもよ
いこと、また、銅箔パッドの形状が円形でなくてもよい
ことさらに、パッド、バンプ等の材質は、銅、半田でな
くてもよいことは、言うまでも無い。
The copper foil pad, the buffer portion, and the bonding pad may be more or more in number, and the shape of the copper foil pad may not be circular. Needless to say, is not necessarily copper or solder.

【0023】[0023]

【発明の効果】以上説明したように本発明は、入出力バ
ッファ回路部に切り換え回路を設け、複数のボンディン
グパッドどうしを切り換え接続可能とし、LSI実装時
にバンプ(半田バンプ等)の濡れ具合により、複数のパ
ッドを接続可能とし、複数のボンディングパッドと複数
の銅箔パッド(LSIのリード部)とを、チェーン状に
接続することにより、従来電気的に接続診断/検査を行
う場合、接続部が半田の濡れ性が悪く、ただ接触してい
るだけなのか、半田の濡れ性が良く、半田ボールが溶融
して、きちんと接続されているのか、分からないという
欠点があったものを、容易に信頼度の高い接続性の診断
/検査が可能となる。
As described above, according to the present invention, a switching circuit is provided in the input / output buffer circuit section so that a plurality of bonding pads can be switched and connected, and when bumps (solder bumps, etc.) are wetted during LSI mounting, By connecting a plurality of pads and connecting a plurality of bonding pads and a plurality of copper foil pads (lead parts of LSI) in a chain shape, when the connection diagnosis / inspection is conventionally performed electrically, the connection parts are It is easy to trust what has the disadvantage that the solder wettability is bad and it is not just in contact, the solder wettability is good, and the solder ball melts and is properly connected. A high degree of connectivity diagnosis / inspection is possible.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明のLSIパッケージの外観図である。FIG. 1 is an external view of an LSI package of the present invention.

【図2】本発明の銅箔パッドの一実施例である。FIG. 2 is an example of the copper foil pad of the present invention.

【図3】本発明の半導体集積論理回路における、入出力
バッファ部の基本回路構成の一例である。
FIG. 3 is an example of a basic circuit configuration of an input / output buffer section in the semiconductor integrated logic circuit of the present invention.

【図4】本発明の半導体集積論理回路における、入出力
バッファ部の基本回路構成の一例である。
FIG. 4 is an example of a basic circuit configuration of an input / output buffer section in the semiconductor integrated logic circuit of the present invention.

【図5】本発明の一実施例のブロック図である。FIG. 5 is a block diagram of an embodiment of the present invention.

【図6】半田バンプと銅箔パッド(LSIのリード部)
との接続性の良否を示す説明図である。
FIG. 6 Solder bumps and copper foil pads (leads of LSI)
It is explanatory drawing which shows the quality of connectivity with.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

A,B…銅箔パッド(LSIのリード)、 a,b…
ボンディングパッド、EN1,EN2,EN3…入出力
バッファのイネーブル端子、DATA1,DATA2…
入出力バッファのデータ端子、SEL1…セレクタのセ
レクト端子、PAD1,PAD2…銅箔パッド(LSI
のリード)、SIG1,SIG2…接続性の診断/検査
用入力信号。
A, B ... Copper foil pad (lead of LSI), a, b ...
Bonding pad, EN1, EN2, EN3 ... Enable terminal of input / output buffer, DATA1, DATA2 ...
Input / output buffer data terminal, SEL1 ... Selector select terminal, PAD1, PAD2 ... Copper foil pad (LSI
, SIG1, SIG2 ... Input signals for connectivity diagnostic / test.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】複数の入出力バッファにそれぞれ対応して
設けられた、複数のボンディングパッド及び、LSIパ
ッケージ上に複数の銅箔パッド(LSIのリード)を有
し、前記複数のボンディングパッドに対して、入出力バ
ッファからの対応する信号を入出力するか又は、他のボ
ンディングパッドからの信号を選択して与えるセレクタ
回路を設け、半田バンプの濡れ性によりLSIパッケー
ジ上の複数の銅箔パッド(LSIのリード)どうしが接
続され、前記複数のボンディングパッドとLSIパッケ
ージ上の複数の銅箔パッド(LSIのリード)が、チェ
イン状に接続することを可能としたこと、また、基板上
に半田バンプを設けたことを特徴とする、LSIパッケ
ージと基板の接続診断/検査方法、LSIパッケージ構
造及び、半導体集積回路。
1. A plurality of bonding pads respectively provided corresponding to a plurality of input / output buffers, and a plurality of copper foil pads (leads of LSI) on an LSI package. Then, a selector circuit which inputs / outputs a corresponding signal from the input / output buffer or selectively supplies a signal from another bonding pad is provided, and a plurality of copper foil pads on the LSI package ( LSI leads) are connected to each other so that the plurality of bonding pads and the plurality of copper foil pads (LSI leads) on the LSI package can be connected in a chain shape, and solder bumps can be formed on the substrate. And a method for diagnosing / inspecting a connection between an LSI package and a substrate, an LSI package structure, and a semiconductor package. Circuit.
JP7116831A 1995-05-16 1995-05-16 Method for diagnosing/inspection connection between lsi package and substrate Pending JPH08313589A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009522549A (en) * 2005-12-30 2009-06-11 マイクロン テクノロジー, インク. Connection inspection technology

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009522549A (en) * 2005-12-30 2009-06-11 マイクロン テクノロジー, インク. Connection inspection technology
US8590146B2 (en) 2005-12-30 2013-11-26 Micron Technology, Inc. Connection verification technique
US10717141B2 (en) 2005-12-30 2020-07-21 Micron Technology, Inc. Connection verification technique

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