JPH08306800A - 集積回路の保護装置 - Google Patents

集積回路の保護装置

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JPH08306800A
JPH08306800A JP7109457A JP10945795A JPH08306800A JP H08306800 A JPH08306800 A JP H08306800A JP 7109457 A JP7109457 A JP 7109457A JP 10945795 A JP10945795 A JP 10945795A JP H08306800 A JPH08306800 A JP H08306800A
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JP
Japan
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type
diode
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floating
type well
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JP7109457A
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English (en)
Inventor
Eiho Ri
永豐 李
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HUALON MICROELECTRON CORP
KARIYUU BIDENSHI KOFUN YUUGENK
KARIYUU BIDENSHI KOFUN YUUGENKOUSHI
Original Assignee
HUALON MICROELECTRON CORP
KARIYUU BIDENSHI KOFUN YUUGENK
KARIYUU BIDENSHI KOFUN YUUGENKOUSHI
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Publication date
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  • Metal-Oxide And Bipolar Metal-Oxide Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
  • Insulated Gate Type Field-Effect Transistor (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 レベル異なるドライビングステージと被ドラ
イビングステージを使用してレベル変換器なしで自動的
にレベル変換を行い、集積回路が使用中高圧静電の放電
によって破損するのを防ぎ、電気回路を保護できるよう
にする。 【構成】 フローティングP型基板(31)と、P型基板
(31)上に形成されるフローティングN型ウェル領域
(32)と、N型ウェル領域(32)に拡散形成し、その両
端をそれぞれドライビングステージと被ドライビングス
テージに連結するP+型拡散抵抗(Rs)と、P+型拡散抵
抗(Rs)と連接させずに参照地電位と連接するよう、N
型ウェル領域(32)にP+型植設してなるP+型領域(3
3)とを備える。P+型拡散抵抗(Rs)とN型ウェル領域
(32)との間及びN型ウェル(32)とP+型領域(33)
との間にそれぞれPN接合を形成し、N極を互いに連接
する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は集積回路の保護装置に関
し、特に、集積回路のドライビングステージと被ドライ
ビングステージとの間に設けられるレベル変換可能な集
積回路の保護装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来より、集積回路では、MOS(メタ
ル・オキシド・セミコンダクタ)がもっとも広く使われ
ているが、近時の比較的進歩した1.2μ−0.6μの製
造過程では、MOSFET(メタル・オキシド・セミコ
ンダクタ・フィールド・エフェクト・トランジスタ)の
ゲート酸化膜(ゲート・オキシド)の厚さは僅か120
Å−250Å(1Å=10-10m)である。よって、適
当な入力保護装置がない場合、不注意のため高圧静電に
触れるとゲート酸化膜がブレークダウンする可能性があ
り、この場合、集積回路全体の機能が破壊される。この
ため、従来の集積回路の入力保護装置は、入力信号の電
圧レベルが電源供給器の電位より高くならず参照電位よ
りも低くならないように制限しており、もしこの範囲を
超えると大電流の入力電流が流れ込んで、ドライビング
ステージのオーバーロードを引き起こしたり或いはラッ
チアップ反応を触発したりする。
【0003】図5は、従来の集積回路における保護装置
の一例を示す電気回路図である。保護装置1は、主とし
てダイオードの導通を利用して高圧静電の放電回路を形
成し、そして、入力端11の入力電圧がVDD+0.7
ボルトよりも高い時は、拡散抵抗RsとダイオードD2
が導通し、逆に入力電圧が参照地電位VSS−0.7ボ
ルトよりも低い場合は、ダイオードD1が導通する。上
記抵抗器Rsは一般のP+抵抗であって、その主な機能は
電圧を降下させ並びに電流量を制限することにあり、大
電流が瞬間的に抵抗器Rsへ流れた時、極めて大きな電
位降下を生じるので、トランジスターM1及びM2のゲ
ート酸化膜と電源VDD及び参照地電位VSSとの間の
電位を降下させて保護効果を得ることができる。また、
抵抗器Rsは電流を低減するのでジュール熱を低めて集
積回路の高温による破損を防ぐことができる。
【0004】しかし、入力電圧がVDD+0.7ボルト
よりも高かったり或いはVSS−0.7ボルトよりも低
い時は、大電流が入力端11から流通するので、この電
流が入力端と連結したドライビングステージ部材の過負
荷を招き或いはトリガ電流(トリガ・カレント)を超過
してラッチアップ反応を触発し兼ねない。よって、安全
を期するためには、入力端11の入力シグナルレベルを
VDD+0.7ボルト及びVSS−0.7ボルトの間に規
制する必要がある。
【0005】図6に示すのは、従来の集積回路における
入力保護装置の他の一例を示す気回路図である。入力保
護装置2は主としてN型厚膜酸化物のMOSFET(N
タイプ・シック・フィールド・オキシド・MOSFE
T)M3により第1ステージを保護し、且つ抵抗器R1
及びR2により第2ステージを保護している。このうち
一方の抵抗器R1は多結晶シリコン抵抗で、もう一方の
抵抗器R2はN+拡散抵抗である。
【0006】入力端21の入力電位が正の高電圧である
場合、トランジスターM3のN型チャンネルが導通して
放電回路を形成しする。この際通過できる電流量は限ら
れているが、トランジスターM3のドレン電圧は、該ト
ランジスターM3のドレンと基板(サブストレート)に
形成されたN+P−ダイオードが逆向きバイアス電圧か
らアバランシェ降伏(アバランシェ・ブレークダウン)
するまで持続的に上昇して大量の基板電流を生じ、ソー
スと基板との間に電位差を形成して、該電位差が寄生バ
イポーラトランジスター(パラステック・バイポーラト
ランジスタ)を触発してトランジスターがターンオン
し、ドレンと基板が構成する保護作用を備えたダイオー
ドの動的抵抗(ダイナミックレジスタンス)び基板抵抗
(サブストレート・レジスタンス)の抵抗値が本来の数
KΩから大幅に低下して数十Ωになり、同時に該ダイオ
ードが逆向きバイアス電圧からアバランシェ降伏して負
のスナップバック(一種のNMOSで発生する電圧が上
げると、電流が急速に増加し、I−V特性曲線において
電圧、電流が急速にU字状の増加カーブを示す現象)を
生じ、アバランシェ降伏電圧が3〜10ボルト低下す
る。また、入力電圧が参考地電位VSSからダイオード
のカットイン電圧を差し引いた値よりも低い場合は、ト
ランジスターM3のドレンと基板を1つのN+P−ダイ
オードと見なすことができ、正向きのバイアス電圧から
導通して放電回路を形成する。
【0007】このように入力シグナルのレベルはトラン
ジスターM3のドレンの逆向きアバランシェ降伏電圧よ
り高い場合も、また、参照地電位VSSからダイオード
のカットイン電圧を差し引いた値よりも低い場合のいず
れの場合にも問題があり、大量の電流が生じて入力端2
1と連結したドライビング部材が過負荷となるか、或い
は自身のラッチアップ反応を惹起する。従って、従来、
実用上は上記事態の発生を避けるため、ドライビングス
テージのレベルが高過ぎ、或いは低過ぎる時は、必ずレ
ベル変換器を設けていたが、これは問題を根本的に解決
する適切な方法とは言い難い。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の集積回路に
おける保護装置の問題点に鑑み、本発明は、異なるレベ
ルのドライビングステージと被ドライビングステージを
使用してレベル変換器なしで自動的にレベル変換を行
い、集積回路が使用中高圧静電の放電によって破損する
のを防止し、電気回路を保護できる集積回路の保護装置
を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】従って、請求項1は、フ
ローティングP型基板と、上記フローティングP型基板
上に不純物を混入して形成したフローティングN型ウェ
ル領域と、上記フローティングN型ウェル領域にP+
領域を拡散させて形成し、その両端をそれぞれドライビ
ングステージと被ドライビングステージに連結するP+
型拡散抵抗と、上記P+型拡散抵抗と接続せずに参照地
電位と連接するよう、上記N型ウェル領域に設けたP+
型領域とを備え、上記P+型拡散抵抗と上記フローティ
ングN型ウェル領域との間及び上記N型ウェル領域と上
記P+型領域との間にそれぞれPN接合を形成し、N極
を互いに連接させて許容入力されたシグナルのレベルを
上昇させると共に、上記P+型拡散抵抗が電圧降下と電
流制限を行う集積回路の保護装置を提供するものであ
る。
【0010】請求項2は、請求項1において上記P+型拡
散抵抗とドライビングステージとの間に多結晶シリコン
抵抗を形成してなる集積回路の保護装置を提供するもの
である。
【0011】請求項3は、フローティングN型基板と、
雑質を混入して上記N型基板上に形成されるフローティ
ングP型ウェル領域と、該フローティングP型ウェル領
域に拡散形成し、その両端をそれぞれドライビングステ
ージと被ドライビングステージに連結するN型拡散抵抗
と、上記N型拡散抵抗と連接させずに参考地電位と連接
するよう、上記フローティングP型ウェル領域に設けた
N型領域とを備え、上記N型拡散抵抗と上記フローティ
ングP型ウェル領域との間及び上記フローティングP型
ウェル領域と上記N型領域との間にそれぞれPN接合面
を形成し、且つP極を互いに連接させて許容入力された
シグナルのレベルを上昇させると共に、上記N型拡散抵
抗が電圧降下と電流制限を行う集積回路の保護装置を提
供するものである。
【0012】請求項4は、請求項3において、上記N型
拡散抵抗とドライビングステージとの間に多結晶シリコ
ン抵抗を形成してなる集積回路の保護装置を提供するも
のである。
【0013】
【作用】上記のように構成された本発明は、Rs P+
散抵抗とN型ウェル領域のダイオード及びN型ウェル領
域とP型基板のダイオードを直列して保護回路を形成し
ているので、入力シグナルが正の高電位である時、一方
のダイオードが導通して他方のダイオードは逆向きバイ
アス電圧をなして導通しない。そして、もし、この正の
高電圧が他方ダイオードの逆向きブレークダウン電圧よ
りも大きい時は、該他方ダイオードはブレークダウンし
て放電回路を形成し、該放電回路に大量の電流が流通し
て保護作用を達成する。また、入力シグナルが負の高電
位である時、他方ダイオードは順向きバイアスして導通
し、該一方ダイオードは逆向きバイアスして導通できず
に、同様に負の高電位が一方ダイオードの逆向きブレー
クダウン電圧より高くなると放電回路を形成して、大量
の電流を流通させて保護作用を達成する。また、その多
結晶抵抗及び拡散抵抗は電圧降下と電流量の制限作用を
具えており、高過ぎる電圧が直接内部回路のゲート酸化
膜に印加するのを防止することができる。さらに、電気
回路の実際応用において二つのレベル異なるシグナルを
直接連結させることができるのでレベル変換器を付設す
る必要がない。
【0014】
【実施例】本発明の原理は、上記図5の従来の集積回路
における保護装置の電気回路図と似ているが、両者の違
いは本発明では、Rs P+拡散抵抗(ディヒュージョン
・レジスタ)とN型ウェル領域のダイオード及びN型ウ
ェル領域とP型基板(P-サブストレート)のダイオード
を直列して保護回路を形成した点にある。
【0015】図1に示すのは、本発明のレベル変換可能
な集積回路の入力保護装置の電気回路図であり、該レベ
ル変換可能な集積回路の入力保護装置は入力保護回路3
を備え、該入力保護回路3には多結晶シリコン抵抗R
p、拡散抵抗Rs及び該拡散抵抗Rsが形成した1個以上
のダイオードセットG1,・・・Gnを含み、そのうち各
ダイオードセットはそれぞれ2つのN極が互いに連接し
たダイオードを備えている。
【0016】図2は本発明のレベル変換可能な集積回路
の入力保護装置の構造を示す平面図で、図3は本発明の
レベル変換可能な集積回路の入力保護装置の構造を示す
側視断面図である。図2,3を併せて参照すれば、図示
の如く、本発明はP型基板31の上に先ず雑質を混入し
てN型ウェル領域(Nウエル)32を形成し、次に該N
型ウェル領域32にP+領域33を設けて拡散抵抗Rsに
拡散させると共に、該N型ウェル領域32の範囲内にお
いて該P+領域33を包囲する環状P+領域34を設け、
さらに、該P+領域33両端にそれぞれ金属導電片35,
36を設けている。一方の金属導電片35を多結晶シリ
コン抵抗Rpに連結して、他方の金属導電片36を内部
回路に連結し、さらに該環状P+領域34を参考地電位
に連結して、該P型基板31と該N型ウェル領域32を
フローティング連結している。
【0017】また、拡散抵抗RsのP+領域33と環状P
+領域34はともにN型ウェル領域32内に設けられ
て、両領域は互いに連接していないため、拡散抵抗Rs
とN型ウェル領域32との間及びN型ウェル領域32と
環状P+領域34との間はPN接合(p−nジャンクシ
ョン)を形成し、図1に示すような多数のN極が互いに
連接したダイオードセットG1,・・・Gnを形成する。
【0018】入力シグナルが正の高電位である時、ダイ
オードD1が導通してダイオードD2は逆向きバイアス
電圧をなして導通しないが、この正の高電圧がダイオー
ドD2の逆向きブレークダウン電圧よりも大きい時は、
該ダイオードD2がブレークダウンして放電回路を形成
し、該放電回路に大量の電流が流通して保護作用を達成
する。逆に、入力シグナルが負の高電位である時、ダイ
オードD2は順向きバイアスして導通し、該ダイオード
D1は逆向きバイアスして導通しないが、同様に負の高
電位がダイオードD1の逆向きブレークダウン電圧より
高くなると放電回路を形成して、大量の電流を流通させ
て保護作用を達成する。即ち、図4に示すように、本発
明の保護作用はV BDN−P−及びV BDP+N−の
両逆向きブレークダウン電圧点上で生ずるのであり、且
つ多結晶シリコン抵抗Rp及び拡散抵抗Rsは電圧降下と
電流量を制限する作用を備え、高電圧が直接内部回路の
ゲート酸化膜M1,M2に流れるのを防止する補助機能
を果す。
【0019】上記から分かるように、入力シグナルの正
向きレベルがダイオードD1の逆向きブレークダウン電
圧より高くない、且つ負向きレベルがダイオードD2の
逆向きブレークダウン電圧より低くない時は、大電流が
なだれ込んでドライビングステージ過負荷が生じ或いは
ラッチアップ反応を触発するようなことが発生せず、さ
らに、電気回路の実際応用において二つのレベル異なる
シグナルを直接連結させることができ、レベル変換器を
付設する必要もなくなる。上記装置のN型およびP型の
構成極性は互いに入れ替えても良いことはいうまでもな
い。
【0020】
【発明の効果】上記のように本発明は、Rs P+拡散抵
抗とN型ウェル領域との間のダイオード及びN型ウェル
領域とP型基板との間のダイオードを直列しているの
で、入力シグナルが正の高電位である時、一方のダイオ
ードが導通して他方のダイオードは逆向きバイアス電圧
をなして導通しないと共に、もしこの正の高電圧が他方
ダイオードの逆向きブレークダウン電圧よりも大きい時
は、該他方ダイオードはブレークダウンして放電回路を
形成し、該放電回路に大量の電流を流通させて保護作用
を達成する。逆に、入力シグナルが負の高電位である
時、他方ダイオードは順向きバイアスして導通し、該一
方ダイオードは逆向きバイアスして導通できないで、同
様に負の高電位が一方ダイオードの逆向きブレークダウ
ン電圧より高くなると放電回路を形成して、大量の電流
を流通させて保護作用を達成する。且つその多結晶シリ
コン抵抗及び拡散抵抗は電圧降下と電流制限の作用を備
えており、高電圧が直接内部回路のゲート酸化膜に印加
するのを防止し、また、電気回路の実際応用において二
つのレベル異なるシグナルを直接連結させることができ
るのでレベル変換器を必要としない
【図面の簡単な説明】
【図1】 実施例に係る集積回路の保護装置を示す電気
回路図である。
【図2】 実施例に係る集積回路の保護装置の構造を示
す平面図である。
【図3】 実施例に係る集積回路の保護装置の構造を示
す側面図である。
【図4】 実施例似係る集積回路の保護装置のI−V特
性曲線図である。
【図5】 従来の集積回路の保護装置を示す電気回路図
である。
【図6】 従来の集積回路の保護装置の他の例を示す電
気回路図である。
【符号の説明】
31 P型基板 32 N型ウェル領域 33 P+型領域 Rs P+型拡散抵抗 Rs 多結晶シリコン抵抗

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 フローティングP型基板(31)と、上記
    フローティングP型基板(31)上に不純物を混入して形
    成したフローティングN型ウェル領域(32)と、上記フ
    ローティングN型ウェル領域(32)にP+型領域を拡散
    させて形成し、その両端をそれぞれドライビングステー
    ジと被ドライビングステージに連結するP+型拡散抵抗
    (Rs)と、上記P+型拡散抵抗(Rs)と接続せずに参照地
    電位と連接するよう、上記N型ウェル領域(32)に設け
    たP+型領域(33)とを備え、 上記P+型拡散抵抗(Rs)と上記フローティングN型ウェ
    ル領域(32)との間及び上記N型ウェル領域(32)と上
    記P+型領域(33)との間にそれぞれPN接合を形成
    し、N極を互いに連接させて許容入力されたシグナルの
    レベルを上昇させると共に、上記P+型拡散抵抗(Rs)が
    電圧降下と電流制限を行う集積回路の保護装置。
  2. 【請求項2】 上記P+型拡散抵抗(Rs)とドライビング
    ステージとの間に多結晶シリコン抵抗(Rp)を形成して
    なる請求項1に記載の集積回路の保護装置。
  3. 【請求項3】 フローティングN型基板と、雑質を混入
    して上記N型基板上に形成されるフローティングP型ウ
    ェル領域と、 該フローティングP型ウェル領域に拡散形成し、その両
    端をそれぞれドライビングステージと被ドライビングス
    テージに連結するN型拡散抵抗と、 上記N型拡散抵抗と連接させずに参考地電位と連接する
    よう、上記フローティングP型ウェル領域に設けたN型
    領域とを備え、 上記N型拡散抵抗と上記フローティングP型ウェル領域
    との間及び上記フローティングP型ウェル領域と上記N
    型領域との間にそれぞれPN接合面を形成し、且つP極
    を互いに連接させて許容入力されたシグナルのレベルを
    上昇させると共に、上記N型拡散抵抗が電圧降下と電流
    制限を行う集積回路の保護装置。
  4. 【請求項4】 上記N型拡散抵抗とドライビングステー
    ジとの間に多結晶シリコン抵抗を形成してなる請求項3
    に記載の集積回路の保護装置。
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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06151715A (ja) * 1992-10-30 1994-05-31 Fujitsu Ltd 半導体集積回路の静電保護回路素子

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06151715A (ja) * 1992-10-30 1994-05-31 Fujitsu Ltd 半導体集積回路の静電保護回路素子

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Date Code Title Description
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 19970826