JPH08295522A - 石英ガラス製容器及びその製造方法、製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】手間がかかり、高コストであり、納期に長い時
間がかかり、大量生産に不向きであるという従来法の問
題の解決。 【解決手段】炉８内に辷り込み部分Ｊを有する雌型４ａ
が置かれており、その上に円板状の石英ガラス板１ａが
乗せられていて、さらにリング型５ａが取り付けられ、
さらに石英ガラス板１ａの上には雄型２ａが乗せられて
いる。所定の温度カーブで熱処理される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、石英ガラス製容器
及びその製造方法、製造装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】石英ガラス製容器は、コンピュータ用デ
バイスに使用されるウエハをプラズマエッチングすると
きのチャンバとして使用されたり、コンピュータ用デバ
イスに使用されるウエハをエピタキシャル成長法で作製
するときの坩堝（インナー容器ともいう）などに使用さ
れてきた。

【０００３】前者の場合には、直径が２５０ｍｍ、３２
０ｍｍなどの比較的に小径のものが使用されている。こ
のような比較的に小径のものは、従来は、図１６に示す
ようなブロー法によって、すなわち、一端を加熱して閉
じた石英ガラス製の管８５を旋盤（図示せず）に取り付
け、開放他端より配管８７を通して、不活性ガスを吹き
込んで、閉じられた一端を鏝９０で形状を整えつつ、バ
ーナ８８により酸水素炎８９で加熱して球状に膨らませ
て成形し、成形終了後、球状に膨らませた部分８６を略
半球状に切り出して端部をポリッシュしてチャンバを作
製していた。

【０００４】後者の場合には、直径が７９５ｍｍ、８８
０ｍｍなどの比較的に中径のものが使用されている。そ
して、このような比較的に中径のものは、従来は、分割
成形法や貼り付け加工法により製作されていた。

【０００５】なお、分割成形法は図１８に示す通り、
１）インナー容器の窒化ホウ素製、炭化ケイ素製又はカ
ーボン製内型１１１を作製し、２）石英ガラス板から球
部部品１１４、肩部部品１１５各々１点と立上り部リン
グ部品１１６の数点を切り出して、電気炉にて成形加工
を行い、３）成形された部品を熔接し（１１２は内型表
面、１１３は溶接跡）、４）さらに、熔接した容器の内
面、外面の研削・研磨を行うなどの後処理をすることに
より製作する方法である。

【０００６】また、貼り付け加工法は図１７に示す通
り、１）インナー容器の窒化ホウ素製、炭化ケイ素製又
はカーボン製内型１０１を作製し、２）石英ガラス板か
ら球部部品１０４、１０６、立上り部リング部品１０５
各々数点を切り出して、内型に合わせて石英ガラス板を
曲げ、３）曲げた石英ガラス板の部品を熔接し（１０２
は内型表面、１０３は溶接跡）、４）さらに、熔接した
容器の内面、外面の研削・研磨を行うなどの後処理をす
ることにより製作する方法である。

【０００７】これらのブロー法、分割成形法及び貼り付
け加工法では製造に手間がかかり、高コストであり、納
期に長い時間がかかり、大量生産に不向きであった。

【０００８】さらに８８０ｍｍを超える大径のものの需
要もあるが、かかる大径の製品では、最も生産性の悪
い、貼り付け加工法に依らざるを得なかった。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、石英
ガラス製容器の従来の製造方法において問題となってい
た、手間がかかり、高コストであり、納期に長い時間が
かかり、しかも、大量生産に不向きであるという問題を
解決しようとするものである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明は、所定の形状の
容器が得られるような石英ガラス製の素板ガラスを準備
した後、雌型に該石英ガラス板を乗せ、その曲げ加工温
度である１４００〜１６００℃の温度まで加熱し、加熱
された石英ガラスを雄型により３０分〜４時間程押圧成
形して、石英ガラス製容器を製造する。雌型としては、
雌型の内面部分が該容器の外表面を成形する成形内面部
分と、この成形内面部分に連なり水平面から２０〜７０
度の角度で拡がった辷り込み部分とからなる雌型を使用
する。そして、この辷り込み部分の形状は、断面形状が
直線状である必要はなく、曲線的なものであって、２０
〜７０度の角度で拡がっていてもよい。また、該容器の
外表面を成形する部分と辷り込み部分は曲面で結ばれて
いることが成形性上から好ましい。

【００１１】なお、図２に示すように、雌型４ａの内面
部分の内、容器の外表面を成形する部分Ｈと辷り込み部
分Ｊとが、その断面形状が曲線により結ばれている場合
においては、その曲線の変曲点Ｅ、Ｆにおける接線が水
平面となす角度Ｄを２０〜７０度の角度とする。

【００１２】なお、辷り込み部分の角度が７０度を越え
ると容器の開口部が波状になってしまいやすく、辷り込
み部分の角度が２０度以下であるとガラスのフローが悪
く様々な製品欠点を生じやすい。

【００１３】このように雌型に２０〜７０度の角度で拡
がった辷り込み部分があることにより、所望の形状のも
のが生産できるようになり、従来法に比して、格段のコ
スト安などの効果をもたらした。

【００１４】前記辷り込み部分は雌型の全周にわたっ
て、連続して設けられていることが好ましいが、連続し
て設けない場合においても、少なくとも雌型の全周囲に
わたって設けることが必要である。たとえば雌型の熱容
量を小さくしたいなどの場合においては、対称な櫛歯状
の辷り込み部分を全周にわたって設ける方法を用いても
若干の効果が得られる。

【００１５】そして、本発明により、図７の（ａ）及び
（ｂ）、（ｃ）及び（ｄ）、図８の（ａ）及び（ｂ）、
（ｃ）及び（ｄ）、図９の（ａ）及び（ｂ）、（ｃ）及
び（ｄ）に各々平面図及び断面図を示す、形状が略半球
状の石英ガラス製容器、形状が略半球状の部分と該略半
球状の部分に連なる円筒状の立上り部分とからなる石英
ガラス製容器、形状が略半回転楕円体状の石英ガラス製
容器、形状が略半回転楕円体状の部分と該略半回転楕円
体状の部分に連なる楕円筒状の立上り部分からなる石英
ガラス製容器、形状が略半回転長円体状の石英ガラス製
容器、形状が略半回転長円体状の部分と該略半回転長円
体状の部分に連なる長円筒状の立上り部分からなる石英
ガラス製容器などを提供できる。

【００１６】図１０の（ａ）及び（ｂ）、（ｃ）及び
（ｄ）に各々平面図及び断面図を示す立上り付略半球状
容器、立上り付略半回転楕円体状容器のように、立上り
部分３５ｄ、３５ｅがきわめて長いために、平板である
石英ガラス板から成形不可能なものについては、略半球
状の石英ガラス製部品３６ｄ又は半回転楕円状の石英ガ
ラス製部品３６ｅのように成形された石英ガラス部品
と、別途用意された略円筒状の石英ガラス製部品３５ｄ
又は３５ｅとを各々溶接して製造する。

【００１７】そして、この石英ガラス製部品３６ｄ又は
３６ｅはすでに述べた方法により成形する。また、略円
筒状の石英ガラス製部品３５ｄ又は３５ｅは、たとえば
長方形の石英ガラス板を加熱しながら折り曲げた後合わ
せ目を溶着して準備できる。

【００１８】前述のように、雌型に２０〜７０度の角度
で拡がった辷り込み部分があることにより、所望の形状
のものが生産できるようになり、従来法に比して、格段
のコスト安などの効果をもたらしたが、成形された製品
の内側開口部に微細なクラックが発生することがあり、
そのため研磨やファイヤポリッシュなどの処置が必要に
なることがあるという課題を残していた。

【００１９】本発明は、新たに生じたこの課題に対し
て、雌型が３つ以上の分割雌型の一組から構成されてい
て、雄型により押圧成形前においては、該分割雌型の一
組が前記容器の外表面を成形する成形内面部分を形作る
ように連結されているが、前記雄型が上方より下りてき
て前記雄型により押圧成形が終了した以降に、該分割雌
型の一組が分割し成形された前記容器から型離れするこ
とを特徴とする石英ガラス製容器の製造方法を提供す
る。

【００２０】この型離れが早過ぎると容器が寸法不良に
なり、型離れが遅過ぎると容器内面にクラックが発生す
るので、適正なタイミングで型離れするように調整す
る。

【００２１】また、その好ましい方法の１例として、成
形炉内に雄型及び石英ガラスよりも熱膨張係数の大きい
雌型が少なくとも配置されているのであって、雄型によ
り押圧成形前においては、該分割雌型の一組が雌型キー
により連結されており、前記雄型が上方より下りてきて
前記雄型により押圧成形が終了すると前記炉内の温度が
下げられ、それに伴って前記雄型に取り付けられた前記
雌型キーが切断して、前記分割雌型の一組が分割し成形
された前記容器から型離れすることを特徴とする石英ガ
ラス製容器の製造方法を提供する。

【００２２】より好ましいその１例を述べれば、該分割
雌型の各々にキー取付け部が設けてあり、前記雌型キー
がキー取付け部同士を連結することにより該分割雌型の
一組が連結されている。また、雌型、雌型キー及び雄型
の材質の１例としては窒化ホウ素、炭化ケイ素又はカー
ボンがある。なお、容器に寸法不良やクラックなどの欠
点が発生しないように雌型キーの太さを調整する必要が
ある。

【００２３】また、他の好ましい方法の１例として、成
形炉内に雄型、石英ガラスよりも熱膨張係数の大きいリ
ング型及び雌型が少なくとも配置されているのであっ
て、リング型の熱膨張係数は雌型のそれより大きいか等
しく、リング型が２つ以上の分割リング型の一組から構
成されていて、雄型により押圧成形前においては、該分
割リング型の一組がリングキーにより連結されており、
しかも該分割雌型の一組は前記リング型により上部を把
持されるようにして連結されており、前記雄型が上方よ
り下りてきて前記雄型により押圧成形が終了すると前記
炉内の温度が下げられ、それに伴って前記リング型に取
り付けられた前記リングキーが切断して、前記分割雌型
の一組が分割し成形された前記容器から型離れすること
を特徴とする石英ガラス製容器の製造方法を提供する。

【００２４】より好ましいその１例を述べれば、該分割
リング型の各々にキー取付け部が設けてあり、前記リン
グキーがキー取付け部同士を連結することにより該分割
リング型の一組が連結されており、しかも該分割雌型の
一組は前記リング型により上部を把持されるようにして
連結されていることを特徴とする石英ガラス製容器の製
造方法をも提供するものである。また、雌型、リング
型、リングキー及び雄型の材質の１例としては窒化ホウ
素、炭化ケイ素又はカーボンがある。リングキーの場合
も雌型キーの場合と同様である。

【００２５】また、内部が不活性ガス雰囲気になってい
る成形炉内において石英ガラス板を押圧成形することが
好ましい。

【００２６】また、本発明は、成形炉と成形炉内に設置
された成形用型とを有する石英ガラス製容器製造装置で
あって、前記成形炉は設定される任意の温度カーブによ
り運転することが可能で、かつ内部を不活性ガス雰囲気
にすることが可能であり、前記成形型は雄型と雌型から
なっており、前記雌型の内面部分が雄型による押圧成形
時に該容器の外表面を成形する部分と、該部分に連なり
２０〜７０度の角度で拡がった辷り込み部分とからなる
雌型であることを特徴とする石英ガラス製容器製造装置
を提供する。

【００２７】より好ましくは、雌型が３つ以上からなる
分割雌型の一組から構成されていて、雄型により押圧成
形前においては、該分割雌型の一組が前記容器の外表面
を成形する成形用内面部分を形作るように連結されてい
るが、前記雄型が上方より下りてきて前記雄型により押
圧成形が終了した以降に、該分割雌型の一組が分割し成
形された前記容器から型離れする。より一層好ましく
は、雌型が４つ以上からなる分割雌型の一組から構成さ
れている。具体例をあげれば、該分割雌型の各々にキー
取付け部が設けてあり、雌型キーがキー取付け部同士を
連結することにより該分割雌型の一組が連結されてい
る。

【００２８】また、本発明は、成形炉と成形炉内に設置
された成形用型とを有する石英ガラス製容器製造装置で
あって、前記成形炉は設定される任意の温度カーブによ
り運転することが可能で、かつ内部を不活性ガス雰囲気
にすることが可能であり、前記成形型は雄型と雌型及び
リングからなっており、前記雌型の内面部分が雄型によ
る押圧成形時に該容器の外表面を成形する部分と、該部
分に連なり２０〜７０度の角度で拡がった辷り込み部分
とからなる雌型であることを特徴とする石英ガラス製容
器製造装置を提供する。

【００２９】より好ましくは、雌型が３つ以上の分割雌
型の一組から構成されてなる雌型であり、雄型により押
圧成形前においては、該分割雌型の一組が前記容器の外
表面を成形する成形内面部分を形作るように連結されて
いるが、前記雄型が上方より下りてきて前記雄型により
押圧成形が終了した以降に、該分割雌型の一組が分割し
成形された前記容器から型離れする。より一層好ましく
は、雌型が４つ以上からなる分割雌型の一組から構成さ
れている。そして、具体例をあげれば、該分割リング型
の各々にキー取付け部が設けてあり、リングキーがキー
取付け部同士を連結することにより該分割リング型の一
組が連結されており、しかも該分割雌型の一組は前記リ
ング型により上部を把持されるようにして連結されてい
る。

【００３０】また、本発明は、雌型に石英ガラス板を乗
せ、曲げ加工温度で雄型により押圧成形して、製造され
た石英ガラス製容器であって、雌型として雌型の内面部
分が該容器の外表面を成形する成形内面部分と、この成
形内面部分に連なり水平面から２０〜７０度の角度で拡
がった辷り込み部分とからなる雌型を使用して製造され
たことを特徴とする石英ガラス製容器を提供する。

【００３１】その１例によれば、前記石英ガラス製容器
の底部の外表面の曲率半径が３００〜９００ｍｍであ
り、前記底部に連続して形成された側部の外表面の曲率
半径が５０〜２００ｍｍである石英ガラス製容器を提供
できる。

【００３２】

【実施例】図１は、本発明の製造装置及び製造方法の説
明図であり、炉８内に雌型４ａが置かれており、その上
に円板状の石英ガラス板１ａが乗せられ、さらに石英ガ
ラス板１ａの上には雄型２ａが乗せられていて、さらに
リング型５ａが雄型２ａを囲むように取り付けられてい
る。そして、炉８内に置かれたこれらの型２ａ、４ａ、
５ａと石英ガラス板１が設定された温度カーブで熱処理
される。図６、図１４は、本発明の製造装置及び製造方
法の要部説明図であり、図６は成形前の状態を、図１４
は成形後の状態を示す。

【００３３】図２は、前記雌型４ａの拡大断面図であ
り、区間Ｈは容器の外表面を成形する部分であり、区間
Ｊ、Ｊは辷り込み部分である。そして、この容器の外表
面を成形する部分と辷り込み部分とを結ぶ曲線の変曲点
における接線が水平面となす角度（図２の角度Ｄ）を２
０〜７０度の角度とする。Ｅ、Ｅは、変曲点であり、変
曲点Ｅ、Ｅの間隔をＧとする。そして、容器の外径に対
応する、雌型４ａの幅がＢ’であり、Ｇ＞Ｂ’である。
辷り込み部分の外径がＣである。

【００３４】図３は、図１の実施例で製造された石英ガ
ラス製容器１０の図であり、（ａ）はその断面図、
（ｂ）はその平面図を示す。

【００３５】図４は、図１の実施例で使用される石英ガ
ラス板１ａの図である。

【００３６】図５は、本発明の石英ガラス製容器の製造
装置及び製造方法のより詳細な説明図である。炉８内に
は雌型４ｂ、リング型５ｂ、雄型２ｂが設置されてお
り、既に容器１１が成形済である。この成形の前に真空
装置と不活性ガスボンベを用いて、炉内２０の雰囲気が
不活性ガス雰囲気に変えられる。また、２８は真空装置
に連結された配管であり、３０は不活性ガスボンベに連
結された配管である。炉内には温度センサ２３が設置し
てあり、配線２４により温度に関する信号が制御盤に伝
えられる。制御盤は、予め設定した温度カーブになるよ
うに、配線２２を通じヒータ２１を制御している。

【００３７】図１１は、本発明に使用する雌型の１例を
説明する図であり、（ａ）はその斜視図、（ｂ）はその
平面図である。雌型４０は分割雌型４０ａ、４０ｂ、４
０ｃ、４０ｄに分割され、その各々の両側端の外周面
に、キー取付け部としての凸状部４１ａ及び４２ａ、４
１ｂ及び４２ｂ、４１ｃ及び４２ｃ、４１ｄ及び４２ｄ
が設けてある。そして、断面ロ字形状の雌型キー４３
ａ、４３ｂ、４３ｃ、４３ｄにより、くわえ込まれるよ
うにして連結されている。

【００３８】なお、石英ガラス板の押圧成形終了後にこ
れら雌型キーが切れて、分割雌型の一組が分割し成形さ
れた容器から型離れする。凸状部（キー取付け部）を雌
型キーとしての雄ネジにより連結することもでき、ある
いは、雌型にキー取付け部としての穴を設け、平面コ字
形状の雌型キーの両端を該穴に挿嵌することにより連結
することもできる。

【００３９】図１２は、本発明に使用するリング型の１
例を説明する図であり、（ａ）はその斜視図、（ｂ）は
その平面図、（ｃ）はその断面図である。リング型４５
は、分割リング型４５ａ、４５ｂに分割され、その各々
の両側端の外周面に、キー取付け部としての凸状部４８
ａ及び４９ａ、４８ｂ及び４９ｂが設けてある。そし
て、断面ロ字形状のリングキー５０、５１により、くわ
え込まれるようにして連結されている。

【００４０】図１１に示した雌型キーを備えた雌型をリ
ング型とともに用いる場合であって、例えば図１２に示
したような分割リング型からなるリング型とともに用い
る場合には、分割リング型４５ａに雌型キー４３ａ、４
３ｂを挿入するための孔若しくは溝を、分割リング型４
５ｂに雌型キー４３ｃ、４３ｄを挿入するための孔若し
くは溝を設ける。この際、これらの孔若しくは溝は、雌
型キーが当たらないようにするとともに、雌型が分割す
るときに、その支障にならないように設けておけばよ
い。

【００４１】図１１に示した雌型キーを備えた雌型をリ
ング型とともに用いる場合であって、分割リング型でな
いリング型とともに用いる場合には、リング型が雌型の
フランジ上に乗るようにリング型の形状を定めるととも
に、雌型が分割するときに支障にならないようにリング
型と雌型の両者のフランジ形状を定めればよい。

【００４２】図１３は、本発明に使用する雌型を説明す
る図であり、（ａ）はその斜視図、（ｂ）はその平面図
である。このように雌型キーを備えていない分割雌型は
図１２に示すようなリング型とともに用いる。

【００４３】図１４は、先に若干説明したように、本発
明の石英ガラス製容器の製造装置及び製造方法の要部説
明図である。本図は、雌型４ａと雄型２ａと雄型２ａの
ガイド機能を果たすリング型５ａ（キー取付部とリング
キーは図示を省略してある。）を用いて成形された状態
を説明しており、１０は製造された容器である。リング
型５ａの内周面に沿って雄型２ａが下りることにより、
石英ガラス板を正しく成形することが容易になる。図１
２の説明のときに説明したように、リング型５ａは割型
となっていて、成形後に雌型４ａが分割できるようにな
っている。

【００４４】図１５は、本発明の石英ガラス製容器の断
面図であり、（ａ）はフランジのない例、（ｂ）はフラ
ンジ５９のある例である。

【００４５】底部の外表面Ｈ１の曲率半径Ｍは３００〜
９００ｍｍ、底部に連続して形成された側部の外表面Ｈ
２、Ｈ３の曲率半径Ｎは５０〜２００ｍｍ、高さＰ１、
Ｐ２は１００〜９００ｍｍ、口元内径Ｑ１、Ｑ２及び口
元外径Ｒ１、Ｒ２は３００〜９００ｍｍ、厚みＴ１、Ｔ
２は５〜１５ｍｍから選ばれた大きさである。本実施例
では、Ｍ＝４００ｍｍ、Ｎ＝１１０ｍｍ、Ｐ１＝１２０
ｍｍ、Ｐ２＝１４０ｍｍ、Ｑ１＝３６０、Ｑ２＝３６５
ｍｍ、Ｒ１＝３７５ｍｍ、Ｒ２＝３９０ｍｍ、Ｔ１、Ｔ
２＝５〜１１ｍｍである。

【００４６】このような大型のサイズで、しかも、底部
と側部の２段の曲率半径をもつ高精度寸法の石英ガラス
製容器は、本発明の製造方法により造ることが可能であ
り、１２インチのウエハなどの大型のウエハをマイクロ
プラズマでエッチング及びアッシャ（灰化）処理するの
に用いられる。また酸化拡散工程におけるウエハ処理に
おいても同様に用いられ、本発明の製造方法により造る
ことが可能である。

【００４７】

【発明の効果】石英ガラス製容器の従来の製造方法にお
いて問題となっていた、手間がかかり、高コストであ
り、納期に長い時間がかかり、しかも、大量に生産する
のに不向きであるという問題を解決できた。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の製造装置及び製造方法の説明図。

【図２】図１の実施例で使用される雌型の断面図。

【図３】図１の実施例で製造される石英ガラス製容器の
図であり、（ａ）はその断面図、（ｂ）はその平面図。

【図４】図１の実施例で使用される石英ガラス板の図で
あり、（ａ）はその平面図、（ｂ）はその断面図。

【図５】本発明の製造装置及び製造方法の説明図。

【図６】本発明の製造装置及び製造方法の要部説明図。

【図７】本発明の石英ガラス製容器の図であり、（ａ）
は略半球状容器の平面図、（ｂ）は略半球状容器の断面
図、（ｃ）は立上り付略半球状容器の平面図、（ｄ）は
立上り付略半球状容器の断面図。

【図８】本発明の石英ガラス製容器の図であり、（ａ）
は略半回転楕円体状容器の平面図、（ｂ）は略半回転楕
円体状容器の断面図、（ｃ）は立上り付略半回転楕円体
状容器の平面図、（ｄ）は立上り付半回転楕円体状容器
の断面図。

【図９】本発明の石英ガラス製容器の図であり、（ａ）
は略半回転長円体状容器の平面図、（ｂ）は略半回転長
円体状容器の断面図、（ｃ）は立上り付略半回転長円体
状容器の平面図、（ｄ）は立上り付半回転長円体状容器
の断面図。

【図１０】本発明の石英ガラス製容器の図であり、
（ａ）は立上り付略半球状容器の平面図、（ｂ）は立上
り付略半球状容器の断面図、（ｃ）は立上り付略半回転
楕円体容器の平面図、（ｄ）は立上り付略半回転楕円体
容器の断面図。

【図１１】本発明に使用する雌型を説明する図であり、
（ａ）はその斜視図、（ｂ）はその平面図。

【図１２】本発明に使用するリング型を説明する図であ
り、（ａ）はその斜視図、（ｂ）はその平面図、（ｃ）
はその断面図。

【図１３】本発明に使用する雌型を説明する図であり、
（ａ）はその斜視図、（ｂ）はその平面図。

【図１４】本発明の製造装置及び製造方法の要部説明
図。

【図１５】本発明の石英ガラス製容器の断面図であり、
（ａ）はフランジのない例、（ｂ）はフランジのある
例。

【図１６】従来のブロー法の説明図。

【図１７】従来の貼り付け加工法の説明図であり、
（ａ）は貼り付け加工巾の状態を示す正面図、（ｂ）、
（ｃ）、（ｄ）は貼り付け加工に使用される部品の斜視
図。

【図１８】従来の分割成形法の説明図であり、（ａ）は
作製中の状態を示す正面図、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）は
分割成形法に使用される部品の斜視図。

【符号の説明】

１ａ：石英ガラス板 ２ａ：雄型 ４ａ：雌型 ５ａ：リング型 ８：炉 ４１ａ、４１ｂ、４１ｃ、４１ｄ、４２ａ、４２ｂ、４
２ｃ、４２ｄ：凸状部 ４８ａ、４８ｂ、４９ａ、４９ｂ：凸状部 ４３ａ、４３ｂ、４３ｃ、４３ｄ：雌型キー ５０、５１：リングキー

フロントページの続き (72)発明者 鈴木 不二雄 福島県郡山市虎丸町２−19 チサンマンシ ョン虎丸町904

Claims (17)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】雌型に石英ガラス板を乗せ、その曲げ加工
   温度まで加熱し、加熱された石英ガラスを雄型により押
   圧成形して、石英ガラス製容器を製造する方法であっ
   て、雌型として雌型の内面部分が該容器の外表面を成形
   する成形内面部分と、この成形内面部分に連なり水平面
   から２０〜７０度の角度で拡がった辷り込み部分とから
   なる雌型を使用することを特徴とする石英ガラス製容器
   の製造方法。
2. 【請求項２】雌型に円板状の石英ガラス板を乗せ、その
   曲げ加工温度まで加熱し、加熱された石英ガラスを雄型
   により押圧成形して、形状が略半球状の石英ガラス製容
   器を製造する方法であって、雌型として雌型の内面部分
   が該容器の外表面を成形する略半球状の成形内面部分
   と、この略半球状の成形内面部分に連なり水平面から２
   ０〜７０度の角度で拡がった辷り込み部分とからなる雌
   型を使用することを特徴とする石英ガラス製容器の製造
   方法。
3. 【請求項３】雌型に略楕円板状の石英ガラス板を乗せ、
   その曲げ加工温度まで加熱し、加熱された石英ガラスを
   雄型により押圧成形して、形状が略半回転楕円体状の石
   英ガラス製容器を製造する方法であって、雌型として雌
   型の内面部分が該容器の外表面を成形する略半回転楕円
   体状の成形内面部分と、この略半回転楕円体状の成形内
   面部分に連なり水平面から２０〜７０度の角度で拡がっ
   た辷り込み部分とからなる雌型を使用することを特徴と
   する石英ガラス製容器の製造方法。
4. 【請求項４】雌型に円板状の石英ガラス板を乗せ、その
   曲げ加工温度まで加熱し、加熱された石英ガラスを雄型
   により押圧成形して、形状が略半球状の部分と該略半球
   状の部分に連なる円筒状の立上り部分とからなる石英ガ
   ラス製容器を製造する方法であって、雌型として雌型の
   内面部分が該容器の外表面を成形する、略半球状の部分
   及びこの略半球状の部分に連なる円筒状の立上り部分と
   からなる成形内面部分と、該円筒状立上り部分に連なり
   水平面から２０〜７０度の角度で拡がった辷り込み部分
   とからなる雌型を使用することを特徴とする石英ガラス
   製容器の製造方法。
5. 【請求項５】雌型に略楕円板状の石英ガラス板を乗せ、
   その曲げ加工温度まで加熱し、加熱された石英ガラスを
   雄型により押圧成形して、形状が略半回転楕円体状の部
   分と該略半回転楕円体状の部分に連なる楕円筒状の立上
   り部分からなる石英ガラス製容器を製造する方法であっ
   て、雌型として雌型の内面部分が該容器の外表面を成形
   する、略半回転楕円体状の部分及びこの略半回転楕円体
   状の部分に連なる楕円筒状の立上り部分とからなる成形
   内面部分と、該楕円筒状立上り部分に連なり水平面から
   ２０〜７０度の角度で拡がった辷り込み部分とからなる
   雌型を使用することを特徴とする石英ガラス製容器の製
   造方法。
6. 【請求項６】略半球状の石英ガラス製部品と、別途用意
   された略円筒状の石英ガラス製部品とを溶接して、形状
   が略半球状の部分とこの略半球状の部分に連なる円筒状
   の立上り部分とからなる石英ガラス製容器を製造する方
   法であって、前記略半球状の石英ガラス製部品は、雌型
   として雌型の内面部分が該容器の外表面を成形する略半
   球状の成形内面部分と略半球状の成形内面部分に連なり
   水平面から２０〜７０度の角度で拡がった辷り込み部分
   とからなる雌型に、円板状の石英ガラス板を乗せ、その
   曲げ加工温度まで加熱し、加熱された石英ガラスを雄型
   により押圧成形して製造されることを特徴とする石英ガ
   ラス製容器の製造方法。
7. 【請求項７】略半回転楕円体状の石英ガラス製部品と、
   別途用意された略楕円筒状の石英ガラス製部品とを溶接
   して、形状が略半回転楕円体状の部分と該略半回転楕円
   体状の部分に連なる楕円筒状の立上り部分からなる石英
   ガラス製容器を製造する方法であって、前記略半回転楕
   円体状の石英ガラス製部品は、雌型として雌型の内面部
   分が該容器の外表面を成形する略半回転楕円体状の成形
   内面部分と略半回転楕円体状の部分に連なり水平面から
   ２０〜７０度の角度で拡がった辷り込み部分とからなる
   雌型に、楕円板状の石英ガラス板を乗せ、その曲げ加工
   温度まで加熱し、加熱された石英ガラスを雄型により押
   圧成形して製造されることを特徴とする石英ガラス製容
   器の製造方法。
8. 【請求項８】雌型が３つ以上の分割雌型の一組から構成
   されていて、雄型による押圧成形前においては、該分割
   雌型の一組が前記容器の外表面を成形する成形内面部分
   を形作るように連結されているが、前記雄型が上方より
   下りてきて前記雄型により押圧成形が終了した以降に、
   該分割雌型の一組が分割し成形された前記容器から型離
   れすることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に
   記載の石英ガラス製容器の製造方法。
9. 【請求項９】成形炉内に配置されている雄型及び石英ガ
   ラスよりも熱膨張係数の大きい分割雌型を使用し、雄型
   により押圧成形される前においては、該分割雌型の一組
   が雌型キーにより連結されており、前記雄型が上方より
   下りてきて前記雄型により押圧成形が終了すると前記炉
   内の温度が下げられ、それに伴って前記雄型に取り付け
   られた前記雌型キーが切断して、前記分割雌型の一組が
   分割し成形された前記容器から型離れすることを特徴と
   する請求項８の石英ガラス製容器の製造方法。
10. 【請求項１０】成形炉内に配置されている雄型並びに石
    英ガラスよりも熱膨張係数の大きいリング型及び分割雌
    型を使用し、リング型の熱膨張係数は雌型のそれより大
    きいか等しく、リング型が２つ以上の分割リング型の一
    組から構成されていて、雄型により押圧成形される前に
    おいては、該分割リング型の一組がリングキーにより連
    結されており、しかも該分割雌型の一組は前記リング型
    により上部を把持されるようにして連結されており、前
    記雄型が上方より下りてきて前記雄型により押圧成形が
    終了すると前記炉内の温度が下げられ、それに伴って前
    記リング型に取り付けられた前記リングキーが切断し
    て、前記分割雌型の一組が分割し成形された前記容器か
    ら型離れすることを特徴とする請求項８の石英ガラス製
    容器の製造方法。
11. 【請求項１１】石英ガラス板の曲げ加工温度までの加熱
    及び押圧成形を、内部が不活性ガス雰囲気下で行う請求
    項１〜７のいずれか１項に記載の石英ガラス製容器の製
    造方法。
12. 【請求項１２】成形炉と成形炉内に設置された成形用型
    とを有する石英ガラス製容器製造装置であって、前記成
    形炉は設定される任意の温度カーブにより運転すること
    が可能で、かつ内部を不活性ガス雰囲気にすることが可
    能であり、前記成形用型は雄型と雌型からなっており、
    前記雌型の内面部分が雄型による押圧成形時に該容器の
    外表面を成形する部分と、該部分に連なり水平面から２
    ０〜７０度の角度で拡がった辷り込み部分とからなる雌
    型であることを特徴とする石英ガラス製容器製造装置。
13. 【請求項１３】成形炉と成形炉内に設置された成形用型
    とを有する石英ガラス製容器製造装置であって、前記成
    形炉は設定される任意の温度カーブにより運転すること
    が可能で、かつ内部を不活性ガス雰囲気にすることが可
    能であり、前記成形用型は雄型と雌型及びリングからな
    っており、前記雌型の内面部分が雄型による押圧成形時
    に該容器の外表面を成形する部分と、該部分に連なり水
    平面から２０〜７０度の角度で拡がった辷り込み部分と
    からなる雌型であることを特徴とする石英ガラス製容器
    製造装置。
14. 【請求項１４】雌型が３つ以上の分割雌型の一組から構
    成されてなる雌型であり、雄型による押圧成形前におい
    ては、該分割雌型の一組が前記容器の外表面を成形する
    成形内面部分を形作るように連結されているが、前記雄
    型が上方より下りてきて前記雄型により押圧成形が終了
    した以降に、該分割雌型の一組が分割し成形された前記
    容器から型離れすることを特徴とする請求項１２又は１
    ３の石英ガラス製容器製造装置。
15. 【請求項１５】前記分割リング型の各々にキー取付け部
    が設けてあり、リングキーがキー取付け部同士を連結す
    ることにより該分割リング型の一組が連結されており、
    しかも該分割雌型の一組は前記リング型により上部を把
    持されるようにして連結されていることを特徴とする請
    求項１４の石英ガラス製容器製造装置。
16. 【請求項１６】雌型に石英ガラス板を乗せ、曲げ加工温
    度で雄型により押圧成形して、製造された石英ガラス製
    容器であって、雌型として雌型の内面部分が該容器の外
    表面を成形する成形内面部分と、この成形内面部分に連
    なり水平面から２０〜７０度の角度で拡がった辷り込み
    部分とからなる雌型を使用して製造されたことを特徴と
    する石英ガラス製容器。
17. 【請求項１７】前記石英ガラス製容器の底部の外表面の
    曲率半径が３００〜９００ｍｍであり、前記底部に連続
    して形成された側部の外表面の曲率半径が５０〜２００
    ｍｍであることを特徴とする請求項１６の石英ガラス製
    容器。