JPH08292149A - 赤外線分析計 - Google Patents
赤外線分析計Info
- Publication number
- JPH08292149A JPH08292149A JP12056595A JP12056595A JPH08292149A JP H08292149 A JPH08292149 A JP H08292149A JP 12056595 A JP12056595 A JP 12056595A JP 12056595 A JP12056595 A JP 12056595A JP H08292149 A JPH08292149 A JP H08292149A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cell
- infrared
- detector
- light
- infrared analyzer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 スリットを要することなく、干渉影響を及ぼ
す斜め入射を防止でき、精度の高い測定値が得られる信
頼性の高い赤外線分析計を提供する。 【構成】 光源６から照射された赤外光が、セル１内を
通過した後フィルタ７を介して検出器８に入射されるよ
うにした赤外線分析計において、干渉影響を及ぼす斜め
入射を防止できる程度に、前記検出器８に近い側のセル
１内面を部分的に粗面９にしている。
す斜め入射を防止でき、精度の高い測定値が得られる信
頼性の高い赤外線分析計を提供する。 【構成】 光源６から照射された赤外光が、セル１内を
通過した後フィルタ７を介して検出器８に入射されるよ
うにした赤外線分析計において、干渉影響を及ぼす斜め
入射を防止できる程度に、前記検出器８に近い側のセル
１内面を部分的に粗面９にしている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は赤外線分析計の改良に関
する。
する。
【０００２】
【従来の技術】赤外線分析計に組み込まれたセルは、通
常、感度を向上させるために、その内面を鏡面加工した
り、金メッキしたりして、光源から照射される光の反射
率の向上が図られている。
常、感度を向上させるために、その内面を鏡面加工した
り、金メッキしたりして、光源から照射される光の反射
率の向上が図られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかるに、光学フィル
タに入射角の大きな光が入ると、透過域が短波長側にず
れるため、他成分による干渉影響が問題になることが多
い。
タに入射角の大きな光が入ると、透過域が短波長側にず
れるため、他成分による干渉影響が問題になることが多
い。
【０００４】また、ガス吸収に関与しない余分な光はＳ
Ｎ比や温度特性を低下させる一方、反射回数の多い光は
セル内面の曇り等による反射率の低下によって長期安定
性を低下させる原因ともなる。
Ｎ比や温度特性を低下させる一方、反射回数の多い光は
セル内面の曇り等による反射率の低下によって長期安定
性を低下させる原因ともなる。
【０００５】ところが、セル内面の反射光を全く利用し
ない場合には、感度が著しく低下してしまうという難点
がある。また、視野を制限するためにスリットを用いる
ことがあるが、そのスリットには精密な加工精度や組付
精度が必要とされ、コスト高になる難点がある。
ない場合には、感度が著しく低下してしまうという難点
がある。また、視野を制限するためにスリットを用いる
ことがあるが、そのスリットには精密な加工精度や組付
精度が必要とされ、コスト高になる難点がある。
【０００６】本発明はこのような実情に鑑みてなされ、
スリットを要することなく、干渉影響を及ぼす斜め入射
を防止でき、精度の高い測定値が得られる信頼性の高い
赤外線分析計を提供することを目的としている。
スリットを要することなく、干渉影響を及ぼす斜め入射
を防止でき、精度の高い測定値が得られる信頼性の高い
赤外線分析計を提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は上述の課題を解
決するための手段を以下のように構成している。すなわ
ち、請求項１に記載の発明では、光源から照射された赤
外光が、セル内を通過した後フィルタを介して検出器に
入射されるようにした赤外線分析計にあって、干渉影響
を及ぼす斜め入射を防止できる程度に、前記検出器に近
い側のセル内面を部分的に粗面にしてなることを特徴と
している。
決するための手段を以下のように構成している。すなわ
ち、請求項１に記載の発明では、光源から照射された赤
外光が、セル内を通過した後フィルタを介して検出器に
入射されるようにした赤外線分析計にあって、干渉影響
を及ぼす斜め入射を防止できる程度に、前記検出器に近
い側のセル内面を部分的に粗面にしてなることを特徴と
している。
【０００８】請求項２に記載の発明では、光源から照射
された赤外光が、セル内を通過した後フィルタを介して
検出器に入射されるようにした赤外線分析計にあって、
干渉影響を及ぼす斜め入射を防止できる程度に、前記光
源に近い側のセル内面を部分的に粗面にしてなることを
特徴としている。
された赤外光が、セル内を通過した後フィルタを介して
検出器に入射されるようにした赤外線分析計にあって、
干渉影響を及ぼす斜め入射を防止できる程度に、前記光
源に近い側のセル内面を部分的に粗面にしてなることを
特徴としている。
【０００９】
【作用】干渉影響を及ぼす斜め入射を防止できる程度
に、検出器に近い側、または光源に近い側のセル内面を
部分的に粗面にしていることにより、スリットを要する
ことなく精度の高い分析が可能となり高い信頼性を得る
ことができる。
に、検出器に近い側、または光源に近い側のセル内面を
部分的に粗面にしていることにより、スリットを要する
ことなく精度の高い分析が可能となり高い信頼性を得る
ことができる。
【００１０】
【実施例】以下に本発明の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。図１は赤外線分析計の縦断面図、図２はそ
の縦断斜視図を示し、符号１はセル本体、２はガス導入
口、３はガス導出口、４，５は赤外透過窓、６は赤外線
を発生させる光源、７は光学フィルタ、８は例えばパイ
ロセンサ等よりなる検出器である。
に説明する。図１は赤外線分析計の縦断面図、図２はそ
の縦断斜視図を示し、符号１はセル本体、２はガス導入
口、３はガス導出口、４，５は赤外透過窓、６は赤外線
を発生させる光源、７は光学フィルタ、８は例えばパイ
ロセンサ等よりなる検出器である。
【００１１】上述のセル本体１の内面は鏡面加工または
金メッキ等が施され鏡面に形成されるが、検出器８に近
い側のセル本体１の内面は、サンドブラストまたはサン
ドペーパ加工等によって粗面加工が施されて粗面９とさ
れ、この粗面９では、光源６からの赤外光は反射される
ことなく減衰される。
金メッキ等が施され鏡面に形成されるが、検出器８に近
い側のセル本体１の内面は、サンドブラストまたはサン
ドペーパ加工等によって粗面加工が施されて粗面９とさ
れ、この粗面９では、光源６からの赤外光は反射される
ことなく減衰される。
【００１２】このような構成により、光学フィルタ７に
入射する光の内、入射角がθより大きい斜め入射光が少
なくなる。多層膜よりなる光学フィルタ７では、入射角
が大きくなる程、その透過波長が短波長側へシフトする
ことが確認されている。従って、この斜め入射光による
特定ガスの吸収に関与しない余分な透過光を少なくする
ことによって、他成分の干渉影響を低減することがで
き、精度の高い測定値を得ることができるのである。
入射する光の内、入射角がθより大きい斜め入射光が少
なくなる。多層膜よりなる光学フィルタ７では、入射角
が大きくなる程、その透過波長が短波長側へシフトする
ことが確認されている。従って、この斜め入射光による
特定ガスの吸収に関与しない余分な透過光を少なくする
ことによって、他成分の干渉影響を低減することがで
き、精度の高い測定値を得ることができるのである。
【００１３】また、このように余分な光の減少による吸
光度の増加によってＳＮ比や温度特性が向上する。そし
て、入射角度が大きく、従って、反射回数の多い光が減
少することによって、セル内面の曇り等に起因して長期
に至って経時的に発生するドリフトが軽減される。
光度の増加によってＳＮ比や温度特性が向上する。そし
て、入射角度が大きく、従って、反射回数の多い光が減
少することによって、セル内面の曇り等に起因して長期
に至って経時的に発生するドリフトが軽減される。
【００１４】粗面９の形成については、上述したような
粗面加工の他に、例えば反射率の低いテープを貼着した
り、あるいは、図３に示すように、セル本体１に、反射
率の低い素材によって形成したリング体９１を接続一体
化させてもよい。
粗面加工の他に、例えば反射率の低いテープを貼着した
り、あるいは、図３に示すように、セル本体１に、反射
率の低い素材によって形成したリング体９１を接続一体
化させてもよい。
【００１５】図４は、光源６に近い側のセル本体１の内
面に粗面９を形成した異なる実施例を示し、この場合に
おいてもその粗面９を適宜な幅で形成して、所定の入射
角θよりも大きい斜め入射光のみを減衰させることがで
き、前実施例と同様の作用・効果が得られる。
面に粗面９を形成した異なる実施例を示し、この場合に
おいてもその粗面９を適宜な幅で形成して、所定の入射
角θよりも大きい斜め入射光のみを減衰させることがで
き、前実施例と同様の作用・効果が得られる。
【００１６】図５は、１回反射、２回反射を選択的に使
用する場合に本発明と同様の考え方を適用した別の実施
例を示し、この場合は、セル本体１内の反射に要する部
分のみを鏡面１０，…に形成し、その他の部分を粗面の
ままとしている。この場合においては鏡面加工部分が少
なくなり、例えば金メッキ等を施すときには大幅にコス
トを低減することができる。
用する場合に本発明と同様の考え方を適用した別の実施
例を示し、この場合は、セル本体１内の反射に要する部
分のみを鏡面１０，…に形成し、その他の部分を粗面の
ままとしている。この場合においては鏡面加工部分が少
なくなり、例えば金メッキ等を施すときには大幅にコス
トを低減することができる。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように、セル本体内を部分
的に粗面にすることにより、光学フィルタを通過する光
の内、干渉影響を及ぼす入射角の大きい反射光を制限す
るので、透過波長のずれが少なくなり、他成分の干渉影
響が少なくなり、測定精度が向上する。
的に粗面にすることにより、光学フィルタを通過する光
の内、干渉影響を及ぼす入射角の大きい反射光を制限す
るので、透過波長のずれが少なくなり、他成分の干渉影
響が少なくなり、測定精度が向上する。
【００１８】また、ガス吸収に関与しない余分な光が少
なくなるので、ＳＮ比や温度特性が向上する。さらに、
反射回数の多い光が少なくなることにより、セル内面の
曇り等に起因する長期に至って経時的に発生するドリフ
トが軽減される。そして、スリット等の別部材が不要で
あるので、総じてコスト安を実現することができる利点
もある。
なくなるので、ＳＮ比や温度特性が向上する。さらに、
反射回数の多い光が少なくなることにより、セル内面の
曇り等に起因する長期に至って経時的に発生するドリフ
トが軽減される。そして、スリット等の別部材が不要で
あるので、総じてコスト安を実現することができる利点
もある。
【図１】本発明の赤外線分析計の一実施例を示す縦断面
図である。
図である。
【図２】同縦断斜視図である。
【図３】同異なる実施例を示す縦断面図である。
【図４】同別の実施例を示す縦断面図である。
【図５】同さらに別の異なる実施例を示す縦断面図であ
る。
る。
１…セル、６…光源、７…フィルタ、８…検出器、９…
粗面。
粗面。
Claims (2)
- 【請求項１】 光源から照射された赤外光が、セル内を
通過した後フィルタを介して検出器に入射されるように
した赤外線分析計において、干渉影響を及ぼす斜め入射
を防止できる程度に、前記検出器に近い側のセル内面を
部分的に粗面にしてなることを特徴とする赤外線分析
計。 - 【請求項２】 光源から照射された赤外光が、セル内を
通過した後フィルタを介して検出器に入射されるように
した赤外線分析計において、干渉影響を及ぼす斜め入射
を防止できる程度に、前記光源に近い側のセル内面を部
分的に粗面にしてなることを特徴とする赤外線分析計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12056595A JPH08292149A (ja) | 1995-04-22 | 1995-04-22 | 赤外線分析計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12056595A JPH08292149A (ja) | 1995-04-22 | 1995-04-22 | 赤外線分析計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08292149A true JPH08292149A (ja) | 1996-11-05 |
Family
ID=14789460
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12056595A Pending JPH08292149A (ja) | 1995-04-22 | 1995-04-22 | 赤外線分析計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08292149A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007024545A (ja) * | 2005-07-12 | 2007-02-01 | Denso Corp | 光検知式ガスセンサ装置 |
| WO2016047701A1 (ja) * | 2014-09-26 | 2016-03-31 | 神栄テクノロジー株式会社 | 濃度測定用セル |
-
1995
- 1995-04-22 JP JP12056595A patent/JPH08292149A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007024545A (ja) * | 2005-07-12 | 2007-02-01 | Denso Corp | 光検知式ガスセンサ装置 |
| WO2016047701A1 (ja) * | 2014-09-26 | 2016-03-31 | 神栄テクノロジー株式会社 | 濃度測定用セル |
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