JPH08288050A - スパークプラグの電極位置決め方法及び装置 - Google Patents

スパークプラグの電極位置決め方法及び装置

Info

Publication number
JPH08288050A
JPH08288050A JP7113929A JP11392995A JPH08288050A JP H08288050 A JPH08288050 A JP H08288050A JP 7113929 A JP7113929 A JP 7113929A JP 11392995 A JP11392995 A JP 11392995A JP H08288050 A JPH08288050 A JP H08288050A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrode
center electrode
spark plug
shape
identification
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP7113929A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroshi Nakatani
博 中谷
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Denso Corp
Original Assignee
NipponDenso Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NipponDenso Co Ltd filed Critical NipponDenso Co Ltd
Priority to JP7113929A priority Critical patent/JPH08288050A/ja
Priority to US08/621,685 priority patent/US5725405A/en
Publication of JPH08288050A publication Critical patent/JPH08288050A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01TSPARK GAPS; OVERVOLTAGE ARRESTERS USING SPARK GAPS; SPARKING PLUGS; CORONA DEVICES; GENERATING IONS TO BE INTRODUCED INTO NON-ENCLOSED GASES
    • H01T21/00Apparatus or processes specially adapted for the manufacture or maintenance of spark gaps or sparking plugs
    • H01T21/02Apparatus or processes specially adapted for the manufacture or maintenance of spark gaps or sparking plugs of sparking plugs

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Spark Plugs (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 スパークプラグの電極の位置合わせを高速か
つ高精度に行うことのできる電極位置決め装置及び方法
の提供。 【構成】 スパークプラグ8の中心電極83は,軸心を
中心にした回転位置を検知することのできる識別形状又
は識別マークを有する。電極位置決め装置1は,接地電
極84を固定する固定手段11と,碍子ユニット82
(中心電極83)を回動させる保持手段13とその駆動
手段15と,識別形状又は識別マークを検出する検出手
段20とを有し,コントローラ30は検出手段20の出
力が所定値となるように駆動手段15を操作する。及び
上記手順に則った位置決め方法。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は,内燃機関等に用いられ
る点火用スパークプラグの電極位置決め装置に関する。
【0002】
【従来技術】内燃機関に用いられるスパークプラグは,
配電器より送られる高電圧を中心電極と接地電極の間隙
において火花放電させ,混合気に着火させるものであ
る。そして,上記中心電極には,耐久性に優れた貴金属
からなる金属チップ等の放電部が設けられ,またその形
状は安定して良好な放電が得られるよう様々の工夫がな
されている。
【0003】そして,スパークプラグの組付時において
中心電極と接地電極の放電部間の正確な位置合わせと間
隙の調整が行われている。
【0004】
【解決しようとする課題】しかしながら,上記スパーク
プラグの組付工程には,次のような問題点がある。それ
は,中心電極と接地電極の位置合わせと間隙の調整が手
作業によってなされており,多くの工数を要すると共に
位置決め精度が不均一になりがちだということである。
本発明は,かかる従来の問題点を鑑みてなされたもので
あり,中心電極と接地電極の位置合わせを迅速かつ精度
よく行うことができるスパークプラグの電極位置決め方
法及び装置を提供しようとするものである。
【0005】
【課題の解決手段】本願の第1発明は,スパークプラグ
の中心電極の放電部と接地電極の放電端部との間の位置
合わせを行う位置決め方法であって,上記スパークプラ
グは,貴金属等からなる放電部を有する中心電極と,上
記放電部に対向してその外側に位置している放電端部を
有する接地電極と,上記中心電極を保持する碍子ユニッ
トと,上記接地電極を保持するハウジングとを有すると
共に,上記中心電極は,軸心を中心にして回転すること
によってその形状を変化させる識別形状,又は軸心を中
心にした回転位置を検知するための識別マークを有して
おり,上記ハウジング又は接地電極を試料台に固定し,
次いで上記碍子ユニットを回動させつつ上記中心電極の
上記識別形状又は識別マークを検知し,この識別形状又
は識別マークが所定のパターンとなる位置に上記碍子ユ
ニットを停止させることによって,上記中心電極の放電
部と接地電極の放電端部の位置を所望の位置に調整する
ことを特徴とするスパークプラグの電極位置決め方法に
ある。
【0006】第1発明において最も注目すべきことの第
1点は,中心電極は回転することによってその形状を変
化させる識別形状または回転位置を検知するための識別
マークを有することである。上記識別形状には,例えば
楕円形の断面積を有する楕円柱や楕円錐台,所定位置に
設定された突起状部などの形状がある。また識別マーク
には,回転に伴って幅が変化する帯状のマークや,所定
位置に記された点状のマークなどがある。そして,最も
注目すべきことの第2点は,上記識別形状や識別マーク
を所定のパターンとなる位置に碍子ユニットを停止させ
ることによって中心電極と接地電極の位置合わせを行う
ことである。
【0007】一方,第2発明は,スパークプラグの中心
電極の放電部と接地電極の放電端部との間の位置合わせ
を行う位置決め装置であって,上記スパークプラグは,
貴金属等からなる放電部を有する中心電極と,上記放電
部に対向してその外側に位置している放電端部を有する
接地電極と,上記中心電極を保持する碍子ユニットと,
上記接地電極を保持するハウジングとを有すると共に,
上記中心電極は,軸心を中心にして回転することによっ
てその形状を変化させる識別形状,又は軸心を中心にし
た回転位置を検知する為の識別マークを有しており,上
記位置決め装置は,上記ハウジング又は接地電極を固定
する固定手段と,上記碍子ユニットを保持する回動可能
な保持手段と,この保持手段を回動させる駆動手段と,
上記中心電極の上記識別形状又は識別マークを検知する
検出手段と,この検出手段の出力信号を受けて上記駆動
手段を制御するコントローラとを有しており,上記固定
手段に対して上記ハウジング又は接地電極を所定の位置
に固定した後,上記コントローラは,上記検出手段の出
力が所定の値となるように上記駆動手段を制御すること
を特徴とするスパークプラグの電極位置決め装置にあ
る。
【0008】第2発明において最も注目すべきことは,
中心電極が前記識別形状又は識別マークを有することに
加えて,コントローラは上記識別形状又は識別マークを
検出する検出手段の出力が所定の値となるように駆動手
段を制御することである。上記検出手段には,例えば,
光源部と光センサとを有する光学式の識別手段がある。
【0009】そして,その光センサにはCCDカメラ,
フォトダイオードなどがあり,受光方式としては中心電
極に対する反射光を受光する反射式のものや,中心電極
によって遮断された信号光を検知する遮光量検知式のも
のなどがある。また,中心電極を精度よく可動させる手
段としてステッピングモータやサーボモータを用いたも
のなどがある。
【0010】
【作用及び効果】第1,第2発明にかかるスパークプラ
グの中心電極は,その回転位置を識別するための識別形
状又は識別マークを有する。それ故,放電部を中心電極
の所定の回転位置に設けることにより,上記識別形状又
は識別マークを検知することによって放電部の回転位置
を知ることができる。従って,第1発明にかかる方法に
基づいて,スパークプラグのハウジングを定位置に固定
して碍子ユニットを回動させ,識別形状又は識別マーク
が所定のパターンとなるようにすることにより,ハウジ
ングに固定した接地電極(放電端部)と碍子ユニットに
固定した中心電極(放電部)との位置関係を所望のもの
とすることができる。
【0011】そして,この第1発明にかかる位置合わせ
方法は,第2発明にかかる前記位置決め装置を用いて実
現することができる。そして,碍子ユニットを小刻みに
精度よくかつ高速に回転駆動する駆動手段や,パターン
や形状を精度よくかつ高速に検出手段は容易に実現でき
る。従って,第1発明にかかる位置合わせ方法又は位置
決め装置によれば,スパークプラグの中心電極と接地電
極との位置合わせを迅速かつ精度よく実現することがで
きる。
【0012】
【実施例】
実施例1 本例は,図1に示すように,スパークプラグ8の中心電
極83の放電部831(図3,図4)と接地電極84の
放電端部との間の位置合わせを行う電極位置決め装置1
である。スパークプラグ8は,図2に示すように,貴金
属等からなる放電部831を有する中心電極83と,放
電部831に対向しその外側に位置している放電端部8
41を有する接地電極84と,中心電極83を保持する
碍子ユニット82と,接地電極84を保持するハウジン
グ81とを有する。そして,中心電極83は,図3,図
4に示すように,軸心Cを中心にして回転することによ
ってその形状を変化させる識別形状としての楕円柱形状
を有する。
【0013】そして,電極位置決め装置1は,図1に示
すように,接地電極84を固定する固定手段としての電
極チャック装置11と,碍子ユニット82を保持する回
動可能な保持手段としての碍子チャック装置13と,碍
子チャック装置13を回動させる駆動手段15と,中心
電極83の形状を検知する検出手段20と,検出手段2
0の出力信号41を受けて駆動手段15を制御するコン
トローラ30とを有する。そして,電極チャック装置1
1に接地電極84を固定した後,コントローラ30は検
出手段20の出力信号41が所定の値となるように駆動
手段15を制御する。
【0014】検出手段20は,中心電極83の軸心と垂
直方向から信号光を照射する光源部21と,中心電極8
3を間に置き光源部21に対向配置された光センサ22
とを有する。また,駆動手段15は,駆動源としてステ
ッピングモータ16を有する。
【0015】以下,それぞれに関する説明を補足する。
スパークプラグ8は,図2の一部断面図に示すように,
碍子ユニット82とハウジング81とを有し,両者8
1,82の間にはリング85とパッキン86が挿入され
ている。そして,碍子ユニット82をハウジング81に
固着しない,いわゆる仮組付け状態で電極位置決め装置
1に装着する。
【0016】中心電極83は碍子ユニット82に固定さ
れており,図3に示すように,先端近傍に放電部831
として貴金属からなる金属チップが埋設されている。そ
して,図4に示すように,中心電極83は楕円形の断面
形状を有する楕円柱であり,上記金属チップは短径部の
両側に埋設されている。
【0017】仮組付け状態のスパークプラグ8は,図1
に示すように,ホルダ19によってハウジング81のネ
ジ部811が挟持され,電極位置決め装置1にセットさ
れる。そして,電極チャック装置11は,図8に示すよ
うに,一対の接地電極84のそれぞれを4本の爪111
で把持し,その間を信号光45が透過できる形状になっ
ている。
【0018】駆動手段15は,碍子チャック装置13と
共に上下動する基台101に装着され,基台101は昇
降装置10に駆動されて上下する。碍子チャック装置1
3は,所定の位置まで基台101を下降させた後,3本
の爪131によって碍子ユニット82を把持する。駆動
手段15は,ステッピングモータ16からベルト151
及びプーリ152,153を介して碍子チャック装置1
3を回動させる。ステッピングモータ16は,0.72
°の単位で回転角度を変化させる高速度の制御モータで
ある。
【0019】検出手段20は,図6に示すように,光源
部21から発せられたレーザー光(信号光45)を光セ
ンサ22で受光し,信号光45の遮光量から中心電極8
3の径(遮光幅)Dを測定する。そして,コントローラ
30は,ステッピングモータ16を1ステップ(0.7
2°)ずつ順次駆動し,図5に示す回転角度θに対応す
る光センサ22の出力(遮光幅D)を記録する。
【0020】コントローラ30は,マイクロプロセッサ
を用いた電子制御装置である。図7は,中心電極83の
遮光幅Dをゼロから最大値Dmax(図4)まで変化さ
せたときの光センサ22の出力電圧Eとの関係を示すグ
ラフである。一方,実際の中心電極83の遮光幅Dは,
図4に示すように,最小値Dminから最大値Dmax
の間で変化し,ステッピングモータ16の回転ステップ
数Pに対する遮光幅Dは,例えば図9に示すように変化
する。そして,遮光幅Dが最小値Dmin(θ=0)と
なる位置に中心電極83を固定する。
【0021】上記電極位置決め装置1の制御の流れを図
10に示すフローチャートを用いて説明する。始めに,
ステップ601でスパークプラグ8をホルダ19に保持
する。次にステップ602において,接地電極84を電
極チャック装置11に把持させる。そして,ステップ6
03で,昇降装置10によって基台101を下降させ,
ステップ604において,碍子チャック装置13に碍子
ユニット82を把持させる。
【0022】そして,ステップ605において,検出手
段20の出力に基づいて中心電極83の遮光幅Dを測定
し,ステップ606においてその値をコントローラ30
に記憶させる。次のステップ607において,モータ1
6の回転ステップ数Pを1ステップだけ変更し,ステッ
プ608で1ステップだけモータ16を回転させる。
【0023】ステップ609は,回転ステップ数Pをチ
ェックし,Pの値が300となるまで,ステップ605
〜608のルーチンを繰り返し,図9に示すようなデー
タを蓄積する。図9に示すデータの蓄積が完了した場合
には,ステップ609からステップ610,611に進
み,遮光幅Dが所定値Dt(スレッシュホルド値)とな
る回転ステップ数P1 ,P2 を求める。そして,ステッ
プ612において,P1 ,P2 の平均値P0 を求め,P
0 の位置を中心電極83の所望の回転位置(θ=0)と
判定する。
【0024】続くステップ613において,中心電極8
3の寸法諸元が規格値であるか否かをチェックする。即
ち,中心電極83の短径Dmin,長径Dmaxの値及
び径差(Dmax−Dmin)が適正値があるか否かを
判定する。その結果が否(N)ならば,ステップ616
に進みエラー(製品不良)である旨の信号を送出する。
【0025】一方,ステップ613の結果が肯(Y)な
らば,ステップ614に進み,ステッピングモータ16
の回転位置Pを上記P0 の値まで駆動する。そして,ス
テップ617で碍子チャック装置13を開放し,ステッ
プ618で基台101を上昇させる。続いて,ステップ
619で電極チャック装置11を開放し,碍子ユニット
82とハウジング81とを固定し,両電極83,84の
位置を固定させる。
【0026】上記のように,本例の電極位置決め装置1
によれば,高速のステッピングモータ16と光学的な検
出手段20とマイクロプロセッサを用いたコントローラ
30とによって極めて高速かつ高精度に中心電極83と
接地電極84との位置決めを行うことができる。
【0027】実施例2 本例は,図11に示すように,実施例1において中心電
極83の遮光幅Dが最大値Dmaxとなるモータ16の
回転ステップP0 ′(θ=90°)を求めて,これに基
づいてその後に中心電極83を所定の位置(θ=0°)
にセットするようにしたもう1つの実施例である。図1
2は本例の制御フローを示すものであり,図10におい
て,ステップ610〜612,614をステップ630
〜632,634に変更したものである。
【0028】即ち,ステップ630,631において,
遮光幅Dのスレッシュホルド値Dt′から,図11に示
すP3 ,P4 の値を求め,ステップ632で遮光幅Dm
axに対応する回転ステップ数P0 ′を求める。そし
て,ステップ634において,モータ16の回転角度を
上記P0 ′の値の位置から90°シフトした位置に中心
電極83をセットする。その他については,実施例1と
同様である。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例1の電極位置決め装置のシステム構成
図。
【図2】実施例1のスパークプラグの部分断面図。
【図3】実施例1の中心電極の先端部拡大図。
【図4】図3のA−A矢視線断面図。
【図5】実施例1の中心電極の回転角θを変化させたと
きの中心電極の遮光幅Dの変化を説明する平面図。
【図6】実施例1の電極位置決め装置の検出手段の作動
を説明する斜視図。
【図7】図6において遮光幅Dと光センサ22の出力E
の関係を示す図。
【図8】実施例1の電極位置決め装置の電極チャック装
置が接地電極を把持したときの平面図。
【図9】実施例1の電極位置決め装置において,ステッ
ピングモータの回転ステップ数Pと中心電極による遮光
幅Dとの関係を示すグラフ。
【図10】実施例1の電極位置決め装置の制御フローチ
ャート。
【図11】実施例2の電極位置決め装置において,ステ
ッピングモータの回転ステップ数Pと中心電極による遮
光幅Dとの関係を示すグラフ。
【図12】実施例2の電極位置決め装置の制御フローチ
ャート。
【符号の説明】
1・・・電極位置決め装置, 11・・・固定手段(電極チャック装置), 13・・・保持手段(碍子チャック装置), 15・・・駆動手段, 20・・・検出手段, 30・・・コントローラ, 8・・・スパークプラグ, 82・・・碍子ユニット, 83・・・中心電極, 84・・・接地電極,

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 スパークプラグの中心電極の放電部と接
    地電極の放電端部との間の位置合わせを行う位置決め方
    法であって,上記スパークプラグは,貴金属等からなる
    放電部を有する中心電極と,上記放電部に対向してその
    外側に位置している放電端部を有する接地電極と,上記
    中心電極を保持する碍子ユニットと,上記接地電極を保
    持するハウジングとを有すると共に,上記中心電極は,
    軸心を中心にして回転することによってその形状を変化
    させる識別形状,又は軸心を中心にした回転位置を検知
    するための識別マークを有しており,上記ハウジング又
    は接地電極を試料台に固定し,次いで上記碍子ユニット
    を回動させつつ上記中心電極の上記識別形状又は識別マ
    ークを検知し,この識別形状又は識別マークが所定のパ
    ターンとなる位置に上記碍子ユニットを停止させること
    によって,上記中心電極の放電部と接地電極の放電端部
    の位置を所望の位置に調整することを特徴とするスパー
    クプラグの電極位置決め方法。
  2. 【請求項2】 スパークプラグの中心電極の放電部と接
    地電極の放電端部との間の位置合わせを行う位置決め装
    置であって,上記スパークプラグは,貴金属等からなる
    放電部を有する中心電極と,上記放電部に対向してその
    外側に位置している放電端部を有する接地電極と,上記
    中心電極を保持する碍子ユニットと,上記接地電極を保
    持するハウジングとを有すると共に,上記中心電極は,
    軸心を中心にして回転することによってその形状を変化
    させる識別形状,又は軸心を中心にした回転位置を検知
    する為の識別マークを有しており,上記位置決め装置
    は,上記ハウジング又は接地電極を固定する固定手段
    と,上記碍子ユニットを保持する回動可能な保持手段
    と,この保持手段を回動させる駆動手段と,上記中心電
    極の上記識別形状又は識別マークを検知する検出手段
    と,この検出手段の出力信号を受けて上記駆動手段を制
    御するコントローラとを有しており,上記固定手段に対
    して上記ハウジング又は接地電極を所定の位置に固定し
    た後,上記コントローラは,上記検出手段の出力が所定
    の値となるように上記駆動手段を制御することを特徴と
    するスパークプラグの電極位置決め装置。
  3. 【請求項3】 請求項2において,前記検出手段は,前
    記中心電極に信号光を照射する光源部と,上記中心電極
    に照射された信号光を感知する光センサとを有している
    ことを特徴とするスパークプラグの電極位置決め装置。
  4. 【請求項4】 請求項2又は請求項3において,前記駆
    動手段は,その駆動源としてステッピングモータ又はサ
    ーボモータを有していることを特徴とするスパークプラ
    グの電極位置決め装置。
  5. 【請求項5】 請求項3又は請求項4において,前記中
    心電極は楕円柱形状からなる識別形状を有しており,前
    記検出手段は,上記中心電極の軸心と垂直方向から信号
    光を照射する光源部と,上記中心電極を間に置き上記光
    源部に対向配置された光センサとを有しており,前記コ
    ントローラは,上記検出部の出力に基づいて楕円柱形状
    の回転位置を判定することを特徴とするスパークプラグ
    の電極位置決め装置。
JP7113929A 1995-04-14 1995-04-14 スパークプラグの電極位置決め方法及び装置 Pending JPH08288050A (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7113929A JPH08288050A (ja) 1995-04-14 1995-04-14 スパークプラグの電極位置決め方法及び装置
US08/621,685 US5725405A (en) 1995-04-14 1996-03-26 Method and apparatus for positioning spark plug electrodes

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7113929A JPH08288050A (ja) 1995-04-14 1995-04-14 スパークプラグの電極位置決め方法及び装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH08288050A true JPH08288050A (ja) 1996-11-01

Family

ID=14624738

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7113929A Pending JPH08288050A (ja) 1995-04-14 1995-04-14 スパークプラグの電極位置決め方法及び装置

Country Status (2)

Country Link
US (1) US5725405A (ja)
JP (1) JPH08288050A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009105051A (ja) * 2008-11-17 2009-05-14 Ngk Spark Plug Co Ltd スパークプラグ及びスパークプラグ組付け体

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000200670A (ja) * 1999-01-06 2000-07-18 Denso Corp スパ―クプラグの火花間隔創成方法
US6304023B1 (en) 1999-03-02 2001-10-16 Caterpillar Inc. Spark plug for an internal combustion engine having a helically-grooved electrode
JP2002231412A (ja) * 2001-01-31 2002-08-16 Ngk Spark Plug Co Ltd スパークプラグの製造方法及び製造装置
EP2664038B1 (en) 2011-01-13 2016-04-27 Federal-Mogul Ignition Company Spark plug having improved ground electrode orientation and method of forming
EP2698886B1 (en) * 2011-04-14 2017-08-09 Ngk Spark Plug Co., Ltd. Method for manufacturing spark plug

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2547952B1 (fr) * 1983-06-21 1986-01-31 Videocolor Procede d'alignement d'un ensemble de canons a electrons pour un tube de television en couleurs et dispositif mettant en oeuvre le procede
JP2992782B2 (ja) * 1991-10-22 1999-12-20 日本特殊陶業株式会社 内燃機関用スパークプラグ
JP3081974B2 (ja) * 1991-10-22 2000-08-28 日本特殊陶業株式会社 スパークプラグ

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009105051A (ja) * 2008-11-17 2009-05-14 Ngk Spark Plug Co Ltd スパークプラグ及びスパークプラグ組付け体

Also Published As

Publication number Publication date
US5725405A (en) 1998-03-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5340962A (en) Automatic control of laser beam tool positioning
US5851102A (en) Device and method for positioning a notched wafer
KR970025347A (ko) 표면실장기의 부품인식방법 및 장치
JPH08288050A (ja) スパークプラグの電極位置決め方法及び装置
JPH088328A (ja) ウェーハ位置決め装置
US5159202A (en) Wafer shape detecting method
JP4137487B2 (ja) スパークプラグの製造方法
JP2558484B2 (ja) ウエハの位置決め装置
JPH053153A (ja) ウエハ上の不要レジスト露光装置
US20040233438A1 (en) Method and apparatus for aligning diffraction grating
JP3275430B2 (ja) 周縁露光装置、素子製造方法および素子
JP3280522B2 (ja) トリマ調整方法及びその装置
JP3049465B2 (ja) ダイシング装置
JPH0875895A (ja) 燃料棒周溶接装置
JPH04291938A (ja) ウエハ上の不要レジスト露光装置および露光方法
KR20020076461A (ko) 씨씨디카메라에 의한 문자열 인식기능을 갖춘 반도체웨이퍼정렬장치
JPH0767660B2 (ja) 加工機
JPH06275518A (ja) 基板の周縁露光装置
JPH11281319A (ja) 光学素子の位置設定装置、及び光学素子の位置設定方法
JPH05166702A (ja) 半導体ウェハアライメント装置
JPH04249340A (ja) 半導体ウェハの位置合わせ方法
JPH07318454A (ja) レーザ光走査精度の測定方法及び測定装置
JPH09213771A (ja) ウエハ方向設定装置
JPH0230464A (ja) ノッチの研削されたウエハとその研削加工装置
JPS6167904A (ja) レ−ザトリミング装置

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20041209

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20041214

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20050426