JPH0828589B2 - Lsiの冷却構造 - Google Patents

Lsiの冷却構造

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JPH0828589B2
JPH0828589B2 JP4012487A JP4012487A JPH0828589B2 JP H0828589 B2 JPH0828589 B2 JP H0828589B2 JP 4012487 A JP4012487 A JP 4012487A JP 4012487 A JP4012487 A JP 4012487A JP H0828589 B2 JPH0828589 B2 JP H0828589B2
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JP
Japan
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lsi
tube
cooling structure
printed circuit
cooling
Prior art date
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Application number
JP4012487A
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English (en)
Other versions
JPS63208254A (ja
Inventor
洋一 松尾
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NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Publication date
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  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はコンピュータなどに用いられるプリント基板
上に高密度に実装されるLSIの冷却構造に関し、特に水
などの冷媒を用いるLSIの冷却構造に関するものであ
る。
従来の技術 従来、この種のLSIの液冷による冷却構造の一例とし
ては、コールドプレート方式がある(例えば“Supercom
puters demand innovation in packaging and cooling"
Electronics September 22,1982,P142〜P143)。この方
式の構造の一例は第4図に示すように、プリント基板11
上に上面にヒートスプレッダ13を設けた複数個のLSI12
を搭載し、このヒートスプレッダ13にアルミニウムなど
の金属板に複数の水路15を有するコールドプレート14を
押し付け、この水路15中に水などの冷媒を流してLSI12
の温度を低く保つものであった。また、LSI12の実装の
高さは、その寸法精度、取付のばらつきやプリント基板
11のそり、うねり等により必ずしも同一平面上に揃うと
は限らないので、コールドプレート14をLSI12に押しつ
ける面に軟質のサーマルペースト16をフィルム17によっ
て封じこめ、その柔かさを利用して実装高さのばらつき
を吸収する構造にしていた。第4図の例では、コールド
プレート14は2枚のプリント基板11および11′上に夫々
実装された回路パッケージの間に設けられ、これら2枚
のプリント基板11および11′を互いに押し付けることに
より、フィルム17およびサーマルペースト16が変形して
ヒートスプレッダ13に接触し、LSI12が発生した熱はフ
ィルム17およびサーマルペースト16を介してコールドプ
レート14から水路15を流れる水などの冷媒に放熱される
ようになっていた。
しかしながら、この従来の冷却構造は、軟質のサーマ
ルペースト16を介しているものの、1枚の金属のコール
ドプレート14をLSI12に押し付けているので、LSI12およ
びプリント基板11または11′に大きい力が加わるという
欠点があり、またサーマルペースト16の熱膨張のため
に、高温時に特に大きい力が生じてしまうという欠点が
あった。さらにLSI12の実装高のばらつきが大きい場合
には、サーマルペースト16の厚さが厚くなり、そのため
に熱抵抗が大きくなり、冷却特性が低下するという欠点
があった。
なお第4図の例においては、2枚のプリント基板11お
よび11′の間にコールドプレート14が配置されている
が、片方のプリント基板11′を有しない場合もあり、こ
の場合も同様に作用して不都合を生じる欠点があった。
発明が解決しようとする問題点 本発明の目的は、上記の欠点、すなわちコールドプレ
ートをLSIに押しつけるために、LSIやプリント基板に大
きい力が加わったり、サーマルペーストの厚さのために
冷却特性が低下するという問題点を解決したLSIの冷却
構造を提供することにある。
問題点を解決するための手段 本発明は上述の問題点を解決するために、複数のLSI
をプリント基板上に格子状に配列したパッケージ上に、
これらのLSIの行または列に沿ってLSIの上面の近傍に設
けた可撓性チューブと、このチューブの内部に挿入され
チューブとの境界面がシール材によって密閉されている
フィン部とこのフィン部に直結して各LSIの位置に対応
して設けられる平面部とからなる高熱伝導材の複数のブ
ロックと、これらの各ブロックの平面部を対応する位置
のLSIの上面に押しつけて密着固定するための固定具と
からなる構成を採用するものである。
作用 本発明は上述のように構成したので、可撓性チューブ
にフィン部が挿入されたブロックの平面部を対応するLS
Iの上面に固定具によって密着固定し、チューブ内に水
などの冷媒を流すことにより、LSIに発生する熱が高熱
伝導材のブロックを通って、そのフィン部から冷媒中に
放熱されるようになる。
実施例 次に本発明の実施例について図面を参照して説明す
る。
本発明の一実施例を平面図で示す第1図、第1図のA
−A線縦断面図で示す第2図およびB−B線横断面図で
示す第3図を参照すると、本発明のLSIの冷却構造は、
プリント基板1上に複数個のLSI2が格子状に搭載された
パッケージの、各行のLSI2上に沿ってチューブ3が設け
られている。そしてこのチューブ3については、各LSI2
に対応する位置に平面部を有する金属などの熱伝導性の
高い材料のブロック4の上面に直立したフィン部41がチ
ューブ3の内部に挿入され、チューブ3との境界面がシ
ール材5によって密封されている。ブロック4の平面部
は第3図に示すように、熱伝導性のよい弾性シート6を
挾んでLSI2に重ね合わされ、対向する2辺がクリップ7
によって固定されている。
次に本実施例の動作について第2図、第3図を用いて
説明する。チューブ3に水などの冷媒8を流すと、LSI2
に発生した熱はブロック4によってチューブ3中のフィ
ン41に導かれ、フィン41は直接冷媒8によって冷される
ため効率のよい冷却が行われる。またチューブ3は十分
の可撓性をもつことにより、LSI2の実装高のばらつきの
吸収が容易に行われ、LSI2とブロック4とに加わるクリ
ップ7の力はプリント基板1に伝わることなく、ほぼ同
じ力が個々のLSI2の側部のみに加わることになる。
発明の効果 以上に説明したように、本発明によれば、冷媒を流す
ための可撓性のチューブと、このチューブ中にフィン部
を挿入しフィン部に直結する平面部を有する複数の良熱
伝導材のブロックと、このブロックの平面部を夫々のLS
Iに固定するための固定具とを設けることにより、大き
い力をLSIやプリント基板に加えることなく、熱抵抗が
小さく、かつ効率のよい冷却が得られるという効果があ
る。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例の平面図、第2図は第1図の
A−A線縦断面図、第3図は第1図のB−B線横断面
図、第4図は従来のコールドプレート方式の一例の縦断
面図である。 1……プリント基板、2……LSI、3……チューブ、4
……ブロック、41……フィン、5……シール材、6……
シート、7……クリップ、8……冷媒。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】プリント基板上に格子状に配列された複数
    のLSIを冷媒で冷却するLSIの冷却構造において、前記LS
    Iの行または列に沿ってLSIの上面の近傍に設けられた可
    撓性を有するチューブと、このチューブの内部に挿入さ
    れチューブとの境界面がシール材によって密閉されてい
    るフィン部とこのフィン部に直結し前記各LSIの位置に
    対応して設けられた平面部とよりなる高熱伝導材の複数
    のブロックと、これらの各ブロックの前記平面部を前記
    各LSIの上面の夫々に押しつけて密着固定する固定手段
    とより構成され、前記チューブ内に冷媒を流して冷却す
    ることを特徴とするLSIの冷却構造。
JP4012487A 1987-02-25 1987-02-25 Lsiの冷却構造 Expired - Lifetime JPH0828589B2 (ja)

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JP4012487A JPH0828589B2 (ja) 1987-02-25 1987-02-25 Lsiの冷却構造

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JP4012487A JPH0828589B2 (ja) 1987-02-25 1987-02-25 Lsiの冷却構造

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JPS63208254A JPS63208254A (ja) 1988-08-29
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5006924A (en) * 1989-12-29 1991-04-09 International Business Machines Corporation Heat sink for utilization with high density integrated circuit substrates
JP2724033B2 (ja) * 1990-07-11 1998-03-09 株式会社日立製作所 半導体モジユール
ES2425114T3 (es) 2000-03-16 2013-10-11 The Mclean Hospital Corporation CDP-colina y uridina para el tratamiento del abuso del acohol

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