JPH08275489A - リニアモータの固定子 - Google Patents
リニアモータの固定子Info
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- JPH08275489A JPH08275489A JP9792395A JP9792395A JPH08275489A JP H08275489 A JPH08275489 A JP H08275489A JP 9792395 A JP9792395 A JP 9792395A JP 9792395 A JP9792395 A JP 9792395A JP H08275489 A JPH08275489 A JP H08275489A
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- JP
- Japan
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- coil
- strip
- stator
- linear motor
- groove
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Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明は、帯状コイルを直接冷却する、簡易な
構造のリニアモータの固定子を提供することを目的とす
る。 【構成】良熱伝導・非磁性体よりなる巻線固定枠１に帯
状コイルを貼付したリニアモータの固定子において、巻
線固定枠１に帯状コイルを収納するコイル溝１１を設
け、このコイル溝１１に帯状コイルを液密に固定し、コ
イル溝１１の内側に、冷媒の供給口３１と排出口３２を
備えた冷媒通路３を設け、リアモータの固定子を構成す
る。また、帯状コイルを平滑帯状コイル２にしたり、冷
媒通路３に向かって凸の大きな曲率を持たせ曲面帯状コ
イル２１にしたりする。さらに、平滑帯状コイル２もし
くは曲面帯状コイル２１を枠２２内に緩衝部材１３を介
し固定し、枠２２をコイル溝１１ａに固定する。さらに
また、コイル溝１１の外側に、隔壁溝１２を設け、この
隔壁溝１２に脱ガス材料よりなる隔壁４を設ける。
構造のリニアモータの固定子を提供することを目的とす
る。 【構成】良熱伝導・非磁性体よりなる巻線固定枠１に帯
状コイルを貼付したリニアモータの固定子において、巻
線固定枠１に帯状コイルを収納するコイル溝１１を設
け、このコイル溝１１に帯状コイルを液密に固定し、コ
イル溝１１の内側に、冷媒の供給口３１と排出口３２を
備えた冷媒通路３を設け、リアモータの固定子を構成す
る。また、帯状コイルを平滑帯状コイル２にしたり、冷
媒通路３に向かって凸の大きな曲率を持たせ曲面帯状コ
イル２１にしたりする。さらに、平滑帯状コイル２もし
くは曲面帯状コイル２１を枠２２内に緩衝部材１３を介
し固定し、枠２２をコイル溝１１ａに固定する。さらに
また、コイル溝１１の外側に、隔壁溝１２を設け、この
隔壁溝１２に脱ガス材料よりなる隔壁４を設ける。
Description
【００１】
【産業上の利用分野】本発明は、リニアモータの固定子
の冷却構造に関し、特に、真空チャンバ内でテーブルを
駆動するリニアモータに適する。
の冷却構造に関し、特に、真空チャンバ内でテーブルを
駆動するリニアモータに適する。
【００２】
【従来の技術】第１の従来技術として、リニアモータの
固定子を、良熱伝導・非磁性体よりなる巻線固定枠の両
面に帯状コイルを貼付した固定子の巻線固定枠内に、可
動子の進行方向に伸びる冷却液の流通路で構成し、帯状
コイルを巻線固定枠を介し冷却するものがある（例え
ば、実開平５−９１８３号公報）。第２の従来技術とし
て、リニアモータの固定子を、良熱伝導・非磁性体より
なる巻線固定枠の両面に帯状コイルを貼付した固定子の
帯状コイルの両側面と間隙を持ち、巻線固定枠の上下部
を嵌合・固定した薄肉・長方形のキャンと、このキャン
と帯状コイル間に冷媒通路と、キャンの永手方向の両端
部に設けた鏡板と、鏡板に設けた冷媒供給口と冷媒排出
口で構成し、キャンの両側面に界磁永久磁石を対向さ
せ、帯状コイルを直接冷媒で冷却するものがある（例え
ば、実開平６−４１３８１号公報）。
固定子を、良熱伝導・非磁性体よりなる巻線固定枠の両
面に帯状コイルを貼付した固定子の巻線固定枠内に、可
動子の進行方向に伸びる冷却液の流通路で構成し、帯状
コイルを巻線固定枠を介し冷却するものがある（例え
ば、実開平５−９１８３号公報）。第２の従来技術とし
て、リニアモータの固定子を、良熱伝導・非磁性体より
なる巻線固定枠の両面に帯状コイルを貼付した固定子の
帯状コイルの両側面と間隙を持ち、巻線固定枠の上下部
を嵌合・固定した薄肉・長方形のキャンと、このキャン
と帯状コイル間に冷媒通路と、キャンの永手方向の両端
部に設けた鏡板と、鏡板に設けた冷媒供給口と冷媒排出
口で構成し、キャンの両側面に界磁永久磁石を対向さ
せ、帯状コイルを直接冷媒で冷却するものがある（例え
ば、実開平６−４１３８１号公報）。
【００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、第１の従来
技術では、巻線固定枠を介し、巻線を冷却するので、巻
線固定枠と帯状コイル間の熱抵抗により冷却効率の低下
がある。第２の従来技術では、帯状コイルを直接冷媒で
冷却するので冷却効率は良いが、構造が複雑になるとと
もに、キャンと帯状コイル間の間隙分だけギャップが広
くなり、界磁磁束が漏洩し易いという問題がある。そこ
で。本発明は、ギャップを広くすることなく、帯状コイ
ルを直接冷却する、簡易な構造のリニアモータの固定子
を提供することを目的とする。
技術では、巻線固定枠を介し、巻線を冷却するので、巻
線固定枠と帯状コイル間の熱抵抗により冷却効率の低下
がある。第２の従来技術では、帯状コイルを直接冷媒で
冷却するので冷却効率は良いが、構造が複雑になるとと
もに、キャンと帯状コイル間の間隙分だけギャップが広
くなり、界磁磁束が漏洩し易いという問題がある。そこ
で。本発明は、ギャップを広くすることなく、帯状コイ
ルを直接冷却する、簡易な構造のリニアモータの固定子
を提供することを目的とする。
【００４】
【課題を解決するための手段】良熱伝導・非磁性体より
なる巻線固定枠１に帯状コイルを貼付したリニアモータ
の固定子において、前記巻線固定枠１に前記帯状コイル
を収納するコイル溝１１を設け、このコイル溝１１に前
記帯状コイルを液密に固定し、前記コイル溝１１の内側
に、冷媒の供給口３１と排出口３２を備えた冷媒通路３
を設け、リアモータの固定子を構成する。また、前記帯
状コイルを平滑帯状コイル２にしたり、前記冷媒通路３
に向かって凸の大きな曲率を持たせ曲面帯状コイル２１
にしたりする。さらに、平滑帯状コイル２もしくは曲面
帯状コイル２１を枠２２内に緩衝部材１３を介し固定
し、前記枠２２をコイル溝１１ａに固定する。さらにま
た、前記コイル溝１１の外側に、隔壁溝１２を設け、こ
の隔壁溝１２に脱ガス材料よりなる隔壁４を設ける。
なる巻線固定枠１に帯状コイルを貼付したリニアモータ
の固定子において、前記巻線固定枠１に前記帯状コイル
を収納するコイル溝１１を設け、このコイル溝１１に前
記帯状コイルを液密に固定し、前記コイル溝１１の内側
に、冷媒の供給口３１と排出口３２を備えた冷媒通路３
を設け、リアモータの固定子を構成する。また、前記帯
状コイルを平滑帯状コイル２にしたり、前記冷媒通路３
に向かって凸の大きな曲率を持たせ曲面帯状コイル２１
にしたりする。さらに、平滑帯状コイル２もしくは曲面
帯状コイル２１を枠２２内に緩衝部材１３を介し固定
し、前記枠２２をコイル溝１１ａに固定する。さらにま
た、前記コイル溝１１の外側に、隔壁溝１２を設け、こ
の隔壁溝１２に脱ガス材料よりなる隔壁４を設ける。
【００５】
【作用】上記手段により、帯状コイルの内側の表面が直
接冷媒により冷却される。
接冷媒により冷却される。
【００６】
【実施例】以下に、本発明の実施例を図１および図２に
基づいて説明する。ジュラルミン、ステンレス等の良熱
伝導・非磁性体よりなる巻線固定枠１の側面には、例え
ば、実公平５−３４２２４号公報に開示のような平滑帯
状コイル２を貼付し、その外側に隔壁４を設けてある。
巻線固定枠１には、平滑帯状コイル２の幅より狭い幅
で、平滑帯状コイル２の長さより短い長さの冷媒通路３
となる溝を堀り、その上段に平滑帯状コイル２より僅か
に広いコイル溝１１を堀り、さらにその上段にステンレ
ス等非磁性の脱ガス材よりなる隔壁４とほぼ同じ寸法の
隔壁溝１２を掘ってある。冷媒通路３の底部の長手方向
の両端部には、巻線固定枠１の裏面に貫通する冷媒の供
給口３１と排出口３２を設けてある。コイル溝１１内に
平滑帯状コイル２を接着等で固定し、周囲をシールす
る。そののち、隔壁溝１２に隔壁４を収納し、隔壁４と
巻線固定枠１をレーザ、ＴＩＧ、ＭＩＧ等により液密に
溶接する。隔壁４は、空隙を介し、永久磁石５に対向さ
せてある。永久磁石５の背面にはヨーク６を設けてあ
る。永久磁石５とヨーク６で可動子を構成する。なお、
平滑帯状コイル２を、後述の曲面帯状コイル２１にして
もよい。
基づいて説明する。ジュラルミン、ステンレス等の良熱
伝導・非磁性体よりなる巻線固定枠１の側面には、例え
ば、実公平５−３４２２４号公報に開示のような平滑帯
状コイル２を貼付し、その外側に隔壁４を設けてある。
巻線固定枠１には、平滑帯状コイル２の幅より狭い幅
で、平滑帯状コイル２の長さより短い長さの冷媒通路３
となる溝を堀り、その上段に平滑帯状コイル２より僅か
に広いコイル溝１１を堀り、さらにその上段にステンレ
ス等非磁性の脱ガス材よりなる隔壁４とほぼ同じ寸法の
隔壁溝１２を掘ってある。冷媒通路３の底部の長手方向
の両端部には、巻線固定枠１の裏面に貫通する冷媒の供
給口３１と排出口３２を設けてある。コイル溝１１内に
平滑帯状コイル２を接着等で固定し、周囲をシールす
る。そののち、隔壁溝１２に隔壁４を収納し、隔壁４と
巻線固定枠１をレーザ、ＴＩＧ、ＭＩＧ等により液密に
溶接する。隔壁４は、空隙を介し、永久磁石５に対向さ
せてある。永久磁石５の背面にはヨーク６を設けてあ
る。永久磁石５とヨーク６で可動子を構成する。なお、
平滑帯状コイル２を、後述の曲面帯状コイル２１にして
もよい。
【００７】図３に、第２の実施例を示す。実施例のコイ
ル溝１１を平滑帯状コイル２の厚さより深くしたコイル
溝１１ａとしてある。実施例の平滑帯状コイル２を、冷
媒通路に向かって凸の水平方向の点を中心にした大きな
曲率Ｒの円弧を持たせた曲面帯状コイル２１にしてあ
る。曲面帯状コイル２１は、耐冷媒性能を有するコンパ
ウンド等の緩衝部材１３を介し、コイル溝１１ａの深さ
より僅かに薄い厚さの枠２２に固定してある。緩衝部材
１３は、冷媒通路３とのシールを兼ねる。曲面帯状コイ
ル２１を固定した枠２２をコイル溝１１に挿入し、枠２
２をコイル溝１１に接着等で固定し、周囲をシールす
る。そののち、隔壁溝１２に隔壁４を収納し、隔壁４と
巻線固定枠１をレーザ、ＴＩＧ、ＭＩＧ等により液密に
溶接する。このように構成することにより、励磁電流が
サイクリックに変化することによる曲面帯状コイル２１
自身の発熱や、冷媒の圧力変化による曲面帯状コイル２
１の変形を円弧と緩衝部材１３で吸収する。なお、曲面
帯状コイル２１を、実施例と同様な平滑帯状コイル２に
しても、緩衝部材１３により平滑帯状コイル２の変形を
吸収できる。
ル溝１１を平滑帯状コイル２の厚さより深くしたコイル
溝１１ａとしてある。実施例の平滑帯状コイル２を、冷
媒通路に向かって凸の水平方向の点を中心にした大きな
曲率Ｒの円弧を持たせた曲面帯状コイル２１にしてあ
る。曲面帯状コイル２１は、耐冷媒性能を有するコンパ
ウンド等の緩衝部材１３を介し、コイル溝１１ａの深さ
より僅かに薄い厚さの枠２２に固定してある。緩衝部材
１３は、冷媒通路３とのシールを兼ねる。曲面帯状コイ
ル２１を固定した枠２２をコイル溝１１に挿入し、枠２
２をコイル溝１１に接着等で固定し、周囲をシールす
る。そののち、隔壁溝１２に隔壁４を収納し、隔壁４と
巻線固定枠１をレーザ、ＴＩＧ、ＭＩＧ等により液密に
溶接する。このように構成することにより、励磁電流が
サイクリックに変化することによる曲面帯状コイル２１
自身の発熱や、冷媒の圧力変化による曲面帯状コイル２
１の変形を円弧と緩衝部材１３で吸収する。なお、曲面
帯状コイル２１を、実施例と同様な平滑帯状コイル２に
しても、緩衝部材１３により平滑帯状コイル２の変形を
吸収できる。
【００８】
【発明の効果】上記の構成により、下記の効果がある。 （１）帯状コイル表面を直接冷媒で洗うので、冷却効率
がよい。 （２）第２の実施例では、帯状コイルの発熱や冷媒の圧
力変化を帯状コイルの円弧と緩衝部材で吸収するので、
耐久性が優れている。
がよい。 （２）第２の実施例では、帯状コイルの発熱や冷媒の圧
力変化を帯状コイルの円弧と緩衝部材で吸収するので、
耐久性が優れている。
【図１】本発明の実施例を示す正断面図。
【図２】本発明の実施例を示す一部断面の平面図。
【図３】本発明の第２の実施例を示す正断面図。
１ 巻線固定枠 １１、１１ａ コイル溝 １２ 隔壁溝 １３ 緩衝部材 ２ 平滑帯状コイル ２１ 曲面帯状コイル ２２ 枠 ３ 冷媒通路 ３１ 供給口 ３２ 排出口 ４ 隔壁 ５ 永久磁石 ６ ヨーク
Claims (5)
- 【請求項１】 良熱伝導・非磁性体よりなる巻線固定枠
に帯状コイルを貼付したリニアモータの固定子におい
て、 前記巻線固定枠に前記帯状コイルを収納するコイル溝を
設け、このコイル溝に前記帯状コイルを液密に固定し、
前記コイル溝の内側に、冷媒の供給口と排出口を備えた
冷媒通路を設けことを特徴とするリニアモータの固定
子。 - 【請求項２】 前記帯状コイルを平滑帯状コイルにした
請求項１に記載のリニアモータの固定子。 - 【請求項３】 前記帯状コイルを前記冷媒通路に向かっ
て凸の大きな曲率を持たせた曲面帯状コイルにした請求
項１に記載のリニアモータの固定子。 - 【請求項４】 前記帯状コイルを、緩衝部材を介し、枠
に固定し、この枠を前記コイル溝に固定した請求項２ま
たは３に記載のリニアモータの固定子。 - 【請求項５】 前記コイル溝の外側に、隔壁溝を設け、
この隔壁溝に脱ガス材料よりなる隔壁を設けた請求項２
ないし４いずれかの１項に記載のリニアモータの固定
子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09792395A JP3582072B2 (ja) | 1995-03-29 | 1995-03-29 | リニアモータの固定子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09792395A JP3582072B2 (ja) | 1995-03-29 | 1995-03-29 | リニアモータの固定子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08275489A true JPH08275489A (ja) | 1996-10-18 |
| JP3582072B2 JP3582072B2 (ja) | 2004-10-27 |
Family
ID=14205217
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP09792395A Expired - Fee Related JP3582072B2 (ja) | 1995-03-29 | 1995-03-29 | リニアモータの固定子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3582072B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6140734A (en) * | 1998-04-03 | 2000-10-31 | Nikon Corporation Of Japan | Armature with regular windings and having a high conductor density |
| JP2002299897A (ja) * | 2001-03-30 | 2002-10-11 | Sanyo Electric Co Ltd | 電子部品装着装置 |
| JP2002299898A (ja) * | 2001-03-30 | 2002-10-11 | Sanyo Electric Co Ltd | 電子部品装着装置 |
| EP1289103A2 (en) * | 2001-08-29 | 2003-03-05 | Tsunehiko Yamazaki | Air cooled linear motor |
| JP2017184324A (ja) * | 2016-03-28 | 2017-10-05 | キヤノントッキ株式会社 | 真空用リニアモータの可動子 |
| CN109968052A (zh) * | 2019-04-01 | 2019-07-05 | 哈尔滨工业大学 | 一种无线缆直线电机进给系统 |
-
1995
- 1995-03-29 JP JP09792395A patent/JP3582072B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6140734A (en) * | 1998-04-03 | 2000-10-31 | Nikon Corporation Of Japan | Armature with regular windings and having a high conductor density |
| JP2002299897A (ja) * | 2001-03-30 | 2002-10-11 | Sanyo Electric Co Ltd | 電子部品装着装置 |
| JP2002299898A (ja) * | 2001-03-30 | 2002-10-11 | Sanyo Electric Co Ltd | 電子部品装着装置 |
| JP4551015B2 (ja) * | 2001-03-30 | 2010-09-22 | 株式会社日立ハイテクインスツルメンツ | 電子部品装着装置 |
| JP4551016B2 (ja) * | 2001-03-30 | 2010-09-22 | 株式会社日立ハイテクインスツルメンツ | 電子部品装着装置 |
| EP1289103A2 (en) * | 2001-08-29 | 2003-03-05 | Tsunehiko Yamazaki | Air cooled linear motor |
| EP1289103A3 (en) * | 2001-08-29 | 2006-11-08 | Tsunehiko Yamazaki | Air cooled linear motor |
| EP1895645A2 (en) | 2001-08-29 | 2008-03-05 | Tsunehiko Yamazaki | Air cooled linear motor |
| EP1895645A3 (en) * | 2001-08-29 | 2008-07-02 | Tsunehiko Yamazaki | Air cooled linear motor |
| JP2017184324A (ja) * | 2016-03-28 | 2017-10-05 | キヤノントッキ株式会社 | 真空用リニアモータの可動子 |
| CN109968052A (zh) * | 2019-04-01 | 2019-07-05 | 哈尔滨工业大学 | 一种无线缆直线电机进给系统 |
| CN109968052B (zh) * | 2019-04-01 | 2021-12-14 | 哈尔滨工业大学 | 一种无线缆直线电机进给系统 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3582072B2 (ja) | 2004-10-27 |
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