JPH08271565A - Method for inspecting connecting state of power supply apparatus and power supply apparatus using method thereof - Google Patents
Method for inspecting connecting state of power supply apparatus and power supply apparatus using method thereofInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は，電源装置の接続状態検
査方法及びその方法を用いる電源装置に関するものであ
り，特に，パッケージ内に密閉化された集積電源回路の
接触パッドと，該パッケージ外部で利用できる対応接触
ピンとの間における二線の電源接続線の状態を検査する
方法およびその方法を用いる電源装置に関するものであ
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of inspecting a connection state of a power supply device and a power supply device using the method, and more particularly to a contact pad of an integrated power supply circuit sealed in a package and an external part of the package. The present invention relates to a method for inspecting the state of a two-wire power supply connection line between a corresponding contact pin and a power supply device using the method.
【０００２】本発明は，特に，電源ステージと信号ステ
ージ，あるいは，構造的には独立で，それぞれ二線電気
接続によって上記パッケージの対応するピンに接続され
た個別接続パッドを介して電源が供給される２つの最終
電源ステージとから構成されているタイプの集積電源回
路において，その二線接続線の接続状態（完全性）を検
査するための方法およびその装置に関するものである。In particular, the invention is powered by a power stage and a signal stage, or structurally independent, each via a two-wire electrical connection via individual connection pads connected to corresponding pins of the package. The present invention relates to a method and an apparatus for inspecting a connection state (integrity) of a two-wire connecting line in an integrated power supply circuit of a type including two final power supply stages.
【０００３】[0003]
【従来の技術】周知のように，電源回路において，集積
回路の一定の接触パッドと，そのパッケージに対応する
金属製接触ピンとの間における接続は，その接触によっ
て対応することができる最大電流をより大きくするため
に，平行な二線によって行われる。このような方法で
の，平行な二線は最大５Ａｍｐｓ強の電流に対応するこ
とが可能となる。As is well known, in a power supply circuit, the connection between a certain contact pad of an integrated circuit and a metal contact pin corresponding to the package has a maximum current which can be supported by the contact. To make it bigger, it is done by two parallel lines. In such a method, the parallel two wires can support a current of 5 Amps at maximum.
【０００４】より大きな電流を必要とする一定のオーデ
ィオ・アンプなど複数の最終電源ステージを有する電子
機器にとっては，電源接続は各最終ステージを二線接続
によってその対応する供給電源に接続することにより分
割されるのが望ましい。For electronic equipment having a plurality of final power supply stages, such as certain audio amplifiers, which require larger currents, the power supply connections are split by connecting each final stage to its corresponding power supply by a two wire connection. It is desirable to be done.
【０００５】この装置の通常の動作時にあっては，少な
くとも２つの供給電源接触ピンが同じ電位，すなわち，
供給電圧，あるいは，回路アースのいずれかに接触され
ることになる。また，集積電源装置をつくりだすための
製造プロセスの最終段階で，金属製ピンがパッケージ外
部上でだけアクセスできることに注意することが必要で
ある。During normal operation of this device, at least two of the power supply contact pins have the same potential, ie,
Either the supply voltage or the circuit ground will be contacted. It should also be noted that at the final stage of the manufacturing process for making an integrated power supply, the metal pins are only accessible outside the package.
【０００６】このように，５０〜１００ｐｐｍ（１００
万個あたり）の欠陥品をつくりだす可能性のある電流溶
接の観点から，二線接続に対応する溶接の完全性を確認
する必要性がある。そのため，自動検査を可能にし，特
に，ピン間における導通の測定を可能にするように従来
の測定方法が用いられていた。In this way, 50 to 100 ppm (100
From the viewpoint of electric current welding, which may produce defective products (per million pieces), it is necessary to confirm the integrity of welding for two-wire connection. Therefore, the conventional measurement method has been used so as to enable automatic inspection, and particularly to measure the continuity between pins.
【０００７】しかしながら，このような方法では，二線
接続線を構成する金製ワイヤの抵抗値が測定される回路
全体の全体的な抵抗値と比較してほとんど無視すること
ができるので，一線だけが存在している不良接続箇所
と，両方の回線が存在している正常な箇所との区別が実
質上不可能であった。However, in such a method, since the resistance value of the gold wire forming the two-wire connecting wire can be almost ignored compared with the overall resistance value of the entire circuit to be measured, only one wire is used. It was virtually impossible to distinguish between a bad connection where there is a line and a normal place where both lines exist.
【０００８】このような問題を解決するために，先行技
術では集積回路の接触パッドを，それぞれの線接続によ
って同じピンに接続されている２つの別個のサブ・パッ
ドに分割する第１の方式が提案されている。In order to solve such a problem, the prior art has proposed a first method of dividing a contact pad of an integrated circuit into two separate sub-pads connected to the same pin by respective line connections. Proposed.
【０００９】この第１の方式にあっては，上記の問題点
は解決されるが，提供される接触パッドの数が増大し，
それを収容するための集積回路の面積が拡大してしまう
という欠点を伴っている。このことは，集積回路や装置
の一層の小型化が要求される現在の傾向から見ても望ま
しいものではない。加えて，レイアウト上の規則から生
じる一定の技術的な制約が上記のような方式を非実際的
なものにしている。In the first method, although the above problems are solved, the number of contact pads provided increases,
This is accompanied by the drawback that the area of the integrated circuit for accommodating it increases. This is not desirable in view of the current tendency that further miniaturization of integrated circuits and devices is required. In addition, certain technical constraints resulting from layout rules make such schemes impractical.
【００１０】Ｎｏ．０６２２７３３の番号で１９９４年
１１月２日に公開された欧州特許出願９３８３０１８
６．８は，集積電源装置内における二線電源接続を検査
するための第２の方式に関する技術が開示されている。
この第２の方式にあっては，その完全性を検査されるべ
き二線接続がなされている第１の接続パッドが設けら
れ，集積回路内に形成される電源ダイオード経由で装置
外部の第２のパッドに接続されている。No. European patent application 9383018 published on 2nd November 1994 under the number 0622733
6.8 discloses a technique relating to a second method for inspecting a two-wire power supply connection in an integrated power supply device.
In the second method, a first connection pad having a two-wire connection whose integrity is to be inspected is provided, and a second power supply external to the device is provided via a power supply diode formed in the integrated circuit. Connected to the pad.
【００１１】そして，上記接続パッドに接続された２つ
の装置接触ピン間に大きな（数アンペア）電流を流すこ
とによって，電源ダイオードを介して，ピンとパッド間
における線接続による電源散逸が起きる。周知のよう
に，線温度の上昇はその線の抵抗値をも増大させる。Then, by causing a large (several amperes) current to flow between the two device contact pins connected to the connection pad, power dissipation occurs due to the line connection between the pin and the pad via the power diode. As is well known, increasing wire temperature also increases the resistance of the wire.
【００１２】したがって，一定の時間内において，線接
続の抵抗によって変化する２つのピン間における電圧の
変化をサンプリングし，それらのサンプリング結果をサ
ンプル装置をテストすることによって得られた値と比較
することにより不良単線接続から完全な二線接続を区別
することが可能になる。Therefore, within a certain period of time, sampling the changes in the voltage between the two pins, which changes due to the resistance of the line connection, and comparing those sampling results with the values obtained by testing the sample device This makes it possible to distinguish a complete two-wire connection from a defective one-wire connection.
【００１３】一般的に，上記第２の方式にあっては，電
源アンプの出力側に設けられている二線接続を検査する
のに用いられるが，それは，最終ステージの出力パッド
と回路アースとの間で，通常は逆方向にバイアスされる
固有のｐ−ｎ結合が存在しているからである。この結合
は最終電源トランジスタの集積構造の一部である。した
がって，その出力側での二線接続上での導通チェックに
この結合を用いるのが好適であるとみなされている。Generally, the second method is used for inspecting the two-wire connection provided on the output side of the power amplifier, which uses the output pad of the final stage and the circuit ground. Between, there is an inherent pn bond, which is usually biased in the opposite direction. This combination is part of the final power transistor integrated structure. Therefore, it is considered preferable to use this coupling for the continuity check on the two-wire connection at its output.
【００１４】[0014]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら，上記第
２の方式によって電源装置の供給電源接触ピンに設けら
れる二線接触を検査するためには，５Ａｍｐｓ程度の電
流に対応することができる集積回路にダイオードを集積
する必要があり，それはかなり大きなサイズのダイオー
ドになる。However, in order to inspect the two-wire contact provided on the power supply contact pin of the power supply device by the second method, an integrated circuit capable of supporting a current of about 5 Amps is used. It is necessary to integrate a diode, which will be a fairly large size diode.
【００１５】異なった電源供給ピンから電力が供給され
るいくつかの最終電源ステージを有する装置が関係して
いる場合には，各供給ピン用の電源ダイオードを集積す
ることが必要になる。したがって，集積回路の面積は検
査のためだけに用いられいる構成部品の導入により大幅
に増大することになるという問題点があった。If a device with several final power stages powered by different power supply pins is involved, it may be necessary to integrate a power diode for each supply pin. Therefore, there is a problem that the area of the integrated circuit is significantly increased by introducing the components used only for the inspection.
【００１６】本発明の基本的な技術的課題は，１つのパ
ッケージ内部に密閉化された集積回路の接触パッドと，
対応する接触ピン間における二線電源接続の完全性を検
査するための簡易な方法及び装置を提供することであ
り，この方法及びその装置は該接続を装置の外部から，
短時間に，さらに，検査にだけ必要とされる電源構成部
品を集積しないで検査ができるようにすることを目的と
する。The basic technical problem of the present invention is to provide a contact pad of an integrated circuit sealed inside a package,
It is to provide a simple method and device for checking the integrity of a two-wire power supply connection between corresponding contact pins, the method and the device comprising:
It is an object of the present invention to make it possible to perform an inspection in a short time and without integrating the power source components required only for the inspection.
【００１７】[0017]
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに，請求項１に係る電源装置の接続状態検査方法にあ
っては，１つのパッケージ内に密閉され，電源接続線
（７，１３）によってそれぞれ対応する接触ピン（８，
９）に接続された，それぞれ別個の接触パッド（５，
６）によって電源が供給される，少なくとも２つの最終
電源ステージ（３，４）を有する集積回路（２）の，少
なくとも１つの前記接触パッド（５）と対応する前記接
触ピン（８）との間における前記電源接続線（７）の接
続状態を検査する電源装置の接続状態検査方法におい
て，前記２つの接触パッド（５，６）間に抵抗素子（１
４）を配置し，前記第１の接触パッド（５）から電源を
供給される前記第１の最終電源ステージ（３）を導通状
態とし，前記接触パッド（５，６）に接続された２つの
前記接触ピン（８，９）間における電位差を測定し，前
記測定された電位差を予め判定した正規の電位差と比較
する，ものである。In order to achieve the above object, in the method for inspecting the connection state of a power supply device according to a first aspect of the present invention, the power supply connection line (7, 13) is hermetically sealed in one package. ) Corresponding contact pins (8,
9) connected to separate contact pads (5, 5)
Between at least one said contact pad (5) and said corresponding contact pin (8) of an integrated circuit (2) having at least two final power supply stages (3, 4) powered by 6) In the method of inspecting the connection state of the power supply device for inspecting the connection state of the power supply connection line (7), the resistance element (1) is provided between the two contact pads (5, 6).
4) is arranged to bring the first final power stage (3), which is supplied with power from the first contact pad (5), into a conductive state, and to connect two pads connected to the contact pads (5, 6). The potential difference between the contact pins (8, 9) is measured, and the measured potential difference is compared with a previously determined normal potential difference.
【００１８】また，請求項２に係る電源装置の接続状態
検査方法にあっては，前記抵抗素子（１４）が，低抵抗
値を有する抵抗素子である。Further, in the method of inspecting the connection state of the power supply device according to the second aspect, the resistance element (14) is a resistance element having a low resistance value.
【００１９】また，請求項３に係る電源装置の接続状態
検査方法にあっては，検査中において，前記集積回路
（２）の第２の最終電源ステージ（４）が，切断状態に
保持され，前記抵抗素子（１４）を介して，前記第１の
接触パッド（５）から値が分かっている電流が流れるも
のである。Further, in the connection state inspection method for the power supply device according to the third aspect, during the inspection, the second final power supply stage (4) of the integrated circuit (2) is held in a disconnected state, A current whose value is known flows from the first contact pad (5) through the resistance element (14).
【００２０】また，請求項４に係る電源装置の接続状態
検査方法にあっては，前記２つの接触ピン（８，９）間
における電位差が，前記第１の接触パッド（５）と対応
する接触ピン（８）間における電源接続線（７）を介し
ての電圧降下と前記抵抗素子（１４）を介しての電圧降
下との合計である。Further, in the method for inspecting the connection state of the power supply device according to the fourth aspect, a contact in which the potential difference between the two contact pins (8, 9) corresponds to the first contact pad (5). It is the sum of the voltage drop across the power connection line (7) between the pins (8) and the voltage drop across the resistive element (14).
【００２１】また，請求項５に係る電源装置にあって
は，組み込まれている集積回路（２）の接触パッド
（５）と対応する接触ピン（８）との間における電源接
続線（７）の接続状態を検査するための手段を含み，前
記集積回路（２）がそれぞれ独立に関連する接触ピン
（８，９）に接続された２つの別個の接触パッド（５，
６）から電源の供給を受ける，少なくとも２つの最終電
源ステージ（３，４）を含み，前記集積回路（２）の前
記接触パッド（５，６）が抵抗素子（１４）を介して相
互に接続されるものである。Further, in the power supply device according to the fifth aspect, the power supply connection line (7) between the contact pad (5) and the corresponding contact pin (8) of the integrated circuit (2) incorporated therein. Means for inspecting the connection status of the integrated circuit (2), each integrated circuit (2) being independently connected to two associated contact pins (8, 9).
6) includes at least two final power supply stages (3, 4) supplied with power from the contact pads (5, 6) of the integrated circuit (2) connected to each other via a resistance element (14) It is what is done.
【００２２】また，請求項６に係る電源装置にあって
は，前記抵抗素子（１４）が，低抵抗値素子である。Further, in the power supply device according to the sixth aspect, the resistance element (14) is a low resistance element.
【００２３】また，請求項７に係る電源装置の接続状態
検査方法にあっては，１つのパッケージ内に密閉され，
電源接続線（７，１９）によってそれぞれ対応する接触
ピン（８，１８）に接続された，それぞれ別個の接触パ
ッド（５，１７）によって電源が供給される，少なくと
も１つの最終（電源）ステージ（３）と，少なくとも１
つの信号ステージ（１５）とを有する集積回路（２）
の，少なくとも１つの前記接触パッド（５）と対応する
前記接触ピン（８）との間における前記電源接続線
（７）の接続状態を検査する電源装置の接続状態検査方
法において，前記２つの接触パッド（５，１７）間に抵
抗素子（１４）を配置し，前記第１の接触パッド（５）
から電源を供給される前記最終（電源）ステージ（３）
を導通状態とし，前記接触パッド（５，１７）に接続さ
れた２つの前記接触ピン（８，１８）間における電位差
を測定し，前記測定された電位差を予め判定した正規の
電位差と比較する，ものである。Further, in the method for inspecting the connection state of the power supply device according to the seventh aspect, the package is hermetically sealed in one package,
At least one final (power) stage (powered by respective separate contact pads (5, 17) connected to respective contact pins (8, 18) by power connection lines (7, 19) respectively. 3) and at least 1
Integrated circuit (2) with two signal stages (15)
In the method for inspecting the connection state of the power supply connection line (7) between at least one contact pad (5) and the corresponding contact pin (8), the two contacts A resistance element (14) is arranged between the pads (5, 17), and the first contact pad (5) is provided.
The final (power) stage (3) powered by
Is made conductive, and the potential difference between the two contact pins (8, 18) connected to the contact pad (5, 17) is measured, and the measured potential difference is compared with a normal potential difference determined in advance. It is a thing.
【００２４】また，請求項８に係る電源装置の接続状態
検査方法にあっては，前記抵抗素子（１４）が，低抵抗
値素子である。In the method for inspecting the connection state of the power supply device according to the eighth aspect, the resistance element (14) is a low resistance element.
【００２５】また，請求項９に係る電源装置の接続状態
検査方法にあっては，前記２つの接触ピン（８，１８）
間における電位差が，前記第１の接触パッド（５）とそ
れに対応する前記接触ピン（８）間における電源接続線
（７）を介しての電圧降下と前記抵抗素子（１４）を介
しての電圧降下との合計である。Further, in the method for inspecting the connection state of the power supply device according to claim 9, the two contact pins (8, 18)
A potential difference between the first contact pad (5) and the corresponding contact pin (8) is caused by a voltage drop across the power supply connection line (7) and a voltage across the resistance element (14). It is the sum of the descent.
【００２６】また，請求項１０に係る電源装置にあって
は，組み込まれている集積回路（２）の接触パッド
（５）と対応する接触ピン（８）との間における電源接
続線（７）の接続状態を検査するための手段を含み，前
記集積回路（２）がそれぞれ独立に関連する接触ピン
（８，１８）に独立に接続された２つの別個の接触パッ
ド（５，１７）から電源の供給を受ける，少なくとも１
つの最終（電源）ステージ（３）と，少なくとも１つの
信号ステージ（１５）とを含み，前記集積回路（２）の
前記接触パッド（５，１７）が抵抗素子（１４）を介し
て相互に接続されるものである。Further, in the power supply device according to the tenth aspect, the power supply connecting line (7) between the contact pad (5) and the corresponding contact pin (8) of the integrated circuit (2) incorporated therein. A power supply from two separate contact pads (5, 17), each of which comprises means for checking the connection status of the integrated circuit (2), said integrated circuit (2) being independently connected to a respective associated contact pin (8, 18). Supply of at least 1
Two final (power) stages (3) and at least one signal stage (15), said contact pads (5, 17) of said integrated circuit (2) being interconnected via a resistance element (14) It is what is done.
【００２７】また，請求項１１に係る電源装置にあって
は，前記抵抗素子（１４）が，低抵抗値素子である。Further, in the power supply device according to the eleventh aspect, the resistance element (14) is a low resistance element.
【００２８】この技術的な課題は，請求項１〜４および
７〜９に定義されているような検査方法により解決され
る。また，請求項５，６，１０および１１に定義されて
いるような電源装置によっても解決される。本発明の特
徴は，非限定的な実施例として示される１つの実施の形
態の詳細な説明と，付随する図面を参照することによっ
て明らかになる。This technical problem is solved by an inspection method as defined in claims 1 to 4 and 7 to 9. It is also solved by a power supply device as defined in claims 5, 6, 10 and 11. The features of the present invention will be clarified by referring to the detailed description of one embodiment shown as a non-limiting example and the accompanying drawings.
【００２９】[0029]
【発明の実施の形態】以下，この発明に係る電源装置の
接続状態検査方法及びその方法を用いる電源装置の実施
の形態を図面に基づいて詳細に説明する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of a method for inspecting a connection state of a power supply device according to the present invention and a power supply device using the method will be described below in detail with reference to the drawings.
【００３０】図１は，装置上で２つの接触ピン８および
９を介して独立に電源が供給される２つの最終ステージ
３，４とから構成される集積回路２を内蔵している（電
子）電源装置１の概略部分を示している。FIG. 1 contains an integrated circuit 2 (electronic) consisting of two final stages 3, 4 which are independently powered on via two contact pins 8 and 9 on the device (electronic). The schematic part of the power supply device 1 is shown.
【００３１】特に，集積回路２の接触パッド５および６
と対応する接触ピン８および９との間に形成された２つ
の電源接続線７と１３が示されている。これら電源接続
線７および１３は，二線接続であって，一端を集積回路
２の接触パッド５，６上に，他端を電源装置１の接触ピ
ン８，９上に２つの金製ワイヤ１２を溶接することによ
って形成されている。In particular, the contact pads 5 and 6 of the integrated circuit 2
Two power supply connection lines 7 and 13 are formed between the contact pins 8 and 9 and the corresponding contact pins 8 and 9. These power supply connection lines 7 and 13 are two-wire connection, one end on the contact pads 5 and 6 of the integrated circuit 2, and the other end on the contact pins 8 and 9 of the power supply device 1 and two gold wires 12. Are formed by welding.
【００３２】図１に示されている装置にあっては，両方
の二線接続である電源接続線７と１３は最終ステージ３
および４を供給電源発生装置の正極に接続するために用
いられるが，同様に回路の電気アースなど，他の基準電
圧端子への接続に用いることも可能である。In the device shown in FIG. 1, both two-wire connections, power supply connection lines 7 and 13, are connected to the final stage 3
And 4 are used to connect to the positive pole of the power supply generator, but can also be used to connect to other reference voltage terminals, such as the electrical ground of the circuit.
【００３３】２つの最終ステージ３と４は，２つの入力
端子１０と１１を介して駆動される。したがって，各最
終ステージ３，４を，電源装置１外部から，それぞれ独
立に導通状態，あるいは，切断状態に設定することがで
きる。The two final stages 3 and 4 are driven via two input terminals 10 and 11. Therefore, the final stages 3 and 4 can be set to the conductive state or the disconnected state independently from the outside of the power supply device 1.
【００３４】図２は，それぞれ独立に電源が供給される
２つの最終ステージ３および４を有し，本発明による完
全性に関して電源接続線７と１３の二線電気接続を検査
するための手段を含んでいる集積回路２を内蔵した電源
装置１の概略部分を示している。FIG. 2 has two final stages 3 and 4 which are each independently powered and provides a means for checking the two-wire electrical connection of the power connection lines 7 and 13 for integrity according to the invention. 1 shows a schematic part of a power supply device 1 having an integrated circuit 2 included therein.
【００３５】２つの最終ステージ３，４に対して電源を
供給するために用いられる二線接続からなる電源接続線
７および１３はその完全性が検査されなければならな
い。すなわち，集積回路２の２つの接触パッド５および
６は，好適に，集積抵抗素子１４によって相互接続され
ている。The power supply connection lines 7 and 13, which consist of two-wire connections used to supply power to the two final stages 3, 4, must be checked for their integrity. That is, the two contact pads 5 and 6 of the integrated circuit 2 are preferably interconnected by the integrated resistance element 14.
【００３６】この集積抵抗素子１４は，例えば，１０オ
ーム程度の非常に低い抵抗値を有していなければなら
ず，後に述べるように，非常に小さな電流（数十ミリア
ンペア程度）がその内部を流れるようになっている。し
たがって，それは集積回路２上で，一定のタイプの，例
えば，Ｎタイプのドーパントが拡散される，非常に小さ
な領域で形成することができる。The integrated resistance element 14 must have a very low resistance value of, for example, about 10 ohms, and as will be described later, a very small current (about several tens of milliamperes) flows through the inside thereof. It is like this. Therefore, it can be formed on the integrated circuit 2 in a very small area in which certain types of dopants, for example N-types, are diffused.
【００３７】具体的には，以下の方法が用いられるが，
この方法により最初は，第１の電源接続線７の完全性を
検査するために，そして，次に，第２の電源接続線１３
の完全性を検査するために用いられている。Specifically, the following method is used,
By this method, firstly to check the integrity of the first power supply connection line 7, and then to the second power supply connection line 13
It is used to check the integrity of.
【００３８】この方法による第１のステップにより，直
接，第１の最終ステージ３に電源を供給するピンである
供給電源の接触ピン８を介して電源装置１に対して電源
が供給され，さらに，第２の最終ステージ４は，集積抵
抗素子１４を介して電源が供給されることになる。By the first step of this method, power is directly supplied to the power supply device 1 through the contact pin 8 of the power supply which is a pin for supplying power to the first final stage 3, and further, Power is supplied to the second final stage 4 via the integrated resistance element 14.
【００３９】第２の最終ステージ４を切断状態に保持し
ながら，第１の最終ステージ３を，供給電源の接触ピン
８を介して４〜５アンペア程度の大きな電流Ｉ１を流す
ことによって強化導通状態に設定する。したがって，第
２の最終ステージ４には，集積抵抗素子１４経由で，５
０ｍＡ程度の非常に小さな電流Ｉ２が流れる。While holding the second final stage 4 in the disconnected state, the first final stage 3 is reinforced by passing a large current I1 of about 4 to 5 amperes through the contact pin 8 of the power supply. Set to. Therefore, in the second final stage 4, via the integrated resistance element 14,
A very small current I2 of about 0 mA flows.
【００４０】供給電源発生装置によって提供され，二線
接続の電源接続線７内を流れる電流は，２つの最終ステ
ージ３，４によって引き寄せられる２つの電流Ｉ１およ
びＩ２の合計であり，その強さはほぼ電流Ｉ１に近づ
く。The current provided by the power supply generator and flowing in the power supply connecting line 7 of the two-wire connection is the sum of the two currents I1 and I2 drawn by the two final stages 3, 4 and its strength is It approaches the current I1.
【００４１】次に，この方法による第２のステップは，
２つの最終ステージ３，４の２つの電源供給ピン８およ
び９間における電位差を測定するステップにより構成さ
れている。この電位差は，第２の電源接続線１３を介し
て電流が流れておらず，それを介しての電圧降下がない
と想定した場合に，第１の電源接続線７の２つの金製ワ
イヤ１２を介しての電圧降下と，集積抵抗素子１４を介
しての電圧降下の合計となる。Next, the second step by this method is
It consists of measuring the potential difference between the two power supply pins 8 and 9 of the two final stages 3, 4. This potential difference is due to the assumption that no current flows through the second power supply connection line 13 and there is no voltage drop through the second power supply connection line 13 and the two gold wires 12 of the first power supply connection line 7. Is the sum of the voltage drop across the integrated resistance element 14 and the voltage drop across the integrated resistance element 14.
【００４２】２つの接触ピン８と９との間における電位
差は，以下の式（以下，式Ａと称する）により与えられ
る。すなわち， Ｖ＝（Ｉ１＋Ｉ２）＊Ｒｗｉｒｅ＋Ｉ２＊Ｒ ・・・（Ａ） である。ここで，Ｒｗｉｒｅは第１の電源接続線７の抵
抗値であり，Ｒは集積抵抗素子１４の抵抗値である。The potential difference between the two contact pins 8 and 9 is given by the following formula (hereinafter referred to as formula A). That is, V = (I1 + I2) * Rwire + I2 * R (A) Here, Rwire is the resistance value of the first power supply connection line 7, and R is the resistance value of the integrated resistance element 14.
【００４３】以下の表１に，それぞれ二線接続と，不良
単線接続の場合における，式Ａによって用いられる電気
量のいくつかの具体的な値を示す。Table 1 below shows some specific values of the amount of electricity used by equation A for a two wire connection and a bad single wire connection, respectively.
【００４４】[0044]
【表１】 [Table 1]
【００４５】これらの値から，電圧Ｖの値をそれぞれの
場合について計算することができる。すなわち， Ｖ１＝（５＋０．０５）＊１１Ｅ−３＋０．０５＊１０
＝０．５５５ボルト Ｖ２＝（５＋０．０５）＊２２Ｅ−３＋０．０５＊１０
＝０．６１１ボルト となる。From these values, the value of the voltage V can be calculated for each case. That is, V1 = (5 + 0.05) * 11E-3 + 0.05 * 10
= 0.555V V2 = (5 + 0.05) * 22E-3 + 0.05 * 10
= 0.611 volts.
【００４６】上記の式から，２つの電圧Ｖ１とＶ２が相
互に５５ミリボルト異なっていることが判る。したがっ
て，サンプル製品で予め測定した値を用いて，その製品
で測定した電圧値と比較することによって，良好な二線
接続を不良単線接続から容易に区別することができる。From the above equation, it can be seen that the two voltages V1 and V2 differ from each other by 55 millivolts. Therefore, a good two-wire connection can be easily distinguished from a defective single-wire connection by using the value measured in advance in the sample product and comparing it with the voltage value measured in that product.
【００４７】同様の手順を用いることにより，第２の最
終ステージ４に直接に電源を供給する供給ピン９を介し
て電源装置１に電源を供給することにより，第２の二線
接続の電源接続線１３の完全性を検査することができ
る。その結果，第１の最終ステージ３は集積抵抗素子１
４を介して電源が供給されることになる。By using the same procedure, power is supplied to the power supply device 1 through the supply pin 9 which directly supplies power to the second final stage 4, and thus the power connection of the second two-wire connection is made. The integrity of line 13 can be checked. As a result, the first final stage 3 is integrated resistor 1
Power will be supplied via 4.
【００４８】その結果，第１の最終ステージ３を切断状
態にしておいて，第２の最終ステージ４を強化導通状態
にし，２つの最終ステージ３と４の２つの電源供給ピン
８と９間における電位差を測定する。As a result, the first final stage 3 is in the disconnected state, the second final stage 4 is in the reinforced conductive state, and the two power supply pins 8 and 9 between the two final stages 3 and 4 are connected. Measure the potential difference.
【００４９】この電圧値をサンプル製品で予め測定した
値と比較することによって，上に述べた場合と同様に，
良好な二線接続を不良単線接続から容易に区別すること
ができる。By comparing this voltage value with the value previously measured with the sample product, as in the case described above,
A good two wire connection can be easily distinguished from a bad single wire connection.
【００５０】要約すると，上に述べた方法および装置に
よって，線が二線接続から外れていたり，破損している
装置の箇所を積極的な方法で特定することができる。し
たがって，テストで良好であった製品の高度な品質と信
頼性を保証することができる。これらの結果は，従来の
方式と比較して，集積回路の面積をかなり削減すること
によって得られる。In summary, the method and apparatus described above allow for proactive identification of locations on the device where wires are disconnected or damaged from a two wire connection. Therefore, it is possible to guarantee the high quality and reliability of the products that have been tested well. These results are obtained by considerably reducing the area of the integrated circuit as compared with the conventional method.
【００５１】特に，上に述べた方式は，非常に単純なテ
スト装置を必要とするだけで，極めて短時間に行うこと
ができるものである。In particular, the method described above requires a very simple test apparatus and can be performed in an extremely short time.
【００５２】本発明の保護範囲を逸脱せずに，上に述べ
た方法と装置についての変更や修正が可能であることは
容易に判る。特に，ここに用いられている方法にあって
は，装置上の等電位接触ピンのどのような対に対しても
適用することができる。より具体的には，集積回路の２
つの接地接触パッドと装置上の２つの対応する接地接触
ピンとの間における電源接続をチェックするために用い
ることができるものである。It will be readily appreciated that changes and modifications may be made to the methods and apparatus described above without departing from the scope of protection of the present invention. In particular, the method used herein can be applied to any pair of equipotential contact pins on the device. More specifically, the integrated circuit 2
It can be used to check the power connection between one ground contact pad and two corresponding ground contact pins on the device.
【００５３】例えば，この方法を図３に図式的に示す，
２つの独立した等電位接触ピン８と１８を介して電源が
供給される最終（電源）ステージ３と信号ステージ１５
とを有し，二線電気接続の完全性を検査する手段を含ん
でいる集積回路２を内蔵する電源装置１に適用すること
ができる。For example, this method is schematically shown in FIG.
The final (power) stage 3 and the signal stage 15 are supplied with power via two independent equipotential contact pins 8 and 18.
And a power supply device 1 containing an integrated circuit 2 having means for checking the integrity of the two-wire electrical connection.
【００５４】それを介して電源ステージ３に電源が供給
される接触パッド５と接触ピン８との間における接続は
二線の金製ワイヤ１２により設けられている。また，信
号ステージ１５に電源が供給される接触パッド１７と接
触ピン１８は単線の電源接続線１９により接続されてい
る。The connection between the contact pad 5 and the contact pin 8 through which power is supplied to the power supply stage 3 is provided by a two-wire gold wire 12. Further, the contact pad 17 to which power is supplied to the signal stage 15 and the contact pin 18 are connected by a single power supply connection line 19.
【００５５】集積回路２のこれら２つの接触パッド５お
よび１８は，好適に，集積抵抗素子１４を介して相互に
接続されている。なお，１６は信号ステージ１５の入力
端子である。These two contact pads 5 and 18 of the integrated circuit 2 are preferably connected to each other via the integrated resistance element 14. Reference numeral 16 is an input terminal of the signal stage 15.
【００５６】この二線の電源接続線７の完全性を検査す
るためには，最終ステージ３に直接電源を供給するピン
である電源供給用接触ピン８を介して，電源装置１に電
源を供給する。したがって，信号ステージ１５には集積
抵抗素子１４を介して電源が供給され，この集積抵抗素
子１４を介して，図にＩ２で示される小さな電流が流れ
る。In order to inspect the integrity of the two-wire power supply connection line 7, power is supplied to the power supply device 1 via the power supply contact pin 8 which is a pin for directly supplying power to the final stage 3. To do. Therefore, power is supplied to the signal stage 15 through the integrated resistance element 14, and a small current indicated by I2 in the drawing flows through the integrated resistance element 14.
【００５７】その結果，最終電源ステージは強化導通状
態に設定され，供給ピン８から大きな電流Ｉ１が流れ，
これら２つのピン８と９との間における電位差が測定さ
れる。この電圧値をサンプル製品により予め測定した値
と比較することによって，前に述べた実施例の場合と同
様，良好な二線接続を不良単線接続と容易に区別するこ
とができる。As a result, the final power stage is set to the reinforced conduction state and a large current I1 flows from the supply pin 8,
The potential difference between these two pins 8 and 9 is measured. By comparing this voltage value with the value previously measured by the sample product, a good two-wire connection can be easily distinguished from a defective single-wire connection as in the case of the above-mentioned embodiment.
【図１】電源が独立に供給される２つの最終ステージを
有する公知の電源装置の概略構成を示すブロック図であ
る。FIG. 1 is a block diagram showing a schematic configuration of a known power supply device having two final stages to which power is independently supplied.
【図２】本発明の第１の実施の形態に係る電源装置の概
略構成を示すブロック図である。FIG. 2 is a block diagram showing a schematic configuration of a power supply device according to the first embodiment of the present invention.
【図３】本発明の第２の実施の形態に係る電源装置の概
略構成を示すブロック図である。FIG. 3 is a block diagram showing a schematic configuration of a power supply device according to a second embodiment of the present invention.
１ 電源装置 ２ 集積回路 ３，４ 最終ステージ ５，６，１７ 接触パッド ７，１３，１９ 電源接続線 ８，９，１８ 接触ピン １０，１１，１６ 入力端子 １２ 金製ワイヤ １４ 集積抵抗素子 １５ 信号ステージ 1 power supply device 2 integrated circuit 3,4 final stage 5,6,17 contact pad 7,13,19 power supply connection line 8,9,18 contact pin 10,11,16 input terminal 12 gold wire 14 integrated resistance element 15 signal stage
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ジョバンニ カポディバッカ イタリア国，イ−21053 バレセ，カステ ルランツァ，ビア マルナテ，16 (72)発明者 ファブリツィオ ステファニ イタリア国，イ−21010 バレセ，カルダ ーノ アル カンポ，ビア ローマ，50 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Giovanni Capodibacca Italy, I-21053 Barese, Castellanza, Via Marnate, 16 (72) Inventor Fabrizio Stefani Italy, I-21010 Barese, Cardano Alcampo, Via Roma, 50
Claims (11)
続線によってそれぞれ対応する接触ピンに接続された，
それぞれ別個の接触パッドによって電源が供給される，
少なくとも２つの最終電源ステージを有する集積回路
の，少なくとも１つの前記接触パッドと対応する前記接
触ピンとの間における前記電源接続線の接続状態を検査
する電源装置の接続状態検査方法において，前記２つの
接触パッド間に抵抗素子を配置し，前記第１の接触パッ
ドから電源を供給される前記第１の最終電源ステージを
導通状態とし，前記接触パッドに接続された２つの前記
接触ピン間における電位差を測定し，前記測定された電
位差を予め判定した正規の電位差と比較する，ことを特
徴とする電源装置の接続状態検査方法。1. A package is hermetically sealed and connected to corresponding contact pins by power supply connection lines,
Powered by separate contact pads,
In a connection state inspection method of a power supply device for inspecting a connection state of the power supply connection line between at least one of the contact pads and the corresponding contact pin of an integrated circuit having at least two final power supply stages, the two contacts A resistance element is arranged between the pads, the first final power supply stage supplied with power from the first contact pad is brought into a conductive state, and a potential difference between the two contact pins connected to the contact pad is measured. And comparing the measured potential difference with a previously determined normal potential difference.
素子であることを特徴とする請求項１に記載の電源装置
の接続状態検査方法。2. The method for inspecting a connection state of a power supply device according to claim 1, wherein the resistance element is a resistance element having a low resistance value.
最終電源ステージが，切断状態に保持され，前記抵抗素
子を介して，前記第１の接触パッドから値が分かってい
る電流が流れることを特徴とする請求項２に記載の電源
装置の接続状態検査方法。3. The second final power stage of the integrated circuit is held in a disconnected state during the test, and a current of known value flows from the first contact pad through the resistive element. The method of inspecting the connection state of a power supply device according to claim 2.
が，前記第１の接触パッドと対応する接触ピン間におけ
る電源接続線を介しての電圧降下と前記抵抗素子を介し
ての電圧降下との合計であることを特徴とする請求項２
に記載の電源装置の接続状態検査方法。4. The potential difference between the two contact pins is the sum of the voltage drop between the first contact pad and the corresponding contact pin across the power supply connection line and the voltage drop across the resistance element. 3. The method according to claim 2, wherein
The method for inspecting the connection state of the power supply device according to.
と対応する接触ピンとの間における電源接続線の接続状
態を検査するための手段を含み，前記集積回路がそれぞ
れ独立に関連する接触ピンに接続された２つの別個の接
触パッドから電源の供給を受ける，少なくとも２つの最
終電源ステージを含み，前記集積回路の前記接触パッド
が抵抗素子を介して相互に接続されることを特徴とする
電源装置。5. A means for inspecting a connection state of a power supply connecting line between a contact pad of an integrated circuit and a corresponding contact pin, each integrated circuit independently connecting to a related contact pin. A power supply device including at least two final power supply stages, which are supplied with power from two separate contact pads, the contact pads of the integrated circuit being connected to each other via a resistance element.
とを特徴とする請求項５に記載の電源装置。6. The power supply device according to claim 5, wherein the resistance element is a low resistance element.
続線によってそれぞれ対応する接触ピンに接続された，
それぞれ別個の接触パッドによって電源が供給される，
少なくとも１つの最終（電源）ステージと，少なくとも
１つの信号ステージとを有する集積回路の，少なくとも
１つの前記接触パッドと対応する前記接触ピンとの間に
おける前記電源接続線の接続状態を検査する電源装置の
接続状態検査方法において，前記２つの接触パッド間に
抵抗素子を配置し，前記第１の接触パッドから電源を供
給される前記最終（電源）ステージを導通状態とし，前
記接触パッドに接続された２つの前記接触ピン間におけ
る電位差を測定し，前記測定された電位差を予め判定し
た正規の電位差と比較する，ことを特徴とする電源装置
の接続状態検査方法。7. The package is hermetically sealed in one package and connected to corresponding contact pins by power supply connection lines,
Powered by separate contact pads,
In an integrated circuit having at least one final (power supply) stage and at least one signal stage, a power supply device for inspecting a connection state of the power supply connection line between at least one contact pad and the corresponding contact pin. In the connection state inspection method, a resistance element is arranged between the two contact pads, and the final (power source) stage supplied with power from the first contact pad is brought into a conductive state, and is connected to the contact pad. A method for inspecting a connection state of a power supply device, comprising: measuring a potential difference between the two contact pins, and comparing the measured potential difference with a previously determined regular potential difference.
とを特徴とする請求項７に記載の電源装置の接続状態検
査方法。8. The method according to claim 7, wherein the resistance element is a low resistance element.
が，前記第１の接触パッドとそれに対応する前記接触ピ
ン間における電源接続線を介しての電圧降下と前記抵抗
素子を介しての電圧降下との合計であることを特徴とす
る請求項８に記載の電源装置の接続状態検査方法。9. The potential difference between the two contact pins is a voltage drop between the first contact pad and the corresponding contact pin via a power supply connection line and a voltage drop via the resistance element. 9. The power supply device connection state inspection method according to claim 8, wherein
ドと対応する接触ピンとの間における電源接続線の接続
状態を検査するための手段を含み，前記集積回路がそれ
ぞれ独立に関連する接触ピンに独立に接続された２つの
別個の接触パッドから電源の供給を受ける，少なくとも
１つの最終（電源）ステージと，少なくとも１つの信号
ステージとを含み，前記集積回路の前記接触パッドが抵
抗素子を介して相互に接続されることを特徴とする電源
装置。10. Incorporating means for inspecting the connection status of a power supply connection line between a contact pad of an integrated circuit and a corresponding contact pin, each integrated circuit being independent of its associated contact pin. Including at least one final (power) stage, which is supplied with power from two separate contact pads connected to each other, and at least one signal stage, wherein the contact pads of the integrated circuit are mutually connected via resistive elements. A power supply device characterized by being connected to.
ことを特徴とする請求項１０に記載の電源装置。11. The power supply device according to claim 10, wherein the resistance element is a low resistance element.
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| IT948305925 | 1994-12-30 | ||
| EP94830592A EP0720023B1 (en) | 1994-12-30 | 1994-12-30 | Test method for power integrated devices |
| US08/690,934 US5801526A (en) | 1994-12-30 | 1996-08-01 | Rate adjustable faulted circuit indicator module |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08271565A true JPH08271565A (en) | 1996-10-18 |
Family
ID=26137736
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7336727A Pending JPH08271565A (en) | 1994-12-30 | 1995-12-25 | Method for inspecting connecting state of power supply apparatus and power supply apparatus using method thereof |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US5801536A (en) |
| EP (1) | EP0720023B1 (en) |
| JP (1) | JPH08271565A (en) |
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1995
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|---|---|
| EP0720023A1 (en) | 1996-07-03 |
| US5801526A (en) | 1998-09-01 |
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