JPH08271455A - 蛍光x線分析装置 - Google Patents
蛍光x線分析装置Info
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- JPH08271455A JPH08271455A JP9963695A JP9963695A JPH08271455A JP H08271455 A JPH08271455 A JP H08271455A JP 9963695 A JP9963695 A JP 9963695A JP 9963695 A JP9963695 A JP 9963695A JP H08271455 A JPH08271455 A JP H08271455A
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Abstract
X線分析装置を提供する。 【構成】1次X線2を発生するX線源1と、1次X線2
が照射された試料3から発生する2次X線4の通路に配
置された分光素子5と、その分光素子5で回折されたX
線6が入射される検出器7とを備えた蛍光X線分析装置
において、前記試料3から発生する2次X線4の通路に
おける前記試料3と前記分光素子5との間に、炭素を主
成分とする有機系化合物からなるフィルタ9が配置され
たことを特徴とする蛍光X線分析装置。
Description
射して、発生する蛍光X線を分析するために用いる蛍光
X線分析装置に関するものである。
ば、鉄を主成分とする試料(炭素鋼、ステンレス等)中
に含まれる炭素を分析する際には、分光素子として、Ni
/Cの人工累積膜を用いている。
分析において、実際には試料に炭素が含まれていないに
もかかわらず、炭素が含まれているように検出された
り、あるいは、実際に試料に含まれるよりも多く炭素が
含まれているように検出されたりする、すなわちSN比
および検量線の正確度が低下するという問題がある。そ
の原因については不明であったが、本発明者は、この問
題が、前記の場合でいえば、試料中の鉄から発生した蛍
光X線Fe−Lα線が、人工累積膜中の炭素を励起して蛍
光X線C−Kα線を発生させ、これが検出器に入射する
ことにより起こることを見出した。
確度を向上させた蛍光X線分析装置を提供することを目
的とするものである。
に、請求項1の蛍光X線分析装置は、まず、1次X線を
発生するX線源と、1次X線が照射された試料から発生
する2次X線の通路に配置された分光素子と、その分光
素子で回折されたX線が入射される検出器とを備えてい
る。そして、前記試料から発生する2次X線の通路にお
ける前記試料と前記分光素子との間に、炭素を主成分と
する有機系化合物からなるフィルタが配置されている。
ば、試料と分光素子との間に配置されたフィルタが、試
料から発生する蛍光X線のうち、分光素子の構成元素を
励起し得るその構成元素の吸収端波長よりも波長の短い
蛍光X線を吸収するので、分光素子の構成元素の励起量
が低減し、SN比および検量線の正確度が向上する。
ながら説明する。図1に示すように、本実施例の蛍光X
線分析装置は、まず、1次X線2を発生するX線源1
と、試料3が固定される試料台8と、1次X線2が照射
された試料3から発生する蛍光X線4の通路に配置され
たNi/Cの人工累積膜である分光素子5と、その分光素子
5で回折されたX線6が入射される検出器7とを備えて
いる。そして、試料3から発生する蛍光X線4の通路に
おける試料3と分光素子5との間に、炭素を主成分とす
る有機系化合物例えばポリプロピレンからなる、好まし
くは厚さ0.3μm以上0.9μm以下の、より好まし
くは厚さ0.5μm以上0.7μm以下のフィルタ9が
配置されている。
は、一定範囲の波長の蛍光X線を連続的に分析するため
に、試料3から発生する2次X線4の分光素子5への入
射角θと、試料3から発生する2次X線4の延長線(図
1中二点鎖線で示す)と分光素子5で回折されたX線6
のなす分光角2θが、それぞれθ、2θとなる関係を保
ちながら、分光素子5と検出器7とが、2次X線4の分
光素子5への入射点を中心に回転走査される。これに対
応して、フィルタ9は、この回転走査中、常に試料3か
ら発生する2次X線4の通路における試料3と分光素子
5との間にあり、かつ分光素子5で回折されたX線6の
通路に干渉しないように、適切な角度と長さをもって分
光素子5に取り付けられている。
る炭素を分析する際の本実施例の動作について説明す
る。X線源1から発生した1次X線は、試料3に照射さ
れ、試料3からは、試料3中の炭素からの分析すべき蛍
光X線C−Kα線4の他に、試料3中の鉄からの蛍光X
線Fe−Lα線4も発生する。ここで、従来であれば、こ
れらの蛍光X線がそのまま分光素子に入射し、試料中の
炭素からのC−Kα線が回折されるとともに、試料中の
鉄からのFe−Lα線がNi/Cの人工累積膜である分光素子
中の炭素を励起して蛍光X線C−Kα線を発生させる。
したがって、分析すべき試料中の炭素からのC−Kα線
の他に、不要な分光素子中の炭素からのC−Kα線が検
出器に入射し、分析におけるSN比および検量線の正確
度が低下していた。
検量線の正確度の低下の原因が不明であったために、分
光素子と検出器との間に、主にC−Kα線を透過させC
の吸収端よりも短波長側のX線を吸収する高分子フィル
タを配置する試み等もあったが、この場合は、除去すべ
き分光素子中の炭素からのC−Kα線も、分析すべき試
料中の炭素からのC−Kα線とともにやや吸収されなが
ら透過して検出器に入射してしまい、単に装置全体とし
ての感度をやや低下させることになり、問題を解決する
ことができなかった。
素からの分析すべき蛍光X線C−Kα線4と、試料3中
の鉄からの蛍光X線Fe−Lα線4とが、分光素子5に入
射する前にフィルタ9に入射する。フィルタ9を構成す
るポリプロピレンにはC−Kα線4を良く透過させ、Fe
−Lα線4を吸収する性質があるので、分光素子5に入
射するX線において、試料3中の炭素からの分析すべき
C−Kα線4はほとんど低減されず、試料3中の鉄から
のFe−Lα線4が低減される。フィルタ9を炭素および
水素のみを含むポリプロピレン等で構成する理由はここ
にあり、酸素等も含む例えばポリエステルで構成する
と、酸素と炭素との質量吸収係数の違いから、吸収すべ
きFe−Lα線4の吸収が少なくなり、その結果、Fe−L
α線4による分光素子5中の炭素の励起が十分に抑制さ
れない。
炭素からの分析すべきC−Kα線が回折されるととも
に、Fe−Lα線4により分光素子5中の炭素が励起され
て蛍光X線C−Kα線が発生するのが抑制され、検出器
7へ入射するX線6は、ほとんど試料3中の炭素からの
分析すべきC−Kα線4のみとなる。これにより、分析
におけるSN比および検量線の正確度が向上する。
来のフィルタなしの装置および本実施例の装置におい
て、C−Kα線の検量線を作成したところ、X線分析値
と真値(既知の化学分析値)との差の標準偏差で定義さ
れる正確度において、従来の装置では正確度0.029
%に対し、本実施例の装置では正確度0.013%とな
り、本発明の効果が実証された。
素を分析する場合、すなわち、試料3中に酸素が含まれ
る場合には、試料3中の酸素から発生した蛍光X線O−
Kα線4が、分光素子5中の炭素を励起することを抑制
すべきであり、また、そのO−Kα線の2次の高次線4
が、分光素子5で回折されて検出器7に入射しC−Kα
線の妨害スペクトルとなることをも抑制すべきである。
このため、すなわち、試料3から発生したC−Kα線4
をできるだけ透過させつつ、O−Kα線4を十分に吸収
するためには、フィルタ9を好ましくは厚さ2μm以上
8μm以下、より好ましくは厚さ4μm以上6μm以下
のポリプロピレンで構成する。また、本実施例では、フ
ィルタ9は分光素子5に取り付けられているが、試料3
から発生する蛍光X線4の通路における試料3と分光素
子5との間に配置されていればよく、分光素子5に取り
付けられている必要はない。
面図である。
生する2次X線、5…分光素子、6…分光素子で回折さ
れたX線、7…検出器、9…フィルタ。
Claims (1)
- 【請求項1】 1次X線を発生するX線源と、 1次X線が照射された試料から発生する2次X線の通路
に配置された分光素子と、 その分光素子で回折されたX線が入射される検出器とを
備えた蛍光X線分析装置において、 前記試料から発生する2次X線の通路における前記試料
と前記分光素子との間に、炭素を主成分とする有機系化
合物からなるフィルタが配置されたことを特徴とする蛍
光X線分析装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9963695A JP2940810B2 (ja) | 1995-03-30 | 1995-03-30 | 蛍光x線分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9963695A JP2940810B2 (ja) | 1995-03-30 | 1995-03-30 | 蛍光x線分析装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08271455A true JPH08271455A (ja) | 1996-10-18 |
JP2940810B2 JP2940810B2 (ja) | 1999-08-25 |
Family
ID=14252559
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9963695A Expired - Fee Related JP2940810B2 (ja) | 1995-03-30 | 1995-03-30 | 蛍光x線分析装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2940810B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2621646C2 (ru) * | 2015-11-19 | 2017-06-06 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский государственный университет" (СПбГУ) | Рентгеноспектральный способ определения содержания углерода в чугунах и устройство для его реализации |
-
1995
- 1995-03-30 JP JP9963695A patent/JP2940810B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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RU2621646C2 (ru) * | 2015-11-19 | 2017-06-06 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский государственный университет" (СПбГУ) | Рентгеноспектральный способ определения содержания углерода в чугунах и устройство для его реализации |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2940810B2 (ja) | 1999-08-25 |
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