JPH08264000A - メモリ・アレイを自己検査する方法およびメモリ回路 - Google Patents

メモリ・アレイを自己検査する方法およびメモリ回路

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JPH08264000A
JPH08264000A JP8023999A JP2399996A JPH08264000A JP H08264000 A JPH08264000 A JP H08264000A JP 8023999 A JP8023999 A JP 8023999A JP 2399996 A JP2399996 A JP 2399996A JP H08264000 A JPH08264000 A JP H08264000A
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Joseph Desroshuis Richard
リチャード・ジョセフ・デスロッシュイズ
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  • For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
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  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 自己検査能力を有する埋込みメモリ回路を提
供する。 【解決手段】 メモリ・アレイ10に入力インタフェー
スを与える機能入力レジスタ列121 〜12n と、出力
インタフェースを与える機能出力レジスタ列141 〜1
m とを有している。検査回路18′は、入力レジスタ
列に元の検査データをシリアルにロードする。検査デー
タは、入力レジスタ列からメモリ・アレイにパラレルに
転送されて、格納される。格納されたデータは、メモリ
・アレイからパラレルに連続して取出されて、出力レジ
スタ列にロードされる。メモリ・アレイの格納データが
出力レジスタ列に格納されると、検査回路は、出力レジ
スタ列のデータをシリアルに集めて、取出したデータを
元の検査データと比較して、メモリ・アレイの機能性を
調べる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、自己検査能力を
有するメモリ・アレイに関するものである。特に、この
発明は、レベル・センシティブ・スキャン構成(LDD
S;levelsensitive scan des
ign)レジスタを用いる組込み自己検査能力を有する
埋込みメモリ・アレイに関するものである。
【0002】
【従来の技術】多機能論理デバイスは、多くの場合、論
理デバイスの構造内にメモリ・アレイを備えており、こ
のメモリ・アレイは、多機能論理デバイスの種々の機能
のために後に取出されるデータを格納する。多機能論理
デバイス内に設けられたメモリ・アレイは、埋込みメモ
リ・アレイと呼ばれている。
【0003】メモリ・アレイの機能性を確実にするに
は、多機能論理デバイス内の埋込みメモリ・アレイを検
査することが望ましい。アレイの機能性を検査する1つ
の方法は、多機能論理デバイスに、埋込みメモリ・アレ
イの多数の入力に多重化されて接続される複数のピンを
設けることである。検査ピンは、埋込みメモリ・アレイ
に格納されている検査データ(検査ベクトル)を受取
る。次に、格納データは、多機能論理デバイスのデータ
出力ピンを介して取出され、元の検査ベクトルと比較さ
れる。取出されたデータが元の検査ベクトルに一致する
と、埋込みメモリ・アレイは動作可能であることがわか
る。他方、取出されたデータが元の検査ベクトルに一致
しなければ、埋込みメモリ・アレイは動作不能であるこ
とがわかる。
【0004】多機能論理デバイスの密度および複合度の
要件は、デバイスのピンのより効率的な利用を必要とす
る分野を拡張してきた。したがって、埋込みメモリ・ア
レイを、多機能論理デバイス内に効率的に設けて、多機
能論理デバイスの制限されたピン総数を用いることが望
ましい。したがって、埋込みメモリ・アレイを検査する
自己検査回路を、多機能論理デバイス上に設けること
が、この工業分野での動向であった。多機能論理デバイ
スの他の機能要素とは別個かつ独立に、多機能論理デバ
イス上の自己検査回路によって、メモリ・アレイは検査
される。多機能論理デバイスは、1本の入力検査ピンを
介して、埋込みメモリ・アレイの検査を開始することを
自己検査回路に知らせる入力信号を受信する。自己検査
回路は、検査ベクトルをメモリ・アレイに送って、埋込
みメモリ・アレイから格納データを取出し、取出された
データを元の検査ベクトルと比較して、埋込みメモリ・
アレイの機能性を調べる。埋込みメモリ・アレイを十分
に検査した後に、自己検査回路は、多機能デバイスの1
本の出力テストピンを介して、埋込みメモリ・アレイが
適正に機能するか否かを示す信号を出力する。したがっ
て、埋込みメモリ・アレイへ検査データを送り、埋込み
メモリ・アレイから検査データを取出すために、多機能
デバイス上に複数本のピンを必要とする代わりに、多機
能論理デバイス上には、2本の検査ピンが必要とされる
のみである。すなわち、自己検査を開始することを自己
検査回路に要求するための1本のピンと、自己検査の結
果を報告するための他の1本のピンとである。
【0005】埋込みメモリ・アレイのための既知の自己
検査回路は、埋込みメモリ・アレイの機能ラインに割込
むマルチプレクサを用いて、検査データを、メモリ・ア
レイの入力へパラレルに送ることができるようにしてい
る。検査データをメモリ・アレイに送った後、格納され
た検査データは、メモリ・アレイからパラレルに取出さ
れる。(1)メモリ・アレイの機能入力ラインに割込む
マルチプレクサと、(2)自己検査回路からマルチプレ
クサへ検査データをパラレルに送るパラレル・データラ
インと、(3)メモリ・アレイから自己検査回路へ取出
しデータを送るパラレル・データラインとを設けること
は、多機能論理デバイスの回路レイアウトに、十分な半
導体スペースを必要とする。さらに、入力マルチプレク
サおよびパラレル出力データライン・タップは、埋込み
メモリ・アレイへの、および埋込みメモリ・アレイから
の機能データの通常転送に、遅延を与える。前述したよ
うに、多機能論理デバイスの複合度が増大するにつれ
て、多機能論理デバイスのレイアウトに、基板領域のよ
り大きなスペース有効利用を与えることが必要とされ
る。
【0006】この発明の目的は、自己検査能力を有する
スペース有効メモリ・アレイを提供することにある。
【0007】この発明の他の目的は、メモリ・アレイの
既存のデバイスを用い、埋込みメモリ・アレイの検査に
要素が独占的に用いられない、自己検査埋込みメモリ・
アレイを提供することにある。
【0008】この発明のさらに他の目的は、最小遅延で
機能データとインタフェースする、自己検査能力を持つ
メモリ・アレイを提供することにある。
【0009】これらの目的を達成するために、この発明
は、自己検査メモリ回路に関している。このメモリ回路
は、データを格納するメモリ・デバイスと、メモリ・デ
バイスに入力インタフェース境界を与えるLSSD入力
レジスタ列と、メモリ・デバイスに出力インタフェース
境界を与えるLSSD出力とを有している。付加された
検査回路が、メモリ・デバイスの機能性を検査する。検
査回路は、元の検査データを、LSSD入力レジスタ列
を経てメモリ・デバイスにシリアルに送る手段と、メモ
リ・デバイスの格納データをLSSD出力レジスタ列を
経てシリアルに受信し、受信したデータを、LSSD入
力レジスタ列に送られた元の検査データと比較する手段
とを有している。
【0010】この発明の方法によれば、まず初めに、元
の検査パターンを、第1の標準演算レジスタにシリアル
・フォーマットでロードする。次に、元の検査パターン
を、初段の標準演算レジスタから転送し、メモリ・アレ
イへパラレル・フォーマットでロードし、メモリ・アレ
イに格納検査パターンを与える。次に、メモリ・アレイ
の格納検査パターンを、第2の標準演算レジスタにパラ
レル・フォーマットでアンロードする。次に、取出され
た検査パターンを、第2の標準演算レジスタから比較デ
バイスへシリアル・フォーマットで送る。比較デバイス
では、取出された検査パターンを、元の検査パターンと
比較して、メモリ・アレイの機能性を調べる。
【0011】この発明の特徴によれば、検査データ(検
査ベクトル)をメモリ・アレイを経てチャネリングする
シリアルレジスタ転送を用いる自己検査回路を備えてい
る。
【0012】
【発明の実施の形態】大規模集積回路(LSIC)の密
度が増大するにつれて、埋込みアレイの機能性を検査す
ることがより困難となり、LSICの制限された数のピ
ンが検査のために利用されている。図3において、機能
論理デバイス22は、自己検査能力を持つ埋込みアレイ
20を有している。埋込みアレイ20は、自己検査開始
信号を受信する1つの入力19と、アレイの自己検査結
果を報告する1つの出力21とを有している。自己検査
能力を備えることによって、埋込みアレイ20に対する
検査入力/出力インタフェース要件を、最小にすること
ができる。
【0013】図1において、既知の埋込みアレイ20′
は、アレイ10の機能性を検査する自己検査回路18を
有している。入力レジスタ121 〜12n は、機能入力
データを受信する機能入力FI1 〜FIn と、マルチプ
レクサ16の1セットの入力に接続されたパラレル出力
とを有している。マルチプレクサ16の第2セットのパ
ラレル入力は、自己検査回路18のパラレル出力に接続
され、検査データT1〜Tn を受信する。マルチプレク
サ16のパラレル出力は、アレイ10のパラレル入力I
1 〜In に接続される。アレイ10は、自己検査回路1
8のパラレル入力、および出力レジスタ141 〜14m
の各機能入力に接続されたパラレル出力01 〜0m を有
している。
【0014】正常動作では、機能データは、機能入力レ
ジスタ121 〜12n の機能入力FI1 〜FIn に受信
され、機能入力レジスタ121 〜12n の各マスタ/ス
レーブ・ラッチのマスタ・セルMに、機能クロック(図
示せず)によって、クロック入力される。機能入力が各
マスタ・セルMにクロック入力されると、マスタ・セル
Mの出力は、マルチプレクサ16の第1セットの入力、
すなわち機能入力に送られる。マルチプレクサ16は、
また、制御入力(図示せず)を有している。この制御入
力により制御信号を受信して、マルチプレクサに機能入
力または検査入力をそれぞれ選択させる。正常動作で
は、制御信号がセットされて、マルチプレクサに、その
パラレル出力に接続されるべき入力として、機能入力を
選択させる。自己検査動作中、制御信号がセットされ
て、マルチプレクサに、その並列出力に接続されるべき
入力として、検査入力を選択させる。
【0015】アレイ10は、マルチプレクサ16のデー
タを受信し、適当な書込み処理信号(図示せず)に従っ
て格納する。同様に、アレイ10は、適当な読出し処理
信号(図示せず)に従って読出されて、その出力01
m に出力データD1 〜Dmを与える。正常な機能動作
では、出力データは、機能出力レジスタ141 〜14m
すなわち複数の順次マスタ/スレーブ・ラッチによっ
て、多機能論理デバイス22の他の回路に送られる。ア
レイ出力データD1 〜Dm は、機能出力レジスタ141
〜14m のマスタ/スレーブ・ラッチの各マスタ・セル
Mの入力に受信される。データは、機能クロック(図示
せず)によって、機能出力レジスタを構成する各マスタ
/スレーブ・ラッチのマスタ・セルMにクロック入力さ
れる。アレイ出力データD1 〜Dm が、マスタ・セルM
にクロック入力されると、マスタ・セルの出力は更新さ
れて、パラレル機能出力FO1 〜FOm を与え、これら
出力は多機能論理デバイス22の他の回路に与えられ
る。
【0016】機能入力レジスタおよび機能出力レジスタ
の機能性を検査するためには、既知の元のデータが入力
レジスタおよび出力レジスタにロードされて、レジスタ
をシリアルにシフトし、自己検査回路に入力する。受信
データは、既知の元のデータと比較されて、レジスタが
正しく動作していることを確認する。どのようにデータ
がレジスタ内をシフトされるかを理解するために、マス
タ/スレーブ・ラッチについて説明する。
【0017】レベル・センシティブ・スキャン構成(L
SSD)すなわち機能レジスタ列の1つのマスタ/スレ
ーブ・ラッチを、図5に示す。マスタ/スレーブ・ラッ
チのマスタ・セルMは、NANDゲート24,26,3
0,32,36,38と、インバータ28,34とを有
している。マスタ/スレーブ・ラッチのスレーブ・セル
Sは、NANDゲート40,42,44,46を有して
いる。マスタ・セルMは、4つの入力、すなわち機能入
力X,スキャンまたはシリアル入力SI,機能クロック
C,第1フェーズまたはスキャン・クロックAを有して
いる。スレーブ・セルSは、マスタ・セルMの各出力か
ら第1および第2の入力を、第2フェーズまたはスレー
ブ・クロックBとして第3の入力を受信する。機能出力
Yは、NANDゲート36,38によって与えられるラ
ッチ内容に従って、マスタ・セルMの出力に発生する。
シリアル出力SOは、スレーブ・セルSから発生して、
NANDゲート44,46のラッチ状態を反映する。
【0018】機能入力Xは、NANDゲート24の入力
およびインバータ28を介してNANDゲート26の入
力に接続される。NANDゲート24は、機能入力を直
接に受信し、NANDゲート26は、インバータ28に
より反転された機能入力Xを受信する。NANDゲート
24,26は、また、機能クロックCを受信する第2の
入力を有している。機能クロックCがハイ(high)
の場合、NANDゲート24,26は、機能入力Xに従
って出力を発生する。機能クロックCがロー(low)
の場合、NANDゲート24,26の出力はハイとな
る。
【0019】NANDゲート30,32は、それぞれス
キャン入力SIおよびインバータ34を介して反転スキ
ャン入力SIを受信する。NANDゲート30,32の
第2の入力は、スキャン・クロックAに接続される。ス
キャン・クロックがハイのとき、NANDゲート30,
32の出力は、スキャン入力SIの状態を反映する。ス
キャン・クロックAがローのとき、NANDゲート3
0,32の出力はハイである。
【0020】NANDゲート24,26,30,32か
らの出力信号がハイのとき、NANDゲート36,38
は、メモリ・ラッチを与える。この場合、NANDゲー
ト36,38の出力は、それらの前の出力状態を反映す
る。例えば、機能出力Yがハイであると仮定すると、N
ANDゲート36のハイ出力は、NANDゲート38の
入力に戻される。NANDゲート38は、また、2つの
他のハイ入力を受信する。したがって、ゲート38は、
ロー出力を与える。このロー出力は、NAND36の入
力に供給される。ロー入力によって、NANDゲート3
6は、ハイ出力を与え続ける。このようなメモリ・ラッ
チ機能性は、機能クロックCおよびスキャン・クロック
Aが共にローのとき、マスタ・セルMによって与えられ
る。
【0021】機能出力Yに、機能入力Xまたはスキャン
入力SIの状態を反映させるには、各クロック,機能ク
ロックC,またはスキャン・クロックAのうちの1つ
を、他のクロックをローにしたまま、ハイにする。した
がって、メモリ・ラッチ(NANDゲート36,38に
より与えられる)は、各NANDゲート24,26また
は各NANDゲート30,32から、ハイ/ロー入力お
よびロー/ハイ入力を受信し、受信した信号に従って、
機能出力Yを更新する。その後、関連クロック、すなわ
ち機能クロックCまたはスキャン・クロックAがローに
戻ると、NANDゲート24,26,30,32からの
全出力がハイとなり、メモリ・ラッチは現在の状態を保
持する。
【0022】メモリ・ラッチが機能入力Xに従って更新
されるには、機能クロックCを、スキャン・クロックA
をローにしたまま、ローからハイへ、そしてローへとサ
イクルする。対照的に、スキャン入力SIに従ってメモ
リ・ラッチが更新されるには、スキャン・クロックA
を、機能クロックCをローにしたまま、ローからハイ
へ、そしてローへとサイクルする。機能クロックCまた
はスキャン・クロックAのうちの1つのみが、一度にハ
イとなる。
【0023】マスタ・セルMの内容をスレーブ・セルS
へ送るには、スレーブ・クロックBを、ローからハイ
へ、そしてローへとサイクルする。スレーブ・クロック
Bがハイのとき、NANDゲート44,46を有するメ
モリ・ラッチが、更新されて、マスタ・セルMから受信
した入力に従って、スキャン出力SOを発生する。シリ
アル入力SIを、対としてのマスタ・セルMとスレーブ
・セルSとの両方を通過させるには、機能クロックCは
ローのままで、スキャン・クロックAを最初にローから
ハイへサイクルする。このことは、スキャン入力SIを
マスタ・セルMを経て通過させて、したがって機能出力
Yを更新する。マスタ・セルMが更新されると、スキャ
ン・クロックAはローに戻り、メモリ・ラッチ36,3
8によるマスタ・セルMは、スレーブ・セルSの入力に
与えられる値を保持する。スレーブ・セルSへの入力が
このように安定化されると、スレーブ・クロックBがロ
ーからハイになって、マスタ・セルMの内容がスレーブ
・セルSのシリアル出力SOに送られる。その後、スレ
ーブ・クロックBは、ローに戻る。このことは、LSS
Dレジスタ列を構成する機能レジスタの1つのマスタ/
スレーブ・ラッチに対する、シリアルモードの動作を与
える。
【0024】LSSDレジスタ列の動作を、図4に基づ
いて説明する。図4には、3つのマスタ/スレーブ・ラ
ッチが、直列シーケンスに接続されて示されている。第
1のマスタ・セル50は、スキャン入力SI1 と機能入
力X1 を受信する。第1のマスタ・セル50は、第1の
機能出力Y1 を与える。マスタ・セル50の出力はま
た、スレーブ・セル52の入力に接続される。スレーブ
・セル52からのシリアル出力SO1 は、第2のマスタ
・セル54のシリアル入力SI2 に戻される。マスタ・
セル54はまた、第2の機能入力X2 を受信する。第2
のマスタ・セル54の出力は、第2の機能出力Y2 を与
える。出力Y2 はまた、第2のスレーブ・セル56の入
力に接続される。スレーブ・セル56の出力は、シリア
ル出力SO2 を与える。出力SO2 は、第3のマスタ・
セル58のシリアル入力SI3 に戻される。第3のマス
タ・セル58はまた、第3の機能入力X3 を受信する。
第3のマスタ・セル58の出力は、第3の機能出力Y3
を与える。出力Y3 はまた、第3のスレーブ・セル60
の入力に接続される。レジスタ列の最終のスレーブ・セ
ル60は、シリアル出力SO3 を与える。この出力SO
3 は、全レジスタ列のシリアル出力となる。
【0025】LSSDレジスタ列をパラレル・モードで
動作させるには、パラレル・データを、各マスタ・セル
の機能入力X1 ,X2 ,X3 に与え、機能クロックCを
ローからハイへ、そしてローへとサイクルする。この場
合、他のクロック,スキャン・クロックA,およびスレ
ーブ・クロックBはローのままである。その結果、機能
入力は、各マスタ・セル50,54,58へクロック入
力され、関連する機能出力Y1 ,Y2 ,Y3 を更新す
る。
【0026】シリアル・モードでは、LSSD機能レジ
スタ列にデータをシリアルにシフトするには、機能クロ
ックCをローに保持して、スキャン・クロックAおよび
スレーブ・クロックBを、互いに順次にサイクルする。
まず最初に、スキャン・クロックAはハイにされ、スレ
ーブ・クロックBはローのままとされる。次に、スキャ
ン・クロックAがローに戻され、スレーブ・クロックB
がローからハイへ、そしてローへとサイクルされる。こ
のようにすることによって、関連するシリアル入力から
各マスタ・セルにシフトされ、そして関連するスレーブ
・セルへシフトされる。このようなスキャン・クロック
A/スレーブ・クロックBのシーケンスを3回繰り返す
ことによって、第1のマスタ・セル50でのスキャン入
力SIが、3つのマスタ/スレーブ・ラッチを経て送ら
れて、第3のスレーブ・セル60のシリアル出力SO3
に現れる。
【0027】図1の既知の自己検査埋込みメモリ・アレ
イ回路20′は、自己検査回路18を有している。この
自己検査回路は、機能入力レジスタ列121 〜12n
クロックAおよびB(図示せず)をシーケンスして、既
知の入力データで、入力レジスタ121 〜12n の機能
性を検査する。機能入力レジスタ列が機能に対して検査
されるように、出力レジスタ列14a 〜14m が、適切
な機能性に対してシリアルに検査される。機能入力およ
び出力レジスタは、図4において説明したように、機能
クロックC,スキャン・クロックA,スレーブ・クロッ
クBを受信する。しかし、図1および図2においては、
これらクロックは、ブロック図を簡略にするため省略さ
れている。当業者であれば、機能入力レジスタ列および
機能出力レジスタ列を動作させるために、適当なクロッ
キング・シーケンスが与えられることを理解するであろ
う。
【0028】入力および出力機能レジスタ列が検査され
ると、次にアレイ10が、自己検査回路18からの検査
ベクトルを用いて検査される。自己検査回路18は、検
査ベクトルT1 〜Tn を送出する。検査ベクトルは、マ
ルチプレクサ16の検査入力に与えられる。前述したよ
うに、マルチプレクサ16の制御ライン(図示せず)
は、マルチプレクサの出力に接続される入力として、検
査入力T1 〜Tn を選択するように、セットされる。マ
ルチプレクサ16のパラレル検査入力でのデータは、ア
レイ10のパラレル入力I1 〜In に送られる。適当な
書込み信号(図示せず)が、自己検査回路18からアレ
イ10に供給され、アレイ10は供給された検査データ
を適切に取込んで格納する。検査データがアレイ10に
よって取込まれると、適当な読出し信号(図示せず)が
自己検査回路18からアレイ10に供給され、出力デー
タD1 〜Dm が、自己検査回路18へのパラレル入力と
して、アレイ10から取出される。出力ベクトルD1
n は、元の検査ベクトルと比較されて、アレイ10の
適切な機能性を調べる。1つの検査ベクトルでアレイ1
0を検査した後に、自己検査回路18により発生された
連続走査ベクトルのシーケンスが、同様にアレイ10を
通過して、アレイの種々の位置を検査する。
【0029】“n”本のパラレル・ラインを、自己検査
回路18からマルチプレクサ16へルーティングし、マ
ルチプレクサ16の検査入力に検査ベクトルT1 〜Tn
を供給するには、十分な基板レイアウト・スペースが必
要とされる。同様に、アレイ10の出力から自己検査回
路18の入力への“m”本のパラレル・ラインは、アレ
イ10から自己検査回路18へ出力データD1 〜Dm
送るのに、十分な基板レイアウト・スペースを必要とす
る。さらに、マルチプレクサ16自体は、アレイ10へ
の“n”入力の2:1選択を与えるためのスペースを必
要とする。スペースの要求に加えて、自己検査能力を有
するアレイ20′に対するこの既知のトポロジは、正常
動作では、マルチプレクサ16と、アレイ出力を自己検
査回路18に接続する“m”個の出力タップの容量性負
荷とによって導入される遅延のために、性能が制限され
ている。
【0030】図2において、この発明は、正常動作にお
ける性能が改善され、アレイへのインタフェースがシリ
アルLSSDレジスタ列によって与えられる、スペース
の有効自己検査埋込みアレイを提供する。その結果、
“n”本のパラレル入力ラインが除去され、入力マルチ
プレクサ16が除去され、アレイの出力から自己検査回
路の入力への“m”個のパラレル出力タップが除去され
る。代わりに、1本のスキャン入力データ・ラインが、
自己検査回路18′から機能入力レジスタ列の初段の入
力レジスタへ設けられ、1本のシリアル出力データ・ラ
インが、機能出力レジスタ列の最終段の出力レジスタを
自己検査回路18′に接続する。
【0031】この発明によれば、機能入力レジスタ列1
1 〜12n は、アレイ10の各入力I1 ,I2 …In
に接続される機能出力を有している。アレイ10の出力
1,O2 …Om は、機能出力レジスタ列141 ,14
2 …14m の各機能入力に接続される。機能入力レジス
タ列のSCAN INは、自己検査回路18′のシリア
ル出力に接続されて、シリアル入力データを受信し、一
方、機能出力レジスタ列のSCAN OUTは、自己検
査回路18′のシリアル入力に接続されて、シリアル出
力データを送出する。
【0032】動作中、自己検査回路18′は、その実行
入力19に、自己検査実行命令を受信する。そして、自
己検査回路18′の内部有限状態マシンが、検査ベクト
ルのシーケンスを機能入力レジスタ列に送るルーチンの
実行を開始して、アレイ10を検査する。検査ベクトル
は、自己検査回路18′のシリアル出力から、マスタ/
スレーブ・ラッチ121 ,122 …12n が直列シーケ
ンスに形成された機能入力レジスタ列のSCAN IN
へシリアルに送られる。元の検査データT1 〜Tn は、
前述した適当なスキャン・クロックAおよびスレーブ・
クロックBのシーケンス(これらクロックは、図2の簡
略化されたブロック図には示されていない)を用いて入
力レジスタへシリアルにロードされる。元の検査ベクト
ルが機能入力レジスタ列にシリアルにロードされると、
適当な書込み信号(図示せず)が自己検査回路18′か
らアレイ10へ供給され、アレイ10はそのパラレル入
力I1 ,I2 …In に供給される検査ベクトルを取込
む。これら検査ベクトルは、機能入力レジスタ列121
〜12n の各機能出力から与えられる。
【0033】次に、適当な読出し信号(図示せず)が、
自己検査回路18′からアレイ10に供給されて、アレ
イ10の格納データが取出される。機能出力レジスタ列
の機能クロックC(図示せず)はサイクルされ、その結
果、機能出力レジスタ列は、その機能入力にパラレル
に、アレイ10の出力O1 ,O2 …Om に発生するデー
タを取込む。出力結果を集めるには、機能出力レジスタ
列を、シリアル・モードで動作させ、SCAN OUT
からのデータ内容をシリアルに、自己検査回路18′の
シリアル入力に送る。前述したように、機能出力レジス
タ列の機能クロックCはローに保たれ、一方、スキャン
・クロックAおよびスレーブ・クロックB(図示せず)
は、適切にシーケンスされ、データは、機能出力レジス
タを経て、自己検査回路18′にシリアルにシフトされ
る。自己検査回路18′が、アレイ10の格納データを
受信すると、取出されたデータが元の検査ベクトルと比
較されて、アレイの適切な機能性を調べる。これは、ア
レイ10のすべてのセルを検査するのに必要な回数だ
け、新しい検査ベクトルで繰り返される。すべての検査
が終了すると、合格/不合格状態が、埋込みアレイ10
に対して調べられた機能性に従って、自己検査回路1
8′から出力21へ送られる。
【0034】自己検査回路18′の内部状態マシン(図
2)は、図6に示されるフローチャートに従って構成さ
れる。自己検査回路18′の実行入力19に実行信号が
受信される。この場合、状態マシンは、アイドル状態6
2にされ、ステップ64に進む。ステップ64では、最
初の検査ベクトルが用意されて、機能入力レジスタ列に
送られる。ステップ66および68では、スキャン・ク
ロックAおよびスレーブ・クロックBがシリアルにシー
ケンスされて、最初の検査ベクトルの最初のデータビッ
トを、機能入力レジスタ列に送る。ステップ70では、
最初の検査ベクトルの最終データビットが送出されたか
否かが調べられる。最初の検査ベクトルの最終データビ
ットが送出されなかった場合には、ステップ66および
68が再び繰り返されて、最初の検査ベクトルの連続す
るデータビットを送出する。最初の検査ベクトルの最終
データビットが送出されると、状態マシンはステップ7
2に進む。ステップ72では、機能入力レジスタ列にロ
ードされたデータが、機能入力レジスタ列からパラレル
に転送され、アレイ10に書込まれる。ステップ74で
は、アレイ10から格納データが読出され、機能出力レ
ジスタ列にパラレルにロードされる。ステップ76およ
び78では、スキャン・クロックAおよびスレーブ・ク
ロックBが再びサイクルされて、機能出力レジスタ列か
ら自己検査回路へ、データをシフトする(一度に1ビッ
ト)。取出された回収データは、最初の検査ベクトルの
対応するビットと比較されて、アレイ10の適切な機能
性が調べられる。回収検査ベクトルの特定のビットが、
最初の検査ベクトルの対応ビットに一致しなければ、ス
テップ82で誤り状態が報告され、状態マシンはそのア
イドル状態62に戻る。データビットが最初の検査ベク
トルの対応データビットに一致するとすれば、状態マシ
ンは、ステップ84に移る。このステップでは、すべて
のデータビットが機能出力レジスタ列から回収されたか
否かを調べる。最後のデータビットが取出されなかった
ならば、状態マシンはステップ76,78,80を繰り
返して、回収検査ベクトルの連続するデータビットを検
査する。回収検査ベクトルが最初の検査ベクトルと完全
に比較されると、状態マシンはステップ86に進む。こ
のステップでは、アレイ10を検査するのに利用される
すべての検査ベクトルがアレイを通過したか否かを調べ
る。アレイ10のすべての位置が適切に検査されたなら
ば、状態マシンは誤りを報告することなしに、そのアイ
ドル状態62に戻る。そうでなければ、一定のシーケン
スの次の検査ベクトルが与えられ、ステップ66に戻
り、新しい検査ベクトルをアレイ10に送る。
【0035】明らかなように、自己検査回路へのパラレ
ル入力および自己検査回路からのパラレル出力は、マル
チプレクサと共に除去されて、埋込みアレイが設けられ
る機能デバイス上でのスペース利用を改善している。ま
た、正常動作に対して、機能入力からアレイ10の入力
への伝播遅延は、マルチプレクサ16′の除去によって
最小化された。さらに、アレイ10の出力ノードO1
2 …Om での出力キャパシタンスは、従来技術の回路
で必要とされるパラレル出力タップを除去することによ
って、減少した。したがって、改善されたスペース効率
と、正常動作中の改善されたメモリ入力/出力アクセス
を有する、自己検査回路を持つアレイを開示した。
【0036】この発明を、特に好適な実施例で説明した
が、当業者であれば、形態または細部の種々の変更を、
この発明の趣旨と範囲から逸脱することなく、行うこと
ができることがわかる。
【0037】まとめとして、本発明の構成に関して以下
の事項を開示する。 (1)メモリ・アレイを自己検査する方法であって、元
の検査パターンを、シリアル・フォーマットで、第1の
標準演算レジスタにロードするステップと、前記元の検
査パターンを、パラレル・フォーマットで、第1の標準
演算レジスタから前記メモリ・アレイに転送して、格納
された検査パターンを作成するステップと、前記格納さ
れた検査パターンを、パラレル・フォーマットで、前記
メモリ・アレイから第2の標準演算レジスタにアンロー
ドするステップと、前記格納された検査パターンを、取
出された検査パターンとして、シリアル・フォーマット
で、第2の標準演算レジスタから比較デバイスへ送出す
るステップと、取出された検査パターンを、前記元の検
査パターンと比較するステップと、を含む方法。 (2)前記第1および第2の標準演算レジスタの各々
が、関連するレジスタがシリアル・データを受信し転送
することを可能にするために、第1の状態と第2の状態
との間で動作するスキャン・クロック信号を受信するス
キャン・クロック入力と、関連する前記レジスタがパラ
レル・データを受信し転送することを可能にするため
に、第1の状態と第2の状態との間で動作する機能クロ
ック信号を受信する機能クロック入力とを有する、請求
項1に記載の方法であって、前記第1の標準演算レジス
タにロードするステップは、第1の標準演算レジスタに
送られてきた前記スキャン・クロック信号を、複数回サ
イクルして、第1の標準演算レジスタが、前記元の検査
パターンをシリアル・フォーマットで受信することを可
能にするステップを含み、前記第2の標準演算レジスタ
にアンロードするステップは、第2の標準演算レジスタ
に送られてきた前記機能クロック信号をサイクルして、
第2の標準演算レジスタが、前記格納された検査パター
ンをパラレル・フォーマットで受信することを可能にす
るステップを含み、前記比較デバイスへの送出ステップ
は、第2の標準演算レジスタに送られてきた前記スキャ
ン・クロック信号を複数回サイクルして、第2の標準演
算レジスタが、格納された検査パターンをシリアル・フ
ォーマットで送出することを可能にするステップを含
む、方法。 (3)自己検査能力を有するメモリ回路であって、デー
タを格納するメモリ手段と、前記メモリ手段に入力イン
タフェース境界を与える入力レジスタ列と、前記メモリ
手段に出力インタフェース境界を与える出力レジスタ列
と、前記入力レジスタ列に元の検査データをシリアルに
ロードする手段と、前記入力レジスタ列にロードされた
データを、前記メモリ手段にパラレルに格納する手段
と、前記メモリ手段に格納されたデータを取出し、取出
されたデータを、前記出力レジスタ列にパラレルにロー
ドする手段と、前記出力レジスタ列から、前記取出され
たデータをシリアルに受信し、受信した前記取出された
データを前記元の検査データと比較する手段と、を備え
るメモリ回路。 (4)前記入力レジスタ列は、複数のマスタ/スレーブ
・ラッチを直列シーケンス中に備え、前記直列シーケン
スの複数のマスタ/スレーブ・ラッチのうちの初段のラ
ッチは、前記シリアルにロードする手段から、前記元の
検査データを受信するシリアル入力を有し、前記直列シ
ーケンスの複数のマスタ/スレーブ・ラッチのうちの他
の各ラッチは、前記直列シーケンスにおける前段のマス
タ/スレーブ・ラッチのシリアル出力に接続されたシリ
アル入力を有し、各マスタ/スレーブ・ラッチは、各機
能データを受信する機能入力と、前記メモリ手段の各入
力に接続され、前記各マスタ/スレーブ・ラッチのデー
タ内容を送出する機能出力と、前記ロード手段の各出力
に接続され、各マスタ/スレーブ・ラッチに、そのシリ
アル入力またはその機能入力からデータをラッチさせる
各クロック信号を受信する、スキャン・クロック入力お
よび機能クロック入力とを有する、上記(3)に記載の
メモリ回路。 (5)前記シリアルにロードする手段が、前記直列シー
ケンスにおける複数のマスタ/スレーブ・ラッチのうち
の前記初段のラッチのシリアル入力にシリアルに送られ
た前記元の検査データに相当するデータの直列シーケン
スを発生する、有限状態マシンを有する、上記(4)に
記載のメモリ回路。 (6)前記メモリ回路が、多機能論理デバイス内に埋込
まれている、上記(5)に記載のメモリ回路。 (7)前記出力レジスタ列が、複数のマスタ/スレーブ
・ラッチを直列シーケンス中で有し、前記直列シーケン
スにおける複数のマスタ/スレーブ・ラッチのうちの最
終段のラッチは、前記受信および比較手段に、前記取出
されたデータをシリアルに送出するシリアル出力を有
し、前記直列シーケンスにおける複数のマスタ/スレー
ブ・ラッチのうちの他の各ラッチは、前記直列シーケン
スにおける次段のマスタ/スレーブ・ラッチのシリアル
入力に接続されたシリアル出力を有し、各マスタ/スレ
ーブ・ラッチは、前記メモリ手段の各出力に接続され、
前記メモリ手段に格納され、かつ、前記メモリ手段から
取出された前記データの相当ビットを受信する機能入力
と、前記取出しおよびロード手段と前記受信手段の各出
力に接続され、各マスタ/スレーブ・ラッチに、そのシ
リアル入力またはその機能入力からデータをラッチさせ
る、スキャン・クロックおよび機能クロック入力とを有
する、上記(3)に記載のメモリ回路。 (8)前記シリアルにロードする手段は、前記入力レジ
スタ列に送られる前記元の検査データに相当する、デー
タの直列シーケンスを発生する有限状態マシンを有す
る、上記(3)に記載のメモリ回路。 (9)前記メモリ回路が、多機能論理デバイス内に埋込
まれている、上記(3)に記載のメモリ回路。 (10)自己検査能力を有するメモリ回路であって、デ
ータを格納するメモリ手段と、前記メモリ手段に入力お
よび出力インタフェース境界を与えるレジスタ列とを備
え、前記レジスタ列の入力サブセットは、前記入力イン
タフェース境界を与え、前記レジスタ列の出力サブセッ
トは、前記出力インタフェース境界を与え、前記レジス
タ列の入力サブセットに、元の検査データをシリアルに
ロードする手段と、前記レジスタ列の入力サブセットに
ロードされたデータを、前記メモリ手段にパラレルに格
納する手段と、前記メモリ手段に格納されたデータを取
出し、取出されたデータを、前記レジスタ列の出力サブ
セットにパラレルにロードする手段と、前記レジスタ列
の出力サブセットから、前記取出されたデータをシリア
ルに受信し、受信した前記取出しデータを前記元の検査
データと比較する手段と、を備えるメモリ回路。 (11)前記レジスタ列は、複数のマスタ/スレーブ・
ラッチを直列シーケンスに備え、前記直列シーケンスの
初段のマスタ/スレーブ・ラッチは、前記ロード手段か
ら前記元の検査データをシリアルに受信するシリアル入
力を有し、前記直列シーケンスの最終段のマスタ/スレ
ーブ・ラッチは、前記取出されたデータを、受信および
比較する前記手段にシリアルに送出するシリアル出力を
有し、前記直列シーケンスの他の各マスタ/スレーブ・
ラッチは、前記直列シーケンスにおける前段のマスタ/
スレーブ・ラッチのシリアル出力に接続されたシリアル
入力と、前記直列シーケンスにおける次段のマスタ/ス
レーブ・ラッチのシリアル入力に接続されたシリアル出
力とを有し、各マスタ/スレーブ・ラッチは、機能入力
と、機能出力と、スキャン・クロック入力と、機能クロ
ック入力とを有し、前記クロック入力は、前記ロード手
段および前記取出し手段に接続され、各マスタ/スレー
ブ・ラッチに、そのシリアル入力またはその機能入力か
らデータをラッチさせる各クロック信号を受信し、前記
入力サブセットに関連した前記マスタ/スレーブ・ラッ
チは、前記メモリ手段の各入力に接続され、前記メモリ
手段の入力サブセットにロードされた前記元の検査デー
タを、前記メモリ手段にパラレルに送る機能出力を有
し、前記出力サブセットに関連した前記マスタ/スレー
ブ・ラッチは、前記メモリ手段の各出力に接続され、前
記メモリ手段から、前記演算されたデータをパラレルに
受信する機能入力を有する、上記(10)に記載のメモ
リ回路。 (12)前記ロード手段は、前記直列シーケンスの前記
初段のマスタ/スレーブ・ラッチのシリアル入力にシリ
アルに送られる前記元の検査データに相当するデータの
直列シーケンスを発生し、前記レジスタ列の前記入力サ
ブセットにロードする、有限状態マシンを有する、上記
(11)に記載のメモリ回路。 (13)多機能論理デバイス内に埋込まれている、上記
(11)に記載のメモリ回路。 (14)前記ロード手段は、前記レジスタ列にシリアル
に送られる前記元の検査データに相当するデータの直列
シーケンスを発生し、前記レジスタ列の前記入力サブセ
ットにロードする、有限状態マシンを有する、上記(1
0)に記載のメモリ回路。 (15)多機能論理デバイス内に埋込まれている、上記
(10)に記載のメモリ回路。
【図面の簡単な説明】
【図1】既知の自己検査アレイ回路のブロック図であ
る。
【図2】この発明による自己検査アレイ回路のブロック
図である。
【図3】多機能論理デバイス内に埋込まれた、この発明
の自己検査メモリ回路を示す簡略図である。
【図4】LSSDレジスタ列の機能ブロック図である。
【図5】LSSDレジスタ列の1つのマスタ/スレーブ
・セルの概略図である。
【図6】内部状態マシンの構成を示すフローチャートで
ある。
【符号の説明】
10 アレイ 12 入力レジスタ 14 出力レジスタ 18′ 自己検査回路 20 埋込みアレイ 50,54,58 マスタ・セル 52,56,60 スレーブ・セル

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】メモリ・アレイを自己検査する方法であっ
    て、 元の検査パターンを、シリアル・フォーマットで、第1
    の標準演算レジスタにロードするステップと、 前記元の検査パターンを、パラレル・フォーマットで、
    第1の標準演算レジスタから前記メモリ・アレイに転送
    して、格納された検査パターンを作成するステップと、 前記格納された検査パターンを、パラレル・フォーマッ
    トで、前記メモリ・アレイから第2の標準演算レジスタ
    にアンロードするステップと、 前記格納された検査パターンを、取出された検査パター
    ンとして、シリアル・フォーマットで、第2の標準演算
    レジスタから比較デバイスへ送出するステップと、 取出された検査パターンを、前記元の検査パターンと比
    較するステップと、を含む方法。
  2. 【請求項2】前記第1および第2の標準演算レジスタの
    各々が、関連するレジスタがシリアル・データを受信し
    転送することを可能にするために、第1の状態と第2の
    状態との間で動作するスキャン・クロック信号を受信す
    るスキャン・クロック入力と、関連する前記レジスタが
    パラレル・データを受信し転送することを可能にするた
    めに、第1の状態と第2の状態との間で動作する機能ク
    ロック信号を受信する機能クロック入力とを有する、請
    求項1に記載の方法であって、 前記第1の標準演算レジスタにロードするステップは、
    第1の標準演算レジスタに送られてきた前記スキャン・
    クロック信号を、複数回サイクルして、第1の標準演算
    レジスタが、前記元の検査パターンをシリアル・フォー
    マットで受信することを可能にするステップを含み、 前記第2の標準演算レジスタにアンロードするステップ
    は、第2の標準演算レジスタに送られてきた前記機能ク
    ロック信号をサイクルして、第2の標準演算レジスタ
    が、前記格納された検査パターンをパラレル・フォーマ
    ットで受信することを可能にするステップを含み、 前記比較デバイスへの送出ステップは、第2の標準演算
    レジスタに送られてきた前記スキャン・クロック信号を
    複数回サイクルして、第2の標準演算レジスタが、格納
    された検査パターンをシリアル・フォーマットで送出す
    ることを可能にするステップを含む、方法。
  3. 【請求項3】自己検査能力を有するメモリ回路であっ
    て、 データを格納するメモリ手段と、 前記メモリ手段に入力インタフェース境界を与える入力
    レジスタ列と、 前記メモリ手段に出力インタフェース境界を与える出力
    レジスタ列と、 前記入力レジスタ列に元の検査データをシリアルにロー
    ドする手段と、 前記入力レジスタ列にロードされたデータを、前記メモ
    リ手段にパラレルに格納する手段と、 前記メモリ手段に格納されたデータを取出し、取出され
    たデータを、前記出力レジスタ列にパラレルにロードす
    る手段と、 前記出力レジスタ列から、前記取出されたデータをシリ
    アルに受信し、受信した前記取出されたデータを前記元
    の検査データと比較する手段と、を備えるメモリ回路。
  4. 【請求項4】前記入力レジスタ列は、複数のマスタ/ス
    レーブ・ラッチを直列シーケンス中に備え、 前記直列シーケンスの複数のマスタ/スレーブ・ラッチ
    のうちの初段のラッチは、前記シリアルにロードする手
    段から、前記元の検査データを受信するシリアル入力を
    有し、 前記直列シーケンスの複数のマスタ/スレーブ・ラッチ
    のうちの他の各ラッチは、前記直列シーケンスにおける
    前段のマスタ/スレーブ・ラッチのシリアル出力に接続
    されたシリアル入力を有し、 各マスタ/スレーブ・ラッチは、各機能データを受信す
    る機能入力と、前記メモリ手段の各入力に接続され、前
    記各マスタ/スレーブ・ラッチのデータ内容を送出する
    機能出力と、前記ロード手段の各出力に接続され、各マ
    スタ/スレーブ・ラッチに、そのシリアル入力またはそ
    の機能入力からデータをラッチさせる各クロック信号を
    受信する、スキャン・クロック入力および機能クロック
    入力とを有する、請求項3記載のメモリ回路。
  5. 【請求項5】前記シリアルにロードする手段が、前記直
    列シーケンスにおける複数のマスタ/スレーブ・ラッチ
    のうちの前記初段のラッチのシリアル入力にシリアルに
    送られた前記元の検査データに相当するデータの直列シ
    ーケンスを発生する、有限状態マシンを有する、請求項
    4記載のメモリ回路。
  6. 【請求項6】前記メモリ回路が、多機能論理デバイス内
    に埋込まれている、請求項5記載のメモリ回路。
  7. 【請求項7】前記出力レジスタ列が、複数のマスタ/ス
    レーブ・ラッチを直列シーケンス中で有し、 前記直列シーケンスにおける複数のマスタ/スレーブ・
    ラッチのうちの最終段のラッチは、前記受信および比較
    手段に、前記取出されたデータをシリアルに送出するシ
    リアル出力を有し、 前記直列シーケンスにおける複数のマスタ/スレーブ・
    ラッチのうちの他の各ラッチは、前記直列シーケンスに
    おける次段のマスタ/スレーブ・ラッチのシリアル入力
    に接続されたシリアル出力を有し、 各マスタ/スレーブ・ラッチは、前記メモリ手段の各出
    力に接続され、前記メモリ手段に格納され、かつ、前記
    メモリ手段から取出された前記データの相当ビットを受
    信する機能入力と、前記取出しおよびロード手段と前記
    受信手段の各出力に接続され、各マスタ/スレーブ・ラ
    ッチに、そのシリアル入力またはその機能入力からデー
    タをラッチさせる、スキャン・クロックおよび機能クロ
    ック入力とを有する、請求項3記載のメモリ回路。
  8. 【請求項8】前記シリアルにロードする手段は、前記入
    力レジスタ列に送られる前記元の検査データに相当す
    る、データの直列シーケンスを発生する有限状態マシン
    を有する、請求項3記載のメモリ回路。
  9. 【請求項9】前記メモリ回路が、多機能論理デバイス内
    に埋込まれている、請求項3記載のメモリ回路。
  10. 【請求項10】自己検査能力を有するメモリ回路であっ
    て、 データを格納するメモリ手段と、 前記メモリ手段に入力および出力インタフェース境界を
    与えるレジスタ列とを備え、前記レジスタ列の入力サブ
    セットは、前記入力インタフェース境界を与え、前記レ
    ジスタ列の出力サブセットは、前記出力インタフェース
    境界を与え、 前記レジスタ列の入力サブセットに、元の検査データを
    シリアルにロードする手段と、 前記レジスタ列の入力サブセットにロードされたデータ
    を、前記メモリ手段にパラレルに格納する手段と、 前記メモリ手段に格納されたデータを取出し、取出され
    たデータを、前記レジスタ列の出力サブセットにパラレ
    ルにロードする手段と、 前記レジスタ列の出力サブセットから、前記取出された
    データをシリアルに受信し、受信した前記取出しデータ
    を前記元の検査データと比較する手段と、を備えるメモ
    リ回路。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2004206751A (ja) * 2002-12-24 2004-07-22 Matsushita Electric Ind Co Ltd 半導体装置
JP2009301676A (ja) * 2008-06-17 2009-12-24 Fujitsu Ltd 半導体装置

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JP2009301676A (ja) * 2008-06-17 2009-12-24 Fujitsu Ltd 半導体装置

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