JPH08255022A

JPH08255022A - テーブル移動装置

Info

Publication number: JPH08255022A
Application number: JP5840295A
Authority: JP
Inventors: Noboru Kobayashi; 登小林; Masanobu Akeno; 公信明野
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1995-03-17
Filing date: 1995-03-17
Publication date: 1996-10-01

Abstract

(57)【要約】【目的】ローラとロッドの過大滑り発生に伴う磨耗増大
および損傷を極力抑制し、耐久性を向上させることが可
能なテーブル移動装置を提供することを目的とする。【構成】第１ローラ４と第２ローラ５とに狭持され第２
ローラ５の回転により所定方向に移動可能なロッド６
と、第２ローラ５を回転させる回転駆動手段１２の回転
情報を検出する回転位置検出手段１５と、ロッド６の位
置情報を得る移動体位置検出手段１７と、第２ローラ５
の回転位置情報１４と移動体の位置情報１６との偏差を
演算する偏差検出手段１９と、偏差量から第２ローラ５
とロッド６の滑り状態を判定する比較手段２１とから構
成されるテーブル移動装置であり、第２ローラ５とロッ
ド６の接触による磨耗や損傷を防止することにより、テ
ーブル移動装置の耐久性を向上させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、テーブル移動装置に係
り、特に半導体製造装置で使用されるマスク、ウェハな
どを微小位置決めしたり、顕微鏡の試料微動ステージを
微小位置決めするためのテーブル移動装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、ＬＳＩ（Ｌａｒｇｅ−Ｓｃａｌｅ
Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄｃｉｒｃｕｉｔ）など半導体
装置の微細化に伴い、半導体製造装置あるいは検査装置
などに用いられるテーブル移動装置は、高い位置決め精
度、走行精度が要求される。

【０００３】また、連続的に一定速度で露光あるいは検
査を行う装置に用いられるテーブル移動装置には、摩擦
駆動方式を利用した駆動装置が多くなってきている。こ
こで摩擦駆動方式とは、テーブルに接続された丸棒ある
いは角棒形状のロッドを複数の駆動ローラで挟み、駆動
ローラをモータ等で回転させることによりロッドを直線
変位させ、結果的にテーブルを直線駆動させる方式であ
る。

【０００４】この摩擦駆動方式の特徴は、従来のボール
ネジ・ナット駆動方式において使用されるボール等を用
いていないため、ボールの循環に起因する振動および騒
音が全く発生しないこと、ローラの製作精度を向上させ
ることによりローラの回転によりロッドの変位誤差量を
大幅に減らすことができるため（微小位置決めが可能と
なること）、テーブル移動速度が速い場合でもローラの
回転速度は低いので、たとえローラの偏心があっても速
度変動の周期が長くなり振動の原因とはなりにくいこ
と、などがあげられる。

【０００５】以下、このような摩擦駆動方式を用いた従
来のテーブル移動装置について図５のブロック構成図を
参照しながら説明していく。機構ベース１０１には、ハ
ウジング１０２およびエアスライダ等の案内手段１０３
が支持されている。ハウジング１０２には、回転自在に
支持された第１ローラ１０４および第２ローラ１０５が
あり、第１ローラ１０４および第２ローラ１０５の軸動
面でロッド１０６（移動体）を狭持している。

【０００６】さらにハウジング１０２には、ロッド１０
６に対する第１ローラ１０４および第２ローラ１０５の
接触圧力を一定に付与するバネ等の予圧発生手段１０７
が設けられている。また、案内手段１０３上には、テー
ブル１０９（移動体）にロッド１０６が接続された構造
となっている。

【０００７】また、第２ローラ１０５の回転軸に接続さ
れ、第２ローラ１０５を回転させるモータ等の回転駆動
手段１１２が備えられている。そして、回転駆動手段１
１２を駆動させテーブル１０９の位置、速度を制御する
回転制御手段１１３と、テーブル１０９の移動体位置情
報１１５を得るリニアセンサ等の移動体位置検出手段１
１４が設けられている。

【０００８】次に、この様な構成をしているテーブル移
動装置の動作について説明していく。テーブル１０９
は、第２ローラ１０５の回転運動によりロッド１０６を
介して、所定の方向に直線駆動される。

【０００９】ここで、あらかじめ第１ローラ１０４およ
び第２ローラ１０５とロッド１０６の接触圧力は、予圧
発生手段１０７が一定の予圧を第１ローラ１０４に加え
て制御している。

【００１０】また、テーブル１０９の位置、速度は、回
転駆動手段１１２の回転状態量に基づいて回転制御手段
１１３に入力されるあらかじめ決められた所定の目標と
なる位置指令と、テーブルの移動状態を移動体位置検出
手段１１４によって移動体位置情報１１５として検出
し、得られた移動体位置情報１１５と比較し、その比較
結果に基づいて第２ローラ１０５の回転駆動を制御して
いる。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】以上説明したように従
来のテーブル移動装置は、半導体製造装置で使用される
マスク、ウェハ等を微小位置決めしたり、光学関係や顕
微鏡の試料微動ステージ等を微小位置決めするためのテ
ーブル移動装置など長期に亘る高頻度動作が必要な用途
では、第２ローラおよびロッドの接触による磨耗により
耐久性および高精度な駆動を可能にするには十分でな
い。また、耐久性を向上させるには製作コストは高くな
るが、ローラやモータを大型化するしかない。すると、
テーブル移動装置の分解および交換が困難になってく
る。

【００１２】また、上述のようなテーブル移動装置で
は、テーブルを所定の方向に直線駆動している時、また
は駆動を開始した時に、回転駆動手段が異常回転力（暴
走あるいは振動）を発生する場合があり、その場合には
駆動ローラとなる第２ローラとロッドの滑り状態を監視
することができない。そのため、第２ローラとロッドと
の間に過大滑りが生じる。

【００１３】その後も第２ローラが回転運動を続行する
と、第１ローラおよび第２ローラおよびロッドの間の磨
耗および損傷に大きく影響を与え、摩擦駆動方式のテー
ブル移動装置の耐久性に問題が生じてくる。

【００１４】本発明は上記従来の技術の問題点に鑑み、
ローラとロッドの過大滑り発生に伴う磨耗増大および損
傷を極力抑制し、耐久性を向上させることが可能なテー
ブル移動装置を提供することを目的としている。

【００１５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明では以下のテーブル移動装置を提供する。す
なわち、ハウジング内に回転自在に支持される第１ロー
ラおよび第２ローラと、前記第２ローラを回転させる回
転駆動手段と、前記第１ローラおよび前記第２ローラの
転動面に狭持され前記第２ローラの回転により所定の方
向に移動可能なロッドと、前記ロッドが接合し前記ロッ
ドと同一の方向に移動可能なテーブルと、前記テーブル
の位置情報を得る移動体位置検出手段と、前記第２ロー
ラの回転位置情報を得る回転位置検出手段と、前記第２
ローラの回転位置情報および前記テーブルの位置情報と
の偏差量を演算する偏差検出手段と、前記偏差量とあら
かじめ決められた所定の比較設定値から前記第２ローラ
および前記ロッドの滑り状態を判定し、該判定結果を前
記回転制御手段に出力する比較手段と、前記比較手段か
らの判定結果を受けて前記回転駆動手段を制御する回転
制御手段とから構成されるテーブル移動装置である。

【００１６】

【作用】上記のような構成によれば、偏差検出手段は回
転位置検出手段で得る第２ローラの位置情報と移動体位
置検出手段で得る位置情報との偏差量を得て、偏差量を
第２ローラと移動体の滑り量とし、次段の比較手段に出
力する。

【００１７】比較手段は、その滑り量を所定の比較設定
値と逐次比較判定し、比較設定値を越えた場合に駆動停
止信号を発生する。以上のように、摩擦を利用したテー
ブル移動装置の駆動部分となる第２ローラとロッドの滑
り状態を検出し、規定の滑り量を越えた場合、すなわち
過大滑りが発生した場合に回転駆動手段に駆動停止信号
を入力し駆動力を一時的に停止させ、第１ローラおよび
第２ローラおよびロッドの磨耗増大および損傷を極力抑
制し、耐久性を向上させることを可能としている。

【００１８】

【実施例】

（実施例１）以下、図面を参照しながら本発明の実施例
を説明していく。本発明の実施例について、図１の第１
のテーブル移動装置のブロック構成図と、図３のテーブ
ル移動装置の予圧調整手段のブロック構成図と、図４の
テーブル移動装置の回転制御手段のブロック構成図を参
照しながら説明していく。

【００１９】まず、本実施例の構成について図１を用い
て説明していく２。機構ベース１には、ハウジング２お
よびエアスライダ等の案内手段３が固定支持されてい
る。ハウジング２には、回転自在に支持された第１ロー
ラ４および第２ローラ５が設けられている。また、第１
ローラ４および第２ローラ５の軸動面でロッド６（移動
体）が狭持されている。

【００２０】さらに、ハウジング２に固定支持される第
１ローラ４および第２ローラ５とロッド６に接触圧力を
付与する圧電素子等の予圧発生手段７が設けられ、その
接触圧力を計測する予圧検出手段８が設置されている。

【００２１】また、案内手段３の上のテーブル９（移動
体）には、ロッド６が接続されている。そして、第２ロ
ーラ５の回転運動がロッド６に伝わり、ロッド６を介し
て、テーブル９を所定の方向に直線運動させる。

【００２２】また、第１ローラ４および第２ローラ５と
ロッド６の接触圧力を検出し、目標とする接触圧力と比
較し、その比較結果に基づいて調整する予圧調整手段１
１が設けられている。

【００２３】さらに、第２ローラ５の回転軸に接続さ
れ、第２ローラ５を回転させるモータ等の回転駆動手段
１２が備えられている。そして、回転駆動手段１２を駆
動させてテーブル９の位置・速度を制御する回転制御手
段１３と、回転駆動手段１２の回転軸に接続され、第２
ローラの回転位置情報１４を得る回転位置検出手段１５
が装備されている。

【００２４】そして、テーブル９の移動体位置情報１６
を得るリニアセンサ等の移動体位置検出手段１７と、回
転位置情報１４および移動体位置情報１６との偏差を演
算し偏差量１８を出力する偏差検出手段１９が設けら
れ、その偏差量１８から第２ローラ５とロッド６の滑り
状態を判定し駆動停止信号２０を発生する比較手段２１
から構成されている。

【００２５】次に図３に示される予圧調整手段１１の構
成について説明していく。予圧調整手段１１は、予圧調
整手段１１外部に設けられる予圧検出手段８からの信号
を圧力情報に変える前処理部２４と、前処理部２４に接
続され、圧力情報２５とあらかじめ設定されている第１
ローラ４に加える圧力の情報を供給する予圧指令２３と
が入力される圧力偏差検出手段２６と、圧力偏差検出手
段２６内で演算された情報の信号を増幅する増幅部２７
と、増幅部２７に接続され予圧発生手段７の駆動力を比
較手段２１から駆動停止信号２０（判定出力）に応じて
停止することが可能な出力オンオフ手段２８と、出力オ
ンオフ手段２８に接続される駆動電圧発生部２９と、駆
動電圧発生部２９に接続され、駆動電圧発生部２９から
の印加電圧３０が供給される予圧調整手段１１外部に設
けられる予圧発生手段７とから構成される。

【００２６】また、図４に示される回転制御手段１３の
構成について述べる。回転制御手段１３は、回転制御手
段１３外部からのテーブル９の位置情報１６を供給する
位置制御部３３と、回転制御手段１１外部からあらかじ
め設定されている第２ローラ５を制御するための位置指
令２４が供給される軌道生成部３１と、位置制御部３３
と軌道生成部３１に接続される速度制御部３５と、速度
制御部３５に接続され、速度制御部３５でテーブル９の
位置と第２ローラ５の速度を処理した位置・速度偏差信
号３９が供給され、回転駆動手段１２の駆動力を比較手
段２１からの判定の信号に応じて停止することが可能な
出力オンオフ手段３６と、出力オンオフ手段３６からの
電気信号を増幅する電力増幅部３７と、回転制御手段１
３外部に設けられ、電力増幅部３７に接続され、電力増
幅部３７からの電気信号を受け取る回転駆動手段１２と
から構成される。

【００２７】このような構成において、本実施例の動作
は以下の通りである。図１に示されるように、あらかじ
め予圧発生手段７によって第１ローラ４およびロッド６
および第２ローラ５に接触圧力がかけられている。ロッ
ド６およびテーブル９の移動体は、回転駆動手段１２に
よって回転される第２ローラ５によって所定の方向に移
動可能である。そして、テーブル９の移動状態を移動体
位置検出手段１７で検出し、移動体位置情報１６を得
る。一方、回転駆動手段１２から回転位置情報１４を回
転位置検出手段１５によって得ている。その後、移動体
位置情報１６と回転位置情報１４のそれぞれの信号を偏
差検出手段１９に入力する。偏差検出手段１９では、入
力された信号の偏差が、逐次演算され第２ローラ５およ
びロッド６の滑り量つまり、偏差量１８として出力され
る。偏差量１８は、所定の比較設定値２２と比較手段２
１内で逐次比較処理される。ここで、比較設定値２２の
値より偏差量１８の値が大きい場合は、比較処理された
信号を駆動停止信号２０としてただちに予圧調整手段１
１および回転制御手段１３に伝達される。ここで、比較
設定値２２の値より偏差量１８の値が小さい場合は、駆
動停止信号２０は出力されない。

【００２８】そして、回転制御手段１３が駆動停止信号
２０を受け取ると、ただちに回転駆動手段を停止させ
る。また、図１中破線に示すように保護的に予圧調整手
段１１も駆動停止信号２０が発生すると同時に、予圧発
生装置７の予圧を解除してもよい。

【００２９】次に図３に示される予圧調整手段１１の動
作について説明していく。予圧検出手段８の出力は、前
処理部２４で電圧変換され、第１ローラ４の圧力情報２
５を得る。その後、前処理部２４からの圧力情報２５と
予圧調整手段１１外部から供給されるあらかじめ所定の
値に設定されている予圧指令２３との偏差量を演算する
圧力偏差検出手段２６が設けられている。圧力偏差検出
手段２６から出力された信号は増幅部２７で増幅され
る。

【００３０】予圧調整手段１１内の出力オンオフ手段２
８には、比較手段２１より入力される駆動停止信号２０
と増幅部２７からの信号が供給される。出力オンオフ手
段２８は、通常出力オン状態で増幅部２７からの出力を
駆動電圧発生部２９に供給しているが、駆動停止信号２
０が入力されると出力オフ状態に切り換わり駆動電圧発
生部２９の印加電圧２３を０にして、予圧発生手段７の
駆動力を停止する。

【００３１】また、図４に示される回転制御手段１３の
動作について述べる。移動体位置情報１６は、検出され
た移動体の位置情報を位置制御部３３と速度制御部３５
に伝達される。一方、予圧調整手段１１外部から位置指
令２４が、あらかじめ位置・速度を所定の値に設定され
ている軌道生成部３１に供給される。軌道生成部３１か
ら位置目標３２を位置制御部３３に、速度目標３４を速
度制御部３５に供給し、それぞれ偏差量を計算し演算を
行っていく。位置制御部３３および速度制御部３５で逐
次演算された位置指令２４および移動体位置情報１６
は、位置・速度偏差信号３８として出力オンオフ手段３
６に送られる。

【００３２】回転制御手段１３内の出力オンオフ手段３
６には、比較手段２１より入力される駆動停止信号２０
と速度制御部３５からの位置・速度偏差信号３９が供給
される。出力オンオフ手段３６は、通常出力オン状態
で、位置・速度偏差信号３９を電力増幅部３７に供給し
ているが、駆動停止信号２０により出力オフ状態に切り
換わると電力増幅部３７の励磁電流３８を０にし回転駆
動手段１２駆動力を停止する。

【００３３】そして、電力増幅部３７からの励磁電流３
８を出力し、回転駆動手段１２を駆動している。この様
な構成における本実施例の効果を以下に述べていく。

【００３４】予圧発生手段７により第１ローラ４および
第２ローラ５とロッド６に規定の接触圧力を付与し、回
転駆動手段１２により第２ローラ５を回転駆動し、テー
ブル９を所定の方向に直線駆動している時、または駆動
開始した時に、回転制御の不安定動作から回転駆動手段
１２が異常回転力（暴走あるいは振動）を発生した場合
などにおいては、第２ローラ５およびロッド６に過大滑
りが発生する。

【００３５】すると、偏差検出手段１９の出力である偏
差量１８が所定の比較設定値２２を越えた状態になり、
比較手段２１は、駆動停止信号２０を予圧調整手段１１
および回転制御手段１３に出力して、第２ローラ５とロ
ッド６との摩擦による磨耗および損傷を防止するため
に、また、偏差量１８を補正するために、予圧発生手段
７および回転駆動手段１２の駆動力を一時的に停止させ
る。そして、偏差量１８が比較設定値に回復したら再び
駆動力を与え、再起動させる。

【００３６】その結果、半導体製造装置で使用されるマ
スク、ウェハ等を微小位置決めしたり、光学関係や顕微
鏡の試料微動ステージ等を微小位置決めするためのテー
ブル移動装置など長期に亘る高頻度動作が必要な用途で
は、第２ローラとロッドの滑り状態を監視することによ
って、第２ローラおよびロッドの接触による過大滑りに
伴う磨耗および損傷を防止し、耐久性の向上および高精
度な駆動が可能となる。また、長期間にわたり部品の
交換、修理をすることなく使用できる。（実施例２）図２の第２のテーブル移動装置のブロック
構成図を参照しながら構成について説明していく。

【００３７】機構ベース１には、ハウジング２およびエ
アスライダ等の案内手段３が固定支持されている。ハウ
ジング２には、回転自在に支持された第１ローラ４およ
び第２ローラ５が設けられている。また、第１ローラ４
および第２ローラ５の軸動面でロッド６（移動体）が狭
持されている。

【００３８】さらに、ハウジング２に固定支持される第
１ローラ４および第２ローラ５とロッド６に接触圧力を
付与する圧電素子等の予圧発生手段７が設けられてい
る。また、案内手段３の上のテーブル９（移動体）に
は、ロッド６が接続されている。そして、第２ローラ５
の回転運動がロッド６に伝わり、ロッド６を介して、テ
ーブル９を所定の方向に直線運動させる。

【００３９】また、第１ローラ４および第２ローラ５と
ロッド６の接触圧力が、目標とする接触圧力であるかに
ついて比較し、その比較結果に基づいて再び調整する予
圧調整手段１１が設けられている。

【００４０】さらに、第２ローラ５の回転軸に接続さ
れ、第２ローラ５を回転させるモータ等の回転駆動手段
１２が備えられている。そして、回転駆動手段１２を駆
動させてテーブル９の位置・速度を制御する回転制御手
段１３と、回転駆動手段１２の回転軸に接続され、第２
ローラの回転位置情報１４を得る回転位置検出手段１５
が装備されている。

【００４１】そして、テーブル９の移動体位置情報１６
を得るリニアセンサ等の移動体位置検出手段１７と、回
転位置情報１４および移動体位置情報１６との偏差を演
算し偏差量１８を出力する偏差検出手段１９が設けら
れ、その偏差量１８から第２ローラ５とロッド６の滑り
状態を判定する比較手段２１から構成されている。

【００４２】この様な構成をしている第２実施例の動作
について述べていく。図２に示されるように、あらかじ
め予圧発生手段７によって第１ローラ４およびロッド６
および第２ローラ５に接触圧力がかけられている。ロッ
ド６およびテーブル９の移動体は、回転駆動手段１２に
よって回転される第２ローラ５によって所定の方向に移
動可能である。そして、テーブル９の移動状態を移動体
位置検出手段１７で検出し、移動体位置情報１６を得
る。

【００４３】一方、回転駆動手段１２から回転位置情報
１４を回転位置検出手段１５によって得ている。その
後、移動体位置情報１６と回転位置情報１４のそれぞれ
の信号を偏差検出手段１９に入力する。偏差検出手段１
９では、入力された信号の偏差が、逐次演算され第２ロ
ーラ５およびロッド６の滑り量つまり、偏差量１８とし
て出力される。偏差量１８は、所定の比較設定値２２と
比較手段２１内で逐次比較処理される。ここで、比較設
定値２２の値より偏差量１８の値が大きい場合は、比較
処理された信号が予圧調整手段１１に出力される。そし
て、比較処理された信号つまり滑り量をなくすような動
作を行うために、予圧調整手段１１から予圧発生装置７
に所定の制御信号を送り、第１ローラ４およびロッド６
に所定の予圧を加え、逐次フィードバック制御を行って
いく。

【００４４】このような構成・動作を行うテーブル移動
装置の効果としては、予圧発生手段７により第１ローラ
４および第２ローラ５とロッド６に規定の接触圧力を付
与し、回転駆動手段１２により第２ローラ５を回転駆動
し、テーブル９を所定の方向に直線駆動している時、ま
たは駆動開始した時に、回転制御の不安定動作が発生す
る。そして、第２ローラ５およびロッド６に滑りが発生
するとテーブルの移動精度が劣化する。そして、偏差検
出手段１９の出力である偏差量１８が所定の比較設定値
２２を越えた状態になり、比較手段２１は、処理した制
御信号を予圧調整手段１１に出力して、第２ローラ５と
ロッド６との滑りによって生じる摩擦による磨耗および
損傷を防止するために、テーブル移動装置を一時的に停
止させることなく、予圧調整手段１１からの信号によっ
て予圧発生手段７が、ロッド６および第１ローラ４の接
触圧力を所定の接触圧力に近付くように逐次フィードバ
ック制御していき、滑り量を小さくしていく。

【００４５】その結果、半導体製造装置で使用されるマ
スク、ウェハ等を微小位置決めしたり、光学関係や顕微
鏡の試料微動ステージ等を微小位置決めするためのテー
ブル移動装置など長期に亘る高頻度動作が必要な用途で
は、第２ローラとロッドの滑り状態を監視することによ
って、テーブルの移動精度および位置精度が向上され、
さらに、第２ローラおよびロッドの接触による過大滑り
に伴う磨耗および損傷を防止し、耐久性の向上および高
精度な駆動が可能となる。

【００４６】また、テーブル移動装置を停止させること
なく、長期間にわたり部品の交換、修理をすることなく
使用できる。それにより、長期間に亘り連続的にテーブ
ル移動装置の使用が可能となる。

【００４７】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、ロ
ーラとロッドの接触による磨耗や損傷を防止することが
可能となる。また、それによってテーブル移動装置の耐
久性が向上する。さらに、駆動部分の分解および交換が
困難なテーブル移動装置を、長期間にわたり交換や修理
することなく使用できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１のテーブル移動装置のブロック
構成図。

【図２】本発明の第２のテーブル移動装置のブロック
構成図。

【図３】本発明のテーブル移動装置の予圧調整手段の
ブロック構成図。

【図４】本発明のテーブル移動装置の回転制御手段の
ブロック構成図。

【図５】従来のテーブル移動装置のブロック構成図。

【符号の説明】

１機構ベース２ハウジング３案内手段４第１ローラ５第２ローラ６ロッド（移動体）７予圧発生手段８予圧検出手段９テーブル（移動体）１１予圧調整手段１２回転駆動手段１３回転制御手段１４回転位置情報１５回転位置検出手段１６移動体位置情報１７移動体位置検出手段１８偏差量１９偏差検出手段２０駆動停止信号（判定出力）２１比較手段

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｈ０１Ｌ 21/30 ５１５Ｆ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ハウジング内に回転自在に支持される第１
ローラおよび第２ローラと、前記第２ローラを回転させ
る回転駆動手段と、前記第１ローラおよび前記第２ロー
ラの転動面に狭持され前記第２ローラの回転により所定
の方向に移動可能なロッドと、前記ロッドが接合し前記
ロッドと同一の方向に移動可能なテーブルと、前記テー
ブルの位置情報を得る移動体位置検出手段と、前記第２
ローラの回転位置情報を得る回転位置検出手段と、前記
第２ローラの回転位置情報および前記テーブルの位置情
報との偏差量を演算する偏差検出手段と、前記偏差量と
あらかじめ決められた所定の比較設定値から前記第２ロ
ーラおよび前記ロッドの滑り状態を判定し、該判定結果
を前記回転制御手段に出力する比較手段と、前記比較手
段からの判定結果を受けて前記回転駆動手段を制御する
回転制御手段とを設けたことを特徴とするテーブル移動
装置。
【請求項２】ハウジング内に回転自在に支持される第１
ローラおよび第２ローラと、前記第２ローラを回転させ
る回転駆動手段と、前記第１ローラおよび前記第２ロー
ラの転動面に狭持され前記第２ローラの回転により所定
の方向に移動可能なロッドと、前記ロッドが接合し前記
ロッドと同一の方向に移動可能なテーブルと、前記テー
ブルの位置情報を得る移動体位置検出手段と、前記第１
ローラと前記ロッドとの接触圧力を発生する予圧発生手
段と、前記第２ローラの回転位置情報を得る回転位置検
出手段と、前記第２ローラの回転位置情報および前記テ
ーブルの位置情報との偏差量を演算する偏差検出手段
と、前記偏差量とあらかじめ決められた所定の比較設定
値から前記第２ローラおよび前記ロッドの滑り状態を判
定し、該判定結果を出力する比較手段と、前記比較手段
からの判定結果を受けて前記予圧発生手段を制御する予
圧調整手段とを設けたことを特徴とするテーブル移動装
置。
【請求項３】上記予圧調整手段は、上記第１ローラと上
記ロッドとの接触圧力を検出するための予圧検出手段か
らの圧力情報と前記第１ローラに対してあらかじめ設定
される予圧指令の圧力情報とが入力され、それぞれの圧
力情報から偏差量を演算する圧力偏差検出手段と、前記
圧力偏差検出手段に接続され、上記比較手段からの判定
出力の信号に応じて前記第１ローラへの加圧を解除する
ことが可能な出力オンオフ手段とを設けたことを特徴と
する請求項１記載のテーブル移動装置。
【請求項４】上記回転制御手段は、上記テーブルの位置
情報を供給する位置制御部と、上記第２ローラを制御す
るための位置指令が供給される軌道生成部と、前記位置
制御部と前記軌道生成部に接続され、第２ローラの速度
制御を行う速度制御部と、前記速度制御部に接続され、
前記速度制御部で前記テーブルの位置情報と前記第２ロ
ーラの速度情報を処理した位置・速度偏差信号が供給さ
れ、上記回転駆動手段の駆動力を上記比較手段からの判
定出力の信号に応じて停止することが可能な出力オンオ
フ手段と、前記出力オンオフ手段に接続され、前記出力
オンオフ手段からの電気信号を受け取り、前記電気信号
を増幅して、上記回転駆動手段に出力する電力増幅部と
を設けたことを特徴とする請求項１記載のテーブル移動
装置。
【請求項５】上記比較手段から上記回転駆動手段を停止
させる駆動停止信号を出力し、前記回転駆動手段を停止
することを特徴とする請求項１記載のテーブル移動装
置。