JPH0825149A - 放電加工装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 単純形状の電極を用いて、高速かつ高精度の
加工ができる放電加工装置を得るとともに、電極の消耗
量を加工中に認識し、その消耗補償動作を自動的に行え
る放電加工装置を得る。 【構成】 電極１の内穴に、電極１の電極軸方向に相対
的に可動な検出ピン９を設け、この検出ピン９の先端を
工作物２の上面に接触させた状態で、検出ピン９と電極
１との電極軸方向の相対位置を計測する計測手段を設け
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、比較的単純な形状を
した電極を使用し、その電極をＮＣ制御することによ
り、被加工物を３次元加工するための軌跡走査方式の放
電加工装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来から、円柱、円筒、角柱などの比較
的単純な形状をした電極を定められた軌道に沿って走査
しつつ放電加工し、被加工物を所望の３次元形状に加工
する放電加工方法及び装置（以下では単純電極放電加工
と呼ぶ）が知られている。この単純電極放電加工におい
ては、複雑な３次元形状電極の設計や製作が不要である
ため、加工費用を低減できること、また、加工間隙から
の加工屑の排除が容易で安定加工を実現しやすいので、
放電加工に熟練を必要としないこと、電極形状の標準化
が可能なのでＣＡＭシステムとの親和性がよいことか
ら、自動加工が容易に実現できること等が利点としてあ
げられる。しかし、放電加工においては電極が徐々に消
耗し、特に、工作物の対向深さ方向の電極消耗は、加工
の進行と共に加工間隙の拡大をもたらし、この状態で加
工を続行することは加工精度や加工速度を著しく低下さ
せる要因となる。さらに、加工体積に比べて電極体積が
小さい単純電極放電加工においては、この問題は重大な
影響がある。従って、加工中に電極が消耗した量を計数
して、工作物の対向深さ方向に対してこの電極消耗量に
応じた送りを与えることが必要となる。これには、単純
電極によりある程度の放電加工を行った後、加工を中断
して電極長さを測定して電極消耗量を算出することによ
って、工作物の対向深さ方向への電極消耗補正送り量を
与えるか、あらかじめ、加工条件に対応する電極消耗量
をデータベース化して、加工プログラムの中に与えてお
くことが必要である。

【０００３】上述の例として、例えば、加工を中断して
電極消耗量を測定する従来例を示したものが図１８であ
り、これは、ａ）工作物２上面に電極１を位置決めす
る、ｂ）放電加工途中の状態を示すものであり、破線部
は電極消耗がない場合であるが、実際は電極消耗分だけ
加工深さが浅くなる、ｃ）電極消耗分の補正を行うた
め、電極を基準球１０１に交換し、加工物の深さを測定
する、ｄ）再度加工電極に交換し、加工が足りない分
（電極消耗による誤差分）だけ加工を行う、の手順によ
って電極消耗量が測定される。また、その他の方法とし
て、工作物２側に基準球１０１を立てておき、電極底面
を位置決めすることによって電極消耗量を測定する方法
等もあるが、いずれの場合も加工を一旦中断し、位置決
め動作をたびたび行う必要があるため、加工時間のロス
となり、また、プログラミングが煩雑になり、さらに、
加工状態の変化に応じて常に最適な電極消耗補償動作を
行うことができないという問題点があった。

【０００４】これらの問題点に対して、山形大学工学部
の土屋、金子らは加工を続けるうちに電極消耗が定常状
態となることを見い出し、この定常状態における電極消
耗量を予測して補正することにより、電極長さの計測及
び電極長手方向の消耗補正加工を排除して加工精度を向
上させる方法（以下、予測補正式単純電極放電加工方法
と呼ぶ）を報告している。（例えば、「円筒電極による
三次元制御放電加工（第３報）」電気加工学会誌，Ｖｏ
ｌ.１７，Ｎｏ．３４，ｐ３０〜４２（１９８４）参
照）。図１９はこのような予測補正式単純電極放電加工
装置の構成図である。図において、１は電極、２は電極
１と対向する位置に置かれた工作物、１６は電極１と工
作物２の間の加工間隙に放電パルスを供給する加工電
源、５は電極１に回転運動を与えるスピンドル、１９は
電極軌道データ１８の電極長手方向の軌道を修正する軌
道修正部、１７は軌道修正部１９により修正された修正
電極軌道データ２１によりスピンドル５を制御し、電極
１を走査する制御装置である。

【０００５】次に、動作について説明する。まず、加工
に先立って予備実験により消耗補償定数ｍを決定する。
電極消耗が定常状態であれば、軌道送り長さＬと電極消
耗長さｚとは比例関係にあるため、比例定数ｍを用いて
ｚ＝ｍＬの関係が成立する。したがって、適当な加工長
さＬにわたって加工を行い、電極消耗長さｚを測定して
ｍを計算すればよい。もちろん、以前行った実験、既知
の経験や知識、理論などによりｍが決定できる場合に
は、予備実験は不要である。

【０００６】さて、電極軌道データ１８は、電極の消耗
については考慮されていないので、軌道修正部１９によ
り、この電極軌道データ１８に対して、単位長さΔＬ毎
に電極長手方向にΔｚ＝ｍ・ΔＬの軌道を付加した修正
電極軌道データ２１を生成する。予備実験によれば、加
工長さΔＬに対して電極長さはΔｚ消耗するのであるか
ら、修正電極軌道データ２１にそって工作物２を加工す
れば、電極は徐々に消耗しつつ電極軌道データ１８に沿
って移動し、所望の形状が得られるはずである。そし
て、制御装置１７はこの修正電極軌道データ２１に沿っ
て電極を走査し、工作物２の加工を行う。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】以上のように、予測補
正式単純電極放電加工装置は、電極の消耗をあらかじめ
補償した軌道に沿って加工が行われるため、従来の単純
電極放電加工装置よりも高精度の加工が可能であった。
しかしながら、工作物の加工に先立って修正電極軌道デ
ータの計算を行わなければならず、特に、加工形状が複
雑な場合には、より煩雑な計算を経て大量の修正電極軌
道データを生成しなければならないという問題点があっ
た。

【０００８】この発明は、このような問題点を解決する
ためになされたものであり、電極の消耗量を工作物加工
中に認識し、電極の消耗補償動作を自動的に行うことに
より、加工前の修正電極軌道データの計算を省略するこ
とのできる放電加工装置を得ることを目的としている。

【０００９】

【課題を解決するための手段】この発明の請求項１に係
る放電加工装置は、内穴を有する電極と工作物間に電圧
を印加しつつ加工を行う放電加工装置において、前記電
極の内穴に設けられ、電極および電極保持部に対して前
記電極軸方向（以下Ｚ軸方向とする）に相対的に可動と
される棒状部材と、前記棒状部材の先端を工作物上面に
接触させた状態における、前記棒状部材と電極保持部と
のＺ軸方向相対位置を計測する計測手段を設けたもので
ある。

【００１０】この発明の請求項２に係る放電加工装置
は、内穴を有する電極と工作物間に電圧を印加するとと
もに、電極の長さ方向消耗量を補正するＺ軸方向成分の
送りを、水平方向（ＸＹ方向）成分の送りと合成しなが
ら、少なくとも１種類のツールパスを繰り返し移動しつ
つ輪郭形状の加工を行う放電加工装置において、層を加
工するためのツールパスの少なくともＸＹデータを記憶
する記憶手段と、前記電極の内穴に設けられ、電極およ
び電極保持部に対して前記電極軸方向（以下Ｚ軸方向と
する）に相対的に可動とされる棒状部材と、前記棒状部
材の先端を工作物上面に接触させた状態における、前記
棒状部材と電極保持部とのＺ軸方向相対位置を計測する
計測手段と、前記計測手段の計測値に基づき追加すべき
繰り返し数、加工電気条件、水平方向（ＸＹ方向）送り
成分とＺ方向送り成分の比率の少なくとも一つを変更す
る制御手段を備えたものである。

【００１１】この発明の請求項３に係る放電加工装置
は、請求項１又は請求項２の放電加工装置において、前
記棒状部材と電極保持部とのＺ軸方向相対変位量から、
電極のＺ方向（長さ）消耗量を求め、前記消耗量に応じ
て電極の補給、交換を行う電極供給手段を設けたもので
ある。

【００１２】この発明の請求項４に係る放電加工装置
は、電極軌道を定義するデータとこの電極軌道データに
したがって電極を移動させる制御装置と電極消耗長さを
記憶する手段を有し、加工電極と工作物を対向してなる
加工間隙に加工電源より供給されるパルス放電を繰り返
して加工する放電加工装置において、前記電極の走査方
向の前方および後方に設けられ、電極および電極保持部
に対してＺ軸方向に相対的に可動とされる棒状部材と、
前記棒状部材の先端を工作物の加工直前面と加工直後面
の上面に接触させた状態における、前記各棒状部材と電
極保持部とのＺ軸方向相対位置を計測する計測手段を設
けたものである。

【００１３】この発明の請求項５に係る放電加工装置
は、電極軌道を定義するデータとこの電極軌道データに
したがって電極を移動させる制御装置と電極消耗長さを
記憶する手段を有し、加工電極と工作物を対向してなる
加工間隙に加工電源より供給されるパルス放電を繰り返
して加工する放電加工装置において、電極および電極未
消耗側面部分とのＺ軸に対して垂直方向に相対的に可動
とされる棒状部材と、前記棒状部材の先端を電極の未消
耗側面部分に対する電極先端の消耗部分に接触させた状
態における、前記棒状部材と電極未消耗側面部分とのＺ
軸に対する垂直方向相対位置を計測する計測手段を設け
たものである。

【００１４】この発明の請求項６に係る放電加工装置
は、電極軌道を定義するデータとこの電極軌道データに
したがって電極を移動させる制御装置と電極消耗長さを
記憶する手段を有し、加工電極と工作物を対向してなる
加工間隙に加工電源より供給されるパルス放電を繰り返
して加工する放電加工装置において、電極に取り付けら
れた抵抗線が放電加工によって電極と共に消耗し、その
抵抗線を流れる電流の変化量から前記棒状部材と電極保
持部とのＺ軸方向相対位置を計測する計測手段を設けた
ものである。

【００１５】この発明の請求項７に係る放電加工装置
は、電極軌道を定義するデータとこの電極軌道データに
したがって電極を移動させる制御装置と電極消耗長さを
記憶する手段を有し、加工電極と工作物を対向してなる
加工間隙に加工電源より供給されるパルス放電を繰り返
して加工する放電加工装置において、前記電極の走査方
向に対してその後方に工作物の加工面までの距離を測定
するように設けられた渦電流検出器と、前記渦電流検出
器により渦電流が検出された状態における加工面深さを
計測する計測手段を設けたものである。

【００１６】この発明の請求項８に係る放電加工装置
は、電極軌道を定義するデータとこの電極軌道データに
したがって電極を移動させる制御装置と電極消耗長さを
記憶する手段を有し、加工電極と工作物を対向してなる
加工間隙に加工電源より供給されるパルス放電を繰り返
して加工する放電加工装置において、前記電極先端面と
これに対向する工作物の加工面との加工間隙の大きさに
よって蓄えられる量が変化する静電容量を計測する手段
を設けたものである。

【００１７】この発明の請求項９に係る放電加工装置
は、電極軌道を定義するデータとこの電極軌道データに
したがって電極を移動させる制御装置と電極消耗長さを
記憶する手段と内穴を有する電極先端から工作物に対し
て加工液を噴射する手段を有し、加工電極と被加工物を
対向してなる加工間隙に加工電源より供給されるパルス
放電を繰り返して加工する放電加工装置において、前記
電極の内穴を通過して加工面に供給される加工液に、電
極先端面と被加工面との間隙に応じたその加工液圧力の
変位量を計測する計測手段を設けたものである。

【００１８】この発明の請求項１０に係る放電加工装置
は、電極軌道を定義するデータとこの電極軌道データに
したがって電極を移動させる制御装置と電極消耗長さを
記憶する手段と内穴を有する電極先端から工作物に対し
て加工液を噴射する手段を有し、加工電極と被加工物を
対向してなる加工間隙に加工電源より供給されるパルス
放電を繰り返して加工する放電加工装置において、前記
電極の内穴を通過して加工面に供給される加工液に、電
極先端面と被加工面との間隙に応じたその加工液流量の
変位量を計測する計測手段を設けたものである。

【００１９】この発明の請求項１１に係る放電加工装置
は、電極軌道を定義するデータとこの電極軌道データに
したがって電極を移動させる制御装置と電極消耗長さを
記憶する手段を有し、加工電極と工作物を対向してなる
加工間隙に加工電源より供給されるパルス放電を繰り返
して加工する放電加工装置において、前記電極および電
極保持部に対して垂直方向からの撮影が可能となるよう
に設置された計測用カメラにより、放電加工状態におけ
る前記電極先端面と加工面との加工間隙を計測する計測
手段を設けたものである。

【００２０】この発明の請求項１２に係る放電加工装置
は、電極軌道を定義するデータとこの電極軌道データに
したがって電極を移動させる制御装置と電極消耗長さを
記憶する手段を有し、加工電極と工作物を対向してなる
加工間隙に加工電源より供給されるパルス放電を繰り返
して加工する放電加工装置において、内穴を有する電極
および電極保持部に対して、前記電極軸方向へ前記電極
内穴をとおして加工面を撮影するように設置された計測
用カメラにより、放電加工状態における前記電極先端面
と加工面との加工間隙を計測する計測手段を設けたもの
である。

【００２１】この発明の請求項１３に係る放電加工装置
は、電極軌道を定義するデータとこの電極軌道データに
したがって電極を移動させる制御装置と電極消耗長さを
記憶する手段を有し、加工電極と被加工物を対向してな
る加工間隙に加工電源より供給されるパルス放電を繰り
返して加工する放電加工装置において、内穴を有する電
極および電極保持部に対して、前記電極軸方向へ前記電
極内穴をとおして加工面にレーザ光を照射するように設
けられたレーザ変位計と、前記レーザ変位計から照射さ
れるレーザ光によってレーザ変位計設置面から加工面ま
での距離を計測する計測手段を設けたものである。

【００２２】この発明の請求項１４に係る放電加工装置
は、電極軌道を定義するデータとこの電極軌道データに
したがって電極を移動させる制御装置と電極消耗長さを
記憶する手段を有し、加工電極と被加工物を対向してな
る加工間隙に加工電源より供給されるパルス放電を繰り
返して加工する放電加工装置において、電極に電極の長
さ方向の情報を持つバーコードを取り付け、このバーコ
ードから電極消耗量を読み取る計測手段を設けたもので
ある。

【００２３】この発明の請求項１５に係る放電加工装置
は、電極軌道を定義するデータとこの電極軌道データに
したがって電極を移動させる制御装置と電極消耗長さを
記憶する手段を有し、加工電極と被加工物を対向してな
る加工間隙に加工電源より供給されるパルス放電を繰り
返して加工する放電加工装置において、電極に電極の共
振周波数を計測する計測手段を設けたものである。

【００２４】この発明の請求項１６に係る放電加工装置
は、電極軌道を定義するデータとこの電極軌道データに
したがって電極を移動させる制御装置と電極消耗長さを
記憶する手段を有し、加工電極と被加工物を対向してな
る加工間隙に加工電源より供給されるパルス放電を繰り
返して加工する放電加工装置において、電極内部に超音
波を発信させて電極先端面で反射して戻ってくる超音波
を検出することにより、電極長さを計測する計測手段を
設けたものである。

【００２５】

【作用】この発明の請求項１に係る放電加工装置では、
内穴を有する電極と工作物間に電圧を印加しつつ加工を
行う放電加工装置において、前記電極の内穴に設けら
れ、電極および電極保持部に対して前記電極軸方向（以
下Ｚ軸方向とする）に相対的に可動とされる棒状部材
と、前記棒状部材の先端を工作物上面に接触させた状態
における、前記棒状部材と電極保持部とのＺ軸方向相対
位置を計測する計測手段を設けたので、工作物上面に相
当する位置を常時又は随時計測しながら加工を行える。

【００２６】この発明の請求項２に係る放電加工装置で
は、内穴を有する電極と工作物間に電圧を印加するとと
もに、電極の長さ方向消耗量を補正するＺ軸方向成分の
送りを、水平方向（ＸＹ方向）成分の送りと合成しなが
ら、少なくとも１種類のツールパスを繰り返し移動しつ
つ輪郭形状の加工を行う放電加工装置において、層を加
工するためのツールパスの少なくともＸＹデータを記憶
する記憶手段と、前記電極の内穴に設けられ、電極およ
び電極保持部に対して前記電極軸方向（以下Ｚ軸方向と
する）に相対的に可動とされる棒状部材と、前記棒状部
材の先端を工作物上面に接触させた状態における、前記
棒状部材と電極保持部とのＺ軸方向相対位置を計測する
計測手段と、前記計測手段の計測値に基づき追加すべき
繰り返し数、加工電気条件、水平方向（ＸＹ方向）送り
成分とＺ方向送り成分の比率の少なくとも一つを変更す
る制御手段を備えたので、工作物上面に相当する位置を
常時又は随時計測しつつ、加工残量に応じて、繰り返し
数、加工電気条件、水平方向（ＸＹ方向）送り成分やＺ
方向送り成分などを制御しながら加工を行える。

【００２７】この発明の請求項３に係る放電加工装置で
は、請求項１又は請求項２の放電加工装置において、前
記棒状部材と電極保持部とのＺ軸方向相対変位量から、
電極のＺ方向（長さ）消耗量を求め、前記消耗量に応じ
て電極の補給、交換を行う電極供給手段を設けたので、
電極交換時期を自動的に判断しながら加工を行える。

【００２８】この発明の請求項４に係る放電加工装置で
は、電極軌道を定義するデータとこの電極軌道データに
したがって電極を移動させる制御装置と電極消耗長さを
記憶する手段を有し、加工電極と工作物を対向してなる
加工間隙に加工電源より供給されるパルス放電を繰り返
して加工する放電加工装置において、前記電極の走査方
向の前方および後方に設けられ、電極および電極保持部
に対してＺ軸方向に相対的に可動とされる棒状部材と、
前記棒状部材の先端を工作物の加工直前面と加工直後面
の上面に接触させた状態における、前記各棒状部材と電
極保持部とのＺ軸方向相対位置を計測する計測手段を設
けたので、工作物の加工深さを常時又は随時計測しなが
ら加工を行える。

【００２９】この発明の請求項５に係る放電加工装置で
は、電極軌道を定義するデータとこの電極軌道データに
したがって電極を移動させる制御装置と電極消耗長さを
記憶する手段を有し、加工電極と工作物を対向してなる
加工間隙に加工電源より供給されるパルス放電を繰り返
して加工する放電加工装置において、電極および電極未
消耗側面部分とのＺ軸に対して垂直方向に相対的に可動
とされる棒状部材と、前記棒状部材の先端を電極の未消
耗側面部分に対する電極先端の消耗部分に接触させた状
態における、前記棒状部材と電極未消耗側面部分とのＺ
軸に対する垂直方向相対位置を計測する計測手段を設け
たので、電極先端部分の形状を常時又は随時計測しなが
ら加工を行える。

【００３０】この発明の請求項６に係る放電加工装置で
は、電極軌道を定義するデータとこの電極軌道データに
したがって電極を移動させる制御装置と電極消耗長さを
記憶する手段を有し、加工電極と工作物を対向してなる
加工間隙に加工電源より供給されるパルス放電を繰り返
して加工する放電加工装置において、電極に取り付けら
れた抵抗線が放電加工によって電極と共に消耗し、その
抵抗線を流れる電流の変化量から前記棒状部材と電極保
持部とのＺ軸方向相対位置を計測する計測手段を設けた
ので、電極長さを常時又は随時計測しながら加工を行え
る。

【００３１】この発明の請求項７に係る放電加工装置で
は、電極軌道を定義するデータとこの電極軌道データに
したがって電極を移動させる制御装置と電極消耗長さを
記憶する手段を有し、加工電極と工作物を対向してなる
加工間隙に加工電源より供給されるパルス放電を繰り返
して加工する放電加工装置において、前記電極の走査方
向に対してその後方に工作物の加工面までの距離を測定
するように設けられた渦電流検出器と、前記渦電流検出
器により渦電流が検出された状態における加工面深さを
計測する計測手段を設けたので、工作物上面に相当する
位置を常時又は随時計測しながら加工を行える。

【００３２】この発明の請求項８に係る放電加工装置で
は、電極軌道を定義するデータとこの電極軌道データに
したがって電極を移動させる制御装置と電極消耗長さを
記憶する手段を有し、加工電極と工作物を対向してなる
加工間隙に加工電源より供給されるパルス放電を繰り返
して加工する放電加工装置において、前記電極先端面と
これに対向する工作物の加工面との加工間隙の大きさに
よって蓄えられる量が変化する静電容量を計測する手段
を設けたので、工作物上面までの加工深さを常時又は随
時計測しながら加工を行える。

【００３３】この発明の請求項９に係る放電加工装置で
は、電極軌道を定義するデータとこの電極軌道データに
したがって電極を移動させる制御装置と電極消耗長さを
記憶する手段と内穴を有する電極先端から工作物に対し
て加工液を噴射する手段を有し、加工電極と被加工物を
対向してなる加工間隙に加工電源より供給されるパルス
放電を繰り返して加工する放電加工装置において、前記
電極の内穴を通過して加工面に供給される加工液に、電
極先端面と被加工面との間隙に応じたその加工液圧力の
変位量を計測する計測手段を設けたので、電極先端面と
加工面との間隙の大きさに相当する加工液圧力を常時又
は随時計測しながら加工を行える。

【００３４】この発明の請求項１０に係る放電加工装置
では、電極軌道を定義するデータとこの電極軌道データ
にしたがって電極を移動させる制御装置と電極消耗長さ
を記憶する手段と内穴を有する電極先端から工作物に対
して加工液を噴射する手段を有し、加工電極と被加工物
を対向してなる加工間隙に加工電源より供給されるパル
ス放電を繰り返して加工する放電加工装置において、前
記電極の内穴を通過して加工面に供給される加工液に、
電極先端面と被加工面との間隙に応じたその加工液流量
の変位量を計測する計測手段を設けたので、電極先端面
と加工面との間隙の大きさに相当する加工液流量を常時
又は随時計測しながら加工を行える。

【００３５】この発明の請求項１１に係る放電加工装置
では、電極軌道を定義するデータとこの電極軌道データ
にしたがって電極を移動させる制御装置と電極消耗長さ
を記憶する手段を有し、加工電極と工作物を対向してな
る加工間隙に加工電源より供給されるパルス放電を繰り
返して加工する放電加工装置において、前記電極および
電極保持部に対して垂直方向からの撮影が可能となるよ
うに設置された計測用カメラにより、放電加工状態にお
ける前記電極先端面と加工面との加工間隙を計測する計
測手段を設けたので、工作物上面に相当する位置を常時
又は随時計測しながら加工を行える。

【００３６】この発明の請求項１２に係る放電加工装置
では、電極軌道を定義するデータとこの電極軌道データ
にしたがって電極を移動させる制御装置と電極消耗長さ
を記憶する手段を有し、加工電極と工作物を対向してな
る加工間隙に加工電源より供給されるパルス放電を繰り
返して加工する放電加工装置において、内穴を有する電
極および電極保持部に対して、前記電極軸方向へ前記電
極内穴をとおして加工面を撮影するように設置された計
測用カメラにより、放電加工状態における前記電極先端
面と加工面との加工間隙を計測する計測手段を設けたの
で、工作物上面に相当する位置を常時又は随時計測しな
がら加工を行える。

【００３７】この発明の請求項１３に係る放電加工装置
では、電極軌道を定義するデータとこの電極軌道データ
にしたがって電極を移動させる制御装置と電極消耗長さ
を記憶する手段を有し、加工電極と被加工物を対向して
なる加工間隙に加工電源より供給されるパルス放電を繰
り返して加工する放電加工装置において、内穴を有する
電極および電極保持部に対して、前記電極軸方向へ前記
電極内穴をとおして加工面にレーザ光を照射するように
設けられたレーザ変位計と、前記レーザ変位計から照射
されるレーザ光によってレーザ変位計設置面から加工面
までの距離を計測する計測手段を設けたので、工作物上
面に相当する位置を常時又は随時計測しながら加工を行
える。

【００３８】この発明の請求項１４に係る放電加工装置
では、電極軌道を定義するデータとこの電極軌道データ
にしたがって電極を移動させる制御装置と電極消耗長さ
を記憶する手段を有し、加工電極と被加工物を対向して
なる加工間隙に加工電源より供給されるパルス放電を繰
り返して加工する放電加工装置において、電極に電極の
長さ方向の情報を持つバーコードを取り付け、このバー
コードから電極消耗量を読み取る計測手段を設けたの
で、電極長さを常時又は随時計測しながら加工を行え
る。

【００３９】この発明の請求項１５に係る放電加工装置
では、電極軌道を定義するデータとこの電極軌道データ
にしたがって電極を移動させる制御装置と電極消耗長さ
を記憶する手段を有し、加工電極と被加工物を対向して
なる加工間隙に加工電源より供給されるパルス放電を繰
り返して加工する放電加工装置において、電極に電極の
共振周波数を計測する計測手段を設けたので、電極長さ
を常時又は随時計測しながら加工を行える。

【００４０】この発明の請求項１６に係る放電加工装置
では、電極軌道を定義するデータとこの電極軌道データ
にしたがって電極を移動させる制御装置と電極消耗長さ
を記憶する手段を有し、加工電極と被加工物を対向して
なる加工間隙に加工電源より供給されるパルス放電を繰
り返して加工する放電加工装置において、電極内部に超
音波を発信させて電極先端面で反射して戻ってくる超音
波を検出することにより、電極長さを計測する計測手段
を設けたので、電極長さを常時又は随時計測しながら加
工を行える。

【００４１】

【実施例】

実施例１．図１は、この発明の一実施例を示す構造図で
あり、１は電極、２は電極１に対向する位置に置かれた
工作物、３は電極１を保持するホルダー、４は電極１を
ホルダー３に固定するコレット部、５は電極１及びホル
ダー３を保持するとともに、これらに回転運動を与える
スピンドル、６はスピンドル５を回転させるためのスピ
ンドル回転用モーター、７は電極１をホルダー３ととも
にスピンドル５にクランプするためのクランプ機構、８
は電極１の軸方向に可動とされるリニアゲージ、９はリ
ニアゲージ８の先端に接続され、電極１の加工液穴内部
に格納された検出ピン、１０は検出ピン９を案内するガ
イド機構、２０はスピンドル回転用モーター６の動力を
スピンドル５に伝える動力ベルトである。

【００４２】図２は、加工液穴内部の検出ピン９の電極
軸方向の動作状態を示した図であり、ａ）は加工中の検
出ピン９の先端が工作物２の上面に接触している状態、
ｂ）は検出ピン９がリニアゲージ８により電極軸方向上
部に引き上げられている状態、を示している。

【００４３】図３は、図１の電極先端部分およびその制
御部分を示した概略図であり、１１はリニアゲージ８に
より検出された電極１と検出ピン９の相対位置を記憶す
る電極先端位置記憶手段、１２はスピンドル５を電極軸
方向（Ｚ軸方向）に駆動する主軸駆動装置、１３は主軸
位置検出器（図示せず）により検出されたＺ軸方向の主
軸の位置を記憶する主軸位置記憶手段、１４は電極先端
位置記憶手段１１と主軸位置記憶手段１３の情報から、
工作物２上面の電極１の位置、加工深さを計算する計算
手段、１５は電極１の内穴から噴出される加工液であ
る。

【００４４】次に、動作について説明する。加工におい
ては、電極１はホルダー３とともにスピンドル５にクラ
ンプされ、回転用モーター６により、スピンドル５およ
び電極１を回転させながら加工を行う。リニアゲージ８
は内蔵された駆動機構により電極軸方向（Ｚ軸方向）に
可動とされ、加工中は工作物２の上面に検出ピン９の先
端が接触するように駆動される（図３）。このとき、リ
ニアゲージ８は電極１（ホルダー３）と検出ピン９のＺ
軸方向の相対位置を検出し、その検出値を電極先端位置
記憶手段１１に記憶し、この電極先端位置情報から、現
在の電極長さおよび電極消耗量に相当する量が求められ
る。なお、電極１の内穴からは常時加工液が噴出される
ため、検出ピン９の先端および工作物２の上面は常に洗
浄され、検出精度の低下が抑えられる。

【００４５】加工中、主軸駆動装置１２によりＺ軸方向
のサーボ送りが行われ、加工の進行に伴って電極１のＺ
軸方向送りが行われるが、この主軸位置はエンコーダー
などにより検出され、主軸位置記憶手段１３に記憶され
る。計算手段１４は主軸位置情報と電極先端位置情報の
差を取ることにより、工作物２上面の電極１の位置、加
工深さ、加工残量を計算し、この計算結果（加工深さ情
報）に応じて、制御装置（図示せず）により加工条件を
切り換えるとともに、加工残量が０となった段階で加工
を終了させる。加工終了後、または電極消耗量が所定量
となった時には、一旦加工および電極回転を停止させる
とともに、リニアゲージ８に内蔵した駆動機構により検
出ピン９を上昇させて、電極交換装置（図示せず）によ
り電極１をホルダー３ごと交換する。

【００４６】なお、本実施例では、検出ピン９を加工中
常時工作物２上面に接触させ、常に加工上面の位置を認
識するようにしていたが、検出ピン９を随時あるいは定
期的に工作物２上面に接触させ、随時あるいは定期的に
加工上面の位置を認識するようにしても良い。

【００４７】実施例２．図４は、この発明の他の実施例
を示す構成図である。図において、１，２，５，８，
９，１１〜１５は上述の図３と同一のものであり、６０
は層を加工するためのツールパスを記憶するツールパス
記憶手段、１７は計算手段１４より計算された工作物２
上面の電極１の位置情報から追加すべき繰り返し数、加
工電気条件、水平方向（ＸＹ方向）送り成分とＺ方向送
り成分の比率を変更するための制御装置である。

【００４８】次に、動作について説明する。加工におい
ては、実施例１と同様、電極１はホルダー３とともにス
ピンドル５にクランプされ、回転用モーター６により、
スピンドル５および電極１を回転させながら加工を行
う。しかし、本実施例では、電極の長さ方向消耗量を補
正するＺ軸方向成分の送りを、水平方向（ＸＹ方向）成
分の送りと合成しながら、ツールパス記憶手段６０に記
憶された少なくとも１種類のツールパスを繰り返し移動
しつつ輪郭形状の加工を行う。この加工方法では電極消
耗の補正送りが行われるため、電極加工速度が速い電極
有消耗条件を使用することができる。

【００４９】リニアゲージ８は内蔵された駆動機構によ
り電極軸方向（Ｚ軸方向）に可動とされ、加工中は工作
物２の上面に検出ピン９の先端が接触するように駆動さ
れる。このとき、リニアゲージ８は電極１(ホルダー３)
と検出ピン９のＺ軸方向の相対位置を検出し、この検出
値を電極先端位置記憶手段１１に記憶し、この電極先端
位置情報から、現在の電極長さおよび電極消耗量に相当
する量が求められる。

【００５０】加工中は、また、主軸駆動装置１２により
Ｚ軸方向のサーボ送りが行われ、加工の進行に伴って電
極１のＺ軸方向送りが行われるが、この主軸位置はエン
コーダーなどによって検出され、主軸位置記憶手段１３
に記憶される。計算手段１４は電極先端位置記憶手段１
１と主軸位置記憶手段１３の情報から、工作物２上面の
電極１の位置、加工深さ、加工残量を計算し、この計算
結果（加工深さ情報）に応じて、制御装置１７が追加す
べき繰り返し数、加工電気条件、水平方向（ＸＹ方向）
送り成分とＺ方向送り成分の比率を変更したり制御した
りして、加工を行う。

【００５１】実施例３．図５は、この発明の他の実施例
を示す構成図である。図において、電極１はホルダー３
とともにスピンドル５にクランプされ、その先端は工作
物２に対向するように設置されており、電極１および工
作物２には加工電源１６が接続されている。工作物２は
ＸおよびＹ方向テーブル２６に固定され、ＸおよびＹ方
向テーブル２６はＮＣ制御装置２７に接続され、電極軌
道データ１８もＮＣ制御装置２７に接続されている。ま
た、接触式センサ２３が、電極１の走査方向２２に対し
て電極１の直前と直後に設置されており、これが電極先
端位置記憶手段１１に接続され、電極先端位置記憶手段
１１はその先の計算手段１４に接続されている。そし
て、計算手段１４は主軸位置記憶手段１３と制御装置１
７に接続され、制御装置１７はＮＣ制御装置２７と主軸
駆動装置１２と加工電源１６に接続されている。

【００５２】次に、動作について説明する。図５のよう
に設置された接触式センサ２３によって、放電加工中の
加工直前の面と加工直後の面の段差ｄを測定する。電極
の消耗量が多くなると、加工量が減少するため、上述の
段差ｄは減少する。したがって、放電加工中に随時また
は常時測定された段差ｄの情報を電極先端位置記憶手段
１１に送り、この電極先端位置記憶手段１１の情報に、
主軸位置記憶手段１３の情報を加えて、計算手段１４に
おいて、工作物２上面の電極１の位置、加工深さ、加工
残量が計算される。この計算結果（加工深さ情報）に応
じて、制御装置１７は追加すべき繰り返し数、加工電気
条件、水平方向（ＸＹ方向）送り成分とＺ方向送り成分
の比率を変更したり制御したりして、加工を行う。使用
する接触式センサ２３としては、バネ式センサや通電式
センサ等も考えられる。

【００５３】実施例４．図６は、この発明の他の実施例
を示す構成図である。図５の接触式センサ２３を図６の
ように設置することによって、電極１の走査方向２２に
対して、電極先端後部２５の未消耗の電極側面２４から
の電極消耗量を２箇所以上測定し、これを電極先端位置
記憶手段１１に送り、この電極先端位置記憶手段１１の
情報と主軸位置記憶手段１３の情報から、計算手段１４
において電極先端後部２５の形状を計算する。この計算
結果（電極消耗量情報）に応じて、制御装置１７は追加
すべき繰り返し数、加工電気条件、水平方向（ＸＹ方
向）送り成分とＺ方向送り成分の比率を変更したり制御
したりして、加工を行う。ここで使用する接触式センサ
２３としては、例えば、バネ式センサや通電式センサ等
がある。

【００５４】実施例５．図７は、この発明の他の実施例
を示す構成図である。図において、電極１はホルダー３
とともにスピンドル５にクランプされ、その先端は工作
物２に対向するように設置されており、電極１および工
作物２には加工電源１６が接続されている。工作物２は
ＸおよびＹ方向テーブル２６に固定され、ＸおよびＹ方
向テーブル２６はＮＣ制御装置２７に接続され、電極軌
道データ１８もＮＣ制御装置２７に接続されている。ま
た、内穴を有する電極１の内側には、図８の電極断面図
に示すように、電極１と絶縁されたニクロム抵抗線で組
まれたブリッジ回路２８が設けられている。このブリッ
ジ回路２８には直流電源２９が接続され、電極先端側か
ら一番離れたブリッジに電流計３０が設置されている。
この電流計３０は、電極先端位置記憶手段１１に接続さ
れ、電極先端位置記憶手段１１はその先の計算手段１４
に接続されている。計算手段１４は主軸位置記憶手段１
３と制御装置１７に接続され、制御装置１７はＮＣ制御
装置２７と主軸駆動装置１２と加工電源１６に接続され
ている。

【００５５】次に、動作について説明する。図８におい
て、電極１と工作物２には加工電源１６より加工パルス
が供給されて放電加工が行われる。このとき、ＮＣ制御
装置２７によって制御されてＸおよびＹ方向テーブル２
６に固定された工作物２の放電位置が移動し、これに対
して主軸駆動装置１２が制御されて、所要の３次元形状
加工が行われる。また、図８の内穴を有する電極１は、
その内部に組まれたブリッジ回路２８を流れる電流が、
加工中も電流計３０により計測され、電極が消耗すると
ニクロム抵抗線のブリッジ部分も電極先端側から順番に
消耗していき回路全体の抵抗値を増加させるため、直流
電源２９の内部インピーダンスを考慮すれば電流計３０
で測定される電流値が減少する。したがって、放電加工
中に随時または常時測定される電流変化の情報を、電極
先端位置記憶手段１１に送り、この電極先端位置記憶手
段１１の情報に主軸位置記憶手段１３の情報を加えて、
計算手段１４において工作物２上面の位置、加工深さ、
加工残量を計算し、この計算結果(加工深さ情報)に応じ
て、制御装置１７が追加すべき繰り返し数、加工電気条
件、水平方向（ＸＹ方向）送り成分とＺ方向送り成分の
比率を変更したり制御したりして、加工を行う。

【００５６】実施例６．図９は、この発明の他の実施例
を示す構成図である。図において、電極１はホルダー３
とともにスピンドル５にクランプされ、その先端は工作
物２に対向するように設置されており、電極１および工
作物２には加工電源１６が接続されている。工作物２は
ＸおよびＹ方向テーブル２６に固定され、ＸおよびＹ方
向テーブル２６はＮＣ制御装置２７に接続され、電極軌
道データ１８もＮＣ制御装置２７に接続されている。ま
た、渦電流センサ３１が、電極１の走査方向２２に対し
て電極１の後方に設置され、これが電極先端位置記憶手
段１１に接続され、電極先端位置記憶手段１１はその先
の計算手段１４に接続されている。計算手段１４は主軸
位置記憶手段１３と制御装置１７に接続され、制御装置
１７はＮＣ制御装置２７と主軸駆動装置１２と加工電源
１６に接続されている。

【００５７】次に、動作について説明する。図９におい
て、電極１と工作物２には加工電源１６より加工パルス
が供給されて放電加工が行われる。このとき、ＮＣ制御
装置２７によって制御されてＸおよびＹ方向テーブル２
６に固定された工作物２の放電位置が移動し、これに対
して主軸駆動装置１２が制御されて、所要の３次元形状
加工が行われる。電極１の先端面と工作物２との間隙
が、最適の加工精度あるいは加工速度を実現する距離に
ある時、渦電流センサ３１と工作物２との間の渦電流を
検出できる位置に渦電流センサ３１を設置して加工間隙
を測定する。放電加工によって電極消耗量が大きくなる
と加工量が減少していくため、渦電流センサ３１と工作
物２との間の間隙が小さくなって渦電流が検出されなく
なる。したがって、放電加工中に随時または常時計測さ
れる渦電流変化の情報を電極先端位置記憶手段１１に送
り、この電極先端位置記憶手段１１の情報に主軸位置記
憶手段１３の情報を加えて、計算手段１４により工作物
２上面の電極１の位置、加工深さ、加工残量を計算し、
この計算結果（加工深さ情報）に応じて、制御装置１７
により追加すべき繰り返し数、加工電気条件、水平方向
（ＸＹ方向）送り成分とＺ方向送り成分の比率を変更し
たり制御したりして、加工を行う。

【００５８】実施例７．図１０は、この発明の他の実施
例を示す構成図である。図において、電極１はホルダー
３とともにスピンドル５にクランプされ、その先端は工
作物２に対向するように設置されており、電極１および
工作物２には加工電源１６が接続されている。工作物２
はＸおよびＹ方向テーブル２６に固定され、ＸおよびＹ
方向テーブル２６はＮＣ制御装置２７に接続され、電極
軌道データ１８もＮＣ制御装置２７に接続されている。
電極１と工作物２には交流電源３２が接続され、交流電
源３２には並列に電圧計３３が設置されており、電圧計
３３は電極先端位置記憶手段１１に、電極先端位置記憶
手段１１はその先の計算手段１４に接続されている。そ
して、計算手段１４は主軸位置記憶手段１３と制御装置
１７に接続され、制御装置１７はＮＣ制御装置２７と主
軸駆動装置１２と加工電源１６に接続されている。

【００５９】次に、動作について説明する。図１０にお
いて、電極１と工作物２には加工電源１６より加工パル
スが供給されて放電加工が行われる。このとき、ＮＣ制
御装置２７によって制御されてＸおよびＹ方向テーブル
２６に固定された工作物２の放電位置が移動し、これに
対して主軸駆動装置１２が制御されて、所要の３次元形
状加工が行われる。放電加工では、電極１の先端面とそ
れに対向する工作物２との間で一種のコンデンサが形成
されるため、交流電源３２によって電極１と工作物２の
間に静電気を蓄えることができる。したがって、電極１
と工作物２の極間の電圧を電圧計３３で測定することに
より、静電容量を測定することができる。この電極１と
工作物２の間の静電容量の変化は、電極１と工作物２の
間の間隙の大きさと反比例の関係にあることから、加工
が進行して加工間隙が変化した場合の静電容量の変化
量、すなわち、この電極１と工作物２の間の電圧変化を
電圧計３３によって放電加工中に随時または常時計測
し、この情報を電極先端位置記憶手段１１に送り、この
電極先端位置記憶手段１１の情報に主軸位置記憶手段１
３の情報を加えて計算手段１４により、工作物２上面の
電極１の位置、加工深さ、加工残量を計算し、この計算
結果（加工深さ情報）に応じて、制御装置１７により追
加すべき繰り返し数、加工電気条件、水平方向（ＸＹ方
向）送り成分とＺ方向送り成分の比率を変更したり制御
したりして、加工を行う。

【００６０】実施例８．図１１は、この発明の他の実施
例を示す構成図である。図において、電極１はホルダー
３とともにスピンドル５にクランプされ、その先端は工
作物２に対向するように設置されており、電極１および
工作物２には加工電源１６が接続されている。工作物２
はＸおよびＹ方向テーブル２６に固定され、ＸおよびＹ
方向テーブル２６はＮＣ制御装置２７に接続され、電極
軌道データ１８もＮＣ制御装置２７に接続されている。
加工液供給装置３４は加工液供給管５０によって電極１
の内穴に接続され、加工液供給管５０には圧力計３６が
設置されている。圧力計３６は、電極先端位置記憶手段
１１に接続され、電極先端位置記憶手段１１はその先の
計算手段１４に接続されている。計算手段１４は主軸位
置記憶手段１３と制御装置１７に接続され、制御装置１
７はＮＣ制御装置２７と主軸駆動装置１２と加工電源１
６に接続されている。

【００６１】次に、動作について説明する。図１１にお
いて、電極１と工作物２には加工電源１６より加工パル
スが供給されて放電加工が行われる。このとき、ＮＣ制
御装置２７によって制御されてＸおよびＹ方向テーブル
２６に固定された工作物２の放電位置が移動し、これに
対して主軸駆動装置１２が制御されて、所要の３次元形
状加工が行われる。加工液供給装置３４から供給される
加工液は、加工液供給管５０を通って電極１の内穴に導
かれ、電極先端の加工液噴出口３５から工作物２の加工
面に向けて噴出されるので、加工液供給管５０の中に設
置された圧力計３６によって、加工液の噴出圧力を測定
することができる。この噴出圧力は加工液噴出口３５と
それに対向する工作物２の間の間隙が小さい時には大き
い値を示すが、その間隙が大きい時には減少する。した
がって、圧力計３６で放電加工中に随時または常時計測
される噴出圧力の変化量を、電極先端位置記憶手段１１
に送り、この電極先端位置記憶手段１１の情報に主軸位
置記憶手段１３の情報を加えて、計算手段１４により工
作物２上面の電極１の位置、加工深さ、加工残量を計算
し、この計算結果（加工深さ情報）に応じて、制御装置
１７において追加すべき繰り返し数、加工電気条件、水
平方向（ＸＹ方向）送り成分とＺ方向送り成分の比率を
変更したり制御したりして、加工を行う。また、圧力計
３６の代わりに流量計を用い、加工液の圧力を計測する
代わりに加工液流量を計測するようにしても、上述と同
様の各種制御動作を実現することができる。

【００６２】実施例９．図１２は、この発明の他の実施
例を示す構成図である。図において、電極１はホルダー
３とともにスピンドル５にクランプされ、その先端は工
作物２に対向するように設置されており、電極１および
工作物２には加工電源１６が接続されている。工作物２
はＸおよびＹ方向テーブル２６に固定され、ＸおよびＹ
方向テーブル２６はＮＣ制御装置２７に接続され、電極
軌道データ１８もＮＣ制御装置２７に接続されている。
電極１の走査方向２２に対して電極後方の加工液に防水
処理されたＣＣＤカメラ３７が設置されており、これが
電極先端位置記憶手段１１に接続され、電極先端位置記
憶手段１１はその先の計算手段１４に接続されている。
計算手段１４は主軸位置記憶手段１３と制御装置１７に
接続され、制御装置１７はＮＣ制御装置２７と主軸駆動
装置１２と加工電源１６に接続されている。

【００６３】次に、動作について説明する。図１２にお
いて、電極１と工作物２には加工電源１６より加工パル
スが供給されて放電加工が行われる。このとき、ＮＣ制
御装置２７によって制御されてＸおよびＹ方向テーブル
２６に固定された工作物２の放電位置が移動し、これに
対して主軸駆動装置１２が制御されて、所要の３次元形
状加工が行われる。放電加工中に電極先端位置と工作物
２の間の間隙を随時または常時撮影し、この映像情報を
電極先端位置記憶手段１１に送り、この電極先端位置記
憶手段１１の情報に主軸位置記憶手段１３の情報を加え
て、計算手段１４により工作物２上面の電極１の位置、
加工深さ、加工残量を計算し、この計算結果（加工深さ
情報）に応じて、制御装置１７において追加すべき繰り
返し数、加工電気条件、水平方向（ＸＹ方向）送り成分
とＺ方向送り成分の比率を変更したり制御したりして、
加工を行う。また、ＣＣＤカメラ３７の代わりに光ファ
イバスコープを用いても同様の計測ができ、上述と同様
の各種制御動作が実現できる。

【００６４】さらに、本実施例の変形例として、ＣＣＤ
カメラ３７のような計測用カメラを図１３に示すよう
に、ホルダー３とともにスピンドル５にクランプし、電
極１の長さ方向と同じ軸上に設置して、その内穴から加
工面を放電加工中に随時または常時撮影し、カメラから
加工面までの距離の変化を測定画像の焦点のずれ量とし
て計測し、この測定情報を電極先端位置記憶手段１１へ
送るようにしても、上述と同様の動作が実現できる。

【００６５】実施例１０．図１４は、この発明の他の実
施例を示す構成図である。図において、電極１はホルダ
ー３とともにスピンドル５にクランプされ、その先端は
工作物２に対向するように設置されており、電極１およ
び工作物２には加工電源１６が接続されている。工作物
２はＸおよびＹ方向テーブル２６に固定され、Ｘおよび
Ｙ方向テーブル２６はＮＣ制御装置２７に接続され、電
極軌道データ１８もＮＣ制御装置２７に接続されてい
る。レーザ変位計４８が電極１の内穴を通って工作物２
の上面にレーザ光４９が照射されるようにホルダー３と
ともにスピンドルに５にクランプされており、レーザ変
位計４８は電極先端位置記憶手段１１に接続され、電極
先端位置記憶手段１１はその先の計算手段１４に接続さ
れている。計算手段１４は主軸位置記憶手段１３と制御
装置１７に接続され、制御装置１７はＮＣ制御装置２７
と主軸駆動装置１２と加工電源１６に接続されている。

【００６６】次に、動作について説明する。図１４にお
いて、電極１と工作物２には加工電源１６より加工パル
スが供給されて放電加工が行われる。このとき、ＮＣ制
御装置２７によって制御されてＸおよびＹ方向テーブル
２６に固定された工作物２の放電位置が移動し、これに
対して主軸駆動装置１２が制御されて、所要の３次元形
状加工が行われる。放電加工中にレーザ変位計４８の設
置面から加工面までの距離を随時または常時計測し、そ
の距離変化量の情報を電極先端位置記憶手段１１に送
り、この電極先端位置記憶手段１１の情報に主軸位置記
憶手段１３の情報を加えて、計算手段１４により工作物
２上面の電極１の位置、加工深さ、加工残量を計算し、
この計算結果（加工深さ情報）応じて、制御装置１７に
おいて追加すべき繰り返し数、加工電気条件、水平方向
（ＸＹ方向）送り成分とＺ方向送り成分の比率を変更し
たり制御したりして、加工を行う。

【００６７】実施例１１．図１５は、この発明の他の実
施例を示す構成図である。図において、電極１はホルダ
ー３とともにスピンドル５にクランプされ、その先端は
工作物２に対向するように設置されており、電極１およ
び工作物２には加工電源１６が接続されている。工作物
２はＸおよびＹ方向テーブル２６に固定され、Ｘおよび
Ｙ方向テーブル２６はＮＣ制御装置２７に接続され、電
極軌道データ１８もＮＣ制御装置２７に接続されてい
る。電極１にはその長手方向に電極長さ情報を持ったバ
ーコード３８が取り付けられており、そのバーコード３
８の情報を読み取るバーコード読み取り装置３９が電極
先端位置記憶手段１１に接続され、電極先端位置記憶手
段１１はその先の計算手段１４に接続されている。計算
手段１４は主軸位置記憶手段１３と制御装置１７に接続
され、制御装置１７はＮＣ制御装置２７と主軸駆動装置
１２と加工電源１６に接続されている。

【００６８】次に、動作について説明する。図１５にお
いて、電極１と工作物２には加工電源１６より加工パル
スが供給されて放電加工が行われる。このとき、ＮＣ制
御装置２７によって制御されてＸおよびＹ方向テーブル
２６に固定された工作物２の放電位置が移動し、これに
対して主軸駆動装置１２が制御されて、所要の３次元形
状加工が行われる。電極１の長手方向に電極長さ情報を
持ったバーコード３８を取り付けておき、放電加工中に
電極側面からバーコード読み取り装置３９によって電極
長さを随時または常時計測し、この電極長さ変化量の情
報を電極先端位置記憶手段１１に送り、この電極先端位
置記憶手段１１の情報に主軸位置記憶手段１３の情報を
加えて、計算手段１４により工作物２上面の電極１の位
置、加工深さ、加工残量を計算し、この計算結果（加工
深さ情報）に応じて、制御装置１７において追加すべき
繰り返し数、加工電気条件、水平方向（ＸＹ方向）送り
成分とＺ方向送り成分の比率を変更したり制御したりし
て、加工を行う。

【００６９】実施例１２．図１６は、この発明の他の実
施例を示す構成図である。図において、電極１はホルダ
ー３とともにスピンドル５にクランプされ、その先端は
工作物２に対向するように設置されており、電極１およ
び工作物２には加工電源１６が接続されている。工作物
２はＸおよびＹ方向テーブル２６に固定され、Ｘおよび
Ｙ方向テーブル２６はＮＣ制御装置２７に接続され、電
極軌道データ１８もＮＣ制御装置２７に接続されてい
る。電極１には電極共振周波数モニタ４２が接続されて
おり、この電極共振周波数モニタ４２が電極先端位置記
憶手段１１に接続され、電極先端位置記憶手段１１はそ
の先の計算手段１４に接続されている。計算手段１４は
主軸位置記憶手段１３と制御装置１７に接続され、制御
装置１７はＮＣ制御装置２７と主軸駆動装置１２と加工
電源１６に接続されている。また、電波発信装置４０が
電極１に向けて電波を発信できるように設置されてい
る。

【００７０】次に、動作について説明する。図１６にお
いて、電極１と工作物２には加工電源１６より加工パル
スが供給されて放電加工が行われる。このとき、ＮＣ制
御装置２７によって制御されてＸおよびＹ方向テーブル
２６に固定された工作物２の放電位置が移動し、これに
対して主軸駆動装置１２が制御されて、所要の３次元形
状加工が行われる。電極１は高インピーダンスのアンテ
ナと考えられるため、外部から電極１に向けて電波発信
装置４０から電波４１を発信して加工開始前の電極１の
共振周波数を測定しておき、加工中も電波を電極１に対
して発信しておくと、測定される電極１の共振周波数は
加工の進行に伴い電極長さが短くなると変化する。した
がって、放電加工中にこの共振周波数を随時または常時
計測し、計測された共振周波数変化量の情報を電極先端
位置記憶手段１１に送り、この電極先端位置記憶手段１
１の情報に主軸位置記憶手段１３の情報を加えて、計算
手段１４により工作物２上面の電極１の位置、加工深
さ、加工残量を計算し、この計算結果（加工深さ情報）
に応じて、制御装置１７において追加すべき繰り返し
数、加工電気条件、水平方向（ＸＹ方向）送り成分とＺ
方向送り成分の比率を変更したり制御したりして、加工
を行う。

【００７１】実施例１３．図１７は、この発明の他の実
施例を示す構成図である。図において、電極１はホルダ
ー３とともにスピンドル５にクランプされ、その先端は
工作物２に対向するように設置されており、電極１およ
び工作物２には加工電源１６が接続されている。工作物
２はＸおよびＹ方向テーブル２６に固定され、Ｘおよび
Ｙ方向テーブル２６はＮＣ制御装置２７に接続され、電
極軌道データ１８もＮＣ制御装置２７に接続されてい
る。超音波発振器４３は電極先端に向けて超音波を発信
できるように電極１の長さ方向と同じ軸上にホルダー３
とともにスピンドルに５にクランプされており、超音波
受信器４４も電極先端で反射した超音波を受信できるよ
うに電極１の長さ方向と同じ軸上にホルダー３とともに
スピンドルに５にクランプされている。超音波受信器４
４は電極先端位置記憶手段１１に接続され、電極先端位
置記憶手段１１はその先の計算手段１４に接続されてい
る。計算手段１４は主軸位置記憶手段１３と制御装置１
７に接続され、制御装置１７はＮＣ制御装置２７と主軸
駆動装置１２と加工電源１６に接続されている。

【００７２】次に、動作について説明する。図１７にお
いて、電極１と工作物２には加工電源１６より加工パル
スが供給されて放電加工が行われる。このとき、ＮＣ制
御装置２７によって制御されてＸおよびＹ方向テーブル
２６に固定された工作物２の放電位置が移動し、これに
対して主軸駆動装置１２が制御されて、所要の３次元形
状加工が行われる。スピンドル５にクランプされた超音
波発振器４３からは電極先端に向けて電極１の内部に発
振超音波４５を発信させ、電極先端面４７で反射して再
び戻ってくる反射超音波４６を超音波受信器４４で受信
する。受信までに要する時間は電極の長さに比例するた
め、放電加工中に随時または常時、この受信時間の変化
を計測する。計測された超音波受信時間変化量の情報を
電極先端位置記憶手段１１に送り、この電極先端位置記
憶手段１１の情報に主軸位置記憶手段１３の情報を加え
て、計算手段１４により工作物２上面の電極１の位置、
加工深さ、加工残量を計算し、この計算結果（加工深さ
情報）に応じて、制御装置１７において追加すべき繰り
返し数、加工電気条件、水平方向（ＸＹ方向）送り成分
とＺ方向送り成分の比率を変更したり制御したりして、
加工を行う。

【００７３】

【発明の効果】この発明の請求項１に係る放電加工装置
は、内穴を有する電極と工作物間に電圧を印加しつつ加
工を行う放電加工装置において、前記電極の内穴に設け
られ、電極および電極保持部に対して前記電極軸方向
（以下Ｚ軸方向とする）に相対的に可動とされる棒状部
材と、前記棒状部材の先端を工作物上面に接触させた状
態における、前記棒状部材と電極保持部とのＺ軸方向相
対位置を計測する計測手段を設けたため、工作物上面に
相当する位置を常時又は随時計測しながら加工を行うこ
とができるという効果を奏する。

【００７４】この発明の請求項２に係る放電加工装置
は、内穴を有する電極と工作物間に電圧を印加するとと
もに、電極の長さ方向消耗量を補正するＺ軸方向成分の
送りを、水平方向（ＸＹ方向）成分の送りと合成しなが
ら、少なくとも１種類のツールパスを繰り返し移動しつ
つ輪郭形状の加工を行う放電加工装置において、層を加
工するためのツールパスの少なくともＸＹデータを記憶
する記憶手段と、前記電極の内穴に設けられ、電極およ
び電極保持部に対して前記電極軸方向（以下Ｚ軸方向と
する）に相対的に可動とされる棒状部材と、前記棒状部
材の先端を工作物上面に接触させた状態における、前記
棒状部材と電極保持部とのＺ軸方向相対位置を計測する
計測手段と、前記計測手段の計測値に基づき追加すべき
繰り返し数、加工電気条件、水平方向（ＸＹ方向）送り
成分とＺ方向送り成分の比率の少なくとも一つを変更す
る制御手段を備えたため、工作物上面に相当する位置を
常時又は随時計測しつつ、加工残量に応じて、繰り返し
数、加工電気条件、水平方向（ＸＹ方向）送り成分やＺ
方向送り成分などを制御しながら加工を行うことができ
るという効果を奏する。

【００７５】この発明の請求項３に係る放電加工装置
は、請求項１又は請求項２の放電加工装置において、前
記棒状部材と電極保持部とのＺ軸方向相対変位量から、
電極のＺ方向（長さ）消耗量を求め、前記消耗量に応じ
て電極の補給、交換を行う電極供給手段を設けたため、
電極交換時期を自動的に判断しながら加工を行うことが
できるという効果を奏する。

【００７６】この発明の請求項４に係る放電加工装置
は、電極軌道を定義するデータとこの電極軌道データに
したがって電極を移動させる制御装置と電極消耗長さを
記憶する手段を有し、加工電極と工作物を対向してなる
加工間隙に加工電源より供給されるパルス放電を繰り返
して加工する放電加工装置において、前記電極の走査方
向の前方および後方に設けられ、電極および電極保持部
に対してＺ軸方向に相対的に可動とされる棒状部材と、
前記棒状部材の先端を工作物の加工直前面と加工直後面
の上面に接触させた状態における、前記各棒状部材と電
極保持部とのＺ軸方向相対位置を計測する計測手段を設
けたため、工作物の加工深さを常時又は随時計測しなが
ら加工を行うことができるという効果を奏する。

【００７７】この発明の請求項５に係る放電加工装置
は、電極軌道を定義するデータとこの電極軌道データに
したがって電極を移動させる制御装置と電極消耗長さを
記憶する手段を有し、加工電極と工作物を対向してなる
加工間隙に加工電源より供給されるパルス放電を繰り返
して加工する放電加工装置において、電極および電極未
消耗側面部分とのＺ軸に対して垂直方向に相対的に可動
とされる棒状部材と、前記棒状部材の先端を電極の未消
耗側面部分に対する電極先端の消耗部分に接触させた状
態における、前記棒状部材と電極未消耗側面部分とのＺ
軸に対する垂直方向相対位置を計測する計測手段を設け
たため、電極先端部分の形状を常時又は随時計測しなが
ら加工を行うことができるという効果を奏する。

【００７８】この発明の請求項６に係る放電加工装置
は、電極軌道を定義するデータとこの電極軌道データに
したがって電極を移動させる制御装置と電極消耗長さを
記憶する手段を有し、加工電極と工作物を対向してなる
加工間隙に加工電源より供給されるパルス放電を繰り返
して加工する放電加工装置において、電極に取り付けら
れた抵抗線が放電加工によって電極と共に消耗し、その
抵抗線を流れる電流の変化量から前記棒状部材と電極保
持部とのＺ軸方向相対位置を計測する計測手段を設けた
ため、電極消耗長さを常時又は随時計測することで、電
極のＺ方向送り成分などを制御しながら加工を行うこと
ができるという効果を奏する。

【００７９】この発明の請求項７に係る放電加工装置
は、電極軌道を定義するデータとこの電極軌道データに
したがって電極を移動させる制御装置と電極消耗長さを
記憶する手段を有し、加工電極と工作物を対向してなる
加工間隙に加工電源より供給されるパルス放電を繰り返
して加工する放電加工装置において、前記電極の走査方
向に対してその後方に工作物の加工面までの距離を測定
するように設けられた渦電流検出器と、前記渦電流検出
器により渦電流が検出された状態における加工面深さを
計測する計測手段を設けたため、工作物上面に相当する
位置を常時又は随時計測することで、電極のＺ方向送り
成分などを制御しながら加工を行うことができるという
効果を奏する。

【００８０】この発明の請求項８に係る放電加工装置
は、電極軌道を定義するデータとこの電極軌道データに
したがって電極を移動させる制御装置と電極消耗長さを
記憶する手段を有し、加工電極と工作物を対向してなる
加工間隙に加工電源より供給されるパルス放電を繰り返
して加工する放電加工装置において、前記電極先端面と
これに対向する工作物の加工面との加工間隙の大きさに
よって蓄えられる量が変化する静電容量を計測する手段
を設けたため、工作物上面までの加工深さを常時又は随
時計測することで、電極のＺ方向送り成分などを制御し
ながら加工を行うことができるという効果を奏する。

【００８１】この発明の請求項９に係る放電加工装置
は、電極軌道を定義するデータとこの電極軌道データに
したがって電極を移動させる制御装置と電極消耗長さを
記憶する手段と内穴を有する電極先端から工作物に対し
て加工液を噴射する手段を有し、加工電極と被加工物を
対向してなる加工間隙に加工電源より供給されるパルス
放電を繰り返して加工する放電加工装置において、前記
電極の内穴を通過して加工面に供給される加工液に、電
極先端面と被加工面との間隙に応じたその加工液圧力の
変位量を計測する計測手段を設けたため、電極先端面と
加工面との間隙の大きさに相当する加工液圧力を常時又
は随時計測することで、電極のＺ方向送り成分などを制
御しながら加工を行うことができるという効果を奏す
る。

【００８２】この発明の請求項１０に係る放電加工装置
は、電極軌道を定義するデータとこの電極軌道データに
したがって電極を移動させる制御装置と電極消耗長さを
記憶する手段と内穴を有する電極先端から工作物に対し
て加工液を噴射する手段を有し、加工電極と被加工物を
対向してなる加工間隙に加工電源より供給されるパルス
放電を繰り返して加工する放電加工装置において、前記
電極の内穴を通過して加工面に供給される加工液に、電
極先端面と被加工面との間隙に応じたその加工液流量の
変位量を計測する計測手段を設けたため、電極先端面と
加工面との間隙の大きさに相当する加工液流量を常時又
は随時計測することで、電極のＺ方向送り成分などを制
御しながら加工を行うことができるという効果を奏す
る。

【００８３】この発明の請求項１１に係る放電加工装置
は、電極軌道を定義するデータとこの電極軌道データに
したがって電極を移動させる制御装置と電極消耗長さを
記憶する手段を有し、加工電極と工作物を対向してなる
加工間隙に加工電源より供給されるパルス放電を繰り返
して加工する放電加工装置において、前記電極および電
極保持部に対して垂直方向からの撮影が可能となるよう
に設置された計測用カメラにより、放電加工状態におけ
る前記電極先端面と加工面との加工間隙を計測する計測
手段を設けたため、工作物上面に相当する位置を常時又
は随時計測することで、電極のＺ方向送り成分などを制
御しながら加工を行うことができるという効果を奏す
る。

【００８４】この発明の請求項１２に係る放電加工装置
は、電極軌道を定義するデータとこの電極軌道データに
したがって電極を移動させる制御装置と電極消耗長さを
記憶する手段を有し、加工電極と工作物を対向してなる
加工間隙に加工電源より供給されるパルス放電を繰り返
して加工する放電加工装置において、内穴を有する電極
および電極保持部に対して、前記電極軸方向へ前記電極
内穴をとおして加工面を撮影するように設置された計測
用カメラにより、放電加工状態における前記電極先端面
と加工面との加工間隙を計測する計測手段を設けたた
め、工作物上面に相当する位置を常時又は随時計測する
ことで、電極のＺ方向送り成分などを制御しながら加工
を行うことができるという効果を奏する。

【００８５】この発明の請求項１３に係る放電加工装置
は、電極軌道を定義するデータとこの電極軌道データに
したがって電極を移動させる制御装置と電極消耗長さを
記憶する手段を有し、加工電極と被加工物を対向してな
る加工間隙に加工電源より供給されるパルス放電を繰り
返して加工する放電加工装置において、内穴を有する電
極および電極保持部に対して、前記電極軸方向へ前記電
極内穴をとおして加工面にレーザ光を照射するように設
けられたレーザ変位計と、前記レーザ変位計から照射さ
れるレーザ光によってレーザ変位計設置面から加工面ま
での距離を計測する計測手段を設けたため、工作物上面
に相当する位置を常時又は随時計測することで、電極の
Ｚ方向送り成分などを制御しながら加工を行うことがで
きるという効果を奏する。

【００８６】この発明の請求項１４に係る放電加工装置
は、電極軌道を定義するデータとこの電極軌道データに
したがって電極を移動させる制御装置と電極消耗長さを
記憶する手段を有し、加工電極と被加工物を対向してな
る加工間隙に加工電源より供給されるパルス放電を繰り
返して加工する放電加工装置において、電極に電極の長
さ方向の情報を持つバーコードを取り付け、このバーコ
ードから電極消耗量を読み取る計測手段を設けたため、
電極長さを常時又は随時計測することで、電極のＺ方向
送り成分などを制御しながら加工を行うことができると
いう効果を奏する。

【００８７】この発明の請求項１５に係る放電加工装置
は、電極軌道を定義するデータとこの電極軌道データに
したがって電極を移動させる制御装置と電極消耗長さを
記憶する手段を有し、加工電極と被加工物を対向してな
る加工間隙に加工電源より供給されるパルス放電を繰り
返して加工する放電加工装置において、電極に電極の共
振周波数を計測する計測手段を設けたため、電極長さを
常時又は随時計測することで、電極のＺ方向送り成分な
どを制御しながら加工を行うことができるという効果を
奏する。

【００８８】この発明の請求項１６に係る放電加工装置
は、電極軌道を定義するデータとこの電極軌道データに
したがって電極を移動させる制御装置と電極消耗長さを
記憶する手段を有し、加工電極と被加工物を対向してな
る加工間隙に加工電源より供給されるパルス放電を繰り
返して加工する放電加工装置において、電極内部に超音
波を発信させて電極先端面で反射して戻ってくる超音波
を検出することにより、電極長さを計測する計測手段を
設けたため、電極長さを常時又は随時計測することで、
電極のＺ方向送り成分などを制御しながら加工を行うこ
とができるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明の実施例１における工作面位置測定
装置の構造図である。

【図２】 この発明の実施例１における検出ピンの動作
説明図である。

【図３】 この発明の実施例１における放電加工装置の
構成図である。

【図４】 この発明の実施例２における放電加工装置の
構成図である。

【図５】 この発明の実施例３における加工段差測定に
より電極消耗補償動作を行う放電加工装置の構成図であ
る。

【図６】 この発明の実施例４における電極先端部消耗
形状測定により電極消耗補償動作を行う放電加工装置の
構成図である。

【図７】 この発明の実施例５における電極内抵抗変化
により電極消耗補償動作を行う放電加工装置の構成図で
ある。

【図８】 この発明の実施例５における電極消耗量測定
装置の電極断面図である。

【図９】 この発明の実施例６における渦電流測定によ
り電極消耗補償動作を行う放電加工装置の構成図であ
る。

【図１０】 この発明の実施例７における静電容量測定
により電極消耗補償動作を行う放電加工装置の構成図で
ある。

【図１１】 この発明の実施例８における加工液の噴出
圧力測定により電極消耗補償動作を行う放電加工装置の
構成図である。

【図１２】 この発明の実施例９におけるＣＣＤカメラ
を用いた加工深さ測定により電極消耗補償動作を行う放
電加工装置の構成図である。

【図１３】 この発明の実施例９における変形例を示し
た図である。

【図１４】 この発明の実施例１０におけるレーザ変位
計を用いた電極消耗量測定により電極消耗補償動作を行
う放電加工装置の構成図である。

【図１５】 この発明の実施例１１におけるバーコード
付きの電極を用いた電極長さの測定により電極消耗補償
動作を行う放電加工装置の構成図である。

【図１６】 この発明の実施例１２における電極の共振
周波数を用いた電極長さの測定により電極消耗補償動作
を行う放電加工装置の構成図である。

【図１７】 この発明の実施例１３における電極先端面
で反射する反射超音波の測定を用いた電極長さの測定に
より電極消耗補償動作を行う放電加工装置の構成図であ
る。

【図１８】 従来の電極途中交換による単純電極放電加
工方法の説明図である。

【図１９】 従来の予測補正式単純電極放電加工装置の
構成図である。

【符号の説明】

１ 電極、２ 工作物、３ ホルダー、４ コレット
部、５ スピンドル、６スピンドル回転用モータ、７
クランプ機構、８ リニアゲージ、９ 検出ピン、１０
ガイド機構、１１ 電極先端位置記憶手段、１２ 主
軸駆動装置、１３ 主軸位置記憶手段、１４ 計算手
段、１５ 加工液、１６ 加工電源、１７制御装置、１
８ 電極軌道データ、１９ 軌道修正部、２０ 動力ベ
ルト、２１ 修正軌道電極データ、２２ 走査方向、２
３ 接触式センサ、２４ 電極側面、２５ 電極先端後
部、２６ ＸおよびＹ方向テーブル、２７ ＮＣ制御装
置、２８ ブリッジ回路、２９ 直流電源、３０ 電流
計、３１ 渦電流センサ、３２ 交流電源、３３ 電圧
計、３４ 加工液供給装置、３５ 加工液噴出口、３６
圧力計、３７ ＣＣＤカメラ、３８ バーコード、３
９ バーコード読み取り装置、４０ 電波発信装置、４
１ 電波、４２ 電極共振周波数モニタ、４３ 超音波
発振器、４４ 超音波受信器、４５ 発振超音波、４６
反射超音波、４７ 電極先端面、４８ レーザ変位
計、４９ レーザ光、５０ 加工液供給管、６０ ツー
ルパス記憶手段、１０１ 基準球。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐藤 達志 尼崎市塚口本町八丁目１番１号 三菱電機 株式会社産業システム研究所内 (72)発明者 真柄 卓司 名古屋市東区矢田南五丁目１番14号 三菱 電機株式会社名古屋製作所内 (72)発明者 後藤 昭弘 名古屋市東区矢田南五丁目１番14号 三菱 電機株式会社名古屋製作所内

Claims (16)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 内穴を有する電極と工作物間に電圧を印
   加しつつ加工を行う放電加工装置において、 前記電極の内穴に設けられ、電極および電極保持部に対
   して前記電極軸方向であるＺ軸方向に相対的に可動とさ
   れる棒状部材と、前記棒状部材の先端を工作物上面に接
   触させた状態における、前記棒状部材と電極保持部との
   Ｚ軸方向相対位置を計測する計測手段を設けたことを特
   徴とする放電加工装置。
2. 【請求項２】 内穴を有する電極と工作物間に電圧を印
   加するとともに、電極の長さ方向消耗量を補正するＺ軸
   方向成分の送りを、水平方向であるＸＹ方向成分の送り
   と合成しながら、少なくとも１種類のツールパスを繰り
   返し移動しつつ輪郭形状の加工を行う放電加工装置にお
   いて、 層を加工するためのツールパスの少なくともＸＹデータ
   を記憶する記憶手段と、前記電極の内穴に設けられ、電
   極および電極保持部に対して前記電極軸方向であるＺ軸
   方向に相対的に可動とされる棒状部材と、前記棒状部材
   の先端を工作物上面に接触させた状態における、前記棒
   状部材と電極保持部とのＺ軸方向相対位置を計測する計
   測手段と、前記計測手段の計測値に基づき追加すべき繰
   り返し数、加工電気条件、ＸＹ方向送り成分とＺ方向送
   り成分の比率の少なくとも一つを変更する制御手段を備
   えたことを特徴とする放電加工装置。
3. 【請求項３】 請求項１又は請求項２の放電加工装置に
   おいて、 前記棒状部材と電極保持部とのＺ軸方向相対変位量か
   ら、電極のＺ軸方向の長さ消耗量を求め、前記消耗量に
   応じて電極の補給、交換を行う電極供給手段を設けたこ
   とを特徴とする放電加工装置。
4. 【請求項４】 電極軌道を定義するデータとこの電極軌
   道データにしたがって電極を移動させる制御装置と電極
   消耗長さを記憶する手段を有し、加工電極と工作物を対
   向してなる加工間隙に加工電源より供給されるパルス放
   電を繰り返して加工する放電加工装置において、 前記電極の走査方向の前方および後方に設けられ、電極
   および電極保持部に対してＺ軸方向に相対的に可動とさ
   れる棒状部材と、前記棒状部材の先端を工作物の加工直
   前面と加工直後面の上面に接触させた状態における、前
   記各棒状部材と電極保持部とのＺ軸方向相対位置を計測
   する計測手段を設けたことを特徴とする放電加工装置。
5. 【請求項５】 電極軌道を定義するデータとこの電極軌
   道データにしたがって電極を移動させる制御装置と電極
   消耗長さを記憶する手段を有し、加工電極と工作物を対
   向してなる加工間隙に加工電源より供給されるパルス放
   電を繰り返して加工する放電加工装置において、 電極および電極未消耗側面部分とのＺ軸に対して垂直方
   向に相対的に可動とされる棒状部材と、前記棒状部材の
   先端を電極の未消耗側面部分に対する電極先端の消耗部
   分に接触させた状態における、前記棒状部材と電極未消
   耗側面部分とのＺ軸に対する垂直方向相対位置を計測す
   る計測手段を設けたことを特徴とする放電加工装置。
6. 【請求項６】 電極軌道を定義するデータとこの電極軌
   道データにしたがって電極を移動させる制御装置と電極
   消耗長さを記憶する手段を有し、加工電極と工作物を対
   向してなる加工間隙に加工電源より供給されるパルス放
   電を繰り返して加工する放電加工装置において、 電極に取り付けられた抵抗線が放電加工によって電極と
   共に消耗し、その抵抗線を流れる電流の変化量から前記
   棒状部材と電極保持部とのＺ軸方向相対位置を計測する
   計測手段を設けたことを特徴とする放電加工装置。
7. 【請求項７】 電極軌道を定義するデータとこの電極軌
   道データにしたがって電極を移動させる制御装置と電極
   消耗長さを記憶する手段を有し、加工電極と工作物を対
   向してなる加工間隙に加工電源より供給されるパルス放
   電を繰り返して加工する放電加工装置において、 前記電極の走査方向に対してその後方に工作物の加工面
   までの距離を測定するように設けられた渦電流検出器
   と、前記渦電流検出器により渦電流が検出された状態に
   おける加工面深さを計測する計測手段を設けたことを特
   徴とする放電加工装置。
8. 【請求項８】 電極軌道を定義するデータとこの電極軌
   道データにしたがって電極を移動させる制御装置と電極
   消耗長さを記憶する手段を有し、加工電極と工作物を対
   向してなる加工間隙に加工電源より供給されるパルス放
   電を繰り返して加工する放電加工装置において、 前記電極先端面とこれに対向する工作物の加工面との加
   工間隙の大きさによって蓄えられる量が変化する静電容
   量を計測する手段を設けたことを特徴とする放電加工装
   置。
9. 【請求項９】 電極軌道を定義するデータとこの電極軌
   道データにしたがって電極を移動させる制御装置と電極
   消耗長さを記憶する手段と内穴を有する電極先端から工
   作物に対して加工液を噴射する手段を有し、加工電極と
   被加工物を対向してなる加工間隙に加工電源より供給さ
   れるパルス放電を繰り返して加工する放電加工装置にお
   いて、 前記電極の内穴を通過して加工面に供給される加工液
   に、電極先端面と被加工面との間隙に応じたその加工液
   圧力の変位量を計測する計測手段を設けたことを特徴と
   する放電加工装置。
10. 【請求項１０】 電極軌道を定義するデータとこの電極
    軌道データにしたがって電極を移動させる制御装置と電
    極消耗長さを記憶する手段と内穴を有する電極先端から
    工作物に対して加工液を噴射する手段を有し、加工電極
    と被加工物を対向してなる加工間隙に加工電源より供給
    されるパルス放電を繰り返して加工する放電加工装置に
    おいて、 前記電極の内穴を通過して加工面に供給される加工液
    に、電極先端面と被加工面との間隙に応じたその加工液
    流量の変位量を計測する計測手段を設けたことを特徴と
    する放電加工装置。
11. 【請求項１１】 電極軌道を定義するデータとこの電極
    軌道データにしたがって電極を移動させる制御装置と電
    極消耗長さを記憶する手段を有し、加工電極と工作物を
    対向してなる加工間隙に加工電源より供給されるパルス
    放電を繰り返して加工する放電加工装置において、 前記電極および電極保持部に対して垂直方向からの撮影
    が可能となるように設置された計測用カメラにより、放
    電加工状態における前記電極先端面と加工面との加工間
    隙を計測する計測手段を設けたことを特徴とする放電加
    工装置。
12. 【請求項１２】 電極軌道を定義するデータとこの電極
    軌道データにしたがって電極を移動させる制御装置と電
    極消耗長さを記憶する手段を有し、加工電極と工作物を
    対向してなる加工間隙に加工電源より供給されるパルス
    放電を繰り返して加工する放電加工装置において、 内穴を有する電極および電極保持部に対して、前記電極
    軸方向へ前記電極内穴をとおして加工面を撮影するよう
    に設置された計測用カメラにより、放電加工状態におけ
    る前記電極先端面と加工面との加工間隙を計測する計測
    手段を設けたことを特徴とする放電加工装置。
13. 【請求項１３】 電極軌道を定義するデータとこの電極
    軌道データにしたがって電極を移動させる制御装置と電
    極消耗長さを記憶する手段を有し、加工電極と被加工物
    を対向してなる加工間隙に加工電源より供給されるパル
    ス放電を繰り返して加工する放電加工装置において、 内穴を有する電極および電極保持部に対して、前記電極
    軸方向へ前記電極内穴をとおして加工面にレーザ光を照
    射するように設けられたレーザ変位計と、前記レーザ変
    位計から照射されるレーザ光によってレーザ変位計設置
    面から加工面までの距離を計測する計測手段を設けたこ
    とを特徴とする放電加工装置。
14. 【請求項１４】 電極軌道を定義するデータとこの電極
    軌道データにしたがって電極を移動させる制御装置と電
    極消耗長さを記憶する手段を有し、加工電極と被加工物
    を対向してなる加工間隙に加工電源より供給されるパル
    ス放電を繰り返して加工する放電加工装置において、 電極に電極の長さ方向の情報を持つバーコードを取り付
    け、このバーコードから電極消耗量を読み取る計測手段
    を設けたことを特徴とする放電加工装置。
15. 【請求項１５】 電極軌道を定義するデータとこの電極
    軌道データにしたがって電極を移動させる制御装置と電
    極消耗長さを記憶する手段を有し、加工電極と被加工物
    を対向してなる加工間隙に加工電源より供給されるパル
    ス放電を繰り返して加工する放電加工装置において、 電極に電極の共振周波数を計測する計測手段を設けたこ
    とを特徴とする放電加工装置。
16. 【請求項１６】 電極軌道を定義するデータとこの電極
    軌道データにしたがって電極を移動させる制御装置と電
    極消耗長さを記憶する手段を有し、加工電極と被加工物
    を対向してなる加工間隙に加工電源より供給されるパル
    ス放電を繰り返して加工する放電加工装置において、 電極内部に超音波を発信させて電極先端面で反射して戻
    ってくる超音波を検出することにより、電極長さを計測
    する計測手段を設けたことを特徴とする放電加工装置。