JPH0825035A - Solder transfer method and device - Google Patents

Solder transfer method and device

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JPH0825035A
JPH0825035A JP16687694A JP16687694A JPH0825035A JP H0825035 A JPH0825035 A JP H0825035A JP 16687694 A JP16687694 A JP 16687694A JP 16687694 A JP16687694 A JP 16687694A JP H0825035 A JPH0825035 A JP H0825035A
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均 小田島
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高道 鈴木
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    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/30Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
    • H05K3/32Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
    • H05K3/34Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
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  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)

Abstract

PURPOSE:To provide a transfer device constituted to surely part solder balls from a jig. CONSTITUTION:An aligning plate 10 of a jig for aligning is provided with aligning holes 11 in the same arrangement pattern as the arrangement pattern of pads (b) to be connected therewith. Further, the bases of the aligning holes 11 are retractably provided with pipe-shaped projecting pins 13. Fine holes 14 in this projecting pins 13 are suctionally constituted. Air is sucked from the fine holes 14 in the state of putting the solder balls x into the aligning holes 11 to attract the solder balls x. The direction of the jig 1 for aligning is changed as it is to direct the aligning holes 11 toward the pads (b). Further, the projecting pins 13 are extended in the state of sucking the solder balls (x) to press the solder balls (x) to the fluxes (f) previously applied on the surfaces of the pads (b). The suction is thereafter released.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、はんだ粒を基板に搭載
するためのはんだの転写方法および装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a solder transfer method and device for mounting solder particles on a substrate.

【0002】[0002]

【従来の技術】はんだ付けは、LSI等の電子素子と、
これを搭載する基板との接続においてなくてはならない
技術である。この中でも、特に、ボールグリッドアレイ
(BGA:Ball Grid Arrey)方式は、
電子素子の高密度化に対応可能なものとして近年特に注
目されている。
2. Description of the Related Art Soldering is performed with electronic elements such as LSI.
This is an indispensable technique for connection with the board on which this is mounted. Among these, particularly, the ball grid array (BGA) system is
In recent years, particular attention has been paid to the fact that it can be applied to high density electronic devices.

【0003】以下、BGA方式における、はんだ付け工
程の概要を説明する。
The outline of the soldering process in the BGA method will be described below.

【0004】まずパッドにフラックスを塗布する。この
フラックスの塗布は、フラックスの小滴を滴下して、あ
るいは、印刷技術を応用して行われている。なお、特別
なパッドを設けることなく、LSI等のパッケージに出
た接続端子の頭部に直接フラックスを塗布する場合もあ
る。
First, flux is applied to the pad. The application of the flux is performed by dropping a small droplet of the flux or by applying a printing technique. In some cases, the flux is directly applied to the heads of the connection terminals on the package of the LSI or the like without providing a special pad.

【0005】フラックス塗布後は、この上に粒状のはん
だ(以下”はんだボール”という)を搭載する。このは
んだボールの搭載は、パッドの配列パターンにあわせて
はんだボールを整列させる専用の治具を用いて行われ
る。該治具は、パッドと同じパターンで配列された穴を
備えている。該穴の直径は、はんだボールの直径よりも
わずかに大きい程度とされている。また、その穴の底面
には、吸引器につながる細孔が設けられている。
After applying the flux, granular solder (hereinafter referred to as "solder ball") is mounted thereon. The solder balls are mounted by using a dedicated jig for aligning the solder balls according to the pad arrangement pattern. The jig has holes arranged in the same pattern as the pads. The diameter of the hole is set to be slightly larger than the diameter of the solder ball. Further, the bottom surface of the hole is provided with a fine hole connected to the suction device.

【0006】最初、治具は、穴を有する面を上に向けて
おく。そして、はんだボールを穴に入れて整列させる。
ここで吸引器を作動させると、穴内部の空気が細孔を通
じて吸引され、掃除器と同じ原理で、はんだボールがこ
の穴の底面に吸いつけられた状態となる。この状態では
治具の向きを変えてもはんだボールが穴から出てしまう
ことはない。従って、そのまま、治具の穴を有する面を
下に向けて、基板のパッドの設けられた面(以下”パッ
ド面”という)に向き合わせる(基板は、パッド面を予
め上に向けておく)。そして、各穴と、これと対応する
パッドとが向き合うように位置決めを行い、その後、吸
引を停止するとともに、治具を振動させる。すると、は
んだボールは重力によって落下し、パッドの上に載る。
このはんだボールは、パッドに塗布されたフラックスに
よって捕捉(付着)されるため転がってしまうことはな
い。このまま加熱すると、フラックスが熔けてはんだボ
−ルをつつみ込む。その結果、はんだボ−ルはパッドに
仮固定される。
First, the jig has a holed surface facing upward. Then, the solder balls are put into the holes and aligned.
When the suction device is operated here, the air inside the hole is sucked through the pores, and the solder balls are sucked to the bottom surface of the hole by the same principle as the cleaner. In this state, the solder balls will not come out of the holes even if the direction of the jig is changed. Therefore, as it is, face the surface of the jig with the holes downwards and face the surface of the board on which the pads are provided (hereinafter referred to as "pad surface") (the board has the pad surface facing up in advance). . Then, positioning is performed so that each hole and the corresponding pad face each other, and then suction is stopped and the jig is vibrated. Then, the solder ball falls by gravity and is placed on the pad.
The solder balls do not roll because they are captured (attached) by the flux applied to the pads. If heated as it is, the flux melts and encloses the solder ball. As a result, the solder ball is temporarily fixed to the pad.

【0007】この後は、通常のリフローはんだと同様に
して、接続の相手と、つながれる。
After that, the connection partner is connected in the same manner as the normal reflow soldering.

【0008】このような技術は、例えば、特開昭58−
118131号公報に開示されている。
Such a technique is disclosed in, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 58-58.
It is disclosed in Japanese Patent No. 118131.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】しかし、はんだボ−ル
は、1個当りの質量が数mmg以下と非常に軽いため、
治具を振動などさせても、はんだボールが治具から離れ
ないことがあった(図14参照)。特に、治具等が静電
気を帯びている場合や、水分等が存在する場合には、こ
のようなおそれが強かった。
However, since each solder ball has a very light mass of several mmg or less,
Even if the jig was vibrated, the solder balls sometimes did not separate from the jig (see FIG. 14). In particular, when the jig or the like is charged with static electricity, or when water or the like is present, such a possibility is strong.

【0010】また、はんだボールは、パッド上に落下す
る途中(あるいは、落下した際に)位置がずれてしまう
ことがあった。はんだボールを穴に入れたままの状態で
パッドに押しつけるようにすれば、原理的にはこのよう
な問題を解決することができる。しかし、この方法で
は、治具にフラックスが付着してしまう等の問題があっ
た。
Further, the solder ball may be displaced during (or when) dropping onto the pad. In principle, such a problem can be solved by pressing the solder ball against the pad while leaving the solder ball in the hole. However, this method has a problem that flux adheres to the jig.

【0011】本発明は、信頼性の高いはんだボールの転
写方法および装置を提供することを目的とする。
It is an object of the present invention to provide a highly reliable solder ball transfer method and apparatus.

【0012】本発明は、はんだボールの治具からの解離
を確実とし、また、はんだボールを所定の位置に正確に
設置できるはんだボール転写方法および装置を提供する
ことを目的とする。
It is an object of the present invention to provide a solder ball transfer method and device which can ensure that the solder ball is disengaged from the jig and that can be accurately placed at a predetermined position.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するためになされたもので、その一態様としては、はん
だ粒を目的位置に転写するはんだ転写装置において、上
記目的位置に対応して配置され且つ別途供給される上記
はんだ粒がはまることのできる整列穴、を備えた整列板
と、上記整列穴内に配置され、該整列穴の深さ方向につ
いての位置を変更可能に構成された突出し部材と、上記
突出し部材の、上記整列穴の上記深さ方向についての位
置を変更させる突出し部材駆動手段と、を有することを
特徴とするはんだ転写装置が提供される。
The present invention has been made in order to achieve the above object, and in one aspect thereof, in a solder transfer apparatus for transferring solder particles to a target position, the solder transfer apparatus corresponding to the above target position is provided. An alignment plate provided with an alignment hole into which the solder particles that are separately provided can be fitted, and a protrusion that is disposed in the alignment hole and is configured to be able to change the position in the depth direction of the alignment hole. There is provided a solder transfer device comprising: a member; and a protruding member driving unit that changes a position of the protruding member in the depth direction of the alignment hole.

【0014】上記整列穴において、上記はんだ粒を着脱
自在な状態で保持する保持手段を有することが好まし
い。
It is preferable that the aligning hole has a holding means for holding the solder particles in a detachable state.

【0015】空気を吸引する吸引手段と、上記整列穴と
上記吸引手段とを連通する吸引路と、を含んで構成され
ることが好ましい。
It is preferable to include a suction means for sucking air, and a suction path for connecting the alignment hole and the suction means.

【0016】上記突出し部材の先端において、上記はん
だ粒を着脱自在な状態で保持する保持手段をさらに有す
ることが好ましい。
It is preferable that the tip of the protruding member further has a holding means for holding the solder particles in a detachable state.

【0017】空気を吸引する吸引手段と、上記吸引手段
と、上記突出し部材の先端面と、を連通する連通路と、
を有することが好ましい。
A suction passage for sucking air, a suction passage for communicating with the suction means, and a communication passage for communicating the tip end surface of the projecting member with each other.
It is preferable to have

【0018】上記突出し部材は、その先端面に開口部を
有するパイプ状に構成されたものであり、上記開口部を
通じて空気を吸引する吸引手段をさらに有することが好
ましい。
It is preferable that the projecting member is formed in a pipe shape having an opening at its tip surface, and further has suction means for sucking air through the opening.

【0019】本発明の第2の態様としては、上記はんだ
転写装置の運転方法において、上記突出し部材を予め下
げた状態で、上記整列穴に上記はんだ粒を入れ、上記整
列穴と上記目的位置とが対向した状態において、上記駆
動手段によって、上記突出し部材を外側に向けて作動さ
せること、を特徴とするはんだ転写装置の運転方法が提
供される。
As a second aspect of the present invention, in the method of operating the solder transfer apparatus, the solder particles are put in the alignment holes with the protruding member lowered in advance, and the alignment holes and the target position are set. In a state where they are opposed to each other, a driving method of the solder transfer device is provided, characterized in that the driving means actuates the projecting member toward the outside.

【0020】本発明の第3の態様としては、上記はんだ
転写装置の運転方法において、上記突出し部材を予め下
げた状態で上記整列穴に上記はんだ粒を入れ、上記吸引
手段によって上記連通路を通じて空気を吸引し、上記突
出し部材駆動手段によって上記突出し部材を外側に向け
て作動させ、その後、上記吸引手段による吸引を停止す
る、工程を含むことが好ましい。
As a third aspect of the present invention, in the method of operating the solder transfer apparatus, the solder particles are put into the alignment holes with the protruding member lowered in advance, and the suction means blows air through the communication passage. It is preferable to include a step of sucking the suction member, causing the protruding member driving unit to actuate the protruding member toward the outside, and then stopping the suction by the suction unit.

【0021】本発明の第4の態様としては、フラックス
を塗布されたパッドへのはんだ粒の転写方法において、
上記はんだ粒を上記フラックス塗布面に押しつけて仮固
定する工程を含むこと、を特徴とするはんだ転写方法が
提供される。
As a fourth aspect of the present invention, there is provided a method of transferring solder particles to a flux-coated pad,
A solder transfer method is provided, which comprises a step of pressing the solder particles against the flux-coated surface to temporarily fix the flux-coated surface.

【0022】[0022]

【作用】突出し部材を予め下げた状態で整列穴にはんだ
粒を入れる。
Operation: With the projecting member lowered in advance, solder particles are put into the alignment holes.

【0023】この後、整列板の整列穴(すなわち、はん
だ粒)を、目的位置(例えば、基板のパッド)に対向さ
せた状態とする。この場合、整列板が下側に向けられる
ことになる場合には、途中、はんだボールが重力で落下
してしまわないように、保持手段ではんだ粒を保持して
おく。例えば、吸引手段によって連通路(あるいは、吸
引炉)を通じて空気を吸引することで、はんだ粒を吸引
吸着しておく。なお、目的位置と、整列板の整列穴との
対向させるための手段は、必ずしもはんだ転写装置自身
が備えている必要はない。基板を該転写装置にまで搬送
してくる搬送装置等が備えていてもよい。
After that, the alignment holes (that is, the solder particles) of the alignment plate are made to face the target position (for example, the pad of the substrate). In this case, when the alignment plate is to be directed downward, the holding means holds the solder particles so that the solder balls do not drop by gravity during the process. For example, the solder particles are sucked and sucked by sucking air through the communication passage (or the suction furnace) by the suction means. The means for making the target position and the alignment hole of the alignment plate face each other does not necessarily have to be provided in the solder transfer device itself. A transfer device or the like that transfers the substrate to the transfer device may be provided.

【0024】整列板が下側に向けられている場合には、
整列穴(すなわち、はんだ粒)と、目的位置とを対向さ
せた後は、保持手段による保持を解除すれば、はんだ粒
は重力によって落下する。この場合、突出し部材駆動手
段によって突出し部材を外側に向けて作動させることに
より、はんだ粒は、確実に整列板から離れる。あるい
は、保持手段として、突出し部材先端においてはんだ粒
を保持するものを使用している場合には、保持を解除す
ることなく、そのまま、突出し部材を外側に向けて作動
させて、はんだ粒を、目的位置に押しつける。そして、
この後、保持手段による保持を解除する。目的位置に、
予めフラックスなどを塗布しておけば、このフラックス
によってはんだ粒は捕捉され、仮固定される。
If the alignment plate is oriented downward,
After the alignment hole (that is, the solder particles) and the target position are opposed to each other, if the holding by the holding means is released, the solder particles fall by gravity. In this case, by operating the projecting member outward by the projecting member driving means, the solder particles are reliably separated from the alignment plate. Alternatively, when the holding means that holds the solder particles at the tip of the projecting member is used, the projecting member is operated toward the outside without releasing the holding, and the solder particles are used for the purpose. Press in position. And
After that, the holding by the holding means is released. At the destination position,
If a flux or the like is applied in advance, the solder particles are captured and temporarily fixed by this flux.

【0025】整列板が途中、下に向けられない場合に
は、保持手段による保持を行わなくても、同様の作用を
行うことができる。この場合には、はんだ粒は、突出し
部材によって押し上げられるようにして、目的位置に達
する。
If the aligning plate is not turned downward in the middle, the same operation can be performed without holding by the holding means. In this case, the solder particles reach the target position by being pushed up by the projecting member.

【0026】[0026]

【実施例】本発明の実施例であるはんだボール転写装置
を図面を用いて説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A solder ball transfer device which is an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

【0027】[実施例1]本実施例の転写装置は、図
1、図2に示すとおり、整列用治具1と、基板受台2
と、反転機構3と、供給機構4と、制御部5(図示せ
ず)を含んで構成される。
[Embodiment 1] As shown in FIGS. 1 and 2, the transfer apparatus of this embodiment has an alignment jig 1 and a substrate pedestal 2.
, A reversing mechanism 3, a supply mechanism 4, and a controller 5 (not shown).

【0028】供給機構4は、整列用治具1へはんだボー
ルを供給するための機構部分である。この供給機構4
は、ふりこみホッパー40、搬送パイプ41、吸引用穴
42、ホッパー43、駆動アクチュエータ(シリンダ
ー)44、Lブラケット45等を含んで構成されてい
る。該機構部分については、本発明の特徴とするところ
ではないため詳細な説明を省略する。該供給給機構とし
ては、例えば、特開平3−225832に記載の「微小
粒体装着方法及び装置」を用いて行うことができる。
The supply mechanism 4 is a mechanism portion for supplying solder balls to the alignment jig 1. This supply mechanism 4
Is configured to include a feeding hopper 40, a conveying pipe 41, a suction hole 42, a hopper 43, a drive actuator (cylinder) 44, an L bracket 45, and the like. Since the mechanical portion is not a feature of the present invention, detailed description thereof will be omitted. As the supply and supply mechanism, for example, "a fine particle mounting method and device" described in JP-A-3-225832 can be used.

【0029】整列用治具1は、供給機構4から供給され
るはんだボールを基板pのパッドbに対応して配列する
とともに、その配列状態を維持したままでパッドbへの
転写を行うためのものである。本実施例は、この整列用
治具1およびその駆動機構を大きな特徴とするものであ
る。従って、これらについては、後ほど図5等を用いて
詳細に説明する。
The alignment jig 1 arranges the solder balls supplied from the supply mechanism 4 in correspondence with the pads b on the substrate p, and transfers the solder balls to the pads b while maintaining the arranged state. It is a thing. The present embodiment is characterized by the alignment jig 1 and its drive mechanism. Therefore, these will be described later in detail with reference to FIG.

【0030】基板受台2は、はんだボールを転写するべ
き相手となる基板pを載せ置くための台である。基板受
台2は、空気で駆動されるシリンダ23によってガイド
21に従って上下に移動し、その高さ位置を調整可能に
構成されている。また、シリンダ24によってガイド2
2に従って移動し、図1における左右方向の位置を調整
可能に構成されている。この基板受台2は吸引機構を備
えており、基板pを吸引することによって位置ずれを生
じることなく確実に保持できるようになっている。
The substrate pedestal 2 is a pedestal on which a substrate p to which the solder balls are to be transferred is placed. The substrate pedestal 2 is configured to move up and down according to the guide 21 by a cylinder 23 driven by air, and its height position can be adjusted. In addition, the cylinder 2 guides 2
It is configured so that it can be moved in accordance with No. 2 and the position in the left-right direction in FIG. The substrate pedestal 2 is provided with a suction mechanism so that by sucking the substrate p, the substrate p can be securely held without displacement.

【0031】反転機構3は、整列用治具1へのはんだボ
ールの搭載時と、このはんだボールの基板pへの転写時
とで、整列用治具6の向きを変えるためのものである。
反転機構3の拡大図を図3に示した。この反転機構3
は、反転アーム30と、軸受32と、ロ−タリアクチュ
エ−タ33(図2参照)と、カップリング34、ストッ
パ35,36とを含んで構成される。
The reversing mechanism 3 is for changing the orientation of the aligning jig 6 when the solder balls are mounted on the aligning jig 1 and when the solder balls are transferred to the substrate p.
An enlarged view of the reversing mechanism 3 is shown in FIG. This reversing mechanism 3
Includes a reversing arm 30, a bearing 32, a rotor reactor 33 (see FIG. 2), a coupling 34, and stoppers 35 and 36.

【0032】反転アーム30は、その略中央に設けられ
た軸31を、軸受32によって支えられている。そし
て、ロータリーアクチュエータ33の発する駆動力によ
って、この軸31を中心として回動し、左右反転可能に
構成されている。図3においては、反転アーム30を左
に倒した状態を実線で、一方、右に倒した状態を一点鎖
線で描いている。ストッパ35,36は、反転アーム3
0の位置(角度)決め部材である。反転ア−ム30をス
トッパ35あるいはストッパ36に押し当てることによ
って、反転アーム30を右あるいは左に倒した状態にお
いて、反転アーム30を水平に保つことができる。これ
は、結果的に、整列用治具1の基板pと対向させられる
側の面を水平にすることにつながる。反転アーム30に
は、図3における左側に位置させた状態(図3中、実線
で示す)における左側端部上面に凹部37が形成されて
いる。上述の整列用治具1およびその駆動機構は、この
凹部37内およびその周辺に設置されている。この凹部
37の詳細な構造は、整列用治具1の駆動機構等とも関
係するため、別途、整列用治具1の詳細と併せて述べる
こととする。
The reversing arm 30 is supported by a bearing 32 on a shaft 31 provided substantially at the center thereof. The drive force generated by the rotary actuator 33 causes the shaft 31 to rotate about the shaft 31 so that the shaft can be reversed right and left. In FIG. 3, the state in which the reversing arm 30 is tilted to the left is drawn by a solid line, while the state in which it is tilted to the right is drawn by a dashed line. The stoppers 35 and 36 are the reversing arm 3
It is a member for determining the position (angle) of 0. By pressing the reversing arm 30 against the stopper 35 or the stopper 36, the reversing arm 30 can be kept horizontal when the reversing arm 30 is tilted right or left. As a result, this leads to leveling the surface of the alignment jig 1 on the side facing the substrate p. A recess 37 is formed on the upper surface of the left end portion of the reversing arm 30 in the state of being positioned on the left side in FIG. 3 (shown by the solid line in FIG. 3). The above-described alignment jig 1 and its drive mechanism are installed in and around the recess 37. Since the detailed structure of the recess 37 is related to the driving mechanism of the alignment jig 1 and the like, it will be separately described together with the details of the alignment jig 1.

【0033】制御部5は、上記各部の動作を互いに連携
制御するためのものである。該制御部5による制御構成
の一部を図4に示した。本実施例では、該制御部をマイ
クロプロセッサ50、メモリ51,52、およびメモリ
に格納されたプログラム、データによって構成してい
る。制御部5は、シリンダ17、吸引ポンプ19、シリ
ンダ23,シリンダ24、ロータリーアクチュエータ3
3の他にも、供給機構4をも制御可能に構成されてい
る。管理者からの運転指示等は、操作キー54を通じて
該制御部5へ行われる。該制御部5は、この指示に従っ
て、あるいは、メモリ51,52に有するプログラムに
従って、上記各部を作動させる。
The control section 5 controls the operations of the above-mentioned sections in cooperation with each other. A part of the control configuration by the control unit 5 is shown in FIG. In this embodiment, the control unit is composed of the microprocessor 50, memories 51 and 52, and programs and data stored in the memories. The control unit 5 includes a cylinder 17, a suction pump 19, a cylinder 23, a cylinder 24, and a rotary actuator 3.
3, the supply mechanism 4 is also controllable. A driving instruction or the like from the administrator is given to the control unit 5 through the operation key 54. The control unit 5 operates each of the above units according to this instruction or according to a program stored in the memories 51 and 52.

【0034】整列用治具1(特に突出しピン13)およ
びその駆動機構について図5を用いて詳細に説明する。
The alignment jig 1 (particularly the protruding pin 13) and its driving mechanism will be described in detail with reference to FIG.

【0035】整列用治具1は、上述したとおり反転アー
ム30の一端に設けられた凹部37およびその周辺に設
置されている。この整列用治具1は、はんだボールを整
列させるための有底の整列穴11を備えた整列板10と
(図6参照)、はんだボールをこの整列板10から確実
に離れさせるための突出しピン13と、を備えている。
As described above, the aligning jig 1 is installed in the recess 37 provided at one end of the reversing arm 30 and the periphery thereof. The alignment jig 1 includes an alignment plate 10 having bottomed alignment holes 11 for aligning the solder balls (see FIG. 6) and a projecting pin for securely separating the solder balls from the alignment plate 10. 13 are provided.

【0036】整列板10の整列穴11は、パッドbに対
応したパターンおよび間隔で設けられている。図6にお
いては、3×4の格子状に設けている。この整列穴11
の径は、はんだボールの直径よりもわずかに大きい程度
とされている。本実施例では、はんだボールの直径:
0.76mm、整列穴11の直径:00.8mm、整列
穴11の深さ:0.5mmである。整列穴11の底面に
は、後述する孔372(図5参照)およびチューブを通
じて吸引ポンプ19につなげられる孔12が設けられて
いる。吸引ポンプ19で整列穴11内の空気を吸引する
ことによって、はんだボールを整列穴11の底面に吸着
保持することができる。整列板10は、凹部37の開口
部にあたかも蓋のごとく取り付けられている(図5参
照)。両者の接合部は気密構造がとられており、この接
合部のすきまから、凹部37内に空気が流入することは
ない。
The alignment holes 11 of the alignment plate 10 are provided in a pattern and intervals corresponding to the pads b. In FIG. 6, they are provided in a 3 × 4 grid pattern. This alignment hole 11
The diameter of the solder ball is slightly larger than the diameter of the solder ball. In this example, the solder ball diameter:
0.76 mm, the diameter of the alignment hole 11 is 00.8 mm, and the depth of the alignment hole 11 is 0.5 mm. The bottom surface of the alignment hole 11 is provided with a hole 372 (see FIG. 5) described later and a hole 12 that is connected to the suction pump 19 through a tube. By sucking the air in the alignment holes 11 with the suction pump 19, the solder balls can be suction-held on the bottom surface of the alignment holes 11. The alignment plate 10 is attached to the opening of the recess 37 as if it were a lid (see FIG. 5). The joint between the two has an airtight structure, and air does not flow into the recess 37 through the clearance of the joint.

【0037】突出しピン13は、出没自在な状態で孔1
2内に設置されている。この突出しピン13を作動させ
ることによって、はんだボールを整列穴11から確実に
離すことができる。この突出しピン13は、整列板10
の背面側(図5における上側)に配置されたピン保持板
15に、あたかも剣山のごとく取り付けられている。当
然ながらその配列パターン、間隔は、整列穴11の配列
パターン等に応じたものとなっている。ピン保持板15
の外周輪郭は凹部37の内周壁面370のそれと一致さ
れている。また、ピン保持板15の外周部にはOリング
16が取り付けられている。従って、ピン保持板15と
内周壁面370との間は気密を保たれ、両者の間のすき
まを通って、空気の流通は起きないようにされている。
また、これと同時に、該ピン保持板15の後述する上下
への移動を妨げないようになっている。
The projecting pin 13 is provided with a hole 1 in a retractable state.
It is installed in 2. By operating the protrusion pin 13, the solder ball can be reliably separated from the alignment hole 11. The protruding pin 13 is provided on the alignment plate 10
It is attached to the pin holding plate 15 arranged on the back side (upper side in FIG. 5) of, as if it were a sword. As a matter of course, the array pattern and the interval are in accordance with the array pattern of the alignment holes 11 and the like. Pin holding plate 15
The outer peripheral contour of is matched with that of the inner peripheral wall surface 370 of the recess 37. Further, an O-ring 16 is attached to the outer peripheral portion of the pin holding plate 15. Therefore, the pin holding plate 15 and the inner peripheral wall surface 370 are kept airtight so that air does not flow through the gap between them.
At the same time, it does not hinder the vertical movement of the pin holding plate 15 described later.

【0038】ピン保持板15のさらに背後(図5におけ
る上側)には、シリンダ17が設置され、ピン保持板1
5はその駆動軸18と連結されている。なお、シリンダ
17自体は凹部37内ではなく、反転アーム30の裏面
側に設置されている。凹部37の底には反転アーム30
の裏面側にまで貫通した孔374が形成されており、駆
動軸18はこの孔374を通されている。ピン保持板1
5は、このシリンダ17からの力によって、図5におけ
る上下方向(図中、白抜き矢印示す)に移動可能に構成
されている。突出しピン13は、このピン保持板15の
移動に伴って孔11の底面から出没することになる。な
お、孔374と、駆動軸18との間には、十分なすきま
が残されており、凹部37の底面とピン保持板15との
間空間に存在する空気は、該すきまを通じて、自由に出
入りできる。従って、該部分に存在する空気が、ピン保
持板15の移動を妨げることはない。
A cylinder 17 is installed further behind the pin holding plate 15 (upper side in FIG. 5) and the pin holding plate 1
5 is connected to its drive shaft 18. The cylinder 17 itself is not installed in the recess 37 but on the back surface side of the reversing arm 30. At the bottom of the recess 37, the reversing arm 30
A hole 374 penetrating to the back surface side of the drive shaft 18 is formed, and the drive shaft 18 is passed through this hole 374. Pin holding plate 1
5 is configured to be movable in the vertical direction (indicated by a white arrow in the figure) in FIG. 5 by the force from the cylinder 17. The projecting pin 13 comes in and out from the bottom surface of the hole 11 as the pin holding plate 15 moves. A sufficient gap is left between the hole 374 and the drive shaft 18, and the air existing in the space between the bottom surface of the recess 37 and the pin holding plate 15 can freely flow in and out through the gap. it can. Therefore, the air existing in this portion does not hinder the movement of the pin holding plate 15.

【0039】凹部37の内周面370の開口部付近に
は、孔372が設けられている。そして、該孔372
は、図示しないチューブによってポンプ19と連結され
ている。これにより、[ポンプ19 − チ−ューブ −
− 孔372 −− 凹部37の整列板10とピン保持板
15との間の領域 −− 孔12 -- 整列穴10 ]という
空気吸引のための連通構造が出来上がっている。孔12
と突出しピン13との間には、該吸引を行うに十分なす
きまが残るようにされている。この連通構造は、ピン保
持板15の位置に関わらず成立している。但し、ピン保
持板15(すなわち、突出しピン13)を所定量以上、
突き出させ場合には、該連通構造が遮断されるようにし
ても構わない。なお、上述したとおり、ピン保持板15
の外周には、Oリング16が配され気密状態とされてい
る。従って、孔374を通じて凹部37内に流入する空
気が、該ポンプ19による吸引を妨げることはない。
A hole 372 is provided near the opening of the inner peripheral surface 370 of the recess 37. And the hole 372
Is connected to the pump 19 by a tube (not shown). As a result, the [Pump 19-Cube-
-Hole 372 --- A region between the alignment plate 10 and the pin holding plate 15 of the concave portion 37 --- Hole 12--Alignment hole 10], which is a communication structure for air suction. Hole 12
Between the and the projecting pin 13, a sufficient gap is left to perform the suction. This communication structure is established regardless of the position of the pin holding plate 15. However, if the pin holding plate 15 (that is, the protruding pin 13) is a predetermined amount or more,
In the case of protruding, the communication structure may be blocked. As described above, the pin holding plate 15
An O-ring 16 is arranged on the outer periphery of the airtight so as to be in an airtight state. Therefore, the air flowing into the recess 37 through the hole 374 does not hinder the suction by the pump 19.

【0040】特許請求の範囲において言う”突出し部
材”とは、本実施例における突出しピン13に対応する
ものである。”突出し部材駆動手段”とは、シリンダ1
7、制御部5等を含んで構成されるものである。”保持
手段”とは、ポンプ19等を含んで構成されるものであ
る。”吸引手段”とは、ポンプ19に相当するものであ
る。”吸引路”とは、上述のポンプ19から整列穴10
に至る、空気吸引のための連通構造に対応するものであ
る。”はんだ粒”とは、はんだボールに相当するもので
ある。
The "projecting member" referred to in the claims corresponds to the projecting pin 13 in this embodiment. The "projection member driving means" means the cylinder 1
7, a control unit 5 and the like. The “holding means” is configured to include the pump 19 and the like. The “suction means” corresponds to the pump 19. “Suction path” means the alignment hole 10 from the pump 19 described above.
It corresponds to the communication structure for air suction. The "solder grain" corresponds to a solder ball.

【0041】次に、はんだボールの転写動作を説明す
る。
Next, the transfer operation of the solder balls will be described.

【0042】基板受け台2には図示しない部品搬送機構
によって送られてきた基板pがセットされる。ここで
は、基板pは、図7に示したようなものであり、図示し
ていないが、パッドbの表面には予めフラックスが約
0.15mmの厚さで塗布されているものとする。基板
pには半導体チップが搭載され、樹脂モ−ルドmで封止
されている。なお、当然ながら、整列用治具1として
は、この基板pに対応したものを使用する。
A board p sent by a component carrying mechanism (not shown) is set on the board cradle 2. Here, the substrate p is as shown in FIG. 7, and although not shown, it is assumed that the surface of the pad b is previously coated with flux with a thickness of about 0.15 mm. A semiconductor chip is mounted on the substrate p and sealed with a resin mold m. As a matter of course, as the alignment jig 1, a jig corresponding to this substrate p is used.

【0043】基板がセットされるのと相前後して、整列
用治具1においては、供給機構4からはんだボ−ルが送
りこまれて、整列穴11に入れられる(図8参照)。さ
らに、ポンプ19が作動され、孔12から吸引を行う。
すると、掃除機と同様の原理に基づいて、はんだボール
は、孔11の底面に吸着された状態になる。この時、突
出しピン13は、該吸着の障害とならないように、孔1
1の底面よりもひっこめておく。
Immediately before and after the board is set, in the aligning jig 1, a solder ball is fed from the supply mechanism 4 into the aligning hole 11 (see FIG. 8). Further, the pump 19 is operated and suction is performed from the hole 12.
Then, based on the same principle as that of the vacuum cleaner, the solder balls are in a state of being attracted to the bottom surface of the hole 11. At this time, the projecting pin 13 is formed in the hole 1 so as not to hinder the adsorption.
Keep it closer than the bottom of 1.

【0044】両者(整列用治具1、基板p)の準備がで
きた時点で、反転機構3が作動を開始する。つまり、反
転アーム30が軸31を中心として、時計方向に180
°回転する。すると、整列用治具1の整列穴11(すな
わち、はんだボールx)は、当該整列穴11に対応する
パッドbに近接し向き合った状態となる。この状態のは
んだボールxを図9において、実線で描いている。上述
した通り、反転ア−ム30はストッパ35に押し当てら
れることによって水平に保たれている。すなわち、整列
治具1と基板受台2とは確実に平行に保たれている。ま
た、整列用治具1の整列穴11のそれぞれの中心と、こ
れに対応するパッドbの中心とは、一致するよう位置合
わせされている。但し、この状態において、整列用治具
1およびはんだボ−ルxが、フラックスfに触れないよ
うにするため、基板受台2はわずかにその高さ位置を下
げられている。
When both of them (alignment jig 1, substrate p) are ready, the reversing mechanism 3 starts to operate. That is, the reversing arm 30 rotates clockwise about the shaft 31 by 180 degrees.
° rotate. Then, the alignment hole 11 (that is, the solder ball x) of the alignment jig 1 comes into a state of being close to and facing the pad b corresponding to the alignment hole 11. The solder ball x in this state is drawn by a solid line in FIG. As described above, the reverse arm 30 is kept horizontal by being pressed against the stopper 35. That is, the alignment jig 1 and the substrate pedestal 2 are reliably kept in parallel. The centers of the alignment holes 11 of the alignment jig 1 and the corresponding centers of the pads b are aligned with each other. However, in this state, in order to prevent the alignment jig 1 and the solder ball x from coming into contact with the flux f, the board pedestal 2 is slightly lowered in its height position.

【0045】この状態で、今度はシリンダ17により突
出しピン13を作動させて、はんだボールxを整列穴1
1から離す。この時の動作を以下において述べる。
In this state, this time, the cylinder 17 projects the protrusion pin 13 to move the solder ball x into the alignment hole 1.
Separate from 1. The operation at this time will be described below.

【0046】まず、突出しピン13を整列穴11の底面
から外側(下向き)に向かって突き出す(図10参
照)。すると、はんだボールxは機械的に押し出され、
整列用治具1の整列穴11の底面から離れてパッドb上
に落下する(図9中、整列用治具1から離れて落下した
はんだボールxを一点鎖線で描いた)。さらに、突出し
ピン13を伸ばすと、この突出しピン13は、はんだボ
ールxをパッドbに押しつける。すると、はんだボール
xは、その一部がフラックスfに埋まった状態となり、
確実に固定される(仮固定)。図9中、この時の突出し
ピン13および仮固定されたはんだボールxを点線で描
いた。この場合、はんだボールxは、整列穴11の底面
から離れているとはいえ、その上側部分はまだ整列穴1
1内に位置している。そのため、この押しつけに際し
て、はんだボールxの位置がずれてしまうことはほとん
どない。
First, the projecting pin 13 is projected outward (downward) from the bottom surface of the alignment hole 11 (see FIG. 10). Then, the solder ball x is mechanically extruded,
It drops on the pad b away from the bottom surface of the alignment hole 11 of the alignment jig 1 (in FIG. 9, the solder ball x dropped away from the alignment jig 1 is drawn by a dashed line). Further, when the protruding pin 13 is extended, the protruding pin 13 presses the solder ball x against the pad b. Then, the solder ball x is in a state where a part thereof is embedded in the flux f,
Securely fixed (temporary fixing). In FIG. 9, the protruding pins 13 and the solder balls x temporarily fixed at this time are drawn by dotted lines. In this case, the solder ball x is separated from the bottom surface of the alignment hole 11, but the upper portion thereof is still in the alignment hole 1.
Located within 1. Therefore, the position of the solder ball x is hardly displaced during this pressing.

【0047】パッドbに塗布されているフラックスの量
が少ない場合、静電気が強い場合等には、はんだボール
xが、とれないことも考えられる。そこで、続いて、突
出しピン13を整列穴11の底面よりもひっこめる。す
ると、はんだボールxは、整列用治具1の整列穴11の
底面(孔12の縁)にひっかかって突出しピン13から
離れ落下する。なお、はんだボールが、該孔12の縁に
付着することも考えられる。しかし、実際には、該孔1
2の縁部分との接触面積は小さいため、このような事態
はまれである。
When the amount of flux applied to the pad b is small, or when static electricity is strong, the solder ball x may not be removed. Therefore, subsequently, the protruding pin 13 is retracted from the bottom surface of the alignment hole 11. Then, the solder ball x is caught on the bottom surface (edge of the hole 12) of the alignment hole 11 of the alignment jig 1 and projects, and then falls off from the pin 13. It is also conceivable that the solder balls adhere to the edges of the holes 12. However, in reality, the hole 1
Such a situation is rare because the contact area with the edge portion of 2 is small.

【0048】このような手順で突出しピン13を作動さ
せることにより、はんだボールxを、基板pのパッドb
上に確実に転写することができる(図11参照)。
By operating the projecting pin 13 in this procedure, the solder ball x is moved to the pad b of the substrate p.
It can be reliably transferred onto the top (see FIG. 11).

【0049】この後は、基板pをリフロ−炉で加熱すれ
ば、フラックスが溶けて濡れながら、はんだボ−ルxを
つつみ込み、はんだボ−ルxを基板pのパッドbに固着
する。
After that, if the substrate p is heated in a reflow furnace, the flux is melted and wet, and the solder ball x is entrapped and the solder ball x is fixed to the pad b of the substrate p.

【0050】以上説明したとおり本実施例では、全ての
はんだボ−ルxを整列用治具1の整列穴11より離すこ
とが可能である。
As described above, in this embodiment, all the solder balls x can be separated from the alignment holes 11 of the alignment jig 1.

【0051】しかし、整列用治具1を基板pとの距離
を、常に、十分に近接せることができる場合ばかりとは
限らない。場合によっては、両者の間隔をある程度広め
に保たなければならないような場合もある。例えば、フ
ラックスを多量に使用するような場合もあり、フラック
スの付着を防ぐために間隔を広めに設定せざるをえな
い。このような場合には、はんだボ−ルを自然落下させ
る距離が大きくなり、途中で位置ずれが生じる可能性が
高い。結局、パッドbの中心点へはんだボールxを着地
させることができなくなることが考えられる。そこで、
このような問題をも解決した例を実施例2として説明す
る。
However, the distance between the alignment jig 1 and the substrate p is not always always sufficiently close. In some cases, it may be necessary to keep the distance between the two wide to some extent. For example, there are cases where a large amount of flux is used, and the spacing must be set wider in order to prevent the adhesion of the flux. In such a case, the distance by which the solder ball is naturally dropped becomes large, and there is a high possibility that misalignment will occur on the way. After all, it is conceivable that the solder ball x cannot be landed on the center point of the pad b. Therefore,
An example in which such a problem is also solved will be described as a second embodiment.

【0052】[実施例2]本実施例は、突出しピン1
3’内に、さらに、孔14を設けるとともに、該孔14
を通じての吸引を可能としたことを特徴とするものであ
る。
[Embodiment 2] In this embodiment, the protruding pin 1 is used.
Further, a hole 14 is provided in the 3 ', and the hole 14
It is characterized by allowing suction through.

【0053】孔14は、図12に示すとおり、ピン保持
板15’内部に設けられた空間150、吸引孔152等
からなる連通構造を通じて、ポンプ19により吸引可能
に構成されている。これにより本実施例では、突出しピ
ン13’の先端部(孔14の開口部)に、はんだボール
xを吸着保持できる構成とされている。
As shown in FIG. 12, the hole 14 is constructed so that it can be sucked by the pump 19 through a communication structure composed of a space 150 provided inside the pin holding plate 15 ', a suction hole 152 and the like. As a result, in this embodiment, the solder ball x can be adsorbed and held at the tip of the protruding pin 13 '(the opening of the hole 14).

【0054】特許請求の範囲において言う”連通路”と
は、突出しピン13’の先端における開口部から、孔1
4、空間150、吸引孔152、チューブを経てポンプ
19に至る、空気吸引のための連通構造部分に相当す
る。なお、本実施例では、上記実施例1における、孔3
72、凹部37の整列板10とピン保持板15との間の
領域、孔12等を含んで構成される連通構造(図3参
照)は備えていない。
The term "communication passage" as used in the claims refers to the hole 1 from the opening at the tip of the protruding pin 13 '.
4, the space 150, the suction hole 152, the tube, and the pump 19, which corresponds to a communication structure portion for sucking air. In this embodiment, the holes 3 in the first embodiment are
72, a region of the recess 37 between the alignment plate 10 and the pin holding plate 15, a communication structure including the holes 12 and the like (see FIG. 3) are not provided.

【0055】突出しピン13’動作を説明する。The operation of the protruding pin 13 'will be described.

【0056】上記実施例1と同様の手順で、整列板10
の孔11にはんだボールxを整列させる。そして、ポン
プを作動させて、孔14からの吸引を開始する。する
と、はんだボールxは、突出しピン13’の先端開口部
に吸着される。この場合、突出しピン137と孔12と
の間のすきまが、該吸引の効果を妨げない定度に十分な
気密を保っていれば、突出しピン13は、いずれの高さ
位置にされていても構わない。しかし、該すきまから孔
11内へ、該吸引の効果を妨げるほどの外気の流入が生
じうるような構造となっている場合には、突出しピン1
3の先端が凹部37の底面と略同一高さ位置あるいは、
底面よりも突出た状態としておく。このようにしておけ
ば、突出しピン13の先端開口部は、はんだボールに直
接触れるため、すきまからの外気流入の影響を受けるこ
とはない。
The aligning plate 10 was manufactured in the same procedure as in the first embodiment.
The solder balls x are aligned in the holes 11 of the. Then, the pump is operated to start suction from the hole 14. Then, the solder ball x is adsorbed to the tip opening of the protruding pin 13 '. In this case, as long as the clearance between the projecting pin 137 and the hole 12 maintains a sufficient airtightness that does not impede the suction effect, the projecting pin 13 is located at any height position. I do not care. However, when the structure is such that the outside air can flow into the hole 11 from the clearance to the extent that the suction effect is hindered, the protruding pin 1
The tip of 3 is located at substantially the same height as the bottom surface of the recess 37, or
Keep it protruding from the bottom. With this arrangement, the tip end opening of the projecting pin 13 directly contacts the solder ball and is not affected by the inflow of outside air from the clearance.

【0057】このようにして、はんだボールを、突出し
ピン13’に吸着させた後、反転機構3によって、整列
用治具1を基板pと向き合わせる。そして、はんだボー
ルの吸着状態を保ったまま、突出しピン13’を突き出
させる(図13参照)。すると、はんだボールxは孔1
1内から出てくるが、突出しピン137に吸着されてい
るため、そのままパッドbに自然落下してしまうことは
ない。
In this way, after the solder balls are attracted to the projecting pins 13 ', the reversing mechanism 3 causes the alignment jig 1 to face the substrate p. Then, the projecting pin 13 'is projected while keeping the suction state of the solder ball (see FIG. 13). Then, the solder ball x has a hole 1
Although it comes out from inside 1, it does not fall naturally on the pad b as it is because it is adsorbed by the protruding pin 137.

【0058】そのままさらに、突出しピン13’を突き
出させると、はんだボールxは、パッドbのフラックス
fに押し込まれる(図14参照)。その結果、基板p
と、整列用治具1との間隔が大きくても、はんだボール
xは、確実かつ正確にパッドb上に仮固定される。
When the projecting pin 13 'is further projected as it is, the solder ball x is pushed into the flux f of the pad b (see FIG. 14). As a result, the substrate p
Even if the distance between the solder ball x and the alignment jig 1 is large, the solder ball x is tentatively and accurately fixed on the pad b.

【0059】この後は、実施例1と同様に、リフロー炉
等で加熱すれば、フラックスが融けてはんだボールを固
着させる。
After that, if heating is performed in a reflow furnace or the like as in Example 1, the flux melts and the solder balls are fixed.

【0060】以上述べた実施例2では、はんだボールの
転写をより確実に行うことができる。
In the second embodiment described above, the solder balls can be transferred more reliably.

【0061】上記実施例1、2では、整列用治具1を基
板pに重ねるように反転させていた。しかし、基板pを
反転させて下に向けるようにすることも考えられる。こ
の場合には、はんだボールを吸着するための吸引機構は
省略することも可能である。
In Examples 1 and 2 above, the alignment jig 1 was inverted so as to overlap the substrate p. However, it is also conceivable to invert the substrate p so that it faces downwards. In this case, the suction mechanism for sucking the solder balls can be omitted.

【0062】上記実施例1,2では、基板pのパッドb
と、整列用治具1の整列穴10とを対向させるための手
段(例えば、反転装置3等)を、転写装置が備えてい
た。しかし、両者を対向させるための手段は、必ずしも
はんだ転写装置自身が備えていなくても良い。基板を搬
送してくる装置等が備えていても良い。あるいは、両者
を対向させるための専用の手段を有していなくても、結
果的に、両者が対向していればそれで足りる。
In the first and second embodiments, the pad b of the substrate p is
The transfer device was provided with means (for example, the reversing device 3 or the like) for making the and the alignment holes 10 of the alignment jig 1 face each other. However, the means for causing the two to face each other does not necessarily have to be included in the solder transfer device itself. An apparatus or the like for transferring the substrate may be provided. Alternatively, even if they do not have a dedicated means for making them face each other, as a result, it suffices if they face each other.

【0063】上記実施例2では、突出しピン13’をパ
イプ状に構成していた。しかし、突出しピン13’の先
端にはんだボールを、着脱可能な状態で保持させること
ができさえすれば、その具体的構造はこれに限定される
ものではない。例えば、ポンプ19から突出しピン1
3’の先端位置にまでつながったチューブ等を配置して
も良い。
In the second embodiment, the protruding pin 13 'has a pipe shape. However, the specific structure is not limited to this as long as the solder ball can be held in a detachable state at the tip of the protruding pin 13 ′. For example, the pin 1 protruding from the pump 19
You may arrange | position the tube etc. which were connected even to the tip position of 3 '.

【0064】[0064]

【発明の効果】以上説明したとおり本発明によれば、は
んだボールが静電気や水分等で付着していても確実に転
写することができる。また、はんだボ−ルをフラックス
の塗布されているパッドに押しつける態様においては、
はんだボールをより正確な位置に置く(付着させる)こ
とができる。
As described above, according to the present invention, it is possible to reliably transfer solder balls even if they are attached by static electricity or moisture. Further, in a mode in which the solder ball is pressed against the pad to which the flux is applied,
The solder balls can be placed (attached) in a more precise position.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例であるはんだボール転写装置
の正面図である。
FIG. 1 is a front view of a solder ball transfer device according to an embodiment of the present invention.

【図2】図1に示したはんだボール転写装置の上面図で
ある。
FIG. 2 is a top view of the solder ball transfer device shown in FIG.

【図3】はんだボール転写装置の要部拡大図である。FIG. 3 is an enlarged view of a main part of a solder ball transfer device.

【図4】制御構成を示すブロック図である。FIG. 4 is a block diagram showing a control configuration.

【図5】突出し棒の出没機構を示す要部拡大断面図であ
る。
FIG. 5 is an enlarged cross-sectional view of an essential part showing a projecting and retracting mechanism of a protruding bar.

【図6】整列板10を示す(a)平面図および(b)側
面図である。
6 (a) is a plan view and FIG. 6 (b) is a side view showing the alignment plate 10. FIG.

【図7】本発明適用の対象となるプリント基板の(a)
上面図、(b)側面図である。
FIG. 7 (a) of a printed circuit board to which the present invention is applied.
It is a top view and (b) side view.

【図8】治具の穴にはんだボールを入れた状態を示す模
式図である。
FIG. 8 is a schematic view showing a state where solder balls are put in the holes of the jig.

【図9】突出しピン13の動作原理を示す模式図であ
る。
FIG. 9 is a schematic view showing the operating principle of the projecting pin 13.

【図10】突出しピン13を突き出した状態を示す模式
図である。
FIG. 10 is a schematic view showing a state in which a projecting pin 13 is projected.

【図11】図7の基板pのパッドb上にはんだボールを
載せた様子を示す(a)上面図、(b)側面図である。
11 (a) is a top view and FIG. 11 (b) is a side view showing a state in which a solder ball is placed on a pad b of the substrate p of FIG.

【図12】本発明の第2の実施例の要部構造を示す図で
ある。
FIG. 12 is a diagram showing a main part structure of a second embodiment of the present invention.

【図13】はんだボールを吸着したまま突出しピン1
3’を突き出した状態を示す模式図である。
[Fig. 13] Pin 1 protruding while solder balls are absorbed
It is a schematic diagram which shows the state which protruded 3 '.

【図14】はんだボールをフラックスに押しつけた状態
を示す状態を示す模式図である。
FIG. 14 is a schematic view showing a state in which a solder ball is pressed against a flux.

【図15】従来のはんだボール転写装置の動作原理を示
す模式図である。
FIG. 15 is a schematic view showing the operating principle of a conventional solder ball transfer device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…整列用治具、2…基板受台、3…反転機構、4…供
給機構、5…制御部、10…整列板、11…穴、12…
孔、13…突出しピン、14…孔、15…ピン保持板、
16…Oリング、17…シリンダ、18…駆動軸、19
…ポンプ、21…ガイド、22…ガイド、23…シリン
ダ−、24…シリンダ−、25…ベ−スプレ−ト、30
…反転ア−ム、31…軸受、32…軸受、33…ロ−タ
リアクチュエ−タ、34…カップリング、35…ストッ
パ−、36…ストッパ−、37…凹部、40…振込みホ
ッパ−、41…搬送パイプ、42…吸引用の穴、43…
ホッパ−、44…シリンダ−、45…Lブラケット、5
0…CPU、51…ROM、52…RAM、54…操作
キー、370…内周壁、372…孔、374…孔、p…
プリント基板、b…パッド、f…フラックス、m…モ−
ルド、x…はんだボ−ル
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Alignment jig, 2 ... Substrate pedestal, 3 ... Inversion mechanism, 4 ... Supply mechanism, 5 ... Control part, 10 ... Alignment plate, 11 ... Hole, 12 ...
Hole, 13 ... protruding pin, 14 ... hole, 15 ... pin holding plate,
16 ... O-ring, 17 ... Cylinder, 18 ... Drive shaft, 19
... pump, 21 ... guide, 22 ... guide, 23 ... cylinder-, 24 ... cylinder-, 25 ... base plate, 30
... Inversion arm, 31 ... Bearing, 32 ... Bearing, 33 ... Rotator actuator, 34 ... Coupling, 35 ... Stopper, 36 ... Stopper, 37 ... Recess, 40 ... Transfer hopper, 41 ... Transport pipe, 42 ... suction hole, 43 ...
Hopper, 44 ... Cylinder, 45 ... L bracket, 5
0 ... CPU, 51 ... ROM, 52 ... RAM, 54 ... Operation keys, 370 ... Inner peripheral wall, 372 ... Hole, 374 ... Hole, p ...
Printed circuit board, b ... Pad, f ... Flux, m ... Mode
Field, x ... Solder ball

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 本田 美智晴 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株 式会社日立製作所生産技術研究所内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Michiharu Honda Inventor Michiharu Honda 292 Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama-shi, Kanagawa Ltd.

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】はんだ粒を目的位置に転写するはんだ転写
装置において、 上記目的位置に対応して配置され且つ別途供給される上
記はんだ粒がはまることのできる整列穴、を備えた整列
板と、 上記整列穴内に配置され、該整列穴の深さ方向について
の位置を変更可能に構成された突出し部材と、 上記突出し部材の、上記整列穴の上記深さ方向について
の位置を変更させる突出し部材駆動手段と、 を有することを特徴とするはんだ転写装置。
1. A solder transfer device for transferring solder particles to a target position, the alignment plate having an alignment hole, which is arranged corresponding to the target position and into which the separately supplied solder particles can be fitted, A projecting member arranged in the alignment hole and configured to change the position of the alignment hole in the depth direction; and a projecting member drive for changing the position of the projection member in the depth direction of the alignment hole. A solder transfer device comprising:
【請求項2】上記整列穴において、上記はんだ粒を着脱
自在な状態で保持する保持手段を有すること、 を特徴とする請求項1記載のはんだ転写装置。
2. The solder transfer device according to claim 1, further comprising a holding means for holding the solder particles in the aligning holes in a detachable state.
【請求項3】空気を吸引する吸引手段と、 上記整列穴と上記吸引手段とを連通する吸引路と、 を含んで構成されることを特徴とする請求項1記載のは
んだ転写装置。
3. The solder transfer device according to claim 1, further comprising: a suction means for sucking air, and a suction path for communicating the alignment hole with the suction means.
【請求項4】上記突出し部材の先端において、上記はん
だ粒を着脱自在な状態で保持する保持手段をさらに有す
ること、 を特徴とする請求項1記載のはんだ転写装置。
4. The solder transfer device according to claim 1, further comprising a holding means for holding the solder particles in a detachable state at a tip of the projecting member.
【請求項5】空気を吸引する吸引手段と、 上記吸引手段と、上記突出し部材の先端面と、を連通す
る連通路と、 を有することを特徴とする請求項1記載のはんだ転写装
置。
5. The solder transfer apparatus according to claim 1, further comprising: a suction means for sucking air, and a communication passage that communicates the suction means with the tip end surface of the protruding member.
【請求項6】上記突出し部材は、その先端面に開口部を
有するパイプ状に構成されたものであり、 上記開口部を通じて空気を吸引する吸引手段をさらに有
すること、 を特徴とする請求項1記載のはんだ転写装置。
6. The projecting member is formed in a pipe shape having an opening at the tip end surface thereof, and further comprises suction means for sucking air through the opening. The solder transfer device described.
【請求項7】請求項1記載のはんだ転写装置の運転方法
において、 上記突出し部材を予め下げた状態で、上記整列穴に上記
はんだ粒を入れ、 上記整列穴と上記目的位置とが対向した状態において、
上記駆動手段によって、上記突出し部材を外側に向けて
作動させること、 を特徴とするはんだ転写装置の運転方法。
7. The method of operating a solder transfer device according to claim 1, wherein the solder particles are put into the alignment holes with the protruding member lowered in advance, and the alignment holes face the target position. At
A method for operating a solder transfer device, comprising: operating the projecting member outward by the driving unit.
【請求項8】上記突出し部材を予め下げた状態で上記整
列穴に上記はんだ粒を入れ、 上記吸引手段によって上記連通路を通じて空気を吸引
し、 上記突出し部材駆動手段によって上記突出し部材を外側
に向けて作動させ、 その後、上記吸引手段による吸引を停止する、工程を含
むことを特徴とする請求項1記載のはんだ転写装置の運
転方法。
8. The solder particles are put into the alignment holes in a state where the protruding member is lowered in advance, air is sucked through the communication passage by the suction means, and the protruding member is directed outward by the protruding member driving means. 2. The method for operating a solder transfer device according to claim 1, further comprising the step of:
【請求項9】フラックスを塗布されたパッドへのはんだ
粒の転写方法において、 上記はんだ粒を上記フラックス塗布面に押しつけて仮固
定する工程を含むこと、 を特徴とするはんだ転写方
法。
9. A method of transferring solder particles to a flux-coated pad, comprising the step of pressing the solder particles against the flux-coated surface to temporarily fix the solder particles.
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