JPH08247751A - 超音波厚さ測定センサ - Google Patents
超音波厚さ測定センサInfo
- Publication number
- JPH08247751A JPH08247751A JP7049517A JP4951795A JPH08247751A JP H08247751 A JPH08247751 A JP H08247751A JP 7049517 A JP7049517 A JP 7049517A JP 4951795 A JP4951795 A JP 4951795A JP H08247751 A JPH08247751 A JP H08247751A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ultrasonic
- acoustic lens
- delay
- delay material
- tip
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B28/00—Compositions of mortars, concrete or artificial stone, containing inorganic binders or the reaction product of an inorganic and an organic binder, e.g. polycarboxylate cements
- C04B28/001—Compositions of mortars, concrete or artificial stone, containing inorganic binders or the reaction product of an inorganic and an organic binder, e.g. polycarboxylate cements containing unburned clay
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B17/00—Measuring arrangements characterised by the use of infrasonic, sonic or ultrasonic vibrations
- G01B17/02—Measuring arrangements characterised by the use of infrasonic, sonic or ultrasonic vibrations for measuring thickness
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Length Measuring Devices Characterised By Use Of Acoustic Means (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 厚さの最小測定限界を広げる。
【構成】 本発明の超音波厚さ測定センサ２は、超音波
発振素子１２の半径をＳ、音響レンズ１６の凸面の曲率
半径をＲ、ディレイ材１５の先端半径をＣ、その高さを
Ｌ、音響レンズ１６内の音速をＶ１、ディレイ材１５内
の音速をＶ２とするとき、これらのパラメータの間の関
係が所定の不等式を満たす範囲にあるようにディレイ材
１５の高さＬを設定し、超音波発振素子１２から出力さ
れ、音響レンズ１６によって屈折されてディレイ材１５
内を透過する超音波の焦点をディレイ材１５の先端面か
それよりも所定の距離だけ外側の位置に結ぶようにし、
厚さ測定時に被測定物の表面で反射して戻ってくる反射
波がディレイ材１５の側周面で反射される経路を持たな
くなるようにして、遅れエコーの発生を抑制して厚さ測
定限界寸法を広げる。
発振素子１２の半径をＳ、音響レンズ１６の凸面の曲率
半径をＲ、ディレイ材１５の先端半径をＣ、その高さを
Ｌ、音響レンズ１６内の音速をＶ１、ディレイ材１５内
の音速をＶ２とするとき、これらのパラメータの間の関
係が所定の不等式を満たす範囲にあるようにディレイ材
１５の高さＬを設定し、超音波発振素子１２から出力さ
れ、音響レンズ１６によって屈折されてディレイ材１５
内を透過する超音波の焦点をディレイ材１５の先端面か
それよりも所定の距離だけ外側の位置に結ぶようにし、
厚さ測定時に被測定物の表面で反射して戻ってくる反射
波がディレイ材１５の側周面で反射される経路を持たな
くなるようにして、遅れエコーの発生を抑制して厚さ測
定限界寸法を広げる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、超音波によって被測定
物の厚さを測定するのに用いる超音波厚さ測定センサに
関する。
物の厚さを測定するのに用いる超音波厚さ測定センサに
関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、超音波によって被測定物の厚さ
を測定する超音波測定装置（特開平２−２７６９０５号
公報参照）は図８の構成である。すなわち、被測定物１
の表面に先端部を接触させて超音波を被測定物１の表面
に入射させ、また被測定部１からの超音波反射波を取込
む超音波厚さ測定センサ２と、この超音波厚さ測定セン
サ２の超音波発振を駆動する送信部３と、送信部３に起
動パルスを与えるパルス発生器４と、厚さ測定センサ２
に戻ってきた超音波反射信号を受信して増幅する受信部
５と、前記パルス発生器４のパルス出力に同期してゲー
ト動作し、所定のしきい値以上の大きさの信号が入力さ
れた時にゲート信号を出力するゲート回路６と、高速周
期のクロック信号を出力するクロック発振器７と、ゲー
ト回路６から１回目のゲート信号が入力された時にクロ
ック発振器７のクロック信号の計数を開始し、ゲート回
路６から２回目のゲート信号が入力された時に計数を停
止し、その計数結果を出力する計数部８と、この計数部
８の計数結果に対して所定の与式に基づいて被測定物１
の厚さを算出する演算部９と、その演算結果を表示する
表示部１０から構成されている。
を測定する超音波測定装置（特開平２−２７６９０５号
公報参照）は図８の構成である。すなわち、被測定物１
の表面に先端部を接触させて超音波を被測定物１の表面
に入射させ、また被測定部１からの超音波反射波を取込
む超音波厚さ測定センサ２と、この超音波厚さ測定セン
サ２の超音波発振を駆動する送信部３と、送信部３に起
動パルスを与えるパルス発生器４と、厚さ測定センサ２
に戻ってきた超音波反射信号を受信して増幅する受信部
５と、前記パルス発生器４のパルス出力に同期してゲー
ト動作し、所定のしきい値以上の大きさの信号が入力さ
れた時にゲート信号を出力するゲート回路６と、高速周
期のクロック信号を出力するクロック発振器７と、ゲー
ト回路６から１回目のゲート信号が入力された時にクロ
ック発振器７のクロック信号の計数を開始し、ゲート回
路６から２回目のゲート信号が入力された時に計数を停
止し、その計数結果を出力する計数部８と、この計数部
８の計数結果に対して所定の与式に基づいて被測定物１
の厚さを算出する演算部９と、その演算結果を表示する
表示部１０から構成されている。
【０００３】そして、超音波厚さ測定センサ２の内部構
造は図９に示すようなものであり、円筒状のケース１１
内に圧電素子で成る超音波発振素子１２と、シーリング
とスペーサを兼ねるＯリング１３と、Ｏリング１３の内
部に封入される液体カップラント１４と、前記Ｏリング
１３に上底面周部が密着するように配置され、上底面中
央部が凹曲面になり、全体形状がほぼ逆円錐台形のディ
レイ材１５を収容した形になっている。そして液体カッ
プラント１４がディレイ材１５の上部の凹曲面によって
凸面形状をなり、超音波に対して所定の焦点距離の位置
に収束させる音響レンズ１６の働きをするようになって
いる。
造は図９に示すようなものであり、円筒状のケース１１
内に圧電素子で成る超音波発振素子１２と、シーリング
とスペーサを兼ねるＯリング１３と、Ｏリング１３の内
部に封入される液体カップラント１４と、前記Ｏリング
１３に上底面周部が密着するように配置され、上底面中
央部が凹曲面になり、全体形状がほぼ逆円錐台形のディ
レイ材１５を収容した形になっている。そして液体カッ
プラント１４がディレイ材１５の上部の凹曲面によって
凸面形状をなり、超音波に対して所定の焦点距離の位置
に収束させる音響レンズ１６の働きをするようになって
いる。
【０００４】そしてこの超音波厚さ測定センサ２を用い
て被測定材１の厚さを測定する原理は次のようなもので
ある。すなわち、図１０（ａ）に示すように、被測定物
１に厚さセンサ２のディレイ材１５の先端面を密着させ
て、送信部３によって超音波発振素子１１を駆動して超
音波を出力させる。この超音波発振素子１１からの超音
波は音響レンズ１６によって所定の焦点距離の位置に焦
点を結ぶように収束しながら被測定物１の表面１ａに向
けて出射する。被測定物１に入射する超音波は表面１ａ
で一部が反射すると共に被測定物１内を透過し、被測定
物１の裏側の境界面１ｂでもさらに一部が反射し、これ
らの反射エコーＳ，Ｂ１が共にディレイ材１５の先端面
から再びセンサ２内に戻り、ディレイ材１５と音響レン
ズ１６と超音波発振素子１１の部分を経て受信部５に伝
えられ、ここで増幅されてゲート回路６に与えられる。
て被測定材１の厚さを測定する原理は次のようなもので
ある。すなわち、図１０（ａ）に示すように、被測定物
１に厚さセンサ２のディレイ材１５の先端面を密着させ
て、送信部３によって超音波発振素子１１を駆動して超
音波を出力させる。この超音波発振素子１１からの超音
波は音響レンズ１６によって所定の焦点距離の位置に焦
点を結ぶように収束しながら被測定物１の表面１ａに向
けて出射する。被測定物１に入射する超音波は表面１ａ
で一部が反射すると共に被測定物１内を透過し、被測定
物１の裏側の境界面１ｂでもさらに一部が反射し、これ
らの反射エコーＳ，Ｂ１が共にディレイ材１５の先端面
から再びセンサ２内に戻り、ディレイ材１５と音響レン
ズ１６と超音波発振素子１１の部分を経て受信部５に伝
えられ、ここで増幅されてゲート回路６に与えられる。
【０００５】ゲート回路６では同図（ｂ），（ｃ）に示
すように、反射波形に対して波形検出レベルＴを超える
最初の信号が入力されたタイミングｔ１にゲートオン
し、次の信号が入力されたタイミングｔ２でゲートオフ
し、そのゲート信号を計数部８に出力する。計数部７で
は同図（ｄ），（ｅ）に示すように、ゲートオン信号が
入力されている間、クロック発振器７から与えられるク
ロックを計数し、その結果を演算部９に出力する。そこ
で、演算部９はクロック計数値に所定の係数を掛けるこ
とによって被測定物１内の超音波伝播時間Ｔ０を求め、
さらにこの伝播時間Ｔ０と被測定物１内の音速ｖから、
次の式に基づいて厚さｔを算出し、表示部１０に表示出
力する。
すように、反射波形に対して波形検出レベルＴを超える
最初の信号が入力されたタイミングｔ１にゲートオン
し、次の信号が入力されたタイミングｔ２でゲートオフ
し、そのゲート信号を計数部８に出力する。計数部７で
は同図（ｄ），（ｅ）に示すように、ゲートオン信号が
入力されている間、クロック発振器７から与えられるク
ロックを計数し、その結果を演算部９に出力する。そこ
で、演算部９はクロック計数値に所定の係数を掛けるこ
とによって被測定物１内の超音波伝播時間Ｔ０を求め、
さらにこの伝播時間Ｔ０と被測定物１内の音速ｖから、
次の式に基づいて厚さｔを算出し、表示部１０に表示出
力する。
【０００６】
【数３】 なおここで、１／２とするのは、伝播時間Ｔ０は被測定
物１内を超音波が往復するときにかかった時間だからで
ある。
物１内を超音波が往復するときにかかった時間だからで
ある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】このような従来の超音
波厚さ測定装置は、超音波を利用して被測定物の厚さを
非破壊で測定することができるので、各種用途で広く利
用されている。しかしながら、従来の超音波厚さ測定装
置に用いられている厚さ測定センサ２では、図１１に示
すように超音波がディレイ材１５内の先端面から若干内
部に入ったところに焦点が結ぶように設定されており
（市販の製品を測定したところ、先端径＝１．５mmφ、
高さ＝７．６mmのディレイ材で、先端面から０．７mm内
部に焦点位置が設定されていた）、このために測定可能
な厚さ限界が大きくなる問題点があった。その理由は次
による。
波厚さ測定装置は、超音波を利用して被測定物の厚さを
非破壊で測定することができるので、各種用途で広く利
用されている。しかしながら、従来の超音波厚さ測定装
置に用いられている厚さ測定センサ２では、図１１に示
すように超音波がディレイ材１５内の先端面から若干内
部に入ったところに焦点が結ぶように設定されており
（市販の製品を測定したところ、先端径＝１．５mmφ、
高さ＝７．６mmのディレイ材で、先端面から０．７mm内
部に焦点位置が設定されていた）、このために測定可能
な厚さ限界が大きくなる問題点があった。その理由は次
による。
【０００８】上述したように、超音波厚さ測定の原理は
センサ２から超音波を出力して被測定物１の表面からの
反射エコーＳと被測定物１の裏面からの反射エコーＢ１
との伝播時間差Ｔ０から厚さを求めるものであるため
に、図１２に示すように反射エコーＳに時間的な広がり
があるとその時間的な広がりｔｓの中に反射エコーＢ１
が入るような厚さであれば反射エコーＢ１を検出するこ
とができず、反射エコーＳと反射エコーＢ１との間に明
確な区別ができる厚さ以上、つまり、ｔｓ＜Ｔ０となる
ような伝播時間差Ｔ０でないと被測定物１の厚さを測定
できない。そこで、従来から、超音波厚さ測定装置で
は、ゲート回路６に波形検出を行わないブランキング期
間ｔｓを設定し、このブランキング期間に対応する厚さ
よりも薄い厚さの被測定物の測定ができないように測定
範囲を制限している。
センサ２から超音波を出力して被測定物１の表面からの
反射エコーＳと被測定物１の裏面からの反射エコーＢ１
との伝播時間差Ｔ０から厚さを求めるものであるため
に、図１２に示すように反射エコーＳに時間的な広がり
があるとその時間的な広がりｔｓの中に反射エコーＢ１
が入るような厚さであれば反射エコーＢ１を検出するこ
とができず、反射エコーＳと反射エコーＢ１との間に明
確な区別ができる厚さ以上、つまり、ｔｓ＜Ｔ０となる
ような伝播時間差Ｔ０でないと被測定物１の厚さを測定
できない。そこで、従来から、超音波厚さ測定装置で
は、ゲート回路６に波形検出を行わないブランキング期
間ｔｓを設定し、このブランキング期間に対応する厚さ
よりも薄い厚さの被測定物の測定ができないように測定
範囲を制限している。
【０００９】ところが、従来例のように音響レンズ１６
による超音波の焦点位置をディレイ材１５の内部に設定
すると、図１３に示すように、ディレイ材１５内で超音
波の乱反射が発生し、反射エコーＳに遅れエコーＳｄを
生じさせる。すなわち、ディレイ材１５の焦点位置Ｆが
内部にあると、図１３中経路Ｂを伝播する超音波はディ
レイ材１５の先端面で一部が反射された後、ディレイ材
１５の側周面でさらに反射されて縦波から横波Ｄに変換
されて超音波発振素子１２に戻ることになる。一般に横
波は縦波に比べて音速が遅く、同じディレイ材１５の先
端面で反射される超音波であっても、横波の発生しない
経路Ａに対して経路Ｂを通る超音波の伝播時間は遅くな
る。
による超音波の焦点位置をディレイ材１５の内部に設定
すると、図１３に示すように、ディレイ材１５内で超音
波の乱反射が発生し、反射エコーＳに遅れエコーＳｄを
生じさせる。すなわち、ディレイ材１５の焦点位置Ｆが
内部にあると、図１３中経路Ｂを伝播する超音波はディ
レイ材１５の先端面で一部が反射された後、ディレイ材
１５の側周面でさらに反射されて縦波から横波Ｄに変換
されて超音波発振素子１２に戻ることになる。一般に横
波は縦波に比べて音速が遅く、同じディレイ材１５の先
端面で反射される超音波であっても、横波の発生しない
経路Ａに対して経路Ｂを通る超音波の伝播時間は遅くな
る。
【００１０】このため、図１４に示すように、同じ反射
エコーＳの中にこれら経路Ａを通る反射信号と横波に変
換されてしまう経路Ｂを通る反射信号とが混在すること
によって反射エコーＳに遅れエコーＳｄが含まれること
になり、理論的な反射エコーＳの波形は１．５波長であ
るが、遅れエコーＳｄが影響すると波形が収るまでに約
２．５波長となってしまう。そしてこの波長に対応する
時間だけ、ゲート回路６にブランキング期間を設定しな
ければならないために、不感帯が広くなる。
エコーＳの中にこれら経路Ａを通る反射信号と横波に変
換されてしまう経路Ｂを通る反射信号とが混在すること
によって反射エコーＳに遅れエコーＳｄが含まれること
になり、理論的な反射エコーＳの波形は１．５波長であ
るが、遅れエコーＳｄが影響すると波形が収るまでに約
２．５波長となってしまう。そしてこの波長に対応する
時間だけ、ゲート回路６にブランキング期間を設定しな
ければならないために、不感帯が広くなる。
【００１１】そこで、従来の超音波厚さ測定装置では、
不感帯時間が１４０nsecあり、この時間を鋼板内の超音
波の伝播距離に換算してみると、鋼板内の音速が６２０
０m/sec であるので、上記数３の式に当てはめてみる
と、 １４０nsec×６２００m/sec ／２＝０．４３mm となり、これよりも薄い厚さは測定できない限界があっ
た。
不感帯時間が１４０nsecあり、この時間を鋼板内の超音
波の伝播距離に換算してみると、鋼板内の音速が６２０
０m/sec であるので、上記数３の式に当てはめてみる
と、 １４０nsec×６２００m/sec ／２＝０．４３mm となり、これよりも薄い厚さは測定できない限界があっ
た。
【００１２】本発明はこのような従来の問題点に鑑みて
なされたもので、測定可能な厚さ限界をさらに小さくす
ることできる超音波厚さ測定センサを提供することを目
的とする。
なされたもので、測定可能な厚さ限界をさらに小さくす
ることできる超音波厚さ測定センサを提供することを目
的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、超音
波発振素子と、超音波発振素子から出る超音波を所定の
焦点距離位置に点状に収束させる球面形状の音響レンズ
と、音響レンズの凸面と嵌合する凹部が上底部に形成さ
れ、音響レンズから出る超音波を伝播させて先端面から
出射させ、被測定物から反射してくる超音波を先端面か
ら入射させて音響レンズに戻すためのほぼ逆円錐台形の
ディレイ材とを備えて成る超音波厚さ測定センサにおい
て、超音波発振素子の半径をＳ、音響レンズの凸面の曲
率半径をＲ、ディレイ材の先端半径をＣ、その高さを
Ｌ、音響レンズ内の音速をＶ１、ディレイ材内の音速を
Ｖ２とするとき、これらのパラメータの間の関係が次の
不等式を満たす範囲にあるようにディレイ材の高さＬを
設定したものである。
波発振素子と、超音波発振素子から出る超音波を所定の
焦点距離位置に点状に収束させる球面形状の音響レンズ
と、音響レンズの凸面と嵌合する凹部が上底部に形成さ
れ、音響レンズから出る超音波を伝播させて先端面から
出射させ、被測定物から反射してくる超音波を先端面か
ら入射させて音響レンズに戻すためのほぼ逆円錐台形の
ディレイ材とを備えて成る超音波厚さ測定センサにおい
て、超音波発振素子の半径をＳ、音響レンズの凸面の曲
率半径をＲ、ディレイ材の先端半径をＣ、その高さを
Ｌ、音響レンズ内の音速をＶ１、ディレイ材内の音速を
Ｖ２とするとき、これらのパラメータの間の関係が次の
不等式を満たす範囲にあるようにディレイ材の高さＬを
設定したものである。
【００１４】
【数４】 これによって、超音波発振素子から出力され、音響レン
ズによって屈折されてディレイ材内を透過する超音波の
焦点をディレイ材の先端面かそれよりも所定の距離だけ
外側の位置に結ぶようにし、厚さ測定時に被測定物の表
面で反射して戻ってくる反射波がディレイ材の側周面で
再度反射される経路を持たなくなるようにして、遅れエ
コーの発生を抑制して厚さ測定限界寸法を広げる。
ズによって屈折されてディレイ材内を透過する超音波の
焦点をディレイ材の先端面かそれよりも所定の距離だけ
外側の位置に結ぶようにし、厚さ測定時に被測定物の表
面で反射して戻ってくる反射波がディレイ材の側周面で
再度反射される経路を持たなくなるようにして、遅れエ
コーの発生を抑制して厚さ測定限界寸法を広げる。
【００１５】また請求項２の発明は、超音波発振素子
と、超音波発振素子から出る超音波を所定の焦点距離位
置に線状に収束させる非球面形状の音響レンズと、音響
レンズの凸面と嵌合する凹部が上底部に形成され、音響
レンズから出る超音波を伝播させて先端面から出射さ
せ、被測定物から反射してくる超音波を先端面から入射
させて音響レンズに戻すための逆錐台形のディレイ材と
を備えて成る超音波厚さ測定センサにおいて、超音波発
振素子の短径をＳ、音響レンズの凸面の中心位置から短
径方向にＳだけ離れた位置の傾き角度をα（度）、ディ
レイ材の先端短径をＣ、その高さをＬ、音響レンズ内の
音速をＶ１、ディレイ材内の音速をＶ２とするとき、こ
れらのパラメータの間の関係が次の不等式を満たす範囲
にあるようにディレイ材の高さＬを設定したものであ
る。
と、超音波発振素子から出る超音波を所定の焦点距離位
置に線状に収束させる非球面形状の音響レンズと、音響
レンズの凸面と嵌合する凹部が上底部に形成され、音響
レンズから出る超音波を伝播させて先端面から出射さ
せ、被測定物から反射してくる超音波を先端面から入射
させて音響レンズに戻すための逆錐台形のディレイ材と
を備えて成る超音波厚さ測定センサにおいて、超音波発
振素子の短径をＳ、音響レンズの凸面の中心位置から短
径方向にＳだけ離れた位置の傾き角度をα（度）、ディ
レイ材の先端短径をＣ、その高さをＬ、音響レンズ内の
音速をＶ１、ディレイ材内の音速をＶ２とするとき、こ
れらのパラメータの間の関係が次の不等式を満たす範囲
にあるようにディレイ材の高さＬを設定したものであ
る。
【００１６】
【数５】 これによって、超音波発振素子から出力され、非球面音
響レンズによって屈折されてディレイ材内を透過する超
音波の線状焦点をディレイ材の先端面かそれよりも所定
の距離だけ外側の位置に結ぶようにし、厚さ測定時に被
測定物の表面で反射して戻ってくる反射波がディレイ材
の再度側周面で反射される経路を持たなくなるようにし
て、遅れエコーの発生を抑制して厚さ測定限界寸法を広
げる。
響レンズによって屈折されてディレイ材内を透過する超
音波の線状焦点をディレイ材の先端面かそれよりも所定
の距離だけ外側の位置に結ぶようにし、厚さ測定時に被
測定物の表面で反射して戻ってくる反射波がディレイ材
の再度側周面で反射される経路を持たなくなるようにし
て、遅れエコーの発生を抑制して厚さ測定限界寸法を広
げる。
【００１７】請求項３の発明の超音波厚さ測定センサ
は、超音波発振素子と、超音波発振素子から出る超音波
を所定の焦点距離位置に収束させる音響レンズと、側周
に吸音材が取付けられ、前記音響レンズの凸面と嵌合す
る凹部が上底部に形成され、音響レンズから出る超音波
を伝播させて先端面から出射させ、被測定物から反射し
てくる超音波を先端面から入射させて音響レンズに戻す
ための逆錐台形のディレイ材とを備えたものである。
は、超音波発振素子と、超音波発振素子から出る超音波
を所定の焦点距離位置に収束させる音響レンズと、側周
に吸音材が取付けられ、前記音響レンズの凸面と嵌合す
る凹部が上底部に形成され、音響レンズから出る超音波
を伝播させて先端面から出射させ、被測定物から反射し
てくる超音波を先端面から入射させて音響レンズに戻す
ための逆錐台形のディレイ材とを備えたものである。
【００１８】これによって、ディレイ材に戻ってくる反
射エコーが側周面に当るときにその反射エコーを吸音材
によって吸音し、側周面で再反射されることによって生
じる横波による遅れエコーの発生を抑制して厚さ測定限
界寸法を広げる。
射エコーが側周面に当るときにその反射エコーを吸音材
によって吸音し、側周面で再反射されることによって生
じる横波による遅れエコーの発生を抑制して厚さ測定限
界寸法を広げる。
【００１９】
【実施例】以下、本発明の実施例を図に基づいて詳説す
る。図１は請求項１の発明の一実施例を示しており、構
成部材について従来例とほぼ共通であり、円筒状のケー
ス１１内に圧電素子で成る超音波発振素子１２と、シー
リングとスペーサを兼ねるＯリング１３と、Ｏリング１
３の内部に封入される液体カップラント１４と、前記Ｏ
リング１３に上底面周部が密着するように配置され、上
底面中央部が凹曲面になり、全体形状がほぼ逆円錐台形
の透明ディレイ材１５とを収容した形になっている。そ
して液体カップラント１４がディレイ材１５の上部の凹
曲面によって凸面形状をなし、超音波に対して所定の焦
点距離の位置に収束させる音響レンズ１６の働きをする
ようになっている。なお、液体カップラント１４には、
例えば、プロピレングリコールを主成分とする透明液体
が用いられ、ディレイ材１５は、例えば、ポリスチレン
を素材にして成形されたものが用いられる。
る。図１は請求項１の発明の一実施例を示しており、構
成部材について従来例とほぼ共通であり、円筒状のケー
ス１１内に圧電素子で成る超音波発振素子１２と、シー
リングとスペーサを兼ねるＯリング１３と、Ｏリング１
３の内部に封入される液体カップラント１４と、前記Ｏ
リング１３に上底面周部が密着するように配置され、上
底面中央部が凹曲面になり、全体形状がほぼ逆円錐台形
の透明ディレイ材１５とを収容した形になっている。そ
して液体カップラント１４がディレイ材１５の上部の凹
曲面によって凸面形状をなし、超音波に対して所定の焦
点距離の位置に収束させる音響レンズ１６の働きをする
ようになっている。なお、液体カップラント１４には、
例えば、プロピレングリコールを主成分とする透明液体
が用いられ、ディレイ材１５は、例えば、ポリスチレン
を素材にして成形されたものが用いられる。
【００２０】この構成の超音波厚さ測定センサ２は従来
例として図８に示した回路構成の超音波厚さ測定装置に
用いられ、従来と同じように被測定物１の非破壊厚さ測
定に利用される。
例として図８に示した回路構成の超音波厚さ測定装置に
用いられ、従来と同じように被測定物１の非破壊厚さ測
定に利用される。
【００２１】ここで、逆円錐台形状のディレイ材１５の
各部の寸法とその上底部に形成されている音響レンズ１
６の曲率とは、超音波発振素子１２から出力され音響レ
ンズ１６で屈折されてディレイ材１５内を透過する超音
波の経路が図中の経路Ｇと経路Ｈとの間を通るように規
定されている。
各部の寸法とその上底部に形成されている音響レンズ１
６の曲率とは、超音波発振素子１２から出力され音響レ
ンズ１６で屈折されてディレイ材１５内を透過する超音
波の経路が図中の経路Ｇと経路Ｈとの間を通るように規
定されている。
【００２２】この寸法関係を定性的に説明すると、超音
波発振素子１２から出力される超音波が音響レンズ１６
で屈折されてディレイ材１５に入り、ディレイ材１５を
透過して先端面１７に達するとき、その先端面１７の中
心位置１７ｃと先端面の外縁位置１７ｓとの間を通って
外へ出るような寸法関係を規定することである。
波発振素子１２から出力される超音波が音響レンズ１６
で屈折されてディレイ材１５に入り、ディレイ材１５を
透過して先端面１７に達するとき、その先端面１７の中
心位置１７ｃと先端面の外縁位置１７ｓとの間を通って
外へ出るような寸法関係を規定することである。
【００２３】この請求項１の発明の一実施例のさらに詳
しい構成について、図２に基づいて説明すると、 Ｓ： 超音波発振素子１２の半径（mm） Ｒ： 音響レンズ１６の凸面の曲率半径（mm） Ｃ： ディレイ材１５の先端面１７の半径（mm） Ｌ： ディレイ材１５の高さ（mm） Ｖ１：音響レンズ１６内の音速（m/sec ） Ｖ２：ディレイ材１５内の音速（m/sec ） とすると、これらのパラメータ間の関係が上記数４の不
等式を満たす範囲にあるように、ディレイ材１５の高さ
Ｌを設計するのである。その理由は、次による。
しい構成について、図２に基づいて説明すると、 Ｓ： 超音波発振素子１２の半径（mm） Ｒ： 音響レンズ１６の凸面の曲率半径（mm） Ｃ： ディレイ材１５の先端面１７の半径（mm） Ｌ： ディレイ材１５の高さ（mm） Ｖ１：音響レンズ１６内の音速（m/sec ） Ｖ２：ディレイ材１５内の音速（m/sec ） とすると、これらのパラメータ間の関係が上記数４の不
等式を満たす範囲にあるように、ディレイ材１５の高さ
Ｌを設計するのである。その理由は、次による。
【００２４】まず、音響レンズ１６での超音波の屈折に
ついて考えると、音響レンズ１６の入射角θ１（度）
は、レンズ１６の曲率半径Ｒと超音波発振素子１２の半
径Ｓによって次のように決定される。
ついて考えると、音響レンズ１６の入射角θ１（度）
は、レンズ１６の曲率半径Ｒと超音波発振素子１２の半
径Ｓによって次のように決定される。
【００２５】
【数６】 次に、図３に示す関係において、スネルの法則を適用す
ると、
ると、
【数７】 となる。そこで、ディレイ材１５の入射屈折角θ２
（度）は数６の式を数７の式に当てはめることによって
次のように求められる。
（度）は数６の式を数７の式に当てはめることによって
次のように求められる。
【００２６】
【数８】 ディレイ材１５の内部で超音波の進む角度Ｘは、
【数９】Ｘ＝θ２−θ１ であり、また超音波が音響レンズ１６に入力された位置
から焦点Ｆに達するまでの軸方向の長さＬは、
から焦点Ｆに達するまでの軸方向の長さＬは、
【数１０】 である。
【００２７】そこで、数１０の式に数６、数８、数９の
式を代入することによって、Ｌは次のようになる。
式を代入することによって、Ｌは次のようになる。
【００２８】
【数１１】 また、ディレイ材１５内を進む超音波が先端面１７の周
縁位置、つまり、中心位置からＣだけ離れた位置に達す
るように設定するには、上記数１０の式において右辺分
子のＳをＳ−Ｃとすればよいので、その場合のディレイ
材１５のＬは、
縁位置、つまり、中心位置からＣだけ離れた位置に達す
るように設定するには、上記数１０の式において右辺分
子のＳをＳ−Ｃとすればよいので、その場合のディレイ
材１５のＬは、
【数１２】 となる。
【００２９】したがって、ディレイ材１５の長さＬを数
１１と数１２の式で決められる範囲に設定することによ
って、つまり上記数４の範囲に設定することによって、
図４に示すように、ディレイ材１５内部から出て被測定
物の表面で反射されて再びディレイ材１５内に戻る反射
エコーＳがディレイ材１５の側周面で再反射されて横波
に変換され、図１４に示したような遅れエコーＳｄを生
じさせることがないようにでき、遅れエコーが生じない
分、そのブランキング期間をゲート回路６に設定する必
要がなくなり、不感帯をより短くすることができてより
薄い厚さの測定ができるようになる。
１１と数１２の式で決められる範囲に設定することによ
って、つまり上記数４の範囲に設定することによって、
図４に示すように、ディレイ材１５内部から出て被測定
物の表面で反射されて再びディレイ材１５内に戻る反射
エコーＳがディレイ材１５の側周面で再反射されて横波
に変換され、図１４に示したような遅れエコーＳｄを生
じさせることがないようにでき、遅れエコーが生じない
分、そのブランキング期間をゲート回路６に設定する必
要がなくなり、不感帯をより短くすることができてより
薄い厚さの測定ができるようになる。
【００３０】実際に不感帯は反射エコーＳの１波長分に
まで短くすることができ、その時間幅は５０nsec〜６２
nsec程度であり、２０ＭHzの超音波で鋼板の厚さを測定
する場合には、最小測定限界を０．１９mmまで小さくす
ることができる。
まで短くすることができ、その時間幅は５０nsec〜６２
nsec程度であり、２０ＭHzの超音波で鋼板の厚さを測定
する場合には、最小測定限界を０．１９mmまで小さくす
ることができる。
【００３１】次に、図５及び図６に基づいて請求項２の
発明の一実施例を説明する。非球面音響レンズ１６´を
形成するための非球凹面１８を上底部に有するディレイ
材１５´は図５に示す形状である。この実施例のディレ
イ材１５´では、超音波に線状に焦点を結ばせる。
発明の一実施例を説明する。非球面音響レンズ１６´を
形成するための非球凹面１８を上底部に有するディレイ
材１５´は図５に示す形状である。この実施例のディレ
イ材１５´では、超音波に線状に焦点を結ばせる。
【００３２】そこで、このような非球面音響レンズ１６
´を備えた超音波厚さ測定センサ２´では、図６に示
し、また上記数５の関係式を満たすように各部の寸法関
係を規定する。つまり、 Ｓ： 超音波発振素子１２の短径、 α： 音響レンズ１６´の非球凸面の中心位置から短径
方向にＳだけ離れた位置の傾き角度（度） Ｃ： ディレイ材１５´の先端短径 Ｌ： ディレイ材１５´の高さ Ｖ１：音響レンズ１６´内の音速 Ｖ２：ディレイ材１５´内の音速 とするときに、これらのパラメータの間の関係が上記の
数５の不等式を満たす範囲にあるようにディレイ材１５
´の高さＬを設定するのである。
´を備えた超音波厚さ測定センサ２´では、図６に示
し、また上記数５の関係式を満たすように各部の寸法関
係を規定する。つまり、 Ｓ： 超音波発振素子１２の短径、 α： 音響レンズ１６´の非球凸面の中心位置から短径
方向にＳだけ離れた位置の傾き角度（度） Ｃ： ディレイ材１５´の先端短径 Ｌ： ディレイ材１５´の高さ Ｖ１：音響レンズ１６´内の音速 Ｖ２：ディレイ材１５´内の音速 とするときに、これらのパラメータの間の関係が上記の
数５の不等式を満たす範囲にあるようにディレイ材１５
´の高さＬを設定するのである。
【００３３】これによっても第１の実施例と同じく図４
に示すように、ディレイ材１５´内部から出て被測定物
１の表面で反射して再びディレイ材１５´内に戻る反射
エコーＳがディレイ材１５´の側周面で再反射されて横
波に変換され、遅れエコーを生じさせないようにでき、
遅れエコーが生じない分、そのブランキング期間をゲー
ト回路６に設定する必要がなくなり、不感帯をより短く
することができてより薄い厚さの測定ができるようにな
る。
に示すように、ディレイ材１５´内部から出て被測定物
１の表面で反射して再びディレイ材１５´内に戻る反射
エコーＳがディレイ材１５´の側周面で再反射されて横
波に変換され、遅れエコーを生じさせないようにでき、
遅れエコーが生じない分、そのブランキング期間をゲー
ト回路６に設定する必要がなくなり、不感帯をより短く
することができてより薄い厚さの測定ができるようにな
る。
【００３４】次に、請求項３の発明の一実施例を図７に
基づいて説明する。この第３の実施例の超音波厚さ測定
センサ２０は、円筒状のケース２１内に圧電素子で成る
超音波発振素子２２と、シーリングとスペーサを兼ねる
Ｏリング２３と、Ｏリング２３の内部に封入される液体
カップラント２４と、側周に吸音材２５が取付けられ、
Ｏリング２３に上底面周部が密着するように配置され、
また上底面中央部が凹曲面になり、全体形状がほぼ逆円
錐台形の透明ディレイ材２６を収容した形になってい
る。そして液体カップラント２４がディレイ材２６の上
部の凹曲面によって凸面形状をなり、超音波に対して所
定の焦点距離の位置に収束させる音響レンズ２７の働き
をするようになっている。ディレイ材２６の側周に取付
けられる吸音材２５には、例えば、ゴム材、発泡性樹脂
などが用いられる。
基づいて説明する。この第３の実施例の超音波厚さ測定
センサ２０は、円筒状のケース２１内に圧電素子で成る
超音波発振素子２２と、シーリングとスペーサを兼ねる
Ｏリング２３と、Ｏリング２３の内部に封入される液体
カップラント２４と、側周に吸音材２５が取付けられ、
Ｏリング２３に上底面周部が密着するように配置され、
また上底面中央部が凹曲面になり、全体形状がほぼ逆円
錐台形の透明ディレイ材２６を収容した形になってい
る。そして液体カップラント２４がディレイ材２６の上
部の凹曲面によって凸面形状をなり、超音波に対して所
定の焦点距離の位置に収束させる音響レンズ２７の働き
をするようになっている。ディレイ材２６の側周に取付
けられる吸音材２５には、例えば、ゴム材、発泡性樹脂
などが用いられる。
【００３５】この実施例の超音波厚さ測定センサ２０
は、ディレイ材２５の先端面から出て被測定物１の表
面、裏面それぞれに反射されて戻ってくる反射エコー
Ｓ，Ｂ１が側周面に当るときにその反射エコーを吸音材
２５によって吸音し、側周面で再反射されることによっ
て生じる横波による遅れエコーの発生を抑制して厚さ測
定限界寸法を広げることができる。
は、ディレイ材２５の先端面から出て被測定物１の表
面、裏面それぞれに反射されて戻ってくる反射エコー
Ｓ，Ｂ１が側周面に当るときにその反射エコーを吸音材
２５によって吸音し、側周面で再反射されることによっ
て生じる横波による遅れエコーの発生を抑制して厚さ測
定限界寸法を広げることができる。
【００３６】
【発明の効果】以上のように請求項１の発明によれば、
超音波発振素子の半径をＳ、音響レンズの凸面の曲率半
径をＲ、ディレイ材の先端半径をＣ、その高さをＬ、音
響レンズ内の音速をＶ１、ディレイ材内の音速をＶ２と
するとき、これらのパラメータの間の関係が数１の不等
式を満たす範囲にあるようにディレイ材の高さＬを設定
しているので、超音波発振素子から出力され、音響レン
ズによって屈折されてディレイ材内を透過する超音波の
焦点をディレイ材の先端面かそれよりも所定の距離だけ
外側の位置に結ぶようにし、厚さ測定時に被測定物の表
面で反射して戻ってくる反射波がディレイ材の側周面で
反射される経路を持たなくなるようにして、遅れエコー
の発生を抑制して厚さ測定限界寸法を広げることができ
る。
超音波発振素子の半径をＳ、音響レンズの凸面の曲率半
径をＲ、ディレイ材の先端半径をＣ、その高さをＬ、音
響レンズ内の音速をＶ１、ディレイ材内の音速をＶ２と
するとき、これらのパラメータの間の関係が数１の不等
式を満たす範囲にあるようにディレイ材の高さＬを設定
しているので、超音波発振素子から出力され、音響レン
ズによって屈折されてディレイ材内を透過する超音波の
焦点をディレイ材の先端面かそれよりも所定の距離だけ
外側の位置に結ぶようにし、厚さ測定時に被測定物の表
面で反射して戻ってくる反射波がディレイ材の側周面で
反射される経路を持たなくなるようにして、遅れエコー
の発生を抑制して厚さ測定限界寸法を広げることができ
る。
【００３７】請求項２の発明によれば、超音波発振素子
の短径をＳ、音響レンズの凸面の中心位置から短径方向
にＳだけ離れた位置の傾き角度をα、ディレイ材の先端
短径をＣ、その高さをＬ、音響レンズ内の音速をＶ１、
ディレイ材内の音速をＶ２とするとき、これらのパラメ
ータの間の関係が数２の不等式を満たす範囲にあるよう
にディレイ材の高さＬを設定しているので、超音波発振
素子から出力され、非球面音響レンズによって屈折され
てディレイ材内を透過する超音波の線状焦点をディレイ
材の先端面かそれよりも所定の距離だけ外側の位置に結
ぶようにし、厚さ測定時に被測定物の表面で反射して戻
ってくる反射波がディレイ材の側周面で反射される経路
を持たなくなるようにして、遅れエコーの発生を抑制し
て厚さ測定限界寸法を広げることができる。
の短径をＳ、音響レンズの凸面の中心位置から短径方向
にＳだけ離れた位置の傾き角度をα、ディレイ材の先端
短径をＣ、その高さをＬ、音響レンズ内の音速をＶ１、
ディレイ材内の音速をＶ２とするとき、これらのパラメ
ータの間の関係が数２の不等式を満たす範囲にあるよう
にディレイ材の高さＬを設定しているので、超音波発振
素子から出力され、非球面音響レンズによって屈折され
てディレイ材内を透過する超音波の線状焦点をディレイ
材の先端面かそれよりも所定の距離だけ外側の位置に結
ぶようにし、厚さ測定時に被測定物の表面で反射して戻
ってくる反射波がディレイ材の側周面で反射される経路
を持たなくなるようにして、遅れエコーの発生を抑制し
て厚さ測定限界寸法を広げることができる。
【００３８】請求項３の発明によれば、ディレイ材の側
周に吸音材を取付けているので、ディレイ材に戻ってく
る反射エコーが側周面に当るときにその反射エコーを吸
音材によって吸音し、側周面で再反射されることによっ
て生じる横波による遅れエコーの発生を抑制して厚さ測
定限界寸法を広げることができる。
周に吸音材を取付けているので、ディレイ材に戻ってく
る反射エコーが側周面に当るときにその反射エコーを吸
音材によって吸音し、側周面で再反射されることによっ
て生じる横波による遅れエコーの発生を抑制して厚さ測
定限界寸法を広げることができる。
【図１】請求項１の発明の一実施例の断面図。
【図２】上記実施例の各部の寸法関係を示す説明図。
【図３】図２におけるＩＩＩ部の拡大図。
【図４】上記実施例の動作特性を示す波形図。
【図５】請求項２の発明の一実施例に用いるディレイ材
の斜視図。
の斜視図。
【図６】上記実施例の断面図。
【図７】請求項３の発明の一実施例の断面図。
【図８】一般的な超音波厚さ測定装置の回路ブロック
図。
図。
【図９】従来例の断面図。
【図１０】一般的な超音波厚さ測定装置の動作原理の説
明図。
明図。
【図１１】従来例の各部の寸法関係を示す説明図。
【図１２】従来例の動作特性を示す波形図。
【図１３】従来例の動作特性を示す説明図。
【図１４】従来例の動作特性を示す波形図。
１ 被測定物 ２ 超音波厚さ測定センサ １１ ケース １２ 超音波発振素子 １３ Ｏリング １４ 液体カップラント １５ ディレイ材 １５´ ディレイ材 １６ 音響レンズ １６´ 音響レンズ １７ 先端面 １８ 非球凹面 ２０ 超音波厚さ測定センサ ２１ ケース ２２ 超音波発振素子 ２３ Ｏリング ２４ 液体カップラント ２５ 吸音材 ２６ ディレイ材
Claims (3)
- 【請求項１】 超音波発振素子と、前記超音波発振素子
から出る超音波を所定の焦点距離位置に点状に収束させ
る球面形状の音響レンズと、前記音響レンズの凸面と嵌
合する凹部が上底部に形成され、前記音響レンズから出
る超音波を伝播させて先端部から出射させ、被測定物か
ら反射してくる超音波を前記先端面から入射させて前記
音響レンズに戻すためのほぼ逆円錐台形のディレイ材と
を備えて成る超音波厚さ測定センサにおいて、 前記超音波発振素子の半径をＳ、前記音響レンズの凸面
の曲率半径をＲ、前記ディレイ材の先端半径をＣ、その
高さをＬ、前記音響レンズ内の音速をＶ１、前記ディレ
イ材内の音速をＶ２とするとき、これらのパラメータの
間の関係が次の不等式を満たす範囲にあるように前記デ
ィレイ材の高さＬを設定したことを特徴とする超音波厚
さ測定センサ。 【数１】 - 【請求項２】 超音波発振素子と、前記超音波発振素子
から出る超音波を所定の焦点距離位置に線状に収束させ
る非球面形状の音響レンズと、前記音響レンズの凸面と
嵌合する凹部が上底部に形成され、前記音響レンズから
出る超音波を伝播させて先端面から出射させ、被測定物
から反射してくる超音波を前記先端面から入射させて前
記音響レンズに戻すための逆錐台形のディレイ材とを備
えて成る超音波厚さ測定センサにおいて、 前記超音波発振素子の短径をＳ、前記音響レンズの凸面
の中心位置から短径方向にＳだけ離れた位置の傾き角度
をα、前記ディレイ材の先端短径をＣ、その高さをＬ、
前記音響レンズ内の音速をＶ１、前記ディレイ材内の音
速をＶ２とするとき、これらのパラメータの間の関係が
次の不等式を満たす範囲にあるように前記ディレイ材の
高さＬを設定したことを特徴とする超音波厚さ測定セン
サ。 【数２】 - 【請求項３】 超音波発振素子と、前記超音波発振素子
から出る超音波を所定の焦点距離位置に収束させる音響
レンズと、側周に吸音材が取付けられ、前記音響レンズ
の凸面と嵌合する凹部が上底部に形成され、前記音響レ
ンズから出る超音波を伝播させて先端面から出射させ、
被測定物から反射してくる超音波を前記先端面から入射
させて前記音響レンズに戻すための逆錐台形のディレイ
材とを備えて成る超音波厚さ測定センサ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7049517A JP2778510B2 (ja) | 1995-03-09 | 1995-03-09 | 超音波厚さ測定センサ |
| KR1019960004880A KR0183529B1 (ko) | 1995-03-09 | 1996-02-27 | 초음파 두께측정 센서 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7049517A JP2778510B2 (ja) | 1995-03-09 | 1995-03-09 | 超音波厚さ測定センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08247751A true JPH08247751A (ja) | 1996-09-27 |
| JP2778510B2 JP2778510B2 (ja) | 1998-07-23 |
Family
ID=12833340
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7049517A Expired - Lifetime JP2778510B2 (ja) | 1995-03-09 | 1995-03-09 | 超音波厚さ測定センサ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2778510B2 (ja) |
| KR (1) | KR0183529B1 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005061944A (ja) * | 2003-08-11 | 2005-03-10 | Nissan Motor Co Ltd | パイプ内圧測定装置およびパイプ内圧測定方法 |
| KR100807567B1 (ko) * | 2001-11-20 | 2008-03-06 | 주식회사 포스코 | 몰드 파우더층 측정용 몰드레벨계 및 그 레벨 측정방법 |
| JP2015081868A (ja) * | 2013-10-23 | 2015-04-27 | 富士電機株式会社 | 超音波プローブ |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102109333B (zh) * | 2009-12-23 | 2013-03-20 | 中国科学院沈阳计算技术研究所有限公司 | 小曲率半径复杂曲面智能超声波测厚系统 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0323864A (ja) * | 1989-06-20 | 1991-01-31 | Gunze Ltd | 生体組織用充填材 |
| JPH0547807U (ja) * | 1991-12-02 | 1993-06-25 | 大阪瓦斯株式会社 | 超音波探査装置 |
-
1995
- 1995-03-09 JP JP7049517A patent/JP2778510B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1996
- 1996-02-27 KR KR1019960004880A patent/KR0183529B1/ko not_active IP Right Cessation
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0323864A (ja) * | 1989-06-20 | 1991-01-31 | Gunze Ltd | 生体組織用充填材 |
| JPH0547807U (ja) * | 1991-12-02 | 1993-06-25 | 大阪瓦斯株式会社 | 超音波探査装置 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100807567B1 (ko) * | 2001-11-20 | 2008-03-06 | 주식회사 포스코 | 몰드 파우더층 측정용 몰드레벨계 및 그 레벨 측정방법 |
| JP2005061944A (ja) * | 2003-08-11 | 2005-03-10 | Nissan Motor Co Ltd | パイプ内圧測定装置およびパイプ内圧測定方法 |
| JP2015081868A (ja) * | 2013-10-23 | 2015-04-27 | 富士電機株式会社 | 超音波プローブ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2778510B2 (ja) | 1998-07-23 |
| KR960034981A (ko) | 1996-10-24 |
| KR0183529B1 (ko) | 1999-05-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EA000212B1 (ru) | Ультразвуковой расходомер | |
| JP2778510B2 (ja) | 超音波厚さ測定センサ | |
| US3379902A (en) | Ultrasonic testing apparatus | |
| JPH08261997A (ja) | 表面波探触子 | |
| JPH0273151A (ja) | 超音波探触子 | |
| JP5827809B2 (ja) | 超音波探触子及び管状対象物の周長測定方法 | |
| RU2001102779A (ru) | Устройство и способ определения физических параметров двухфазной смеси с помощью распространения акустической волны в непрерывной фазе двухфазной смеси | |
| JP3121430B2 (ja) | 超音波探傷方法及び超音波探触子 | |
| JP2693000B2 (ja) | 超音波送受波器 | |
| JPH08313496A (ja) | 超音波探触子 | |
| JPH09229748A (ja) | 超音波液面レベルセンサ | |
| JP4046926B2 (ja) | ディレイ材付き接触型超音波センサ | |
| JP2020144098A (ja) | 液面位置検出装置 | |
| SU1099274A1 (ru) | Ультразвуковой наклонный преобразователь | |
| JPS63186143A (ja) | 超音波探触子 | |
| GB1222355A (en) | Probes for use in ultrasonic flaw detection | |
| JP2912639B2 (ja) | 超音波斜角探触子 | |
| JPH11241960A (ja) | ボルト | |
| JP3027495B2 (ja) | 超音波プローブ | |
| JPH08201352A (ja) | 斜角探傷用超音波探触子 | |
| JP2013036927A (ja) | 表面欠陥検出装置及び表面欠陥検出方法 | |
| RU2225082C1 (ru) | Акустический блок ультразвукового измерительного устройства | |
| SU166159A1 (ru) | Ультразвуковой наклонный (призматический)искатель | |
| JPH05172793A (ja) | 音響特性値測定装置 | |
| JPH08292176A (ja) | 超音波探触子 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090508 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090508 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100508 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110508 Year of fee payment: 13 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130508 Year of fee payment: 15 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140508 Year of fee payment: 16 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |