JPH08243922A

JPH08243922A - パターン形成方法

Info

Publication number: JPH08243922A
Application number: JP7045816A
Authority: JP
Inventors: Kyoko Kotani; 恭子小谷; Yoshitaka Terao; 芳孝寺尾
Original assignee: Oki Electric Industry Co Ltd
Current assignee: Oki Electric Industry Co Ltd
Priority date: 1995-03-06
Filing date: 1995-03-06
Publication date: 1996-09-24
Anticipated expiration: 2016-04-25
Also published as: JP3161580B2

Abstract

(57)【要約】【目的】サンドブラスト法を用いて、領域の広さや形
状が異なる除去対象部分を同時に切削するときに生じる
切削速度の差を埋めて、所定通りのパターンを形成す
る。【構成】背面基板１１上にパターン形成用の被着層と
して誘電体層２９を設け、その後誘電体層２９上に第
１、第２および第３窓３３、３５および３７を有するサ
ンドブラストマスク３１を設ける。このうち、第１およ
び第２窓３３および３５と比較してはるかに広い領域に
わたる第３窓３７に対応した誘電体層２９の露出部分
を、この第３窓３７よりも大きい寸法で、第３窓３７を
介してサンドブラスト法により除去する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、サンドブラスト法を
用いた、パターン形成方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】サンドブラスト法は、比重の大きい微粒
子と圧縮空気等とを混合させた切削材を、高速で被加工
物に噴射することにより、被加工物のエッチングを行う
方法であり、微細加工に適している。サンドブラスト法
を用いた加工例として、文献：サンドブラスト法による
カラーＰＤＰ蛍光面の試作、藤井英明他、1992年、電気
通信情報学会技術報告、EID91-104 、pp.53-56に開示さ
れているものがある。文献には、ガス放電表示パネルを
構成する、隔壁、蛍光体等の形成にサンドブラスト法を
用いた例が記載されている。この従来方法によれば、ま
ず、複数列の電極（文献では陰極）が設けられたガラス
基板上に、隔壁材料である被着層（文献ではガラスペー
ストの厚膜）を設ける。次に、被着層上に、隔壁パター
ンに対応した形状の、サンドブラストマスク（文献では
ドライフィルム）を設ける。このとき、被着層のうち残
存させる隔壁パターン上はマスクで覆われ、除去対象と
なる部分の表面はマスクの窓から露出している。その
後、除去対象部分を、電極の表面と、電極が設けられて
いる場所以外のガラス基板の表面とが見えるまで切削除
去し、隔壁パターンを得る。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】一般的に、ガス放電パ
ネルは、以下に示すような構造となっている。図３の
（Ａ）は、一般的な直流型ガス放電パネルの構造を概略
的に示す斜視図であり、一部を切り欠いて示してある。
また、図３の（Ｂ）は、パネルの放電が行われる部分
を、模式的に示した平面図であり、また、図３の（Ｃ）
は、図３の（Ｂ）のＡ部分を拡大して示した図である。
なお、図３の（Ｂ）および（Ｃ）において矢印ａは縦方
向を示し、また、矢印ｂは横方向を示すものとする。

【０００４】図３の（Ａ）に示すように、ガス放電パネ
ルは例えば帯状の陽極１３および補助陽極１５が２列、
１列の順で平行配置されている背面基板１１と、帯状の
陰極５３が平行配置されている前面基板５１とを、それ
ぞれの基板１１および５１に設けられている電極どうし
が交差するように対向させて貼り合わせた構造となって
いる。このうち、複数の陽極１３と陰極５３とが交差す
る部分で書き込み放電（表示放電）が起こり、パネルを
表示点灯させる仕組みになっている。また、補助陽極１
５と陰極５３とが交差する部分で表示放電を助ける、補
助放電が起こる。そして、２つの基板の間隙に、表示放
電が起こる部分を取り囲むようにして設けたものが隔壁
（隔壁パターンともいう。）１７であり、この隔壁１７
は、表示放電が起こる部分を表示セル１９として区分け
し、また、補助放電の起こる部分を表示セル間の所定の
位置に配置される補助セル２１としている。隔壁１７に
は、表示放電や補助放電を所定の位置で行わせ、誤放電
を防止する働きがある。

【０００５】また、図３の（Ｂ）に示すように、上述し
たパネルにおける、放電が行われる部分、つまり隔壁１
７が形成される部分は、多数の表示セル１９や補助セル
２１が形成される、パネル全体の中央部２３（図３の
（Ｂ）中、斜線を施して示してある。）である。

【０００６】既に述べてあるように、隔壁１７は、背面
基板１１上に設けられている被着層（図示せず）を隔壁
パターン１７と同じ大きさおよび平面形状を有するマス
ク（図示せず）で覆い、サンドブラスト法により加工成
形して設ける。ガラス基板上に被着層を形成したとき、
マスクの窓から露出している部分に対応している被着層
の被除去領域、すなわち隔壁パターン１７として残存形
成されずに切削除去されてしまう部分は、このパネルの
場合、次の３つの部分である。１）隔壁が形成される範囲であるパネルの中央部２３の
周側部２５。２）表示セル１９となる部分。３）補助セル２１となる部分。

【０００７】このうち、表示セル１９となる被除去領域
の部分および補助セルとなる被除去領域の部分２１のそ
れぞれの領域の広さは、例えばパネルサイズが縦横８０
ｍｍ×８０ｍｍであるパネルの場合、前者が縦横０．６
５ｍｍ×０．４０ｍｍであり、後者が縦横およそ５０ｍ
ｍ×０．１ｍｍである。これに対して、パネルの周側部
２５は、隔壁形成範囲である中央部２３の周りを１５ｍ
ｍの幅で取り囲む程の広さがあるため、表示セル部分１
９および補助セル部分２１がそれぞれ形成される個別の
領域の広さよりもはるかに広い。このため、一つの表示
セル部分１９およびまたは一つの補助セル部分２１に対
応する被除去領域の広さは、パネル周側部２５に対応す
る被除去領域よりもはるかに狭い領域となっている。こ
のように、除去されるべき狭い領域と広い領域とが混在
する、ある広がりのある領域に対し、同一のサンドブラ
スト条件で、サンドブラストを行うと、広い領域の方が
狭い領域よりも早く切削されることが知られている。し
たがって、表示パネルの場合を考えると、表示セル１９
および補助セル２１となる部分（被除去領域）を除去す
る速度と周側部２５の被除去領域を除去する速度とで
は、サンドブラスト速度に差が生じ、その結果、周側部
２５の方が早く切削が終了してしまう。このため、表示
セル１９および補助セル２１となる部分の切削が終了す
るまでさらに除去をすすめると、既に図３の（Ｃ）中に
破線２５ａで示す設計上の境界まで切削が終了して基板
１１が露出している周側部２５では、切削材が基板１１
に衝突して跳ね返り、この跳ね返った切削材により、隔
壁の周側部２５に面している中央部周縁２７が２５ｂで
示す位置まで必要以上に削られてしまう（余分に切削さ
れてしまう部分を図３の（Ｃ）に斜線を施して示す）。
したがって、表示セル１９および補助セル２１となる部
分の切削が終了したときには、中央部周縁２７は本来の
隔壁の縦方向（ａ）および横方向（ｂ）の厚みの半分程
度にまで達し、場合によっては隔壁１７に穴が空いたり
することもあった。サンドブラストによるこのダメージ
は隔壁１７の壁崩れを引き起こし、延てはパネルとして
完成させた後に、誤放電や放電漏れの原因となり、正常
な駆動ができなくなるおそれがある。

【０００８】したがって、サンドブラスト法を用いるこ
とにより、領域の広さや形状が異なる除去対象部分を同
時に切削するときに生じる切削速度の差をできるだけ小
さくすることにより、所定通りのパターンを形成できる
ようなパターン形成方法の出現が望まれていた。

【０００９】

【課題を解決するための手段】そこで、この出願に係る
発明者等は、種々の実験を試みたところ、同一のサンド
ブラスト工程で被着層を切削して大きさにばらつきがあ
る複数の穴や溝を設計通りまたはほぼ設計通りに形成す
るためには、大きい方の穴や溝を切削するために用いる
マスクの窓（または開口部ともいう。）を、これら大き
い窓や溝の平面形状をそのまま縮小させた形状の窓にし
ておいて、この縮小窓を介して被着層を、小さい方の穴
や溝を掘るときのサンドブラスト条件でサンドブラスト
を行えば、このサンドブラストの終了時には、大きさの
大小ばらつきのある穴や溝をそれぞれ設計通りまたはそ
れに近い状態で、同時に、形成できることを発見した。
したがって、この発明のパターン形成方法によれば、高
さが均一な、パターン形成用被着層上にマスクを設け、
このマスクの複数の窓にそれぞれ対応した被着層の被除
去領域をサンドブラスト法で同時に除去して所定のパタ
ーンを残存形成するに当たり、ある窓を介して、この窓
の大きさおよび形状と同一または実質的に同一の大きさ
および形状の被除去領域を除去する処理と、この窓とは
異なる窓を介して異なる窓の大きさよりも大きいが形状
は同一または実質的に同一の被除去領域を除去する処理
とを、同じサンドブラスト工程で行うことを特徴とす
る。

【００１０】なお、上述の例では、被着層の被除去領域
に対してマスクが開口している部分を窓と称している
が、例えば被除去領域の一部がマスクと隣り合うマスク
外に存在する場合であっても、本発明は適用されるた
め、マスクと隣り合うマスク外の被除去領域に対して
も、“マスクに覆われない部分”という意味においてマ
スク開口部の被除去領域と同様に考え、便宜的に窓と称
するものとする。

【００１１】

【作用】上述したこの発明のパターン形成方法によれ
ば、パターン形成用の被着層上に、広がりの大きい被除
去領域と広がりの小さい被除去領域をそれぞれ切削する
ための窓を形成してあるマスクを設ける。ここで、この
広がりの大きい被除去領域用の窓を大きい窓と称し、こ
れに対し、広がりの小さい被除去領域用の窓を小さい窓
と称する。このマスクに設けられた大きい窓に対応した
被着層の露出した部分は、設計上の被除去領域よりも狭
く、すなわち、設計上の被除去領域と相似の縮小形状と
なっている。一方、小さい窓の方は、従来と同様に、広
がりの小さい設計上の被除去領域と同一または実質的に
同一の大きさおよび形状として作成してある。したがっ
て、小さい窓を介して露出している被着層の部分は、設
計上の被除去領域に実質的に対応しているため、この広
がりの小さい被除去領域に対しサンドブラスト法でのサ
ンドブラスト条件を定めて、大きい窓および小さい窓を
有するマスクを用いて被着層に対しサンドブラスト工程
を実施する。そうすると、大きい窓を介しての被着層の
切削は小さい窓を介しての被着層の切削よりも早く進む
ので、大きい窓に露出している部分が切削し終ったとき
には小さい窓に露出している部分の切削はまだ終わって
いない。したがって、さらにサンドブラストを続ける
と、大きい窓を介する切削は、この窓の輪郭を越えた、
すなわち窓よりも広がった部分をも切削し始める。そし
て、小さい窓を介する切削が、丁度小さい窓の大きさと
一致するところまで、すなわち小さい窓の輪郭まで完全
にまたはほぼ完全に切削し終ったとき、大きい窓を介し
て切削された領域が、丁度、設計上の被除去領域と一致
するように、大きい窓の大きさを予め縮小した縮小窓と
して形成しておけば、上述のサンドブラスト工程を終え
たとき、小さい窓を介する切削穴または切削溝と同時に
大きい窓を介する切削穴または切削溝を形成することが
できる。このように、この発明によれば、窓の寸法より
も大きな寸法で、この窓を介してサンドブラスト法で除
去する手法、すなわち、他の除去対象部分に比べて明ら
かに早く切削が終了してしまうような除去対象部分が存
在するパターンを残存形成するとき、予めこの部分が除
去する寸法よりも窓の寸法を小さくすることにより、他
の除去対象部分との切削速度の差を埋めて、切削が終了
する時間を同時にし、所定のパターンを形成する。

【００１２】

【実施例】以下、図面を参照して、この発明の実施例に
ついて説明する。各図は、発明が理解できる程度に各構
成成分の大きさや形状、および位置関係を概略的に示し
てあり、断面を表すハッチング等は一部分を除き省略し
てある。また、以下の説明において特定の材料および条
件等を用いるが、これらの材料および条件等は好適例の
一つにすぎず、したがって、この発明では何らこれに限
定されるものではない。また、図３で用いた構成成分と
同一の構成成分には同一の符号を付して示してある。な
お、この実施例では、ガス放電パネルの隔壁を形成する
場合につき説明し、実施例で用いたパネルは、既に構造
を説明してある縦横８０ｍｍ×８０ｍｍの大きさの直流
型ガス放電パネルと同じタイプであるものとする。

【００１３】図１の（Ａ）は、この発明の実施例に係る
概略的な平面図であり、この図は基本的にはパネルの基
板に隔壁を形成するため、基板に隔壁パターン形成用の
被着層を設け、この被着層の上側にサンドブラスト法で
用いるマスクを位置決め配置した状態を示す。そしてこ
の図１の（Ａ）は、このマスクを用いて、マスクの下側
の被着層をサンドブラスト法で切削するときの、切削の
状態を説明するための図でもあり、パターンを形成する
とき、被着層を覆うマスク３１の被覆部３１ａおよび３
１ｂに相当する部分をハッチングで強調して示してい
る。図１の（Ａ）において、マスク３１の被覆部３１ａ
は、パネルの基板の周辺部に対応して設けてあり、した
がって、この被覆部３１ａは、表示セルや補助セルを形
成する両域外に設けられているため、ここでは重要では
ない。しかし、マスク３１の被覆部３１ｂは、パネルの
表示の中心となる、表示セルや補助セルが形成される領
域であって、すでに説明した中央部に相当する部分を、
所要のパターン形状で覆っている。図１の（Ａ）では詳
細なパターンを省略しているが、図１の（Ｂ）で、この
中央部の一部分の領域（図１の（Ａ）に丸印Ｂで示して
ある辺りの領域に対応している）での被覆部３１ｂのパ
ターンを拡大して模式的にかつ具体的に、斜線を施して
示してある。また、図２の（Ａ）〜（Ｅ）は、図１の
（Ｂ）の平面図をＸ−Ｘ線で切って矢印の方向にみたと
きの断面に対応する部分での、パターンが形成されるま
での工程図を示している。なお、図２において、断面を
表すハッチング等は一部分を除き省略して示してある。

【００１４】この発明のパターン形成方法によれば、高
さが均一な、パターン形成用被着層上に、大きさの異な
る複数の窓すなわち開口部を有するマスクを設け、それ
ぞれの窓に対応した被着層の被除去領域をサンドブラス
ト法で同時に除去して所定のパターンを残存形成する。
その場合、本質的にはある窓に対応した被着層の被除去
領域を、この被除去領域の大きさよりも小さな窓を介し
てこの窓の大きさよりも大きい領域にわたって除去す
る。

【００１５】このため、この実施例では、まず、陽極１
３および補助陽極１５を設けた背面基板１１上に、被着
層として誘電体層２９を均一な厚さ、例えば０．２ｍｍ
の厚さで積層し、図２の（Ａ）に示すような構造体を得
る。誘電体層２９の材料としては例えばＧＬＰ１６０６
２（商品名、住友金属鉱山社製）等が挙げられる。

【００１６】次に、誘電体層２９上に、サンドブラスト
マスク３１として例えばドライフィルムレジスト（例え
ばＯＲＤＹＬ：商品名、東京応化社製）を設け、図２の
（Ｂ）に示すような構造体を得る。ここで、図１を用い
てマスク３１の形状について詳細に説明する。図１の
（Ａ）は、図２の（Ｂ）の工程段階で得られた構造体
の、背面基板１１を上から見た模式的な平面図である。
この図からも理解できるように、誘電体層２９を覆うこ
の実施例のマスク３１は、大きく考えて、基板周辺部
（前面基板５１と貼り合わせる部分）３１ａと、中央部
２３を覆う部分３１ｂ（以下、中央被覆部３１ｂとす
る。）とに分かれる。さらに、図１の（Ｂ）に示すよう
に、中央被覆部３１ｂにおいては、後に表示セル１９お
よび補助セル２１となる部分を形成するため、これらに
対応する部分に複数の窓を設ける。この中央被覆部３１
ｂは、丁度、格子状窓ガラスの窓枠に似た構造をしてお
り、一番外側の、中央部の縁枠に相当する中央被覆部の
部分である縁被覆部３１ｂ₁ と、縦（ａ）方向および横
（ｂ）方向の枠に相当する内側被覆部３１ｂ₂ とを有し
ている。なお、これらの領域３１ｂ₁ と３１ｂ₂ を図１
の（Ｂ）では斜線を施して示してある。そして、通常
は、この外枠に相当する縁被覆部３１ｂ₁ は、例えば、
ａ方向（縦方向）に沿って連続的ではあるが、ｂ方向
（横方向）に沿っては不連続に形成してある。そして、
この発明で使用する中央被覆部３１ｂではａ方向および
ｂ方向に延在する内側被覆部３１ｂ₂ の延在方向を、横
断する方向の厚み（または幅ともいう。）よりも、縁被
覆部３１ｂ₁ のそれぞれ対応する方向の厚み（または
幅）よりも大きくしてある。なお、図１の（Ｂ）におい
て、縁被覆部３１ｂ₁ の領域であって、内側被覆部３１
ｂ₂ の厚み（幅）よりも広くしてある部分を拡幅部３９
と称する。この拡幅部３９にも細い間隔で斜線を施して
示してある。

【００１７】窓は、中央被覆部３１ｂ以外の領域であ
り、このとき、表示セル１９となる部分に対応する窓を
第１窓３３、補助セル２１となる部分に対応する窓を第
２窓３５とする。これらの窓の平面形状は、設計に応じ
て任意の形状とし得るが、この実施例では、第１窓３３
は正方形または長方形としてあり、第２窓３５は上下
（ａ方向）の両端部で第３窓３７とつながっている細長
い長方形としており、第３窓３７はカタカナの“ロ”の
字状の形、すなわち中抜きした四角形状としている。こ
の窓の大きさは、一例として、第１窓３３が縦横０．４
ｍｍ×０．６５ｍｍであり、第２窓３５が縦横５０ｍｍ
×０．１ｍｍである。また、中央被覆部３１ｂと基板周
辺部３１ａとの間に開口する窓を、第３窓３７とする。
また、中央被覆部３１ｂの縁被覆部３１ｂ₁ を、周側部
２５側に幅広くして拡幅部３９を設けてあるが、具体的
には、一例として、パターン形成後、周側部２５側に面
する隔壁パターンを覆うマスク幅を、本来の隔壁パター
ン幅である０．０８ｍｍに対して１．５倍である０．１
２ｍｍ程度に周側部２５側に広げてある。この拡幅部３
９により、周側部２５に対応する第３窓３７が、本来除
去される領域よりも０．０４ｍｍ程度幅狭になる。な
お、マスク３１ｂは、図１の（Ｂ）からもわかるよう
に、補助セル２１部分を形成するための第２窓３５によ
って途切れているため、図１の（Ａ）に示すように１枚
ではなく、実際には短冊状のマスクが複数枚並べられる
形となる。また、第２窓３５と、第３窓３７とは、連通
している（図１の（Ｂ））。

【００１８】以上のようなマスク３１が設けられた誘電
体層２９のマスクの窓から露出した部分に対し、窓を介
してサンドブラスト法により除去処理を行う。サンドブ
ラスト装置としては例えばＰＤ−１型微細用ショットブ
ラスト装置（商品名、アルプスエンジニアリング社製）
を用い（図示せず）、切削材としては例えばＳｉＣ＃１
０００（商品名、不二製作所社製）を用いる。このと
き、既に説明してあるように、第３窓３７は、例えば１
５ｍｍ×（８０〜９０ｍｍ）程度の広がりを有してお
り、一方、第１および第２窓３３および３５は０．６５
ｍｍ×０．４０ｍｍ程度および５０ｍｍ×０．１ｍｍ程
度の広がりであるので、第３窓３７は、第１および第２
窓３３および３５と比較してはるかに除去される領域が
広い。このため、この広い領域はサンドブラストでの切
削が速く進み、表示セル１９および補助セル２１に対応
する部分の除去が終了する前に、第３窓３７に丁度露出
しているすなわち拡幅部３９と基板周辺被覆部３１ａと
で囲まれた範囲に露出した部分の誘電体層２９の切削除
去は終了する（図２の（Ｃ））。

【００１９】その後、第１および第２窓３３および３５
に露出した部分に対し更にサンドブラストによる除去を
続け、第１および第２窓３３および３５を介して表示セ
ル１９および補助セル２１となる空間が完全に形成され
たら、切削を終了する。このサンドブラストは、基板の
全面に対して行うので、すでに背面基板１１が露出する
まで切削されている周側部２５に面している隔壁の側面
は、周側部２５の基板から跳ね返った切削材によりさら
に削られる。このため、表示セル１９および補助セル２
１となる部分の切削除去が終了したときに、周側部２５
に面した隔壁パターン１７は、第３窓３７よりも大きな
寸法で除去される。しかし、予め第３窓３７の大きさ
を、中央被覆部３１ｂ₁ の周囲に拡幅部３９を設けるこ
とにより本来切削されるべき被着層の設計上の被除去領
域の広がりの大きさよりも小さくしてある。このため、
第３窓３７に丁度露出している領域が切削されたときか
ら、第３窓３７よりも小さい第１および第２窓３３およ
び３５、第３窓３７に丁度露出している領域が切削し終
るまでの時間に被着層が第３窓３７の拡幅部３９の縁か
らどの程度内側へ切削されるかを予め調べておいて、こ
の窓の縮小の程度、すなわち拡幅部３９のａおよびｂ方
向の幅の大きさを決めれば良い。このようにしておけ
ば、小さい第１および第２窓３３および３５に露出して
いる被除去領域が切削し終ったときには、大きい第３窓
３７に対応する被除去領域も設計上予定していた広がり
で切削されるので、残存した被着層部分からなるパター
ンは、ほぼ所定のパターン１７として得ることができる
（図２の（Ｄ））。

【００２０】その後、マスク３１を好適な方法で除去
し、隔壁パターン１７が形成される（図２の（Ｅ））。

【００２１】このように、被着層である誘電体層２９上
にサンドブラストマスクを設けるとき、予めパネルの周
側部に対応するサンドブラストマスクの窓の寸法を、除
去したい範囲よりも小さくして設け、換言すれば、被覆
部の範囲を除去したい領域よりも大きくして設け、結果
的にこの窓よりも大きな寸法で除去したことにより、ほ
かに除去される部分である、表示セル１９および補助セ
ル２１となる部分との間に生じる切削速度の差を埋め
て、所定の隔壁パターンを形成することができる。

【００２２】この発明は上述した実施例にのみ限定され
るものではないことは明らかである。例えば、他の除去
対象部分に比べてはるかに広域にわたり除去する必要が
あるために、早く切削が終了してしまい、その結果、除
去しないつもりの部分まで除去されてしまうおそれのあ
る除去対象部分が存在するパターンを残存形成するとき
に適用可能である。また、ここでは、被着層の被除去領
域に対してマスクが開口している部分を切削する場合に
つき例示してあるが、例えば被除去領域の一部がマスク
と隣り合うマスク外に存在する場合であっても、被着層
を覆わない部分を窓と見做すことにより、本発明の適用
が可能である。

【００２３】

【発明の効果】上述した説明からも明らかなように、こ
の発明のパターン形成方法によれば、パターン形成用の
被着層の上に設けるマスクに開口される窓のうち、他の
除去対象部分に比べて広域にわたり除去する必要があ
り、明らかに早く切削が終了してしまうような除去対象
部分に対応する窓の寸法を、この窓を介して除去したい
寸法よりも小さくする。そして、このようなマスクを用
いて、サンドブラスト法で窓を介して被着層をこの窓よ
りも大きな寸法で切削除去することにより、各除去対象
部分間に生じる切削速度の差を埋めて、切削が終了する
時間を同時にする。このことにより、所定のパターンを
ダメージなく形成することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例のマスクの概形を示す平面図である。

【図２】実施例のパターン形成工程を示す断面図であ
る。

【図３】（Ａ）〜（Ｃ）は発明が解決しようとする課題
を説明するための概略図である。

【符号の説明】

１１：背面基板１３：陽極１５：補助陽極１７：隔壁（隔壁パターン）１９：表示セル２１：補助セル２３：中央部２５：周側部２７：中央部周縁２９：誘電体層（被着層）３１：サンドブラストマスク３１ａ：基板周辺被覆部３１ｂ：中央被覆部３１ｂ₁ ：縁被覆部３１ｂ₂ ：内側被覆部３３：第１窓３５：第２窓３７：第３窓３９：拡幅部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】高さが均一な、パターン形成用被着層上
にマスクを設け、該マスクの複数の窓にそれぞれ対応し
た前記被着層の被除去領域をサンドブラスト法で同時に
除去して所定のパターンを残存形成するに当たり、ある窓を介して該窓の大きさおよび形状と同一または実
質的に同一の大きさおよび形状の被除去領域を除去する
処理と、前記窓とは異なる窓を介して該異なる窓の大き
さよりも大きいが形状は同一または実質的に同一の被除
去領域を除去する処理とを、同じサンドブラスト工程で
行うことを特徴とするサンドブラスト法によるパターン
形成方法。