JPH0823257A - 磁歪振動子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】個々の磁歪振動子素子の固有振動周波数の高い
ものから低いものまでの周波数の差を大きくした多数波
共振複合発振による可聴音波又は／及び超音波の発振可
能な超音波振動子を実現する。 【構成】本発明の磁歪振動子は、前記のように特許第５
９０５２８号を改良して、真空電気炉での熱処理温度及
び熱処理時間等の熱処理条件を積極的に差を設けること
によって、同一形状・同一寸法・同一材料であっても異
なった固有振動周波数を持った磁歪振動子を複数枚数重
積成層することで、基本波の基本振動周波数の整数倍の
２次（基本振動周波数の２倍）、３次（基本振動周波数
の３倍）、４次（基本振動周波数の４倍）以上ｎ次（基
本振動周波数のｎ倍）の高調波の何れかで基本波よりも
高いピークを有する可聴音波又は／及び超音波を得られ
るようにする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、磁歪振動子に関する。

【０００２】

【従来の技術】特許第５９０５２８号の特許公報の請求
範囲に、「異なる条件で磁気的熱処理して固有振動周波
数を異ならしめたニッケル又は鉄、ニッケル合金等の鋼
板から成る数多の磁歪振動子素子を所要枚数重積成層
し、これに励振コイルを捲回して異なる数多の共振周波
数の発振を同時に得るようにし、その生理学的生物学的
作用による医療的機能特性を一層有効ならしめることを
特徴とする超音波治療器用の磁歪振動子。」という記述
があった。またこの本請求範囲の実施例において、「ニ
ッケル又は鉄、ニッケル合金の複数枚の角形磁歪振動子
用の素子に磁気的熱処理を加えるにあたり、ほぼ６００
℃に加熱のうえ空気又はアルゴン、窒素等のガス中にお
いてそれぞれ所要設定の異なった時間放冷し、その後油
等に浸漬して急冷することによって、それぞれの角形磁
歪振動子用の素子が異なった固有振動数を持たせる。」
という意味の記載があった。

【０００３】特許第５９０５２８号は、昭和４０年に中
山忠男と笹原五十男が共同出願したものであるが、本特
許出願は吉田範行と特許第５９０５２８号の特許出願人
である笹原五十男とが特許第５９０５２８号の問題点を
検討して改良出願したものである。

【０００４】特許第５９０５２８号の記述内容及び記載
内容に従って製作した磁歪振動子を有する超音波治療器
から発する可聴音波又は／及び超音波について、本発明
人らが再現性試験を実施して周波数分析を実施したとこ
ろ、即ち、前記特許第５９０５２８号の目的とする異な
った固有振動数を持たせた鉄、ニッケル合金の複数枚の
角形磁歪振動子用の素子を所要枚数重積成層し、これに
励振コイルを捲回した得られた可聴音波又は／及び超音
波の発生装置による再現性試験を実施した結果、その基
本振動周波数が低くなるという問題点が見られた。特許
第５９０５２８号を利用した超音波治療器は、大日技研
株式会社がダイソニックという製品を過去に製造販売し
ていたものである。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明人らは、前記の
問題点に鑑み、電気回路又は電子回路の発振周波数が同
一であっても、可聴音波又は／及び超音波の基本振動周
波数のより高い多数波共振複合発振による可聴音波又は
／及び超音波の発生を可能とする磁歪振動子を実現する
ことを目的とする。と同時に電気回路又は電子回路の発
振周波数の可変によって、磁歪振動子の共振周波数を制
御可能とする多数波共振複合発振による可聴音波又は／
及び超音波発振機を実現する。更に、電気回路又は電子
回路の磁歪振動子に捲回されている励振コイルへの電力
量の可変によって発生する可聴音波又は／及び超音波の
音響出力を可変化することを可能とする多数波共振複合
発振による可聴音波又は／及び超音波発振機を実現す
る。

【０００６】

【課題を解決するための手段】請求項１の本発明に係る
磁歪振動子は、異なった温度で磁気的熱処理することに
よって、異なった固有振動周波数を持たせた複数枚数の
磁性材料の金属板を所要枚数重積成層し、これに励振コ
イルを捲回して得られた多数波共振複合発振による可聴
音波又は／及び超音波、即ち異なる数多の共振周波数の
可聴音波又は／及び超音波を同時に得られるようにした
ことを特徴とする。

【０００７】請求項２の本発明に係る磁歪振動子は、同
一形状・同一寸法・同一材料の磁歪振動子であっても異
なった固有振動周波数を持たせるために、請求項１記載
の磁性材料の金属板をあらかじめ適当な形状に加工し
て、空気、アルゴン、窒素等のガス中又は真空中の雰囲
気にある電気炉等の炉内で３００℃以上融点以下の適当
な温度、及び０．５時間〜４８時間の適当な保持時間を
設定して熱処理して、空気、アルゴン、窒素等のガス中
又は真空中の雰囲気又は適当な冷却剤中において急冷
（焼入れ）して得られるようにしたことを特徴とする。

【０００８】請求項３の本発明に係る磁歪振動子は、請
求項２記載の磁歪振動子は同一形状・同一寸法・同一材
料であっても、請求項２記載の電気炉等の炉内における
熱処理温度を高くすること、又は／及び熱処理時間を長
くすること、かつ空気、アルゴン、窒素等のガス中又は
真空中の雰囲気又は適当な冷却剤中において急冷（焼入
れ）することによって、より高い固有振動周波数が得ら
れるようにしたことを特徴とする。請求項１、２及び３
では、同一形状・同一寸法・同一材料である磁歪振動子
について、熱処理時間を長くするよりも熱処理温度を高
くする方が、より高い固有振動周波数が得られやすい。

【０００９】請求項４の本発明に係る磁歪振動子は、請
求項１、２及び３記載の磁性材料の金属板が珪素鋼、珪
素鉄又は珪素合金、若しくはアモルファス合金であるこ
とを特徴とする。珪素鋼又は珪素鉄は、ニッケル又はニ
ッケル合金に比べて比抵抗が大きいため、磁気コイルの
鉄心に用いた場合、渦電流損失による発熱量が少ない点
で有利である。

【００１０】請求項５の本発明に係る磁歪振動子は、請
求項４記載の磁性材料の金属板表面に電気的絶縁性皮膜
又はテフロン・エポキシ等の合成樹脂製絶縁性フィルム
を設けたことを特徴とする。

【００１１】請求項６の本発明に係る磁歪振動子は、請
求項４記載の電気的絶縁性皮膜がセラミックコーティン
グ等の無機質、又はポリウレタン・アクリル・エピキシ
等の合成樹脂、テフロン等のフッ素樹脂、サイトップ等
の透明フッ素樹脂の有機質からなることを特徴とする。
請求項５及び６では、重積成層した上下の磁歪振動子間
で渦電流損失が発生しないようにするため、電気的な絶
縁層を設けたものである。尚、サイトップは旭硝子株式
会社の透明フッ素樹脂の登録商標である。

【００１２】

【作用】従来より、珪素鋼板等は広く変圧器の鉄心等に
多く使われている。しかし、珪素鋼板が超音波発振機の
磁歪振動子に使用された例はない。その理由としては、
磁界の強さに対する飽和磁歪量が小さかったためであっ
た。本発明の磁歪振動子に珪素鋼板等を用いた理由は、
加工性が極めて優れていること、渦電流損失がニッケル
に比べて小さいことからである。珪素鋼板等の珪素含有
量は０．２５〜５．５％の範囲にあり、これ以上珪素量
が増加すると、圧延が困難になる上、製品ももろく、せ
ん断、打抜き等の加工が困難になると言われているた
め、経済性を優先して、ＪＩＳ規格の珪素鋼板を採用し
ている。

【００１３】請求項１、２、３及び４の本発明では、飽
和磁歪量がニッケル等に比べて小さくてもニッケル等の
磁歪振動子の音響出力に比べて遜色なく、同一形状・同
一寸法・同一材料であっても異なった固有振動周波数を
持った磁歪振動子を複数枚数重積成層することで、基本
波の基本振動周波数の整数倍の２次（基本振動周波数の
２倍）、３次（基本振動周波数の３倍）、４次（基本振
動周波数の４倍）以上ｎ次（基本振動周波数のｎ倍）の
高調波の何れかで基本波よりも高いピークを有する可聴
音波又は／及び超音波を得られるようにすることができ
る。即ち、ほぼ同一位相で異なった固有振動周波数を持
った複数の可聴音波又は／及び超音波の高調波成分を含
めた合成振幅によりピークの音響出力を得られるためで
ある。

【００１４】請求項５及び６では、重積成層した上下の
磁歪振動子間での表面絶縁によって、層間渦電流損失を
小さくすることができる。

【００１５】

【実施例】以下、図面を参照すること等により、本発明
の実施例について説明する。図１及び２は、本発明の磁
歪振動子の形状を例示したものである。重積成層する角
形磁歪振動子は図１の（Ａ）と（Ｂ）とを上下に重ねて
使用しなければならない。その理由は、上下の磁歪振動
子の層間での空隙によって漏れ磁束が生じないようにす
るためである。もし上下の磁歪振動子の接合部に空隙が
残ると磁束密度の高い部分ができて鉄損が著しく増加す
ることになる。図１中の１は珪素鋼板をあらかじめ加工
した磁歪振動子の素子である。図２中の５及び８は図１
の磁歪振動子を真空電気炉に入れて、例えば６００℃、
８００℃、１０００℃の熱処理温度で、３時間程度保持
した後、電気炉から取り出して、空気中にて急冷（真空
焼入れ）した磁歪振動子の素子を組み上げて励振コイル
を捲回して得られた磁歪振動子である。

【００１６】図３は本発明の磁歪振動子を駆動するハー
トレーの電気回路を例示したものである。図３中の１１
は励振コイルを捲回して得られた磁歪振動子、同様に１
２はトランジスタ、１３は電解コンデンサ、及び１４は
抵抗を示したものである。

【００１７】本発明の磁歪振動子は上記の図１、図２及
び図３が示すとおり、あらかじめ加工してある珪素鋼板
の磁歪振動子素子を上記のように異なった温度で磁気的
熱処理することによって、即ち、例えば６００℃×３時
間、８００℃×３時間、１０００℃×３時間の各２４枚
ずつを１組として真空電気炉での熱処理後空気中にて急
冷した磁歪振動子の素子を組み上げて励振コイルを捲回
して得られた磁歪振動子を各３組作って、これをそれぞ
れハートレーの電気回路により４ｋＨｚの交流で駆動し
た場合、前記６００℃で熱処理した磁歪振動子の基本振
動周波数は約３．１ｋＨｚ、前記８００℃で熱処理した
磁歪振動子の基本振動周波数は約４．３ｋＨｚ、並びに
前記１０００℃で熱処理した磁歪振動子の基本振動周波
数は約４．９ｋＨｚになったことが実験によって確かめ
られた。また、以上の異なった熱処理温度により作られ
た３種類の磁歪振動子素子を各８枚ずつ計２４枚を組み
上げて１組の磁歪振動子として、ハートレーの電気回路
により４ｋＨｚの交流で駆動した場合、約４．６ｋＨｚ
を基本振動周波数とする基本波、約９．２ｋＨｚの２次
高調波及び約１４ｋＨｚの３次高調波の可聴音波が同時
に得られた。

【００１８】

【発明の効果】特許第５９０５２８号を利用した超音波
振動子を除いて、従来の超音波振動子において、多数波
共振複合発振による可聴音波又は／及び超音波が得られ
るものはほとんど例がない。本発明の磁歪振動子は、前
記のように特許第５９０５２８号を改良して、真空電気
炉での熱処理温度及び熱処理時間等の熱処理条件を積極
的に差を設けることによって、個々の磁歪振動子素子の
固有振動周波数の高いものから低いものまでの周波数の
差を大きくした所に特徴がある。また、本発明の磁歪振
動子は、加工性及び経済性に最も優れている超音波振動
子の一つである。これらの特徴と同時に多数波共振複合
発振による可聴音波又は／及び超音波の発振可能な超音
波振動子の特徴を生かせば、超音波治療器に限らず、超
音波洗浄機等の一般産業向けにも効率の良い設備を作る
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（Ａ）及び（Ｂ）は本発明の磁歪振動子の素子
の平面図である。

【図２】（Ａ）は本発明の半田ごてのこて先部分の内、
そのこて先尖端部及びこて先先端部に関する斜視図、
（Ｂ）は（Ａ）におけるＡＡ断面図、及び（Ｃ）は
（Ａ）におけるＢＢ断面図である。

【図３】本発明の磁歪振動子を駆動するハートレーの電
気回路を示したものである。

【符号の説明】

１ 磁歪振動子の素子 ５ 磁歪振動子 ８ 励振コイル １１ 磁歪振動子及び励振コイル １２ トランジスタ １３ 電解コンデンサ １４ 抵抗

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成５年１２月２７日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】全文

【補正方法】変更

【補正内容】

【書類名】明細書

【発明の名称】磁歪振動子

【特許請求の範囲】

【請求項３】請求項１及び２記載の磁性材料の金属板が
珪素鋼、珪素鉄又は珪素合金、若しくはアモルファス合
金であることを特徴とする磁歪振動子。

【請求項４】請求項３記載の磁性材料の金属板表面に電
気的絶縁性皮膜又はテフロン・エポキシ等の合成樹脂製
絶縁性フィルムを設けたことを特徴とする磁歪振動子。

【請求項５】請求項４記載の電気的絶縁性皮膜がセラミ
ックコーティング等の無機質、又はポリウレタン・アク
リル・エポキシ等の合成樹脂、テフロン等のフッ素樹
脂、サイトップ等の透明フッ素樹脂の有機質からなるこ
とを特徴とする磁歪振動子。

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、磁歪振動子に関する。

【０００２】

【従来の技術】特許第５９０５２８号の特許公報の請求
範囲に、「異なる条件で磁気的熱処理して固有振動周波
数を異ならしめたニッケル又は鉄、ニッケル合金等の鋼
板から成る数多の磁歪振動子素子を所要枚数重積成層
し、これに励振コイルを捲回して異なる数多の共振周波
数の発振を同時に得るようにし、その生理学的生物学的
作用による医療的機能特性を一層有効ならしめることを
特徴とする超音波治療器用の磁歪振動子。」という記述
があった。またこの本請求範囲の実施例において、「ニ
ッケル又は鉄、ニッケル合金の複数枚の角形磁歪振動子
用の素子に磁気的熱処理を加えるにあたり、ほぼ６００
℃に加熱のうえ空気又はアルゴン、窒素等のガス中にお
いてそれぞれ所要設定の異なった時間放冷し、その後油
等に浸漬して急冷することによって、それぞれの角形磁
歪振動子用の素子が異なった固有振動数を持たせる。」
という意味の記載があった。

【０００３】特許第５９０５２８号は、昭和４０年に中
山忠男と笹原五十男が共同出願したものであるが、本特
許出願は吉田範行と特許第５９０５２８号の特許出願人
である笹原五十男とが特許第５９０５２８号の問題点を
検討して改良出願したものである。

【０００４】特許第５９０５２８号の記述内容及び記載
内容に従って製作した磁歪振動子は、前記のとおり油に
浸漬して急冷することによって得られたものであるが、
製品として超音波治療器に組み立てる際に、油を完全に
除去しなければならないという問題点があった。特許第
５９０５２８号を利用した超音波治療器は、大日技研株
式会社がダイソニックという製品を過去に製造販売して
いたものである。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明人らは、前記の
問題点に鑑み、電気回路又は電子回路の発振周波数が同
一であっても、可聴音波又は／及び超音波の基本振動周
波数のより高い多数波共振複合発振による可聴音波又は
／及び超音波の発生を可能とする磁歪振動子を実現する
ことを目的とする。と同時に電気回路又は電子回路の発
振周波数の可変によって、磁歪振動子の共振周波数を制
御可能とする多数波共振複合発振による可聴音波又は／
及び超音波発振機を実現する。更に、電気回路又は電子
回路の磁歪振動子に捲回されている励振コイルへの電力
量の可変によって発生する可聴音波又は／及び超音波の
音響出力を可変化することを可能とする多数波共振複合
発振による可聴音波又は／及び超音波発振機を実現す
る。

【０００６】

【課題を解決するための手段】請求項１の本発明に係る
磁歪振動子は、異なった温度で磁気的熱処理することに
よって、異なった固有振動周波数を持たせた複数枚数の
磁性材料の金属板を所要枚数重積成層し、これに励振コ
イルを捲回して得られた多数波共振複合発振による可聴
音波又は／及び超音波、即ち異なる数多の共振周波数の
可聴音波又は／及び超音波を同時に得られるようにした
ことを特徴とする。

【０００７】請求項２の本発明に係る磁歪振動子は、同
一形状・同一寸法・同一材料の磁歪振動子であっても異
なった固有振動周波数を持たせるために、請求項１記載
の磁性材料の金属板をあらかじめ適当な形状に加工し
て、空気、アルゴン、窒素等のガス中又は真空中の雰囲
気にある電気炉等の炉内で３００℃以上融点以下の適当
な温度、及び０．５時間〜４８時間の適当な保持時間を
設定して熱処理して、空気、アルゴン、窒素等のガス中
又は真空中の雰囲気又は適当な冷却剤中において急冷
（焼入れ）して得られるようにしたことを特徴とする。

【０００８】請求項３の本発明に係る磁歪振動子は、請
求項１及び２記載の磁性材料の金属板が珪素鋼、珪素鉄
又は珪素合金、若しくはアモルファス合金であることを
特徴とする。珪素鋼又は珪素鉄は、ニッケル又はニッケ
ル合金に比べて比抵抗が大きいため、磁気コイルの鉄心
に用いた場合、渦電流損失による発熱量が少ない点で有
利である。

【０００９】請求項４の本発明に係る磁歪振動子は、請
求項３記載の磁性材料の金属板表面に電気的絶縁性皮膜
又はテフロン・エポキシ等の合成樹脂製絶縁性フィルム
を設けたことを特徴とする。

【００１０】請求項５の本発明に係る磁歪振動子は、請
求項４記載の電気的絶縁性皮膜がセラミックコーティン
グ等の無機質、又はポリウレタン・アクリル・エピキシ
等の合成樹脂、テフロン等のフッ素樹脂、サイトップ等
の透明フッ素樹脂の有機質からなることを特徴とする。
請求項４及び５では、重積成層した上下の磁歪振動子間
で渦電流損失が発生しないようにするため、電気的な絶
縁層を設けたものである。尚、サイトップは旭硝子株式
会社の透明フッ素樹脂の登録商標である。

【００１１】

【作用】従来より、珪素鋼板等は広く変圧器の鉄心等に
多く使われている。しかし、珪素鋼板が超音波発振機の
磁歪振動子に使用された例は少ない。その理由として
は、磁界の強さに対する飽和磁歪量が小さかったためで
あった。本発明の磁歪振動子に珪素鋼板等を用いた理由
は、加工性が極めて優れていること、渦電流損失がニッ
ケルに比べて小さいことからである。珪素鋼板等の珪素
含有量は０．２５〜５．５％の範囲にあり、これ以上珪
素量が増加すると、圧延が困難になる上、製品ももろ
く、せん断、打抜き等の加工が困難になると言われてい
るため、本発明の磁歪振動子は経済性を優先して、ＪＩ
Ｓ規格の珪素鋼板を採用している。

【００１２】請求項１、２及び３の本発明では、飽和磁
歪量がニッケル等に比べて小さくても、低音響出力の範
囲内において用いる場合においてはニッケル等の磁歪振
動子に比べて効率的に遜色なく、同一形状・同一寸法・
同一材料であっても異なった固有振動周波数を持った磁
歪振動子を複数枚数重積成層することで、基本波の基本
振動周波数の整数倍の２次（基本振動周波数の２倍）、
３次（基本振動周波数の３倍）、４次（基本振動周波数
の４倍）以上ｎ次（基本振動周波数のｎ倍）の高調波の
何れかで基本波よりも高いピークを有する可聴音波又は
／及び超音波を得られるようにすることができる。即
ち、ほぼ同一位相で異なった固有振動周波数を持った複
数の可聴音波又は／及び超音波の高調波成分を含めた合
成振幅によりピークの音響出力を得られるためである。

【００１３】請求項４及び５では、重積成層した上下の
磁歪振動子間での表面絶縁によって、層間渦電流損失を
小さくすることができる。

【００１４】

【実施例】以下、図面を参照すること等により、本発明
の実施例について説明する。図１及び２は、本発明の磁
歪振動子の形状を例示したものである。重積成層する角
形磁歪振動子は図１の（Ａ）と（Ｂ）とを上下に重ねて
使用しなければならない。その理由は、上下の磁歪振動
子の層間での空隙によって漏れ磁束が生じないようにす
るためである。もし上下の磁歪振動子の接合部に空隙が
残ると磁束密度の高い部分ができて鉄損が著しく増加す
ることになる。図１中の１は珪素鋼板をあらかじめ加工
した磁歪振動子の素子である。図２中の５及び８は図１
の磁歪振動子を真空電気炉に入れて、例えば６００℃、
８００℃、１０００℃の熱処理温度で、３時間程度保持
した後、電気炉から取り出して、空気中にて急冷（真空
焼入れ）した磁歪振動子の素子を組み上げて励振コイル
を捲回して得られた磁歪振動子である。

【００１５】図３は本発明の磁歪振動子を駆動するハー
トレーの電気回路を例示したものである。図３中の１１
は励振コイルを捲回して得られた磁歪振動子、同様に１
２はトランジスタ、１３は電解コンデンサ、及び１４は
抵抗を示したものである。

【００１６】本発明の磁歪振動子は上記の図１、図２及
び図３が示すとおり、あらかじめ加工してある珪素鋼板
の磁歪振動子素子を上記のように異なった温度で磁気的
熱処理することによって、即ち、例えば６００℃×３時
間、８００℃×３時間、１０００℃×３時間の各２４枚
ずつを１組として真空電気炉での熱処理後空気中にて急
冷した磁歪振動子の素子を組み上げて励振コイルを捲回
して得られた磁歪振動子を各３組作られた３種類の磁歪
振動子素子を各８枚ずつ計２４枚を組み上げて１組の磁
歪振動子として、ハートレーの電気回路により４ｋＨｚ
の交流で駆動した場合、約４．６ｋＨｚを基本振動周波
数とする基本波、約９．２ｋＨｚの２次高調波及び約１
４ｋＨｚの３次高調波の可聴音波が同時に得られた。

【００１７】

【発明の効果】特許第５９０５２８号を利用した超音波
振動子を除いて、従来の超音波振動子において、多数波
共振複合発振による可聴音波又は／及び超音波が得られ
るものはほとんど例がない。本発明の磁歪振動子は、前
記のように特許第５９０５２８号を改良して、真空電気
炉での熱処理温度及び熱処理時間等の熱処理条件に積極
的に差を設け、その冷却方法を空気、アルゴン、窒素等
のガス中又は真空中の雰囲気において急冷することによ
って、個々の磁歪振動子素子の固有振動周波数に差を設
け、かつ磁歪振動子の施工方法を容易にした所に特徴が
ある。また、本発明の磁歪振動子は、加工性及び経済性
に最も優れている超音波振動子の一つである。これらの
特徴と同時に多数波共振複合発振による可聴音波又は／
及び超音波の発振可能な超音波振動子の特徴を生かせ
ば、超音波治療器に限らず、超音波洗浄機等の一般産業
向けにも効率の良い設備を作ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（Ａ）及び（Ｂ）は本発明の磁歪振動子の素子
の平面図である。

【図２】本発明の磁歪振動子の斜視図である。

【図３】本発明の磁歪振動子を駆動するハートレーの電
気回路を示したものである。

【符号の説明】 １ 磁歪振動子の素子 ５ 磁歪振動子 ８ 励振コイル １１ 磁歪振動子及び励振コイル １２ トランジスタ １３ 電解コンデンサ １４ 抵抗

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】異なった温度で磁気的熱処理することによ
   って、異なった固有振動周波数を持たせた複数枚数の磁
   性材料の金属板を所要枚数重積成層し、これに励振コイ
   ルを捲回して得られた多数波共振複合発振による可聴音
   波又は／及び超音波、即ち異なる数多の共振周波数の可
   聴音波又は／及び超音波を同時に得られるようにしたこ
   とを特徴とする磁歪振動子。
2. 【請求項２】同一形状・同一寸法・同一材料の磁歪振動
   子であっても異なった固有振動周波数を持たせるため
   に、請求項１記載の磁性材料の金属板をあらかじめ適当
   な形状に加工して、空気、アルゴン、窒素等のガス中又
   は真空中の雰囲気にある電気炉等の炉内で３００℃以上
   融点以下の適当な温度、及び０．５時間〜４８時間の適
   当な保持時間を設定して熱処理して、空気、アルゴン、
   窒素等のガス中又は真空中の雰囲気又は適当な冷却剤中
   において急冷（焼入れ）して得られるようにしたことを
   特徴とする磁歪振動子。
3. 【請求項３】請求項２記載の磁歪振動子は同一形状・同
   一寸法・同一材料であっても、請求項２記載の電気炉等
   の炉内における熱処理温度を高くすること、又は／及び
   熱処理時間を長くすること、かつ空気、アルゴン、窒素
   等のガス中又は真空中の雰囲気又は適当な冷却剤中にお
   いて急冷（焼入れ）することによって、より高い固有振
   動周波数が得られるようにしたことを特徴とする磁歪振
   動子。
4. 【請求項４】請求項１、２及び３記載の磁性材料の金属
   板が珪素鋼、珪素鉄又は珪素合金、若しくはアモルファ
   ス合金であることを特徴とする磁歪振動子。
5. 【請求項５】請求項４記載の磁性材料の金属板表面に電
   気的絶縁性皮膜又はテフロン・エポキシ等の合成樹脂製
   絶縁性フィルムを設けたことを特徴とする磁歪振動子。
6. 【請求項６】請求項４記載の電気的絶縁性皮膜がセラミ
   ックコーティング等の無機質、又はポリウレタン・アク
   リル・エポキシ等の合成樹脂、テフロン等のフッ素樹
   脂、サイトップ等の透明フッ素樹脂の有機質からなるこ
   とを特徴とする磁歪振動子。