JPH08219810A - 光学式バーニア形アブソリュートエンコーダ - Google Patents
光学式バーニア形アブソリュートエンコーダInfo
- Publication number
- JPH08219810A JPH08219810A JP7020199A JP2019995A JPH08219810A JP H08219810 A JPH08219810 A JP H08219810A JP 7020199 A JP7020199 A JP 7020199A JP 2019995 A JP2019995 A JP 2019995A JP H08219810 A JPH08219810 A JP H08219810A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- track
- sub
- openings
- absolute encoder
- pitch
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Optical Transform (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】高分解能で高精度の測定が行える光学式バーニ
ア形アブソリュートエンコーダを実現する。 【構成】スリットピッチの異なる格子パターンよりなる
メイントラック４１と少なくとも１個のサブトラック４
２で正弦波または正弦波に近似した波形（またはそれら
の波形の半周期）を上下に折り返した形状の輪郭を有す
る複数の開口部３１を有する光源１を共有し、これらメ
イントラック４１とサブトラック４２の検出信号に基づ
いてコード板４の絶対位置に関連した出力を得るように
構成された光学式バーニア形アブソリュートエンコーダ
において、メイントラックのスリットピッチをＰm、メ
イントラックに対して最もずれの大きいサブトラックの
スリットピッチをＰsmaxとしたとき、マスクの開口部の
数Ｎを、次式で規定することを特徴とするもの。 N≦{1/(2*|Psmax/Pm-1|)}-1
ア形アブソリュートエンコーダを実現する。 【構成】スリットピッチの異なる格子パターンよりなる
メイントラック４１と少なくとも１個のサブトラック４
２で正弦波または正弦波に近似した波形（またはそれら
の波形の半周期）を上下に折り返した形状の輪郭を有す
る複数の開口部３１を有する光源１を共有し、これらメ
イントラック４１とサブトラック４２の検出信号に基づ
いてコード板４の絶対位置に関連した出力を得るように
構成された光学式バーニア形アブソリュートエンコーダ
において、メイントラックのスリットピッチをＰm、メ
イントラックに対して最もずれの大きいサブトラックの
スリットピッチをＰsmaxとしたとき、マスクの開口部の
数Ｎを、次式で規定することを特徴とするもの。 N≦{1/(2*|Psmax/Pm-1|)}-1
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は光学式バーニア形アブソ
リュートエンコーダに関し、詳しくは、高分解能化に関
するものである。
リュートエンコーダに関し、詳しくは、高分解能化に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】拡散光学系を用いた光学式エンコーダに
おいて、分解能を高くするためにスリットピッチを微細
にすると、相対的にスリットを通過する光源の開口部の
幅が狭くなって光量が減少し、Ｓ／Ｎ比が低下して分解
能が上がらなくなるという問題がある。
おいて、分解能を高くするためにスリットピッチを微細
にすると、相対的にスリットを通過する光源の開口部の
幅が狭くなって光量が減少し、Ｓ／Ｎ比が低下して分解
能が上がらなくなるという問題がある。
【０００３】そこで、このようにスリットピッチを微細
にした場合の光量不足対策として、本発明の出願人は、
特願平2-190951号(特開平3-128418号)や特願平3-248083
号(特開平5-87593号)で、光源の開口部を複数個等しい
ピッチで並べることを提案している。ところで、拡散光
学系を用いた光学式エンコーダの一種に、図１に示すよ
うにコード板に設けられたピッチ数の異なる格子パター
ンよりなるメイントラックとバーニアトラックとで光源
を共有するように構成されたバーニア形アブソリュート
エンコーダがある。
にした場合の光量不足対策として、本発明の出願人は、
特願平2-190951号(特開平3-128418号)や特願平3-248083
号(特開平5-87593号)で、光源の開口部を複数個等しい
ピッチで並べることを提案している。ところで、拡散光
学系を用いた光学式エンコーダの一種に、図１に示すよ
うにコード板に設けられたピッチ数の異なる格子パター
ンよりなるメイントラックとバーニアトラックとで光源
を共有するように構成されたバーニア形アブソリュート
エンコーダがある。
【０００４】図１において、１は発光源であり、例えば
発光ダイオードが用いられる。この発光源１の出力光Ｒ
Ａはある光束を持っている。２は拡散板であり、発光源
１の出力光ＲＡを拡散するためのものである。一般に発
光ダイオードを発光源１として用いた場合には点光源と
して扱われるが、拡散板２との距離ＤＨを調節すること
によってマスク３の開口部３１の範囲を一様に照射する
光束にすることができる。マスク３には正弦波（余弦波
と見ることもできる）の半周期を上下に折り返した形状
の輪郭を有する複数個（図１では３個）の開口部３１が
等しいピッチで配列されている。なお、図ではマスク３
と拡散板２は離れた状態で配置されるかのように描いて
いるが、通常は拡散板２と密着するように配置される。
発光ダイオードが用いられる。この発光源１の出力光Ｒ
Ａはある光束を持っている。２は拡散板であり、発光源
１の出力光ＲＡを拡散するためのものである。一般に発
光ダイオードを発光源１として用いた場合には点光源と
して扱われるが、拡散板２との距離ＤＨを調節すること
によってマスク３の開口部３１の範囲を一様に照射する
光束にすることができる。マスク３には正弦波（余弦波
と見ることもできる）の半周期を上下に折り返した形状
の輪郭を有する複数個（図１では３個）の開口部３１が
等しいピッチで配列されている。なお、図ではマスク３
と拡散板２は離れた状態で配置されるかのように描いて
いるが、通常は拡散板２と密着するように配置される。
【０００５】マスク３の開口部３１を通過した光はコー
ド板４に照射される。コード板４には、光を遮蔽する遮
蔽部４ａと光を通過させるスリット４ｂとが交互に配置
された構成のメイントラック４１とサブトラック４２が
互いに異なるピッチで形成されている。５は受光アレイ
であり、コード板４のメイントラック４１とサブトラッ
ク４２のそれぞれの裏側に生じる正弦波照度分布の１周
期を４等分するように配列された４つの光電変換素子を
組単位とする複数組よりなる光電変換素子列５１と５２
が互いに異なるピッチで形成されている。
ド板４に照射される。コード板４には、光を遮蔽する遮
蔽部４ａと光を通過させるスリット４ｂとが交互に配置
された構成のメイントラック４１とサブトラック４２が
互いに異なるピッチで形成されている。５は受光アレイ
であり、コード板４のメイントラック４１とサブトラッ
ク４２のそれぞれの裏側に生じる正弦波照度分布の１周
期を４等分するように配列された４つの光電変換素子を
組単位とする複数組よりなる光電変換素子列５１と５２
が互いに異なるピッチで形成されている。
【０００６】このような構成において、メイントラック
４１のスリットピッチをＰm、サブトラック４２のスリ
ットピッチをＰs、光電変換素子列５１のピッチを
Ｐpm、光電変換素子列５２のピッチをＰps、メイントラ
ック４１のスリットピッチＰmに最適なマスク３の開口
部３１のピッチをＰlm、サブトラック４２のスリットピ
ッチＰsに最適なマスク３の開口部３１のピッチを
Ｐls、マスク３とコード板４との距離をＤＬ、コード板
４と受光アレイ５との距離をＤＰとする。
４１のスリットピッチをＰm、サブトラック４２のスリ
ットピッチをＰs、光電変換素子列５１のピッチを
Ｐpm、光電変換素子列５２のピッチをＰps、メイントラ
ック４１のスリットピッチＰmに最適なマスク３の開口
部３１のピッチをＰlm、サブトラック４２のスリットピ
ッチＰsに最適なマスク３の開口部３１のピッチを
Ｐls、マスク３とコード板４との距離をＤＬ、コード板
４と受光アレイ５との距離をＤＰとする。
【０００７】ここで、光電変換素子列５１の上に正弦波
光分布を実現するためには、 Plm=Pm(DL+DP)/DP の関係が成立し、光電変換素子列５２の上に正弦波光分
布を実現するためには、 Pls=Ps(DL+DP)/DP の関係が成立する必要がある。
光分布を実現するためには、 Plm=Pm(DL+DP)/DP の関係が成立し、光電変換素子列５２の上に正弦波光分
布を実現するためには、 Pls=Ps(DL+DP)/DP の関係が成立する必要がある。
【０００８】また、光電変換素子列５１の上でそのピッ
チに正弦波光分布のピッチを合わせるためには、 Ppm=Pm(DL+DP)/DL の関係が成立し、光電変換素子列５２の上でそのピッチ
に正弦波光分布のピッチを合わせるためには、 Pps=Ps(DL+DP)/DL の関係が成立する必要がある。
チに正弦波光分布のピッチを合わせるためには、 Ppm=Pm(DL+DP)/DL の関係が成立し、光電変換素子列５２の上でそのピッチ
に正弦波光分布のピッチを合わせるためには、 Pps=Ps(DL+DP)/DL の関係が成立する必要がある。
【０００９】ところで、通常、同一地点でメイントラッ
ク４１とサブトラック４２の両方を検出するが、拡散光
源ではこれらトラック間を分離して照射することは困難
であり、一般には両トラックで光源を共用することが行
われている。このように光源を共用するのにあたって、
マスクの開口部３１が１個の場合にはサブトラック４２
側の正弦波分布での歪が増大する程度であり、サブトラ
ック４２側の光電変換素子列５２に入力される光量の振
幅には問題はない。
ク４１とサブトラック４２の両方を検出するが、拡散光
源ではこれらトラック間を分離して照射することは困難
であり、一般には両トラックで光源を共用することが行
われている。このように光源を共用するのにあたって、
マスクの開口部３１が１個の場合にはサブトラック４２
側の正弦波分布での歪が増大する程度であり、サブトラ
ック４２側の光電変換素子列５２に入力される光量の振
幅には問題はない。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】ところが、前述のよう
にスリットピッチを微細にした場合の光量不足対策とし
て光源の開口部を複数個等しいピッチで並べるのにあた
っては、以下のような問題が出てくる。すなわち、複数
のトラックで光源を共用する構成において、マスク３の
開口部３１の数を増やす方法として、マスク３の開口部
３１のピッチをメイントラック４１に対して最適化させ
ることが考えられる。
にスリットピッチを微細にした場合の光量不足対策とし
て光源の開口部を複数個等しいピッチで並べるのにあた
っては、以下のような問題が出てくる。すなわち、複数
のトラックで光源を共用する構成において、マスク３の
開口部３１の数を増やす方法として、マスク３の開口部
３１のピッチをメイントラック４１に対して最適化させ
ることが考えられる。
【００１１】この場合、メイントラック４１側の光電変
換素子列５１に入力される光量の振幅の変化に着目する
と図２（Ｂ）に示すように各開口部から出力される光分
布（明暗の縞）の空間同期が得られ、マスク３の開口部
３１の数に比例した光量振幅の増大効果が得られる。こ
れは、マスク３の開口部３１のピッチをメイントラック
４１に対して最適化させていることに基づく。
換素子列５１に入力される光量の振幅の変化に着目する
と図２（Ｂ）に示すように各開口部から出力される光分
布（明暗の縞）の空間同期が得られ、マスク３の開口部
３１の数に比例した光量振幅の増大効果が得られる。こ
れは、マスク３の開口部３１のピッチをメイントラック
４１に対して最適化させていることに基づく。
【００１２】これに対し、サブトラック４２側の光電変
換素子列５２に入力される光量の振幅の変化に着目する
と図２（Ａ）に示すように各開口部から出力される光分
布（明暗の縞）の空間同期がとれない結果、光電流の直
流分は増えるものの、交流成分である光量振幅の増大に
つながらなくなってしまう。このように光量振幅を増大
させるためにマスク３の開口部３１の数を増やしても、
サブトラック４２側については開口部３１の数に見合っ
た光電流振幅の増大が得られずに逆に減少したり、光電
流の直流分が増えて後段の電子回路の負担を増大させた
り、初期位相の乱れを生じてスリットミスを起こす恐れ
などがあり、マスク３の開口部３１の数の取り方によっ
ては高分解能のエンコーダが実現できない場合がある。
換素子列５２に入力される光量の振幅の変化に着目する
と図２（Ａ）に示すように各開口部から出力される光分
布（明暗の縞）の空間同期がとれない結果、光電流の直
流分は増えるものの、交流成分である光量振幅の増大に
つながらなくなってしまう。このように光量振幅を増大
させるためにマスク３の開口部３１の数を増やしても、
サブトラック４２側については開口部３１の数に見合っ
た光電流振幅の増大が得られずに逆に減少したり、光電
流の直流分が増えて後段の電子回路の負担を増大させた
り、初期位相の乱れを生じてスリットミスを起こす恐れ
などがあり、マスク３の開口部３１の数の取り方によっ
ては高分解能のエンコーダが実現できない場合がある。
【００１３】図３はマスク３の開口部３１の数を増やし
ていった場合の、メイントラック４１とサブトラック４
２とのピッチの差とサブトラック４２側の光電変換素子
列５２に入力される総検出光量振幅の相対値の変化の関
係を表したものである。例えばピッチのズレがメイント
ラックに対して0.10の場合には開口部３１が５個で最大
値になって、それ以上増やしても個数に対して周期的に
増減するだけである。また、ピッチのズレが0.02の場合
には開口部３１が２５個で最大値になる。そして、ピッ
チのズレが0の場合にはメイントラックとピッチが等し
くなることから、メイントラックと同様に開口部３１の
数に対して直線的に増加する。
ていった場合の、メイントラック４１とサブトラック４
２とのピッチの差とサブトラック４２側の光電変換素子
列５２に入力される総検出光量振幅の相対値の変化の関
係を表したものである。例えばピッチのズレがメイント
ラックに対して0.10の場合には開口部３１が５個で最大
値になって、それ以上増やしても個数に対して周期的に
増減するだけである。また、ピッチのズレが0.02の場合
には開口部３１が２５個で最大値になる。そして、ピッ
チのズレが0の場合にはメイントラックとピッチが等し
くなることから、メイントラックと同様に開口部３１の
数に対して直線的に増加する。
【００１４】本発明はこのような従来の問題点を解決す
るものであって、その目的は、ピッチの異なる複数のト
ラックで複数の開口部を有する光源を共有する光学式バ
ーニア形アブソリュートエンコーダにおいて、スリット
ミスを起こさない範囲で光源の開口部数を増やして光量
振幅を増大させることができ、高分解能で高精度の測定
が行える光学式バーニア形アブソリュートエンコーダを
実現することにある。
るものであって、その目的は、ピッチの異なる複数のト
ラックで複数の開口部を有する光源を共有する光学式バ
ーニア形アブソリュートエンコーダにおいて、スリット
ミスを起こさない範囲で光源の開口部数を増やして光量
振幅を増大させることができ、高分解能で高精度の測定
が行える光学式バーニア形アブソリュートエンコーダを
実現することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】本発明の光学式バーニア
形アブソリュートエンコーダは、スリットピッチの異な
る格子パターンよりなるメイントラックと少なくとも１
個のサブトラックで正弦波または正弦波に近似した波形
（またはそれらの波形の半周期）を上下に折り返した形
状の輪郭を有する複数の開口部を有する光源を共有し、
これらメイントラックとサブトラックの検出信号に基づ
いてコード板の絶対位置に関連した出力を得るように構
成された光学式バーニア形アブソリュートエンコーダに
おいて、前記メイントラックのスリットピッチをＰm、
メイントラックに対して最もずれの大きいサブトラック
のスリットピッチをＰsmaxとしたとき、前記マスクの開
口部の数Ｎを、次式で規定することを特徴とする。
形アブソリュートエンコーダは、スリットピッチの異な
る格子パターンよりなるメイントラックと少なくとも１
個のサブトラックで正弦波または正弦波に近似した波形
（またはそれらの波形の半周期）を上下に折り返した形
状の輪郭を有する複数の開口部を有する光源を共有し、
これらメイントラックとサブトラックの検出信号に基づ
いてコード板の絶対位置に関連した出力を得るように構
成された光学式バーニア形アブソリュートエンコーダに
おいて、前記メイントラックのスリットピッチをＰm、
メイントラックに対して最もずれの大きいサブトラック
のスリットピッチをＰsmaxとしたとき、前記マスクの開
口部の数Ｎを、次式で規定することを特徴とする。
【００１６】N≦{1/(2*|Psmax/Pm-1|)}-1
【００１７】
【作用】マスクの開口部のピッチをメイントラックに対
して最適化させている場合において、メイントラックと
サブトラックのスリットピッチが等しいと、開口部の数
に比例してそれぞれの光電変換素子列における総検出光
量も増える。ところが両者のスリットピッチにずれがあ
ると、メイントラックに対応した光電変換素子列におけ
る総検出光量は開口部の数に比例して増えるが、サブト
ラックに対応した光電変換素子列における総検出光量は
スリットピッチのずれが大きくなるのに従ってより少な
い開口部の数で飽和し、さらに開口部の数を増やしてい
くと総検出光量の変化は振動現象を示す。
して最適化させている場合において、メイントラックと
サブトラックのスリットピッチが等しいと、開口部の数
に比例してそれぞれの光電変換素子列における総検出光
量も増える。ところが両者のスリットピッチにずれがあ
ると、メイントラックに対応した光電変換素子列におけ
る総検出光量は開口部の数に比例して増えるが、サブト
ラックに対応した光電変換素子列における総検出光量は
スリットピッチのずれが大きくなるのに従ってより少な
い開口部の数で飽和し、さらに開口部の数を増やしてい
くと総検出光量の変化は振動現象を示す。
【００１８】本発明により規定される開口部の数Ｎは、
メイントラックに対して最もずれの大きいサブトラック
のスリットピッチに基づいてサブトラックに対応した光
電変換素子列における総検出光量が最大になる値として
算出されるので、スリットミスを起こさない範囲で光源
の開口部数を増やして光量振幅を増大させることがで
き、高分解能で高精度の測定が行える光学式バーニア形
アブソリュートエンコーダを実現できる。
メイントラックに対して最もずれの大きいサブトラック
のスリットピッチに基づいてサブトラックに対応した光
電変換素子列における総検出光量が最大になる値として
算出されるので、スリットミスを起こさない範囲で光源
の開口部数を増やして光量振幅を増大させることがで
き、高分解能で高精度の測定が行える光学式バーニア形
アブソリュートエンコーダを実現できる。
【００１９】
【実施例】以下、図面を用いて本発明の実施例を説明す
る。基本的な構成は図１と同様なので、図１を用いて本
発明を説明する。本発明におけるマスク３の開口部３１
の数Ｎは次式によって規定される。 N≦{1/(2*|Psmax/Pm-1|)}-1 ここで、Ｐmはメイントラック４１のスリットピッチ、
Ｐsmaxはメイントラック４１に対して最もずれの大きい
サブトラック４２のスリットピッチとする。具体例とし
て、Pm=0.144mmとし、Psmax=0.151mmとすると、 N≦{1/(2*|0.151/0.144-1|)}-1 からN≦9.29になり、マスク３の開口部３１の最適数は
９個になる。
る。基本的な構成は図１と同様なので、図１を用いて本
発明を説明する。本発明におけるマスク３の開口部３１
の数Ｎは次式によって規定される。 N≦{1/(2*|Psmax/Pm-1|)}-1 ここで、Ｐmはメイントラック４１のスリットピッチ、
Ｐsmaxはメイントラック４１に対して最もずれの大きい
サブトラック４２のスリットピッチとする。具体例とし
て、Pm=0.144mmとし、Psmax=0.151mmとすると、 N≦{1/(2*|0.151/0.144-1|)}-1 からN≦9.29になり、マスク３の開口部３１の最適数は
９個になる。
【００２０】このような構成のサブトラック４２側の光
電変換素子列５２において、マスク３の中央の開口部か
らＭ番目の開口部を通して照射される光分布は、中央の
開口部からの光分布に対して位相ρは、 ρ=360°*M*|Psmax/Pm-1| だけずれる。中央の開口部に対して点対称な開口部から
の光分布との合成光分布を考えると、 {SIN(φ+ρ)+1}+{SIN(φ-ρ)+1}=2*COSρ*SINφ+2 から明らかなようにρ=90°のときに交流成分がキャン
セルされる。このときの開口部の数Ｎは、 N=2*M-1 ={1/(2*|Psmax/Pm-1|)}-1 になる。
電変換素子列５２において、マスク３の中央の開口部か
らＭ番目の開口部を通して照射される光分布は、中央の
開口部からの光分布に対して位相ρは、 ρ=360°*M*|Psmax/Pm-1| だけずれる。中央の開口部に対して点対称な開口部から
の光分布との合成光分布を考えると、 {SIN(φ+ρ)+1}+{SIN(φ-ρ)+1}=2*COSρ*SINφ+2 から明らかなようにρ=90°のときに交流成分がキャン
セルされる。このときの開口部の数Ｎは、 N=2*M-1 ={1/(2*|Psmax/Pm-1|)}-1 になる。
【００２１】これ以上に開口部を増やして位相ずれを起
こさせても、図３から明らかなようにサブトラック４２
側の光電変換素子列５２に入力される光量振幅を増大さ
せることはできない。すなわち、開口部の数を上記の制
限数Ｎ以下にしておけば、サブトラック４２側の光電変
換素子列５２に入力される光量振幅の減少を防止できる
とともに直流成分の増加を防止できる。
こさせても、図３から明らかなようにサブトラック４２
側の光電変換素子列５２に入力される光量振幅を増大さ
せることはできない。すなわち、開口部の数を上記の制
限数Ｎ以下にしておけば、サブトラック４２側の光電変
換素子列５２に入力される光量振幅の減少を防止できる
とともに直流成分の増加を防止できる。
【００２２】なお、図１ではサブトラックが１個の例を
説明したが複数個であってもよく、サブトラックが複数
個の場合にはメイントラックとのずれが最も大きいサブ
トラックに対する開口部の設計演算を行えばよい。ま
た、上記実施例ではリニア形の例を説明したが回転形に
も適用できるものである。
説明したが複数個であってもよく、サブトラックが複数
個の場合にはメイントラックとのずれが最も大きいサブ
トラックに対する開口部の設計演算を行えばよい。ま
た、上記実施例ではリニア形の例を説明したが回転形に
も適用できるものである。
【００２３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
スリットミスを起こさない範囲で光源の開口部数を増や
して光量振幅を増大させることができ、高分解能で高精
度の測定が行える光学式バーニア形アブソリュートエン
コーダを実現できる。
スリットミスを起こさない範囲で光源の開口部数を増や
して光量振幅を増大させることができ、高分解能で高精
度の測定が行える光学式バーニア形アブソリュートエン
コーダを実現できる。
【図１】従来の装置および本発明の装置に共通する外観
を示す模式図である。
を示す模式図である。
【図２】従来の装置における光分布の一例の説明図であ
る。
る。
【図３】従来の装置および本発明の装置において開口部
の数を増やしていった場合のピッチの差と総検出光量振
幅の相対値の変化の関係を表したものである。
の数を増やしていった場合のピッチの差と総検出光量振
幅の相対値の変化の関係を表したものである。
１ 拡散光源 ２ 拡散板 ３ マスク ４ コード板 ５ 受光アレイ
Claims (1)
- 【請求項１】スリットピッチの異なる格子パターンより
なるメイントラックと少なくとも１個のサブトラックで
正弦波または正弦波に近似した波形（またはそれらの波
形の半周期）を上下に折り返した形状の輪郭を有する複
数の開口部を有する光源を共有し、これらメイントラッ
クとサブトラックの検出信号に基づいてコード板の絶対
位置に関連した出力を得るように構成された光学式バー
ニア形アブソリュートエンコーダにおいて、 前記メイントラックのスリットピッチをＰm、メイント
ラックに対して最もずれの大きいサブトラックのスリッ
トピッチをＰsmaxとしたとき、 前記マスクの開口部の数Ｎを、次式で規定することを特
徴とする光学式バーニア形アブソリュートエンコーダ。 N≦{1/(2*|Psmax/Pm-1|)}-1
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7020199A JPH08219810A (ja) | 1995-02-08 | 1995-02-08 | 光学式バーニア形アブソリュートエンコーダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7020199A JPH08219810A (ja) | 1995-02-08 | 1995-02-08 | 光学式バーニア形アブソリュートエンコーダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08219810A true JPH08219810A (ja) | 1996-08-30 |
Family
ID=12020504
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7020199A Pending JPH08219810A (ja) | 1995-02-08 | 1995-02-08 | 光学式バーニア形アブソリュートエンコーダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08219810A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005249791A (ja) * | 2004-03-03 | 2005-09-15 | Carl Freudenberg Kg | 角度測定装置 |
| JPWO2006006342A1 (ja) * | 2004-07-12 | 2008-04-24 | 三菱電機株式会社 | 光学式エンコーダ |
| US7389200B2 (en) | 2004-01-26 | 2008-06-17 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Incremental encoding and decoding apparatus and method |
| WO2013172564A1 (en) * | 2012-05-18 | 2013-11-21 | Snu R&Db Foundation | Digital opto-electric pulse application method for correcting bit error of vernier-type optical encoder |
| KR101456882B1 (ko) * | 2012-05-18 | 2014-11-03 | 서울대학교산학협력단 | 버니어 방식 광학 엔코더의 비트 오차 보정을 위한 디지털 옵토-일렉트리컬 펄스 적용 방법 |
| CN106197240A (zh) * | 2016-07-06 | 2016-12-07 | 重庆理工大学 | 基于交变电场的绝对式直线时栅位移传感器 |
| CN107091654A (zh) * | 2017-05-15 | 2017-08-25 | 长春汇通光电技术有限公司 | 一种高容错游标码盘 |
-
1995
- 1995-02-08 JP JP7020199A patent/JPH08219810A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7389200B2 (en) | 2004-01-26 | 2008-06-17 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Incremental encoding and decoding apparatus and method |
| JP2005249791A (ja) * | 2004-03-03 | 2005-09-15 | Carl Freudenberg Kg | 角度測定装置 |
| JPWO2006006342A1 (ja) * | 2004-07-12 | 2008-04-24 | 三菱電機株式会社 | 光学式エンコーダ |
| WO2013172564A1 (en) * | 2012-05-18 | 2013-11-21 | Snu R&Db Foundation | Digital opto-electric pulse application method for correcting bit error of vernier-type optical encoder |
| KR101456882B1 (ko) * | 2012-05-18 | 2014-11-03 | 서울대학교산학협력단 | 버니어 방식 광학 엔코더의 비트 오차 보정을 위한 디지털 옵토-일렉트리컬 펄스 적용 방법 |
| US9372100B2 (en) | 2012-05-18 | 2016-06-21 | Snu R&D Foundation | Digital opto-electric pulse application method for correcting bit error of vernier-type optical encoder |
| CN106197240A (zh) * | 2016-07-06 | 2016-12-07 | 重庆理工大学 | 基于交变电场的绝对式直线时栅位移传感器 |
| CN107091654A (zh) * | 2017-05-15 | 2017-08-25 | 长春汇通光电技术有限公司 | 一种高容错游标码盘 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5889280A (en) | Apparatus for measuring displacement | |
| US5774219A (en) | Reflection-type optical encoder with light receiving array | |
| EP0543513B2 (en) | Opto-electronic scale-reading apparatus | |
| US7608813B1 (en) | Scale track configuration for absolute optical encoder including a detector electronics with plurality of track detector portions | |
| US7324212B2 (en) | Optical encoder having slanted optical detector elements for harmonic suppression | |
| US8890057B2 (en) | Optical position-measuring device | |
| EP2538179B1 (en) | Two-dimensional absolute encoder and scale therefor | |
| US9024251B2 (en) | Encoder having a scale that includes block patterns | |
| US5841134A (en) | Photo-electric distance- and angle-measurement system for measuring the displacement of two objects with respect to each other | |
| US5981942A (en) | Optical encoder for detecting relative displacement based on signals having predetermined phase differences | |
| JPH08219810A (ja) | 光学式バーニア形アブソリュートエンコーダ | |
| US20050285026A1 (en) | Linear encoder | |
| US6956200B2 (en) | Phase-shift photoelectric encoder | |
| US20210348954A1 (en) | Optical encoder and control apparatus | |
| US10094685B2 (en) | Displacement encoder | |
| JPH07280591A (ja) | 光学式エンコーダ | |
| JPH03128418A (ja) | 光学式エンコーダ | |
| JP2003279384A (ja) | 光学式絶対値エンコーダ及び移動装置 | |
| JP3199549B2 (ja) | エンコーダ装置 | |
| JP3256628B2 (ja) | エンコーダ装置 | |
| JP2004029019A (ja) | 光学位置感知装置 | |
| JPH08219811A (ja) | 光学式ロータリーエンコーダ | |
| JPH09203644A (ja) | 光学式エンコーダ | |
| JP2002296075A (ja) | 光学式エンコーダ | |
| JP2021179417A (ja) | 光学式エンコーダ及び制御装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040224 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040622 |