JPH0821171B2 - Method of manufacturing magnetic head - Google Patents

Method of manufacturing magnetic head

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JPH0821171B2
JPH0821171B2 JP2054723A JP5472390A JPH0821171B2 JP H0821171 B2 JPH0821171 B2 JP H0821171B2 JP 2054723 A JP2054723 A JP 2054723A JP 5472390 A JP5472390 A JP 5472390A JP H0821171 B2 JPH0821171 B2 JP H0821171B2
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JP
Japan
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polishing member
air bearing
slider block
bearing surface
slider
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恒男 小林
一夫 寺島
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Fujitsu Ltd
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Fujitsu Ltd
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/04Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
    • B24B37/048Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces of sliders and magnetic heads of hard disc drives or the like

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 浮上式磁気ヘッドのコアスライダの製造方法、特に浮
上面レールの周縁のR面取り方法に関し、 コアスライダブロックを1個ずつ分離しないで、ブロ
ック状のままR面取りでき、しかも自動的にかつ均一に
R面取りできるようにすることを目的とし、 磁気ヘッドのコアスライダにおける浮上面レールの周
縁の角を面取りしRを付ける方法であって、 複数個のスライダに分離する前のスライダブロック
を、弾性シート上の研磨部材に載置して荷重をかけたと
き、浮上面レールの周縁が研磨部材に対し所定の食い込
み量で食い込むような硬度の弾性シートを用いることに
よって、前記研磨部材(16)をスライダブロックの隣接
する浮上面レールの間に前記弾性シートの弾性変形によ
り所定の食い込み量で食い込ませること、 コアスライダブロックを研磨部材の面に対し直線方向
に相対的に、かつ自動的に往復動させること、 この往復動の際に、コアスライダブロックが貼り付け
られた接着ブロックの上に、重りなどによる荷重を作用
させることで、コアスライダブロックと研磨部材の面と
の接触圧を一定に維持すること、 コアスライダブロックの浮上面レールが、往復動方向
に対し一定の角度±θで傾斜していること、 往復動方向に対し+θ方向の往復動回数と−θ方向の
往復動回数を同等とすること、 を特徴とする構成とする。
The present invention relates to a method of manufacturing a core slider of a floating magnetic head, and more particularly to a method of chamfering the peripheral edge of an air bearing surface rail. A method of chamfering the corners of the peripheral edge of the air bearing surface rail in the core slider of the magnetic head to make the R chamfered automatically and uniformly. By using the elastic sheet having a hardness such that when the slider block before being mounted is placed on the polishing member on the elastic sheet and a load is applied, the peripheral edge of the air bearing surface rail bites into the polishing member by a predetermined amount. , The abrasive member (16) is bitten between adjacent air bearing surface rails of the slider block by a predetermined biting amount due to elastic deformation of the elastic sheet. Reciprocally and automatically reciprocating the core slider block in a linear direction relative to the surface of the polishing member, and at the time of this reciprocating movement, on the adhesive block to which the core slider block is attached, Maintaining a constant contact pressure between the core slider block and the surface of the polishing member by applying a load such as a weight, and the air bearing surface rail of the core slider block is inclined at a constant angle ± θ with respect to the reciprocating direction. That is, the number of reciprocations in the + θ direction and the number of reciprocations in the −θ direction are equal to the reciprocating direction.

また、記録/再生素子部の硬度がコアスライダ部と異
なる磁気ヘッドの場合は、コアスライダブロックを研磨
部材の面に対し直線方向に相対的に、かつ自動的に往復
動させるとともに、進行方向に対し流入斜面が前端に位
置し、記録/再生素子部が後端に位置するときのみ研磨
部材と接触させる。
Further, in the case of a magnetic head in which the hardness of the recording / reproducing element portion is different from that of the core slider portion, the core slider block is automatically reciprocated relative to the surface of the polishing member in the linear direction, and in the traveling direction. On the other hand, only when the inflow slope is located at the front end and the recording / reproducing element part is located at the rear end, the contact is made with the polishing member.

〔産業上の利用分野〕[Industrial applications]

磁気ディスク装置における磁気記録円板に情報を記録
/再生するための磁気ヘッドは、磁気記録円板が高速回
転する際の風力によって浮上した状態で記録/再生が行
なわれる。本発明は、このような浮上式磁気ヘッドのコ
アスライダの製造方法、特に浮上面レールの周縁のR面
取り方法に関する。
A magnetic head for recording / reproducing information on / from a magnetic recording disk in a magnetic disk device performs recording / reproducing in a state of being levitated by wind force when the magnetic recording disk rotates at high speed. The present invention relates to a method of manufacturing a core slider of such a flying magnetic head, and more particularly to a method of chamfering a peripheral edge of an air bearing surface rail.

〔磁気ヘッドの浮上面レールのR面取り〕[R chamfer of air bearing surface rail of magnetic head]

第4図は磁気ヘッドによって情報を記録/再生してい
る状態を示す側面図である。Hは磁気ヘッドであり、コ
アスライダ1の後端に、コイル2が巻かれたコア3が接
着されている。そして、コア3とコアスライダ1との間
のギャップGで、磁気記録円板4に情報が記録/再生さ
れる。
FIG. 4 is a side view showing a state where information is recorded / reproduced by the magnetic head. H is a magnetic head, and the core 3 around which the coil 2 is wound is bonded to the rear end of the core slider 1. Then, information is recorded / reproduced on / from the magnetic recording disk 4 in the gap G between the core 3 and the core slider 1.

コアスライダ1は、ジンバルと呼ばれる薄板バネ5を
介してスプリングアーム6に取り付け支持されており、
該スプリングアーム6が、駆動アーム7を介して、駆動
軸8に取り付けられている。
The core slider 1 is attached to and supported by a spring arm 6 via a thin leaf spring 5 called a gimbal,
The spring arm 6 is attached to a drive shaft 8 via a drive arm 7.

磁気記録円板4は高速回転するため、その際発生する
矢印a1方向の風力でコアスライダ1が浮上する。したが
って、後端のギャップGでは、磁気記録円板4との間に
微小な浮上隙間をおいて、記録/再生が行なわれる。
Since the magnetic recording disk 4 rotates at high speed, the core slider 1 floats by the wind force in the direction of the arrow a 1 generated at that time. Therefore, in the gap G at the rear end, recording / reproducing is performed with a minute floating gap between the magnetic recording disc 4 and the rear end.

このように、コアスライダ1を風力で浮上させるため
に、コアスライダ1の先端の磁気記録円板4と対向する
位置に、空気の流入斜面9を形成することで、コアスラ
イダ1が浮上し易くしている。
As described above, in order to levitate the core slider 1 by wind force, the air inflow slope 9 is formed at a position facing the magnetic recording disk 4 at the tip of the core slider 1, so that the core slider 1 is easily levitated. are doing.

第5図(a)はコアスライダ1の斜視図である。コア
スライダ1の、前記磁気記録円板4と対向する面(スラ
イダ面)には、2本の浮上面レール10、11を有してい
る。そして浮上面レール10、11の先端に、前記の流入斜
面9が形成されている。(b)図に示すように、この流
入斜面9の寸法は、浮上方向の深さが2〜7μm、浮上
面レール方向の長さが300〜600μmであり、その結果、
傾斜角度θは20′〜40′となる。
FIG. 5A is a perspective view of the core slider 1. Two air bearing surface rails 10 and 11 are provided on the surface (slider surface) of the core slider 1 that faces the magnetic recording disk 4. The inflow slope 9 is formed at the tips of the air bearing rails 10 and 11. As shown in (b), the inflow slope 9 has a depth of 2 to 7 μm in the flying direction and a length of 300 to 600 μm in the air bearing surface rail direction.
The inclination angle θ is 20 ′ to 40 ′.

第4図のように浮上面レール10、11が磁気記録円板4
と対向した状態で磁気記録円板4が高速回転している際
に、あるいは回転の開始・停止時に、磁気記録円板4の
突起が浮上面レール10、11の周縁の角部e1〜e4に衝突す
ることがある。このような場合に、ヘッドクラッシュを
来さないように、浮上面レール10、11の周縁e1〜e4を研
磨して面取りし、10〜20μmのR面取りすることが行な
われる。
As shown in FIG. 4, the air bearing surface rails 10 and 11 are magnetic recording disks 4.
When the magnetic recording disk 4 is rotating at a high speed in a state of facing the magnetic recording disk 4, or when the rotation of the magnetic recording disk 4 is started / stopped, the protrusions of the magnetic recording disk 4 cause the protrusions e 1 to e of the peripheral edges of the air bearing surface rails 10 and 11 to e. May collide with 4 . In such a case, the peripheral edges e 1 to e 4 of the air bearing surface rails 10 and 11 are polished and chamfered to make a R chamfering of 10 to 20 μm so as not to cause a head crash.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

第6図は流入斜面を形成する前のコアスライダブロッ
ク12の斜視図であり、鎖線で示す領域9aを研磨して流入
斜面を形成してから、破線13で示す位置から分断し、数
個〜10個程度のコアスライダにする。そして、数個〜10
個程度のコアスライダを一斉にR面取りする。
FIG. 6 is a perspective view of the core slider block 12 before the inflow slope is formed. After the region 9a indicated by the chain line is polished to form the inflow slope, the core slide block 12 is divided from the position indicated by the broken line 13 to several pieces. Use about 10 core sliders. And several to 10
R chamfering about one core slider at a time.

第7図はコアスライダブロック12の背面図(記録/再
生素子h側から見た図)であり、鎖線の位置から個々の
コアスライダに分断される。そして第8図に示すよう
に、個々のコアスライダ1…を、面取り用の治具14に一
定間隔で貼りつける。このとき、コアスライダ1の浮上
面レール10、11の間隔Dが、隣接するコアスライダの浮
上面レール11、10の間隔dと一致するように配置され
る。これによって、すべての浮上面レール10、11…の間
隔が一定になる。
FIG. 7 is a rear view of the core slider block 12 (viewed from the side of the recording / reproducing element h), which is divided into individual core sliders from the position of the chain line. Then, as shown in FIG. 8, the individual core sliders 1 ... Are attached to the chamfering jig 14 at regular intervals. At this time, the space D between the air bearing surface rails 10 and 11 of the core slider 1 is arranged to match the distance d between the air bearing surface rails 11 and 10 of the adjacent core sliders. As a result, the distance between all the air bearing surface rails 10, 11, ... Is constant.

第9図は従来の手作業式の面取り方法を示す斜視図で
あり、第8図のように複数個のコアスライダ1…が貼り
付けられた治具14を、シリコンゴム製シート15に貼りつ
けたダイヤモンドラッピングテープ16の上に載せる。こ
のように浮上面レール10、11をダイヤモンドラッピング
テープ16に当てた状態で、治具14を手で押しつけると、
第8図に示すように、浮上面レール10、11がダイヤモン
ドラッピングテープ16に食い込む。この状態で、矢印
a2、a3で示すように、治具14をジグザグ状にスライドさ
せると、浮上面レール10、11の周縁の角部(第5図に示
すe1〜e4)が最も強くダイヤモンドラッピングテープ16
に当たるため、磨耗によって面取りされ、Rがつく。
FIG. 9 is a perspective view showing a conventional manual chamfering method. As shown in FIG. 8, a jig 14 having a plurality of core sliders 1 ... Place it on the diamond wrapping tape 16. With the air bearing surface rails 10 and 11 applied to the diamond wrapping tape 16 in this manner, when the jig 14 is pressed by hand,
As shown in FIG. 8, the air bearing surface rails 10 and 11 bite into the diamond wrapping tape 16. In this state, the arrow
As shown by a 2 and a 3 , when the jig 14 is slid in a zigzag manner, the corners (e 1 to e 4 shown in FIG. 5) of the peripheral edges of the air bearing surface rails 10 and 11 are the strongest and the diamond wrapping tape is strong. 16
Since it hits the chamfer, it is chamfered due to wear and R is attached.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problems to be Solved by the Invention]

ところが、このような手作業によるR面取り方法で
は、第8図に示すように、コアスライダブロック12を各
コアスライダ1…ごとに分離し、一定間隔に治具14に貼
りつける必要があり、作業が面倒である。また、第9図
に示すように、手作業で面取りするため、押圧力や摺動
速度、移動範囲などが異なり、また全体を均一に押圧で
きず、押圧力の強さが偏るなどの問題がある。そのた
め、第8図のように各浮上面レール10、11…の間隔を一
定にしたとしても、精度よくかつ均一にR面取りするこ
とが困難であり、また作業者によって仕上がりにバラツ
キが生じる。したがって、作業者の経験や熟練が必要と
なる。
However, in such a manual R chamfering method, as shown in FIG. 8, it is necessary to separate the core slider block 12 for each core slider 1 ... Is troublesome. Further, as shown in FIG. 9, since the chamfering is performed manually, the pressing force, the sliding speed, the moving range, etc. are different, and the whole cannot be pressed uniformly, and the pressing force is unevenly distributed. is there. Therefore, even if the distance between the respective air bearing surface rails 10, 11, ... Is made constant as shown in FIG. 8, it is difficult to accurately and uniformly round the chamfers, and the finish varies depending on the operator. Therefore, the experience and skill of the operator are required.

本発明の技術的課題は、このような問題に着目し、コ
アスライダブロックを1個ずつ分離しないで、ブロック
状のままR面取りでき、しかも自動的にかつ均一にR面
取りできるようにすることにある。
The technical problem of the present invention is to pay attention to such a problem, and to make it possible to chamfer R in a block shape without separating the core slider blocks one by one, and also to chamfer automatically and uniformly. is there.

〔課題を解決するための手段〕[Means for solving the problem]

「請求項1の発明」 第1図(a)は本発明による磁気ヘッドの製造方法の
基本原理を説明する平面図、(b)は(a)図における
b−b断面図である。17は接着ブロックであり、その下
面には、第7図に示すようなコアスライダブロック12が
貼りつけられている。本発明では、複数個のスライダに
分離する前のスライダブロック12を、弾性シート15a上
の研磨部材16に載置して荷重をかけたとき、浮上面レー
ルの周縁が研磨部材16に対し所定の食い込み量で食い込
むような硬度の弾性シート15aを用いることによって、
前記研磨部材16をスライダブロック12の隣接する浮上面
レールの間に前記弾性シート15aの弾性変形により所定
の食い込み量で食い込ませる。このような作用が可能な
弾性シート15aとしては、ゴム硬度が例えば60°±10°
の範囲のものが適しており、その上にシート状ないしフ
ィルム状の研磨部材16を載せ、その上でR面取りを行な
う。なお、本明細書において示すゴム硬度は、「JIS加
硫ゴム物理試験方法JIS K 6301」の硬さ試験(スプリン
グ式硬さ試験機のA形)を用いて試験測定したものであ
る。
[Invention of Claim 1] FIG. 1A is a plan view for explaining the basic principle of a method of manufacturing a magnetic head according to the present invention, and FIG. Reference numeral 17 is an adhesive block, and a core slider block 12 as shown in FIG. 7 is attached to the lower surface thereof. According to the present invention, when the slider block 12 before being separated into a plurality of sliders is placed on the polishing member 16 on the elastic sheet 15a and a load is applied, the peripheral edge of the air bearing surface rail has a predetermined distance with respect to the polishing member 16. By using the elastic sheet 15a having a hardness that bites by the biting amount,
The polishing member 16 is made to bite between adjacent air bearing rails of the slider block 12 by a predetermined biting amount by elastic deformation of the elastic sheet 15a. The elastic sheet 15a capable of such an action has a rubber hardness of, for example, 60 ° ± 10 °.
The range is suitable, and the sheet-shaped or film-shaped polishing member 16 is placed thereon, and the R chamfering is performed on the polishing member 16. The rubber hardness shown in the present specification is measured by a hardness test (a type of a spring type hardness tester A) of "JIS vulcanized rubber physical test method JIS K 6301".

そして、接着ブロック17を、研磨部材16の面に対し矢
印a4で示す直線方向に相対的にかつ自動的に、往復動さ
せる。
Then, the adhesive block 17 is reciprocated relative to the surface of the polishing member 16 in the linear direction indicated by the arrow a 4 and automatically.

この往復動の際に、接着ブロック17の上に重りなどに
よる荷重を作用させることで、接着ブロック17と研磨部
材16との接触圧を一定に維持する。
During this reciprocating movement, a load such as a weight is applied on the adhesive block 17 to keep the contact pressure between the adhesive block 17 and the polishing member 16 constant.

また、コアスライダブロック12の浮上面レールを、矢
印a4で示す往復動方向に対し一定の角度±θで傾斜させ
る。しかも+θ方向と−θ方向の往復動回数を同等とす
る。θとしては、15°〜45°程度が良い。
Further, the air bearing surface rail of the core slider block 12 is inclined at a constant angle ± θ with respect to the reciprocating direction indicated by the arrow a 4 . Moreover, the number of reciprocating movements in the + θ direction and the −θ direction is made equal. The angle θ is preferably about 15 ° to 45 °.

「請求項2の発明」 磁気記録/再生素子部が薄膜型の磁気ヘッドにおいて
は、第2図に示すように、コアスライダブロック12を直
線方向に往復動させる際に、往方向のみ研磨部材16と接
触させ、復方向では研磨部材16から浮き上がらせ、研磨
部材16と接触しないようにする。すなわち、進行方法に
対し流入斜面が前端に位置し、記録/再生素子部が後端
に位置するときのみ研磨部材16と接触させる。そのた
め、 そのほか、+θ方向と−θ方向の往復動回数を同等と
すること、などに関しては、請求項1の発明と同じであ
る。
[Invention of Claim 2] In a magnetic head having a thin film type magnetic recording / reproducing element portion, as shown in FIG. 2, when the core slider block 12 is reciprocated in a linear direction, only the forward direction polishing member 16 is used. With the polishing member 16 in the backward direction so as not to contact the polishing member 16. That is, only when the inflow slope is located at the front end and the recording / reproducing element portion is located at the rear end with respect to the traveling method, the contact is made with the polishing member 16. Therefore, other than that, the number of reciprocating movements in the + θ direction and the −θ direction is the same as that of the first aspect of the invention.

〔作用〕[Action]

「請求項1の発明」 研磨部材16を載せる弾性シート15aとして、硬度が例
えば60°±10°の範囲のものを使用している。硬度が例
えば70°より硬い弾性シートを使用すると、隣接する浮
上面レール10、11、10……の間に研磨部材16が充分食い
込まなくなり、R面取りが不十分となる。逆に弾性シー
トが例えば50°より柔らかいと、研磨部材16は隣接する
浮上面レール10、11、10…の間に充分食い込むが、コア
スライダブロック12が往復動する際に、浮上面レール1
0、11の角部が研磨部材16に引っ掛かり、円滑に往復動
できないという欠点が生じる。したがって、前記のよう
に硬度が例えば60°±10°の範囲の弾性シートを使用す
ると、(b)図に示すように、浮上面レール間隔の狭い
dの部分においても、間隔の広いDの部分においても、
隣接する浮上面レール間に研磨部材16が食い込み、かつ
円滑に移動できる。
[Invention of Claim 1] As the elastic sheet 15a on which the polishing member 16 is placed, one having a hardness in the range of 60 ° ± 10 ° is used. If an elastic sheet having a hardness of, for example, 70 ° or more is used, the polishing member 16 will not sufficiently bite between the adjacent air bearing surface rails 10, 11, 10 ... And the R chamfering will be insufficient. On the contrary, if the elastic sheet is softer than 50 °, for example, the polishing member 16 bites sufficiently between the adjacent air bearing surface rails 10, 11, 10 ..., However, when the core slider block 12 reciprocates, the air bearing surface rail 1
The corners of 0 and 11 are caught in the polishing member 16 and there is a drawback that it cannot smoothly reciprocate. Therefore, if an elastic sheet having a hardness of, for example, 60 ° ± 10 ° is used as described above, as shown in FIG. 6 (b), even in the d portion where the air bearing surface rail spacing is narrow, the D portion where the spacing is wide is used. Even in
The polishing member 16 bites between the adjacent air bearing surface rails and can move smoothly.

また、コアスライダブロック12を研磨部材16の面に対
し直線方向に相対的に、かつ自動的に往復動させると共
に、コアスライダブロック12が貼り付けられた接着ブロ
ック17の上に、重りなどによる荷重を作用させること
で、コアスライダブロック12と研磨部材16の面との接触
圧を一定に維持している。そのため、R面取りする際の
接触圧その他の条件が、各浮上面レールにおいて、一定
となる。
In addition, the core slider block 12 is automatically reciprocated relative to the surface of the polishing member 16 in a linear direction, and a load such as a weight is placed on the adhesive block 17 to which the core slider block 12 is attached. Is applied to maintain the contact pressure between the core slider block 12 and the surface of the polishing member 16 constant. Therefore, the contact pressure and other conditions at the time of chamfering R are constant in each air bearing surface rail.

しかも、コアスライダブロック12の浮上面レールを、
往復動方向に対し一定の角度±θで傾斜させ、往復動方
向に対し+θ方向の往復動回数と−θ方向の往復動回数
を同等とするため、すべての浮上面レールのR面取り方
向が同等となり、すべての浮上面レールを均一にかつバ
ランス良くR面取りできる。
Moreover, the air bearing surface rail of the core slider block 12
Inclining at a constant angle ± θ with respect to the reciprocating direction, and making the number of reciprocating movements in the + θ direction and the reciprocating movement in the −θ direction equal to the reciprocating direction, the R chamfering direction of all air bearing surface rails is the same. As a result, all air bearing rails can be chamfered uniformly and with good balance.

このように、浮上面レールの間隔D、dが一定してい
なくても、浮上面レールのR面取りの品質が確保できる
ため、従来のようにコアスライダブロック12を分離する
ことなくブロック状のままR面取りできる。そのため、
流入斜面9を形成した後に、コアスライダブロック12が
貼りつけられた接着ブロックを、引き続いてR面取り装
置に取り付けるだけで、R面取りできる。
In this way, even if the distances D and d between the air bearing surface rails are not constant, the quality of the R chamfering of the air bearing surface rails can be ensured, so that the core slider block 12 remains in a block shape without being separated as in the conventional case. R chamfering is possible. for that reason,
After forming the inflow slope 9, the R chamfering can be performed only by subsequently attaching the adhesive block to which the core slider block 12 is attached to the R chamfering device.

「請求項2の発明」 薄膜型の磁気ヘッドの場合は、薄膜素子部hの硬度は
コアスライダ部より格段と柔らかい。例えばコアスライ
ダ1の材料であるAl2O3・Ticは、非常に硬いが、薄膜素
子部を構成しているAl2O3は柔らかく、両者の硬度差が
大きい。そのため、請求項1の発明のように単に往復動
させるのみでは、薄膜素子部hが研磨過剰となる。とこ
ろが、第2図に示す方法は、往方向においてのみ研磨部
材16と接触させ、復方向では研磨部材16から浮かせると
共に、研磨動作時には常に薄膜素子部hが後端に位置す
るように方向性を持たせる。このようにして、常に進行
方向に対し流入斜面が前端に位置し、記録/再生素子部
が後端に位置する状態で、研磨部材16と接触させること
により、薄膜素子部h側と研磨部材16との接触圧が軽減
されるため、薄膜素子部hの研磨過剰を防止できる。
[Invention of Claim 2] In the case of a thin film magnetic head, the hardness of the thin film element portion h is significantly softer than that of the core slider portion. For example, Al 2 O 3 .Tic, which is the material of the core slider 1, is extremely hard, but Al 2 O 3 that constitutes the thin film element portion is soft, and the hardness difference between them is large. Therefore, the thin film element portion h is over-polished by merely reciprocating the movement as in the first aspect of the invention. However, in the method shown in FIG. 2, the polishing member 16 is contacted only in the forward direction and is floated from the polishing member 16 in the backward direction, and the directionality is set so that the thin film element portion h is always located at the rear end during the polishing operation. To have. In this manner, the thin film element portion h side and the polishing member 16 are brought into contact with the polishing member 16 with the inflow slope always at the front end and the recording / reproducing element portion at the rear end with respect to the traveling direction. Since the contact pressure with is reduced, overpolishing of the thin film element portion h can be prevented.

〔実施例〕〔Example〕

次に本発明によるR面取り方法が実際上どのように具
体化されるかを実施例で説明する。第3図は本発明の方
法を実施する装置を例示する斜視図である。テーブル18
の上に弾性シート15aを載せ、その上にダイヤモンドラ
ッピングテープ16などの研磨部材を載せる。弾性シート
15aとしては、硬度が60°±10°の範囲のものを使用す
る。
Next, practical examples of how the R chamfering method according to the present invention is embodied will be described. FIG. 3 is a perspective view illustrating an apparatus for carrying out the method of the present invention. Table 18
An elastic sheet 15a is placed on the above, and a polishing member such as the diamond wrapping tape 16 is placed thereon. Elastic sheet
The hardness of 15a is 60 ° ± 10 °.

ダイヤモンドラッピングテープ16と平行に形成された
ベッド19上には、ヘッド20が載置され、ベッド19上で直
線方向に往復動するようになっている。ヘッド20には、
ダイヤモンドラッピングテープ16の真上において、上下
動する主軸21が支持されており、該主軸21の下端に、接
着ブロック17が真空チャックされている。なお、接着ブ
ロック17には、予めコアスライダブロック12が貼り付け
られている。
A head 20 is placed on a bed 19 formed in parallel with the diamond wrapping tape 16, and reciprocates in a linear direction on the bed 19. In the head 20,
A spindle 21 that moves up and down is supported directly above the diamond wrapping tape 16, and an adhesive block 17 is vacuum chucked at the lower end of the spindle 21. The core slider block 12 is attached to the adhesive block 17 in advance.

ヘッド20の内部に角度割り出し用のモータが内蔵さ
れ、歯車機構を介して主軸21と連結されている。また、
主軸21の全周にラックを形成し、該ラックを上下駆動モ
ータと連結することで、主軸21を上下動できるようにな
っている。
A motor for angle indexing is built in the head 20 and is connected to the main shaft 21 via a gear mechanism. Also,
By forming a rack around the entire circumference of the main shaft 21 and connecting the rack to a vertical drive motor, the main shaft 21 can be moved up and down.

いま、薄膜素子部のように軟質の部分を有するコアス
ライダブロック12をR面取りする場合は、ヘッド20が往
方向に移動するときのみ、主軸21を下げて、コアスライ
ダブロック12をダイヤモンドラッピングテープ16に接触
させる。そして復方向に移動する場合は、主軸21を上昇
させることで、コアスライダブロック12をダイヤモンド
ラッピングテープ16から離すと共に、常に薄膜素子部を
コアスライダの後端に位置させることで、薄膜素子部が
研磨過剰となるのを防止できる。
Now, when chamfering the core slider block 12 having a soft portion such as a thin film element part, the spindle 21 is lowered to move the core slider block 12 to the diamond wrapping tape 16 only when the head 20 moves in the forward direction. Contact. When moving in the backward direction, by raising the main shaft 21, the core slider block 12 is separated from the diamond wrapping tape 16, and the thin film element portion is always located at the rear end of the core slider. It is possible to prevent excessive polishing.

また、主軸21を回転させることで、往復動方向に対し
+θの角度を割り出し、所定回数往方向動作した後、主
軸21を−θまで回転させた後、前記と同回数だけ往方向
移動させる。
Further, by rotating the main shaft 21, an angle of + θ with respect to the reciprocating direction is indexed, the main shaft 21 is rotated a predetermined number of times in the forward direction, then the main shaft 21 is rotated to −θ, and then is moved the same number of times in the forward direction.

なお1往復ごとに2θ回転させ、+θ方向のR面取り
と−θ方向のR面取りを交互に行なうこともできる。
It is also possible to rotate 2θ for each reciprocation and alternately perform R chamfering in the + θ direction and R chamfering in the −θ direction.

さらに、進行方向に対し流入斜面が前端に位置し、記
録/再生素子部が後端に位置するように方向性を持たせ
る限り、前進・後退のストロークエンドにおいて、常に
主軸21を回転させてコアスライダブロック12の向きを逆
転し、往復両方においてR面取りしてもよい。
Furthermore, as long as it has directivity so that the inflow slope is located at the front end and the recording / reproducing element part is located at the rear end with respect to the traveling direction, the main shaft 21 is always rotated at the stroke end of forward / backward movement to allow the core to rotate. The direction of the slider block 12 may be reversed, and the chamfering may be performed on both sides.

フェライトにコイルを巻いた記録/再生素子を有する
磁気ヘッドのように、コアスライダと記録/再生素子部
の硬度が同等の場合は、復動作時に主軸21を上昇させる
必要はない。すなわち、コアスライダブロック12をダイ
ヤモンドラッピングテープ16に接触させたまま往復動さ
せるのみでよい。なお、+θ方向に所定回数往復動させ
た後に、一旦主軸21を上昇させ、−θ方向に向きを変え
てから下降させ、同じ回数往復動させることで、すべて
の浮上面レールを均等にR面取りできる。
When the core slider and the recording / reproducing element have the same hardness as in a magnetic head having a recording / reproducing element in which a coil is wound around ferrite, it is not necessary to raise the spindle 21 during the returning operation. That is, it is only necessary to reciprocate the core slider block 12 in contact with the diamond wrapping tape 16. After reciprocating a predetermined number of times in the + θ direction, raise the spindle 21 once, change the direction to the −θ direction, and lower it, and reciprocate the same number of times to make all the air bearing rails evenly chamfered. it can.

コアスライダブロック12を研磨部材16に押しつける荷
重は、主軸21の自重で設定することもできるが、主軸21
の上に重りを載せたり、レバー式にあるいはバネ式に荷
重を加えることもできる。
The load for pressing the core slider block 12 against the polishing member 16 can be set by the weight of the main spindle 21, but the main spindle 21
It is also possible to put a weight on top of it, or to apply a load by lever type or spring type.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

以上のように本発明によれば、研磨部材16を載せる弾
性シート15aとして、その弾性変形により、研磨部材16
をスライダブロック12の隣接する浮上面レールの間に所
定量食い込ませることのできる硬度を選択すると共に、
浮上面レールの向きを+θ、−θ方向と切り換えて同じ
回数往復動させ、一定荷重を加えて相対的に直線方向に
往復動させるので、浮上面レールの間隔が一定していな
くても、すべての浮上面レールを均一にR面取りでき
る。そのため、コアスライダを分離しない状態でR面取
りでき、従来のように分離されたコアスライダを1個ず
つ治具に貼りつける作業が不必要となり、作業効率が向
上する。また、自動的にしかも高精度にかつ均一にR面
取りできる。更に、薄膜型磁気ヘッドのように、軟質部
分を有するコアスライダの場合は、軟質部が常に進行方
向の後端に位置するように、復方向移動時はコアスライ
ダブロック12が研磨部材16から上昇するため、軟質部が
研磨過剰となるようなこともない。
As described above, according to the present invention, as the elastic sheet 15a on which the polishing member 16 is placed, the elastic member 15a is elastically deformed, so that the polishing member 16a.
While selecting the hardness that allows a predetermined amount to bite between the adjacent air bearing surface rails of the slider block 12,
Since the air bearing surface rails are switched between + θ and −θ directions and reciprocated the same number of times, and a fixed load is applied to relatively reciprocate linearly, even if the air bearing surface rail spacing is not constant, all It is possible to chamfer the air bearing surface rail uniformly. Therefore, it is possible to chamfer the R without separating the core sliders, and it becomes unnecessary to attach the separated core sliders to the jig one by one as in the conventional case, and the work efficiency is improved. In addition, the R chamfering can be performed automatically, with high accuracy and uniformly. Further, in the case of a core slider having a soft portion such as a thin film magnetic head, the core slider block 12 rises from the polishing member 16 during the backward movement so that the soft portion is always located at the rear end in the traveling direction. Therefore, the soft portion will not be overpolished.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図、第2図は本発明による磁気ヘッドの製造方法の
基本原理を説明する図、 第3図は本発明の方法を実施する装置を例示する斜視図
である。 第4図は磁気ヘッドによって情報を記録/再生している
状態を示す側面図、 第5図はコアスライダの斜視図と流入斜面部の側面図、 第6図は流入斜面を形成する前のコアスライダブロック
の斜視図、 第7図は流入斜面を形成した後のコアスライダブロック
の背面図、 第8図、第9図は従来の浮上面レールのR面取り方法を
示す図である。 図において、1はコアスライダ、4は磁気記録円板、9
は流入斜面、10、11は浮上面レール、12はコアスライダ
ブロック、13は分離位置、15aは弾性シート、16は研磨
部材、17は接着ブロック、21は主軸をそれぞれ示す。
1 and 2 are views for explaining the basic principle of the method of manufacturing a magnetic head according to the present invention, and FIG. 3 is a perspective view illustrating an apparatus for carrying out the method of the present invention. 4 is a side view showing a state in which information is recorded / reproduced by a magnetic head, FIG. 5 is a perspective view of a core slider and a side view of an inflow slope portion, and FIG. 6 is a core before formation of an inflow slope. FIG. 7 is a perspective view of a slider block, FIG. 7 is a rear view of a core slider block after forming an inflow slope, and FIGS. 8 and 9 are views showing a conventional R chamfering method for an air bearing surface rail. In the figure, 1 is a core slider, 4 is a magnetic recording disk, and 9 is a magnetic recording disk.
Is an inflow slope, 10 and 11 are air bearing rails, 12 is a core slider block, 13 is a separating position, 15a is an elastic sheet, 16 is a polishing member, 17 is an adhesive block, and 21 is a spindle.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】磁気ヘッドのスライダにおける浮上面レー
ルの周縁の角を面取りしRを付ける方法であって、 複数個のスライダに分離する前のスライダブロックを、
弾性シート上の研磨部材(16)に載置して荷重をかけた
とき、浮上面レールの周縁が研磨部材(16)に対し所定
の食い込み量で食い込むような硬度の弾性シートを用い
ることによって、前記研磨部材(16)をスライダブロッ
ク(12)の隣接する浮上面レールの間に前記弾性シート
の弾性変形により所定の食い込み量で食い込ませるこ
と、 前記のスライダブロック(12)を研磨部材(16)の面に
対し直線方向に相対的に、かつ自動的に往復動させるこ
と、 この往復動の際に、スライダブロック(12)が貼り付け
られた接着ブロック(17)の上に、重りなどによる荷重
を作用させることで、スライダブロック(12)と研磨部
材(16)の面との接触圧を一定に維持すること、 スライダブロック(12)の浮上面レールが、往復動方向
に対し一定の角度±θで傾斜していること、 往復動方向に対し+θ方向の往復動回数と−θ方向の往
復動回数を同等とすること、 を特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
1. A method for chamfering a corner of a peripheral edge of an air bearing surface rail of a slider of a magnetic head to attach R, wherein a slider block before being separated into a plurality of sliders is provided.
By using an elastic sheet having a hardness such that the peripheral edge of the air bearing surface bites into the polishing member (16) by a predetermined amount when placed on the polishing member (16) on the elastic sheet and subjected to a load, Causing the polishing member (16) to bite between adjacent air bearing rails of the slider block (12) by a predetermined amount of biting due to elastic deformation of the elastic sheet, and the slider block (12) to the polishing member (16) Automatically and reciprocally in a straight line direction with respect to the surface of the slider, and at the time of this reciprocating movement, load such as a weight on the adhesive block (17) to which the slider block (12) is attached. To keep the contact pressure between the slider block (12) and the surface of the polishing member (16) constant, and the air bearing surface rail of the slider block (12) has a constant angle ± with respect to the reciprocating direction. at θ That it is obliquely, to equal the reciprocation number of the reciprocating number and -θ direction with respect to the reciprocating direction + theta direction, the method of manufacturing the magnetic head according to claim.
【請求項2】磁気ヘッドのスライダにおける浮上面レー
ルの周縁の角を面取りしRを付ける方法であって、 複数個のスライダに分離する前のスライダブロックを、
弾性シート上の研磨部材(16)に載置して荷重をかけた
とき、浮上面レールの周縁が研磨部材(16)に対し所定
の食い込み量で食い込むような硬度の弾性シートを用い
ることによって、前記研磨部材(16)をスライダブロッ
ク(12)の隣接する浮上面レールの間に前記弾性シート
の弾性変形により所定の食い込み量で食い込ませるこ
と、 前記のスライダブロック(12)を研磨部材(16)の面に
対し直線方向に相対的に、かつ自動的に往復動させると
ともに、進行方向に対し流入斜面が前端に位置し、記録
/再生素子部が後端に位置するときのみ研磨部材(16)
と接触させること、 少なくとも流入斜面が前向きで移動するときのみ、スラ
イダブロック(12)が貼り付けられた接着ブロック(1
7)の上に、重りなどによる荷重を作用させることで、
スライダブロック(12)と研磨部材(16)の面との接触
圧を一定に維持すること、 スライダブロック(12)の浮上面レールが、進行方向に
対し一定の角度±θで傾斜していること、 往復動方向に対し+θ向きの移動回数と−θ向きの移動
回数を同等とすること、 を特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
2. A method of chamfering the corners of the peripheral edge of an air bearing surface rail in a slider of a magnetic head to give R, wherein a slider block before being separated into a plurality of sliders is provided.
By using an elastic sheet having a hardness such that the peripheral edge of the air bearing surface bites into the polishing member (16) by a predetermined amount when placed on the polishing member (16) on the elastic sheet and subjected to a load, Causing the polishing member (16) to bite between adjacent air bearing rails of the slider block (12) by a predetermined amount of biting due to elastic deformation of the elastic sheet, and the slider block (12) to the polishing member (16) Of the polishing member (16) only when the inflow slope is located at the front end and the recording / reproducing element part is located at the rear end relative to the traveling direction.
Contact with the slider block (12) at least when the inflow slope moves forward.
By applying a load such as a weight on 7),
The contact pressure between the slider block (12) and the surface of the polishing member (16) is kept constant, and the air bearing surface rail of the slider block (12) is inclined at a constant angle ± θ with respect to the traveling direction. The method of manufacturing a magnetic head is characterized in that the number of movements in the + θ direction and the number of movements in the −θ direction are equal to the reciprocating direction.
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