JPH08210807A - 測定顕微鏡の角度測定装置 - Google Patents
測定顕微鏡の角度測定装置Info
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- JPH08210807A JPH08210807A JP28454295A JP28454295A JPH08210807A JP H08210807 A JPH08210807 A JP H08210807A JP 28454295 A JP28454295 A JP 28454295A JP 28454295 A JP28454295 A JP 28454295A JP H08210807 A JPH08210807 A JP H08210807A
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- reticle
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/04—Measuring microscopes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/24—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
Abstract
(57)【要約】
【課題】二次元対象の角度測定値を誤差なく且つ客観的
に構成できると共に、操作容易で切換自在な顕微鏡用角
度測定装置を提供する。 【解決手段】モジュールとして構成し、レチクル（２）
の回転を角度コーダ（３）によって行う顕微鏡用角度測
定装置。角度コーダ（３）のコードを含むトラックを回
転自在のレチクル（２）に設置できるし、或いは、角度
コーダ（３）とレチクル（２）との間は、たるみおよび
スリップのない伝達ベルト（５）で結合できる。抜差自
在モジュール（１）は、測定顕微鏡の対応する開口に導
入され、かくして、レチクル（２）は、直接、光軸
（７）に垂直な中間像面に置かれる。
に構成できると共に、操作容易で切換自在な顕微鏡用角
度測定装置を提供する。 【解決手段】モジュールとして構成し、レチクル（２）
の回転を角度コーダ（３）によって行う顕微鏡用角度測
定装置。角度コーダ（３）のコードを含むトラックを回
転自在のレチクル（２）に設置できるし、或いは、角度
コーダ（３）とレチクル（２）との間は、たるみおよび
スリップのない伝達ベルト（５）で結合できる。抜差自
在モジュール（１）は、測定顕微鏡の対応する開口に導
入され、かくして、レチクル（２）は、直接、光軸
（７）に垂直な中間像面に置かれる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、回転自在のレチク
ルを使用する測定顕微鏡の角度測定装置に関する。
ルを使用する測定顕微鏡の角度測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】測定顕微鏡は、主として、二次元測定に
使用される。この場合、特に、微細な物体の２つの点の
間の長さ測定が対象となる。しかしながら、しばしば、
物体構造内の角度の測定も極めて重要である。公知の測
定顕微鏡の場合、このため、概ね、双眼鏡筒を除去し、
レチクルを含む回転自在のアイピースと置換える。更
に、本来のレチクルよりも大きいデイスクを使用して、
補助読取装置−例えば、ルーペーによって上記デイスク
の外縁の角度測定を実施する方法例も既知である（ニコ
ン“分度器アイピース”）。更に、回転自在のレチクル
と、アイピースに測定値を投影するミラーとを有する角
度測定装置を固定時に組込んだ装置も公知である（ライ
ツ・ＷＭ・顕微鏡）。
使用される。この場合、特に、微細な物体の２つの点の
間の長さ測定が対象となる。しかしながら、しばしば、
物体構造内の角度の測定も極めて重要である。公知の測
定顕微鏡の場合、このため、概ね、双眼鏡筒を除去し、
レチクルを含む回転自在のアイピースと置換える。更
に、本来のレチクルよりも大きいデイスクを使用して、
補助読取装置−例えば、ルーペーによって上記デイスク
の外縁の角度測定を実施する方法例も既知である（ニコ
ン“分度器アイピース”）。更に、回転自在のレチクル
と、アイピースに測定値を投影するミラーとを有する角
度測定装置を固定時に組込んだ装置も公知である（ライ
ツ・ＷＭ・顕微鏡）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】アイピースのこれらの
公知の角度測定装置には、一方では、双眼鏡筒から単眼
アイピースへの組替えが必要であるという欠点がある。
更に、ライツの公知の内蔵式装置も、モジュール構造で
はなく、従って、本来の基本装置にコスト負荷を与える
という欠点がある。更に、従来の角度測定装置にはスケ
ールの度および分の読取が、常に、誤差源となるという
欠点があり、また、表示をゼロにセットできないので、
測定値を求めるには初期値および最終値の減算が必要で
あることも欠点とみなされる。
公知の角度測定装置には、一方では、双眼鏡筒から単眼
アイピースへの組替えが必要であるという欠点がある。
更に、ライツの公知の内蔵式装置も、モジュール構造で
はなく、従って、本来の基本装置にコスト負荷を与える
という欠点がある。更に、従来の角度測定装置にはスケ
ールの度および分の読取が、常に、誤差源となるという
欠点があり、また、表示をゼロにセットできないので、
測定値を求めるには初期値および最終値の減算が必要で
あることも欠点とみなされる。
【０００４】従って、本発明の課題は、公知の顕微鏡の
欠点を避け、他の切換方策を必要とすることなく使用で
きる操作容易で顕微鏡に対し切換自在な顕微鏡用角度測
定装置を提供することにある。
欠点を避け、他の切換方策を必要とすることなく使用で
きる操作容易で顕微鏡に対し切換自在な顕微鏡用角度測
定装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この課題は、本発明にも
とづき、レチクルの回転を角度コーダの回転と関連させ
た、冒頭に述べた種類の角度測定装置によって解決され
る。即ち、本発明の角度測定装置は、レチクルの回転が
角度コーダの回転に連結されていることを特徴とする
（請求項１）。
とづき、レチクルの回転を角度コーダの回転と関連させ
た、冒頭に述べた種類の角度測定装置によって解決され
る。即ち、本発明の角度測定装置は、レチクルの回転が
角度コーダの回転に連結されていることを特徴とする
（請求項１）。
【０００６】
【発明の実施の形態】この場合、角度コーダの１つまた
は複数のコードを含む１つまたは複数のトラック(Spur)
を回転自在のレチクルに関連して配設できる、即ち、レ
チクルまたはレチクル・フレームに配設することができ
る（請求項２）。更に、レチクルと角度コードとの間に
おいて、伝達ベルトの形でたるみおよびスリップのない
結合を達成できる（請求項３）。
は複数のコードを含む１つまたは複数のトラック(Spur)
を回転自在のレチクルに関連して配設できる、即ち、レ
チクルまたはレチクル・フレームに配設することができ
る（請求項２）。更に、レチクルと角度コードとの間に
おいて、伝達ベルトの形でたるみおよびスリップのない
結合を達成できる（請求項３）。
【０００７】特に有利な実施の形態は、角度測定装置
が、抜差（差込）自在モジュールとして構成され、レチ
クルが、顕微鏡の中間像面の作用位置において顕微鏡光
軸に垂直に位置決めされることを特徴とする（請求項
４）。更に、レチクルが抜差自在モジュール内に交換自
在に保持さるよう、装置を構成できる（請求項５）。角
度コーダを外部の表示ユニットに接続すれば有利である
（請求項６）。
が、抜差（差込）自在モジュールとして構成され、レチ
クルが、顕微鏡の中間像面の作用位置において顕微鏡光
軸に垂直に位置決めされることを特徴とする（請求項
４）。更に、レチクルが抜差自在モジュール内に交換自
在に保持さるよう、装置を構成できる（請求項５）。角
度コーダを外部の表示ユニットに接続すれば有利である
（請求項６）。
【０００８】これを要するに、本発明は、モジュール形
角度測定装置によって顕微鏡の中間像面に置き得る回転
自在のレチクルを有し、該レチクルの回転角度をコード
化する角度コーダを介して微細な物体構造の角度を求
め、得られた角度値を表示する表示ユニットを有するこ
とを特徴とする角度測定装置を提供する。
角度測定装置によって顕微鏡の中間像面に置き得る回転
自在のレチクルを有し、該レチクルの回転角度をコード
化する角度コーダを介して微細な物体構造の角度を求
め、得られた角度値を表示する表示ユニットを有するこ
とを特徴とする角度測定装置を提供する。
【０００９】
【実施例】図面を参照して、以下に、本発明の実施例を
説明する。
説明する。
【００１０】図１に、測定顕微鏡（図示してない）の対
応する開口に挿入できる長いスライダとして構成された
抜差自在モジュール１を示した。測定顕微鏡の光軸７
は、紙面および回転自在に保持されたレチクル２に垂直
である。図１に示した如く、レチクル２は、中心におい
て６０°で交差する２つの直径方向基準線９，１０を有
する。角度コーダ３は、円板として示してある。角度コ
ーダ３とレチクル２またはレチクル２のフレーム(Fassu
ng)との間には、例えば、たるみおよびスリップのない
鋼ベルトないし強化繊維ないしワイヤ入り複合材料製で
あってよい伝達ベルト５（この場合無端伝導手段ないし
タイミングベルト）が設けてある。
応する開口に挿入できる長いスライダとして構成された
抜差自在モジュール１を示した。測定顕微鏡の光軸７
は、紙面および回転自在に保持されたレチクル２に垂直
である。図１に示した如く、レチクル２は、中心におい
て６０°で交差する２つの直径方向基準線９，１０を有
する。角度コーダ３は、円板として示してある。角度コ
ーダ３とレチクル２またはレチクル２のフレーム(Fassu
ng)との間には、例えば、たるみおよびスリップのない
鋼ベルトないし強化繊維ないしワイヤ入り複合材料製で
あってよい伝達ベルト５（この場合無端伝導手段ないし
タイミングベルト）が設けてある。
【００１１】図２に、測定顕微鏡の開口に二重矢印４の
方向へ挿入できるコンパクトな抜差自在モジュール１を
示した。作用位置では、レチクル２の中心は、正確に、
全系の光軸７にある。図２の全体図において、伝達ベル
ト５は、抜差自在モジュール１の上部カバーによって被
われ見えない。本来の角度コーダ３の下方には、取手
（ノブ）６が設けてあり、オペレータは、この取手によ
って、角度コーダを作動させ、かくして、レチクル２を
正しい方位角位置に置くことができる。
方向へ挿入できるコンパクトな抜差自在モジュール１を
示した。作用位置では、レチクル２の中心は、正確に、
全系の光軸７にある。図２の全体図において、伝達ベル
ト５は、抜差自在モジュール１の上部カバーによって被
われ見えない。本来の角度コーダ３の下方には、取手
（ノブ）６が設けてあり、オペレータは、この取手によ
って、角度コーダを作動させ、かくして、レチクル２を
正しい方位角位置に置くことができる。
【００１２】図示の解決法の場合、角度コーダ３は、回
転自在なレチクル２に直接には結合されてなく、たるみ
のない伝達ベルト５を介してレチクルに結合されている
が、本発明の枠内において、角度コーダのコードを、直
接に、レチクル２の周縁範囲またはレチクル・フレーム
の周縁にも配置できる。図示の実施例の場合、角度コー
ダ３は、顕微鏡（図示してない）から側方へ突出し、従
って、オペレータは、人間工学的に好適な位置におい
て、角度調節のため取手６を操作できる。なお、角度コ
ーダとしては精密な角度をコード化できるものでコンパ
クトなものを適宜選択して用いる。なお伝達ベルト５は
１対１（無変速）でよいが必要に応じ所定の変速比（１
より大又は小）をもたせてもよい。
転自在なレチクル２に直接には結合されてなく、たるみ
のない伝達ベルト５を介してレチクルに結合されている
が、本発明の枠内において、角度コーダのコードを、直
接に、レチクル２の周縁範囲またはレチクル・フレーム
の周縁にも配置できる。図示の実施例の場合、角度コー
ダ３は、顕微鏡（図示してない）から側方へ突出し、従
って、オペレータは、人間工学的に好適な位置におい
て、角度調節のため取手６を操作できる。なお、角度コ
ーダとしては精密な角度をコード化できるものでコンパ
クトなものを適宜選択して用いる。なお伝達ベルト５は
１対１（無変速）でよいが必要に応じ所定の変速比（１
より大又は小）をもたせてもよい。
【００１３】表示ユニットは記憶手段、データ処理演算
手段を備え、角度コードデータを、角度値に演算して表
示する。なお、演算処理機能は角度コーダに組込むこと
もできる。さらにこの表示ユニットを介し又は介さずし
て、外部へコードデータを出力し、或いは、他の記憶又
は制御手段に接続させることもできる。角度測定の表示
−図２に模式的に示した表示ユニット８参照−は、任意
の時点にゼロにセットできる。更に、角度コーダを適切
に選択すれば、従来の系に比して精度が明らかに向上さ
れる。測定値を更に処理しプリンタに出力することもで
きるが、これは、公知の一般技術を用いて、直ちに可能
であり、本発明では詳述を省く。
手段を備え、角度コードデータを、角度値に演算して表
示する。なお、演算処理機能は角度コーダに組込むこと
もできる。さらにこの表示ユニットを介し又は介さずし
て、外部へコードデータを出力し、或いは、他の記憶又
は制御手段に接続させることもできる。角度測定の表示
−図２に模式的に示した表示ユニット８参照−は、任意
の時点にゼロにセットできる。更に、角度コーダを適切
に選択すれば、従来の系に比して精度が明らかに向上さ
れる。測定値を更に処理しプリンタに出力することもで
きるが、これは、公知の一般技術を用いて、直ちに可能
であり、本発明では詳述を省く。
【００１４】
【発明の効果】本発明によれば、アイピースの取替を要
せず、操作容易で切換自在であり、他の切換手段・操作
を必要としない顕微鏡角度測定装置が提供される（請求
項１、７）。レチクルの回転角度を直接角度コーダに機
能的に結合しているため、角度スケールの読取誤差が生
じない。表示のゼロ設定も容易であり、最終値から初期
値をその都度減算する必要もなく、角度の正確かつ容易
な測定が可能である。
せず、操作容易で切換自在であり、他の切換手段・操作
を必要としない顕微鏡角度測定装置が提供される（請求
項１、７）。レチクルの回転角度を直接角度コーダに機
能的に結合しているため、角度スケールの読取誤差が生
じない。表示のゼロ設定も容易であり、最終値から初期
値をその都度減算する必要もなく、角度の正確かつ容易
な測定が可能である。
【００１５】各従属請求項２〜６によってさらに夫々付
加的な効果が得られる。レチクルにコード化トラックを
配設することによって、コード化の精度、従って角度の
読取り精度が増大する（請求項２）。伝達ベルトによっ
て、レチクル軸と離れた位置にあるレチクル角度の角度
コーダとの角度の結合が、簡単かつ確実に達成されると
共に、角度コーダを顕微鏡光軸外に配置でき、レチクル
の回転操作のためのノブの付設を可能にする（請求項
３）。抜差自在モジュール化によって、顕微鏡に対応ス
ライド機構を予め設けておくことによって、顕微鏡光軸
へのレチクル中心のセットが容易となる（請求項４）。
レチクル自体をモジュールに対し交換自在とできる（請
求項５）ので、応用範囲が拡大する。表示ユニットは外
部に接続でき、演算処理、記憶も可能である（請求項
６）。
加的な効果が得られる。レチクルにコード化トラックを
配設することによって、コード化の精度、従って角度の
読取り精度が増大する（請求項２）。伝達ベルトによっ
て、レチクル軸と離れた位置にあるレチクル角度の角度
コーダとの角度の結合が、簡単かつ確実に達成されると
共に、角度コーダを顕微鏡光軸外に配置でき、レチクル
の回転操作のためのノブの付設を可能にする（請求項
３）。抜差自在モジュール化によって、顕微鏡に対応ス
ライド機構を予め設けておくことによって、顕微鏡光軸
へのレチクル中心のセットが容易となる（請求項４）。
レチクル自体をモジュールに対し交換自在とできる（請
求項５）ので、応用範囲が拡大する。表示ユニットは外
部に接続でき、演算処理、記憶も可能である（請求項
６）。
【図１】抜差自在モジュールの平面図である。
【図２】表示装置を結合した抜差自在モジュールの斜視
図である。
図である。
１ 抜差自在モジュール ２ レチクル ３ 角度コーダ ５ 伝達ベルト ６ 取手 ７ 光軸 ８ 表示ユニット
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ゲルホルト ガルキッシュ オーストリア、1040 ウィーン、シュライ フミュールガッセ ３／12アー
Claims (7)
- 【請求項１】回転自在のレチクルを有する測定顕微鏡の
角度測定装置において、レチクル（２）の回転が、角度
コーダ（３）の回転に連結されていることを特徴とする
角度測定装置。 - 【請求項２】角度コーダ（３）のコードを含む１つまた
は複数のトラックが、回転自在のレチクル（２）に関連
して配設してあることを特徴とする請求項１の角度測定
装置。 - 【請求項３】レチクル（２）と角度コーダ（３）との間
には、伝達ベルト（５）の形でたるみおよびスリップの
ない結合がなされていることを特徴とする請求項１の角
度測定装置。 - 【請求項４】該角度測定装置が、抜差自在モジュール
（１）として構成され、レチクル（２）が、顕微鏡の中
間像面の作用位置において顕微鏡光軸（７）に垂直に位
置決めされることを特徴とする請求項１−３の１つに記
載の角度測定装置。 - 【請求項５】レチクル（２）が、抜差自在モジュール
（１）内に交換自在に保持されていることを特徴とする
請求項１−４の１つに記載の角度測定装置。 - 【請求項６】角度コーダ（３）が、外部の表示ユニット
（８）に接続されていることを特徴とする請求項１−５
の１つに記載の角度測定装置。 - 【請求項７】モジュール形角度測定装置によって顕微鏡
の中間像面に置き得る回転自在のレチクル（２）を有
し、該レチクルの回転角度をコード化する角度コーダ
（３）を介して微細な物体構造の角度を求め、得られた
角度値を表示する表示ユニット（８）を有することを特
徴とする角度測定装置。
Applications Claiming Priority (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE4435254 | 1994-10-05 | ||
| DE19500355A DE19500355A1 (de) | 1994-10-05 | 1995-01-09 | Winkelmeß-Einrichtung zu einem Meßmikroskop |
| DE19500355.1 | 1995-01-09 | ||
| DE4435254.9 | 1995-01-09 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08210807A true JPH08210807A (ja) | 1996-08-20 |
Family
ID=25940693
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28454295A Pending JPH08210807A (ja) | 1994-10-05 | 1995-10-05 | 測定顕微鏡の角度測定装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08210807A (ja) |
| DE (1) | DE29520929U1 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102426008A (zh) * | 2011-11-17 | 2012-04-25 | 四川红光汽车机电有限公司 | Ccd测角装置 |
| CN109099868A (zh) * | 2018-06-29 | 2018-12-28 | 安徽益佳通电池有限公司 | 一种动力电池模组钢带长度测量装置 |
-
1995
- 1995-01-09 DE DE29520929U patent/DE29520929U1/de not_active Expired - Lifetime
- 1995-10-05 JP JP28454295A patent/JPH08210807A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102426008A (zh) * | 2011-11-17 | 2012-04-25 | 四川红光汽车机电有限公司 | Ccd测角装置 |
| CN109099868A (zh) * | 2018-06-29 | 2018-12-28 | 安徽益佳通电池有限公司 | 一种动力电池模组钢带长度测量装置 |
| CN109099868B (zh) * | 2018-06-29 | 2020-08-18 | 安徽益佳通电池有限公司 | 一种动力电池模组钢带长度测量装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE29520929U1 (de) | 1996-05-15 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20000111 |