JPH0820386B2 - Ｘ線分析装置 - Google Patents
Ｘ線分析装置Info
- Publication number
- JPH0820386B2 JPH0820386B2 JP61250436A JP25043686A JPH0820386B2 JP H0820386 B2 JPH0820386 B2 JP H0820386B2 JP 61250436 A JP61250436 A JP 61250436A JP 25043686 A JP25043686 A JP 25043686A JP H0820386 B2 JPH0820386 B2 JP H0820386B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- integration time
- time
- sample
- measurement
- counting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 イ．産業上の利用分野 本発明は、複数の分光器を備え、試料の複数成分の同
時並行的な経時的測定に適するＸ線分析装置に関する。
時並行的な経時的測定に適するＸ線分析装置に関する。
ロ．従来の技術 複数の分光器を備えたＸ線分析装置において、試料を
分析する場合、積分する試料中の元素によって計数率が
異なっているのが普通である。従って、各元素の適正な
積分時間はその元素の計数率によって決定するから、適
正な積分時間は各元素において各々異なっている。
分析する場合、積分する試料中の元素によって計数率が
異なっているのが普通である。従って、各元素の適正な
積分時間はその元素の計数率によって決定するから、適
正な積分時間は各元素において各々異なっている。
従来においては、連続走行している試料の分析では、
複数の分光器の積分時間の設定は、個々の分光器の適正
積分時間を設定するのではなく、全分光器を同一積分時
間に設定し、その積分時間を一周期として、連続走行試
料を長さ方向に分析している。従って、分析データはそ
の一周期の長さの間の平均値である。その積分時間の決
定方法として、計数率が最も小さい元素における分析値
のS/N値が適当になるよな積分時間に設定する方法が用
いられている。そのために、計数率の高い元素に対応す
る分光器の積分時間が不必要に長くなり、無駄な測定を
行っているという問題点があった。
複数の分光器の積分時間の設定は、個々の分光器の適正
積分時間を設定するのではなく、全分光器を同一積分時
間に設定し、その積分時間を一周期として、連続走行試
料を長さ方向に分析している。従って、分析データはそ
の一周期の長さの間の平均値である。その積分時間の決
定方法として、計数率が最も小さい元素における分析値
のS/N値が適当になるよな積分時間に設定する方法が用
いられている。そのために、計数率の高い元素に対応す
る分光器の積分時間が不必要に長くなり、無駄な測定を
行っているという問題点があった。
ハ．発明が解決しようとする問題点 本発明は、積分時間を全分光器で同一とするために、
計数率の高い元素に対応する測定系の積分時間が不必要
に長くなり、測定に無駄があると云う問題点を解消し、
計数率の高い元素程単位時間の測定回数を増やし、分析
の効率化を計ることを目的とする。
計数率の高い元素に対応する測定系の積分時間が不必要
に長くなり、測定に無駄があると云う問題点を解消し、
計数率の高い元素程単位時間の測定回数を増やし、分析
の効率化を計ることを目的とする。
ニ．問題点解決のための手段 分光・検出・計数を行う分光測定系を複数組を備えた
Ｘ線分析装置において、各組の積分時間を計数率に応じ
て個々に設定する手段と、各組の測定信号を随時処理す
る手段を設けた。
Ｘ線分析装置において、各組の積分時間を計数率に応じ
て個々に設定する手段と、各組の測定信号を随時処理す
る手段を設けた。
ホ．作用 複数の分光測定系を備えたＸ線分析装置において、分
析元素毎に計数率に応じた適正な積分時間を設定し、積
分測定終了した分光測定系は他の分光測定系とは独立し
て積分データを処理し、処理した分光結果を随時表示し
ていくことにより、計数率の高い元素程単位時間におけ
る分析回数を増やすことができるので、分析結果表示の
迅速化及び長尺物の分析の詳細化が計れた。
析元素毎に計数率に応じた適正な積分時間を設定し、積
分測定終了した分光測定系は他の分光測定系とは独立し
て積分データを処理し、処理した分光結果を随時表示し
ていくことにより、計数率の高い元素程単位時間におけ
る分析回数を増やすことができるので、分析結果表示の
迅速化及び長尺物の分析の詳細化が計れた。
ヘ．実施例 第１図に本発明の一実施例を示す。第１図において、
Ｓは試料、１はＸ線管で試料Ｓを励起させて、蛍光Ｘ線
を放出させる励起用Ｘ線を放射する。２は分光器で試料
Ｓを囲んで配置され、試料から放出された蛍光Ｘ線か
ら、測定したい元素の特性蛍光Ｘ線を分光する。３は検
出器で分光器２で分光された蛍光Ｘ線を検出する。４は
パルス整形回路で検出器３から出力される信号パルスを
増幅し、一定の波形に整形する。５は測定の積分時間を
設定するゲート回路で、コントローラ７からの制御信号
により、パルス整形回路４からスケーラー６への出力信
号の移送を制御する。従ってゲート回路５のゲート開時
間が積分時間となる。スケーラー６はゲート回路５を通
って送られてきた検出信号を計数する。分光器2,検出器
3,パルス整形回路4,ゲート回路5,スケーラー６は、分析
する元素毎に設けられ夫々分光測定系を構成している。
夫々の分光測定系における積分時間の設定は、ゲート回
路５の開時間をコントローラ７で制御することによって
行い。夫々の分析データの処理はコントローラ７内の信
号処理系が夫々のスケーラー６のデータを読み取って行
っている。
Ｓは試料、１はＸ線管で試料Ｓを励起させて、蛍光Ｘ線
を放出させる励起用Ｘ線を放射する。２は分光器で試料
Ｓを囲んで配置され、試料から放出された蛍光Ｘ線か
ら、測定したい元素の特性蛍光Ｘ線を分光する。３は検
出器で分光器２で分光された蛍光Ｘ線を検出する。４は
パルス整形回路で検出器３から出力される信号パルスを
増幅し、一定の波形に整形する。５は測定の積分時間を
設定するゲート回路で、コントローラ７からの制御信号
により、パルス整形回路４からスケーラー６への出力信
号の移送を制御する。従ってゲート回路５のゲート開時
間が積分時間となる。スケーラー６はゲート回路５を通
って送られてきた検出信号を計数する。分光器2,検出器
3,パルス整形回路4,ゲート回路5,スケーラー６は、分析
する元素毎に設けられ夫々分光測定系を構成している。
夫々の分光測定系における積分時間の設定は、ゲート回
路５の開時間をコントローラ７で制御することによって
行い。夫々の分析データの処理はコントローラ７内の信
号処理系が夫々のスケーラー６のデータを読み取って行
っている。
このような構成において、Ｘ線管１から試料ＳにＸ線
を発射すると、試料Ｓから蛍光Ｘ線が放出される。この
蛍光Ｘ線から夫々の分光器で分析したい特性Ｘ線を分光
して、検出器３で検出する。検出された検出信号はパル
ス整形回路で波形整形がなされ、ゲート回路が開状態の
時間だけスケーラー６で計数される。
を発射すると、試料Ｓから蛍光Ｘ線が放出される。この
蛍光Ｘ線から夫々の分光器で分析したい特性Ｘ線を分光
して、検出器３で検出する。検出された検出信号はパル
ス整形回路で波形整形がなされ、ゲート回路が開状態の
時間だけスケーラー６で計数される。
積分時間即ちゲート回路５の開時間は、コントローラ
７によって元素毎に適当なS/N値になるように制御され
ているから、計数率の高い順にゲート回路５が閉じら
れ、一回の測定が終了する。一回の測定が終了すると、
再びゲート回路５が所定時間開いて、２回目の測定が行
われ、以後同様の動作が試料が続いている間繰り返され
る。第２図は各分析測定系のゲート回路５の制御信号図
である。Ｂが計数率が高い元素を測定する場合で、Ｃが
計数率が一番低い元素を測定する場合のゲート開信号を
示す。従来は、このＣのゲート開信号が全分析測定系で
用いられていた。測定が終了した分析測定系のスケーラ
ー６の積分データを随時コントローラ７で読み取り、表
示装置（不図示）によって表示する。
７によって元素毎に適当なS/N値になるように制御され
ているから、計数率の高い順にゲート回路５が閉じら
れ、一回の測定が終了する。一回の測定が終了すると、
再びゲート回路５が所定時間開いて、２回目の測定が行
われ、以後同様の動作が試料が続いている間繰り返され
る。第２図は各分析測定系のゲート回路５の制御信号図
である。Ｂが計数率が高い元素を測定する場合で、Ｃが
計数率が一番低い元素を測定する場合のゲート開信号を
示す。従来は、このＣのゲート開信号が全分析測定系で
用いられていた。測定が終了した分析測定系のスケーラ
ー６の積分データを随時コントローラ７で読み取り、表
示装置（不図示）によって表示する。
この実施例では、積分時間を測定前に適当に設定して
いるが、積分時間をある設定値まで計数した時点までと
する定計数法で行っても、同じ効果が期待出来る。
いるが、積分時間をある設定値まで計数した時点までと
する定計数法で行っても、同じ効果が期待出来る。
ト．効果 本発明によれば、各元素に対応する分析系統におい
て、不必要に長い積分時間をとることが無くなり、計数
率に応じた適正積分時間を設定することにより、高計数
率の元素程、細かい周期で分析できるようになったの
で、長尺物の高濃度元素に対する分析の詳細化即ち短時
間で結果の得られる元素については、それに応じて短い
長さ範囲毎に分析データが得られ、また、結果表示にお
いて、分析に一番長時間を要する最低濃度元素（於測定
元素内）についての結果が出るまで待たないで、他の高
濃度元素（最低濃度元素に比し）の分析データを刻々と
表示でき、試料の経時的変化が速やかに分かる利点があ
る。
て、不必要に長い積分時間をとることが無くなり、計数
率に応じた適正積分時間を設定することにより、高計数
率の元素程、細かい周期で分析できるようになったの
で、長尺物の高濃度元素に対する分析の詳細化即ち短時
間で結果の得られる元素については、それに応じて短い
長さ範囲毎に分析データが得られ、また、結果表示にお
いて、分析に一番長時間を要する最低濃度元素（於測定
元素内）についての結果が出るまで待たないで、他の高
濃度元素（最低濃度元素に比し）の分析データを刻々と
表示でき、試料の経時的変化が速やかに分かる利点があ
る。
第１図は本発明の一実施例のブロック図、第２図は同実
施例における試料の分析のタイムチャートである。 Ｓ……試料,1……Ｘ線管,2……分光器,3……検出器,4…
…パルス整形回路,5……ゲート回路,6……スケーラー,7
……コントローラ。
施例における試料の分析のタイムチャートである。 Ｓ……試料,1……Ｘ線管,2……分光器,3……検出器,4…
…パルス整形回路,5……ゲート回路,6……スケーラー,7
……コントローラ。
Claims (1)
- 【請求項１】Ｘ線の分光・検出・計数を行う分光測定系
を複数組備え、各組の積分時間を夫々の組が測定しよう
とする成分の積分出力が略同じになるように計数率に応
じて、計数率が大なる程短く設定する手段と、各組毎に
その組に設定された積分時間終了毎に積分データを処理
する動作を繰返すコントローラとを設けたことを特徴と
するＸ線分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61250436A JPH0820386B2 (ja) | 1986-10-21 | 1986-10-21 | Ｘ線分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61250436A JPH0820386B2 (ja) | 1986-10-21 | 1986-10-21 | Ｘ線分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63103955A JPS63103955A (ja) | 1988-05-09 |
| JPH0820386B2 true JPH0820386B2 (ja) | 1996-03-04 |
Family
ID=17207849
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61250436A Expired - Lifetime JPH0820386B2 (ja) | 1986-10-21 | 1986-10-21 | Ｘ線分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0820386B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012508379A (ja) * | 2008-11-04 | 2012-04-05 | サーモ ニトン アナライザーズ リミテッド ライアビリティ カンパニー | Ｘ線検出器のシェーピング時間の動的変更 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60179642A (ja) * | 1984-02-28 | 1985-09-13 | Shimadzu Corp | 多チヤンネル型螢光ｘ線分析装置 |
-
1986
- 1986-10-21 JP JP61250436A patent/JPH0820386B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63103955A (ja) | 1988-05-09 |
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