JPH08201063A

JPH08201063A - 圧電振動体

Info

Publication number: JPH08201063A
Application number: JP7014804A
Authority: JP
Inventors: Mutsuaki Hirota; 睦明廣田
Original assignee: Kyocera Corp
Current assignee: Kyocera Corp
Priority date: 1995-01-31
Filing date: 1995-01-31
Publication date: 1996-08-09

Abstract

(57)【要約】【目的】本発明は、検出電極の形成が容易で、圧電基
板を小型化するとともに、保持構造が簡単となる圧電振
動体を提供する。【構成】駆動電極３１〜３４、４１〜４４を有する振
動枝３、４、及び駆動入力電極５１、５２を有する中間
保持枝５から成る駆動側振動部１Ａと、検出電極６１〜
６４、７１〜７４を有する振動枝６、７、及び検出出力
電極８１、８２を有する中間保持枝８から成る検出側振
動部１Ａとを結合基部を挟んで一体的に配置して成る圧
電振動体であり、中間保持枝５、８は、各振動枝３、
４、６、７と同一長さ方向に延出し、特に、検出電極、
中間保持枝５、８の駆動入力電極、検出出力電極が、圧
電振動体１の両主面に形成されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、角速度センサに用いる
圧電振動体に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】カメラのブレ補正、自動車のナビゲーシ
ョン、移動体の姿勢制御に用いられる角速度センサが種
々提案されている。

【０００３】例えば、米国特許明細書第４５２４６１９
号や特開平３−２９１５１７号などは、駆動側の音叉形
状の振動部と音叉形状の検出側振動部が一体化され、圧
電基板が全体としてＨ字状となった音叉振動モードも利
用した圧電振動体を有する角速度センサが提案されてい
る。

【０００４】この圧電振動体９１は、図８に示すよう
に、基本的には、Ｈ状の圧電基板、即ち結合基部９２を
挟んで両端面方向に駆動側振動部９１Ａ及び検出側振動
部９１Ｂが配置されている。

【０００５】また、駆動側振動部９１Ａの電極構造は、
２本の振動枝９３、９４の四つの側面は、それぞれ駆動
電極９３ａ〜９３ｄ、９４ａ〜９４ｄ（９３ｂ、９３
ｄ、９４ｂ、９４ｃは図に現れない）が夫々形成されて
いる。また、検出側振動部９１Ｂの電極構造は、２本の
振動枝９５、９６の夫々の側面には平行状態に配置され
た第１及び第２の検出電極９５ａ〜９５ｄ、９６ａ〜９
６ｄ（９５ａ、９５ｂ、９６ａ、９６ｂは図に現れな
い）が形成されている。

【０００６】具体的には、振動枝９５の圧電基板の他方
側面となる側面に、第１及び第２の検出電極９５ａ、９
５ｂが形成され、この側面と対を成す音叉内面側の側面
に第１及び第２の検出電極９５ｃ、９５ｄが形成され、
振動枝９６の音叉内面側の側面に第１及び第２の検出電
極９６ａ、９６ｂが形成され、この側面と対向する側
面、即ち圧電基板の一方側面となる側面に第１及び第２
の検出電極９６ｃ、９６ｄが形成されている。

【０００７】尚、駆動側振動部９１Ａと検出側振動部９
１Ｂの音叉振動モードでの固有共振周波数が異なるよう
に両振動部９１Ａ、９１Ｂの振動枝９３、９４、９５、
９６の長さや幅などが異なっている。

【０００８】この駆動側振動部９１Ａの振動枝９３、９
４の四側面に形成した駆動電極９３ａ〜９３ｄ、９４ａ
〜９４ｄに駆動用交番電圧を与えると、駆動側振動部９
１Ａは一平面内で音叉振動が発生する。尚、この状態で
は、両振動部９１Ａ、９１Ｂで固有共振周波数が異なる
ため、駆動振動部９１Ａの音叉振動によって、検出側振
動部９１Ｂが音叉共振することがない。

【０００９】ところが、この圧電振動体９１に回転運動
（角速度）が加わると、駆動側振動部９１Ｂの２つの振
動枝９３、９４はコリオリの力が作用して、回転運動の
角速度に比例した振幅で、圧電基板の平面に対して垂直
な方向に、交互に上下振動が発生する。この振動を以下
バタ足振動という。このバタ足振動は圧電基板全体に伝
わることになり、検出側振動部９１Ｂの第１及び第２検
出電極９５ａ〜９５ｄ、９６ａ〜９６ｄ間に、バタ足振
動方向、圧電基板の分極方向（水晶基板においては結晶
軸方向）によって決定された電界が発生することにな
り、所定角速度に対応した検出信号を抽出することがで
きる。

【００１０】尚、上述の圧電基板は、例えば結晶軸方向
を考慮して所定結晶面でカットされた水晶基板が用いら
れ、全体がＨ状となるようにエッチング処理された後、
圧電基板の両主面、該両主面と直交する両側面に夫々蒸
着法などによって各駆動電極９３ａ〜９３ｄ、９４ａ〜
９４ｄ、９５ａ〜９５ｄ、９６ａ〜９６ｄが被着形成さ
れて構成される。

【００１１】このような圧電振動体９１を角速度センサ
として用いる場合は、金属ステム基板（図示せず）など
に、駆動側及び検出側の各振動部を構成する振動枝９
３、９４、９５、９６が自由に振動できるように固定す
ることが重要である。

【００１２】このため、上述の従来の圧電振動体９１に
おいては、２つの振動部９１Ａ、９１Ｂを結合する結合
基部９２に、各振動枝９３、９４、９５、９６が延出す
る方向と直交する方向に保持枝９７、９８を設けてい
た。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】上述の圧電振動体９１
において、安定した特性を抽出するためには、検出側振
動部９１Ｂに形成する第１及び第２の検出電極９５ａ〜
９５ｄ、９６ａ〜９６ｄを高い精度でもって形成するこ
とが重要である。

【００１４】この点、従来の圧電振動体９１は、圧電基
板の側面を含む振動枝９５、９６の対向する１対の側面
に形成されている。即ち、２本の振動枝９５、９６が対
向しあう面に夫々第１及び第２の検出電極９５ａ〜９５
ｄ、９６ａ〜９６ｄを形成すしているが、特に、内部側
の側面に形成される第１及び第２の検出電極９５ｃ、９
５ｄ、９６ａ、９６ｂの電極形成は、圧電基板の両主面
から斜め蒸着によって形成しなくてはならず、蒸着マス
クを工夫し、複数回の蒸着を行う必要があり、電極形成
が非常に難しく、特に高い精度で検出電極９５ｃ、９５
ｄ、９６ａ、９６ｂを形成することが難しい。このた
め、この検出電極９５ｃ、９５ｄ、９６ａ、９６ｂを含
む検出電極９５ａ〜９５ｄ、９６ａ〜９６ｄから検出信
号は、各圧電振動体９１、９１・・・間で特性がばらつ
いたり、歩留りが低下してしまうという問題点があっ
た。

【００１５】また、上述の圧電振動体９１をステム基板
などに実装する際の保持枝９７、９８が、振動枝９３、
９４、９５、９６の延びる方向と異なる方向に形成され
ているため、圧電振動体９１全体が大型化してしまうと
いう問題点があった。

【００１６】本発明は上述の問題点に鑑みて案出された
ものであり、その目的は、特に検出電極の形成が容易に
なり、且つ圧電基板を小型化するとともに、保持構造が
簡単となる圧電振動体を提供するものである。

【００１７】また、別の目的は、検出電極から検出され
る信号の感度を２倍にすることができる圧電振動体を提
供するものである。

【００１８】

【問題点を解決するための手段】本発明は、結合基部の
対向しあう一方端面に駆動側振動部を構成する２本の振
動枝及び該２本の振動枝間に中間保持枝を、他方端面に
検出側振動部を構成する２本の振動枝及び該２本の振動
枝間に中間保持枝を各々配置した圧電基板と、前記駆動
側振動部を構成する各振動枝の四面に形成され、且つ交
番駆動信号が印加される駆動電極と、前記駆動側振動部
の中間保持枝の両主面に形成され、且つ交番駆動信号が
供給される一方主面側駆動入力電極及び他方主面側駆動
入力電極と、前記検出側振動部を構成する各振動枝の両
主面に形成され、且つ互いに平行状態の第１及び第２の
検出電極と、前記検出側振動部の中間保持枝の両主面の
各々に、検出信号を抽出するための一方主面側検出出力
電極及び他方主面側検出出力電極、前記結合基部及び又
は振動枝の先端部に形成された前記駆動入力電極と駆動
電極とを接続するための第１の接続導体及び前記検出出
力電極と検出電極とを第２の接続する接続導体とから成
る圧電振動体である。

【００１９】特に、上述の圧電振動体であって、検出側
振動部の一方主面において、第１の検出電極どうしは駆
動出力電極に接続されるとともに、一方主面側の第２の
検出電極は、振動枝の先端部を介して他方主面側の第１
の検出電極に接続される。

【００２０】また、第２発明は、上述の圧電振動体であ
って、検出側振動部の両主面において、同一主面の検出
電極は同一主面の検出出力電極に接続されるとともに、
両主面の検出出力電極は差動増幅回路にに接続される圧
電振動体である。

【００２１】

【作用】本発明によれば、駆動側振動部と検出側振動部
とを結合する結合基部から、各振動部の２本の振動枝の
対向部分、即ち、又部分から、振動枝の延出方向と同一
方向に延びる中間保持枝が形成されている。

【００２２】この中間保持枝には、各振動枝に形成され
た駆動電極や検出電極と接続導体を介して接続された駆
動入力電極や検出出力電極が形成されている。

【００２３】したがって、この圧電振動体を基板などに
機械的に保持するするとともに、外部回路と電気的に接
続するにあたり、この２つの中間保持枝を用いて行うこ
とによって、簡単に機械的な保持及び電気的な接続が達
成される。しかも、保持枝が振動枝と同一延出方向とな
っているため、従来の圧電基板のように大型化すること
が一切なく、小型で取扱いが極めて容易な圧電振動体と
なる。

【００２４】また、検出側振動部において、振動枝の一
対側面に形成される検出電極や中間保持枝に形成される
検出出力電極は、圧電基板の両主面側のみに形成される
ことになるため、これら検出電極、検出出力電極を圧電
基板に被着形成する際の作業において、斜め蒸着などが
不要となり、非常に簡単となり、しかも、形状的にも非
常に精度の高いパターン形成が可能となる。

【００２５】また、第２の発明（請求項３）において
は、上述の作用に加え、第１の検出電極を極性が変動す
る信号電位として、第２の検出電極を基準電位として用
いれば、一方主面側の第１の検出電極と接続される一方
主面側の検出出力電極から得られる電位と、他方主面側
の第１の検出電極と接続される他方主面側の検出出力電
極から得られる電位の位相が逆位相とすることができる
ため、差動増幅回路により検出信号の電圧を２倍に検出
することができ、高い感度の圧電振動体となる。

【００２６】

【実施例】以下、本発明の圧電振動体を図面を用いて説
明する。

【００２７】図１は本発明の圧電振動体の外観斜視図で
あり、図２（ａ）は、一方主面側の平面図、図２（ｂ）
は一方側面側の平面図、図２（ｃ）は、他方主面側の平
面図、図２（ｄ）は他方側面側の平面図であり、図３は
圧電振動体の駆動側振動部の電気的接続状況を説明する
概略図であり、図４は圧電振動体の検出側振動部の電気
的接続状況を説明する概略図である。

【００２８】本発明の圧電振動体１は、駆動側振動部１
Ａと検出側振動部１Ｂと結合基部２とから構成されてい
る。

【００２９】圧電振動体１は、例えば水晶の結晶分極軸
に応じて所定カット、Ｚカットされた水晶基板などが例
示できる。その他に所定方向に分極処理された圧電性セ
ラミック基板なども例示できる。

【００３０】結合基部２の一方側に配置された駆動側振
動部１Ａには、２つの振動枝３、４の他にその振動枝
３、４の又部分に中間保持枝５が延出されている。ま
た、結合基部２の他方側に配置された検出側振動部１Ｂ
には、２つの振動枝６、７の他にその振動枝６、７の又
部分に中間保持枝８が延出されている。これにより、圧
電振動体１は全体として、「王」字状となっている。
尚、両振動部１Ａ、１Ｂは夫々固有共振周波数が異なる
ように、振動枝３、４と６、７の長さや幅が異なってい
る。

【００３１】この各振動部１Ａ、１Ｂ及び結合基部２に
は、所定電極及び接続導体などが、金属導体、例えばク
ロム、Ａｕなどの蒸着などによって形成されている。

【００３２】駆動側振動部１Ａを構成する２つの振動枝
３、４の各４面には、所定駆動信号を振動に変換させる
ための駆動電極３１〜３４、４１〜４４が形成されてお
り、中間保持枝５の両主面には駆動信号が入力される第
１の駆動入力電極５１、第２の駆動入力電極５２が形成
されている。

【００３３】また、検出側振動部１Ｂを構成する２つの
振動枝６、７及び中間保持枝８には、角速度に対応する
バタ足振動を検出信号に変換するための検出電極６１〜
６４、７１〜７４が、中間保持枝８の両主面には変換さ
れた検出信号を外部回路に出力するための検出出力電極
８１、８２が夫々形成されている。詳しくは、振動枝６
の一方主面には、第１の検出電極６１と第２の検出電極
６２とが振動枝６の長さ方向に所定間隔を隔てて平行に
並んで形成されており、振動枝７の一方主面には第１の
検出電極７１と第２の検出電極７２とが振動枝７の長さ
方向に所定間隔を隔てて平行に並んで形成されており、
同様に、振動枝６、７の他方主面には第１の検出電極６
３、７３と第２の検出電極６４、７４とが平行に並んで
形成されている。

【００３４】即ち、振動枝６、７の検出電極６１、６
２、７１、７２は、中間保持枝８の第１の検出電極８１
と同一主面（一方主面側）に配置され、振動枝６、７の
検出電極６３、６４、７３、７４は、中間保持枝８の第
２の検出電極８２と同一主面（他方主面側）に配置され
ている。

【００３５】さらに、結合基部２及び駆動側振動部１Ａ
の振動枝３、４の先端には、駆動電極３１〜３４、４１
〜４４と駆動入力電極５１、５２を接続する第１の接続
導体２１、２２、３５、３６、４５、４６が、また、結
合基部２及び検出側振動部１Ｂの振動枝６、７の先端に
は、検出電極６１〜６４、７１〜７４と検出出力電極８
１、８２を接続する第２の接続導体２３、２４、２５、
２６、６５、７５が形成されている。尚、接続導体３
６、４６は、駆動側振動部１Ａの振動枝３、４の基部部
分に形成されており、以下、引き出し接続導体といい、
また、接続導体３５、４５、６５、７５は、夫々の振動
枝３、４、６、７の先端部には３面に引き回された接続
導体３５、４５、６５、７５が夫々形成されおり、以
下、引き回し接続導体という。

【００３６】これらの各電極の接続状態を、図２を用い
て詳細に説明する。

【００３７】駆動側振動部１Ａにおいて、一方側主面の
図２（ａ）に示すように、中間保持枝５の駆動入力電極
５１はその先端に接続パッド部５１ａを有し、その基部
が接続導体２１に接続されている。この接続導体２１は
振動枝４の駆動電極４１に接続され、さらに、振動枝４
の先端の引き回し接続導体４５によって、図２（ｃ）に
示す駆動電極４３に接続されている。また、接続導体２
１は振動枝３の基部部分に形成された引き出し接続導体
３６を介して駆動電極３４に接続され、さらに、図２
（ｄ）に示す側面にまで延出され、振動枝３の駆動電極
３２に接続されている。同様に、他方側主面の図２
（ｃ）に示すように、中間保持枝５の駆動入力電極５２
はその先端に接続パッド部５２ａを有し、その基部が接
続導体２２に接続されている。この接続導体２２は振動
枝３の駆動電極３３に接続され、さらに、振動枝３の先
端の引き回し接続導体３５によって、図２（ａ）に示す
駆動電極３１に接続されている。また、接続導体２２は
振動枝４の基部部分に形成された引き出し接続導体４６
を介して駆動電極４２に接続され、さらに、図２（ｂ）
に示す側面にまで延出され、振動枝４の駆動電極４４に
接続されている。検出側振動部１Ｂにおいて、一方側主
面の図２（ａ）において、中間保持枝８の検出出力電極
８１はその先端に接続パッド部８１ａを有し、その基部
が接続導体２３に接続されている。この接続導体２３の
両端は振動枝６、７の中間保持枝８側に配置された第１
の検出電極６１、７１に接続されている。また、振動枝
６、７に第１の検出電極６１、７１に平行して配置され
た第２の検出電極６２、７２は、結合基部２に形成され
た接続導体２４によって夫々接続されている。

【００３８】同様に、他方側主面の図２（ｃ）におい
て、中間保持枝８の検出出力電極８２はその先端に接続
パッド部８２ａを有し、その基部が接続導体２５に接続
されている。この接続導体２５の両端は振動枝６、７の
中間保持枝８側に配置された第１の検出電極６３、７３
に接続されている。また、振動枝６、７に第１の検出電
極６３、７３に平行して配置された第２の検出電極６
４、７４は、結合基部２に形成された接続導体２６によ
って夫々接続されている。

【００３９】さらに、振動枝６の一方主面側に形成した
第１の検出電極６１は、振動枝６の先端部分の引き回し
導体６５を介して、振動枝６の他方主面側に形成した第
２の検出電極６４に接続されている。また、振動枝７の
一方主面側に形成した第２の検出電極７２は、振動枝７
の先端部分の引き回し導体７５を介して、振動枝７の他
方主面側に形成した第１の検出電極７３に接続されてい
る。

【００４０】従って、各電極の接続状態においては、駆
動側振動部１Ａが図３のように、検出側振動部１Ｂが図
４のようになる。

【００４１】上述の構造の圧電振動体１において、駆動
入力電極５１、５２の接続パッド部５１ａ、５２ａ間に
駆動交流電圧を与えることにより、駆動側振動部１Ａ
に、図中実線矢印のように、また次の瞬間、図中点線矢
印のように音叉振動モードが発生する。尚、この音叉振
動は、固有共振周波数が異なる検出側振動部１Ｂに伝わ
らない。

【００４２】この状態で、圧電振動体１全体に、回転運
動が加わると、コリオリ力が作用して、例えば図４に示
す検出側振動部１Ｂには、図中実線矢印のように、また
次の瞬間、図中点線矢印のようにバタ足振動が発生す
る。

【００４３】また、上述したように、検出側振動部１Ｂ
の振動枝６、７の各主面には、第１の検出電極６１、６
３、７１、７３と第２の検出電極６２、６４、７２、７
４とが平行に並設されているため、このバタ足振動によ
って、振動枝６の一方主面の第１の検出電極６１と第２
の検出電極６２及び他方主面の第１の検出電極６３との
間に、振動枝７の一方主面の第１の検出電極７１と第２
の検出電極７２及び他方主面の第１の検出電極７３との
間に、また、同様に、振動枝６の他方主面の第１の検出
電極６３と第２の検出電極６４及び一方主面の第１の検
出電極６１との間に、振動枝７の他方主面の第１の検出
電極７３と第２の検出電極７４及び一方主面の第１の検
出電極７１との間に、夫々電位差が発生する。

【００４４】この一方の電位は、中間保持枝８の一方主
面側に形成され、且つ一方主面側の第１の検出電極７
１、６１に接続する検出出力電極８１の接続パッド部８
１ａから、もう一方の電位は、中間保持枝８の他方主面
側に形成され、且つ他方主面側の第１の検出電極７３、
６３に接続する検出出力電極８２の接続パッド部８２ａ
から出力される。

【００４５】そして、この検出電極８１、８２から得ら
れる信号を、増幅器（オプアンプ）などを含む外部回路
で処理することによって、角速度に対応する電気的な検
出信号を得ることができる。

【００４６】このような構造の圧電振動体１は、圧電振
動体１を収容するケースの一部、例えば基板（図示せ
ず）上に、所定間隔で２つの導電性ホルダー部材を配置
して、この２つのホルダー部材上に中間保持枝５、８の
他方面側主面の先端部が接触するように導電性接着材を
介して配置する。

【００４７】尚、基板の表面には所定回路配線を形成し
ておき、圧電基板１の他方主面側の接続パッド５２ａ、
８２ａと所定回路配線との接続を、前記導電性ホルダー
を介して、また、圧電基板１の一方主面側の接続パッド
５１ａ、８１ａと所定回路配線との接続を、ワイヤボン
ディング細線を介して電気的に接続する。

【００４８】上述の圧電振動体１によれば、（１）基板に圧電振動体１を固定するための手段とし
て、振動枝３、４の同一長さ方向に延び、且つその間に
配置された中間保持枝５及び振動枝６、７と同一長さ方
向に延び、且つその間に配置された中間保持枝８を用い
て行われるため、圧電基板の特に幅方向、即ち振動枝
３、４、６、７の長さ方向と直交する方向の寸法を大き
くすることが一切なく、圧電振動体の小型化が達成でき
る。

【００４９】（２）検出側振動部１Ｂの検出電極６１〜
６４及び７１〜７４が圧電基板の両主面に形成されてい
る。これらの電極６１〜６４、７１〜７４は特に検出信
号の特性のバラツキに影響を与えるが、両主面、即ち、
平面上での電極形成となるため、主面に蒸着用のマスク
を当てて蒸着するだけで、非常に簡単に且つ高い精度の
パターンで各電極６１〜６４、７１〜７４を安定的に形
成することができる。

【００５０】（３）駆動電極３１〜３４、４１〜４４や
検出電極６１〜６４、７１〜７４と接続する駆動入力電
極５１、５２、検出出力電極８１、８２が中間保持枝
５、８の両主面に形成されているため、圧電振動体１を
実装基板上に機械的に保持すると同時に電気的な接続を
簡単に行うことができ、これによって、この圧電振動体
１を収容した角速度センサの構造を簡略化、小型化する
ことに大きく寄与することができる。

【００５１】（４）圧電振動体１の圧電基板は、所定寸
法、例えば長さ方向、幅方向が所定値の矩形状水晶板を
多数枚重ね合わせて、長さ方向の両端からワイヤカット
で溝入れ加工することによって、概略「王」字状の圧電
基板を形成することができ、量産性に優れたものとな
る。

【００５２】図５〜図７は、本発明の他の実施例を示す
圧電振動体１である。尚、図１〜図４に示す圧電振動体
と同一部分は同一符号を付して説明する。図５は、圧電
振動体１の外観斜視図であり、図６（ａ）は、一方主面
側の平面図、図６（ｂ）は一方側面側の平面図（一方側
側面図）、図６（ｃ）は、他方主面側の平面図、図６
（ｄ）は他方側面側の平面図（他方側側面図）であり、
図７は圧電振動体の駆動側振動体部び検出側振動部の電
気的接続状況を説明する概略図である。

【００５３】この発明において、図１〜図４の圧電振動
体１と異なる点は、検出側振動部１Ｂの振動枝６、７の
一方主面に形成された第１の検出電極６１、７１、第２
の検出電極６２、７２、及び振動枝６、７の他方主面に
形成された第１の検出電極６３、７３、第２の検出電極
６４、７４の接続構造である。

【００５４】具体的には、図６（ａ）に示すように、検
出側振動部１Ｂの振動枝６、７の一方主面に形成された
第１の検出電極６１、７１は、結合基部２の一方主面に
形成した接続導体２３によって接続され、中間保持枝８
の一方主面に形成された検出出力電極８１に接続されて
いる。また、第２の検出電極６２、７２は、結合基部２
の一方主面に形成した接続導体２７によって接続されて
いる。この接続導体２７は、図６（ｄ）に示す結合基部
２の側面を介して、図６（ｃ）に示す結合基部２の他方
主面側に延出されている。尚、接続導体２７は、図６
（ｂ）に示すように、この結合基部２の側面にまで延出
した駆動側振動部１Ａの振動枝４の駆動電極４４に接続
されている。

【００５５】また、図６（ｃ）に示すように、検出側振
動部１Ｂの振動枝６、７の他方主面に形成された第１の
検出電極６３、７３は、結合基部２の他方主面に形成し
た接続導体２５によって接続され、中間保持枝８の他方
主面に形成された検出出力電極８２に接続されている。
また、第２の検出電極６４、７４は、結合基部２の一方
主面側から引き回された接続導体２７に接続されてい
る。

【００５６】上述の圧電振動体１では、駆動側振動部１
Ａの振動枝３、４の駆動電極３１、３３、４２、４４
と、検出側振動部１Ｂの第２の検出電極体６２、７２、
６４、７４とが、例えば基準電位（０電位）で動作する
ことになる。

【００５７】この駆動側振動部１Ｂの電気的な接続を図
７に示す。

【００５８】上述のように接続する圧電振動体１は、検
出電極８１、８２からは、逆極性の電圧を取り出すこと
ができる。この２つの検出電極８１、８２から得られる
信号を外部回路を回路の差動増幅器に通すことにより、
図１〜図４に示す圧電振動体１の検出信号の電位差に比
較して２倍にすることができ、検出信号の感度を２倍と
することができる。また、無回転時（角速度がない状
態）において、差動増幅器からの出力をキャンセルする
ことができる。

【００５９】尚、上述の各実施例において、図では、中
間保持枝５、８の幅は、振動枝３、４、６、７の幅と同
一に示しているが、この幅を振動枝３、４、６、７の幅
よりも小さくすることにより、より感度の高い圧電振動
体１にすることができる。

【００６０】また、駆動側振動部１Ａと検出側振動部１
Ｂの間で振動枝の幅寸法及び長さ寸方を変更したもので
あってもよい。これにより、駆動側振動部１Ａの音叉振
動モードによって検出側振動部１Ｂが直接共振しないよ
うにし、角速度の検出に関連するバタ足振動モードに対
して高感度化することができる。

【００６１】

【発明の効果】以上のように、本発明によれば結合基部
から各振動枝の長さ方向と同一方向に延びる中間保持枝
が形成され、この中間保持枝には各振動枝に形成された
駆動電極や検出電極に接続された駆動入力電極や検出出
力電極が形成されている。

【００６２】したがって、この圧電振動体を実装基板な
どに機械的に保持するするとともに、外部回路と電気的
に接続するにあたり、この２つの中間保持枝を用いて行
うことによって、簡単に機械的な保持及び電気的な接続
が達成される。

【００６３】しかも、中間保持枝が振動枝と同一延出方
向となっているため、圧電基板の幅が従来のように大型
化することが一切なく、小型で取り扱いが極めて容易な
圧電振動体となる。

【００６４】また、検出側振動部において、第１及び第
２の検出電極、該検出電極に接続した検出出力電極が、
圧電基板の両主面に形成されることになるため、各電極
の被着形成作業が非常に簡単となり、しかも、形状的に
も非常に精度の高い形状の制御が可能となる。

【００６５】また、圧電振動体の形成において、ワイヤ
カット加工により、大量の圧電基板を安価に製造するこ
とができる。

【００６６】また、第２の発明（請求項３）において
は、一方主面側の検出出力電極と第２の検出出力電極か
ら得られる信号の極性が逆極性とすることができるた
め、差動増幅器により検出信号を電位差を２倍に検出す
ることができ、高い感度の検出信号を得ることができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の圧電振動体の外観斜視図である。

【図２】（ａ）〜（ｄ）は圧電振動体の４面、即ち一方
主面、一方側面、他方主面、他方側面のそれぞれを示す
平面図である。

【図３】圧電振動体を構成する駆動側振動部の電気的接
続状態を説明する概略図である。

【図４】圧電振動体を構成する検出側振動部の電気的接
続状態を説明する概略図である。

【図５】本発明の他の圧電振動体の外観斜視図である。

【図６】（ａ）〜（ｄ）は図５に示す圧電振動体の４
面、即ち一方主面、一方側面、他方主面、他方側面のそ
れぞれを示す平面図である。

【図７】図５に示す圧電振動体を構成する検出側振動部
の電気的接続状態を説明する概略図である。

【図８】従来の圧電振動体の外観斜視図である。

【符号の説明】

１・・・・・圧電振動体１Ａ・・・・駆動側振動部１Ｂ・・・・検出側振動部２・・・・・結合基部３、４・・・・・駆動側振動部の振動枝５・・・・・駆動側振動部の中間保持枝６、７・・・・・検出側振動部の振動枝８・・・・・検出側振動部の中間保持枝３１〜３４、４１〜４４・・・・駆動電極６１、６３、７１、７３・・第１の検出電極６２、６４、７２、７４・・第２の検出電極２１〜２７、２８・・・接続導体３５、４５、６５、７５・・・引き回し接続導体３６、４６・・・・・・・・・引き出し接続導体

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】結合基部の対向しあう一方端面に駆動側
振動部を構成する２本の振動枝及び該２本の振動枝間に
中間保持枝を、他方端面に検出側振動部を構成する２本
の振動枝及び該２本の振動枝間に中間保持枝を各々配置
した圧電基板と、前記駆動側振動部を構成する各振動枝の四面に形成され
た駆動電極と、前記駆動側振動部の中間保持枝の両主面に形成された駆
動入力電極と前記検出側振動部を構成する各振動枝の両
主面に、互いに平行状態に形成された第１及び第２の検
出電極と、前記検出側振動部の中間保持枝の両主面に形成された検
出出力電極と、前記結合基部及び又は振動枝の先端部に形成された前記
駆動入力電極と前記駆動電極とを接続するための第１の
接続導体及び前記検出出力電極と前記検出電極とを接続
する第２の接続導体とから成る圧電振動体。
【請求項２】前記請求項１に記載された圧電振動体で
あって、検出側振動部の一方主面において、第１の検出
電極どうしは同一主面に形成された駆動出力電極に接続
されるとともに、一方主面側の第２の検出電極は、他方
主面側の第１の検出電極に接続されることを特徴とする
圧電振動体。
【請求項３】前記請求項１に記載された圧電振動体で
あって、検出側振動部の両主面において、第１の検出電
極は同一主面に形成された検出出力電極に夫々接続され
るとともに、両主面の検出出力電極は差動増幅回路に接
続されることを特徴とする圧電振動体。