JPH08184361A - Pitch converting mechanism on same drive shaft - Google Patents

Pitch converting mechanism on same drive shaft

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JPH08184361A
JPH08184361A JP33891394A JP33891394A JPH08184361A JP H08184361 A JPH08184361 A JP H08184361A JP 33891394 A JP33891394 A JP 33891394A JP 33891394 A JP33891394 A JP 33891394A JP H08184361 A JPH08184361 A JP H08184361A
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handling
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drive shaft
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parts
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Abstract

PURPOSE: To provide a mechanism to convert a pitch between handling parts on the same axis as that of a drive shaft system during movement or the stop of a plurality of handling parts by using a ball screw. CONSTITUTION: The reference handling parts A3 of a plurality of handling parts are fixed on a ball screw 1, being a drive shaft, by a slider 8. Other handling part B4 is divided only into a linear guide 2 for coupling and a handling part 4 is coupled by a cylinder 5 and a shaft 6 for regulation, being a drive system for converting a pitch arranged at the reference handling part A3 fixed on a drive shaft. By driving the cylinder 5 for covering a pitch by an amount equivalent to a pitch conversion stroke length set by the shaft 6 for regulation on a basis of the reference handling part A3, the handling part B4 is moved and the pitch of a pickup and brace part 7 is converted.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、複数のハンドリング部
をボールネジやタイミングベルトを用いて移動中又は停
止中に、駆動軸と同一軸上のハンドリング部相互間のピ
ッチを変換する機構に関する
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a mechanism for converting a pitch between handling parts on the same axis as a drive shaft while moving or stopping a plurality of handling parts by using ball screws or timing belts.

【0002】[0002]

【従来の技術】電子部品の特性試験装置などでは、被試
験対象とするデバイスを所定の位置に搬出入する機構で
あるハンドラにおいては、ハンドリング部に設けられた
デバイスを搬出又は搬入するための機構で複数あるピッ
クアップ&プレース部の相互の間隔即ちピッチを変換す
る必要が生ずる。それは、図4に示すように、被試験対
象であるデバイスを収納しているトレイが、特性試験装
置内で用いられる専用のテストトレイと呼ばれるものと
収納間隔つまり収納ピッチが異なることがほとんどだか
らである。そのため、ピックアップ(搬出)するときと
プレースメント(搬入)するときの複数あるピックアッ
プ&プレース部相互間のピッチを、変換しなければなら
ない。複数でハンドリング部つまりピックアップ&プレ
ース部を構成するのはハンドリング部の効率を向上させ
るためである。
2. Description of the Related Art In a characteristic test apparatus for electronic parts, a handler, which is a mechanism for loading and unloading a device to be tested to a predetermined position, has a mechanism for loading or unloading a device provided in a handling section. Therefore, it becomes necessary to convert the mutual intervals, that is, the pitches, of a plurality of pickup & place parts. This is because, as shown in FIG. 4, the tray that stores the device under test almost always has a different storage interval, that is, a storage pitch, from the one called a dedicated test tray used in the characteristic test apparatus. is there. Therefore, it is necessary to convert the pitches between a plurality of pickup & place parts when picking up (carrying out) and placing (carrying in). The plurality of handling units, that is, the pickup & place units are configured to improve the efficiency of the handling unit.

【0003】ハンドラにおけるハンドラ部のピッチ変換
を行う場合の従来技術においては、図3に示すように、
ハンドリング部を移動させるときには、ハンドラ機構を
構成するボールネジ1やタイミングベルトを駆動するこ
とによって行っている。二ヶ所以上の複数のハンドリン
グ部をもつ構成のハンドラの場合、駆動軸と同一軸上の
リニアガイドA2に連結されたスライダー8上に、移動
のための駆動ユニットとは別に、ピッチ変換のための駆
動ユニットとしてシリンダ5やリニアガイドB9を設け
て行っている。このために、別の駆動ユニット部を設
けることで部材費高となり、かつ組立において工数増と
なるため全体としてコストアップとなってしまう、ま
た、複数のハンドリング部が、ボールネジ1又はタイミ
ングベルトとリニアガイドA2に1つのスライダー8に
よって連結された上に、更に駆動部を設けねばならない
ので全体として重量が増加し、慣性モーメントが大きく
なってしまい搬送速度を上げることができない。という
問題点を有していた。
In the prior art in which the pitch of the handler portion of the handler is converted, as shown in FIG.
When moving the handling part, it is performed by driving the ball screw 1 and the timing belt which constitute the handler mechanism. In the case of a handler having a plurality of handling parts at two or more places, on the slider 8 connected to the linear guide A2 on the same axis as the drive shaft, a pitch conversion unit is provided separately from the drive unit for movement. The cylinder 5 and the linear guide B9 are provided as a drive unit. For this reason, by providing another drive unit section, the cost of members increases, and the number of steps in assembly increases, resulting in an increase in cost as a whole. In addition, the plurality of handling sections include the ball screw 1 or the timing belt and the linear unit. Since the slider must be connected to the guide A2 by one slider 8 and a drive unit must be further provided, the weight increases as a whole and the moment of inertia increases, so that the conveying speed cannot be increased. Had the problem.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】本発明が解決しようと
する課題は、複数のハンドリング部をボールネジやタイ
ミングベルトを用いて移動中又は停止中に、駆動軸と同
一軸上の例えばハンドリング部相互間のピッチを変換す
る機構において、その構成を簡素化することで部材費
及び組立費の低減を図り低コスト化を実現することであ
り、駆動せねばならない機構部分を軽量化すること
で、ハンドリング部のピッチ変換のみならず移動や停止
に要する時間を最小限として高速化が図れる機構を得る
ことである。
SUMMARY OF THE INVENTION The problem to be solved by the present invention is, for example, between the handling parts on the same axis as the drive shaft while moving or stopping the plurality of handling parts by using a ball screw or a timing belt. In the mechanism for converting the pitch of, the cost of the member and the assembly is reduced by simplifying the structure, and the cost is reduced. By reducing the weight of the mechanism that has to be driven, the handling part is reduced. It is to obtain a mechanism that can speed up by minimizing the time required for movement and stop as well as pitch conversion of.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明の課題を解決する
ために、(イ)基準ハンドリング部Aを駆動軸であるボ
ールネジ上にスライドで固定し、他のハンドリング部B
はリニアガイドのみに分けて連結し、(ロ)かつ、ハン
ドリング部Bは、駆動軸上に固定した基準ハンドリング
部Aに設けたピッチ変換用の駆動系であるシリンダ及び
調整用シャフトで連結し、(ハ)基準ハンドリング部A
を基準として、調整用シャフトで設定したピッチ変換ス
トローク長分だけ、ピッチ変換用シリンダを駆動させる
ことで、(ニ)ハンドリング部Bを移動してピックアッ
プ&プレース部のピッチ変換を行う、という機構の構成
を得た。
In order to solve the problems of the present invention, (a) a reference handling part A is slidably fixed on a ball screw which is a drive shaft, and another handling part B is provided.
Is connected only to the linear guide, and (b) and the handling part B is connected by a cylinder and an adjustment shaft which are a drive system for pitch conversion provided in the reference handling part A fixed on the drive shaft, (C) Standard handling section A
By driving the pitch conversion cylinder by the pitch conversion stroke length set by the adjustment shaft on the basis of (4), (d) the handling section B is moved to perform pitch conversion of the pickup & place section. Got the configuration.

【0006】[0006]

【作用】本発明の目的は、ハンドリング部相互間の間隔
(ピッチ)をより安価なもので高速で変換できる機構を
得ることである。近時変換効率を向上させるため、ハン
ドリング部に設けられたピックアップ&プレース部も複
数で構成されるようになった。ところがほとんどの場
合、例えばICデバイスの例ではカストマの専用トレイ
とIC試験装置のハンドラに固有のテストトレイの収納
ピッチは一致しない。従って、ハンドリング部の動作に
よる搬出入時にはピッチ変換が必要となる。つまりカス
トマトレイから搬出するときピックアップ&プレース部
でピックアップしたときのピッチは、プレースメントす
べきテストトレイのピッチに合わせて搬入せねばならな
い。また、試験終了後はその逆のピッチ変換動作が必要
になる。ハンドリング部が1ヶしかないものでは当然な
がら不要である。
It is an object of the present invention to obtain a mechanism which can change the distance (pitch) between the handling parts at a low cost and at a high speed. Recently, in order to improve the conversion efficiency, a plurality of pickup & place units provided in the handling unit have also been configured. However, in most cases, for example, in the case of the IC device, the storage pitches of the custom tray of the customer and the test tray unique to the handler of the IC test apparatus do not match. Therefore, pitch conversion is required at the time of loading and unloading by the operation of the handling unit. In other words, the pitch when picked up by the pick-up & place section when carrying out from the cast tomato tray must be carried in according to the pitch of the test tray to be placed. After the test is completed, the reverse pitch conversion operation is required. Needless to say, it is unnecessary if the handling part is only one.

【0007】従来技術では、複数のハンドリング部の駆
動のためのユニット類を、基準となるハンドリング部が
取り付けられている1枚のスライダ上に全てを載せてい
たために、全体としての重量が重いものとなり慣性モー
メントが大きくなって高速化ができず、また構成部品も
高価で制御系の配線も複雑となり組立費がかさんでい
た。本発明では、複数のハンドリング部は分割してそれ
ぞれのスライダによってボールネジやリニアガイドAに
取り付け、かつ使用部品もシリンダ及び調整用シャフト
に代えて簡素化と軽量化を図ったことで、ピッチ変換の
高速化と低廉化を実現したものである。
In the prior art, all the units for driving a plurality of handling parts are mounted on one slider to which a reference handling part is attached, so that the weight as a whole is heavy. Since the moment of inertia became large and the speed could not be increased, the components were expensive, the wiring of the control system was complicated, and the assembly cost was high. In the present invention, the plurality of handling parts are divided and attached to the ball screw or the linear guide A by the respective sliders, and the parts used are replaced with the cylinder and the adjusting shaft to achieve simplification and weight reduction, thereby achieving pitch conversion. This is a high speed and low cost product.

【0008】[0008]

【実施例】図1は、本発明の実施例のハンドリング部の
概念を示す正面図である。図2は、図1の詳細部分を示
す正面図である。また図3は、従来技術によるハンドリ
ング部の概念を示す正面図である。そして図4は、カス
トマトレイとテストトレイの収納ピッチの相異を示す平
面図である。さらに、図5は、基準ハンドリング部A
と、ハンドリング部Bをシリンダで連結する部分を説明
するための断面図である。 (1)本発明では、図1に示すように、ハンドラに2個
設けられたハンドリング部の1つは基準ハンドリング部
A3として駆動軸であるボールネジ1及びリニアガイド
A2上にスライダ8によって取り付けた。また、もう1
つのハンドリング部B4はリニアガイドA2のみに別に
独立したスライダ8によって取り付けた。そして、基準
ハンドリング部A3とハンドリング部B4はピッチ変換
のための駆動部であるシリンダ5と、ピッチの変換量を
所定の値に調整する調整用シャフト6とによって連結し
た。図2は、図1の詳細図を示す。
1 is a front view showing the concept of a handling section according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a front view showing a detailed portion of FIG. Further, FIG. 3 is a front view showing a concept of a handling unit according to a conventional technique. FIG. 4 is a plan view showing the difference in storage pitch between the cast tomato tray and the test tray. Further, FIG. 5 shows the reference handling unit A.
FIG. 6 is a cross-sectional view for explaining a portion where the handling portion B is connected by a cylinder. (1) In the present invention, as shown in FIG. 1, one of the two handling parts provided in the handler is mounted as a reference handling part A3 by the slider 8 on the ball screw 1 and the linear guide A2 which are drive shafts. Also another 1
The two handling parts B4 are attached to the linear guide A2 only by a separate independent slider 8. The reference handling unit A3 and the handling unit B4 are connected by a cylinder 5 which is a drive unit for pitch conversion and an adjustment shaft 6 which adjusts the pitch conversion amount to a predetermined value. FIG. 2 shows a detailed view of FIG.

【0009】(2)図1及び図2の双方には、(A)ピ
ッチを広く変換した状態と(B)ピッチを狭く変換した
状態とを示している。また図2には(A)の状態から
(B)の状態に移り変わる状況を詳細に記してある。そ
して図5に示すように、基準ハンドリング部A3とハン
ドリング部B4とを連結するシリンダ5の連結部はフロ
ーティング状態で行う。そのことで調整用シャフト6と
位置センサによって、シリンダ5の駆動有効ストローク
分の範囲内で所定の変換ピッチに精度良くスムーズに調
整できる。
(2) Both FIG. 1 and FIG. 2 show (A) a state in which the pitch is widened and (B) a state in which the pitch is narrowed. Further, FIG. 2 details the situation in which the state of (A) changes to the state of (B). Then, as shown in FIG. 5, the connecting portion of the cylinder 5 that connects the reference handling portion A3 and the handling portion B4 is performed in a floating state. This allows the adjustment shaft 6 and the position sensor to accurately and smoothly adjust to a predetermined conversion pitch within the range of the effective driving stroke of the cylinder 5.

【0010】(3)本発明では、上記記載の様に複数個
設けるハンドリング部を、それぞれに別のスライダ8に
よって独立して設けた。そして、本発明のような構成と
したことでハンドリング部には、従来技術によるリニア
ガイドB9のような重量のあるものは不要で、調整用シ
ャフト6として軽量化し、かつ省部品化と簡素化が実現
した。また、そのために、駆動したときの慣性モーメン
トが減少した分、ブレが収れんする時間も短くなったの
で、結果的にピックアップ&プレース部7の搬出入速度
の高速化が図れた。
(3) In the present invention, the plurality of handling parts provided as described above are provided independently by the respective sliders 8. With the configuration of the present invention, the handling portion does not need a heavy one such as the linear guide B9 according to the related art, and the weight of the adjustment shaft 6 can be reduced, and the number of parts can be reduced and simplified. It was realized. For that reason, since the moment of inertia during driving is reduced, the time during which blurring is stopped is shortened, and as a result, the loading / unloading speed of the pickup & place section 7 can be increased.

【0011】(4)そして、ハンドリング部が3個以上
で存在する場合には、同様の構成でハンドリング部B4
を基準として行うことが可能であり、基準ハンドリング
部A3側に駆動有効ストローク長の異なるシリンダ5や
同じく2重、4重にストロークが変えられるシリンダ5
と調整用シャフト6とを設けることで、本発明の利点を
損なうことなく構成することが可能である。
(4) When there are three or more handling parts, the handling part B4 has the same structure.
Cylinders 5 having different effective driving stroke lengths on the side of the reference handling part A3 or cylinders 5 whose strokes can be changed to double or quadruple.
By providing the adjusting shaft 6 and the adjusting shaft 6, it is possible to configure the present invention without impairing the advantages of the present invention.

【0012】[0012]

【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、以下に記載されるような効果を奏する。 (1)本発明による構成の機構としたことで、ピッチ変
換のための駆動系にリニアガイドBのような高価格なも
のが必要であったものを省くことができたので、低価格
化を実現することができた。 (2)また、本発明の機構として重量のあるリニアガイ
ドBを省いたことで、駆動系源を用いて移動しなければ
ならないユニットが全体として軽量化されて慣性モーメ
ントが減少し、移動及び停止時に発生するブレが収れん
するまでの時間が短縮されたので、ピックアップ&プレ
ース部による搬出入時の速度を格段に高速化することが
できた。
Since the present invention is configured as described above, it has the following effects. (1) By adopting the mechanism of the configuration according to the present invention, it is possible to omit a high-priced drive system such as the linear guide B for the drive system for pitch conversion. Could be realized. (2) Further, since the heavy linear guide B is omitted as the mechanism of the present invention, the unit which must be moved by using the drive system source is reduced in weight as a whole, the moment of inertia is reduced, and the unit is moved and stopped. Since the time until blurring sometimes occurs has been shortened, the speed at the time of loading and unloading by the pickup & place section could be significantly increased.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の実施例のハンドリング部の概念を示す
正面図である。
FIG. 1 is a front view showing the concept of a handling unit according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の実施例を示す図1の詳細部分を示す正
面図である。
FIG. 2 is a front view showing a detailed portion of FIG. 1 showing an embodiment of the present invention.

【図3】従来技術によるハンドリング部の概念を示す正
面図である。
FIG. 3 is a front view showing the concept of a handling unit according to a conventional technique.

【図4】カストマトレイとテストトレイの収納ピッチの
相異を示す平面図である。
FIG. 4 is a plan view showing a difference in storage pitch between the tomato tray and the test tray.

【図5】基準ハンドリング部Aとハンドリング部をシリ
ンダで連続する部分を説明するための断面図である。
FIG. 5 is a cross-sectional view for explaining a portion where a reference handling part A and a handling part are connected by a cylinder.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ボールネジ 2 リニアガイドA 3 基準ハンドリング部A 4 ハンドリング部B 5 シリンダ 6 調整用シャフト 7 ピックアップ&プレース部 8 スライダ 9 リニアガイドB 1 Ball screw 2 Linear guide A 3 Reference handling part A 4 Handling part B 5 Cylinder 6 Adjustment shaft 7 Pick-up & place part 8 Slider 9 Linear guide B

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 駆動軸であるボールネジ(1)及びリニ
アガイドA(2)にスライダ(8)で連結した基準ハン
ドリング部A(3)と、 リニアガイドA(2)に連結し、更に基準ハンドリング
部A(3)にピッチ変換用のシリンダ(5)とピッチ変
換量を設定する調整用シャフト(6)とで連結したハン
ドリング部B(4)と、 基準ハンドリング部A(3)及びハンドリング部B
(4)が駆動軸上を移動中又は停止中に、基準ハンドリ
ング部A(3)を基準としてシリンダ(5)と調整用シ
ャフト(6)とでハンドリング部B(4)が移動してピ
ッチ変換するピックアップ&プレース部(7)と、 を具備することを特徴とする、同一駆動軸上におけるピ
ッチ変換機構。
1. A reference handling part A (3) connected to a ball screw (1) which is a drive shaft and a linear guide A (2) by a slider (8), and a reference handling part A (2), and further a reference handling. A handling section B (4) connected to a section A (3) by a pitch conversion cylinder (5) and an adjustment shaft (6) for setting a pitch conversion amount, a reference handling section A (3) and a handling section B.
While (4) is moving or stopped on the drive shaft, the handling section B (4) moves between the cylinder (5) and the adjustment shaft (6) with reference to the reference handling section A (3), and pitch conversion is performed. A pitch conversion mechanism on the same drive axis, comprising: a pickup & place section (7) for
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100309546B1 (en) * 1999-07-09 2001-09-26 정문술 Picker Variable Control System of Handler
KR100737400B1 (en) * 2006-05-12 2007-07-09 미래산업 주식회사 Device transfer for semiconductor device test handler
KR101227827B1 (en) * 2011-06-02 2013-01-29 세크론 주식회사 Apparatus for picking up semiconductor devices
CN110640587A (en) * 2019-09-29 2020-01-03 王旋 Jade processing device and method

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