JPH0817851A - Pellet position detecting method of pellet bonding device - Google Patents
Pellet position detecting method of pellet bonding deviceInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、ペレットボンディング
装置のペレット位置検出方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a pellet position detecting method for a pellet bonding apparatus.
【０００２】[0002]
【従来の技術】半導体の製造工程の１つに、ペレットボ
ンディング装置を用いたペレットボンディング工程があ
る。この工程では、まずペレット取出機構を構成するペ
レットトランスファの吸着ノズルにより、ウェハステー
ジに設置されたウェハからペレットが取り出され、この
取り出されたペレットがペレット位置修正機構の回転テ
ーブルに載置される。次に、このペレットのＸ、Ｙ、θ
それぞれの方向における基準位置からの位置ずれ状態
が、カメラを用いて検出される。そして、ペレットのθ
方向の位置ずれ状態が回転テーブルの回転により修正さ
れた後、このペレットは、ボンディング機構を構成する
ボンディングヘッドの吸着ノズル（通称コレット）によ
りピックアップされ、リードフレ−ムの所定位置まで搬
送されてボンディングされる。尚、ボンディングヘッド
の吸着ノズルによる実際のピックアップ位置は、ピック
アップ基準位置に対してペレットのＸ、Ｙ方向における
位置ずれ状態に応じて位置補正（Ｘ、Ｙ方向の位置修
正）され、これにより同方向に位置ずれを生じたペレッ
トであっても、その中央位置が吸着ノズルにてピックア
ップされるようになっている。2. Description of the Related Art One of semiconductor manufacturing processes is a pellet bonding process using a pellet bonding apparatus. In this step, first, the adsorption nozzle of the pellet transfer that constitutes the pellet extraction mechanism extracts the pellets from the wafer set on the wafer stage, and the extracted pellets are placed on the rotary table of the pellet position correction mechanism. Next, X, Y, θ of this pellet
The state of displacement from the reference position in each direction is detected using a camera. And the θ of the pellet
After the positional deviation in the direction is corrected by the rotation of the rotary table, the pellets are picked up by the suction nozzle (commonly called collet) of the bonding head that constitutes the bonding mechanism, conveyed to a predetermined position of the lead frame, and bonded. It The actual pick-up position by the suction nozzle of the bonding head is position-corrected (position correction in the X- and Y-directions) according to the position shift state of the pellet in the X- and Y-directions with respect to the pick-up reference position. Even if the pellet is misaligned, the center position of the pellet is picked up by the suction nozzle.
【０００３】ところで、上記カメラによるペレットの位
置検出は、図３（Ａ）に示すように、回転テーブル２に
載置されたペレット１の一コーナ部ａをカメラの認識領
域３内に位置付け、この領域から取り込んだ画像情報よ
りコーナ部ａの基準位置からのずれ量、並びにペレット
１のエッジライン４を求め、これらのデータに基づいて
コーナ部のａの位置座標と回転角を検出することで行な
っている。（第１従来例）。In order to detect the position of the pellet by the camera, as shown in FIG. 3A, one corner portion a of the pellet 1 placed on the rotary table 2 is positioned within the recognition area 3 of the camera. The deviation amount of the corner portion a from the reference position and the edge line 4 of the pellet 1 are obtained from the image information captured from the area, and the position coordinates and the rotation angle of the corner portion a are detected based on these data. ing. (First conventional example).
【０００４】また、他のペレット位置検出方法として、
図３（Ｂ）に示すように、回転テーブル２をＸ−Ｙテー
ブル５に設置させ、このＸ−Ｙテーブル５を移動させる
ことで、ペレット１の一コーナ部ａと他のコーナ部ｂを
固定配置されたカメラの認識領域３内に順次位置付けて
それぞれの画像情報を取り込み、両コーナ部ａ、ｂの画
像情報と各基準画像情報とに基づいて、ペレット１の位
置を検出するものがある。（第２従来例）。As another pellet position detecting method,
As shown in FIG. 3B, the rotary table 2 is installed on the XY table 5, and the XY table 5 is moved to fix one corner portion a of the pellet 1 and the other corner portion b. There is one in which the position of the pellet 1 is detected based on the image information of both the corner portions a and b and the respective reference image information by sequentially positioning the image information in the recognition area 3 of the arranged cameras. (Second conventional example).
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記第１従
来例のペレット位置検出方法では、カメラの認識領域３
が限られた領域であるため、この認識領域３におけるエ
ッジライン４の回転角の検出は精度が低く、この結果、
ペレット１の検出精度も低下してしまう。また、第２従
来例のペレット位置検出方法では、回転テーブル２がＸ
−Ｙテーブル５に設置されているため、ペレットボンデ
ィング装置の構造が複雑化してしまう。However, in the pellet position detecting method of the first conventional example, the recognition area 3 of the camera is used.
Is a limited area, the detection of the rotation angle of the edge line 4 in the recognition area 3 is low in accuracy, and as a result,
The detection accuracy of the pellet 1 will also decrease. Further, in the pellet position detecting method of the second conventional example, the rotary table 2 is moved to the X position.
-Because it is installed on the Y table 5, the structure of the pellet bonding apparatus becomes complicated.
【０００６】本発明は、上述の事情を考慮してなされた
ものであり、装置の複雑化を招くことなく、ペレット位
置の検出精度を向上させることができるペレットボンデ
ィング装置のペレット位置検出方法を提供することを目
的とする。The present invention has been made in consideration of the above circumstances, and provides a pellet position detecting method for a pellet bonding apparatus which can improve the accuracy of detecting the pellet position without complicating the apparatus. The purpose is to do.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明は、ペレット位置
修正機構の回転テーブルに載置されたペレットの位置
を、回転テーブルの上方に配置された認識装置により検
出するペレットボンディング装置のペレット位置検出方
法において、上記認識装置により上記ペレットの一コー
ナ部の画像情報を取り込んだ後、上記回転テーブルを回
転させペレットの他のコーナ部を上記認識装置の認識領
域内に位置付けてこの他のコーナ部の画像情報を取り込
み、上記両コーナ部の画像情報とそれぞれの基準画像情
報とに基づいて、各コーナ部の基準位置からの位置ずれ
状態を検出することを特徴とするものである。According to the present invention, the position of a pellet placed on a rotary table of a pellet position correcting mechanism is detected by a recognition device arranged above the rotary table. In the method, after the image information of one corner portion of the pellet is captured by the recognition device, the rotary table is rotated to position the other corner portion of the pellet within the recognition area of the recognition device, and the other corner portion of the other recognition device is positioned. It is characterized in that the image information is taken in, and the state of displacement of each corner from the reference position is detected based on the image information of both corners and the respective reference image information.
【０００８】[0008]
【作用】従って、本発明に係るペレットボンディング装
置のペレット位置検出方法によれば、ペレットの位置検
出が、ペレットの一コーナ部及び他のコーナ部の画像情
報を用いて行なわれるので、単一のコーナ部を位置検出
してペレット位置を検出する場合に比べ、ペレットの位
置検出精度を向上させることができる。Therefore, according to the pellet position detecting method of the pellet bonding apparatus according to the present invention, since the position of the pellet is detected by using the image information of one corner portion of the pellet and the other corner portion, a single As compared with the case where the position of the corner is detected to detect the position of the pellet, the accuracy of detecting the position of the pellet can be improved.
【０００９】更に、認識装置を移動させず、また回転テ
ーブルもＸ、Ｙ方向にスライドさせず、回転テーブルを
回転させることによってペレットの位置検出を実施する
ので、ペレットボンディング装置の構造の複雑化を招く
ことがない。Further, since the position of the pellet is detected by rotating the rotary table without moving the recognizing device, sliding the rotary table in the X and Y directions, and complicating the structure of the pellet bonding apparatus. Never invite.
【００１０】[0010]
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図１は、本発明に係るペレットボンディング装置
のペレット位置検出方法を実施するペレットボンディン
グ装置を示す斜視図である。図２は、図１の回転テーブ
ルを示す平面図である。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view showing a pellet bonding apparatus for carrying out a pellet position detecting method for a pellet bonding apparatus according to the present invention. FIG. 2 is a plan view showing the rotary table of FIG.
【００１１】図１に示すペレットボンディング装置１０
は、ウエハ１２がダイシングされて分離された多数の半
導体ペレット（以下、単に「ペレット」と称する。）１
３を１つずつ取り出して、リードフレーム１６のアイラ
ンド部１７にボンディングするものであり、ペレット取
出機構１８、ペレット位置修正機構１９及びボンディン
グ機構２０を有して構成される。The pellet bonding apparatus 10 shown in FIG.
Is a large number of semiconductor pellets (hereinafter, simply referred to as “pellets”) 1 obtained by dicing and separating the wafer 12.
3 is taken out one by one and bonded to the island portion 17 of the lead frame 16. The pellet take-out mechanism 18, the pellet position correcting mechanism 19 and the bonding mechanism 20 are provided.
【００１２】ここで、ウエハ１２は、粘着シート１４を
介して円環状のウエハリング１５に支持されており、ウ
エハリングユニット１１としてペレット取出機構１８の
ウエハステージ２１に設置される。また、ウエハ１２に
は、ウエハ１２の方向を確認するための切欠２２が形成
されている。Here, the wafer 12 is supported by an annular wafer ring 15 via an adhesive sheet 14, and is set as a wafer ring unit 11 on a wafer stage 21 of a pellet take-out mechanism 18. Further, the wafer 12 is formed with a notch 22 for confirming the direction of the wafer 12.
【００１３】ペレット取出機構１８は、ウエハリングユ
ニット１１を設置するウエハステージ２１と、ペレット
１３を取り出すペレットトランスファ２３と、を備えて
なる。ウエハステージ２１は、ウエハリングユニット１
１を設置するとともに、このウエハリングユニット１１
の粘着シート１４を引き延して、ペレット１３間の隙間
を拡大させ、ペレットトランスファ２３によるペレット
１３の取り出しを容易化している。ペレットトランスフ
ァ２３は先端に吸着ノズルを有し、必要に応じて不図示
の突き上げピンにて下方より突き上げられたペレット１
３を吸着し、このペレット１３をペレット位置修正機構
１９の回転テーブル２４に載置させる。The pellet take-out mechanism 18 comprises a wafer stage 21 on which the wafer ring unit 11 is installed and a pellet transfer 23 for taking out the pellets 13. The wafer stage 21 is the wafer ring unit 1
1 and the wafer ring unit 11
The adhesive sheet 14 is stretched to expand the gap between the pellets 13 to facilitate the taking out of the pellets 13 by the pellet transfer 23. The pellet transfer 23 has a suction nozzle at the tip, and if necessary, the pellet 1 pushed up from below by a push-up pin (not shown).
3 is adsorbed and the pellet 13 is placed on the rotary table 24 of the pellet position correcting mechanism 19.
【００１４】ペレット位置修正機構１９は、図１に示す
ように、ペレットトランスファ２３にて取り出されたペ
レット１３を載置する回転テーブル２４と、この回転テ
ーブル２４上のペレット１３の位置を検出する検出カメ
ラ２５と、を備えてなる。ペレット位置修正機構１９
は、リードフレーム１６搬送用のリードフレーム搬送レ
ール２６とウエハステージ２１との間に設置され、この
鉛直上方に検出カメラ２５が配置される。ペレット位置
修正機構１９が、後に詳説するように、ペレット１３の
位置を検出し、適正に修正する。As shown in FIG. 1, the pellet position correcting mechanism 19 detects the position of the pellet 13 on the rotary table 24 on which the pellet 13 taken out by the pellet transfer 23 is placed and the position of the pellet 13 on the rotary table 24. And a camera 25. Pellet position correction mechanism 19
Is installed between the lead frame carrying rail 26 for carrying the lead frame 16 and the wafer stage 21, and the detection camera 25 is arranged vertically above this. The pellet position correcting mechanism 19 detects the position of the pellet 13 and corrects it appropriately, as described later in detail.
【００１５】ボンディング機構２０はボンディングヘッ
ド２７を有し、このボンディングヘッド２７の先端に備
える吸着ノズル（通称コレット）にて、回転テーブル２
４上のペレット１３をピックアップし、リードフレーム
搬送レール２６上に設置されたリードフレーム１６のア
イランド部１７に接着剤等を用いて固着する。The bonding mechanism 20 has a bonding head 27, and a rotary table 2 is provided by a suction nozzle (commonly called collet) provided at the tip of the bonding head 27.
The pellet 13 on 4 is picked up and fixed to the island portion 17 of the lead frame 16 installed on the lead frame transport rail 26 using an adhesive or the like.
【００１６】さて、回転テーブル２４は、図１に示すよ
うに正逆方向に回転可能に構成される。また、検出カメ
ラ２５による認識領域２８は、図２に示すように、回転
テーブル２４に載置されたペレット１３の一コーナ部Ａ
を含み、この近傍領域である。この検出カメラ２５を用
いて、回転テーブル２４上に載置されたペレット１３の
位置を検出する方法を次に述べる。The rotary table 24 is configured to be rotatable in forward and reverse directions as shown in FIG. Further, as shown in FIG. 2, the recognition area 28 by the detection camera 25 has a corner portion A of the pellet 13 placed on the turntable 24.
Is included in this neighborhood area. A method for detecting the position of the pellet 13 placed on the rotary table 24 using the detection camera 25 will be described below.
【００１７】先ず、図２（Ａ）に示すように、検出カメ
ラ２５にてその認識領域２８内に位置するペレット１３
の一コーナ部Ａの画像情報を取り込む。次に、図２
（Ｂ）に示すように、検出カメラ２５の位置は変更せず
に、回転テーブル２４を１８０度回転させ、検出カメラ
２５の認識領域２８内にペレット１３の他のコーナ部Ｂ
を位置付け、このコーナ部Ｂ画像情報を取り込む。この
他のコーナ部Ｂは、一コーナ部Ａに対し、対角位置にあ
るコーナ部である。上述のようにして取り込んだ２つの
コーナ部Ａ、Ｂの画像情報は画像処理部にてそれぞれ２
値化（または多値化）処理される。そして、画像処理さ
れた２値化（または多値化）画像の中より、予め設定さ
れた特徴画像（基準画像情報）をパターンマッチング法
等を用いて見つけ出し、これによりＸ、Ｙ、θ下記方向
における各コーナ部Ａ、Ｂの基準位置からのずれ量とず
れ方向等の位置ずれ状態が検出される。そして、特徴画
像の基準位置並びこの基準位置に対する各コーナ部Ａ、
Ｂの位置ずれ状態から各コーナ部Ａ、Ｂの位置座標が演
算により求められ、ペレット１３の位置が検出される。
尚、上記パターンマッチング法自体は公知であるので、
その詳細な説明は省略する。First, as shown in FIG. 2 (A), the pellet 13 located in the recognition area 28 of the detection camera 25.
The image information of the one corner portion A is captured. Next, FIG.
As shown in (B), the rotary table 24 is rotated 180 degrees without changing the position of the detection camera 25, and the other corner portion B of the pellet 13 is placed in the recognition area 28 of the detection camera 25.
Is positioned and the image information of the corner portion B is captured. The other corner portion B is a corner portion diagonally positioned with respect to one corner portion A. The image information of the two corner portions A and B captured as described above is 2 in the image processing portion.
Value conversion (or multi-value conversion) is performed. Then, a preset characteristic image (reference image information) is found from the image-processed binarized (or multi-valued) image by using a pattern matching method or the like, whereby X, Y, θ The amount of deviation of each corner portion A, B from the reference position and the position deviation state such as the deviation direction are detected. Then, the reference positions of the characteristic images are arranged, and the corner portions A corresponding to the reference positions are arranged.
The position coordinates of the corners A and B are calculated from the position shift state of B, and the position of the pellet 13 is detected.
Since the pattern matching method itself is known,
Detailed description thereof will be omitted.
【００１８】このようにして、Ｘ、Ｙ、θの各方向にお
けるペレット１３の位置ずれ状態が検出された後は、従
来と同様に、ペレット１３のθ方向の位置ずれ状態は回
転テーブル２４の回転により修正され、Ｘ、Ｙ方向にお
ける位置ずれ状態は、ボンディングヘッド２７の吸着ノ
ズルによるピックアップ位置の位置補正により修正さ
れ、結果的にペレットの中央位置を吸着ノズルにてピッ
クアップされる状態でリードフレームの所定位置まで搬
送され、ボンディングされる。After the displacement of the pellet 13 in the X, Y, and θ directions is detected in this manner, the displacement of the pellet 13 in the θ direction is rotated by the rotary table 24 as in the conventional case. The position deviation in the X and Y directions is corrected by the position correction of the pickup position by the suction nozzle of the bonding head 27, and as a result, the center position of the pellet is picked up by the suction nozzle. It is transported to a predetermined position and bonded.
【００１９】上記実施例によれば、ペレット１３の位置
検出が、ペレット１３の一コーナ部Ａ及び他のコーナ部
Ｂの位置を検出することによってなされるので、第１従
来例（図３（Ａ））のように、単一のコーナ部ａを位置
検出してペレット位置を検出する場合に比べ、ペレット
１３の位置検出精度を向上させることができる。According to the above embodiment, the position of the pellet 13 is detected by detecting the positions of the one corner portion A and the other corner portion B of the pellet 13, so that the first conventional example (see FIG. )), The position detection accuracy of the pellet 13 can be improved as compared with the case where the position of the single corner portion a is detected to detect the pellet position.
【００２０】更に、認識装置２５を移動させず、また第
２従来例（図３（Ｂ））のように回転テーブルをＸ、Ｙ
方向にスライドさせることなく、回転テーブル２４を回
転させることによってペレット１３の位置検出を実施す
るので、ペレット位置修正機構１９の構造の複雑化を招
くことがない。Furthermore, the recognition device 25 is not moved, and the rotary table is moved to X, Y as in the second conventional example (FIG. 3B).
Since the position of the pellet 13 is detected by rotating the rotary table 24 without sliding in the direction, the structure of the pellet position correcting mechanism 19 is not complicated.
【００２１】上記ペレット検出方法の他の実施例とし
て、検出カメラ２５にてペレット１３の一コーナ部Ａを
検出した後、図２（Ｃ）に示すように、回転テーブル２
４をθ°回転させて、ペレット１３の他のコーナ部Ｃの
位置を検出するようにしても良い。この他のコーナ部Ｃ
は、ペレット１３の一コーナ部Ａに隣接したコーナ部で
あり、上記θは、これらのコーナ部ＡとＣ間の寸法を回
転テーブル２４の回転角で表示したものである。ペレッ
ト１３が正方形の場合には、上記θは、図２（Ｄ）に示
す如く、θ＝90°となる。As another embodiment of the above-mentioned pellet detecting method, after detecting one corner portion A of the pellet 13 by the detection camera 25, as shown in FIG.
The position of the other corner portion C of the pellet 13 may be detected by rotating 4 by θ °. Other corners C
Is a corner portion adjacent to one corner portion A of the pellet 13, and the above θ represents the dimension between these corner portions A and C by the rotation angle of the rotary table 24. When the pellet 13 has a square shape, the above θ is θ = 90 ° as shown in FIG.
【００２２】[0022]
【発明の効果】以上のように、本発明に係るペレットボ
ディング装置のペレット位置検出方法によれば、装置の
複雑化を招くことなく、ペレット位置の検出精度を向上
させることができる。As described above, according to the pellet position detecting method of the pellet boarding apparatus of the present invention, the accuracy of detecting the pellet position can be improved without complicating the apparatus.
【図１】図１は、本発明に係るペレットボンディング装
置のペレット位置検出方法を実施するペレットボンディ
ング装置を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing a pellet bonding apparatus for carrying out a pellet position detecting method for a pellet bonding apparatus according to the present invention.
【図２】図２は、図１の回転テーブルを示す平面図であ
る。FIG. 2 is a plan view showing the rotary table of FIG.
【図３】図３（Ａ）は、第１従来例のペレット位置検出
方法を実施するペレットボンディング装置の回転テーブ
ルを示す平面図であり、図３（Ｂ）は、第２従来例のペ
レット位置検出方法を実施するペレットボンディング装
置の回転テーブルを示す平面図である。FIG. 3 (A) is a plan view showing a rotary table of a pellet bonding apparatus for carrying out the pellet position detecting method of the first conventional example, and FIG. 3 (B) is a pellet position of the second conventional example. It is a top view which shows the rotary table of the pellet bonding apparatus which implements the detection method.
１０ ペレットボンディング装置 １３ 半導体ペレット １９ ペレット位置修正機構 ２４ 回転テーブル ２５ 検出カメラ ２８ 検出カメラの認識領域 Ａ ペレットの一コーナ部 Ｂ ペレットの他のコーナ部 10 Pellet Bonding Device 13 Semiconductor Pellet 19 Pellet Position Correction Mechanism 24 Rotary Table 25 Detection Camera 28 Recognition Area of Detection Camera A Pellet Corner Part B Pellet Other Corner Part
Claims (3)
載置されたペレットの位置を、回転テーブルの上方に配
置された認識装置により検出するペレットボンディング
装置のペレット位置検出方法において、 上記認識装置により上記ペレットの一コーナ部の画像情
報を取り込んだ後、上記回転テーブルを回転させペレッ
トの他のコーナ部を上記認識装置の認識領域内に位置付
けてこの他のコーナ部の画像情報を取り込み、上記両コ
ーナ部の画像情報とそれぞれの基準画像情報とに基づい
て、各コーナ部の基準位置からの位置ずれ状態を検出す
ることを特徴とするペレットボンディング装置のペレッ
ト位置検出方法。1. A pellet position detecting method for a pellet bonding apparatus, wherein a position of a pellet placed on a rotary table of a pellet position correcting mechanism is detected by a recognition device arranged above the rotary table. After capturing the image information of one corner portion of the pellet, the rotary table is rotated to position the other corner portion of the pellet within the recognition area of the recognition device, and the image information of the other corner portion is captured, and both the corners are captured. A method for detecting the position of a pellet in a pellet bonding apparatus, which detects a position deviation of each corner portion from a reference position based on image information of each portion and respective reference image information.
対角位置にあるコーナ部である請求項１に記載のペレッ
トボンディング装置のペレット位置検出方法。2. The pellet position detecting method for a pellet bonding apparatus according to claim 1, wherein the other corner portion is a corner portion located at a diagonal position of the one corner portion.
隣接位置にあるコーナ部である請求項１に記載のペレッ
トボンディング装置のペレット位置検出方法。3. The pellet position detecting method for a pellet bonding apparatus according to claim 1, wherein the other corner portion is a corner portion located adjacent to the one corner portion.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17159094A JP3336123B2 (en) | 1994-07-01 | 1994-07-01 | Pellet position detection method for pellet bonding equipment |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17159094A JP3336123B2 (en) | 1994-07-01 | 1994-07-01 | Pellet position detection method for pellet bonding equipment |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0817851A true JPH0817851A (en) | 1996-01-19 |
| JP3336123B2 JP3336123B2 (en) | 2002-10-21 |
Family
ID=15925985
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17159094A Expired - Lifetime JP3336123B2 (en) | 1994-07-01 | 1994-07-01 | Pellet position detection method for pellet bonding equipment |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3336123B2 (en) |
Cited By (3)
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1994
- 1994-07-01 JP JP17159094A patent/JP3336123B2/en not_active Expired - Lifetime
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|---|---|
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