JPH08166499A - 電子線照射装置 - Google Patents
電子線照射装置Info
- Publication number
- JPH08166499A JPH08166499A JP6331393A JP33139394A JPH08166499A JP H08166499 A JPH08166499 A JP H08166499A JP 6331393 A JP6331393 A JP 6331393A JP 33139394 A JP33139394 A JP 33139394A JP H08166499 A JPH08166499 A JP H08166499A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- voltage
- coil
- high voltage
- grid potential
- grid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】
【目的】 簡易な手段で大地側から高電圧部のグリッド
電位調節器を制御すること。 【構成】 フィラメント１の前面にビーム電流を調節す
るグリッド電極５を設け、グリッド電位調節器６は、加
速電圧を発生する直流高電圧電源２、フィラメント１に
給電する絶縁変圧器４を収容する高圧絶縁ガスが充填さ
れた圧力容器内の高電圧部に設けられている。圧力容器
の内壁部に大地側コイル１４を設け、このコイルと電磁
誘導結合する高電圧部に設けた高電圧側コイル１５によ
ってグリッド電位調節器に制御信号Ｖｃを与える。設定
器９の出力に応動し、可変交流電源１３によって大地側
コイルの印加電圧を調節して高電圧側コイルの発生電圧
を変化させ、整流回路１６を介しての制御信号によりグ
リッド電位を制御する。
電位調節器を制御すること。 【構成】 フィラメント１の前面にビーム電流を調節す
るグリッド電極５を設け、グリッド電位調節器６は、加
速電圧を発生する直流高電圧電源２、フィラメント１に
給電する絶縁変圧器４を収容する高圧絶縁ガスが充填さ
れた圧力容器内の高電圧部に設けられている。圧力容器
の内壁部に大地側コイル１４を設け、このコイルと電磁
誘導結合する高電圧部に設けた高電圧側コイル１５によ
ってグリッド電位調節器に制御信号Ｖｃを与える。設定
器９の出力に応動し、可変交流電源１３によって大地側
コイルの印加電圧を調節して高電圧側コイルの発生電圧
を変化させ、整流回路１６を介しての制御信号によりグ
リッド電位を制御する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、高電圧部にあるグリッ
ド電位調節器への制御信号を、大地側から電磁誘導手段
を用いて伝送する電子線照射装置に関する。
ド電位調節器への制御信号を、大地側から電磁誘導手段
を用いて伝送する電子線照射装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３は、電子線発生部に、ビーム電流を
調節するためのグリッド電極が設けられている電子線照
射装置の回路構成図である。熱電子を放出するフィラメ
ント１は直流高電圧電源２からの負の高電圧が印加され
るようになっており、フィラメントからの電子は、加速
されて照射領域に取り出される。最終的に大地電位部で
捕捉される電子のビーム電流は直流高電圧電源２を経て
流れる。高電圧部に設けられているフィラメント１に
は、例えば、大地電位部の交流電源３から絶縁変圧器４
を介して給電する。
調節するためのグリッド電極が設けられている電子線照
射装置の回路構成図である。熱電子を放出するフィラメ
ント１は直流高電圧電源２からの負の高電圧が印加され
るようになっており、フィラメントからの電子は、加速
されて照射領域に取り出される。最終的に大地電位部で
捕捉される電子のビーム電流は直流高電圧電源２を経て
流れる。高電圧部に設けられているフィラメント１に
は、例えば、大地電位部の交流電源３から絶縁変圧器４
を介して給電する。
【０００３】フィラメント１の前面に電子ビーム電流を
調節するためのグリッド電極５が設けられ、フィラメン
ト１に対するグリッド電極５の電位、グリッド電位Ｖｇ
を調節することにより同電極を通り抜けるビーム電流を
調節する。高電圧部に設けられているグリッド電位調節
器６は、正極性端子を大地電位部に接続した直流高電圧
電源２の負極性端子とフィラメント１の一端との間に接
続する。グリッド電位調節器６は、例えば、フィラメン
ト１に対るグリッド電位を正電位にバイアスすることが
できる直流電圧の固定直流バイアス電源７と、トランジ
スタを用いた定電流回路８により構成されるが、定電流
回路の部分を固定バイアス電源とは逆極性でグリッド電
位を負電位にすることができる可変直流バイアス電源を
用いて構成しても良い。
調節するためのグリッド電極５が設けられ、フィラメン
ト１に対するグリッド電極５の電位、グリッド電位Ｖｇ
を調節することにより同電極を通り抜けるビーム電流を
調節する。高電圧部に設けられているグリッド電位調節
器６は、正極性端子を大地電位部に接続した直流高電圧
電源２の負極性端子とフィラメント１の一端との間に接
続する。グリッド電位調節器６は、例えば、フィラメン
ト１に対るグリッド電位を正電位にバイアスすることが
できる直流電圧の固定直流バイアス電源７と、トランジ
スタを用いた定電流回路８により構成されるが、定電流
回路の部分を固定バイアス電源とは逆極性でグリッド電
位を負電位にすることができる可変直流バイアス電源を
用いて構成しても良い。
【０００４】グリッド電位調節器６は大地電位部から制
御される。大地電位部にある設定器９からのグリッド電
位を調節するための制御信号Ｖｃは電圧／光変換器１０
で光信号に変換され、光ファイバ１１によって絶縁を確
保して高電圧部に伝送され、光／電圧変換器１２によ
り、電気信号に戻された制御信号Ｖｃを電位調節器６に
与える。グリッド電位調節器６の定電流回路８には制御
信号Ｖｃの大きさに比例するビーム電流ｉが流れ、グリ
ッド電極５のグリッド電位Ｖｇは、このビーム電流を生
じさせる固定直流バイアス電源７の直流電圧と定電流回
路の電圧降下の差の電位になる。
御される。大地電位部にある設定器９からのグリッド電
位を調節するための制御信号Ｖｃは電圧／光変換器１０
で光信号に変換され、光ファイバ１１によって絶縁を確
保して高電圧部に伝送され、光／電圧変換器１２によ
り、電気信号に戻された制御信号Ｖｃを電位調節器６に
与える。グリッド電位調節器６の定電流回路８には制御
信号Ｖｃの大きさに比例するビーム電流ｉが流れ、グリ
ッド電極５のグリッド電位Ｖｇは、このビーム電流を生
じさせる固定直流バイアス電源７の直流電圧と定電流回
路の電圧降下の差の電位になる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】直流高電圧電源２、絶
縁変圧器４、グリッド電位調節器６、同調節器への大地
電位側からの制御信号伝送系は、高圧絶縁ガスが充填さ
れた圧力容器の内部に収容されるが、グリッド電位調節
器への制御信号伝送に光ファイバを用いる光リンク方式
は、絶縁ガス充填容器内で使用する電子部品が多くな
り、故障率を高めてしまうことになる。絶縁ガス充填容
器内の部品故障は、容器内のガス抜き、再充填等の作業
を修理作業時に必要とし、多くの作業時間を要する。
縁変圧器４、グリッド電位調節器６、同調節器への大地
電位側からの制御信号伝送系は、高圧絶縁ガスが充填さ
れた圧力容器の内部に収容されるが、グリッド電位調節
器への制御信号伝送に光ファイバを用いる光リンク方式
は、絶縁ガス充填容器内で使用する電子部品が多くな
り、故障率を高めてしまうことになる。絶縁ガス充填容
器内の部品故障は、容器内のガス抜き、再充填等の作業
を修理作業時に必要とし、多くの作業時間を要する。
【０００６】高電位部にあるグリッド電位調節器６への
制御信号の伝送には、大地側に設けたサーボモ−タと高
電圧側に設けたポテンショメータを絶縁ロッドで結合
し、設定に応じてモ−タを回転させて、ポテンショメー
タから電位調節器に所要の制御信号を与えることができ
る。しかし、かかる絶縁ロッド方式は、機構部分の存在
により高速制御を行うことができない。
制御信号の伝送には、大地側に設けたサーボモ−タと高
電圧側に設けたポテンショメータを絶縁ロッドで結合
し、設定に応じてモ−タを回転させて、ポテンショメー
タから電位調節器に所要の制御信号を与えることができ
る。しかし、かかる絶縁ロッド方式は、機構部分の存在
により高速制御を行うことができない。
【０００７】本発明は、電磁誘導手段を用いる簡易な構
造で、大地側から高電圧側のグリッド電位調節器に制御
信号を伝送することができる電子線照射装置の提供を目
的とするものである。
造で、大地側から高電圧側のグリッド電位調節器に制御
信号を伝送することができる電子線照射装置の提供を目
的とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、電子線照射装
置において、高圧絶縁ガスが充填された圧力容器の内部
の高電圧部に配置されたグリッド電位調節器と、前記圧
力容器の内壁部に設けられた大地側コイルと、前記高電
圧部に設けられ、前記大地側コイルと電磁誘導結合し、
前記グリッド電位調節器に制御信号を与える高電圧側コ
イルとを備えてなることを特徴とするものである。
置において、高圧絶縁ガスが充填された圧力容器の内部
の高電圧部に配置されたグリッド電位調節器と、前記圧
力容器の内壁部に設けられた大地側コイルと、前記高電
圧部に設けられ、前記大地側コイルと電磁誘導結合し、
前記グリッド電位調節器に制御信号を与える高電圧側コ
イルとを備えてなることを特徴とするものである。
【０００９】
【作用】大地側コイルと高電圧側コイルとは高電圧の絶
縁に要する間隔だけ離れているから、電磁誘導結合度は
小さいが、高電圧側コイルに流れる電流は微小であり、
大地側コイルに印加する電圧信号を増減することによ
り、高電圧側コイルの発生電圧を増減させることがで
き、大地側から高電圧側に所要の制御信号を伝送するこ
とができる。
縁に要する間隔だけ離れているから、電磁誘導結合度は
小さいが、高電圧側コイルに流れる電流は微小であり、
大地側コイルに印加する電圧信号を増減することによ
り、高電圧側コイルの発生電圧を増減させることがで
き、大地側から高電圧側に所要の制御信号を伝送するこ
とができる。
【００１０】
【実施例】本発明の実施例について図面を参照して説明
する。図１は実施例の回路構成図、図２は電磁誘導結合
する二つのコイルが設けられる絶縁ガス充填圧力容器部
分の配置構成図であり、図３と同一符号は同等部分を示
す。フィラメント１の前面にあるグリッド電極５の電
位、グリッド電位Ｖｇはグリッド電位調節器６によって
調節し、調節器は設定器９によって大地電位側から制御
される。
する。図１は実施例の回路構成図、図２は電磁誘導結合
する二つのコイルが設けられる絶縁ガス充填圧力容器部
分の配置構成図であり、図３と同一符号は同等部分を示
す。フィラメント１の前面にあるグリッド電極５の電
位、グリッド電位Ｖｇはグリッド電位調節器６によって
調節し、調節器は設定器９によって大地電位側から制御
される。
【００１１】所要の電子ビーム電流、したがってグリッ
ド電位の設定器９の出力は出力電圧が可変の交流電源１
３に入力され、この可変交流電源は大地側コイル１４に
給電する。このコイルと高電圧部に設けた高電圧側コイ
ル１５は電磁誘導結合し、高電圧側コイルの発生電圧を
整流回路１６で整流することにより、直流の制御信号Ｖ
ｃをグリッド電位調節器６に与えることができる。
ド電位の設定器９の出力は出力電圧が可変の交流電源１
３に入力され、この可変交流電源は大地側コイル１４に
給電する。このコイルと高電圧部に設けた高電圧側コイ
ル１５は電磁誘導結合し、高電圧側コイルの発生電圧を
整流回路１６で整流することにより、直流の制御信号Ｖ
ｃをグリッド電位調節器６に与えることができる。
【００１２】図２に圧力容器部分の概略配置構成を示す
ように、高圧絶縁ガスが充填された圧力容器１７の内部
に、フィラメント１に給電する絶縁変圧器４、電子線加
速電圧を発生する直流高電圧電源２、グリッド電位調節
器６がそれぞれ設けられており、直流高電圧電源は外部
電源から給電される。グリッド電位調節器６への制御信
号Ｖｃを大地側から与えるための大地側コイル１４は圧
力容器１７の内壁部に設けられており、大地側コイルと
電磁誘導結合する高電圧側コイル１５は直流高電圧電源
２における高電圧部の周囲に設ける。例えば、直流高電
圧電源２の周囲には複数のコロナ放電防止用のフープが
低電圧部から高電圧部にかけて設けられるが、高電圧側
コイル１５は、高電圧部のフープの周囲に配設される。
高電圧側コイル１５の発生電圧を整流する回路１６は図
に示すようにグリッド電位調節器６に近接配置するか、
あるいは同調節器の内部に配置する。電子線発生部に対
する加速電圧の給電を含むフィラメント１及びグリッド
電極５への電路接続は圧力１７に結合した管路１８内に
ケーブルを通して行う。
ように、高圧絶縁ガスが充填された圧力容器１７の内部
に、フィラメント１に給電する絶縁変圧器４、電子線加
速電圧を発生する直流高電圧電源２、グリッド電位調節
器６がそれぞれ設けられており、直流高電圧電源は外部
電源から給電される。グリッド電位調節器６への制御信
号Ｖｃを大地側から与えるための大地側コイル１４は圧
力容器１７の内壁部に設けられており、大地側コイルと
電磁誘導結合する高電圧側コイル１５は直流高電圧電源
２における高電圧部の周囲に設ける。例えば、直流高電
圧電源２の周囲には複数のコロナ放電防止用のフープが
低電圧部から高電圧部にかけて設けられるが、高電圧側
コイル１５は、高電圧部のフープの周囲に配設される。
高電圧側コイル１５の発生電圧を整流する回路１６は図
に示すようにグリッド電位調節器６に近接配置するか、
あるいは同調節器の内部に配置する。電子線発生部に対
する加速電圧の給電を含むフィラメント１及びグリッド
電極５への電路接続は圧力１７に結合した管路１８内に
ケーブルを通して行う。
【００１３】大地側コイル１４と高電圧側コイル１５は
高電圧の絶縁に要する間隔、例えば電子線加速電圧が２
００〜３００ｋＶの装置では１０数ｃｍ、離されてお
り、高電圧側コイルには大地側コイルの漏洩磁束φが鎖
交することから、電磁誘導結合度は小さいが、高電圧側
コイルに流れる電流は微小であるから、設定器９の出力
に応動し、可変交流電源１３によって大地側コイル１４
に印加する交流電圧の大きさを調節すれば、高電圧側コ
イル１５に発生する交流電圧が変化する。この発生電圧
を整流回路１６で整流した制御信号Ｖｃをグリッド電位
調節器６に与え、グリッド電位Ｖｇを制御する。
高電圧の絶縁に要する間隔、例えば電子線加速電圧が２
００〜３００ｋＶの装置では１０数ｃｍ、離されてお
り、高電圧側コイルには大地側コイルの漏洩磁束φが鎖
交することから、電磁誘導結合度は小さいが、高電圧側
コイルに流れる電流は微小であるから、設定器９の出力
に応動し、可変交流電源１３によって大地側コイル１４
に印加する交流電圧の大きさを調節すれば、高電圧側コ
イル１５に発生する交流電圧が変化する。この発生電圧
を整流回路１６で整流した制御信号Ｖｃをグリッド電位
調節器６に与え、グリッド電位Ｖｇを制御する。
【００１４】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成した
ので、絶縁ガスが充填された圧力容器内に大地側と高電
圧側の二つのコイルを設けることにより、グリッド電位
調節器に制御信号を伝送することができるから、絶縁ガ
ス充填圧力容器内で使用される部品で、サージにそれほ
ど強くないＩＣ部品の使用数を減少させることができ、
これは、絶縁ガス充填圧力容器内の部品の故障発生率を
低減し、電子線照射装置の平均修復時間（ＭＴＴＲ）を
大きく低減することになり、電子線照射装置の信頼性が
向上する。
ので、絶縁ガスが充填された圧力容器内に大地側と高電
圧側の二つのコイルを設けることにより、グリッド電位
調節器に制御信号を伝送することができるから、絶縁ガ
ス充填圧力容器内で使用される部品で、サージにそれほ
ど強くないＩＣ部品の使用数を減少させることができ、
これは、絶縁ガス充填圧力容器内の部品の故障発生率を
低減し、電子線照射装置の平均修復時間（ＭＴＴＲ）を
大きく低減することになり、電子線照射装置の信頼性が
向上する。
【図１】本発明の実施例の回路構成図である。
【図２】図２は電磁誘導結合する二つのコイルが設けら
れる圧力容器部分の配置構成図である。
れる圧力容器部分の配置構成図である。
【図３】従来例の回路構成図である。
１ フィラメント ２ 直流高電圧電源 ４ 絶縁変圧器 ５ グリッド電極 ６ グリッド電位調節器 ９ 設定器 １３ 可変交流電源 １４ 大地側コイル １５ 高電圧側コイル １６ 整流回路 １７ 圧力容器
Claims (1)
- 【請求項１】 高圧絶縁ガスが充填された圧力容器の内
部の高電圧部に設けられたグリッド電位調節器と、前記
圧力容器の内壁部に設けられた大地側コイルと、前記高
電圧部に設けられ、前記大地側コイルと電磁誘導結合
し、前記グリッド電位調節器に制御信号を与える高電圧
側コイルとを備えてなることを特徴とする電子線照射装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6331393A JPH08166499A (ja) | 1994-12-12 | 1994-12-12 | 電子線照射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6331393A JPH08166499A (ja) | 1994-12-12 | 1994-12-12 | 電子線照射装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08166499A true JPH08166499A (ja) | 1996-06-25 |
Family
ID=18243199
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6331393A Pending JPH08166499A (ja) | 1994-12-12 | 1994-12-12 | 電子線照射装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08166499A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7414602B2 (en) | 2003-08-26 | 2008-08-19 | Seiko Epson Corporation | Method of driving liquid crystal display device, liquid crystal display device, and portable electronic apparatus |
-
1994
- 1994-12-12 JP JP6331393A patent/JPH08166499A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7414602B2 (en) | 2003-08-26 | 2008-08-19 | Seiko Epson Corporation | Method of driving liquid crystal display device, liquid crystal display device, and portable electronic apparatus |
| US8248338B2 (en) | 2003-08-26 | 2012-08-21 | Seiko Epson Corporation | Method of driving liquid crystal display device, liquid crystal display device, and portable electronic apparatus |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7151818B1 (en) | X-Ray tube driver using AM and FM modulation | |
| EP0067996B1 (en) | Low ripple regulated x-ray tube power supply | |
| US2533859A (en) | Improved injection system for magnetic induction accelerators | |
| GB2365304A (en) | A compact X-ray source | |
| EP0073199A1 (en) | Low ripple regulated x-ray tube power supply filament transformer | |
| JPH08166499A (ja) | 電子線照射装置 | |
| US5796218A (en) | High voltage stabilizing circuit | |
| JP2725594B2 (ja) | 気体レーザ装置 | |
| US4435746A (en) | Inductive reactive voltage regulator | |
| JPS62235803A (ja) | 高周波発生器 | |
| JPS6230400B2 (ja) | ||
| WO2020095555A1 (ja) | 電磁誘導型発電装置 | |
| US2459640A (en) | Regulating system | |
| KR102578475B1 (ko) | Igbt 게이트 구동부의 전원공급 장치 | |
| JPH08162295A (ja) | 電子線照射装置 | |
| JPS59132552A (ja) | 補助電源 | |
| KR102602843B1 (ko) | 자계 제어 방식의 지상 무효 전력 공급 장치를 시험하기 위한 장치 및 방법 | |
| WO2021131604A1 (ja) | 電磁誘導型発電装置 | |
| JP3042777B1 (ja) | エックス線管装置 | |
| JP3219551U (ja) | 高電圧電源装置 | |
| JPH06162985A (ja) | 電源装置 | |
| US5986406A (en) | Electric field noise eliminating circuit in a video display appliance | |
| JPH07320680A (ja) | 電子線照射装置 | |
| JP2001174597A (ja) | 電子線照射装置 | |
| KR100274429B1 (ko) | 디스플레이장치의 고압회로 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 8 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090309 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |