JPH08161722A - Magnetic recording medium - Google Patents

Magnetic recording medium

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JPH08161722A
JPH08161722A JP6296922A JP29692294A JPH08161722A JP H08161722 A JPH08161722 A JP H08161722A JP 6296922 A JP6296922 A JP 6296922A JP 29692294 A JP29692294 A JP 29692294A JP H08161722 A JPH08161722 A JP H08161722A
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magnetic
layer
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magnetic recording
lubricant
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Noriyuki Kitaori
典之 北折
Osamu Yoshida
修 吉田
Hirohide Mizunoya
博英 水野谷
Katsumi Sasaki
克己 佐々木
Yuzo Matsuo
祐三 松尾
Shigemi Wakabayashi
繁美 若林
Akira Shiga
章 志賀
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Abstract

PURPOSE: To obtain an evaporation type magnetic recording medium which enables the delivering of excellent output characteristics from a low to high band. CONSTITUTION: An evaporation type magnetic recording medium is obtained to let a residual magnetic flux density and a coercive force satisfy relationships as given by formulas (1) and (2).

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、金属蒸着型の磁気記録
媒体に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a metal vapor deposition type magnetic recording medium.

【0002】[0002]

【従来の技術】磁気記録媒体、例えば磁気テープには、
支持体であるフィルム上に磁性粉をバインダーに分散さ
せた磁性塗料を塗布してなる塗布型テープと、フィルム
上に真空中で金属を蒸着してなるバインダーを全く含ま
ない蒸着型テープとがある。
2. Description of the Related Art Magnetic recording media, such as magnetic tape,
There are coating tapes made by applying a magnetic paint in which magnetic powder is dispersed in a binder on a film that is a support, and vapor deposition tapes made by vapor-depositing a metal on a film and containing no binder at all. .

【0003】現在発売又は開発されている蒸着型テープ
は、PET(ポリエチレンテレフタレート)、ポリイミ
ド、アラミド等の支持体上に、真空蒸着法を用いて金属
を蒸着させた磁性層を有する。更に、磁性層を保護し、
また記録・再生用ヘッドとの接触をスムーズにするため
の潤滑剤としての働きを持たせるためにトップコート層
が形成されたり、或いは、磁性層の反対側の面にカーボ
ンブラック (粒径10〜100nm)をバインダー(塩ビ系、ウ
レタン系、硝化綿系などを単独又は混合して用いる)中
に分散させ、グラビア法、リバース法又はダイ塗工方式
で、乾燥後の厚さが 0.4〜1.0 μm になるように塗布し
てバックコート層を形成することが一般に行われてき
た。
The vapor-deposited tapes currently on sale or under development have a magnetic layer formed by vapor-depositing a metal on a support such as PET (polyethylene terephthalate), polyimide or aramid using a vacuum vapor deposition method. Furthermore, protect the magnetic layer,
In addition, a top coat layer is formed to have a function as a lubricant for smooth contact with the recording / reproducing head, or carbon black (particle size 10 to 10 100 nm) is dispersed in a binder (a vinyl chloride type, a urethane type, a nitrification type, etc. is used alone or as a mixture), and the thickness after drying is 0.4 to 1.0 μm by the gravure method, the reverse method or the die coating method. It has been generally practiced to form a back coat layer by applying the above method.

【0004】このような蒸着型の磁気記録媒体は、磁性
層にバインダーを含まないことから磁性材料の密度を高
められるため高密度記録に有望であるとされている。
Such a vapor-deposited magnetic recording medium is considered to be promising for high-density recording because the magnetic layer does not contain a binder so that the density of the magnetic material can be increased.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、現在の
蒸着型の磁気記録媒体では、付着させる磁性金属の種類
や磁性層のコラム構造等により、低域(例えば記録波長
が10MHz 未満の場合)で高出力を示すか、高域(例えば
記録波長が10MHz を越える場合)で高出力を示すかの何
れの傾向を示すものが得られており、そのような磁気記
録媒体ではおのずと静磁気特性が異なり、全域で良好な
出力特性を示す磁気記録媒体は得られていないのが現状
である。
However, in the current evaporation type magnetic recording medium, due to the type of magnetic metal to be deposited, the column structure of the magnetic layer, etc., it is possible to increase the high frequency in the low range (for example, when the recording wavelength is less than 10 MHz). It has been obtained that either the output is shown or the output is shown in the high range (for example, when the recording wavelength exceeds 10 MHz), the magnetic output characteristics are different from each other. At present, no magnetic recording medium showing good output characteristics over the entire area has been obtained.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明者らは上記の目的
を達成するために鋭意研究した結果、蒸着型の磁気記録
媒体において、残留磁束密度と保磁力が特定の関係を満
たす磁気記録媒体が全域で高出力を示すことを見出し、
本発明を完成するに至った。
DISCLOSURE OF THE INVENTION As a result of intensive studies for achieving the above-mentioned object, the present inventors have found that in a magnetic recording medium of vapor deposition type, the magnetic recording medium satisfying a specific relationship between the residual magnetic flux density and the coercive force. Finds high output over the entire area,
The present invention has been completed.

【0007】すなわち本発明は、蒸着により支持体上に
形成された少なくとも一層の磁性層を有する磁気記録媒
体であって、該磁気記録媒体の残留磁束密度と保磁力が
下記(1) 及び(2) の関係を満たすことを特徴とする磁気
記録媒体を提供するものである。
That is, the present invention is a magnetic recording medium having at least one magnetic layer formed on a support by vapor deposition, wherein the residual magnetic flux density and coercive force of the magnetic recording medium are the following (1) and (2). The present invention provides a magnetic recording medium characterized by satisfying the relationship (1).

【0008】[0008]

【数2】 [Equation 2]

【0009】Br:残留磁束密度 HcV :垂直方向の保磁力 HcL :長手方向の保磁力 本発明において、Br、HcV 、HcL は、試料振動式磁束計
(VSM )を用いて測定する。ここで、磁束に対して長手
に試料を入れて測定した保磁力をHcV とし、垂直方向に
入れた保磁力をHcL とした。
Br: Residual magnetic flux density Hc V : Coercive force in vertical direction Hc L : Coercive force in longitudinal direction In the present invention, Br, Hc V and Hc L are measured by using a sample vibrating magnetometer (VSM). . Here, the coercive force measured by inserting the sample longitudinally with respect to the magnetic flux was Hc V, and the coercive force inserted in the vertical direction was Hc L.

【0010】Br、HcV 、HcL が上記(1) 及び(2) の関係
を満たすためには、蒸着条件、磁性金属の種類や磁性層
の厚さ等を調節することが必要である。
In order for Br, Hc V and Hc L to satisfy the above relationships (1) and (2), it is necessary to adjust the vapor deposition conditions, the type of magnetic metal, the thickness of the magnetic layer and the like.

【0011】本発明の磁気記録媒体は、図1に示す如
く、支持体1上に蒸着等の方法により形成された少なく
とも一層の金属薄膜からなる磁性層2と、該磁性層2上
に形成されたダイヤモンドライクカーボン等からなる保
護層3と、該保護層3上に形成された潤滑層4と、支持
体1の磁性層2が形成されている面と反対の面に形成さ
れた金属又は半金属からなるバックコート層5とからな
る。以下、各層について説明する。
The magnetic recording medium of the present invention, as shown in FIG. 1, is formed on a support 1 by at least one layer of a metal thin film formed by a method such as vapor deposition, and a magnetic layer 2 formed on the magnetic layer 2. And a protective layer 3 made of diamond-like carbon, a lubricating layer 4 formed on the protective layer 3, and a metal or semi-metal formed on the surface of the support 1 opposite to the surface on which the magnetic layer 2 is formed. The back coat layer 5 made of metal. Hereinafter, each layer will be described.

【0012】〔磁性層〕磁性層を形成する磁性材料とし
ては、通常の金属薄膜型の磁気記録媒体の製造に用いら
れる強磁性金属材料が挙げられ、例えばCo, Ni, Fe等の
強磁性金属、また、Fe−Co、Fe−Ni、Co−Ni、Fe−Co−
Ni、Fe−Fh、Fe−Cu、Co−Cu、Co−Au、Co−Y 、Co−L
a、Co−Pr、Co−Gd、Co−Sm、Co−Pt、Ni−Cu、Mn−B
i、Mn−Sb、Mn−Al、Fe−Cr、Co−Cr、Ni−Cr、Fe−Co
−Cr、Ni−Co−Cr等の強磁性合金が挙げられる。磁性層
としては鉄の薄膜或いは鉄を主体とする強磁性合金の薄
膜が好ましく、特に、鉄、コバルト、ニッケルを主体と
する強磁性合金及びこれらの窒化物もしくは炭化物から
選ばれる少なくとも1種が好ましい。
[Magnetic Layer] Examples of the magnetic material for forming the magnetic layer include ferromagnetic metal materials used in the production of ordinary metal thin film type magnetic recording media. For example, ferromagnetic metals such as Co, Ni, Fe , Fe-Co, Fe-Ni, Co-Ni, Fe-Co-
Ni, Fe-Fh, Fe-Cu, Co-Cu, Co-Au, Co-Y, Co-L
a, Co-Pr, Co-Gd, Co-Sm, Co-Pt, Ni-Cu, Mn-B
i, Mn-Sb, Mn-Al, Fe-Cr, Co-Cr, Ni-Cr, Fe-Co
Examples include ferromagnetic alloys such as -Cr and Ni-Co-Cr. As the magnetic layer, a thin film of iron or a thin film of a ferromagnetic alloy containing iron as a main component is preferable, and at least one selected from a ferromagnetic alloy containing iron, cobalt, nickel as a main component and nitrides or carbides thereof is preferable. .

【0013】高密度記録のためには磁気記録媒体の磁性
層は、斜め蒸着により基材上に形成することが好まし
い。斜め蒸着の方法は特に限定されず、従来公知の方法
に準ずる。蒸着の際の真空度は10-4〜10-7Torr程度であ
る。蒸着による磁性層は単層構造でも多層構造の何れで
も良く、特に、酸化性ガスを導入して磁性層表面に酸化
物を形成することにより、耐久性の向上を図ることがで
きる。
For high density recording, the magnetic layer of the magnetic recording medium is preferably formed on the substrate by oblique vapor deposition. The method of oblique vapor deposition is not particularly limited and is based on a conventionally known method. The degree of vacuum during vapor deposition is about 10 −4 to 10 −7 Torr. The magnetic layer formed by vapor deposition may have either a single-layer structure or a multi-layer structure, and in particular, the durability can be improved by introducing an oxidizing gas to form an oxide on the surface of the magnetic layer.

【0014】本発明において、磁性層の厚さは限定しな
いが1000〜3000Å、好ましくは1000〜2400Åである。ま
た、磁性層は単層でも多層でもよいが、多層とする場合
は2〜5層がよい。
In the present invention, the thickness of the magnetic layer is not limited, but is 1000 to 3000Å, preferably 1000 to 2400Å. Further, the magnetic layer may be a single layer or multiple layers, but in the case of multiple layers, 2 to 5 layers are preferable.

【0015】〔保護層〕本発明の磁気記録媒体には、磁
性層の上に保護層を設けてもよい。保護層は、真空中で
磁性層の上に形成されるが、保護層は、炭素或いは炭化
物、窒化物、酸化物、特にダイヤモンドライクカーボ
ン、ダイヤモンド、炭化ホウ素、炭化ケイ素、窒化ホウ
素、窒化ケイ素、酸化ケイ素、酸化アルミニウム等を磁
性層上に付着して成膜することにより形成されるのが好
ましい。
[Protective Layer] In the magnetic recording medium of the present invention, a protective layer may be provided on the magnetic layer. The protective layer is formed on the magnetic layer in a vacuum, and the protective layer is carbon or carbide, nitride, oxide, especially diamond-like carbon, diamond, boron carbide, silicon carbide, boron nitride, silicon nitride, It is preferably formed by depositing silicon oxide, aluminum oxide or the like on the magnetic layer to form a film.

【0016】保護層を形成するための付着方法として
は、化学的気相成長法(CVD) と物理的蒸着法(PVD) の何
れでもよい。CVD 法では特にマイクロ波を用いたECR 法
や、高周波(RF)を用いた方法が有効である。CVD 法によ
り保護層を形成する場合、原料はガス状、液状或いは固
体状の何れのものを用いてもよい。ガス状の原料により
ダイヤモンドライクカーボンを形成する場合は、メタン
とアルゴンの混合ガス、エタンと水素の混合ガス、メタ
ンと水素の混合ガスを用いるのがよい。また、液状の原
料によりダイヤモンドライクカーボンを形成する場合
は、アルコールや不飽和炭化水素を用いるのがよい。更
に固体状の原料によりダイヤモンドライクカーボンを形
成する場合は、ナフタリンや高級パラフィンを用いるの
がよい。この場合、固体を加熱したり超音波をかけても
よい。
The deposition method for forming the protective layer may be either a chemical vapor deposition method (CVD) or a physical vapor deposition method (PVD). For the CVD method, the ECR method using microwaves and the method using high frequency (RF) are particularly effective. When the protective layer is formed by the CVD method, the raw material may be gas, liquid or solid. When diamond-like carbon is formed from a gaseous raw material, it is preferable to use a mixed gas of methane and argon, a mixed gas of ethane and hydrogen, and a mixed gas of methane and hydrogen. When diamond-like carbon is formed from a liquid material, alcohol or unsaturated hydrocarbon is preferably used. When diamond-like carbon is formed from a solid raw material, naphthalene or higher paraffin is preferably used. In this case, the solid may be heated or ultrasonic waves may be applied.

【0017】また、PVD 法としては、熱蒸発法、スパッ
タ法、イオンプレーティング法等が挙げられるが、何れ
を用いることもできる。本発明においては、特にスパッ
タ法が有効である。スパッタ法によりダイヤモンドライ
クカーボンを形成する場合は、グラファイトのターゲッ
トを用いてメタンとアルゴンの混合ガス又はメタンと水
素の混合ガス中でスパッタするのがよい。また、窒化ケ
イ素の保護層を形成する場合、ターゲットがケイ素で、
放電ガスはアルゴンと窒素の混合ガス、アルゴンとアン
モニアの混合ガス、窒素ガス、アンモニアガス、アンモ
ニアとモノシラン(SiH4)の混合ガス等がよい。また、酸
化アルミニウムの保護層を形成する場合、ターゲットが
アルミニウムで放電ガスはアルゴンと酸素の混合ガスが
効果的である。
As the PVD method, a thermal evaporation method, a sputtering method, an ion plating method and the like can be mentioned, but any method can be used. In the present invention, the sputtering method is particularly effective. When diamond-like carbon is formed by the sputtering method, it is preferable to use a graphite target and perform sputtering in a mixed gas of methane and argon or a mixed gas of methane and hydrogen. When forming a protective layer of silicon nitride, the target is silicon,
The discharge gas is preferably a mixed gas of argon and nitrogen, a mixed gas of argon and ammonia, a nitrogen gas, an ammonia gas, a mixed gas of ammonia and monosilane (SiH 4 ), and the like. When forming a protective layer of aluminum oxide, the target is aluminum and the discharge gas is effectively a mixed gas of argon and oxygen.

【0018】蒸着の際の真空度はCVD 法の場合、10-2
10-5Torr程度、PVD 法の場合、10-4〜10-7Torr程度であ
る。また保護層の厚さは特に限定しないが、10〜300
Å、好ましくは30〜150 Å程度が適当である。
In the case of the CVD method, the degree of vacuum during vapor deposition is 10 -2 to
It is about 10 -5 Torr, and in the case of the PVD method, it is about 10 -4 to 10 -7 Torr. The thickness of the protective layer is not particularly limited, but it is 10 to 300.
Å, preferably about 30 to 150 Å.

【0019】〔潤滑層〕本発明の磁気記録媒体には、磁
性層上或いは保護層を形成する場合は保護層上に適当な
潤滑剤からなる潤滑層を形成してもよい。
[Lubricating Layer] In the magnetic recording medium of the present invention, a lubricating layer made of a suitable lubricant may be formed on the magnetic layer or when the protective layer is formed.

【0020】潤滑層は常法により適当な潤滑剤を溶剤に
溶かして大気中で塗布しても良いし、真空中で潤滑剤を
噴霧してもよい。
The lubricant layer may be prepared by dissolving a suitable lubricant in a solvent and coating it in the atmosphere by a conventional method, or by spraying the lubricant in a vacuum.

【0021】真空中で潤滑剤を噴霧する方法では潤滑剤
は、超音波発振器を備えた噴霧器(以下、超音波噴霧器
という)により支持体上に形成された磁性層上に噴霧す
るのが好ましい。より詳細には、超音波噴霧器は、潤滑
剤の供給手段と、該供給手段から供給された潤滑剤に超
音波を印加して霧化する手段(超音波発振器)と、霧化
された潤滑剤を噴霧するノズルとからなる。また、ノズ
ルタイプの噴霧装置を用いてもよい。ノズルタイプの噴
霧装置は一般に一流体ノズルと呼ばれる装置が使用でき
る。
In the method of spraying a lubricant in a vacuum, it is preferable that the lubricant is sprayed on the magnetic layer formed on the support by a sprayer equipped with an ultrasonic oscillator (hereinafter referred to as an ultrasonic sprayer). More specifically, the ultrasonic atomizer includes a lubricant supply unit, a unit for applying ultrasonic waves to the lubricant supplied from the supply unit to atomize the lubricant (ultrasonic oscillator), and the atomized lubricant. And a nozzle for spraying. Further, a nozzle type spraying device may be used. As the nozzle type spraying device, a device generally called a one-fluid nozzle can be used.

【0022】超音波噴霧器を使用して潤滑剤を微細な粒
子として噴霧することにより、高温(200 ℃以上)に弱
く蒸気圧が低いため、従来空気中での塗布による潤滑層
の形成に用いられていたパーフルオロポリエーテル等の
弗素系潤滑剤の真空中での噴霧が可能となる。
By spraying a lubricant as fine particles using an ultrasonic atomizer, it is weak at a high temperature (200 ° C. or higher) and has a low vapor pressure. Therefore, it is conventionally used for forming a lubricating layer by coating in air. It is now possible to spray a fluorine-based lubricant such as perfluoropolyether in a vacuum.

【0023】パーフルオロポリエーテルとしては、分子
量2000〜5000のものが好適であり、例えば「FOMBLIN Z
DIAC」〔カルボキシル基変性、モンテカチーニ (株)
製〕、「FOMBLIN Z DOL 」〔アルコール変性、モンテカ
チーニ (株) 製〕の商品名で市販されているものが使用
できる。これらは末端に水酸基或いはカルボキシル基を
有するため、潤滑剤と磁性層との結着を高め得るので、
本発明に特に好適に用いられる。
As the perfluoropolyether, those having a molecular weight of 2000 to 5000 are suitable, and for example, "FOMBLIN Z
DIAC "[carboxyl group modified, Montecatini Co., Ltd.
Commercially available], "FOMBLIN Z DOL" (alcohol-modified, Montecatini Co., Ltd.) can be used. Since these have a hydroxyl group or a carboxyl group at the terminal, they can enhance the binding between the lubricant and the magnetic layer.
It is particularly preferably used in the present invention.

【0024】尚、これら以外にも、ベンゼン環、二重結
合、分岐鎖等を含むフッ素系の潤滑剤、脂肪酸系の潤滑
剤、その他の潤滑剤を使用することも使用できる。しか
しながら、フッ素系潤滑剤は、脂肪酸系潤滑剤と比べ耐
久性だけでなく耐蝕性も向上させるため、本発明に特に
好適に用いられる。
In addition to these, it is also possible to use a fluorine-based lubricant containing a benzene ring, a double bond, a branched chain, etc., a fatty acid-based lubricant, or another lubricant. However, since the fluorine-based lubricant improves not only the durability but also the corrosion resistance as compared with the fatty acid-based lubricant, it is particularly preferably used in the present invention.

【0025】また、潤滑剤の噴霧にあたっては、潤滑剤
をフッ素系不活性溶媒(例えば住友スリーエム (株) 製
「フロリナート」等のパーフルオロカーボン、モンテカ
チーニ (株) 製「ガルデン」等のパーフルオロポリエー
テル)、アルコール系溶媒等の適当な溶媒に溶解させた
0.001〜10重量%程度、特に0.02〜2.0 重量%の溶液と
して用いるのが好ましい。潤滑剤としてパーフルオロポ
リエーテルを用いる場合、溶媒としてはパーフルオロカ
ーボンが使用でき、その場合の濃度は 0.001〜1.0 重量
%程度、特に0.05〜0.2 重量%が好ましい。
When the lubricant is sprayed, the lubricant is a fluorine-based inert solvent (for example, perfluorocarbon such as “Fluorinert” manufactured by Sumitomo 3M Ltd., perfluoropolyether such as “Galden” manufactured by Montecatini Co., Ltd.). ), Dissolved in an appropriate solvent such as an alcohol solvent
It is preferably used as a solution of about 0.001 to 10% by weight, particularly 0.02 to 2.0% by weight. When perfluoropolyether is used as the lubricant, perfluorocarbon can be used as the solvent, and the concentration in that case is about 0.001 to 1.0% by weight, preferably 0.05 to 0.2% by weight.

【0026】噴霧する潤滑剤(潤滑剤溶液)の微粒子は
出来るだけ微細であることが望ましく、潤滑剤の種類や
粘度によって適用する超音波の周波数が決定されるが、
一般的には 10kHz〜5MHz の範囲から選択される。
It is desirable that the fine particles of the lubricant (lubricant solution) to be sprayed are as fine as possible, and the frequency of ultrasonic waves to be applied is determined by the kind and viscosity of the lubricant.
Generally, it is selected from the range of 10kHz to 5MHz.

【0027】また、潤滑剤の噴霧量或いは塗布量は、磁
気記録媒体の用途や潤滑剤の種類等を考慮して適宜決定
すればよいが、形成された潤滑層の厚さは10〜200 Å程
度となるように調節するのが好ましい。潤滑剤を噴霧す
る際の真空度は5×10-4〜5×10Torr程度、好ましくは
5×10-1〜5×10-2 Torr である。
The spraying amount or coating amount of the lubricant may be appropriately determined in consideration of the use of the magnetic recording medium, the kind of the lubricant, etc., but the thickness of the formed lubricating layer is 10 to 200Å It is preferable to adjust the degree. The degree of vacuum when spraying the lubricant is about 5 × 10 −4 to 5 × 10 Torr, preferably 5 × 10 −1 to 5 × 10 −2 Torr.

【0028】〔バックコート層〕本発明の磁気記録媒体
には、支持体上の磁性層が形成される面と反対の面にバ
ックコート層を形成することができる。バックコート層
は、カーボンブラック等を適当な溶剤に分散させた液を
塗布してもよいし、金属又は半金属を物理的蒸着法(PV
D) 、特に熱蒸発法、スパッタリング法により蒸着させ
て形成させてもよい。
[Backcoat Layer] In the magnetic recording medium of the present invention, a backcoat layer can be formed on the surface of the support opposite to the surface on which the magnetic layer is formed. The back coat layer may be applied by applying a liquid in which carbon black or the like is dispersed in a suitable solvent, or by using a physical vapor deposition method (PV
D), in particular, may be formed by vapor deposition by a thermal evaporation method or a sputtering method.

【0029】バックコート層を塗布により形成する場合
は、粒径10〜100nm のカーボンブラックを、塩ビ系、ウ
レタン系、硝化綿系等のバインダー中に分散させ、グラ
ビア法、リバース法又はダイ塗工方式等で、乾燥後の厚
さが 0.4〜1.0 μm になるように塗布する。
When the back coat layer is formed by coating, carbon black having a particle diameter of 10 to 100 nm is dispersed in a binder such as a vinyl chloride type, a urethane type, a nitrification type and the like, followed by a gravure method, a reverse method or a die coating method. Apply the coating so that the thickness after drying is 0.4 to 1.0 μm.

【0030】蒸着によりバックコート層を形成する場
合、金属又は半金属材料としては、アルミニウム、シリ
コンが好ましく、厚さは0.05〜1.0 μm 程度である。
When the back coat layer is formed by vapor deposition, the metal or semimetal material is preferably aluminum or silicon, and the thickness thereof is about 0.05 to 1.0 μm.

【0031】〔支持体〕本発明の磁気記録媒体を構成す
る支持体としては、ポリエチレンテレフタレート、ポリ
エチレンナフタレートのようなポリエステル;ポリエチ
レン、ポリプロピレン等のポリオレフィン; セルロース
トリアセテート、セルロースジアセテート等のセルロー
ス誘導体;ポリカーボネート;ポリ塩化ビニル;ポリイ
ミド;芳香族ポリアミド等のプラスチック等が使用され
る。これらの支持体の厚さは3〜50μm 程度である。
[Support] As the support constituting the magnetic recording medium of the present invention, polyesters such as polyethylene terephthalate and polyethylene naphthalate; polyolefins such as polyethylene and polypropylene; cellulose derivatives such as cellulose triacetate and cellulose diacetate; Polycarbonate; polyvinyl chloride; polyimide; plastics such as aromatic polyamide are used. The thickness of these supports is about 3 to 50 μm.

【0032】〔その他〕本発明の磁気記録媒体には、支
持体と磁性層の間に適当な中間層を形成してもよい。中
間層は非磁性粒子、例えばカーボンブラック、α−アル
ミナ等を適当な結合剤に分散させた塗料を塗布して形成
してもよいし、アルミニウム等の非磁性金属を蒸着させ
て形成してもよい。中間層の厚さは限定しない。
[Others] In the magnetic recording medium of the present invention, an appropriate intermediate layer may be formed between the support and the magnetic layer. The intermediate layer may be formed by coating a coating material in which non-magnetic particles such as carbon black and α-alumina are dispersed in a suitable binder, or by depositing a non-magnetic metal such as aluminum. Good. The thickness of the intermediate layer is not limited.

【0033】[0033]

【実施例】以下に本発明の実施例を説明する。しかしな
がら、本発明はこれらの実施例に限定されるものではな
い。
Embodiments of the present invention will be described below. However, the invention is not limited to these examples.

【0034】実施例1〜4及び比較例1〜4 (i) 磁気テープの製造 PET フィルム(厚さ6μm )に蒸着法によりAl−O から
なる厚さ0.5 μmのバックコート層を形成した。次いで
PET フィルムのバックコート層が形成されている面と反
対の面に蒸着によりコバルトからなる厚さ1000Åの第一
磁性層を形成し、ついで第一磁性層上に、蒸着によりコ
バルトからなる厚さ1000Åの第二磁性層を形成し、 ECR
プラズマCVD 装置により第二磁性層上に厚さ50Åのダイ
ヤモンドライクカーボン層を形成した。更に別のチャン
バ内で、ダイヤモンドライクカーボン層上にパーフルオ
ロポリエーテル「FOMBLIN AM 2001 」〔モンテカチーニ
(株) 製〕の0.05重量%溶液〔溶媒はフッ素系の不活性
液体「FC-77 」(住友スリーエム社)〕を、乾燥後の厚
さが20Åとなるように塗布し、次いで100 ℃で乾燥し磁
気フィルムを得た。その後、磁気フィルムを大気中に取
出し、1/2インチ(約1.27cm)幅にスリッタ(裁断)
し、8mmのカセットに挿入し、Hi−8用のビデオカセッ
トを作製した(実施例1) なお、蒸着による成膜時の金属材料の蒸気の入射角、ル
ツボの位置、キャンロール径、導入酸素の量、導入酸素
の入れ方及び膜厚等を変化させて、保磁力及び残留磁束
密度を変えたテープを作製し、比較した。
Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 to 4 (i) Production of Magnetic Tape A back coat layer of Al—O having a thickness of 0.5 μm was formed on a PET film (thickness of 6 μm) by a vapor deposition method. Then
A 1000 Å first magnetic layer made of cobalt is formed by vapor deposition on the surface of the PET film opposite to the surface on which the back coat layer is formed, and then 1000 Å made of cobalt by vapor deposition on the first magnetic layer. Forming the second magnetic layer of ECR
A 50Å-thick diamond-like carbon layer was formed on the second magnetic layer using a plasma CVD apparatus. In another chamber, a perfluoropolyether "FOMBLIN AM 2001" [Montecatini] on a diamond-like carbon layer.
Co., Ltd.] 0.05 wt% solution [solvent is a fluorine-based inert liquid "FC-77" (Sumitomo 3M Limited)] to a dry thickness of 20Å, then at 100 ℃ A magnetic film was obtained by drying. After that, the magnetic film is taken out into the atmosphere and slitted into a 1/2 inch (about 1.27 cm) width.
Then, a video cassette for Hi-8 was produced by inserting it into an 8 mm cassette (Example 1). Note that the incident angle of vapor of the metal material during film formation by vapor deposition, the position of the crucible, the can roll diameter, and the oxygen introduced. By changing the amount, the amount of introduced oxygen, the film thickness, and the like, tapes having different coercive force and residual magnetic flux density were produced and compared.

【0035】(ii)性能評価 上記により得たビデオカセットの保磁力、残留磁束密度
を表1に示す。また、また、ED−β−VTR 装置を改造し
たアンプを用い、5、10、20、25MHz での出力を評価し
た結果を併せて表1に示す。
(Ii) Performance Evaluation Table 1 shows the coercive force and residual magnetic flux density of the video cassette obtained as described above. Table 1 also shows the results of evaluating the outputs at 5, 10, 20, and 25 MHz using an amplifier obtained by modifying the ED-β-VTR device.

【0036】[0036]

【表1】 [Table 1]

【0037】[0037]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
広域にわたって良好な出力特性を示す金属蒸着型の磁気
記録媒体が得られる。
As described above, according to the present invention,
A metal vapor deposition type magnetic recording medium exhibiting excellent output characteristics over a wide range can be obtained.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐々木 克己 栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606番地 花 王株式会社情報科学研究所内 (72)発明者 松尾 祐三 栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606番地 花 王株式会社情報科学研究所内 (72)発明者 若林 繁美 栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606番地 花 王株式会社情報科学研究所内 (72)発明者 志賀 章 栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606番地 花 王株式会社情報科学研究所内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Katsumi Sasaki 2606, Akabane, Kaiga-cho, Haga-gun, Tochigi Prefecture Kao Corporation Information Science Laboratory (72) Inventor Yuzo Matsuo 2606, Akabane, Kaiga-cho, Haga-gun, Tochigi Prefecture Oo Co., Ltd.Institute of Information Science (72) Inventor Shigemi Wakabayashi 2606, Akabane, Kai, Cho, Haga-gun, Tochigi Prefecture Information Science Laboratory, Wang Co., Ltd.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】蒸着により支持体上に形成された少なくと
も一層の磁性層を有する磁気記録媒体であって、該磁気
記録媒体の残留磁束密度と保磁力が下記(1)及び(2)の関
係を満たすことを特徴とする磁気記録媒体。 【数1】 Br:残留磁束密度 HcV :垂直方向の保磁力 HcL :長手方向の保磁力
1. A magnetic recording medium having at least one magnetic layer formed on a support by vapor deposition, wherein the residual magnetic flux density and coercive force of the magnetic recording medium have the following relationships (1) and (2). A magnetic recording medium characterized by satisfying: [Equation 1] Br: Residual magnetic flux density Hc V : Coercive force in vertical direction Hc L : Coercive force in longitudinal direction
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