JPH08153494A - 光源装置 - Google Patents
光源装置Info
- Publication number
- JPH08153494A JPH08153494A JP29452594A JP29452594A JPH08153494A JP H08153494 A JPH08153494 A JP H08153494A JP 29452594 A JP29452594 A JP 29452594A JP 29452594 A JP29452594 A JP 29452594A JP H08153494 A JPH08153494 A JP H08153494A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- container
- gas
- light source
- source device
- microwave
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Discharge Lamps And Accessories Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】ガス封入容器の一部が劣化しても容器全体を取
り替える必要がなく、保守性の向上を図ることのできる
光源装置を提供する。 【構成】ガス封入容器１４を、セラミック製容器１５
と、このセラミック製容器１５の光取出し窓１６を閉塞
する閉塞板１７と、この閉塞板１７をセラミック製容器
１５に着脱自在に固定する固定手段１９とで構成したこ
とを特徴とする。
り替える必要がなく、保守性の向上を図ることのできる
光源装置を提供する。 【構成】ガス封入容器１４を、セラミック製容器１５
と、このセラミック製容器１５の光取出し窓１６を閉塞
する閉塞板１７と、この閉塞板１７をセラミック製容器
１５に着脱自在に固定する固定手段１９とで構成したこ
とを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、シリコン酸化膜を紫
外光でエッチングする場合などに用いられる光源装置に
関するものである。
外光でエッチングする場合などに用いられる光源装置に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】シリコン酸化膜を紫外光でエッチングす
る場合、従来は紫外光源として低圧水銀ランプやキセノ
ンランプ等が用いられているが、低圧水銀ランプは注入
電力密度が１Ｗ／ｃｍ3 を超えると、自己吸収や共鳴放
射の閉じ込めが生じ、電気効率が低くなるという難点が
ある。
る場合、従来は紫外光源として低圧水銀ランプやキセノ
ンランプ等が用いられているが、低圧水銀ランプは注入
電力密度が１Ｗ／ｃｍ3 を超えると、自己吸収や共鳴放
射の閉じ込めが生じ、電気効率が低くなるという難点が
ある。
【０００３】一方、キセノンランプは発光波長が２５０
ｎｍ〜４００ｎｍの範囲では電気効率が高いが、化学反
応の波長制御が難しいという難点がある。そこで、上記
のような難点を解決するために、図３に示すような光源
装置が考案されている。図３において、１はマイクロ波
発生器であり、このマイクロ波発生器１にはマイクロ波
共振器３が導波管２を介して接続されている。
ｎｍ〜４００ｎｍの範囲では電気効率が高いが、化学反
応の波長制御が難しいという難点がある。そこで、上記
のような難点を解決するために、図３に示すような光源
装置が考案されている。図３において、１はマイクロ波
発生器であり、このマイクロ波発生器１にはマイクロ波
共振器３が導波管２を介して接続されている。
【０００４】前記マイクロ波共振器３はマイクロ波発生
器１で発生したマイクロ波を共振させるためのものであ
り、このマイクロ波共振器３の内部には、球形状のガス
封入容器４が収容されている。このガス封入容器４は石
英で構成されており、その内部にはマイクロ波電力によ
り励起されて紫外領域の光を発生するガス（例えばＫｒ
とＦ2 とＨｅとからなる混合ガス）が封入されている。
器１で発生したマイクロ波を共振させるためのものであ
り、このマイクロ波共振器３の内部には、球形状のガス
封入容器４が収容されている。このガス封入容器４は石
英で構成されており、その内部にはマイクロ波電力によ
り励起されて紫外領域の光を発生するガス（例えばＫｒ
とＦ2 とＨｅとからなる混合ガス）が封入されている。
【０００５】また、５はガス封入容器４に上述したガス
を供給するガス供給装置、６はガス封入容器４からガス
を排気するガス排気装置である。上記の構成において、
マイクロ波発生器１で発生したマイクロ波が導波管２を
通ってマイクロ波共振器２に入射すると、ガス封入容器
４内に封入されたガスがマイクロ波によって励起され
る。そして、ガス封入容器４の封入ガスが励起されるこ
とによってガス封入容器４内に紫外光が発生し、ガス封
入容器４内で発生した紫外光はマイクロ波共振器２の前
端に設けられたメッシュ７を通って前方に放出される。
を供給するガス供給装置、６はガス封入容器４からガス
を排気するガス排気装置である。上記の構成において、
マイクロ波発生器１で発生したマイクロ波が導波管２を
通ってマイクロ波共振器２に入射すると、ガス封入容器
４内に封入されたガスがマイクロ波によって励起され
る。そして、ガス封入容器４の封入ガスが励起されるこ
とによってガス封入容器４内に紫外光が発生し、ガス封
入容器４内で発生した紫外光はマイクロ波共振器２の前
端に設けられたメッシュ７を通って前方に放出される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】図３に示した光源装置
では、ガス封入容器４内に封入されたガスをマイクロ波
電力により励起して紫外光を発生させる構造であるた
め、紫外領域で輝度の高いインコヒーレント光を得るこ
とができるという利点を有するが、ガス封入容器４を構
成する石英が劣化した場合には、ガス封入容器全体を取
り替える必要があるため、保守性が低いという問題があ
った。
では、ガス封入容器４内に封入されたガスをマイクロ波
電力により励起して紫外光を発生させる構造であるた
め、紫外領域で輝度の高いインコヒーレント光を得るこ
とができるという利点を有するが、ガス封入容器４を構
成する石英が劣化した場合には、ガス封入容器全体を取
り替える必要があるため、保守性が低いという問題があ
った。
【０００７】この発明は上述した問題点に鑑みてなされ
たもので、その目的はガス封入容器の一部が劣化しても
容器全体を取り替える必要がなく、保守性の向上を図る
ことのできる光源装置を提供しようとするものである。
たもので、その目的はガス封入容器の一部が劣化しても
容器全体を取り替える必要がなく、保守性の向上を図る
ことのできる光源装置を提供しようとするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、この発明は、マイクロ波発生器に導波管を介して接
続されたマイクロ波共振器と、このマイクロ波共振器内
に収容されたガス封入容器とを備えた光源装置におい
て、前記ガス封入容器を、光取出し窓を有するセラミッ
ク製容器と、前記光取出し窓を閉塞する閉塞板と、この
閉塞板を前記セラミック製容器に着脱自在に固定する固
定手段とで構成したことを特徴とするものである。
に、この発明は、マイクロ波発生器に導波管を介して接
続されたマイクロ波共振器と、このマイクロ波共振器内
に収容されたガス封入容器とを備えた光源装置におい
て、前記ガス封入容器を、光取出し窓を有するセラミッ
ク製容器と、前記光取出し窓を閉塞する閉塞板と、この
閉塞板を前記セラミック製容器に着脱自在に固定する固
定手段とで構成したことを特徴とするものである。
【０００９】
【作用】上記の構成によると、封入ガスの励起により劣
化する部分はＭｇＦ2 等のアルカリハライドからなる閉
塞板のみとなるので、ガス封入容器の一部が劣化しても
容器全体を取り替える必要がなく、保守性の向上を図る
ことができる。
化する部分はＭｇＦ2 等のアルカリハライドからなる閉
塞板のみとなるので、ガス封入容器の一部が劣化しても
容器全体を取り替える必要がなく、保守性の向上を図る
ことができる。
【００１０】
【実施例】以下、この発明の一実施例を図１および図２
を参照して説明する。図１において、１１はマイクロ波
発生器であり、このマイクロ波発生器１１にはマイクロ
波共振器１３が導波管１２を介して接続されている。
を参照して説明する。図１において、１１はマイクロ波
発生器であり、このマイクロ波発生器１１にはマイクロ
波共振器１３が導波管１２を介して接続されている。
【００１１】前記マイクロ波共振器１３はマイクロ波発
生器１１で発生したマイクロ波を共振させるためのもの
であり、このマイクロ波共振器１３の内部には、図２に
示すように、ガス封入容器１４が収容されている。この
ガス封入容器１４は酸化ベリリウム（ＢｅＯ）からなる
半球状のセラミック製容器１５と、このセラミック製容
器１５に形成された光取出し窓１６を閉塞する閉塞板１
７と、この閉塞板１７を冷却フランジ１８を介してセラ
ミック製容器１５に固定する固定手段１９とからなり、
固定手段１９は閉塞板１７を冷却フランジ１８に押え付
ける複数の押え金具２０と、これらの押え金具２０を冷
却フランジ１８に固定する複数の固定ねじ２１とで構成
されている。
生器１１で発生したマイクロ波を共振させるためのもの
であり、このマイクロ波共振器１３の内部には、図２に
示すように、ガス封入容器１４が収容されている。この
ガス封入容器１４は酸化ベリリウム（ＢｅＯ）からなる
半球状のセラミック製容器１５と、このセラミック製容
器１５に形成された光取出し窓１６を閉塞する閉塞板１
７と、この閉塞板１７を冷却フランジ１８を介してセラ
ミック製容器１５に固定する固定手段１９とからなり、
固定手段１９は閉塞板１７を冷却フランジ１８に押え付
ける複数の押え金具２０と、これらの押え金具２０を冷
却フランジ１８に固定する複数の固定ねじ２１とで構成
されている。
【００１２】なお、閉塞板１７は１８０ｎｍより波長の
短い真空紫外光を取り出すためにＭｇＦ2 等のアルカリ
ハライドで構成されている。また、冷却フランジ１８の
周縁部には冷却パイプ２２が取り付けられている。
短い真空紫外光を取り出すためにＭｇＦ2 等のアルカリ
ハライドで構成されている。また、冷却フランジ１８の
周縁部には冷却パイプ２２が取り付けられている。
【００１３】上記の構成において、マイクロ波発生器１
１で発生したマイクロ波が導波管１２を通ってマイクロ
波共振器１２に入射すると、ガス封入容器１４内に封入
されたガス（例えばＫｒとＦ2 とＨｅとからなる混合ガ
ス）がマイクロ波によって励起される。そして、ガス封
入容器１４の封入ガスが励起されることによってガス封
入容器１４内に紫外光が発生し、ガス封入容器１４内で
発生した紫外光は光取出し窓１６を閉塞する閉塞板１７
を通って前方に放出される。
１で発生したマイクロ波が導波管１２を通ってマイクロ
波共振器１２に入射すると、ガス封入容器１４内に封入
されたガス（例えばＫｒとＦ2 とＨｅとからなる混合ガ
ス）がマイクロ波によって励起される。そして、ガス封
入容器１４の封入ガスが励起されることによってガス封
入容器１４内に紫外光が発生し、ガス封入容器１４内で
発生した紫外光は光取出し窓１６を閉塞する閉塞板１７
を通って前方に放出される。
【００１４】封入ガスの励起により閉塞板１７を構成す
るＭｇＦ2 等のアルカリハライドが劣化した場合には、
固定手段１９の固定ねじ２１を取り外すことにより、劣
化した閉塞板１７を新しい閉塞板１７に容易に取り替え
ることができる。
るＭｇＦ2 等のアルカリハライドが劣化した場合には、
固定手段１９の固定ねじ２１を取り外すことにより、劣
化した閉塞板１７を新しい閉塞板１７に容易に取り替え
ることができる。
【００１５】したがって、上述した実施例では、ガス封
入容器１４の一部が劣化しても容器全体を取り替える必
要がなく、保守性の向上を図ることができる。また、上
述した実施例では、セラミック製容器１５が酸化ベリリ
ウムで構成されているので、セラミック製容器１５をア
ルミナセラミックで構成した場合に比べて熱伝導率が大
幅に向上し、ガス封入容器４の耐熱性を向上させること
ができる。
入容器１４の一部が劣化しても容器全体を取り替える必
要がなく、保守性の向上を図ることができる。また、上
述した実施例では、セラミック製容器１５が酸化ベリリ
ウムで構成されているので、セラミック製容器１５をア
ルミナセラミックで構成した場合に比べて熱伝導率が大
幅に向上し、ガス封入容器４の耐熱性を向上させること
ができる。
【００１６】さらに、上述した実施例では、セラミック
製容器１５が半球状を成しているので、動作開始時の投
入電力を大きくしても容器破壊につながる熱応力の集中
を避けることができる。なお、上述した実施例では、セ
ラミック製容器１５を酸化ベリリウムで構成したが、酸
化チタンあるいはアルミナ混成セラミック等で構成して
も良い。
製容器１５が半球状を成しているので、動作開始時の投
入電力を大きくしても容器破壊につながる熱応力の集中
を避けることができる。なお、上述した実施例では、セ
ラミック製容器１５を酸化ベリリウムで構成したが、酸
化チタンあるいはアルミナ混成セラミック等で構成して
も良い。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、ガス封入容器の一部が劣化しても容器全体を取り替
える必要がなく、保守性の向上を図ることのできる光源
装置を提供できる。
ば、ガス封入容器の一部が劣化しても容器全体を取り替
える必要がなく、保守性の向上を図ることのできる光源
装置を提供できる。
【図１】この発明の一実施例に係る光源装置の側面図。
【図２】図１のＡ部における構造の詳細を示す図。
【図３】従来の光源装置を示す図。
１１…マイクロ波発生器 １２…導波管 １３…マイクロ波共振器 １４…ガス封入容器 １５…セラミック製容器 １６…光取出し窓 １７…閉塞板 １８…冷却フランジ １９…固定手段 ２０…押え金具 ２１…固定ねじ
Claims (4)
- 【請求項１】 マイクロ波発生器に導波管を介して接続
されたマイクロ波共振器と、このマイクロ波共振器内に
収容されたガス封入容器とを備えた光源装置において、
前記ガス封入容器を、光取出し窓を有するセラミック製
容器と、前記光取出し窓を閉塞する閉塞板と、この閉塞
板を前記セラミック製容器に着脱自在に固定する固定手
段とで構成したことを特徴とする光源装置。 - 【請求項２】 前記セラミック製容器は、酸化ベリリウ
ムで構成されていることを特徴とする請求項１記載の光
源装置。 - 【請求項３】 前記セラミック製容器は、半球状を成し
ていることを特徴とする請求項１記載の光源装置。 - 【請求項４】 前記閉塞板は、アルカリハライドで構成
されていることを特徴とする請求項１記載の光源装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29452594A JPH08153494A (ja) | 1994-11-29 | 1994-11-29 | 光源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29452594A JPH08153494A (ja) | 1994-11-29 | 1994-11-29 | 光源装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08153494A true JPH08153494A (ja) | 1996-06-11 |
Family
ID=17808917
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29452594A Pending JPH08153494A (ja) | 1994-11-29 | 1994-11-29 | 光源装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08153494A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100724456B1 (ko) * | 2005-06-10 | 2007-06-04 | 엘지전자 주식회사 | 무전극 전구 및 이를 이용한 무전극 조명기기 |
-
1994
- 1994-11-29 JP JP29452594A patent/JPH08153494A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100724456B1 (ko) * | 2005-06-10 | 2007-06-04 | 엘지전자 주식회사 | 무전극 전구 및 이를 이용한 무전극 조명기기 |
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