JPH0845474A - 高出力型低圧水銀ランプ - Google Patents
高出力型低圧水銀ランプInfo
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- JPH0845474A JPH0845474A JP19785494A JP19785494A JPH0845474A JP H0845474 A JPH0845474 A JP H0845474A JP 19785494 A JP19785494 A JP 19785494A JP 19785494 A JP19785494 A JP 19785494A JP H0845474 A JPH0845474 A JP H0845474A
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Abstract
した照射装置とするためにランプ形状と構成を工夫した
高出力型低圧水銀ランプを提供する。 【構成】直管状の放電管を屈曲させて類似的な平面光源
にした放電部１と一対の電極３を収納した電極部２を平
行位置に配置した。照射部と電極部２との空間に熱絶縁
部材もしくは熱および紫外線の反射部材８を装着した。
電極部２の一部を直接もしくは間接的に水冷する冷却部
を備える。
Description
の光化学反応用の短波長紫外線光源に関するものであ
る。
は、短波長紫外線を透過する溶融石英ガラスや合成石英
ガラスから成る放電管の両端に一対の電極を備えるとと
もに放電管内には水銀と始動用ガスを封入し、水銀蒸気
圧を低圧状態で放電させて水銀の１８５ｎｍおよび２５
４ｎｍの共鳴線を放射する低圧水銀ランプがよく使用さ
れている。これらのランプは近年アッシング，光洗浄，
表面改質用として半導体，液晶パネル等の分野で使用さ
れている。
出力型低圧水銀ランプが要求される。低圧水銀ランプと
するのは、水銀蒸気放電は高圧になると１８５ｎｍ、２
５４ｎｍの共鳴線は自己吸収するので、共鳴線を効率良
く発光させるには水銀蒸気圧を低圧状態に保つ必要があ
るからである。
高出力化するととともにランプの管壁の一部を強制的に
冷却して管内の水銀蒸気圧を低圧に制御することによっ
て共鳴線の出力を従来ランプに比べ飛躍的に高めた高出
力型低圧水銀ランプが実現できる。このような高出力型
低圧水銀ランプは、いろいろな方式で実用化されてお
り、例えば電極近傍に金属ブロックを装着してこれを直
接または間接的に冷却する方式などが知られている。
ランプはいずれもクリーンルーム内の雰囲気をコントロ
ールされた密閉容器内で点灯されることが多い。従来の
高出力型低圧水銀ランプは放電部と電極部が同一平面と
なる形状であるため、ランプの放電部と電極部を合わせ
た以上の面積が必要となり、装置の床面積が広くなって
しまうという問題があった。とくに真空槽内やガス置換
時に一時的に真空状態にするような装置に設置される場
合は装置の極端な大型化を招くため好ましくなかった。
たものであり、その目的は安定した性能を有するととも
に床面積を小さくした照射装置とするためにランプ形状
と構成を工夫した高出力型低圧水銀ランプを提供するこ
とである。
銀ランプは面光源に近似させた放電部と一対の電極を収
納した電極部が互いに平行位置となる平面に配置した形
状としランプの放電部と電極部との空間に熱絶縁部材も
しくは熱・紫外線反射部材を装着し、電極部の一部を強
制的に冷却する構造を有する。
することにより照射装置の床面積を小さくするとともに
電極部と放電部の空間に熱絶縁部材もしくは熱反射部材
を装着することにより、放射効率及び寿命性能が安定す
る。
に水冷することで低圧水銀ランプの高出力化が可能とな
った。これにより、従来の低圧水銀ランプは１Ｗ／ｃｍ
未満の低出力レベルでしか点灯できなかったが、本発明
では１Ｗ／ｃｍ以上の高出力化が達成できる。
および平面図である。ランプの放電部１は合成石英ガラ
スから成り管径２０ｍｍ，長さ２０００ｍｍの放電管を
折り曲げて２４０ｍｍ×２４０ｍｍの角型平面状に形成
させた。放電管内には適量の水銀と始動ガスとしてのア
ルゴンが封入されている。
極３を収納した電極部２がある。電極部２と放電部１と
の間は連結部４で連結されている。本発明のランプは放
電部１と電極部２が平行位置になるように連結部４は折
り曲げられた形状としている。
５、金属板６、ステンレス鋼製の水冷ブロック７等より
構成される。電極部２の管壁の一部には金属ブロック５
と金属板６で挟み込んで固定する構造にした金属部材が
装着されている。金属ブロック５は水冷ブロック７に接
触させて電極部の管壁の一部を間接的に冷却する。この
ようなランプは６７０Ｗの電力で点灯されるが冷却され
た金属ブロック５によって放電管内の水銀凝縮部の温度
が最適値になるように制御され高出力型の低圧水銀ラン
プが実現できている。
置すると放電部１から発生される熱により金属ブロック
部が加熱される。管内の水銀蒸気圧がその影響により最
適値を超えて高くなり、放電部１から放射される水銀共
鳴線の放射効率は低下することが考えられる。そこで本
発明では電極部２と放電部１の間にアルミニウム等から
成る熱反射板８を配することにより、放電部１で発生す
る熱による悪影響を有効に防止している。表１に熱反射
板の有無の場合の２５４ｎｍの紫外線強度と水銀凝縮部
の温度についての比較データを示す。
合に比べ水銀凝縮部の温度が２０度低下し、紫外線強度
は約２倍に上昇している。
代りに熱伝導率の低い物質たとえばガラスウール，石こ
う等の熱絶縁部材を介在させ熱の移動を防止するように
しても同様の効果を奏する。
トな高出力型低圧水銀ランプが得られ、光洗浄や光アッ
シング分野で処理速度が速くしかも照射装置の床面積が
小さい経済的な装置が実現できる。
図および平面図）。
Claims (1)
- 【請求項１】発光長１ｃｍあたり１ワット以上の電力で
点灯する高出力型低圧水銀ランプであって、 放電部は類似的な平面光源となるように直管状の放電管
を同一平面上に屈曲させたものであり、 一対の電極が収納された電極部は前記放電部と平行位置
に配されており、 前記放電部と電極部との間に熱絶縁部材もしくは熱及び
紫外線反射部材を備え、 電極部の一部を直接もしくは間接的に水冷する冷却部を
備えたことを特徴とする高出力型低圧水銀ランプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19785494A JP2785696B2 (ja) | 1994-07-28 | 1994-07-28 | 高出力型低圧水銀ランプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19785494A JP2785696B2 (ja) | 1994-07-28 | 1994-07-28 | 高出力型低圧水銀ランプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0845474A true JPH0845474A (ja) | 1996-02-16 |
| JP2785696B2 JP2785696B2 (ja) | 1998-08-13 |
Family
ID=16381448
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19785494A Expired - Fee Related JP2785696B2 (ja) | 1994-07-28 | 1994-07-28 | 高出力型低圧水銀ランプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2785696B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012038729A (ja) * | 2010-08-04 | 2012-02-23 | Heraeus Noblelight Gmbh | 均一に面照射を行うための水銀蒸気ランプ |
| US9959944B2 (en) | 2012-04-12 | 2018-05-01 | Bwxt Mpower, Inc. | Self-supporting radial neutron reflector |
-
1994
- 1994-07-28 JP JP19785494A patent/JP2785696B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012038729A (ja) * | 2010-08-04 | 2012-02-23 | Heraeus Noblelight Gmbh | 均一に面照射を行うための水銀蒸気ランプ |
| US9959944B2 (en) | 2012-04-12 | 2018-05-01 | Bwxt Mpower, Inc. | Self-supporting radial neutron reflector |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2785696B2 (ja) | 1998-08-13 |
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