JPH08151234A - 透明導電膜付きガラス板およびそれを用いた透明タッチパネル - Google Patents
透明導電膜付きガラス板およびそれを用いた透明タッチパネルInfo
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- JPH08151234A JPH08151234A JP29409694A JP29409694A JPH08151234A JP H08151234 A JPH08151234 A JP H08151234A JP 29409694 A JP29409694 A JP 29409694A JP 29409694 A JP29409694 A JP 29409694A JP H08151234 A JPH08151234 A JP H08151234A
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/3411—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials
- C03C17/3417—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials all coatings being oxide coatings
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Abstract
(57)【要約】
【目的】文字の視認性が優れた透明タッチパネルおよび
それに用いられる透明導電膜付きガラス板を提供するこ
と。 【構成】ガラス板の一方の主表面にはシリカ以外の少な
くとも一成分が選択的に除去されてなる多孔質シリカ層
が形成され、ガラス板の他方の表面には最外側が主成分
が酸化錫である薄膜とする薄膜積層体からなる透明導電
膜が形成され、波長５５０ｎｍでの透過率を９３％以上
とした。
それに用いられる透明導電膜付きガラス板を提供するこ
と。 【構成】ガラス板の一方の主表面にはシリカ以外の少な
くとも一成分が選択的に除去されてなる多孔質シリカ層
が形成され、ガラス板の他方の表面には最外側が主成分
が酸化錫である薄膜とする薄膜積層体からなる透明導電
膜が形成され、波長５５０ｎｍでの透過率を９３％以上
とした。
Description
【産業上の利用分野】本発明は各種の入力機器に用いら
れる透明導電膜付きガラス板及び透明タッチパネルに関
する。
れる透明導電膜付きガラス板及び透明タッチパネルに関
する。
【０００１】
【従来の技術】透明タッチパネルは、電卓、リモコン、
電話機、コピー機、電子手帳、制御機器、携帯端末機
器、ゲーム機器等の各種機器の入力手段として用いられ
る。従来、このような用途に用いられる透明導電膜付き
ガラス板及び透明タッチパネルとしては、ガラス板の一
方の表面に、酸化錫を主成分とする透明導電膜を形成し
た透明導電膜付きガラス板を用い、この透明導電膜付き
ガラス板を第１電極とし、透明導電性膜が設けられた可
撓性を有する透明フィルムを第２電極として、第１電極
と第２電極とを所定の空隙を設けて対向配置してなる透
明タッチパネルが知られている。
電話機、コピー機、電子手帳、制御機器、携帯端末機
器、ゲーム機器等の各種機器の入力手段として用いられ
る。従来、このような用途に用いられる透明導電膜付き
ガラス板及び透明タッチパネルとしては、ガラス板の一
方の表面に、酸化錫を主成分とする透明導電膜を形成し
た透明導電膜付きガラス板を用い、この透明導電膜付き
ガラス板を第１電極とし、透明導電性膜が設けられた可
撓性を有する透明フィルムを第２電極として、第１電極
と第２電極とを所定の空隙を設けて対向配置してなる透
明タッチパネルが知られている。
【０００２】透明タッチパネルは、液晶ディスプレイな
どの表示体と一体化して用いられるが、近年情報通信分
野の拡大に伴い個人情報端末と呼ばれる携帯端末機器の
開発が広くなされている。この携帯端末機器では表示さ
れる情報量が従来のものと比べ飛躍的に増大しているた
め、精細な表示性能が強く求められる。
どの表示体と一体化して用いられるが、近年情報通信分
野の拡大に伴い個人情報端末と呼ばれる携帯端末機器の
開発が広くなされている。この携帯端末機器では表示さ
れる情報量が従来のものと比べ飛躍的に増大しているた
め、精細な表示性能が強く求められる。
【０００３】このような要求に対し、例えば、特公平５
−５６２６５号公報に記載されているように、反射防止
能を有する透明導電性フィルムを使用することが知られ
ている。該フィルムを透明タッチパネルに適用すれば、
屋外などの明るい場所で携帯端末機器を使用する際の視
認性が向上する。
−５６２６５号公報に記載されているように、反射防止
能を有する透明導電性フィルムを使用することが知られ
ている。該フィルムを透明タッチパネルに適用すれば、
屋外などの明るい場所で携帯端末機器を使用する際の視
認性が向上する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た反射防止能を有する透明導電性フィルムは、直達光の
反射を抑える防眩能を有してはいるものの、可視光線透
過率が低下する。例えば、市販の透明導電性フィルムの
波長５５０ｎｍでの透過率が８６％であるのに対し、防
眩能が付与されたものは８３％であった。
た反射防止能を有する透明導電性フィルムは、直達光の
反射を抑える防眩能を有してはいるものの、可視光線透
過率が低下する。例えば、市販の透明導電性フィルムの
波長５５０ｎｍでの透過率が８６％であるのに対し、防
眩能が付与されたものは８３％であった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
請求項１の透明導電膜付きガラス板は、ソーダライムガ
ラス板の一方の主表面にはシリカ以外の少なくとも一成
分が選択的に除去されてなる多孔質シリカ層が形成さ
れ、該ガラス板の他方の表面には最外側が主成分が酸化
錫である薄膜とする薄膜の積層体からなる透明導電膜が
形成され、波長５５０ｎｍでの透過率が９３％以上とし
たことを特徴とする透明導電膜付きガラス板とした。
請求項１の透明導電膜付きガラス板は、ソーダライムガ
ラス板の一方の主表面にはシリカ以外の少なくとも一成
分が選択的に除去されてなる多孔質シリカ層が形成さ
れ、該ガラス板の他方の表面には最外側が主成分が酸化
錫である薄膜とする薄膜の積層体からなる透明導電膜が
形成され、波長５５０ｎｍでの透過率が９３％以上とし
たことを特徴とする透明導電膜付きガラス板とした。
【０００６】請求項２の透明タッチパネルは、請求項１
に記載の透明導電膜付きガラス板を第１電極とし、透明
導電性膜が設けられた可撓性を有する透明フィルムを第
２電極として、前記第１電極の透明導電膜と第２電極の
透明導電膜とを所定の空隙を設けて対向配置した。
に記載の透明導電膜付きガラス板を第１電極とし、透明
導電性膜が設けられた可撓性を有する透明フィルムを第
２電極として、前記第１電極の透明導電膜と第２電極の
透明導電膜とを所定の空隙を設けて対向配置した。
【０００７】以下に本発明を添付図面に基づいて説明す
る。図１は本発明に係る透明導電膜付きガラス板の模式
的構成図である。
る。図１は本発明に係る透明導電膜付きガラス板の模式
的構成図である。
【０００８】この透明導電膜付きガラス板１は、ソーダ
ライムガラス板２の一方の表面にシリカ以外の少なくと
も一成分が選択的に除去されシリカの骨格層が残された
多孔質のシリカスケルトンからなる層３を形成し、この
ソーダライムガラス板２の他方の表面には、最外側が主
成分が酸化錫の薄膜である薄膜積層体からなる透明導電
膜４を形成してなる。
ライムガラス板２の一方の表面にシリカ以外の少なくと
も一成分が選択的に除去されシリカの骨格層が残された
多孔質のシリカスケルトンからなる層３を形成し、この
ソーダライムガラス板２の他方の表面には、最外側が主
成分が酸化錫の薄膜である薄膜積層体からなる透明導電
膜４を形成してなる。
【０００９】ここで、ソーダライムガラス板２として
は、フロートガラスなど、従来より透明導電膜付きガラ
ス板に用いられているものが用いられ、ガラス組成とし
ては重量％でＳｉＯ2６８〜７２％、Ａｌ2Ｏ3１〜２
％、ＣａＯ６〜１２％、ＭｇＯ１〜５％、Ｒ2Ｏ１１〜
１５％（アルカリ成分の合計）を主成分とするガラスが
用いることができる。
は、フロートガラスなど、従来より透明導電膜付きガラ
ス板に用いられているものが用いられ、ガラス組成とし
ては重量％でＳｉＯ2６８〜７２％、Ａｌ2Ｏ3１〜２
％、ＣａＯ６〜１２％、ＭｇＯ１〜５％、Ｒ2Ｏ１１〜
１５％（アルカリ成分の合計）を主成分とするガラスが
用いることができる。
【００１０】シリカ以外の少なくとも一成分が選択的に
除去されシリカの骨格層が残された多孔質のシリカスケ
ルトンからなる層３は、この層が形成されるガラス板表
面における光の反射を防止するために設けられる。多孔
質のシリカスケルトンからなる層３を形成する方法とし
ては、ガラス板を珪弗化水素酸のシリカ過飽和水溶液に
浸漬するエッチング法が好適である。この層の厚みは１
００ｎｍ程度とするのが好ましい。
除去されシリカの骨格層が残された多孔質のシリカスケ
ルトンからなる層３は、この層が形成されるガラス板表
面における光の反射を防止するために設けられる。多孔
質のシリカスケルトンからなる層３を形成する方法とし
ては、ガラス板を珪弗化水素酸のシリカ過飽和水溶液に
浸漬するエッチング法が好適である。この層の厚みは１
００ｎｍ程度とするのが好ましい。
【００１１】最表面が酸化錫を主成分とする薄膜からな
る積層構造を有する透明導電膜４としては、酸化珪素を
主成分とする第１層、酸化錫を主成分とする第２層を順
次積層したもの（２層構造の透明導電膜）、酸化珪素を
主成分とする第１層、酸化チタンを主成分とする第２
層、酸化錫を主成分とする第３層を順次積層したもの
（３層構造の透明導電膜）、酸化珪素を主成分とする第
１層、酸化錫を主成分とする第２層、酸化珪素を主成分
とする第３層、酸化錫を主成分とする第４層を順次積層
したもの（４層構造の透明導電膜）、酸化珪素を主成分
とする第１層、酸化錫を主成分とする第２層、酸化チタ
ンを主成分とする第３層、酸化珪素を主成分とする第４
層、酸化錫を主成分とする第５層を順次積層したもの
（５層構造の透明導電膜）、あるいは多孔質のシリカス
ケルトンからなる第１層、酸化珪素を主成分とする第２
層、酸化錫を主成分とする第３層、酸化珪素を主成分と
する第４層、酸化錫を主成分とする第５層を順次積層し
たもの（５層膜）などがあげられる。
る積層構造を有する透明導電膜４としては、酸化珪素を
主成分とする第１層、酸化錫を主成分とする第２層を順
次積層したもの（２層構造の透明導電膜）、酸化珪素を
主成分とする第１層、酸化チタンを主成分とする第２
層、酸化錫を主成分とする第３層を順次積層したもの
（３層構造の透明導電膜）、酸化珪素を主成分とする第
１層、酸化錫を主成分とする第２層、酸化珪素を主成分
とする第３層、酸化錫を主成分とする第４層を順次積層
したもの（４層構造の透明導電膜）、酸化珪素を主成分
とする第１層、酸化錫を主成分とする第２層、酸化チタ
ンを主成分とする第３層、酸化珪素を主成分とする第４
層、酸化錫を主成分とする第５層を順次積層したもの
（５層構造の透明導電膜）、あるいは多孔質のシリカス
ケルトンからなる第１層、酸化珪素を主成分とする第２
層、酸化錫を主成分とする第３層、酸化珪素を主成分と
する第４層、酸化錫を主成分とする第５層を順次積層し
たもの（５層膜）などがあげられる。
【００１２】なお、この積層構造としては、屈折率の異
なる物質の薄膜を組み合わせることにより積層体として
の光学特性を調整するものであればいかなるものでも良
く、前記の組み合わせのみに限定されるものではない。
なる物質の薄膜を組み合わせることにより積層体として
の光学特性を調整するものであればいかなるものでも良
く、前記の組み合わせのみに限定されるものではない。
【００１３】これらの積層構造を有する透明導電膜４を
形成する方法としては、生産性および膜特性の点から、
４００〜６００℃に加熱されたソーダライムガラス板２
の表面に原料ガスを供給して被膜を形成する常圧ＣＶＤ
法が好ましい。
形成する方法としては、生産性および膜特性の点から、
４００〜６００℃に加熱されたソーダライムガラス板２
の表面に原料ガスを供給して被膜を形成する常圧ＣＶＤ
法が好ましい。
【００１４】原料ガスとしては、モノシラン（Ｓｉ
Ｈ4）、モノブチル錫トリクロライド（Ｃ4Ｈ9ＳｎＣ
ｌ3）や四塩化錫（ＳｎＣｌ4）の蒸気、チタンテトライ
ソプロポキシド（Ｔｉ［ＯＣＨ（ＣＨ3）2］4）や四塩
化チタン（ＴｉＣｌ4）蒸気が好適である。これらの金
属化合物から金属酸化物薄膜を形成させる際には、酸素
や水蒸気などの酸化剤および、窒素などの不活性ガス、
膜特性を調整するための添加剤であるＰ，Ｂ，Ｓｂ，Ｆ
などの化合物ガスあるいは蒸気が併用される。
Ｈ4）、モノブチル錫トリクロライド（Ｃ4Ｈ9ＳｎＣ
ｌ3）や四塩化錫（ＳｎＣｌ4）の蒸気、チタンテトライ
ソプロポキシド（Ｔｉ［ＯＣＨ（ＣＨ3）2］4）や四塩
化チタン（ＴｉＣｌ4）蒸気が好適である。これらの金
属化合物から金属酸化物薄膜を形成させる際には、酸素
や水蒸気などの酸化剤および、窒素などの不活性ガス、
膜特性を調整するための添加剤であるＰ，Ｂ，Ｓｂ，Ｆ
などの化合物ガスあるいは蒸気が併用される。
【作用】透明導電膜付きガラスにおいて、ソーダライム
ガラス板の一方の表面にシリカ以外の成分が選択的に除
去されシリカの骨格層が残された多孔質のシリカスケル
トンからなる層を形成し、かつ、該ソーダライムガラス
の他方の表面に最表面が酸化錫を主成分とする薄膜から
なる積層構造を有する透明導電膜を形成し、波長５５０
ｎｍでの透過率を９３％以上とすることにより視認性を
向上させた。
ガラス板の一方の表面にシリカ以外の成分が選択的に除
去されシリカの骨格層が残された多孔質のシリカスケル
トンからなる層を形成し、かつ、該ソーダライムガラス
の他方の表面に最表面が酸化錫を主成分とする薄膜から
なる積層構造を有する透明導電膜を形成し、波長５５０
ｎｍでの透過率を９３％以上とすることにより視認性を
向上させた。
【００１５】そして、この透明導電膜付きガラス板を用
いた本発明の透明タッチパネルによれば可視光透過特性
が向上し、精細な表示体と組み合わせても良好な視認性
を得ることができる。
いた本発明の透明タッチパネルによれば可視光透過特性
が向上し、精細な表示体と組み合わせても良好な視認性
を得ることができる。
【実施例】以下に、本発明の透明導電膜付きガラス板１
および透明タッチパネルの具体的実施例について説明す
る。 実施例１ 大きさが３００×３２０ｍｍ、厚みが１．１ｍｍの波長
５５０ｎｍにおける透過率が９２％のフロートガラスを
洗浄、乾燥してガラス板（基板）とした。この基板の一
方の表面をマスクした後、０．０５ｍｏｌのホウ酸およ
び０．００８ｍｏｌの弗化カリウムを添加した濃度１．
２５ｍｏｌ／ｌの珪弗化水素酸のシリカ飽和水溶液（５
リットル）に２時間浸漬し、取り出してマスクを除去
し、洗浄、乾燥することにより、基板の一方の表面にシ
リカ以外の成分が選択的に除去されシリカの骨格層が残
された多孔質のシリカスケルトンからなる層を形成し
た。ついで、基板の一方の表面にシリカスケルトンから
なる層が形成された基板を洗浄、乾燥して基体とした。
この基体を４５０℃に加熱し、基体のガラス面にＳｉＨ
4、Ｎ2、Ｏ2の調整されたガスを供給して、厚みが２５
ｎｍのＳｉＯ2を主成分とする第１層を成膜した。その
後、基板を５００℃に加熱し、Ｃ4Ｈ9ＳｎＣｌ3の蒸
気、Ｎ2、Ｏ2、ＨＦの蒸気、及び水蒸気の調整されたガ
スを供給して、第１層の膜表面に厚みが２５ｎｍのＳｎ
Ｏ2を主成分とする第２層を成膜した。
および透明タッチパネルの具体的実施例について説明す
る。 実施例１ 大きさが３００×３２０ｍｍ、厚みが１．１ｍｍの波長
５５０ｎｍにおける透過率が９２％のフロートガラスを
洗浄、乾燥してガラス板（基板）とした。この基板の一
方の表面をマスクした後、０．０５ｍｏｌのホウ酸およ
び０．００８ｍｏｌの弗化カリウムを添加した濃度１．
２５ｍｏｌ／ｌの珪弗化水素酸のシリカ飽和水溶液（５
リットル）に２時間浸漬し、取り出してマスクを除去
し、洗浄、乾燥することにより、基板の一方の表面にシ
リカ以外の成分が選択的に除去されシリカの骨格層が残
された多孔質のシリカスケルトンからなる層を形成し
た。ついで、基板の一方の表面にシリカスケルトンから
なる層が形成された基板を洗浄、乾燥して基体とした。
この基体を４５０℃に加熱し、基体のガラス面にＳｉＨ
4、Ｎ2、Ｏ2の調整されたガスを供給して、厚みが２５
ｎｍのＳｉＯ2を主成分とする第１層を成膜した。その
後、基板を５００℃に加熱し、Ｃ4Ｈ9ＳｎＣｌ3の蒸
気、Ｎ2、Ｏ2、ＨＦの蒸気、及び水蒸気の調整されたガ
スを供給して、第１層の膜表面に厚みが２５ｎｍのＳｎ
Ｏ2を主成分とする第２層を成膜した。
【００１６】このようにして得られた、透明導電膜付き
ガラス板を徐冷し、試料とし、この試料の可視光透過率
を分光光度計により測定した。この測定結果を図２に実
線で示した。図２から分かるように、波長５５０ｎｍで
の透過率は９３％であった。
ガラス板を徐冷し、試料とし、この試料の可視光透過率
を分光光度計により測定した。この測定結果を図２に実
線で示した。図２から分かるように、波長５５０ｎｍで
の透過率は９３％であった。
【００１７】次に、上記の透明導電膜付きガラス板１を
用いて作製した透明タッチパネルについて図３を参照し
て説明する。この透明タッチパネル１１は図３（ａ）に
示すように、透明導電膜付きガラス板を第１電極板１２
とし、透明導電膜１６が設けられた可撓性を有する透明
基体１５を第２電極板１３として、第１電極板１２と第
２電極板１３とを間隙形成部材であるスペーサ１４を介
して所定の間隙、例えば約２００μｍをおいて対向配置
させてなる。なお、第２電極１３の透明導電膜１６が形
成された反対の表面に耐擦傷性、耐磨耗性を高めるため
シリコン樹脂系のハードコートを施してもよい。このタ
ッチパネルは波長５５０ｎｍにおける透過率が８２％で
あり、シリカ層を液晶表示装置側になるように設置して
用いると、文字表示が見やすく、かつ指紋などの付着汚
れが目立たなかった。
用いて作製した透明タッチパネルについて図３を参照し
て説明する。この透明タッチパネル１１は図３（ａ）に
示すように、透明導電膜付きガラス板を第１電極板１２
とし、透明導電膜１６が設けられた可撓性を有する透明
基体１５を第２電極板１３として、第１電極板１２と第
２電極板１３とを間隙形成部材であるスペーサ１４を介
して所定の間隙、例えば約２００μｍをおいて対向配置
させてなる。なお、第２電極１３の透明導電膜１６が形
成された反対の表面に耐擦傷性、耐磨耗性を高めるため
シリコン樹脂系のハードコートを施してもよい。このタ
ッチパネルは波長５５０ｎｍにおける透過率が８２％で
あり、シリカ層を液晶表示装置側になるように設置して
用いると、文字表示が見やすく、かつ指紋などの付着汚
れが目立たなかった。
【００１８】実施例２ 実施例１と同様の基体を用い、基体を４５０℃に加熱
し、基体のガラス面にＳｉＨ4、Ｎ2、Ｏ2の調整された
ガスを供給して、厚みが２５ｎｍのＳｉＯ2を主成分と
する第１層を成膜した。その後、基体を５００℃に加熱
し、Ｔｉ［ＯＣＨ（ＣＨ3）2］4の蒸気、Ｎ2、Ｏ2の調
整されたガスを供給して第１層の膜表面に厚みが１１０
ｎｍのＴｉＯ2を主成分とする第２層を成膜した。次に
基体を５００℃に保ったまま、Ｃ4Ｈ9ＳｎＣｌ3の蒸
気、Ｎ2、Ｏ2および水蒸気の調整されたガスを供給して
第２層の膜表面に厚みが６０ｎｍのＳｎＯ2を主成分と
する第３層を成膜した。
し、基体のガラス面にＳｉＨ4、Ｎ2、Ｏ2の調整された
ガスを供給して、厚みが２５ｎｍのＳｉＯ2を主成分と
する第１層を成膜した。その後、基体を５００℃に加熱
し、Ｔｉ［ＯＣＨ（ＣＨ3）2］4の蒸気、Ｎ2、Ｏ2の調
整されたガスを供給して第１層の膜表面に厚みが１１０
ｎｍのＴｉＯ2を主成分とする第２層を成膜した。次に
基体を５００℃に保ったまま、Ｃ4Ｈ9ＳｎＣｌ3の蒸
気、Ｎ2、Ｏ2および水蒸気の調整されたガスを供給して
第２層の膜表面に厚みが６０ｎｍのＳｎＯ2を主成分と
する第３層を成膜した。
【００１９】このようにして得られた、透明導電膜付き
ガラス板を徐冷し、試料とした。この試料の可視光透過
率を分光光度計により測定したところ、波長５５０ｎｍ
での透過率は９６％であった。
ガラス板を徐冷し、試料とした。この試料の可視光透過
率を分光光度計により測定したところ、波長５５０ｎｍ
での透過率は９６％であった。
【００２０】実施例３ 実施例１と同様のガラス板を用い、ガラス板を４５０℃
に加熱し、ガラス表面にＳｉＨ4、Ｎ2、Ｏ2の調整され
たガスを供給して、厚みが２５ｎｍのＳｉＯ2を主成分
とする第１層を成膜した。その後、基体を５００℃に加
熱し、Ｃ4Ｈ9ＳｎＣｌ3の蒸気、Ｎ2、Ｏ2および水蒸気
の調整されたガスを供給して第１層の膜表面に厚みが１
２０ｎｍのＳｎＯ2を主成分とする第２層を成膜した。
次に基体を５００℃に保ったまま、上記と同様にして厚
みが３０ｎｍのＳｉＯ2を主成分とする第３層を成膜
し、次いで厚みが３０ｎｍのＳｎＯ2を主成分とする第
４層を成膜した。
に加熱し、ガラス表面にＳｉＨ4、Ｎ2、Ｏ2の調整され
たガスを供給して、厚みが２５ｎｍのＳｉＯ2を主成分
とする第１層を成膜した。その後、基体を５００℃に加
熱し、Ｃ4Ｈ9ＳｎＣｌ3の蒸気、Ｎ2、Ｏ2および水蒸気
の調整されたガスを供給して第１層の膜表面に厚みが１
２０ｎｍのＳｎＯ2を主成分とする第２層を成膜した。
次に基体を５００℃に保ったまま、上記と同様にして厚
みが３０ｎｍのＳｉＯ2を主成分とする第３層を成膜
し、次いで厚みが３０ｎｍのＳｎＯ2を主成分とする第
４層を成膜した。
【００２１】このようにして得られた、透明導電膜付き
ガラス板を徐冷し、試料とした。この試料の可視光透過
率を分光光度計により測定したところ、波長５５０ｎｍ
での透過率は９７％であった。
ガラス板を徐冷し、試料とした。この試料の可視光透過
率を分光光度計により測定したところ、波長５５０ｎｍ
での透過率は９７％であった。
【００２２】実施例４ 実施例１と同様のガラス板を用い、ガラス板を４５０℃
に加熱し、ガラス表面にＳｉＨ4、Ｎ2、Ｏ2の調整され
たガスを供給して、厚みが２５ｎｍのＳｉＯ2を主成分
とする第１層を成膜した。その後、基体を５００℃に加
熱し、Ｃ4Ｈ9ＳｎＣｌ3の蒸気、Ｎ2、Ｏ2および水蒸気
の調整されたガスを供給して第１層の膜表面に厚みが８
０ｎｍのＳｎＯ2を主成分とする第２層を成膜した。次
に基体を５００℃に保ったまま、Ｔｉ［ＯＣＨ（Ｃ
Ｈ3）2］4の蒸気、Ｎ2、Ｏ2の調整されたガスを供給し
て第２層の膜表面に厚みが２０ｎｍのＴｉＯ2を主成分
とする第３層を成膜した。その後、第３層表面に、上記
と同様にして、厚みが４０ｎｍのＳｉＯ2を主成分とす
る第４層を成膜した。最後に、Ｃ4Ｈ9ＳｎＣｌ3の蒸
気、ＣＨ3ＣＨＦ2、Ｎ2、Ｏ2及び水蒸気の調整されたガ
スを供給して、第４層の膜表面に厚みが３０ｎｍのＳｎ
Ｏ2を主成分とする第５層を成膜した。
に加熱し、ガラス表面にＳｉＨ4、Ｎ2、Ｏ2の調整され
たガスを供給して、厚みが２５ｎｍのＳｉＯ2を主成分
とする第１層を成膜した。その後、基体を５００℃に加
熱し、Ｃ4Ｈ9ＳｎＣｌ3の蒸気、Ｎ2、Ｏ2および水蒸気
の調整されたガスを供給して第１層の膜表面に厚みが８
０ｎｍのＳｎＯ2を主成分とする第２層を成膜した。次
に基体を５００℃に保ったまま、Ｔｉ［ＯＣＨ（Ｃ
Ｈ3）2］4の蒸気、Ｎ2、Ｏ2の調整されたガスを供給し
て第２層の膜表面に厚みが２０ｎｍのＴｉＯ2を主成分
とする第３層を成膜した。その後、第３層表面に、上記
と同様にして、厚みが４０ｎｍのＳｉＯ2を主成分とす
る第４層を成膜した。最後に、Ｃ4Ｈ9ＳｎＣｌ3の蒸
気、ＣＨ3ＣＨＦ2、Ｎ2、Ｏ2及び水蒸気の調整されたガ
スを供給して、第４層の膜表面に厚みが３０ｎｍのＳｎ
Ｏ2を主成分とする第５層を成膜した。
【００２３】このようにして得られた、透明導電膜付き
ガラス板を徐冷し、試料とした。この試料の可視光透過
率を分光光度計により測定したところ、波長５５０ｎｍ
での透過率は９７％であった。
ガラス板を徐冷し、試料とした。この試料の可視光透過
率を分光光度計により測定したところ、波長５５０ｎｍ
での透過率は９７％であった。
【００２４】実施例５ 実施例１と同様のガラス板を０．０５ｍｏｌのホウ酸お
よび０．００８ｍｏｌの弗化カリウムを添加した濃度
１．２５ｍｏｌ／ｌの珪弗化水素酸のシリカ飽和水溶液
（５リットル）に２時間浸漬し、取り出して洗浄、乾燥
することにより、ガラス板の両方の表面にシリカ以外の
成分が選択的に除去されシリカの骨格層が残された多孔
質のシリカスケルトンからなる層を形成した。ついで、
このガラス板を洗浄、乾燥した。このガラス板を４５０
℃に加熱し、任意に選んだ一方のシリカスケルトンから
なる第１層の表面にＳｉＨ4、Ｎ2、Ｏ2の調整されたガ
スを供給して、厚みが２５ｎｍのＳｉＯ2を主成分とす
る第２層を成膜した。その後、基体を５００℃に加熱
し、Ｃ4Ｈ9ＳｎＣｌ3の蒸気、Ｎ2、Ｏ2および水蒸気の
調整されたガスを供給して第２層の膜表面に厚みが１２
０ｎｍのＳｎＯ2を主成分とする第３層を成膜した。次
に基体を５００℃に保ったまま、上記と同様にして厚み
が３０ｎｍのＳｉＯ2を主成分とする第４層を成膜し、
次いで厚みが３０ｎｍのＳｎＯ2を主成分とする第５層
を成膜した。
よび０．００８ｍｏｌの弗化カリウムを添加した濃度
１．２５ｍｏｌ／ｌの珪弗化水素酸のシリカ飽和水溶液
（５リットル）に２時間浸漬し、取り出して洗浄、乾燥
することにより、ガラス板の両方の表面にシリカ以外の
成分が選択的に除去されシリカの骨格層が残された多孔
質のシリカスケルトンからなる層を形成した。ついで、
このガラス板を洗浄、乾燥した。このガラス板を４５０
℃に加熱し、任意に選んだ一方のシリカスケルトンから
なる第１層の表面にＳｉＨ4、Ｎ2、Ｏ2の調整されたガ
スを供給して、厚みが２５ｎｍのＳｉＯ2を主成分とす
る第２層を成膜した。その後、基体を５００℃に加熱
し、Ｃ4Ｈ9ＳｎＣｌ3の蒸気、Ｎ2、Ｏ2および水蒸気の
調整されたガスを供給して第２層の膜表面に厚みが１２
０ｎｍのＳｎＯ2を主成分とする第３層を成膜した。次
に基体を５００℃に保ったまま、上記と同様にして厚み
が３０ｎｍのＳｉＯ2を主成分とする第４層を成膜し、
次いで厚みが３０ｎｍのＳｎＯ2を主成分とする第５層
を成膜した。
【００２５】このようにして得られた、透明導電膜付き
ガラス板を徐冷し、試料とした。この試料の可視光透過
率を分光光度計により測定したところ、波長５５０ｎｍ
での透過率は９６％であった。
ガラス板を徐冷し、試料とした。この試料の可視光透過
率を分光光度計により測定したところ、波長５５０ｎｍ
での透過率は９６％であった。
【００２６】実施例６ 実施例２〜５により作製したガラス板を用いて実施例１
と同じように透明タッチパネルを作製して、液晶表示装
置に取り付けたところ実施例１と同じように見やすい文
字表示が得られることが確認できた。 比較例１ 大きさが３００×３２０ｍｍ、厚みが１．１ｍｍの波長
５５０ｎｍにおける透過率が９２％のフロートガラスを
洗浄、乾燥した。このガラス板の一方の表面に実施例１
と同様にＳｉＯ2を主成分とする第１層、ＳｎＯ2を主成
分とする第２層を順次真空成膜法により成膜した。
と同じように透明タッチパネルを作製して、液晶表示装
置に取り付けたところ実施例１と同じように見やすい文
字表示が得られることが確認できた。 比較例１ 大きさが３００×３２０ｍｍ、厚みが１．１ｍｍの波長
５５０ｎｍにおける透過率が９２％のフロートガラスを
洗浄、乾燥した。このガラス板の一方の表面に実施例１
と同様にＳｉＯ2を主成分とする第１層、ＳｎＯ2を主成
分とする第２層を順次真空成膜法により成膜した。
【００２７】このようにして得られた、透明導電膜付き
ガラス板を徐冷し、試料とし、この試料の可視光透過率
を分光光度計により測定した。この測定結果を図２に点
線で示した。同図からわかるように、波長５５０ｎｍで
の透過率は９０％であった。
ガラス板を徐冷し、試料とし、この試料の可視光透過率
を分光光度計により測定した。この測定結果を図２に点
線で示した。同図からわかるように、波長５５０ｎｍで
の透過率は９０％であった。
【００２８】比較例２ 比較例１で作製したガラス板を用いて実施例１と同じよ
うにして透明タッチパネルを製作した。このパネルおよ
び実施例１で製作したパネルを新聞紙上において蛍光灯
下で比較したところ、比較例２のパネルの方が全体に暗
く、視認性が劣ることが確認できた。またこのパネルを
実施例１で用いた液晶示装置に取り付けたところ、表示
が精細になるほど実施例１との視認性の違いが大きくな
り、実施例１のパネルの視認性が優れていることが確認
された。
うにして透明タッチパネルを製作した。このパネルおよ
び実施例１で製作したパネルを新聞紙上において蛍光灯
下で比較したところ、比較例２のパネルの方が全体に暗
く、視認性が劣ることが確認できた。またこのパネルを
実施例１で用いた液晶示装置に取り付けたところ、表示
が精細になるほど実施例１との視認性の違いが大きくな
り、実施例１のパネルの視認性が優れていることが確認
された。
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば可
視光透過率が高く、波長５５０ｎｍでの透過率が９３％
以上の透明導電膜付きガラス板を得ることができる。そ
して、この透明導電膜付きガラス板を用いた本発明の透
明タッチパネルは、可視光線透過率が高く精細な表示に
対する視認性が向上すると同時に、ガラス表面が多孔質
になっているため、液晶表示装置との接着力が大きく長
年使用しても剥離が生じない。さらに、本発明の透明導
電膜付きガラス板は、その優れた光学特性を利用して面
発熱体や帯電防止ガラスなどにも好適に使用し得る。
視光透過率が高く、波長５５０ｎｍでの透過率が９３％
以上の透明導電膜付きガラス板を得ることができる。そ
して、この透明導電膜付きガラス板を用いた本発明の透
明タッチパネルは、可視光線透過率が高く精細な表示に
対する視認性が向上すると同時に、ガラス表面が多孔質
になっているため、液晶表示装置との接着力が大きく長
年使用しても剥離が生じない。さらに、本発明の透明導
電膜付きガラス板は、その優れた光学特性を利用して面
発熱体や帯電防止ガラスなどにも好適に使用し得る。
【図１】本発明に係る透明導電膜付きガラスの模式的構
成図である。
成図である。
【図２】本発明の一実施例及び比較例の可視光透過特性
を示す図である。
を示す図である。
【図３】本発明に係る透明タッチパネルの模式的構成図
である。
である。
【符号の説明】 １…透明導電膜付きガラス板、２…ガラス板、３…多孔
質のシリカスケルトンからなる層、４…最表面が酸化錫
を主成分とする薄膜からなる積層構造を有する透明導電
膜、１１…透明タッチパネル、１２…第１電極板、１３
…第２電極板、１４…スペーサ、１５…基体、１６…透
明導電膜
質のシリカスケルトンからなる層、４…最表面が酸化錫
を主成分とする薄膜からなる積層構造を有する透明導電
膜、１１…透明タッチパネル、１２…第１電極板、１３
…第２電極板、１４…スペーサ、１５…基体、１６…透
明導電膜
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｂ 5/14 Ａ Ｈ０１Ｈ 13/70 Ｄ 4235−5Ｇ
Claims (2)
- 【請求項１】ソーダライムガラス板の一方の主表面には
シリカ以外の少なくとも一成分が選択的に除去されてな
る多孔質シリカ層が形成され、該ガラス板の他方の表面
には最外側が主成分が酸化錫である薄膜とする薄膜の積
層体からなる透明導電膜が形成され、波長５５０ｎｍで
の透過率が９３％以上としたことを特徴とする透明導電
膜付きガラス板。 - 【請求項２】請求項１に記載の透明導電膜付きガラス板
を第１電極とし、透明導電性膜が設けられた可撓性を有
する透明フィルムを第２電極として、前記第１電極の透
明導電膜と第２電極の透明導電膜とを所定の空隙を設け
て対向配置してなることを特徴とする透明タッチパネ
ル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29409694A JPH08151234A (ja) | 1994-11-29 | 1994-11-29 | 透明導電膜付きガラス板およびそれを用いた透明タッチパネル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29409694A JPH08151234A (ja) | 1994-11-29 | 1994-11-29 | 透明導電膜付きガラス板およびそれを用いた透明タッチパネル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08151234A true JPH08151234A (ja) | 1996-06-11 |
Family
ID=17803241
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29409694A Pending JPH08151234A (ja) | 1994-11-29 | 1994-11-29 | 透明導電膜付きガラス板およびそれを用いた透明タッチパネル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08151234A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0820967A1 (en) * | 1996-07-26 | 1998-01-28 | Murakami Corporation | Anti-fog element |
| JP2006268085A (ja) * | 2005-03-22 | 2006-10-05 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | タッチパネル |
| JP2007112710A (ja) * | 1998-10-30 | 2007-05-10 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 導電膜付きガラス板およびこれを用いたガラス物品 |
-
1994
- 1994-11-29 JP JP29409694A patent/JPH08151234A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0820967A1 (en) * | 1996-07-26 | 1998-01-28 | Murakami Corporation | Anti-fog element |
| JP2007112710A (ja) * | 1998-10-30 | 2007-05-10 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 導電膜付きガラス板およびこれを用いたガラス物品 |
| JP2006268085A (ja) * | 2005-03-22 | 2006-10-05 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | タッチパネル |
| JP4532316B2 (ja) * | 2005-03-22 | 2010-08-25 | 日本板硝子株式会社 | タッチパネル |
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