JPH0814915A - 振動ジャイロスコープ - Google Patents
振動ジャイロスコープInfo
- Publication number
- JPH0814915A JPH0814915A JP6173165A JP17316594A JPH0814915A JP H0814915 A JPH0814915 A JP H0814915A JP 6173165 A JP6173165 A JP 6173165A JP 17316594 A JP17316594 A JP 17316594A JP H0814915 A JPH0814915 A JP H0814915A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- phase
- wave
- vibration
- null
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Gyroscopes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 精度良く、出力ドリフトの要因となるヌル波
を除去でき、かつ安価に実現できる振動ジャイロスコー
プを提供すること。 【構成】 ジャイロ振動素子1のフィードバック(以
下、FBと呼ぶ)端子4から出力されFB信号Bは、温
度ドリフトを発生する寄生波(ヌル波)のドリフト生成
成分と相似の形状をしている。そこで、前記FB信号B
は増幅器8で適当に増幅されてヌル波成分のキャンセル
波として合成回路10に入力する。一方、副方向の検出
端子5から検出された検出信号Cは増幅器9で増幅され
て合成回路10に入力する。合成回路10は、前記検出
信号Cからヌル波のドリフト生成成分を除去する動作を
する。合成回路10から出力される検出信号Dは、前記
ヌル波のドリフト生成成分が除去された信号となってい
る。この信号は、平滑化回路12を経て、ドリフト成分
のない出力となる。
を除去でき、かつ安価に実現できる振動ジャイロスコー
プを提供すること。 【構成】 ジャイロ振動素子1のフィードバック(以
下、FBと呼ぶ)端子4から出力されFB信号Bは、温
度ドリフトを発生する寄生波(ヌル波)のドリフト生成
成分と相似の形状をしている。そこで、前記FB信号B
は増幅器8で適当に増幅されてヌル波成分のキャンセル
波として合成回路10に入力する。一方、副方向の検出
端子5から検出された検出信号Cは増幅器9で増幅され
て合成回路10に入力する。合成回路10は、前記検出
信号Cからヌル波のドリフト生成成分を除去する動作を
する。合成回路10から出力される検出信号Dは、前記
ヌル波のドリフト生成成分が除去された信号となってい
る。この信号は、平滑化回路12を経て、ドリフト成分
のない出力となる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は振動ジャイロスコープ
に関し、特に検出信号から寄生振動による偽信号成分を
除去し、検出精度を向上させるようにした振動ジャイロ
スコープに関する。
に関し、特に検出信号から寄生振動による偽信号成分を
除去し、検出精度を向上させるようにした振動ジャイロ
スコープに関する。
【0002】
【従来の技術】振動ジャイロスコープは周知のように、
主方向の振動に誘引されたコリオリ力による副振動を検
出して、角速度を検出するものである。
主方向の振動に誘引されたコリオリ力による副振動を検
出して、角速度を検出するものである。
【0003】図4は、従来の振動ジャイロスコープの一
例を示すブロック図である。図において、21はジャイ
ロ振動素子(以下、単に「素子」と呼ぶ)であり、四角
柱、二重音叉、三角柱等の形状を有している。22は自
励振動回路であり、素子21のフィードバック端子から
検出されたフィードバック信号(以下、FB信号と呼
ぶ)aを入力とし、素子21の駆動端子に印加する駆動
信号bを生成する。cは該素子21の検出端子から得ら
れた検出信号である。同期検波回路25は、増幅器24
によって増幅された検出信号cを、増幅器23によって
増幅されたFB信号aによって、同期検波する。同期検
波された信号は平滑化回路26に送られ、平滑化され
て、検出信号として出力される。
例を示すブロック図である。図において、21はジャイ
ロ振動素子(以下、単に「素子」と呼ぶ)であり、四角
柱、二重音叉、三角柱等の形状を有している。22は自
励振動回路であり、素子21のフィードバック端子から
検出されたフィードバック信号(以下、FB信号と呼
ぶ)aを入力とし、素子21の駆動端子に印加する駆動
信号bを生成する。cは該素子21の検出端子から得ら
れた検出信号である。同期検波回路25は、増幅器24
によって増幅された検出信号cを、増幅器23によって
増幅されたFB信号aによって、同期検波する。同期検
波された信号は平滑化回路26に送られ、平滑化され
て、検出信号として出力される。
【0004】ところで、従来の振動ジャイロスコープで
は、種々の要因(例えば、温度の変化、湿度の変化、経
時変化等)によりドリフトが発生し、検出信号の精度を
低下させることが知られており、該検出信号の精度の低
下を防止するための種々の対策が提案されている。例え
ば、検出回路による補正方式、素子の形状補正、圧電素
子の接合位置の変更、センサ自体の加熱冷却による定温
化等が提案されている。
は、種々の要因(例えば、温度の変化、湿度の変化、経
時変化等)によりドリフトが発生し、検出信号の精度を
低下させることが知られており、該検出信号の精度の低
下を防止するための種々の対策が提案されている。例え
ば、検出回路による補正方式、素子の形状補正、圧電素
子の接合位置の変更、センサ自体の加熱冷却による定温
化等が提案されている。
【0005】検出回路による補正方式の一例としては、
例えば特開平3−172714号公報に開示されている
もの(以下、第1先行技術と呼ぶ)がある。この公報に
開示された技術は、同期検波回路を2個設け、検波位相
ずれによる感度変化を補正するようにしたものである。
例えば特開平3−172714号公報に開示されている
もの(以下、第1先行技術と呼ぶ)がある。この公報に
開示された技術は、同期検波回路を2個設け、検波位相
ずれによる感度変化を補正するようにしたものである。
【0006】また、素子の形状補正を開示した公報とし
ては、例えば特開平2−231517号公報がある。こ
の公報に開示された技術(以下、第2先行技術と呼ぶ)
は、柱状の側面の幅方向のほぼ中央部分に、その長さ方
向に延びる1本以上の溝を設けたものである。
ては、例えば特開平2−231517号公報がある。こ
の公報に開示された技術(以下、第2先行技術と呼ぶ)
は、柱状の側面の幅方向のほぼ中央部分に、その長さ方
向に延びる1本以上の溝を設けたものである。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記し
た従来の技術には、次のような問題があった。前記第1
先行技術は、同期検波される被検波信号が角速度に比例
する信号成分のみで構成される場合には有効であるが、
該被検波信号に含まれるヌル波と呼ばれる寄生波成分を
除去するのにはあまり有効でない。その理由は、ヌル波
そのものが同期検波され、最終出力の検出信号に残留す
るためである。なお、該ヌル波は、主に素子の製造誤差
により生成されるものである。
た従来の技術には、次のような問題があった。前記第1
先行技術は、同期検波される被検波信号が角速度に比例
する信号成分のみで構成される場合には有効であるが、
該被検波信号に含まれるヌル波と呼ばれる寄生波成分を
除去するのにはあまり有効でない。その理由は、ヌル波
そのものが同期検波され、最終出力の検出信号に残留す
るためである。なお、該ヌル波は、主に素子の製造誤差
により生成されるものである。
【0008】また、第2先行技術は、寄生振動の発生そ
のものを抑え込むことを目的としており、ある程度の効
果は認められるが、寄生振動のない完全な素子を製造す
るために、多大なコストがかかり、製造が極めて難し
い。
のものを抑え込むことを目的としており、ある程度の効
果は認められるが、寄生振動のない完全な素子を製造す
るために、多大なコストがかかり、製造が極めて難し
い。
【0009】本発明は、上記の先行技術の問題点に鑑み
てなされたものであり、その目的は、精度良くヌル波を
除去でき、かつ安価に実現できる振動ジャイロスコープ
を提供することにある。
てなされたものであり、その目的は、精度良くヌル波を
除去でき、かつ安価に実現できる振動ジャイロスコープ
を提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、請求項1の発明は、ジャイロ振動素子を主方向に振
動させている時に発生する、該主方向と直角方向の副方
向の振動から角速度を検出する振動ジャイロスコープに
おいて、前記ジャイロ振動素子から得られたフィードバ
ック信号を正または負倍率に増幅した信号を生成する手
段と、前記副方向の振動によって得られた検出信号と前
記生成手段によって生成されたフィードバック信号と同
期した信号とを合成する合成手段とを具備した点に特徴
がある。
に、請求項1の発明は、ジャイロ振動素子を主方向に振
動させている時に発生する、該主方向と直角方向の副方
向の振動から角速度を検出する振動ジャイロスコープに
おいて、前記ジャイロ振動素子から得られたフィードバ
ック信号を正または負倍率に増幅した信号を生成する手
段と、前記副方向の振動によって得られた検出信号と前
記生成手段によって生成されたフィードバック信号と同
期した信号とを合成する合成手段とを具備した点に特徴
がある。
【0011】また、請求項3の発明は、前記ジャイロ振
動素子から得られたフィードバック信号を増幅する手段
と、該フィードバック信号を90°前後移相する移相手
段と、前記副方向の振動によって得られた検出信号と、
前記増幅手段によって増幅され、前記移相手段によって
90°前後移相されたフィードバック信号とを合成する
合成手段とを具備した点に特徴がある。
動素子から得られたフィードバック信号を増幅する手段
と、該フィードバック信号を90°前後移相する移相手
段と、前記副方向の振動によって得られた検出信号と、
前記増幅手段によって増幅され、前記移相手段によって
90°前後移相されたフィードバック信号とを合成する
合成手段とを具備した点に特徴がある。
【0012】
【作用】請求項1の発明によれば、前記寄生波のフィー
ドバック信号との同相成分すなわち前記寄生波の同期検
波での残留成分であるドリフトを発生させる波と同じ振
幅に、前記フィードバック信号が補正される。このた
め、前記合成回路により、検出信号と補正されたフィー
ドバック信号とを合成することにより、前記検出信号の
中から、寄生波のドリフト成分を除去することができ
る。この結果、振動ジャイロスコープの検出精度を大幅
に向上することができる。
ドバック信号との同相成分すなわち前記寄生波の同期検
波での残留成分であるドリフトを発生させる波と同じ振
幅に、前記フィードバック信号が補正される。このた
め、前記合成回路により、検出信号と補正されたフィー
ドバック信号とを合成することにより、前記検出信号の
中から、寄生波のドリフト成分を除去することができ
る。この結果、振動ジャイロスコープの検出精度を大幅
に向上することができる。
【0013】請求項3の発明によれば、前記フィードバ
ック信号は前記検出信号の中に含まれている寄生波と同
じ振幅でかつ同位相または逆位相に補正される。このた
め、前記合成回路により、検出信号と補正されたフィー
ドバック信号とを減算または加算で合成することによ
り、前記検出信号の中から寄生波を除去することができ
る。この結果、振動ジャイロスコープの検出精度を大幅
に向上することができる。
ック信号は前記検出信号の中に含まれている寄生波と同
じ振幅でかつ同位相または逆位相に補正される。このた
め、前記合成回路により、検出信号と補正されたフィー
ドバック信号とを減算または加算で合成することによ
り、前記検出信号の中から寄生波を除去することができ
る。この結果、振動ジャイロスコープの検出精度を大幅
に向上することができる。
【0014】
【実施例】以下に、図面を参照して、本発明を詳細に説
明する。図1は、本発明の一実施例の振動ジャイロスコ
ープのブロック図である。図において、1は振動ジャイ
ロ素子(以下、単に素子と略す)であり、その断面形状
は音叉形、四角、三角、円形等のものを用いることがで
きる。2a〜2cは該素子1の側面に圧電セラミック、
圧電プラスチック等により形成された圧電体、3は駆動
電圧が印加される駆動端子、4はFB端子、5は検出信
号を出力する検出端子である。また、6はFB端子4か
ら出力されたFB信号のインピーダンス変換器であり、
例えばボルテージフォロワである。7は該インピーダン
ス変換器6からの信号を入力とする自励振動回路であ
り、素子1の駆動信号を生成して、該駆動信号を駆動端
子3に供給する。
明する。図1は、本発明の一実施例の振動ジャイロスコ
ープのブロック図である。図において、1は振動ジャイ
ロ素子(以下、単に素子と略す)であり、その断面形状
は音叉形、四角、三角、円形等のものを用いることがで
きる。2a〜2cは該素子1の側面に圧電セラミック、
圧電プラスチック等により形成された圧電体、3は駆動
電圧が印加される駆動端子、4はFB端子、5は検出信
号を出力する検出端子である。また、6はFB端子4か
ら出力されたFB信号のインピーダンス変換器であり、
例えばボルテージフォロワである。7は該インピーダン
ス変換器6からの信号を入力とする自励振動回路であ
り、素子1の駆動信号を生成して、該駆動信号を駆動端
子3に供給する。
【0015】また、8はインピーダンス変換器6の出力
信号を分岐して増幅する増幅器、9は検出信号を増幅す
る増幅器であり、10は前記増幅器8および9からの信
号を合成して、検出信号からヌル波のドリフト生成の成
分を除去する合成回路である。この合成回路10は、例
えば加算あるいは減算回路から構成することができる。
該合成回路10によって、ヌル波のドリフト生成成分を
除去できる理由は、後述する。11は前記ヌル波のドリ
フト生成成分が除去された検出信号をFB信号により同
期検波する同期検波回路、12は平滑化回路である。
信号を分岐して増幅する増幅器、9は検出信号を増幅す
る増幅器であり、10は前記増幅器8および9からの信
号を合成して、検出信号からヌル波のドリフト生成の成
分を除去する合成回路である。この合成回路10は、例
えば加算あるいは減算回路から構成することができる。
該合成回路10によって、ヌル波のドリフト生成成分を
除去できる理由は、後述する。11は前記ヌル波のドリ
フト生成成分が除去された検出信号をFB信号により同
期検波する同期検波回路、12は平滑化回路である。
【0016】次に、本実施例の動作を説明する。素子1
は振動のノード点で図示されていない支持部材により支
持されており、主方向駆動圧電体2aに駆動信号が印加
されると、主方向(矢印x方向)に屈曲振動する。この
状態において、素子1が例えばその軸を中心としてz方
向に回転すると、前記主方向の振動と直交する方向(y
方向)にコリオリ力が働く。該主方向の振動とコリオリ
力による振動とは、それぞれ主方向振動検出圧電体2b
および副方向振動検出圧電体2cにより検出される。
は振動のノード点で図示されていない支持部材により支
持されており、主方向駆動圧電体2aに駆動信号が印加
されると、主方向(矢印x方向)に屈曲振動する。この
状態において、素子1が例えばその軸を中心としてz方
向に回転すると、前記主方向の振動と直交する方向(y
方向)にコリオリ力が働く。該主方向の振動とコリオリ
力による振動とは、それぞれ主方向振動検出圧電体2b
および副方向振動検出圧電体2cにより検出される。
【0017】主方向振動検出圧電体2bからのFB信号
Bは、FB端子4を経て、インピーダンス変換器6に印
加される。インピーダンス変換されたFB信号Eは、自
励振動回路7に入力すると共に、分岐され増幅器8で増
幅されて合成回路10に入力する。自励振動回路7は駆
動信号Aを生成して、駆動端子3に出力する。一方、合
成回路10は、増幅器9によって増幅された検出信号C
´と、増幅器8によって増幅されたFB信号Fとを合成
し、検出信号C´からヌル波のドリフト生成成分を除去
する。ヌル波のドリフト生成成分を除去された検出信号
Dは、同期検波回路11で検波され、平滑化回路12で
平滑化される。
Bは、FB端子4を経て、インピーダンス変換器6に印
加される。インピーダンス変換されたFB信号Eは、自
励振動回路7に入力すると共に、分岐され増幅器8で増
幅されて合成回路10に入力する。自励振動回路7は駆
動信号Aを生成して、駆動端子3に出力する。一方、合
成回路10は、増幅器9によって増幅された検出信号C
´と、増幅器8によって増幅されたFB信号Fとを合成
し、検出信号C´からヌル波のドリフト生成成分を除去
する。ヌル波のドリフト生成成分を除去された検出信号
Dは、同期検波回路11で検波され、平滑化回路12で
平滑化される。
【0018】ここで、前記合成回路10により、検出信
号C´からヌル波のドリフト生成成分を除去できる理由
を説明する。図2は前記駆動端子3に印加される駆動信
号A、FB信号B、検出信号Cに含まれる基準環境にお
けるヌル波Gおよび環境変化により位相変化したヌル波
Hの波形図を示す。また、I、Jは、それぞれ、該環境
変化により位相変化したヌル波HのFB信号とπ/2位
相ずれた成分、該FB信号と同相または逆相成分の波形
図を示す。
号C´からヌル波のドリフト生成成分を除去できる理由
を説明する。図2は前記駆動端子3に印加される駆動信
号A、FB信号B、検出信号Cに含まれる基準環境にお
けるヌル波Gおよび環境変化により位相変化したヌル波
Hの波形図を示す。また、I、Jは、それぞれ、該環境
変化により位相変化したヌル波HのFB信号とπ/2位
相ずれた成分、該FB信号と同相または逆相成分の波形
図を示す。
【0019】明らかなように、前記FB信号とπ/2位
相ずれたヌル波成分Iは、同期検波および平滑化でキャ
ンセルされる信号であるので、何らの問題がないが、F
B信号と同相または逆相成分Jは同期検波および平滑化
をしても残る信号である。
相ずれたヌル波成分Iは、同期検波および平滑化でキャ
ンセルされる信号であるので、何らの問題がないが、F
B信号と同相または逆相成分Jは同期検波および平滑化
をしても残る信号である。
【0020】そこで、本実施例によれば、FB信号B
に、増幅器8、9により正または負の倍率を乗じ、FB
信号から生成されたキャンセル波Fとヌル波のドリフト
生成成分Jの振幅が同一になるように増幅される。ヌル
波のドリフト生成成分Jの振幅は平滑後の直流電圧出力
と一義的な関係があり、環境変化に伴う直流電圧出力の
変化をキャンセルするように増幅率を定めても良い。こ
の結果、合成回路10は、検出信号Cからヌル波のドリ
フト生成成分Jを除去して被検波信号Dを生成し、同期
検波回路11に出力することができる。なお、増幅器
8、9は可変増幅器とし、温度等の条件に応じて増幅率
を変えるようにすることもできる。
に、増幅器8、9により正または負の倍率を乗じ、FB
信号から生成されたキャンセル波Fとヌル波のドリフト
生成成分Jの振幅が同一になるように増幅される。ヌル
波のドリフト生成成分Jの振幅は平滑後の直流電圧出力
と一義的な関係があり、環境変化に伴う直流電圧出力の
変化をキャンセルするように増幅率を定めても良い。こ
の結果、合成回路10は、検出信号Cからヌル波のドリ
フト生成成分Jを除去して被検波信号Dを生成し、同期
検波回路11に出力することができる。なお、増幅器
8、9は可変増幅器とし、温度等の条件に応じて増幅率
を変えるようにすることもできる。
【0021】以上のように、本実施例によれば、検出信
号Cからほぼ完全に出力ドリフトを引起こすヌル波成分
を除去することができ、検出精度を著しく向上させるこ
とができる。また、若干の回路素子のみを用いるため、
極めて安価に実現することができる。
号Cからほぼ完全に出力ドリフトを引起こすヌル波成分
を除去することができ、検出精度を著しく向上させるこ
とができる。また、若干の回路素子のみを用いるため、
極めて安価に実現することができる。
【0022】次に、本発明の第2実施例を、図3を参照
して説明する。図において、1は振動ジャイロ素子、1
3はチャージアンプ、14は可変移相器であり、他の符
号は、図1と同一または同等物を示す。なお、該可変移
相器14としては、90°の位相を中心に±数度の範囲
で可変できるものであればよい。
して説明する。図において、1は振動ジャイロ素子、1
3はチャージアンプ、14は可変移相器であり、他の符
号は、図1と同一または同等物を示す。なお、該可変移
相器14としては、90°の位相を中心に±数度の範囲
で可変できるものであればよい。
【0023】この実施例では、可変移相器14によりF
B信号Bの位相を(90°±Δθ°)移相して、FB信
号Bより生成したキャンセル波Kと環境変化により位相
変化したヌル波H(図2参照)の位相が同一になるよう
にしている。また、FB信号Bとヌル波Hの振幅は、増
幅器8、9の増幅率を適当に選定することにより、同一
になるようにしている。この結果、合成回路10から
は、ほぼ完全にヌル波全体を除去した検出信号Dを出力
することができる。
B信号Bの位相を(90°±Δθ°)移相して、FB信
号Bより生成したキャンセル波Kと環境変化により位相
変化したヌル波H(図2参照)の位相が同一になるよう
にしている。また、FB信号Bとヌル波Hの振幅は、増
幅器8、9の増幅率を適当に選定することにより、同一
になるようにしている。この結果、合成回路10から
は、ほぼ完全にヌル波全体を除去した検出信号Dを出力
することができる。
【0024】なお、前記実施例は、圧電型のジャイロ振
動素子1を用いた例で説明したが、本発明はこれに限定
されず、静電力により駆動されるジャイロスコープ、熱
応力により駆動されるジャイロスコープ、あるいは電磁
力により駆動されるジャイロスコープにも適用できるこ
とは勿論である。
動素子1を用いた例で説明したが、本発明はこれに限定
されず、静電力により駆動されるジャイロスコープ、熱
応力により駆動されるジャイロスコープ、あるいは電磁
力により駆動されるジャイロスコープにも適用できるこ
とは勿論である。
【0025】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、わずかな電気回路を追加するのみで、検出信
号の中からヌル波またはヌル波のドリフト生成成分を除
去することができるので、高精度の振動ジャイロスコー
プを提供することができる。また、極めて安価に、本発
明の振動ジャイロスコープを実現することができる。
によれば、わずかな電気回路を追加するのみで、検出信
号の中からヌル波またはヌル波のドリフト生成成分を除
去することができるので、高精度の振動ジャイロスコー
プを提供することができる。また、極めて安価に、本発
明の振動ジャイロスコープを実現することができる。
【0026】さらに、振動ジャイロスコープにおいて特
に問題となっている温度ドリフトによる悪影響を効果的
に低減させることができる。
に問題となっている温度ドリフトによる悪影響を効果的
に低減させることができる。
【図1】 本発明の一実施例の概略構成を示すブロック
図である。
図である。
【図2】 駆動信号、FB信号およびヌル波の波形例を
示す波形図である。
示す波形図である。
【図3】 本発明の第2実施例の概略構成を示すブロッ
ク図である。
ク図である。
【図4】 従来の振動ジャイロスコープの一例の概略構
成を示すブロック図である。
成を示すブロック図である。
1…ジャイロ振動素子、2a〜2c…圧電体、3…駆動
端子、4…FB端子、5…検出端子、6…インピーダン
ス変換器、14…可変移相器、7…自励振動回路、8、
9…増幅器、10…合成回路、11…同期検波回路、1
2…平滑化回路、13…チャージアンプ。
端子、4…FB端子、5…検出端子、6…インピーダン
ス変換器、14…可変移相器、7…自励振動回路、8、
9…増幅器、10…合成回路、11…同期検波回路、1
2…平滑化回路、13…チャージアンプ。
Claims (5)
- 【請求項1】 ジャイロ振動素子を主方向に振動させて
いる時に発生する、該主方向と直角方向の副方向の振動
から角速度を検出する振動ジャイロスコープにおいて、 前記ジャイロ振動素子から得られたフィードバック信号
を正または負倍率に増幅した信号を生成する手段と、 前記副方向の振動によって得られた検出信号と前記生成
手段によって生成されたフィードバック信号と同期した
信号とを合成する合成手段とを具備し、 前記合成により、前記検出信号に含まれる寄生波(ヌル
波)の同期検波後残留成分を除去するようにしたことを
特徴とする振動ジャイロスコープ。 - 【請求項2】 請求項1の振動ジャイロスコープにおい
て、 寄生波除去のためのフィードバック信号の増幅率を温度
等の環境によって変化させるようにしたことを特徴とす
る振動ジャイロスコープ。 - 【請求項3】 ジャイロ振動素子を主方向に振動させて
いる時に発生する、該主方向と直角方向の副方向の振動
から角速度を検出する振動ジャイロスコープにおいて、 前記ジャイロ振動素子から得られたフィードバック信号
を増幅する手段と、 該フィードバック信号を90°を中心として±数度の範
囲で移相する移相手段と、 前記副方向の振動によって得られた検出信号と、前記増
幅手段によって増幅され、環境変化により移相された寄
生波と同相または逆相になるように、前記移相手段によ
って移相されたフィードバック信号とを合成する合成手
段とを具備し、 前記合成により、前記検出信号に含まれている寄生波を
除去するようにしたことを特徴とする振動ジャイロスコ
ープ。 - 【請求項4】 請求項3の振動ジャイロスコープにおい
て、 寄生波除去のためのフィードバック信号の増幅率および
移相量を温度等の環境によって変化させるようにしたこ
とを特徴とする振動ジャイロスコープ。 - 【請求項5】 請求項1〜3のいずれかの振動ジャイロ
スコープにおいて、 前記ジャイロ振動素子が、圧電駆動型、静電力駆動型、
熱応力駆動型、および電磁力駆動型のいずれか一つであ
ることを特徴とする振動ジャイロスコープ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6173165A JP3035161B2 (ja) | 1994-07-04 | 1994-07-04 | 振動ジャイロスコープ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6173165A JP3035161B2 (ja) | 1994-07-04 | 1994-07-04 | 振動ジャイロスコープ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0814915A true JPH0814915A (ja) | 1996-01-19 |
JP3035161B2 JP3035161B2 (ja) | 2000-04-17 |
Family
ID=15955311
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6173165A Expired - Lifetime JP3035161B2 (ja) | 1994-07-04 | 1994-07-04 | 振動ジャイロスコープ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3035161B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005080919A1 (ja) * | 2004-02-20 | 2005-09-01 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 角速度センサ |
JP2008089308A (ja) * | 2006-09-29 | 2008-04-17 | Nec Tokin Corp | 振動子駆動回路 |
-
1994
- 1994-07-04 JP JP6173165A patent/JP3035161B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005080919A1 (ja) * | 2004-02-20 | 2005-09-01 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 角速度センサ |
US7520184B2 (en) | 2004-02-20 | 2009-04-21 | Panasonic Corporation | Angular velocity sensor |
JP2008089308A (ja) * | 2006-09-29 | 2008-04-17 | Nec Tokin Corp | 振動子駆動回路 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3035161B2 (ja) | 2000-04-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH06300567A (ja) | ジャイロ出力検出方法 | |
US6058777A (en) | Vibrating gyroscope including a pair of piezoelectric bodies with electrically floating interface | |
JP6660849B2 (ja) | バイアス補正機能を有する振動型ジャイロ、及び振動型ジャイロの使用方法 | |
JPH1073437A (ja) | 振動ジャイロの検出回路及びこれを用いた振動ジャイロ装置 | |
KR0155205B1 (ko) | 진동 자이로스코프 | |
JPS6252410A (ja) | 振動型角速度検出装置 | |
KR100198308B1 (ko) | 진동 자이로스코프 | |
JP3035161B2 (ja) | 振動ジャイロスコープ | |
JPH10206166A (ja) | 振動型ジャイロスコープ | |
JP2006010408A (ja) | 振動ジャイロ | |
JP2975262B2 (ja) | 振動ジャイロ検出回路 | |
JP2001021362A (ja) | クローズドループ制御リング共振型振動ジャイロ | |
JP3966719B2 (ja) | 角速度測定装置 | |
JPH10260043A (ja) | 角速度検出装置 | |
JP2003247829A (ja) | 角速度センサ | |
JP2548679B2 (ja) | 振動ジャイロスコープ | |
JPH067298Y2 (ja) | 振動ジャイロ | |
JP2005308530A (ja) | 角速度・加速度複合センサ | |
JPH09105637A (ja) | 振動ジャイロ | |
JP2010071909A (ja) | 圧電振動ジャイロ | |
JPH09145378A (ja) | 圧電振動子を用いた検出装置 | |
RU2665832C1 (ru) | Способ управления чувствительным элементом и формирования выходного сигнала вибрационного кориолисова гироскопического датчика угловой скорости | |
JP3201054B2 (ja) | ジャイロ出力検出方法 | |
JPH0791957A (ja) | 圧電振動ジャイロ | |
JP2624431B2 (ja) | 振動子の調整方法 |