JPH0814840A - 板状透明体の板厚測定方法及び装置 - Google Patents
板状透明体の板厚測定方法及び装置Info
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- JPH0814840A JPH0814840A JP15212394A JP15212394A JPH0814840A JP H0814840 A JPH0814840 A JP H0814840A JP 15212394 A JP15212394 A JP 15212394A JP 15212394 A JP15212394 A JP 15212394A JP H0814840 A JPH0814840 A JP H0814840A
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 板厚検出センサ３８Ａは、板ガラス５２の表
面及び裏面で反射されたそれぞれの反射光４２の時間差
に基づいて板ガラス５２の板厚を求める。同時に、位置
検出センサ４０Ａは反射光４２の光路位置を検出し、検
出した光路位置に基づいて反射光４２の反射角を求め
る。演算手段４１Ａは反射光の反射角に基づいて板ガラ
ス５２の傾斜角や曲率を求め、求めた傾斜角や曲率に基
づいて測定板厚を補正する。 【効果】 板ガラスが振動で傾斜した場合や、板ガラス
にうねりが形成されている場合でも板ガラスの板厚を正
確に算出する。
面及び裏面で反射されたそれぞれの反射光４２の時間差
に基づいて板ガラス５２の板厚を求める。同時に、位置
検出センサ４０Ａは反射光４２の光路位置を検出し、検
出した光路位置に基づいて反射光４２の反射角を求め
る。演算手段４１Ａは反射光の反射角に基づいて板ガラ
ス５２の傾斜角や曲率を求め、求めた傾斜角や曲率に基
づいて測定板厚を補正する。 【効果】 板ガラスが振動で傾斜した場合や、板ガラス
にうねりが形成されている場合でも板ガラスの板厚を正
確に算出する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、板ガラス等の板状透明
体の板厚を算出する板状透明体の板厚測定方法及び装置
に関する。
体の板厚を算出する板状透明体の板厚測定方法及び装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】板ガラス等の板状透明体の板厚を測定す
る方法として図６に示す方法が知られている。すなわ
ち、光源１０から投光されたレーザ光１２を回転中のポ
リゴンミラー１４に照射し、ポリゴンミラー１４で反射
された光ビーム１２を集光レンズ１６を介して板ガラス
１８の表面に照射する。レーザ光１２は板ガラス１８に
θの角度で照射し、ポリゴンミラー１４の回転により板
ガラス１８の搬送方向に走査される。
る方法として図６に示す方法が知られている。すなわ
ち、光源１０から投光されたレーザ光１２を回転中のポ
リゴンミラー１４に照射し、ポリゴンミラー１４で反射
された光ビーム１２を集光レンズ１６を介して板ガラス
１８の表面に照射する。レーザ光１２は板ガラス１８に
θの角度で照射し、ポリゴンミラー１４の回転により板
ガラス１８の搬送方向に走査される。
【０００３】板ガラス１８の表面に照射した照射光は、
板ガラス１８の表面及び板ガラス１８の裏面で反射され
る。そして、板ガラス１８の表面の反射光及び板ガラス
１８の裏面の反射光は、それぞれ集光レンズ２０に導か
れる。集光レンズ２０に導かれたそれぞれの反射光はス
リット２２を介してフォトダイオード２４に入射する。
この場合、ポリゴンミラー１４の回転速度をｖとしてレ
ーザ光１２の走査速度を一定に設定すると、板ガラス１
８の表面で反射されたレーザ光と板ガラス１８の裏面で
反射されたレーザ光とは走査幅Ｄに比例した時間間隔で
検出される。
板ガラス１８の表面及び板ガラス１８の裏面で反射され
る。そして、板ガラス１８の表面の反射光及び板ガラス
１８の裏面の反射光は、それぞれ集光レンズ２０に導か
れる。集光レンズ２０に導かれたそれぞれの反射光はス
リット２２を介してフォトダイオード２４に入射する。
この場合、ポリゴンミラー１４の回転速度をｖとしてレ
ーザ光１２の走査速度を一定に設定すると、板ガラス１
８の表面で反射されたレーザ光と板ガラス１８の裏面で
反射されたレーザ光とは走査幅Ｄに比例した時間間隔で
検出される。
【０００４】従って、板ガラス１８の表面で反射された
レーザ光と板ガラス１８の裏面で反射されたレーザ光と
がフォトダイオード２４に入射したときの時間差を測定
して、測定した時間差に基づいて板ガラス１８の板厚ｔ
が求められる。
レーザ光と板ガラス１８の裏面で反射されたレーザ光と
がフォトダイオード２４に入射したときの時間差を測定
して、測定した時間差に基づいて板ガラス１８の板厚ｔ
が求められる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】この場合、板ガラス１
８の板厚ｔは次式（１）で算出される。 但し、ｖ：照射光の平行走査速度 ｎ：板ガラス１８の屈折率 （１）式に示すように板ガラス１８の板厚ｔはレーザ光
１８の入射角θ及びレーザ光の走査幅Ｄの関数で現わさ
れ、入射角θ及び走査幅Ｄはそれぞれ板ガラス１８が傾
斜すると変化する。
８の板厚ｔは次式（１）で算出される。 但し、ｖ：照射光の平行走査速度 ｎ：板ガラス１８の屈折率 （１）式に示すように板ガラス１８の板厚ｔはレーザ光
１８の入射角θ及びレーザ光の走査幅Ｄの関数で現わさ
れ、入射角θ及び走査幅Ｄはそれぞれ板ガラス１８が傾
斜すると変化する。
【０００６】ところで、図６上で板ガラス１８は矢印方
向に搬送され、板ガラス１８の搬送時に振動が生じると
板ガラス１８が傾斜する。このように、傾斜状の板ガラ
ス１８の板厚を測定した場合、（１）式に示すように板
ガラス１８の板厚を正確に求めることができないという
問題がある。また、板ガラス１８にうねりが形成されて
いる場合、うねりの部分が曲面状に形成されているので
傾斜状の板ガラス１８と同様に板ガラス１８の板厚を正
確に求めることができないという問題がある。
向に搬送され、板ガラス１８の搬送時に振動が生じると
板ガラス１８が傾斜する。このように、傾斜状の板ガラ
ス１８の板厚を測定した場合、（１）式に示すように板
ガラス１８の板厚を正確に求めることができないという
問題がある。また、板ガラス１８にうねりが形成されて
いる場合、うねりの部分が曲面状に形成されているので
傾斜状の板ガラス１８と同様に板ガラス１８の板厚を正
確に求めることができないという問題がある。
【０００７】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、板状透明体が振動で傾斜した場合や、板状透
明体にうねりが形成されている場合でも板状透明体の板
厚を正確に算出することができる板状透明体の板厚測定
方法及び装置を提供することを目的としている。
たもので、板状透明体が振動で傾斜した場合や、板状透
明体にうねりが形成されている場合でも板状透明体の板
厚を正確に算出することができる板状透明体の板厚測定
方法及び装置を提供することを目的としている。
【０００８】
【課題を解決する為の手段】本発明は、照射光を板状透
明体の表面に斜めに入射するように照射し、この照射光
を平行走査し、前記照射光の前記板状透明体の表面で反
射した反射光と前記照射光の前記板状透明体の裏面で反
射した反射光との時間差を測定し、該測定された時間差
に基づいて前記板状透明体の板厚を求め、前記板状透明
体の表面及び裏面で反射された前記反射光の反射角を求
め、前記反射光の反射角に基づいて前記板状透明体の傾
斜角又は曲率を求め、前記前記板状透明体の傾斜角又は
曲率に基づいて、前記求められた板厚を補正することを
特徴とする板状透明体の板厚測定方法、及びその装置で
ある。
明体の表面に斜めに入射するように照射し、この照射光
を平行走査し、前記照射光の前記板状透明体の表面で反
射した反射光と前記照射光の前記板状透明体の裏面で反
射した反射光との時間差を測定し、該測定された時間差
に基づいて前記板状透明体の板厚を求め、前記板状透明
体の表面及び裏面で反射された前記反射光の反射角を求
め、前記反射光の反射角に基づいて前記板状透明体の傾
斜角又は曲率を求め、前記前記板状透明体の傾斜角又は
曲率に基づいて、前記求められた板厚を補正することを
特徴とする板状透明体の板厚測定方法、及びその装置で
ある。
【０００９】
【作用】本発明によれば、照射手段から照射された照射
光を板状透明体の表面に斜めに照射して板状透明体の表
面及び表面で反射させる。板厚検出手段は板状透明体の
表面及び表面で反射されたそれぞれの照射光の時間差を
測定し、測定された時間差に基づいて板状透明体の板厚
を求める。同時に、反射角検出手段は反射光の光路位置
を検出して、検出した光路位置に基づいて反射光の反射
角を求める。演算手段は反射角検出手段で検出された反
射角に基づいて板状透明体の傾斜角又は曲率を求め、求
められた板状透明体の板厚を補正する。
光を板状透明体の表面に斜めに照射して板状透明体の表
面及び表面で反射させる。板厚検出手段は板状透明体の
表面及び表面で反射されたそれぞれの照射光の時間差を
測定し、測定された時間差に基づいて板状透明体の板厚
を求める。同時に、反射角検出手段は反射光の光路位置
を検出して、検出した光路位置に基づいて反射光の反射
角を求める。演算手段は反射角検出手段で検出された反
射角に基づいて板状透明体の傾斜角又は曲率を求め、求
められた板状透明体の板厚を補正する。
【００１０】
【実施例】以下添付図面に従って本発明に係るに板状透
明体の板厚測定方法及び装置について細説する。図１は
本発明に係るに板状透明体の板厚測定装置の斜視図であ
り、図２はその動作説明図である。板状透明体の板厚測
定装置３０は左右対称となる右側の板厚測定手段３２Ａ
及び左側の板厚測定手段３２Ｂを備え、それぞれの板厚
測定手段３２Ａ、３２Ｂはセンサボックス３３内に収納
されている。そして、板厚測定手段３２Ａ、３２Ｂはそ
れぞれポリゴンミラー３４を共用している。
明体の板厚測定方法及び装置について細説する。図１は
本発明に係るに板状透明体の板厚測定装置の斜視図であ
り、図２はその動作説明図である。板状透明体の板厚測
定装置３０は左右対称となる右側の板厚測定手段３２Ａ
及び左側の板厚測定手段３２Ｂを備え、それぞれの板厚
測定手段３２Ａ、３２Ｂはセンサボックス３３内に収納
されている。そして、板厚測定手段３２Ａ、３２Ｂはそ
れぞれポリゴンミラー３４を共用している。
【００１１】ポリゴンミラー３４はセンサボックス３３
の略中央に回動自在に支持され、矢印方向（時計回り方
向）に一定の回転速度で回転する。右側の板厚測定手段
３２Ａはレーザ光源（照射手段）３６Ａ、板厚検出セン
サ（板厚検出手段）３８Ａ、位置検出センサ（反射角検
出手段）４０Ａ及び演算手段４１Ａ（図２参照）等を備
え、左側の板厚測定手段３２Ｂはレーザ光源３６Ｂ、板
厚検出センサ３８Ｂ、位置検出センサ４０Ｂ及び演算手
段（図示せず）等を備えている。尚、右側の板厚測定手
段３２Ａと左側の板厚測定手段３２Ｂは左右対称に構成
されているので、以下、右側の板厚測定手段３２Ａにつ
いて説明して左側の板厚測定手段３２Ｂについては説明
を省略する。
の略中央に回動自在に支持され、矢印方向（時計回り方
向）に一定の回転速度で回転する。右側の板厚測定手段
３２Ａはレーザ光源（照射手段）３６Ａ、板厚検出セン
サ（板厚検出手段）３８Ａ、位置検出センサ（反射角検
出手段）４０Ａ及び演算手段４１Ａ（図２参照）等を備
え、左側の板厚測定手段３２Ｂはレーザ光源３６Ｂ、板
厚検出センサ３８Ｂ、位置検出センサ４０Ｂ及び演算手
段（図示せず）等を備えている。尚、右側の板厚測定手
段３２Ａと左側の板厚測定手段３２Ｂは左右対称に構成
されているので、以下、右側の板厚測定手段３２Ａにつ
いて説明して左側の板厚測定手段３２Ｂについては説明
を省略する。
【００１２】右側の板厚測定手段３２Ａのレーザ光源３
６Ａはポリゴンミラー３４の右上方に設けられ、レーザ
光源３６Ａはスポット状のレーザ光（照射光）４２を平
行光として前方（左方向）に投光する。レーザ光源３６
Ａの前方（左側）にはプリズム４４Ａが設けられ、プリ
ズム４４Ａはレーザ光源３６Ａから投光されたレーザ光
４２を略９０°の角度で下向きに反射してポリゴンミラ
ー３４の右側周面に導く。ポリゴンミラー３４の右方向
には集光レンズ４６Ａが配置され、集光レンズ４６Ａの
右方向にはハーフミラー４８Ａが配置されている。ま
た、ハーフミラー４８Ａの右方向にはプリズム５０Ａが
配置されている。
６Ａはポリゴンミラー３４の右上方に設けられ、レーザ
光源３６Ａはスポット状のレーザ光（照射光）４２を平
行光として前方（左方向）に投光する。レーザ光源３６
Ａの前方（左側）にはプリズム４４Ａが設けられ、プリ
ズム４４Ａはレーザ光源３６Ａから投光されたレーザ光
４２を略９０°の角度で下向きに反射してポリゴンミラ
ー３４の右側周面に導く。ポリゴンミラー３４の右方向
には集光レンズ４６Ａが配置され、集光レンズ４６Ａの
右方向にはハーフミラー４８Ａが配置されている。ま
た、ハーフミラー４８Ａの右方向にはプリズム５０Ａが
配置されている。
【００１３】そして、集光レンズ４６Ａはポリゴンミラ
ー３４で走査されたレーザ光４２をハーフミラー４８Ａ
に平行光として導き、ハーフミラー４８Ａは集光レンズ
４６Ａから伝達されたレーザ光４２の１／２を透過して
プリズム５０Ａに導く。プリズム５０Ａはハーフミラー
４８Ａから伝達されたレーザ光４２を下方斜め方向に反
射し、反射したレーザ光４２を板ガラス５２に入射角θ
で入射させる。これにより、レーザ光４２は板ガラス５
２の表面と裏面とで反射される。板ガラス５２はポリゴ
ンミラー３４の下方に位置して、矢印方向に搬送されて
いる。
ー３４で走査されたレーザ光４２をハーフミラー４８Ａ
に平行光として導き、ハーフミラー４８Ａは集光レンズ
４６Ａから伝達されたレーザ光４２の１／２を透過して
プリズム５０Ａに導く。プリズム５０Ａはハーフミラー
４８Ａから伝達されたレーザ光４２を下方斜め方向に反
射し、反射したレーザ光４２を板ガラス５２に入射角θ
で入射させる。これにより、レーザ光４２は板ガラス５
２の表面と裏面とで反射される。板ガラス５２はポリゴ
ンミラー３４の下方に位置して、矢印方向に搬送されて
いる。
【００１４】板ガラス５２の左側上方にはプリズム５０
Ｂ及びハーフミラー４８Ｂが配置され、プリズム５０Ｂ
及びハーフミラー４８Ｂは、ポリゴンミラー３４を中心
にしてプリズム５０Ａ及びハーフミラー４８Ａの対称位
置に位置している。プリズム５０Ｂには板ガラス５２の
表面と裏面とで反射されたレーザ光４２が入射し、プリ
ズム５０Ｂは入射したレーザ光４２を水平方向に反射し
てハーフミラー４８Ｂまで導く。ハーフミラー４８Ｂは
レーザ光４２の１／２を横方向に略９０°反射させる。
Ｂ及びハーフミラー４８Ｂが配置され、プリズム５０Ｂ
及びハーフミラー４８Ｂは、ポリゴンミラー３４を中心
にしてプリズム５０Ａ及びハーフミラー４８Ａの対称位
置に位置している。プリズム５０Ｂには板ガラス５２の
表面と裏面とで反射されたレーザ光４２が入射し、プリ
ズム５０Ｂは入射したレーザ光４２を水平方向に反射し
てハーフミラー４８Ｂまで導く。ハーフミラー４８Ｂは
レーザ光４２の１／２を横方向に略９０°反射させる。
【００１５】ハーフミラー４８Ｂの横方向には集光レン
ズ５４Ａが配置され、集光レンズ５４Ａの横方向にはプ
リズム５６Ａが配置されている。そして、集光レンズ５
４Ａはハーフミラー４８Ｂで反射されたレーザ光４２を
プリズム５６Ａに導き、プリズム５６Ａは集光レンズ５
４Ａから伝達されたレーザ光４２を水平方向に９０°反
射する。プリズム５６Ａで反射されたレーザ光４２の進
行方向にはハーフミラー５８Ａが配置されている。ハー
フミラー５８Ａは入射光の１／２を透過して右方向に導
き、残りのレーザ光４２Ｂを水平方向に９０°反射して
横方向に導く。
ズ５４Ａが配置され、集光レンズ５４Ａの横方向にはプ
リズム５６Ａが配置されている。そして、集光レンズ５
４Ａはハーフミラー４８Ｂで反射されたレーザ光４２を
プリズム５６Ａに導き、プリズム５６Ａは集光レンズ５
４Ａから伝達されたレーザ光４２を水平方向に９０°反
射する。プリズム５６Ａで反射されたレーザ光４２の進
行方向にはハーフミラー５８Ａが配置されている。ハー
フミラー５８Ａは入射光の１／２を透過して右方向に導
き、残りのレーザ光４２Ｂを水平方向に９０°反射して
横方向に導く。
【００１６】ハーフミラー５８Ａの右方向には板厚検出
センサ３８Ａが設けられている。板厚検出センサ３８Ａ
は１例としてフォトダイオードが使用され、板厚検出セ
ンサ３８Ａの前面にはスリット３９Ａが設けられてい
る。従って、板厚検出センサ３８Ａにはハーフミラー５
８Ａを透過したレーザ光４２Ａがスリット３９Ａを介し
て入射する。この場合、ポリゴンミラー３４の回転速度
を一定に設定してレーザ光４２の走査速度ｖを一定に設
定すると、板ガラス５２の表面で反射されたレーザ光と
板ガラス５２の裏面で反射されたレーザ光とは走査幅Ｄ
に比例した時間間隔で検出される。
センサ３８Ａが設けられている。板厚検出センサ３８Ａ
は１例としてフォトダイオードが使用され、板厚検出セ
ンサ３８Ａの前面にはスリット３９Ａが設けられてい
る。従って、板厚検出センサ３８Ａにはハーフミラー５
８Ａを透過したレーザ光４２Ａがスリット３９Ａを介し
て入射する。この場合、ポリゴンミラー３４の回転速度
を一定に設定してレーザ光４２の走査速度ｖを一定に設
定すると、板ガラス５２の表面で反射されたレーザ光と
板ガラス５２の裏面で反射されたレーザ光とは走査幅Ｄ
に比例した時間間隔で検出される。
【００１７】従って、板ガラス５２の表面で反射された
レーザ光と板ガラス５２の裏面で反射されたレーザ光と
がスリット３９Ａを介して板厚検出センサ３８Ａに到達
する時間差を計測して板ガラス５２の仮の板厚を求め
る。板厚検出センサ３８Ａで求められた仮の板厚は後述
する演算手段４１Ａに入力される。また、ハーフミラー
５８Ａの横方向には位置検出センサ４０Ａが配置されて
いる。位置検出センサ４０Ａは１例として二次元ＰＳＤ
（Position Sensing Device.日本語で位置検出センサ）
が使用され、位置検出センサ４０Ａにはハーフミラー５
８Ａで反射されたレーザ光４２Ｂが入射する。以下、図
２において位置検出センサ４０Ａについて説明する。板
ガラス５２が傾斜していない場合レーザ光４２は反射角
θで反射される（図１参照）。一方、図２に示すよう
に、ガラス５２がδ1 傾斜した場合、レーザ光４２の反
射角は反射角θからθ1 下方にズレる。また、ガラス５
２がδ2 傾斜した場合、レーザ光４２の反射角は反射角
θからθ 2 上方にズレる。
レーザ光と板ガラス５２の裏面で反射されたレーザ光と
がスリット３９Ａを介して板厚検出センサ３８Ａに到達
する時間差を計測して板ガラス５２の仮の板厚を求め
る。板厚検出センサ３８Ａで求められた仮の板厚は後述
する演算手段４１Ａに入力される。また、ハーフミラー
５８Ａの横方向には位置検出センサ４０Ａが配置されて
いる。位置検出センサ４０Ａは１例として二次元ＰＳＤ
（Position Sensing Device.日本語で位置検出センサ）
が使用され、位置検出センサ４０Ａにはハーフミラー５
８Ａで反射されたレーザ光４２Ｂが入射する。以下、図
２において位置検出センサ４０Ａについて説明する。板
ガラス５２が傾斜していない場合レーザ光４２は反射角
θで反射される（図１参照）。一方、図２に示すよう
に、ガラス５２がδ1 傾斜した場合、レーザ光４２の反
射角は反射角θからθ1 下方にズレる。また、ガラス５
２がδ2 傾斜した場合、レーザ光４２の反射角は反射角
θからθ 2 上方にズレる。
【００１８】ここで、反射角が反射角θからθ1 下方に
ズレた場合について説明する。レーザ光４２Ａが板厚検
出センサ３８Ａに入射した時、位置検出センサ４０Ａは
位置検出センサ４０Ａに入射したレーザ光４２Ｂの光路
位置を検出する。そして、作動距離Ｌ（センサボックス
３３の底面と板ガラス５２の搬送面との間の距離）と位
置検出センサ４０Ａが検出した光路位置に基づいてレー
ザ光４２の反射角ズレθ1 を算出する。また、レーザ光
４２Ａの反射角が反射角θからθ2 ずれた場合も同様に
算出される。
ズレた場合について説明する。レーザ光４２Ａが板厚検
出センサ３８Ａに入射した時、位置検出センサ４０Ａは
位置検出センサ４０Ａに入射したレーザ光４２Ｂの光路
位置を検出する。そして、作動距離Ｌ（センサボックス
３３の底面と板ガラス５２の搬送面との間の距離）と位
置検出センサ４０Ａが検出した光路位置に基づいてレー
ザ光４２の反射角ズレθ1 を算出する。また、レーザ光
４２Ａの反射角が反射角θからθ2 ずれた場合も同様に
算出される。
【００１９】同時に、図１に示す左側の板厚測定手段３
２Ｂの板厚検出センサ３８Ｂ及び位置検出センサ４０Ｂ
を使用して板ガラス５２がδ1 傾斜した場合のレーザ光
４２の反射角ズレθ1 ′（図３参照）を算出する。そし
て、演算手段４１Ａは、レーザ光４２の反射角ズレ
θ1 、θ1 ′から板ガラス５２のδ1 傾斜角を算出す
る。また、板ガラス５２のδ2 傾斜角も同様に算出され
る。そして、予め測定していた板ガラス５２の傾きによ
る板厚測定誤差グラフ（図４参照）から誤差分を補正す
る。
２Ｂの板厚検出センサ３８Ｂ及び位置検出センサ４０Ｂ
を使用して板ガラス５２がδ1 傾斜した場合のレーザ光
４２の反射角ズレθ1 ′（図３参照）を算出する。そし
て、演算手段４１Ａは、レーザ光４２の反射角ズレ
θ1 、θ1 ′から板ガラス５２のδ1 傾斜角を算出す
る。また、板ガラス５２のδ2 傾斜角も同様に算出され
る。そして、予め測定していた板ガラス５２の傾きによ
る板厚測定誤差グラフ（図４参照）から誤差分を補正す
る。
【００２０】図３に示すように、板ガラス５２に左右方
向からそれぞれ斜めにレーザ光４２を照射させることに
より（ダブルビーム方式）、板ガラス５２が傾斜したと
きの傾斜角を求めることができる。一方、板ガラス５２
に左右方向のいずれか一方のみから斜めにレーザ光４２
を照射させた場合は（シングルビーム方式）、板ガラス
５２が傾斜状態であるのか、上下方向に垂直移動した状
態であるのかの判別を行うことができない。
向からそれぞれ斜めにレーザ光４２を照射させることに
より（ダブルビーム方式）、板ガラス５２が傾斜したと
きの傾斜角を求めることができる。一方、板ガラス５２
に左右方向のいずれか一方のみから斜めにレーザ光４２
を照射させた場合は（シングルビーム方式）、板ガラス
５２が傾斜状態であるのか、上下方向に垂直移動した状
態であるのかの判別を行うことができない。
【００２１】次に、図４において板厚測定誤差グラフを
説明する。板厚測定誤差グラフはレーザ光４２の板ガラ
ス５２に対する入射角度と板厚補正値との関係を示し、
縦軸が板厚補正値、横軸が板ガラス５２の傾斜角度を示
している。例えば、板厚測定誤差グラフにおいて、左上
がり勾配のグラフＧ1 を右側の板厚測定手段３２Ａから
求めたグラフとし、左上がり勾配のグラフＧ2 を右側の
板厚測定手段３２Ａから求めたグラフとすると、グラフ
Ｇ1 、Ｇ2 は０〜±５０（分）の範囲で板ガラス５２を
傾斜させたときの板ガラス５２の板厚の補正値を求めた
ものである。
説明する。板厚測定誤差グラフはレーザ光４２の板ガラ
ス５２に対する入射角度と板厚補正値との関係を示し、
縦軸が板厚補正値、横軸が板ガラス５２の傾斜角度を示
している。例えば、板厚測定誤差グラフにおいて、左上
がり勾配のグラフＧ1 を右側の板厚測定手段３２Ａから
求めたグラフとし、左上がり勾配のグラフＧ2 を右側の
板厚測定手段３２Ａから求めたグラフとすると、グラフ
Ｇ1 、Ｇ2 は０〜±５０（分）の範囲で板ガラス５２を
傾斜させたときの板ガラス５２の板厚の補正値を求めた
ものである。
【００２２】この板厚測定誤差グラフは板ガラス５２の
板厚測定の前に予め作成される。従って、上述した方法
で板ガラス５２の傾斜角δ1 、δ2 を求めると、板厚測
定誤差グラフからグラフＧ1 、Ｇ2 の板厚補正値を求め
ることができる。例えば、板ガラス５２の傾斜角δ1 が
＋３０分と求められた場合、グラフＧ1 、Ｇ2 からそれ
ぞれの板厚補正値Ｓ1 、Ｓ2 を求め、板厚補正値Ｓ1 、
Ｓ2 に基づいて板ガラス５２の傾斜角δ1 時の板厚誤差
分を補正する。
板厚測定の前に予め作成される。従って、上述した方法
で板ガラス５２の傾斜角δ1 、δ2 を求めると、板厚測
定誤差グラフからグラフＧ1 、Ｇ2 の板厚補正値を求め
ることができる。例えば、板ガラス５２の傾斜角δ1 が
＋３０分と求められた場合、グラフＧ1 、Ｇ2 からそれ
ぞれの板厚補正値Ｓ1 、Ｓ2 を求め、板厚補正値Ｓ1 、
Ｓ2 に基づいて板ガラス５２の傾斜角δ1 時の板厚誤差
分を補正する。
【００２３】前記実施例では板ガラス５２が傾斜したと
きの板厚誤差分を補正する場合について説明したが、こ
れに限らず、本発明に係る板状透明体の板厚測定方法及
び装置をうねりが形成された板ガラスの板厚測定値の板
厚誤差分の補正に使用することができる。以下、図５に
おいてうねりが形成された板ガラス６２の板厚を補正す
る場合について説明する。図５はレーザ光源３６Ａ及び
レーザ光源３６Ｂから投光されたレーザ光４２がそれぞ
れプリズム５０Ａ及びプリズム５０Ｂ（図１参照）を介
して板ガラス６２で反射された状態を示した平面図であ
る。
きの板厚誤差分を補正する場合について説明したが、こ
れに限らず、本発明に係る板状透明体の板厚測定方法及
び装置をうねりが形成された板ガラスの板厚測定値の板
厚誤差分の補正に使用することができる。以下、図５に
おいてうねりが形成された板ガラス６２の板厚を補正す
る場合について説明する。図５はレーザ光源３６Ａ及び
レーザ光源３６Ｂから投光されたレーザ光４２がそれぞ
れプリズム５０Ａ及びプリズム５０Ｂ（図１参照）を介
して板ガラス６２で反射された状態を示した平面図であ
る。
【００２４】この場合、板厚検出センサ３８Ａは前記実
施例と同様にうねりによる曲面状板ガラス６２の仮の板
厚を求める。すなわち、板厚検出センサ３８Ａは、曲面
状板ガラス６２の表面で反射されたレーザ光とその裏面
で反射されたレーザ光とがスリット３９Ａを介して板厚
検出センサ３８Ａに到達する時間差を計測して曲面状板
ガラス６２の板厚を求める。さらに、位置検出センサ４
０Ｂは前記実施例と同様にレーザ光４２、４２のそれぞ
れの反射角ズレθ3 、θ3 ′を求め、演算手段４１Ａは
レーザ光４２の反射角ズレθ3 、θ3 ′から曲面状板ガ
ラス６２の曲率を求める。そして、演算手段４１Ａは、
曲面状板ガラス６２の曲率に対応する補正値を求めて曲
面状板ガラス６２の仮の板厚の測定誤差を補正する。
施例と同様にうねりによる曲面状板ガラス６２の仮の板
厚を求める。すなわち、板厚検出センサ３８Ａは、曲面
状板ガラス６２の表面で反射されたレーザ光とその裏面
で反射されたレーザ光とがスリット３９Ａを介して板厚
検出センサ３８Ａに到達する時間差を計測して曲面状板
ガラス６２の板厚を求める。さらに、位置検出センサ４
０Ｂは前記実施例と同様にレーザ光４２、４２のそれぞ
れの反射角ズレθ3 、θ3 ′を求め、演算手段４１Ａは
レーザ光４２の反射角ズレθ3 、θ3 ′から曲面状板ガ
ラス６２の曲率を求める。そして、演算手段４１Ａは、
曲面状板ガラス６２の曲率に対応する補正値を求めて曲
面状板ガラス６２の仮の板厚の測定誤差を補正する。
【００２５】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る板状透
明体の板厚測定方法及び装置によれば、板厚検出手段は
板状透明体の表面及び表面で反射されたそれぞれの照射
光の時間差を測定し、測定された時間差に基づいて板状
透明体の板厚を求める。同時に、反射角検出手段は反射
光の光路位置を検出して、検出した光路位置に基づいて
反射光の反射角を求める。演算手段は反射角検出手段で
検出された反射角に基づいて板状透明体の傾斜角又は曲
率を求め、求められた板状透明体の板厚を補正する。
明体の板厚測定方法及び装置によれば、板厚検出手段は
板状透明体の表面及び表面で反射されたそれぞれの照射
光の時間差を測定し、測定された時間差に基づいて板状
透明体の板厚を求める。同時に、反射角検出手段は反射
光の光路位置を検出して、検出した光路位置に基づいて
反射光の反射角を求める。演算手段は反射角検出手段で
検出された反射角に基づいて板状透明体の傾斜角又は曲
率を求め、求められた板状透明体の板厚を補正する。
【００２６】従って、板状透明体が振動で傾斜した場合
や、板状透明体にうねりが形成されている場合でも板状
透明体の板厚を正確に算出することができる。
や、板状透明体にうねりが形成されている場合でも板状
透明体の板厚を正確に算出することができる。
【図１】本発明に係る板状透明体の板厚測定装置の全体
を示す斜視図
を示す斜視図
【図２】本発明に係る板状透明体の板厚測定装置の動作
を説明する説明図
を説明する説明図
【図３】板ガラスが傾斜した場合のレーザ光の反射状態
を説明した説明図
を説明した説明図
【図４】レーザ光の入射角度と板厚補正値との関係を示
した板厚測定誤差グラフ
した板厚測定誤差グラフ
【図５】曲面状板ガラスにおけるレーザ光の反射状態を
説明した説明図
説明した説明図
【図６】従来の板状透明体の板厚測定装置を示す正面図
３０…板状透明体の板厚測定装置 ４２…レーザ光（照射光） ５２、６２…板ガラス（板状透明体） ３６Ａ、３６Ｂ…レーザ光源（照射手段） ３８Ａ、３８Ｂ…板厚検出センサ（板厚検出手段） ４０Ａ、４０Ｂ…位置検出センサ（反射角検出手段） ４１Ａ…演算手段
Claims (4)
- 【請求項１】 照射光を板状透明体の表面に斜めに入射
するように照射し、この照射光を平行走査し、 前記照射光の前記板状透明体の表面で反射した反射光と
前記照射光の前記板状透明体の裏面で反射した反射光と
の時間差を測定し、 該測定された時間差に基づいて前記板状透明体の板厚を
求め、 前記板状透明体の表面及び裏面で反射された前記反射光
の反射角を求め、 前記反射光の反射角に基づいて前記板状透明体の傾斜角
を求め、 前記前記板状透明体の傾斜角に基づいて、前記求められ
た板厚を補正することを特徴とする板状透明体の板厚測
定方法。 - 【請求項２】 照射光を板状透明体の表面に斜めに入射
するように照射し、この照射光を平行走査し、 前記照射光の前記板状透明体の表面で反射した反射光と
前記照射光の前記板状透明体の裏面で反射した反射光と
の時間差を測定し、 該測定された時間差に基づいて前記板状透明体の板厚を
求め、 前記板状透明体の表面及び裏面で反射された前記反射光
の反射角を求め、 前記反射光の反射角に基づいて前記板状透明体の曲率を
求め、 前記前記板状透明体の曲率に基づいて、前記求められた
板厚を補正することを特徴とする板状透明体の板厚測定
方法。 - 【請求項３】 照射光を板状透明体の表面に斜めに入射
するように照射する照射手段と、 前記照射光の前記板状透明体の表面で反射した反射光と
前記照射光の前記板状透明体の裏面で反射した反射光と
の時間差を測定し、該測定された時間差に基づいて前記
板状透明体の板厚を求める板厚検出手段と、 前記板状透明体の表面及び裏面で反射された前記反射光
の反射角を検出する反射角検出手段と、 前記反射光の反射角に基づいて前記板状透明体の傾斜角
を求め、該板状透明体の傾斜角に基づいて前記求められ
た板厚を補正する演算手段と、 を備えたことを特徴とする板状透明体の板厚測定装置。 - 【請求項４】 照射光を板状透明体の表面に斜めに入射
するように照射する照射手段と、 前記照射光の前記板状透明体の表面で反射した反射光と
前記照射光の前記板状透明体の裏面で反射した反射光と
の時間差を測定し、該測定された時間差に基づいて前記
板状透明体の板厚を求める板厚検出手段と、 前記板状透明体の表面及び裏面で反射された前記反射光
の反射角を検出する反射角検出手段と、 前記反射光の反射角に基づいて前記板状透明体の曲率を
求め、該板状透明体の曲率に基づいて前記求められた板
厚を補正する演算手段と、 を備えたことを特徴とする板状透明体の板厚測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15212394A JP3438832B2 (ja) | 1994-07-04 | 1994-07-04 | 板状透明体の板厚測定方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15212394A JP3438832B2 (ja) | 1994-07-04 | 1994-07-04 | 板状透明体の板厚測定方法及び装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0814840A true JPH0814840A (ja) | 1996-01-19 |
| JP3438832B2 JP3438832B2 (ja) | 2003-08-18 |
Family
ID=15533569
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15212394A Expired - Fee Related JP3438832B2 (ja) | 1994-07-04 | 1994-07-04 | 板状透明体の板厚測定方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3438832B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003106815A (ja) * | 2001-09-28 | 2003-04-09 | Tdk Corp | 膜厚測定方法及び光ディスクにおける膜厚測定方法 |
| CN100437023C (zh) * | 2004-03-03 | 2008-11-26 | 伊斯拉表面视觉有限公司 | 测量透明样品厚度的方法和装置 |
| CN105157619A (zh) * | 2015-07-10 | 2015-12-16 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 车床旋转轴与车床刀架导轨平行度误差检测系统及方法 |
-
1994
- 1994-07-04 JP JP15212394A patent/JP3438832B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003106815A (ja) * | 2001-09-28 | 2003-04-09 | Tdk Corp | 膜厚測定方法及び光ディスクにおける膜厚測定方法 |
| CN100437023C (zh) * | 2004-03-03 | 2008-11-26 | 伊斯拉表面视觉有限公司 | 测量透明样品厚度的方法和装置 |
| US7554678B2 (en) | 2004-03-03 | 2009-06-30 | Isra Surface Vision Gmbh | Device and method for measuring the thickness of a transparent sample |
| CN105157619A (zh) * | 2015-07-10 | 2015-12-16 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 车床旋转轴与车床刀架导轨平行度误差检测系统及方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3438832B2 (ja) | 2003-08-18 |
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