JPH0814557B2 - Method for manufacturing low-alcohol sensitive gas sensor - Google Patents

Method for manufacturing low-alcohol sensitive gas sensor

Info

Publication number
JPH0814557B2
JPH0814557B2 JP61097189A JP9718986A JPH0814557B2 JP H0814557 B2 JPH0814557 B2 JP H0814557B2 JP 61097189 A JP61097189 A JP 61097189A JP 9718986 A JP9718986 A JP 9718986A JP H0814557 B2 JPH0814557 B2 JP H0814557B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
gas sensor
composite catalyst
added
sensitivity
sensor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP61097189A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPS62254047A (en
Inventor
▲吉▼展 松浦
Original Assignee
フイガロ技研株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by フイガロ技研株式会社 filed Critical フイガロ技研株式会社
Priority to JP61097189A priority Critical patent/JPH0814557B2/en
Publication of JPS62254047A publication Critical patent/JPS62254047A/en
Publication of JPH0814557B2 publication Critical patent/JPH0814557B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の利用分野] この発明は、アルコール感度の低いSnO2系ガスセンサ
の製造方法に関する。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a method for manufacturing a SnO 2 gas sensor having low alcohol sensitivity.

[従来技術] 特開昭51−130,299号は、ガスセンサの表面をPt、P
d、Ir、Rh等の貴金属触媒の一員もしは複数員により、
被覆することを開示している。公報によれば、貴金属触
媒は妨害ガスを接触酸化により除去してガス選択性を高
めるとし、酸化による除去の順序として、一酸化炭素、
水素、アルコール、インブタン、メタンの順を挙げてい
る。また特開昭51−104,397号は、ZnOの表面をPt−Rh複
合触媒で被覆したガスセンサを開示する。そして公報
は、被覆によりイソブタン感度がかすかに上昇するとし
ている。
[Prior Art] Japanese Patent Laid-Open No. 51-130,299 discloses that the surface of a gas sensor is Pt, P
A member of noble metal catalyst such as d, Ir, Rh, etc.
The coating is disclosed. According to the publication, the noble metal catalyst removes interfering gas by catalytic oxidation to enhance gas selectivity, and the removal order by oxidation includes carbon monoxide,
The order is hydrogen, alcohol, imbutane, and methane. Further, JP-A-51-104,397 discloses a gas sensor in which the surface of ZnO is coated with a Pt-Rh composite catalyst. Then, the publication states that the coating slightly increases the isobutane sensitivity.

ところで実際には、主たる妨害ガスはエタノール等の
アルコール類であり、水素は重要な検出対象である。そ
こで、水素への感度を損ねず、選択的にアルコール感度
を低下させることが必要となる。しかし公知の技術は、
解決策を示していない。
By the way, actually, the main interfering gas is alcohols such as ethanol, and hydrogen is an important detection target. Therefore, it is necessary to selectively reduce the alcohol sensitivity without impairing the sensitivity to hydrogen. However, the known technology is
No solution is shown.

[発明の目的] この発明は、水素感度を損ねずに、選択的にアルコー
ル感度を低下させることを、目的とする。
[Object of the Invention] An object of the present invention is to selectively reduce the alcohol sensitivity without impairing the hydrogen sensitivity.

[発明の構成] この発明は、SnO2系の粉体を成型したガス感応体を用
いたガスセンサの製造方法において、成型後のガス感応
体にロジウム塩とプラチナ塩との混合溶液を接触させ
て、ガス感応体の表面部にRh−Pt複合触媒を添加するこ
とを特徴とする。
[Structure of the Invention] The present invention is a method for manufacturing a gas sensor using a gas sensor formed by molding SnO2-based powder, in which a mixed solution of rhodium salt and platinum salt is brought into contact with the molded gas sensor, It is characterized in that a Rh-Pt composite catalyst is added to the surface of the gas sensitive body.

またこの発明は、SnO2系の粉体を成型したガス感応体
を用いたガスセンサの製造方法において、SnO2にRh−Pt
複合触媒を添加した粉末を調製し、この粉末によりガス
感応体を被覆することを特徴とする。
Further, the present invention is a method for manufacturing a gas sensor using a gas sensitive material formed by molding SnO2-based powder, wherein Rh-Pt is added to SnO2.
It is characterized in that a powder to which a composite catalyst is added is prepared, and the gas sensitizer is coated with this powder.

上記のように、Rh−Pt複合触媒の添加は、ガス感応体
の表面にRh−Pt複合触媒を含浸させること(特許請求の
範囲第1項)、あるいはガス感応体の表面をSnO2にRh−
Pt複合触媒を添加した粉末で被覆することで行い、それ
らの効果は同一で、何れも水素感度を維持したままアル
コール感度のみを選択的に低下させることができる。Rh
−Pt複合触媒の添加方法は上記の2つに限られ、添加し
たRh−Pt複合触媒はSnO2に担持され、しかもガス感応体
の表面部を中心にRh−Pt複合触媒が担持される。
As described above, the addition of the Rh-Pt composite catalyst is performed by impregnating the surface of the gas sensitive body with the Rh-Pt composite catalyst (claim 1), or by adding Rh-Pt to the surface of the gas sensitive body with SnO2.
It is carried out by coating with a powder to which a Pt composite catalyst is added, and the effects are the same. In each case, only the alcohol sensitivity can be selectively reduced while maintaining the hydrogen sensitivity. Rh
The method of adding the -Pt composite catalyst is limited to the above two methods. The added Rh-Pt composite catalyst is supported on SnO2, and the Rh-Pt composite catalyst is supported mainly on the surface of the gas sensitive body.

これ以外の添加方法では、水素感度を保ったままアル
コール感度を低下させることはできない。例えばSnO2の
粉体にRh−Pt複合触媒を添加し、これを用いて、Rh−Pt
複合触媒をガス感応体全体に均一に添加する。このよう
なガスセンサの特性は例えば第8図のようになり、水素
感度はアルコールへの感度よりも低い。またガスセンサ
の温度依存性が増加し、信頼性が低下する。これに対し
て、ロジウム塩とプラチナ塩の混合溶液をガス感応体に
接触させて同じ量のRh−Pt複合触媒を添加すると、特性
は第2図のようになり、アルコール感度は低く、水素感
度は高くなる。このセンサでは400℃付近でセンサ温度
が増加すると抵抗値が増し、電源電圧の増加による出力
増加をセンサ抵抗が温度と共に増加することで補い、セ
ンサの電源電圧依存性は小さくなる。
With addition methods other than this, the alcohol sensitivity cannot be reduced while maintaining the hydrogen sensitivity. For example, Rh-Pt composite catalyst was added to SnO2 powder, and this was used to
The composite catalyst is uniformly added to the entire gas sensor. The characteristics of such a gas sensor are, for example, as shown in FIG. 8, and the hydrogen sensitivity is lower than the sensitivity to alcohol. Moreover, the temperature dependency of the gas sensor increases, and the reliability decreases. On the other hand, when the mixed solution of rhodium salt and platinum salt is brought into contact with the gas sensitive body and the same amount of Rh-Pt composite catalyst is added, the characteristics become as shown in Fig. 2, the alcohol sensitivity is low, and the hydrogen sensitivity is low. Will be higher. In this sensor, the resistance value increases as the sensor temperature increases near 400 ° C, and the increase in output due to the increase in power supply voltage is compensated by the increase in sensor resistance with temperature, and the power supply voltage dependency of the sensor is reduced.

またガス感応体の表面に真空蒸着やスパッタリング等
でRh−Pt複合触媒を添加しても、このような効果は得ら
れない。真空蒸着やスパッタリングでは、ガス感応体の
表面にRh−Pt複合触媒を積層することになり、SnO2とRh
−Pt複合触媒との相互作用が得られない。そして水素感
度を保ったままアルコール感度を低下させることは、Sn
O2とRh−Pt複合触媒との相乗作用によるものである。こ
のことは、Rh−Pt複合触媒の効果が、担体をSnO2とする
かアルミナとするか、触媒の添加時期を感応体の成型前
とするか後するか、あるいは感応体の表面部に添加する
か全体に均一に添加するかで異なることから明らかであ
る。
Further, even if the Rh-Pt composite catalyst is added to the surface of the gas sensitive material by vacuum vapor deposition, sputtering or the like, such an effect cannot be obtained. In vacuum deposition and sputtering, a Rh-Pt composite catalyst is layered on the surface of the gas sensor, and SnO2 and Rh
-No interaction with Pt composite catalyst is obtained. And decreasing the alcohol sensitivity while maintaining the hydrogen sensitivity is
This is due to the synergistic action of O2 and the Rh-Pt composite catalyst. This means that the effect of the Rh-Pt composite catalyst depends on whether the carrier is SnO2 or alumina, whether the catalyst is added before or after molding the sensitive body, or added to the surface of the sensitive body. It is clear from the difference depending on whether it is added uniformly over the whole.

特許請求の範囲第1項,第3項の何れの場合でも、Rh
とPtとの混合比は、モル比で1/3≦Rh/Pt≦6が好まし
く、より好ましくは0.4≦Rh/Pt≦5とする。添加量は、
RhとPtとの合計で、ガス感応体のSnO21g当たり、例えば
25μmol/gSnO2とし、この10倍ないし1/10の範囲が良
い。しかしこの量は、ガス感応体の形状や、Rh−Pt複合
触媒を添加する部分の厚さ等により変化し、一律には定
まらない。
In either case of claim 1 and claim 3, Rh
The molar mixing ratio of Pt and Pt is preferably 1/3 ≦ Rh / Pt ≦ 6, more preferably 0.4 ≦ Rh / Pt ≦ 5. The addition amount is
The sum of Rh and Pt per SnO21g of the gas sensor, for example,
It is set to 25 μmol / gSnO2, and the range of 10 times to 1/10 of this is preferable. However, this amount varies depending on the shape of the gas sensitive body, the thickness of the portion to which the Rh-Pt composite catalyst is added, etc., and is not uniformly determined.

[実施例] SnCl4水溶液をアンモニアで加水分解し、スズ酸のゾ
ルを沈殿させる。沈殿に水を加えて遠心分離し、塩化ア
ンモニウムを除く。700℃で1時間、空気中で焼成し、
粉砕してSnO2を得る。
[Example] A SnCl 4 aqueous solution is hydrolyzed with ammonia to precipitate a stannic acid sol. Add water to the precipitate and centrifuge to remove ammonium chloride. Bake in air at 700 ° C for 1 hour,
Grind to obtain SnO 2 .

SnO2を、第1図に示す形状のガスセンサに成型する。
図において、(2)、(4)はヒータ兼用の貴金属電
極、(6)はガス感応体で、その内部に電極(2)、
(4)を埋設する。ガス感応体(6)の厚さは約1.5m
m、幅は約3mm、長さは約2mmで、センサ1個当たりのSnO
2量は約30mgである。SnO2にはPd等の貴金属触媒やアル
ミニウム等の骨材、あるいは便宜のバインダー等を加え
ても良い。表面に添加するPt−Rh複合触媒と、これらの
添加物とは独立に作用し、その間には複合作用はない。
センサの形状には、他の任意のものを用いることができ
る。電極をガス感応体(6)に埋設せず、電極と感応体
を別に製造し得る場合は、感応体の成型後に電極を別に
取り付けても良い。しかし第1図の構造では、成型後に
電極を取り付けるのは困難なので、成型時に一体に電極
を埋設する。成型後のガス感応体(6)を800℃に5分
間加熱し、焼結を行う。なおRh−Pt複合触媒の添加時
に、感応体の強度を維持でき、溶液の含浸により感応体
が変形しないならば、焼結は含浸後に行っても良く、ま
た焼結工程を省略しても良い。
SnO 2 is molded into a gas sensor having the shape shown in FIG.
In the figure, (2) and (4) are noble metal electrodes that also serve as heaters, and (6) is a gas sensitive body, inside of which electrodes (2),
(4) is buried. The thickness of the gas sensor (6) is about 1.5m
m, width about 3mm, length about 2mm, SnO per sensor
2 The amount is about 30 mg. A precious metal catalyst such as Pd, an aggregate such as aluminum, or a convenient binder may be added to SnO 2 . The Pt-Rh composite catalyst added to the surface and these additives act independently, and there is no composite action between them.
The sensor may have any other shape. When the electrode and the sensitive body can be manufactured separately without embedding the electrode in the gas sensitive body (6), the electrode may be separately mounted after the molding of the sensitive body. However, in the structure of FIG. 1, it is difficult to attach the electrodes after molding, so the electrodes are integrally embedded during molding. The molded gas sensor (6) is heated to 800 ° C. for 5 minutes to be sintered. When the Rh-Pt composite catalyst can be added and the strength of the sensitizer can be maintained and the sensitizer does not deform due to the impregnation of the solution, the sintering may be performed after the impregnation, or the sintering step may be omitted. .

0.05mol/l程度のRhやPt等の水溶液を調製する。水溶
液は例えば、塩化ロジウムと塩化白金酸の混合溶液と
し、他の塩の溶液や、アルコール等の他の触媒を用いて
も良い。触媒溶液を感応体1個当たり10μlずつ、感応
体(6)に滴下し、乾燥後に700℃で10分間加熱し、ロ
ジウム塩等を熱分解する。熱分解後の触媒の存在状態
は、複雑で、雰囲気により変化する。なお以下全ての実
施例で、滴下量はセンサ1個当たり、10μlとする。添
加量は10倍〜1/10倍程度に変化させても良く、触媒の添
加は滴下によらず感応体(6)を溶液中に浸して行って
も良い。また滴下は1回ではなく複数回行っても良く、
ロジウムとプラチナとを別に滴下しても良い。上記の過
程で、Rh−Ptの複合触媒が感応体(6)の表面部に担持
される。触媒は感応体(6)の表面部(8)に分布し、
内部にはほとんど存在しない。ロジウム−プラチナ触媒
が存在する深さは、0.1〜0.3mm程度である。含浸法の場
合、特に注意を払わない限り、触媒は感応体の表面に偏
析する。
Prepare an aqueous solution of about 0.05 mol / l Rh, Pt, etc. The aqueous solution may be, for example, a mixed solution of rhodium chloride and chloroplatinic acid, and a solution of another salt or another catalyst such as alcohol may be used. 10 μl of the catalyst solution was dropped onto each of the sensitizers (6), dried and heated at 700 ° C. for 10 minutes to thermally decompose the rhodium salt and the like. The state of existence of the catalyst after thermal decomposition is complicated and changes depending on the atmosphere. In all of the following examples, the amount dropped is 10 μl per sensor. The addition amount may be changed about 10 times to 1/10 times, and the catalyst may be added by immersing the sensitizer (6) in the solution without dropping. Also, the dropping may be performed plural times instead of once,
Rhodium and platinum may be added separately. In the above process, the composite catalyst of Rh-Pt is supported on the surface part of the sensitizer (6). The catalyst is distributed on the surface portion (8) of the responsive body (6),
It hardly exists inside. The depth at which the rhodium-platinum catalyst exists is about 0.1 to 0.3 mm. In the impregnation method, the catalyst segregates on the surface of the sensitizer, unless special care is taken.

他の実施例として、焼結前の感応体(6)を、予めRh
−Pt複合触媒を添加したSnO2粉末で被覆し、焼結を行っ
たものを製造する。被覆に用いるSnO2はセンサ1個当た
り10mgとし、ロジウム量はセンサ1個当たり17μmol、
プラチナ量はセンサ1個当たり8.5μmolとする。これ
は、0.05mol/lのロジウム塩と0.025mol/lのプラチナ塩
との混合溶液を含浸させたものに相当する。このものの
特性は、混合溶液を含浸させた場合と同等であったの
で、以下説明を省略する。
As another embodiment, the sensitive body (6) before sintering is preliminarily Rh
-Production is carried out by coating with SnO 2 powder added with Pt composite catalyst and sintering. SnO 2 used for coating is 10 mg per sensor, and the amount of rhodium is 17 μmol per sensor,
The amount of platinum is 8.5 μmol per sensor. This corresponds to impregnation with a mixed solution of 0.05 mol / l rhodium salt and 0.025 mol / l platinum salt. Since the characteristics of this product were the same as those obtained when the mixed solution was impregnated, the description thereof is omitted.

比較例として、以下のガスセンサを調製した。 As a comparative example, the following gas sensor was prepared.

1 スズ酸のゾルを700℃で焼成した後のSnO2に、Ph−P
t複合触媒を均一に添加しガス感応体(6)としたも
の。
1 Sn-O2 after burning the stannic acid sol at 700 ℃, Ph-P
t Gas catalyst (6) with uniform addition of composite catalyst.

2 焼結後のガス感応体(6)に、Rh単味,Pt単味,あ
るいはPd単味の溶液を含浸させたもの。
2 Gas-sensing body (6) after sintering was impregnated with a solution of Rh, Pt, or Pd.

3 ガス感応体(6)を、Rh−Pt複合触媒を担持したア
ルミナでを被覆したもの。比較例1はガス感応体に均一
にRh−Pt複合触媒を添加したもので、ガス感応体の断面
でのRh−Pt複合触媒の濃度は均一である。比較例2は触
媒の濃度分布は実施例と同様であるか組成が異なり、Rh
のみ、Ptのみ、あるいは比較のためにPdのみの単一成分
の触媒を用いたものである。比較例3はRh−Pt複合触媒
とSnO2との相乗作用を調べるため、Rh−Pt複合触媒の担
体をSnO2からアルミナに変えたものである。
3 A gas sensor (6) coated with alumina carrying a Rh-Pt composite catalyst. In Comparative Example 1, the Rh-Pt composite catalyst was uniformly added to the gas sensor, and the concentration of the Rh-Pt composite catalyst in the cross section of the gas sensor was uniform. In Comparative Example 2, the concentration distribution of the catalyst is the same as that of the Example or the composition is different.
Only, Pt only, or Pd only single component catalysts for comparison. In Comparative Example 3, the carrier of the Rh-Pt composite catalyst was changed from SnO2 to alumina in order to investigate the synergistic action of the Rh-Pt composite catalyst and SnO2.

各センサを5個ずつ用い、20℃の湿度65%の雰囲気で
特性を評価する。最初に第2図〜第8図に、300〜500℃
での加熱温度と抵抗値との関係を示す。各ガス濃度は20
00ppmであり、400℃のイソブタン中での抵抗値を基準と
して示す。表1に、RhやPt等の添加量を示す。
Five sensors are used, and the characteristics are evaluated in an atmosphere of 20 ° C and a humidity of 65%. First, in Figs. 2-8, 300-500 ℃
The relationship between the heating temperature and the resistance value is shown. Each gas concentration is 20
It is 00 ppm, and is shown based on the resistance value in isobutane at 400 ° C. Table 1 shows the amounts of Rh and Pt added.

表 1 (図の試料) 添加量(μmol/センサ) 第2図 Rh0.5、Pt0.25 第3図 Rh0.5、Pt0.5 第4図 Rh0.25、Pt0.5 第5図 Rh0.5 単味 第6図 Pt0.5 単味 第7図 Pt0.5 Pt0.25 第8図 Rh0.5 Pt0.25 (均一に添加した比較例) 第2図〜第7図の特性は、エタノールと他のガス、特
に水素との相対感度が異なっている。なお実際には、エ
タノールはアルコール類を代表するもので、メタノール
やイソプロパノール等の他のアルコールへの特性は、エ
タノールへの特性と類似する。
Table 1 (Sample in the figure ) Figure Addition amount (μmol / sensor) Figure 2 Rh0.5, Pt0.25 Figure 3 Rh0.5, Pt0.5 Figure 4 Rh0.25, Pt0.5 Figure 5 Rh0. 5 Simple Fig. 6 Pt0.5 Simple Fig. 7 Pt0.5 Pt0.25 Fig. 8 Rh0.5 Pt0.25 (Comparative example with uniform addition) The characteristics in Figs. Different relative sensitivities to other gases, especially hydrogen. Actually, ethanol represents alcohols, and the characteristics of other alcohols such as methanol and isopropanol are similar to those of ethanol.

第2図の実施例では、エタノール感度は選択的に低下
しており、400℃での水素感度はエタノール感度より充
分に高い。この傾向は、第3図、第4図の実施例にも保
たれている。
In the example of FIG. 2, the ethanol sensitivity is selectively reduced, and the hydrogen sensitivity at 400 ° C. is sufficiently higher than the ethanol sensitivity. This tendency is maintained in the embodiment shown in FIGS. 3 and 4.

エタノール感度の選択的抑制は、他の触媒では得られ
ない。第5図のロジウム単味の場合、エタノール中の抵
抗値は水素中の抵抗値よりも低い。次に第6図のプラチ
ナ単味の場合、エタノールの感度はかなり高い。パラデ
ィウム触媒の場合、図示を省略したが、エタノール感度
の抑制はロジウムの場合とほぼ同等である。しかしパラ
ディウム、プラチナの複合触媒では(第7図)、水素感
度が低下している。
Selective suppression of ethanol sensitivity is not obtained with other catalysts. In the case of rhodium alone in FIG. 5, the resistance value in ethanol is lower than the resistance value in hydrogen. Next, in the case of platinum alone in Fig. 6, the sensitivity of ethanol is quite high. In the case of a palladium catalyst, although not shown, the suppression of ethanol sensitivity is almost the same as that of rhodium. However, in the complex catalyst of Palladium and Platinum (Fig. 7), the hydrogen sensitivity is lowered.

第8図に、原料のSnO2の段階で、Rh−Pt複合触媒を均
一に添加したものの特性を示す。ロジウム等の添加量は
第2図のものと同等であるにもかかわらず、相対感度は
全く異なり、センサの温度依存性が大きい。実用的に
は、センサの抵抗温度係数は、検知温度付近で0ないし
わずかに正であることが要求される。抵抗温度係数が負
の場合、電源電圧の変動が、加熱電圧の変動とセンサに
加える検出電圧の変動とに相乗し、検出誤差が増す。
FIG. 8 shows the characteristics of the raw material SnO 2 to which the Rh-Pt composite catalyst was uniformly added. Although the amount of rhodium added is the same as that shown in FIG. 2, the relative sensitivity is completely different and the temperature dependence of the sensor is large. Practically, the temperature coefficient of resistance of the sensor is required to be 0 or slightly positive near the detection temperature. When the temperature coefficient of resistance is negative, fluctuations in the power supply voltage synergize with fluctuations in the heating voltage and fluctuations in the detection voltage applied to the sensor, increasing the detection error.

表2に、エタノールと水素やイソブタンとの相対感度
を示す。
Table 2 shows the relative sensitivity of ethanol to hydrogen and isobutane.

表2から、Rh−Pt複合触媒の利用により、アルコール
による誤報レベルを4倍程度増大させ得ることがわか
る。なお、相対感度以外の特性、例えばガス濃度への出
力の依存正や経時特性に付いては、実施例のセンサは比
較例のものと同様で有った。またこのセンサは、水素、
イソブタン、メタン等のガスのみでなく、一酸化炭素の
検出にも用いることが出来る。
From Table 2, it can be seen that the use of the Rh-Pt composite catalyst can increase the false alarm level due to alcohol by about four times. Regarding the characteristics other than the relative sensitivity, for example, the dependence of the output on the gas concentration and the characteristics over time, the sensor of the example was similar to that of the comparative example. Also, this sensor is
It can be used to detect not only gases such as isobutane and methane but also carbon monoxide.

[発明の効果] この発明では、ガスセンサのアルコールによる誤報を
除くことが出来る。
EFFECTS OF THE INVENTION In the present invention, it is possible to eliminate false alarms due to alcohol in the gas sensor.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は、実施例で製造するガスセンサの断面図、第2
図〜第4図は、実施例のガスセンサの特性図、第5図〜
第8図は従来例のガスセンサの特性図である。 (6)……ガス感応体、(8)……表面部。
FIG. 1 is a sectional view of a gas sensor manufactured in the embodiment,
4 to 4 are characteristic diagrams of the gas sensor of the embodiment, and FIG.
FIG. 8 is a characteristic diagram of a conventional gas sensor. (6) …… Gas sensor, (8) …… Surface part.

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】SnO2系の粉体を成型したガス感応体を用い
たガスセンサの製造方法において、 成型後のガス感応体にロジウム塩とプラチナ塩との混合
溶液を接触させて、ガス感応体の表面部にRh−Pt複合触
媒を添加することを特徴とする、低アルコール感度ガス
センサの製造方法。
1. A method for manufacturing a gas sensor using a gas sensor formed by molding SnO2-based powder, wherein a mixed solution of rhodium salt and platinum salt is brought into contact with the molded gas sensor to obtain a gas sensor. A method for producing a low-alcohol sensitive gas sensor, characterized in that a Rh-Pt composite catalyst is added to the surface portion.
【請求項2】特許請求の範囲第1項記載の方法におい
て、 RhとPtとのモル比を1/3〜6としたことを特徴とする、
低アルコール感度ガスセンサの製造方法。
2. The method according to claim 1, wherein the molar ratio of Rh and Pt is 1/3 to 6;
Manufacturing method of low alcohol sensitive gas sensor.
【請求項3】SnO2系の粉体を成型したガス感応体を用い
たガスセンサの製造方法において、 SnO2にRh−Pt複合触媒を添加した粉末を調製し、この粉
末によりガス感応体を被覆することを特徴とする、低ア
ルコール感度ガスセンサの製造方法。
3. A method for manufacturing a gas sensor using a gas sensor formed by molding SnO2-based powder, comprising preparing a powder of Rh-Pt composite catalyst added to SnO2, and coating the gas sensor with this powder. A method of manufacturing a low alcohol sensitive gas sensor, comprising:
【請求項4】特許請求の範囲第3項記載の方法におい
て、 RhとPtとのモル比を1/3〜6としたことを特徴とする、
低アルコール感度ガスセンサの製造方法。
4. The method according to claim 3, wherein the molar ratio of Rh and Pt is 1/3 to 6;
Manufacturing method of low alcohol sensitive gas sensor.
JP61097189A 1986-04-25 1986-04-25 Method for manufacturing low-alcohol sensitive gas sensor Expired - Fee Related JPH0814557B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP61097189A JPH0814557B2 (en) 1986-04-25 1986-04-25 Method for manufacturing low-alcohol sensitive gas sensor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP61097189A JPH0814557B2 (en) 1986-04-25 1986-04-25 Method for manufacturing low-alcohol sensitive gas sensor

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS62254047A JPS62254047A (en) 1987-11-05
JPH0814557B2 true JPH0814557B2 (en) 1996-02-14

Family

ID=14185626

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP61097189A Expired - Fee Related JPH0814557B2 (en) 1986-04-25 1986-04-25 Method for manufacturing low-alcohol sensitive gas sensor

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0814557B2 (en)

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5999243A (en) * 1982-11-29 1984-06-07 Toshiba Corp Gas sensitive element

Also Published As

Publication number Publication date
JPS62254047A (en) 1987-11-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5624640A (en) Sensor for detecting nitrogen oxide
JP3644968B2 (en) Sensor for detecting flammable gases
CA1208424A (en) Gas sensor
US5472591A (en) Oxygen concentration detector having heat-treated support layer providing high responsivity endurance
JP3795944B2 (en) Manufacturing method of semiconductor gas sensor
JPH0587760A (en) Gas sensor and production thereof
KR100644465B1 (en) Tin oxide nano-rod, method for preparing the same, and gas-sensor employing the same
JPH0814557B2 (en) Method for manufacturing low-alcohol sensitive gas sensor
JPS6170449A (en) Gas detecting element
JP2980290B2 (en) Gas detection method and gas sensor used therefor
EP0115953B1 (en) Gas sensor
JPH08503548A (en) Highly active electrode for exhaust gas sensor
JPH07198651A (en) Thin film type gas sensor
JP2570440B2 (en) Gas sensor
KR870001034B1 (en) Gas detecting apparatus
JP3171734B2 (en) Carbon monoxide gas sensing element
JP3696494B2 (en) Nitrogen oxide sensor
JP2000002680A (en) Co sensor and its manufacture
JP3087972B2 (en) Gas sensor manufacturing method
JPH063308A (en) Gas sensor
JPH0151775B2 (en)
JPH0380257B2 (en)
JPH0814552B2 (en) Sensor for detecting the functional state of catalytic devices
JPH0743331A (en) Thick film gas sensor
EP0360159A3 (en) Method of producing thick-film gas sensor element having improved stability

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees