JPH08142387A - 静電記録用電極シートの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 高精度に能率的に所定の領域に微細な凹部を
形成できる静電記録用電極シートの製造方法を提供す
る。 【構成】 絶縁性基板４１の表面に厚さ約３μｍの銅箔
により、多数の電極膜４２と導線４３及び前後１対のダ
ミー電極膜４４のパターンを形成する。次に、絶縁性基
板４１の表面にポリイミド樹脂の絶縁コーティング層４
５を形成し、絶縁コーティング層４５の全面に帯電防止
層４６を形成する。絶縁性基板４１の裏面からレーザー
光を照射し、開口部４８を形成し、次に、絶縁性基板４
１の裏面からレーザー光５７を照射し、複数の電極膜４
２と１対のダミー電極膜４４のパターンに対応する領域
よりも広幅の領域に沿って、レーザー光５７を絶縁性基
板４１に対して相対移動させて、絶縁性基板４１の厚さ
の全部の深さの凹部４９を形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、複数の開口部とそれら
開口部近傍の電極膜とをシート状の絶縁体に形成してな
る静電記録用電極シートであって、複写機、プリンタ、
ファクシミリ、プロッター等に装備される静電記録方式
の画像形成装置に用いる為の静電記録用電極シートの製
造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、多数の微小な開口（アパチャ）と
各開口の外周に付設した制御電極とを有するアパチャ電
極体と、アパチャ電極体を挟んだ両側に位置するトナー
搬送ローラー及び背面電極と、トナー搬送ローラーにマ
イナスに帯電させたトナーを供給するトナー供給機構と
を備え、各制御電極への印加電圧を制御し、制御電極と
背面電極間の電界を介して、トナー搬送ローラーの表面
のトナーを前記開口を通過させて記録媒体（用紙）に記
録するように構成した静電記録方式の画像形成装置が、
種々提案されている（例えば、特開平２−２９７５７０
号公報参照）。

【０００３】前記アパチャ電極体（静電記録用電極シー
ト）としては、合成樹脂製の例えば厚さ２５μｍの薄い
シート状の絶縁板に、多数の開口部と制御電極（電極
膜）とを形成し、絶縁板をトナー搬送ローラー側に位置
させ、制御電極を背面電極側に位置させた状態で使用さ
れる。ところで、トナーで記録する画素の鮮明化の為に
は、制御電極からトナー搬送ローラーへ向かう電界を強
化することが望ましく、その為には、制御電極への駆動
電圧を高めるか、制御電極とトナー搬送ローラー間の距
離を極力小さくすることが必要である。しかし、制御電
極を駆動する集積回路の特性上、駆動電圧は約４０Ｖ以
下に抑えることが望ましいので、前記絶縁板を極力薄く
構成することが望ましい。

【０００４】そこで、前記絶縁板を一層薄い絶縁被膜で
構成することが考えられるが、その場合、アパチャ電極
体の厚さが過小となるため、制御電極に対して絶縁被膜
と反対側に補強用の厚さ５０〜１００μｍ位の薄いシー
ト状の絶縁性基板を設け、制御電極の内側に、絶縁被膜
と絶縁性基板とを貫通する開口部を形成する必要があ
る。しかし、絶縁性基板の開口部の大きさが、制御電極
の内側の開口部の大きさと同程度に小さい場合には、絶
縁性基板の開口部を通って背面電極から制御電極に向か
うように形成される電界が殆ど生じなくなることから、
絶縁性基板の開口部を広幅の少なくとも絶縁被膜を貫通
しない凹部に形成する必要があり、この凹部の幅×長さ
（多数の制御電極を所定パターンに形成した領域）は、
例えばＡ４版対応の場合、１ｍｍ×２００ｍｍとなる。

【０００５】従来、前記のような絶縁性基板を微細加工
するのに、エキシマレーザー光が適用されているが、エ
キシマレーザー光は、最大発熱量が０．５ジュール／ｃ
ｍ²、最大照射領域が２２．５ｍｍ² であり、従来の加
工技術により、エキシマレーザー光を用いて、１ｍｍ×
２００ｍｍ程度の加工領域にスリット状の凹部を加工す
る場合には、前記加工領域を９分割し、９回のエキシマ
レーザー光照射を介して加工しているのが実情である。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】前記のように、多数の
制御電極を所定パターンに形成した加工領域を９分割し
て、９回の加工で凹部を形成する場合には、レーザー光
のエッジに対応する部分ではエネルギー密度が低いため
に不連続な継ぎ目が複数個発生するので、その不連続な
継ぎ目が電界に影響を及ぼし、多数の制御電極に亙って
記録性能が均一化せず、静電記録の記録性能を十分に高
めることが困難である。本発明の目的は、前記不連続な
継ぎ目を発生させることなく、高精度に能率的に所定の
領域に微細な凹部を形成できる静電記録用電極シートの
製造方法を提供することである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】請求項１の静電記録用電
極シートの製造方法は、シート状の絶縁性基板の表面に
複数の電極膜のパターンを形成するパターン形成工程
と、前記複数の電極膜のパターンを覆うように絶縁性基
板の表面に絶縁性コーティング層を形成するコーティン
グ工程と、前記絶縁性基板の前記表面と反対側の裏面側
からレーザー光を照射し、複数の電極膜のパターンに対
応する領域に沿って、絶縁性基板と絶縁性コーティング
層を貫通する開口部を形成する開口形成工程と、前記絶
縁性基板の前記表面と反対側の裏面側からレーザー光を
照射し、複数の電極膜のパターンに対応する領域よりも
広幅の領域に沿って、そのレーザー光を絶縁性基板に対
して相対移動させて、絶縁性基板の厚さの全部又は大部
分の深さの凹部を形成する凹部形成工程とを備えたこと
を特徴とする方法である。

【０００８】請求項２の静電記録用電極シートの製造方
法は、請求項１の発明において、前記パターン形成工程
において、複数の電極膜のパターンの長さ方向の両端近
傍部位に、凹部形成工程おいて照射するレーザー光の入
射断面よりも大きな反射面を有するダミー電極膜を形成
し、前記凹部形成工程において、一方のダミー電極膜に
対応する部位からレーザー光の照射を開始し、他方のダ
ミー電極膜に対応する部位においてレーザー光の照射を
終了することを特徴とする方法である。

【０００９】

【作用】請求項１の静電記録用電極シートの製造方法に
おいては、パターン形成工程においてシート状の絶縁性
基板の表面に複数の電極膜のパターンを形成し、次に、
コーティング工程において複数の電極膜のパターンを覆
うように絶縁性基板の表面に絶縁性コーティング層を形
成する。次に、開口形成工程において絶縁性基板の前記
表面と反対側の裏面側からレーザー光を照射し、複数の
電極膜のパターンに対応する領域に沿って、絶縁性基板
と絶縁性コーティング層を貫通する開口部を形成する。
但し、レーザー光は電極膜で反射されるため、電極膜の
個所では貫通しない開口部となる。

【００１０】次に、凹部形成工程において絶縁性基板の
前記表面と反対側の裏面側からレーザー光を照射し、複
数の電極膜のパターンに対応する領域よりも広幅の領域
に沿って、そのレーザー光を絶縁性基板に対して相対移
動させて、絶縁性基板の厚さの全部又は大部分の深さの
凹部を形成する。この場合、レーザー光の出力との関連
において、相対移動の速度を適当な速い速度に設定する
ことにより、絶縁性基板の厚さの全部又は大部分の深さ
の凹部を形成できる。

【００１１】請求項２の静電記録用電極シートの製造方
法においては、請求項１の発明において、パターン形成
工程において、複数の電極膜のパターンの長さ方向の両
端近傍部位に、前記凹部形成工程おいて照射するレーザ
ー光の入射断面よりも大きな反射面を有するダミー電極
膜を形成し、凹部形成工程において、一方のダミー電極
膜に対応する部位からレーザー光の照射を開始し、他方
のダミー電極膜に対応する部位においてレーザー光の照
射を終了する。前記レーザー光の照射開始時及び照射終
了時には、レーザー光の絶縁性基板に対する相対移動速
度を十分に高めることができないので、所期の深さの凹
部に形成できず、貫通状の凹部になる可能がある。

【００１２】しかし、本発明では、複数の電極膜のパタ
ーンの長さ方向の両端近傍部位に、凹部形成工程おいて
照射するレーザー光の入射断面よりも大きな反射面を有
するダミー電極膜を形成しておき、一方のダミー電極膜
に対応する部位からレーザー光の照射を開始するため、
この照射開始時の凹部がダミー電極膜よりも深くなるこ
とはない。同様に、他方のダミー電極膜に対応する部位
においてレーザー光の照射を終了するので、照射終了時
の凹部がダミー電極膜よりも深くなることはない。こう
して、レーザー光の照射開始部位と照射終了部位におい
ても、所期の凹部を形成することができる。

【００１３】

【実施例】以下、本発明の実施例について図面に基いて
説明する。最初に、静電記録用電極シートが装備される
画像形成装置について説明し、その後、静電記録用電極
シートについて説明する。図１に示すように、画像記録
装置１は、その本体フレーム２内に、用紙Ｐ（画像記録
媒体）を搬送する用紙搬送機構１０と、定着機構２０
と、所定量のトナー３と、トナー供給機構３０と、この
トナー供給機構３０のトナーケース３１の上端に付設さ
れた静電記録用電極シート４０と、背面電極ローラー５
０とを設けたものである。

【００１４】前記用紙搬送機構１０は、搬送される用紙
Ｐを支持する複数のガイドプレート１２〜１４と、複数
の搬送用ローラー１５〜１８と、搬送用ローラー１５，
１６と搬送用ローラー１７，１８の間において用紙Ｐの
幅方向両端部数ｍｍ程の部分を支持して搬送する搬送用
ローラー（図示略）と、用紙カセット１１内の用紙を１
枚ずつ給紙する給紙ローラー（図示略）と、用紙搬送機
構１０を駆動する電動モータ（図示略）等で構成され、
本体フレーム２の前側には、多数の用紙Ｐを収納した給
紙カセット１１が設けられ、本体フレーム２の後側に
は、記録されて排出された用紙Ｐを受ける排紙トレイ１
９が設けられている。

【００１５】定着機構２０は、ハロゲンランプを内蔵し
た定着用ローラー１７と押圧ローラー１８とからなり、
定着用ローラー１７と押圧ローラー１８とは、用紙搬送
機構１０にも兼用されている。

【００１６】次に、トナー供給機構３０について説明す
ると、用紙搬送方向（前方から後方向き）に直交する方
向に、用紙Ｐの最大幅より僅かに広幅のトナーケース３
１内には、後述の電気絶縁性を有するトナー３が収納さ
れている。トナーケース３１の内部には、トナー供給ロ
ーラー３２と、トナー搬送ローラー３３とが左右方向向
きに水平に配設され、これらローラー３２，３３は、夫
々回転可能に枢支されている。トナー供給ローラー３２
は、シリコン発泡体で構成されており、このトナー供給
ローラー３２は、トナー３をトナー搬送ローラー３３の
方へ移送し且つトナー３との摩擦接触を介してトナー３
をマイナス極性に帯電させる。

【００１７】トナー搬送ローラー３３は、絶縁材料から
なる合成樹脂発泡体製のローラー本体部の外周に、ニッ
ケル製のスリーブを外嵌した構造であり、このトナー搬
送ローラー３３の表面に静電気力で付着したトナー３
が、矢印Ａ方向へ搬送される。これらトナー供給ローラ
ー３２とトナー搬送ローラー３３とは、図示外のローラ
ー駆動機構により、矢印Ｂ方向及び矢印Ａ方向へ回転駆
動される。前記トナーケース３１には、薄い板状の弾性
を有する絶縁材料製のトナー規制ブレード３４が取付け
られ、その湾曲状部分がトナー搬送ローラー３３に押圧
状に接触しており、トナー搬送ローラー３３の表面に層
状に付着したトナー３の層厚が、このトナー規制ブレー
ド３４で所定厚さ（約40〜50μｍ）に規制される。

【００１８】前記トナーケース３１の上端部には、トナ
ーケース３１の上端の開口部分を覆うように、且つトナ
ー搬送ローラー３３の上端部に層状のトナー３を介して
上側から接触するように、ほぼ屋根型に傾斜した静電記
録用電極シート４０が取付けられている。静電記録用電
極シート４０について説明すると、図１〜図６に示すよ
うに、静電記録用電極シート４０は、厚さ約５０〜１０
０μｍの合成樹脂（例えば、ポリイミド）製のシート状
の絶縁性基板４１と、この絶縁性基板４１の下面に用搬
送方向と直交する水平方向に所定間隔おきに形成された
銅被膜製の多数のコ字状の電極膜４２及び電極膜４２か
ら延びる導線４３と、合成樹脂（例えば、ポリイミド）
製の厚さ約８μｍの絶縁コーティング層４５と、合成樹
脂（例えば、ポリイミド）にカーボン微粒子を混合した
半導電性の厚さ約５μｍの帯電防止層４６とを備えたも
のである。

【００１９】この静電記録用電極シート４０の前後方向
の略中央部の位置には、多数の電極膜４２が所定の微小
間隔おきに、左右方向向きに１列状に形成され、各電極
膜４２の内側及び電極膜４２同士間には、絶縁コーティ
ング層４５と帯電防止層４６とを貫通する６５μｍ×６
５μｍのアパチャ４７（微小開口）が形成され、これら
アパチャ４７間のピッチは約１２７μｍであり、例え
ば、Ａ４用紙を対象とする場合には、アパチャ４７の数
（つまり、電極膜４２の数）は、約１７００個である。

【００２０】更に、図２、図６に示すように、多数の電
極膜４２が形成された領域を含みその領域よりも前後方
向に広幅の凹部４９であって、絶縁性基板４１の上面か
ら電極膜４２までの深さ、つまり、絶縁性基板４１のほ
ぼ全厚にわたる深さの凹部４９が形成されている。各電
極膜４２から延びる細い導線４３が絶縁性基板４１上に
夫々形成され、図２に示すように、これら多数の導線４
３の各々には、記録すべき画像の画像信号に応じた、＋
３０Ｖ又は−３０Ｖの駆動電圧が、制御線５４を介して
駆動回路５２から個別に供給される。

【００２１】一方、電極シート４０の直ぐ上側には、用
紙Ｐを搬送する搬送隙間を隔てて背面電極ローラー５０
が配設され、この背面電極ローラー５０は、その支軸５
０ａを介して本体フレーム２に回転可能に枢支されてい
る。用紙Ｐは、この背面電極ローラー５０の下部に接し
ながら搬送方向に搬送され、この用紙Ｐの下面には、搬
送中に電極膜４２に供給される駆動信号に応じてトナー
搬送ローラー３３の表面から飛翔しアパチャ４７を通過
したトナー３が付着する。背面電極ローラー５０は、図
示外のローラ駆動機構により、記録用紙Ｐの搬送と同期
して矢印Ｃの方向へ回転駆動される。

【００２２】次に、画像記録装置１の制御系について簡
単に説明すると、図２に示すように、背面電極ローラー
５０には、電源回路５５により、約＋１ＫＶの高電圧が
常に印加され、マイナスに帯電されたトナー３を大きな
静電気力で背面電極ローラー５０に引き付けるようにな
っている。一方、電極シート４０の多数の導線４３は、
多数本の信号線からなる制御線５４を介して駆動回路５
２に接続され、この駆動回路５２には、＋３０Ｖと−３
０Ｖの２種類の電圧を出力する電源回路５３と、外部か
ら画像信号を受信する制御ユニット５１とが接続され、
制御ユニット５１は、多数の電極膜４２の為の画像信号
に応じた制御信号を駆動回路５２に同時に出力し、駆動
回路５２は、画素を記録する各電極膜４２には＋３０Ｖ
の駆動電圧を制御線５４を介して出力し、また、画素を
記録しない各電極膜４２には−３０Ｖの駆動電圧を制御
線５４を介して出力する。尚、トナー搬送ローラー３３
は接地されている。

【００２３】従って、＋３０Ｖの電圧が電極膜４２に印
加されると、電極膜４２からトナー搬送ローラー３３に
向かう電界が発生し、マイナスに帯電したトナー３は、
この電界から静電気力を受け、トナー搬送ローラー３３
の表面からアパチャ４７を通過して電極膜４２の方へ飛
翔すると同時に、背面電極ローラー５０から電極膜４２
に向かう強力な電界による静電気力を受けて、背面電極
ローラー５０へ方へ飛翔し用紙Ｐに衝突して付着する。
しかし、電極膜４２に−３０Ｖの電圧が印加されたとき
には、トナー搬送ローラー３３からトナー３が飛翔しな
い。

【００２４】以上説明した静電記録用電極シート４０に
おいては、電極膜４２の下面側には薄い絶縁コーティン
グ層４５と、薄い帯電防止層４６とが形成されるだけな
ので、電極膜４２からトナー搬送ローラー３３までの距
離を小さくして、電極膜４２からトナー搬送ローラー３
３間に発生する電界を強化できるし、また、多数のアパ
チャ４７よりも前後方向に広幅で絶縁性基板４１の上面
から電極膜４２まで又は電極膜４２の近くまで達する凹
部４９が形成されているため、補強用の絶縁性基板４１
から、背面電極ローラー５０と電極膜４２間に発生する
電界に悪影響を及ぼすのを確実に防止できる。こうし
て、静電記録用電極シート４０の電気的を性能を高めて
ある。

【００２５】次に、以上説明した静電記録用電極シート
４０の製造方法について説明する。パターン形成工程に
おいて、図３に示すように、シート状の所定のサイズの
絶縁性基板４１を準備し、この絶縁性基板４１の表面
（図２における下面）に、厚さ約３μｍの銅箔を全面的
に接着し、この銅箔の表面に多数の電極膜４２と導線４
３及び前後１対のダミー電極膜４４のパターンをマスク
するマスキングを施した状態で、所定のエッチング液で
エッチング処理を施して、多数の電極膜４２と導線４３
及び前後１対のダミー電極膜４４のパターンを形成す
る。尚、１対のダミー電極膜４４は、多数の電極膜４２
のパターンの長さ方向（図２における左右方向、つま
り、図２における紙面直交方向））の両端近傍部位に形
成される。また、各ダミー電極膜４４は、後述の凹部形
成工程におけるエキシマレーザーのレーザー光５７の入
射断面よりも大きな反射面を有する矩形形状に形成され
る。

【００２６】次に、コーティング工程において、図４に
示すように、絶縁性基板４１の表面の全面に、多数の電
極膜４２と導線４３及び前後１対のダミー電極膜４４を
覆うように、ポリイミド樹脂をコーティングして厚さ約
８μｍの絶縁性コーティング層４５を形成する。次に、
絶縁性コーティング層４５を十分乾燥させてから、その
絶縁性コーティング層４５の表面の全面に、カーボン微
粉末を添加したポリイミド樹脂をコーティングして厚さ
約５μｍの帯電防止層４６を形成して乾燥させる。

【００２７】次に、開口形成工程において、図５に示す
ように、絶縁性基板４１を所望の設定速度で移動駆動で
きる１軸移動型キャリアにセットし、絶縁性基板４１の
前記表面と反対側の裏面から、複数の電極膜４２及び１
対のダミー電極膜４４のパターンに対応する領域に沿っ
て、一端側から他端側へ向かって、エキシマレーザーの
レーザー光５６を照射可能にセットする。そして、絶縁
性基板４１の前記表面と反対側の裏面から、レーザー光
５６を照射し、複数の電極膜４２及び１対のダミー電極
膜４４のパターンに対応する領域に沿って、レーザー光
５６を絶縁性基板４１に対して相対移動させて、絶縁性
基板４１と絶縁コーティング層４５と帯電防止層４６と
を貫通する開口部４８であって、前記多数のアパチャ４
７を形成する為の開口部４８を形成する（図６参照）。
尚、レーザー光５６の照射前に、絶縁性基板４１の裏面
の全面に、所定の離型剤を塗布してからレーザー光５６
を照射するものとする。

【００２８】前記レーザー光５６は、一端側のダミー電
極膜４４の部位から照射を開始し、また、他端側のダミ
ー電極膜４４の部位で照射を終了するものとする。前記
レーザー光５６の入射断面の前後方向幅ａはアパチャ４
７の前後方向の幅６５μｍ、レーザー光５６の入射断面
の左右方向幅ｂは例えば２００μｍ、レーザー光５６の
エネルギー密度は0.5 ジュール／ｃｍ² 、レーザー光５
６の周波数は１００Ｈｚ、レーザー光５６の絶縁性基板
４１に対する相対移動速度は例えば４０ｍｍ／ｓであ
る。前記絶縁性基板４１と絶縁コーティング層４５と帯
電防止層４６とを貫通する開口部４８を形成すると、電
極膜４２の部位では、レーザー光５６が反射するため、
電極膜４２を貫通せず、図６に示すように、各電極膜４
２のレーザー光入射側と反対側には、絶縁コーティング
層４５と帯電防止層４６とがブリッジ状に残り、各電極
膜４２に対応する多数のアパチャ４７が形成される。

【００２９】次に、凹部形成工程において、図６に示す
ように、絶縁性基板４１を前記キャリアにセットしたま
ま、絶縁性基板４１の前記表面と反対側の裏面から、複
数の電極膜４２及び１対のダミー電極膜４４のパターン
に対応する領域よりも広幅の領域に沿って、一端側から
他端側へ向かって、エキシマレーザーのレーザー光５７
を照射可能にセットする。そして、絶縁性基板４１の前
記表面と反対側の裏面から、レーザー光５７を照射し、
複数の電極膜４２と１対のダミー電極膜４４のパターン
に対応する領域よりも広幅の領域に沿って、レーザー光
５７を絶縁性基板４１に対して相対移動させて、絶縁性
基板４１の厚さの全部の深さの凹部４９を形成する。但
し、凹部４９は、絶縁性基板４１の厚さの大部分の深さ
に形成してもよい。

【００３０】前記レーザー光５７は、一端側のダミー電
極膜４４の部位から照射を開始し、また、他端側のダミ
ー電極膜４４の部位で照射を終了するものとする。前記
レーザー光５７の入射断面の前後方向幅ｃは１０００μ
ｍ、レーザー光５７の入射断面の左右方向幅ｄは例えば
２００μｍ、レーザー光５７のエネルギー密度は0.5 ジ
ュール／ｃｍ² 、レーザー光５７の周波数は１００Ｈ
ｚ、レーザー光５７の絶縁性基板４１に対する相対移動
速度は例えば６５ｍｍ／ｓである。レーザー光５７の照
射開始端と照射終了端では、相対移動速度が一定化しな
いために入熱量が一定化しないが、一端側のダミー電極
膜４４の部位で照射を開始し、また、他端側のダミー電
極膜４４の部位で照射を終了するため、全部のアパチャ
４７に対応する領域では、凹部４９の断面形状が一定化
する。

【００３１】こうして、前記開口部４８をバラツキのな
い一定形状に形成でき、凹部４９をバラツキのない一定
形状に形成できるため、電気的に高性能の静電記録用電
極シート４０を製造することができる。そして、一端側
のダミー電極膜４４の部位で照射を開始し、他端側のダ
ミー電極膜４４の部位で照射を終了するため、レーザー
光５７の照射開始部位及び照射終了部位においても、所
期の凹部を形成することができる。

【００３２】

【発明の効果】請求項１の静電記録用電極シートの製造
方法においては、パターン形成工程においてシート状の
絶縁性基板の表面に複数の電極膜のパターンを形成し、
次に、コーティング工程において複数の電極膜のパター
ンを覆うように絶縁性基板の表面に絶縁性コーティング
層を形成する。次に、開口形成工程において絶縁性基板
の前記表面と反対側の裏面側からレーザー光を照射し、
複数の電極膜のパターンに対応する領域に沿って、絶縁
性基板と絶縁性コーティング層を貫通する開口部を形成
する。従って、一定幅の連続する開口部を形成できる。

【００３３】次に、凹部形成工程において絶縁性基板の
前記表面と反対側の裏面側からレーザー光を照射し、複
数の電極膜のパターンに対応する領域よりも広幅の領域
に沿って、そのレーザー光を絶縁性基板に対して相対移
動させて、絶縁性基板の厚さの全部又は大部分の深さの
凹部を形成する。このように、レーザー光を絶縁性基板
に対して相対移動させて凹部を形成するため、一定の幅
と深さの滑らかに連続した凹部を簡単に形成することが
できる。従って、前記開口部をバラツキのない一定形状
に形成でき、凹部をバラツキのない一定形状に形成でき
るため、電気的に高性能の静電記録用電極シートを製造
することができる。

【００３４】請求項２の静電記録用電極シートの製造方
法においては、請求項１と同様の効果を奏するが、複数
の電極膜のパターンの長さ方向の両端近傍部位に、凹部
形成工程おいて照射するレーザー光の入射断面よりも大
きな反射面を有するダミー電極膜を形成しておき、一方
のダミー電極膜に対応する部位からレーザー光の照射を
開始するため、この照射開始時の凹部がダミー電極膜よ
りも深くなることはない。同様に、他方のダミー電極膜
に対応する部位においてレーザー光の照射を終了するの
で、照射終了時の凹部がダミー電極膜よりも深くなるこ
とはない。こうして、レーザー光の照射開始部位と照射
終了部位においても、所期の凹部を形成することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例に係る画像形成装置の一部縦断
側面図である。

【図２】図１の画像形成装置の要部拡大断面図である。

【図３】図１の画像形成装置の静電記録用電極シートの
絶縁性基板と電極膜等の要部斜視図である。

【図４】前記静電記録用電極シートの絶縁性基板と絶縁
コーティング層と帯電防止層の要部斜視図である。

【図５】前記静電記録用電極シートに開口部を形成する
工程を示す要部斜視図である。

【図６】前記静電記録用電極シートに凹部を形成する工
程を示す要部斜視図である。

【符号の説明】

１ 画像形成装置 ４０ 静電記録用電極シート ４１ 絶縁性基板 ４２ 電極膜 ４４ ダミー電極膜 ４５ 絶縁コーティング層 ４６ 帯電防止層 ４８ 開口部 ４９ 凹部 ５６，５７ レーザー光

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 シート状の絶縁性基板の表面に複数の電
   極膜のパターンを形成するパターン形成工程と、 前記複数の電極膜のパターンを覆うように絶縁性基板の
   表面に絶縁性コーティング層を形成するコーティング工
   程と、 前記絶縁性基板の前記表面と反対側の裏面側からレーザ
   ー光を照射し、複数の電極膜のパターンに対応する領域
   に沿って、絶縁性基板と絶縁性コーティング層を貫通す
   る開口部を形成する開口形成工程と、 前記絶縁性基板の前記表面と反対側の裏面側からレーザ
   ー光を照射し、複数の電極膜のパターンに対応する領域
   よりも広幅の領域に沿って、そのレーザー光を絶縁性基
   板に対して相対移動させて、絶縁性基板の厚さの全部又
   は大部分の深さの凹部を形成する凹部形成工程と、 を備えたことを特徴とする静電記録用電極シートの製造
   方法。
2. 【請求項２】 前記パターン形成工程において、複数の
   電極膜のパターンの長さ方向の両端近傍部位に、前記凹
   部形成工程おいて照射するレーザー光の入射断面よりも
   大きな反射面を有するダミー電極膜を形成し、 前記凹部形成工程において、一方のダミー電極膜に対応
   する部位からレーザー光の照射を開始し、他方のダミー
   電極膜に対応する部位においてレーザー光の照射を終了
   する、 ことを特徴とする請求項１に記載の静電記録用電極シー
   トの製造方法。