JPH081412A - 積層被覆工具 - Google Patents
積層被覆工具Info
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- JPH081412A JPH081412A JP6164952A JP16495294A JPH081412A JP H081412 A JPH081412 A JP H081412A JP 6164952 A JP6164952 A JP 6164952A JP 16495294 A JP16495294 A JP 16495294A JP H081412 A JPH081412 A JP H081412A
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- film
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/009—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone characterised by the material treated
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
- C04B41/52—Multiple coating or impregnating multiple coating or impregnating with the same composition or with compositions only differing in the concentration of the constituents, is classified as single coating or impregnation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2111/00—Mortars, concrete or artificial stone or mixtures to prepare them, characterised by specific function, property or use
- C04B2111/00241—Physical properties of the materials not provided for elsewhere in C04B2111/00
- C04B2111/00405—Materials with a gradually increasing or decreasing concentration of ingredients or property from one layer to another
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 高速度工具鋼、超硬合金、サ−メット又はセ
ラミックのいずれかを母材の材質とする工具に、欠落あ
るいは欠損という現象を引き起さない、高い靭性を有し
ながら耐摩耗性を高くする様な積層コーティング被覆工
具を提供。 【構成】 母材となる工具に、膜の成膜構成が３層構造
からなり、全体の膜厚が２．０μｍ〜５．０であり、原
子炭素比率＝Ｃ／（Ｎ＋Ｃ）＝ｔとして、膜厚が０．２
μｍ〜１．０の ＴｉＮ又はＴｉＣＮ（０≦ｔ＜０．
２）の均一組織を最下層とし、膜厚が１．０μｍ〜３．
０の ＴｉＣＮ（０．３≦ｔ≦０．７）層の均一組織を
最上層とし、膜厚が０．５μｍ〜２．５の ＴｉＮ又は
ＴｉＣＮでかつ原子炭素比率が０＜ｔ≦０．７を満たす
範囲で最下層から最上層に向けて連続又は断続して増加
する傾斜組成層を中間層とする積層被覆工具。
ラミックのいずれかを母材の材質とする工具に、欠落あ
るいは欠損という現象を引き起さない、高い靭性を有し
ながら耐摩耗性を高くする様な積層コーティング被覆工
具を提供。 【構成】 母材となる工具に、膜の成膜構成が３層構造
からなり、全体の膜厚が２．０μｍ〜５．０であり、原
子炭素比率＝Ｃ／（Ｎ＋Ｃ）＝ｔとして、膜厚が０．２
μｍ〜１．０の ＴｉＮ又はＴｉＣＮ（０≦ｔ＜０．
２）の均一組織を最下層とし、膜厚が１．０μｍ〜３．
０の ＴｉＣＮ（０．３≦ｔ≦０．７）層の均一組織を
最上層とし、膜厚が０．５μｍ〜２．５の ＴｉＮ又は
ＴｉＣＮでかつ原子炭素比率が０＜ｔ≦０．７を満たす
範囲で最下層から最上層に向けて連続又は断続して増加
する傾斜組成層を中間層とする積層被覆工具。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は高速度工具鋼、超硬合
金、サ−メット又はセラミックのいずれかを母材の材質
とする工具に積層コーティングを施した積層被覆工具に
関する。
金、サ−メット又はセラミックのいずれかを母材の材質
とする工具に積層コーティングを施した積層被覆工具に
関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の物理蒸着法による被覆工具はＴｉ
Ｎを中心として各種の切削工具に応用されていた。物理
蒸着法ではイオンプレ−ティングやスパッタイオンプレ
−ティングが用いられ、低温（〜６００℃）での被覆が
可能なため熱処理を必要とする高速度工具鋼やダイス鋼
にも用いられ、最終加工が不要なため超硬合金やセラミ
ックスの最終工程でも処理が可能となり切削工具への応
用が急速に広まった。ＴｉＮは金色をした比較的靭性に
富む被覆膜であるがＴｉ系ではこの他にＴｉＣならびに
ＴｉＣＮ膜が物理蒸着法による代表的な被覆膜として知
られている。
Ｎを中心として各種の切削工具に応用されていた。物理
蒸着法ではイオンプレ−ティングやスパッタイオンプレ
−ティングが用いられ、低温（〜６００℃）での被覆が
可能なため熱処理を必要とする高速度工具鋼やダイス鋼
にも用いられ、最終加工が不要なため超硬合金やセラミ
ックスの最終工程でも処理が可能となり切削工具への応
用が急速に広まった。ＴｉＮは金色をした比較的靭性に
富む被覆膜であるがＴｉ系ではこの他にＴｉＣならびに
ＴｉＣＮ膜が物理蒸着法による代表的な被覆膜として知
られている。
【０００３】ＴｉＣＮは非常に硬度が高いことが知ら
れ、耐摩耗性が高いことが知られているが炭素成分と窒
素成分の比率により特性が変化し、代表的な、原子比率
で炭素５０％窒素５０％近傍のＴｉＣＮを被覆した工
具、特にフライス工具などでは刃先に欠損を生じるため
使用されない場合が多かった。このため例えば特開平４
−２３６７６３号公報では、超硬合金基体の表面にＴｉ
Ｎ層部分及びこのＴｉＮ層部分の上にＣ及びＮの傾斜濃
度分布を有しＴｉＣに至るＴｉＣＮ又はＴｉＣ層部分、
即ち傾斜濃度層部分、からなる単一硬質層を被覆した工
具が開示され、同様に特開平４−２３６７６５号、特開
平４−２３６７７２号、特開平４−２４０００５号各公
報でも類似の傾斜濃度層部分を持ち、かつ平均組成が原
子比率で炭素５０％窒素５０％近傍の特殊膜ならびにそ
の製造法が開示されている。
れ、耐摩耗性が高いことが知られているが炭素成分と窒
素成分の比率により特性が変化し、代表的な、原子比率
で炭素５０％窒素５０％近傍のＴｉＣＮを被覆した工
具、特にフライス工具などでは刃先に欠損を生じるため
使用されない場合が多かった。このため例えば特開平４
−２３６７６３号公報では、超硬合金基体の表面にＴｉ
Ｎ層部分及びこのＴｉＮ層部分の上にＣ及びＮの傾斜濃
度分布を有しＴｉＣに至るＴｉＣＮ又はＴｉＣ層部分、
即ち傾斜濃度層部分、からなる単一硬質層を被覆した工
具が開示され、同様に特開平４−２３６７６５号、特開
平４−２３６７７２号、特開平４−２４０００５号各公
報でも類似の傾斜濃度層部分を持ち、かつ平均組成が原
子比率で炭素５０％窒素５０％近傍の特殊膜ならびにそ
の製造法が開示されている。
【０００４】又、特開平６−１７２３０号公報では超硬
合金基体の表面にＴｉＮ層部分、このＴｉＮ層部分の上
にＴｉＣＮ傾斜濃度層部分、及びこのＴｉＣＮ傾斜濃度
層部分の上にＴｉＣ層部分、からなる複合被覆層を有す
る工具が開示され、同様に特開平６−１７２２７号、特
開平６−１７２２８号公報には同様の主旨でＴｉＮから
ＴｉＣに変化する類似の傾斜濃度層部分を用いる複合被
覆工具の製法が示されている。これらの発明は同様な目
的で実施されているがＴｉＣＮの利点を最大限利用しよ
うとするものではなく、耐欠損性についてＴｉＮから炭
素成分を増加させＴｉＣにまで類似の傾斜濃度層部分を
用いることにより、結果的に欠損性が改善できたとする
ものである。かかる従来のＴｉＣＮ傾斜濃度層部分又は
類似の傾斜濃度層部分については、ＴｉＣＮの結晶粒が
粗大であるため靭性が不足し、膜が剥離するためその部
分より欠損するおそれがあった。特開平６−１７２３０
号公報のもの及び特開平４−２３６７６５号公報のもの
と、本発明品との比較を実施例２及び表２に示す。
合金基体の表面にＴｉＮ層部分、このＴｉＮ層部分の上
にＴｉＣＮ傾斜濃度層部分、及びこのＴｉＣＮ傾斜濃度
層部分の上にＴｉＣ層部分、からなる複合被覆層を有す
る工具が開示され、同様に特開平６−１７２２７号、特
開平６−１７２２８号公報には同様の主旨でＴｉＮから
ＴｉＣに変化する類似の傾斜濃度層部分を用いる複合被
覆工具の製法が示されている。これらの発明は同様な目
的で実施されているがＴｉＣＮの利点を最大限利用しよ
うとするものではなく、耐欠損性についてＴｉＮから炭
素成分を増加させＴｉＣにまで類似の傾斜濃度層部分を
用いることにより、結果的に欠損性が改善できたとする
ものである。かかる従来のＴｉＣＮ傾斜濃度層部分又は
類似の傾斜濃度層部分については、ＴｉＣＮの結晶粒が
粗大であるため靭性が不足し、膜が剥離するためその部
分より欠損するおそれがあった。特開平６−１７２３０
号公報のもの及び特開平４−２３６７６５号公報のもの
と、本発明品との比較を実施例２及び表２に示す。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】耐欠損性は工具を実際
の加工に使用した場合に用いる言葉であるが、切削時の
工具の摩耗についても硬さの高い被削材を切削加工する
場合の摩耗では微細な粒界からの欠落あるいは欠損とい
う現象によることも多い。そこでこのような摩耗を発生
させるような硬い被削材を切削するためには硬度の高い
工具材料が用いられ、被覆するコ−ティングにも硬さの
高い被覆材が用いられる。硬さの高い材料そのものは欠
落あるいは欠損という現象を引き起こしやすかった。本
発明の課題は、硬い被削材を切削する硬度の高い工具材
料である高速度工具鋼、超硬合金、サ−メット又はセラ
ミックのいずれかを母材の材質とする工具に、母材との
密着性を高めかつ膜応力の上昇を極力押さえ、欠落ある
いは欠損という現象を引き起さない、母材を保護する被
覆膜の機能の内、高い靭性を有しながら耐摩耗性を高く
する様な積層コーティングを施した被覆膜を有する積層
被覆工具を提供することにある。
の加工に使用した場合に用いる言葉であるが、切削時の
工具の摩耗についても硬さの高い被削材を切削加工する
場合の摩耗では微細な粒界からの欠落あるいは欠損とい
う現象によることも多い。そこでこのような摩耗を発生
させるような硬い被削材を切削するためには硬度の高い
工具材料が用いられ、被覆するコ−ティングにも硬さの
高い被覆材が用いられる。硬さの高い材料そのものは欠
落あるいは欠損という現象を引き起こしやすかった。本
発明の課題は、硬い被削材を切削する硬度の高い工具材
料である高速度工具鋼、超硬合金、サ−メット又はセラ
ミックのいずれかを母材の材質とする工具に、母材との
密着性を高めかつ膜応力の上昇を極力押さえ、欠落ある
いは欠損という現象を引き起さない、母材を保護する被
覆膜の機能の内、高い靭性を有しながら耐摩耗性を高く
する様な積層コーティングを施した被覆膜を有する積層
被覆工具を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】このため本発明は、高速
度工具鋼、超硬合金、サ−メット又はセラミックのいず
れかを母材の材質とする工具において次の（ａ）乃至
（ｃ）の条件を満足させた （ａ）被覆膜の成分がＴｉ、Ｃ、Ｎ又はＴｉ、Ｃ、Ｎ、
Ｏよりなる。 （ｂ）膜の成膜構成が３層構造からなり、前記被覆膜の
全体の膜厚が ２．０μｍ〜５．０μｍであり、原子比
炭素比率＝Ｃ／（Ｎ＋Ｃ）＝ｔとして、膜厚が０．２μ
ｍ〜１．０μｍの、ＴｉＮ又はＴｉＣＮ（０≦ｔ＜０．
２）の均一組織を前記母材に接する最下層とし、膜厚が
０．５μｍ〜２．５μｍの、ＴｉＣＮ（０．３≦ｔ≦
０．７）層の均一組織を最上層とし、膜厚が１．０μｍ
〜３．０μｍの、ＴｉＣＮでかつ原子比炭素比率＝Ｃ／
（Ｎ＋Ｃ）＝ｔが０＜ｔ≦０．７を満たす範囲で前記最
下層から最上層に向けて連続又は断続して増加する傾斜
組成層を中間層とする。 （ｃ）その被覆工具もしくはそれと同時処理した同母材
種のテストピ−スが工具部材の機能要部と同等の被覆が
施されている部分の特性が（ｉ）母材は６０ＨＲＣ以上
の硬度を有し、５０ｇのマイクロヴィッカ−ス硬度計で
１９００以上、４０００ＨＶ以下、Ｒａ５μｍ以下の面
粗さとなる。（ii）前記被覆膜に通常のＣスケ−ルロッ
クウェル硬度計を用いて押圧した場合に生ずる圧痕を１
００倍の倍率で観察した結果、圧痕の外側周囲１ｍｍ以
上の範囲で膜の剥離が認められない。 ことを特徴とする積層被覆工具を提供することによって
上述した従来技術の課題を解決した。
度工具鋼、超硬合金、サ−メット又はセラミックのいず
れかを母材の材質とする工具において次の（ａ）乃至
（ｃ）の条件を満足させた （ａ）被覆膜の成分がＴｉ、Ｃ、Ｎ又はＴｉ、Ｃ、Ｎ、
Ｏよりなる。 （ｂ）膜の成膜構成が３層構造からなり、前記被覆膜の
全体の膜厚が ２．０μｍ〜５．０μｍであり、原子比
炭素比率＝Ｃ／（Ｎ＋Ｃ）＝ｔとして、膜厚が０．２μ
ｍ〜１．０μｍの、ＴｉＮ又はＴｉＣＮ（０≦ｔ＜０．
２）の均一組織を前記母材に接する最下層とし、膜厚が
０．５μｍ〜２．５μｍの、ＴｉＣＮ（０．３≦ｔ≦
０．７）層の均一組織を最上層とし、膜厚が１．０μｍ
〜３．０μｍの、ＴｉＣＮでかつ原子比炭素比率＝Ｃ／
（Ｎ＋Ｃ）＝ｔが０＜ｔ≦０．７を満たす範囲で前記最
下層から最上層に向けて連続又は断続して増加する傾斜
組成層を中間層とする。 （ｃ）その被覆工具もしくはそれと同時処理した同母材
種のテストピ−スが工具部材の機能要部と同等の被覆が
施されている部分の特性が（ｉ）母材は６０ＨＲＣ以上
の硬度を有し、５０ｇのマイクロヴィッカ−ス硬度計で
１９００以上、４０００ＨＶ以下、Ｒａ５μｍ以下の面
粗さとなる。（ii）前記被覆膜に通常のＣスケ−ルロッ
クウェル硬度計を用いて押圧した場合に生ずる圧痕を１
００倍の倍率で観察した結果、圧痕の外側周囲１ｍｍ以
上の範囲で膜の剥離が認められない。 ことを特徴とする積層被覆工具を提供することによって
上述した従来技術の課題を解決した。
【０００７】ＴｉＮ又はＴｉＣＮの原子比炭素比率＝ｔ
を、最下層で０≦ｔ＜０．２としたのは硬質の母材との
密着性を高めかつ膜応力の上昇を極力押さえるためこの
範囲が望ましいからであり、中間層で０＜ｔ≦０．７を
満たす範囲としたのは中間層のクッションの役割上比較
的靭性を損なうことなくＴｉＣＮを工具に被覆できるた
めこの範囲が望ましいからであり、最上層で０．３≦ｔ
≦０．７としたのはチッピングを防止しかつ耐摩耗性を
保つ上でこの範囲が望ましくｔが０．３以下でも０．７
以上でもチッピングを防止しかつ耐摩耗性を保つことが
できないからである。
を、最下層で０≦ｔ＜０．２としたのは硬質の母材との
密着性を高めかつ膜応力の上昇を極力押さえるためこの
範囲が望ましいからであり、中間層で０＜ｔ≦０．７を
満たす範囲としたのは中間層のクッションの役割上比較
的靭性を損なうことなくＴｉＣＮを工具に被覆できるた
めこの範囲が望ましいからであり、最上層で０．３≦ｔ
≦０．７としたのはチッピングを防止しかつ耐摩耗性を
保つ上でこの範囲が望ましくｔが０．３以下でも０．７
以上でもチッピングを防止しかつ耐摩耗性を保つことが
できないからである。
【０００８】通常イオンプレ−ティングでドリルやエン
ドミルを被覆する場合には蒸発源に対し、公転ないし自
公転を行う。このため、時間をかけた傾斜組成は断続に
せよ蒸発源に向いていない部分で膜がボンバ−ドされる
ため断続性が得られないのも一因であり、いずれの方法
であっても請求項１記載の本発明の膜では同等の結果が
得られた。ほぼ原子比率で炭素成分と窒素成分が等しく
なるようなＴｉＣＮは靭性が小さく、高硬度であるため
通常の被覆する場合と異なり膜厚を抑える必要がある。
そこで本発明の好ましい実施態様では、チッピングを防
止しかつ耐摩耗性を保つ上で膜厚の望ましい範囲とし
て、被覆膜の全体の膜厚を２．０μｍ〜５．０μｍ、最
下層の膜厚を０．２μｍ〜１．０μｍ、中間層の膜厚を
１．０μｍ〜３．０μｍ、そして最上層の膜厚を０．５
μｍ〜２．５μｍ、と限定した。これら以下又はこれら
以上の値ではチッピングを防止しかつ耐摩耗性を保つ効
果は薄くなる。
ドミルを被覆する場合には蒸発源に対し、公転ないし自
公転を行う。このため、時間をかけた傾斜組成は断続に
せよ蒸発源に向いていない部分で膜がボンバ−ドされる
ため断続性が得られないのも一因であり、いずれの方法
であっても請求項１記載の本発明の膜では同等の結果が
得られた。ほぼ原子比率で炭素成分と窒素成分が等しく
なるようなＴｉＣＮは靭性が小さく、高硬度であるため
通常の被覆する場合と異なり膜厚を抑える必要がある。
そこで本発明の好ましい実施態様では、チッピングを防
止しかつ耐摩耗性を保つ上で膜厚の望ましい範囲とし
て、被覆膜の全体の膜厚を２．０μｍ〜５．０μｍ、最
下層の膜厚を０．２μｍ〜１．０μｍ、中間層の膜厚を
１．０μｍ〜３．０μｍ、そして最上層の膜厚を０．５
μｍ〜２．５μｍ、と限定した。これら以下又はこれら
以上の値ではチッピングを防止しかつ耐摩耗性を保つ効
果は薄くなる。
【０００９】本発明は基本的にはＴｉＣＮ膜を母材を保
護する被覆膜の最上層に配置することを特徴とし、Ｔｉ
ＣＮの効果を最大限利用しようとする点で上述した特開
平４−２３６７６３号公報等の従来のＴｉＣＮ傾斜濃度
層部分又は類似のＴｉＣＮ傾斜濃度組成を有する被覆膜
と異なる。即ち、ＴｉＣＮはイオンプレ−ティング等で
成膜される場合には微細となり、膜応力が大きいことが
知見として得られている（日本機械学会発行『日本機械
学会第７０回通常総会講演会講演論文集』〔1993.3.31
■4.2 八王子〕３３１頁、３３２頁）。又、図２はＴｉ
ＣＮ被覆膜の炭素濃度と 50gのマイクロヴィッカ−ス硬
さとの関係を示すグラフであるが、原子比炭素比率＝Ｃ
／（Ｃ＋Ｎ）＝ｔを増加させると硬化することも知られ
ている。したがってＴｉＣＮの高硬度を工具へ適用する
場合ＴｉＣＮ層を厚くすると膜応力が大きくなり母材と
の応力状態のギャップから膜自体が破壊することが推定
される。
護する被覆膜の最上層に配置することを特徴とし、Ｔｉ
ＣＮの効果を最大限利用しようとする点で上述した特開
平４−２３６７６３号公報等の従来のＴｉＣＮ傾斜濃度
層部分又は類似のＴｉＣＮ傾斜濃度組成を有する被覆膜
と異なる。即ち、ＴｉＣＮはイオンプレ−ティング等で
成膜される場合には微細となり、膜応力が大きいことが
知見として得られている（日本機械学会発行『日本機械
学会第７０回通常総会講演会講演論文集』〔1993.3.31
■4.2 八王子〕３３１頁、３３２頁）。又、図２はＴｉ
ＣＮ被覆膜の炭素濃度と 50gのマイクロヴィッカ−ス硬
さとの関係を示すグラフであるが、原子比炭素比率＝Ｃ
／（Ｃ＋Ｎ）＝ｔを増加させると硬化することも知られ
ている。したがってＴｉＣＮの高硬度を工具へ適用する
場合ＴｉＣＮ層を厚くすると膜応力が大きくなり母材と
の応力状態のギャップから膜自体が破壊することが推定
される。
【００１０】膜応力については多くの文献があるが硬質
被覆膜のような薄い膜の場合Ｘ線による応力計測が用い
られる。しかし、先ず優先方位を持つ組織の計測法が難
しいこと、さらに計算に使用する弾性係数、ポワソン比
などの数値が膜の場合は材料のバルクのものと異なるた
め正確なものは求まっていない。しかし、実際適用した
場合にはエンドミルのコ−ナ−部等でチッピングを生ず
る場合が多いため靭性を高める処置が必要である。そこ
で、本発明では、母材の表面には各種膜を検討し、Ｔｉ
Ｎ又は炭素成分の低いＴｉＣＮ層を配置することにより
密着性を高めかつ膜応力の上昇を極力押さえ、連続又は
断続的に炭素成分の上昇を行うと、比較的靭性を損なう
ことなくＴｉＣＮを工具に被覆できた。
被覆膜のような薄い膜の場合Ｘ線による応力計測が用い
られる。しかし、先ず優先方位を持つ組織の計測法が難
しいこと、さらに計算に使用する弾性係数、ポワソン比
などの数値が膜の場合は材料のバルクのものと異なるた
め正確なものは求まっていない。しかし、実際適用した
場合にはエンドミルのコ−ナ−部等でチッピングを生ず
る場合が多いため靭性を高める処置が必要である。そこ
で、本発明では、母材の表面には各種膜を検討し、Ｔｉ
Ｎ又は炭素成分の低いＴｉＣＮ層を配置することにより
密着性を高めかつ膜応力の上昇を極力押さえ、連続又は
断続的に炭素成分の上昇を行うと、比較的靭性を損なう
ことなくＴｉＣＮを工具に被覆できた。
【００１１】日本工業出版社が1993年10月発行した『新
素材』Vol.4 No.10 37頁乃至41頁に記載するように経験
的であるが工具に被覆する膜については請求項１（ｃ）
に示すロックウエルの圧痕法による剥離判定がひとつの
目安となる。本発明の場合と他の場合の比較を、膜厚を
同じにして図３に示す。通常イオンプレ−ティングの場
合、積層膜を成膜する場合には窒素成分を減少させ、炭
素成分を順次上昇させるのが一般的でこれは比較的短時
間に実施させる。このため本発明では、傾斜部の膜厚を
請求項１（ｂ）となるように限定し、かつ原子比炭素比
率を中間層で０＜ｔ≦０．７を満たす範囲とし上限でＴ
ｉＣＮとしＴｉＣにはならないようにした。これら傾斜
組成はＥＳＣＡ（Electron Spectroscopy for Chemical
Analysis ）により計測できる。よく使用されるオ−ジ
ェ分光分析ではＴｉと窒素の分離が難しく、窒素の２次
ピ−クから分離する手法を用いるためＥＳＣＡの方が簡
便である。しかし、両者とも膜の断面（深さ方向）を計
測する場合にはイオン照射により膜を順次スパッタす
る。このため計測面が曲面となり断続であっても連続的
な成分変動となる。
素材』Vol.4 No.10 37頁乃至41頁に記載するように経験
的であるが工具に被覆する膜については請求項１（ｃ）
に示すロックウエルの圧痕法による剥離判定がひとつの
目安となる。本発明の場合と他の場合の比較を、膜厚を
同じにして図３に示す。通常イオンプレ−ティングの場
合、積層膜を成膜する場合には窒素成分を減少させ、炭
素成分を順次上昇させるのが一般的でこれは比較的短時
間に実施させる。このため本発明では、傾斜部の膜厚を
請求項１（ｂ）となるように限定し、かつ原子比炭素比
率を中間層で０＜ｔ≦０．７を満たす範囲とし上限でＴ
ｉＣＮとしＴｉＣにはならないようにした。これら傾斜
組成はＥＳＣＡ（Electron Spectroscopy for Chemical
Analysis ）により計測できる。よく使用されるオ−ジ
ェ分光分析ではＴｉと窒素の分離が難しく、窒素の２次
ピ−クから分離する手法を用いるためＥＳＣＡの方が簡
便である。しかし、両者とも膜の断面（深さ方向）を計
測する場合にはイオン照射により膜を順次スパッタす
る。このため計測面が曲面となり断続であっても連続的
な成分変動となる。
【００１２】本発明の作用は図２に示す高硬度のＴｉＣ
Ｎ膜を工具上に成膜することにより、高硬度材料や高速
状態での切削を可能にする点にある。このことは同様な
特性を持つ多元系となる（Ｔｉ、Ｍ）Ｎ又は（Ｔｉ、
Ｍ）ＣＮでも同様に作用する。本発明の好ましい実施態
様では、請求項１の金属成分Ｔｉに代わり、Ｔｉ以外の
金属元素Ｍを含むか、又はＴｉ＋Ｔｉ以外の金属元素Ｍ
を含む積層被覆工具であって、ＭはＴｉを除く元素周期
律表のIVa,Va,VIaの金属元素、硼素、ＳｉならびにＡｌ
の内一種または二種以上の金属元素、であり傾斜組成を
含む、積層被覆工具；又はＴｉＣＮ膜と同様に酸素を含
むＴｉＣＮＯ膜であっても；最上層の膜応力を保つた
め、最上層の膜厚を抑えることで通常のその他の被覆方
法に比べ、より耐摩耗性の高い積層被覆工具を提供する
ものとなった。
Ｎ膜を工具上に成膜することにより、高硬度材料や高速
状態での切削を可能にする点にある。このことは同様な
特性を持つ多元系となる（Ｔｉ、Ｍ）Ｎ又は（Ｔｉ、
Ｍ）ＣＮでも同様に作用する。本発明の好ましい実施態
様では、請求項１の金属成分Ｔｉに代わり、Ｔｉ以外の
金属元素Ｍを含むか、又はＴｉ＋Ｔｉ以外の金属元素Ｍ
を含む積層被覆工具であって、ＭはＴｉを除く元素周期
律表のIVa,Va,VIaの金属元素、硼素、ＳｉならびにＡｌ
の内一種または二種以上の金属元素、であり傾斜組成を
含む、積層被覆工具；又はＴｉＣＮ膜と同様に酸素を含
むＴｉＣＮＯ膜であっても；最上層の膜応力を保つた
め、最上層の膜厚を抑えることで通常のその他の被覆方
法に比べ、より耐摩耗性の高い積層被覆工具を提供する
ものとなった。
【００１３】
【実施例】以下添付した図１乃至図９に基づきこの発明
を詳細に説明する。図１は本発明の積層被覆工具の構成
を示す説明図である。本発明の積層被覆工具は、高速度
工具鋼、超硬合金、サ−メット又はセラミックのいずれ
かを母材の材質とする工具において、（ａ）被覆膜の成
分がＴｉ、Ｃ、Ｎ又はＴｉ、Ｃ、Ｎ、Ｏよりなり、 （ｂ）膜の成膜構成が３層構造からなり、前記被覆膜の
全体の膜厚が ２．０μｍ〜５．０μｍであり、原子比
炭素比率＝Ｃ／（Ｎ＋Ｃ）＝ｔとして、膜厚が０．２μ
ｍ〜１．０μｍの、ＴｉＮ又はＴｉＣＮ（０≦ｔ＜０．
２）の均一組織を前記母材に接する最下層とし、膜厚が
０．５μｍ〜２．５μｍの、ＴｉＣＮ（０．３≦ｔ≦
０．７）層の均一組織を最上層とし、膜厚が１．０μｍ
〜３．０μｍの、ＴｉＣＮでかつ原子比炭素比率＝Ｃ／
（Ｎ＋Ｃ）＝ｔが０＜ｔ≦０．７を満たす範囲で前記最
下層から最上層に向けて連続又は断続して増加する傾斜
組成層を中間層とし、さらに、 （ｃ）その被覆工具もしくはそれと同時処理した同母材
種のテストピ−スが工具部材の機能要部と同等の被覆が
施されている部分の特性が（ｉ）母材は６０ＨＲＣ以上
の硬度を有し、５０ｇのマイクロヴィッカ−ス硬度計で
１９００以上、４０００ＨＶ以下、Ｒａ５μｍ以下の面
粗さとなり、かつ（ii）前記被覆膜に通常のＣスケ−ル
ロックウェル硬度計を用いて押圧した場合に生ずる圧痕
を１００倍の倍率で観察した結果、圧痕の外側周囲１ｍ
ｍ以上の範囲で膜の剥離が認められないことを特徴とす
る。
を詳細に説明する。図１は本発明の積層被覆工具の構成
を示す説明図である。本発明の積層被覆工具は、高速度
工具鋼、超硬合金、サ−メット又はセラミックのいずれ
かを母材の材質とする工具において、（ａ）被覆膜の成
分がＴｉ、Ｃ、Ｎ又はＴｉ、Ｃ、Ｎ、Ｏよりなり、 （ｂ）膜の成膜構成が３層構造からなり、前記被覆膜の
全体の膜厚が ２．０μｍ〜５．０μｍであり、原子比
炭素比率＝Ｃ／（Ｎ＋Ｃ）＝ｔとして、膜厚が０．２μ
ｍ〜１．０μｍの、ＴｉＮ又はＴｉＣＮ（０≦ｔ＜０．
２）の均一組織を前記母材に接する最下層とし、膜厚が
０．５μｍ〜２．５μｍの、ＴｉＣＮ（０．３≦ｔ≦
０．７）層の均一組織を最上層とし、膜厚が１．０μｍ
〜３．０μｍの、ＴｉＣＮでかつ原子比炭素比率＝Ｃ／
（Ｎ＋Ｃ）＝ｔが０＜ｔ≦０．７を満たす範囲で前記最
下層から最上層に向けて連続又は断続して増加する傾斜
組成層を中間層とし、さらに、 （ｃ）その被覆工具もしくはそれと同時処理した同母材
種のテストピ−スが工具部材の機能要部と同等の被覆が
施されている部分の特性が（ｉ）母材は６０ＨＲＣ以上
の硬度を有し、５０ｇのマイクロヴィッカ−ス硬度計で
１９００以上、４０００ＨＶ以下、Ｒａ５μｍ以下の面
粗さとなり、かつ（ii）前記被覆膜に通常のＣスケ−ル
ロックウェル硬度計を用いて押圧した場合に生ずる圧痕
を１００倍の倍率で観察した結果、圧痕の外側周囲１ｍ
ｍ以上の範囲で膜の剥離が認められないことを特徴とす
る。
【００１４】〔実施例１〕本発明の実施例１として超硬
合金を母材とするエンドミルを、イオンプレ−ティング
により図１に示す膜構成に成膜した。実施例１では、イ
オンプレ−ティング装置を 10-2Pa 以上に排気し、処理
物を４００℃〜５５０℃まで加熱し、その後、イオンボ
ンバ−ドなどにより表面のクリ−ニングを行った上コ−
ティングを行った。コ−ティングはＴｉの蒸発源に対
し、窒素及びアセチレンを導入して行い、その際、窒素
を導入してＴｉＮを形成し、その後窒素を減少させなが
らアセチレンを増加させる。上記の本発明品のＴｉＣＮ
被覆膜の処理では、図６に示すように反応ガス流量の導
入及び減少量操作を行い、図６の下端に示す被膜構成を
得た。各種類似した膜質のものと本発明品を切削試験に
より比較した結果、表１に示すように本発明品は他の従
来品又は試作品に較べ著しい摩耗の低下が確認された。
図５は、表１の1.のＴｉＮ＋ＴｉＣＮ積層膜被覆品と
．の本発明品とのコーナー摩耗量比較表を示すが、本
発明品ではコ−ナ−摩耗の顕著な減少を確認できた。こ
れらでみて判るように本発明品では、母材との密着性を
高めかつ膜応力の上昇を極力押さえ、欠落あるいは欠損
という現象を引き起さない、高い靭性を有しながら耐摩
耗性を高くする様な積層コーティングを施した積層被覆
工具となった。図４に本発明の代表例ＴｉＣＮ積層被覆
工具のＥＳＣＡ分析を示す。
合金を母材とするエンドミルを、イオンプレ−ティング
により図１に示す膜構成に成膜した。実施例１では、イ
オンプレ−ティング装置を 10-2Pa 以上に排気し、処理
物を４００℃〜５５０℃まで加熱し、その後、イオンボ
ンバ−ドなどにより表面のクリ−ニングを行った上コ−
ティングを行った。コ−ティングはＴｉの蒸発源に対
し、窒素及びアセチレンを導入して行い、その際、窒素
を導入してＴｉＮを形成し、その後窒素を減少させなが
らアセチレンを増加させる。上記の本発明品のＴｉＣＮ
被覆膜の処理では、図６に示すように反応ガス流量の導
入及び減少量操作を行い、図６の下端に示す被膜構成を
得た。各種類似した膜質のものと本発明品を切削試験に
より比較した結果、表１に示すように本発明品は他の従
来品又は試作品に較べ著しい摩耗の低下が確認された。
図５は、表１の1.のＴｉＮ＋ＴｉＣＮ積層膜被覆品と
．の本発明品とのコーナー摩耗量比較表を示すが、本
発明品ではコ−ナ−摩耗の顕著な減少を確認できた。こ
れらでみて判るように本発明品では、母材との密着性を
高めかつ膜応力の上昇を極力押さえ、欠落あるいは欠損
という現象を引き起さない、高い靭性を有しながら耐摩
耗性を高くする様な積層コーティングを施した積層被覆
工具となった。図４に本発明の代表例ＴｉＣＮ積層被覆
工具のＥＳＣＡ分析を示す。
【００１５】
【表１】
【００１６】〔実施例２〕本発明の実施例２として高速
度工具鋼を母材とするエンドミルを、実施例１に示した
条件によりイオンプレ−ティングし、特開平６−１７２
３０号又は特開平４−２３６７６５号公報のものを含む
他の従来品又は試作品である最上層にＴｉＣを被覆した
ものと、本発明品とを切削試験した結果を表２に示す。
本発明品では高速度工具鋼を母材とする本発明品のエン
ドミルでは、特にコ−ナ−摩耗の著しい改善が顕著に示
された。 〔実施例３〕本発明の実施例３としてサーメットを母材
とするエンドミルを、実施例１に示した条件によるイオ
ンプレ−ティングにより最上層にＴｉＣを被覆した他の
従来品又は試作品の場合と、本発明品とを切削試験した
結果を表３に示す。サーメットを母材とするエンドミル
も高速度工具鋼又は超硬合金を母材とするエンドミルの
場合と同様な良い結果が得られた。
度工具鋼を母材とするエンドミルを、実施例１に示した
条件によりイオンプレ−ティングし、特開平６−１７２
３０号又は特開平４−２３６７６５号公報のものを含む
他の従来品又は試作品である最上層にＴｉＣを被覆した
ものと、本発明品とを切削試験した結果を表２に示す。
本発明品では高速度工具鋼を母材とする本発明品のエン
ドミルでは、特にコ−ナ−摩耗の著しい改善が顕著に示
された。 〔実施例３〕本発明の実施例３としてサーメットを母材
とするエンドミルを、実施例１に示した条件によるイオ
ンプレ−ティングにより最上層にＴｉＣを被覆した他の
従来品又は試作品の場合と、本発明品とを切削試験した
結果を表３に示す。サーメットを母材とするエンドミル
も高速度工具鋼又は超硬合金を母材とするエンドミルの
場合と同様な良い結果が得られた。
【００１７】
【表２】
【表３】
【００１８】〔実施例４〕図７はＨＣＤイオンプレ−テ
ィングを用い高速度工具鋼Ｓ４５Ｃ(HB(Brinell Hardne
ss) 250)の歯切工具であるホブに、本発明の積層被覆
と、他の従来品又は試作品である、ＴｉＮ被覆と、Ｔｉ
ＣＮ単層被覆と、をそれぞれ施した各製品の切削試験し
た結果を示す。ＴｉＮと、ＴｉＣＮとを被覆した膜が比
較的早期に摩耗が増加するのに対し、本発明品は１．５
〜２倍の耐摩耗性の改善がみられる。ア−クイオンプレ
−ティングも通常のイオンプレ−ティングと同様の工程
で成膜を行う。 〔実施例５〕図８は超硬合金エンドミルにア−クイオン
プレ−ティングにより、他の従来品又は試作品であるＴ
ｉＡｌＣＮ単層膜被覆と、本発明のＴｉＡｌＣＮ積層被
覆と、をそれぞれ施し、Ａｌ−Ｓｉ合金（１２原子比率
％Ｓｉ）を切削した試験結果を示す。本発明品はＴｉＡ
ｌＣＮ単層に比較して十分な性能を発揮することが判っ
た。 〔実施例６〕図９は超硬合金ボールエンドミルにスパッ
タイオンプレ−ティングにより他の従来品又は試作品で
あるＴｉＮｂＷＣＮ単層膜被覆品と、本発明のＴｉＮｂ
ＷＣＮ積層被覆と、をそれぞれ施した各製品の切削試験
した結果を示す。本発明品は他に比べ十分な切削性能が
得られた。
ィングを用い高速度工具鋼Ｓ４５Ｃ(HB(Brinell Hardne
ss) 250)の歯切工具であるホブに、本発明の積層被覆
と、他の従来品又は試作品である、ＴｉＮ被覆と、Ｔｉ
ＣＮ単層被覆と、をそれぞれ施した各製品の切削試験し
た結果を示す。ＴｉＮと、ＴｉＣＮとを被覆した膜が比
較的早期に摩耗が増加するのに対し、本発明品は１．５
〜２倍の耐摩耗性の改善がみられる。ア−クイオンプレ
−ティングも通常のイオンプレ−ティングと同様の工程
で成膜を行う。 〔実施例５〕図８は超硬合金エンドミルにア−クイオン
プレ−ティングにより、他の従来品又は試作品であるＴ
ｉＡｌＣＮ単層膜被覆と、本発明のＴｉＡｌＣＮ積層被
覆と、をそれぞれ施し、Ａｌ−Ｓｉ合金（１２原子比率
％Ｓｉ）を切削した試験結果を示す。本発明品はＴｉＡ
ｌＣＮ単層に比較して十分な性能を発揮することが判っ
た。 〔実施例６〕図９は超硬合金ボールエンドミルにスパッ
タイオンプレ−ティングにより他の従来品又は試作品で
あるＴｉＮｂＷＣＮ単層膜被覆品と、本発明のＴｉＮｂ
ＷＣＮ積層被覆と、をそれぞれ施した各製品の切削試験
した結果を示す。本発明品は他に比べ十分な切削性能が
得られた。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、基本的に
はＴｉＣＮ膜を母材を保護する被覆膜の最上層に配置す
ることを特徴とし、ＴｉＣＮの効果を最大限利用したの
で、硬い被削材を切削する硬度の高い工具材料である高
速度工具鋼、超硬合金、サ−メット又はセラミックのい
ずれかを母材の材質とする工具に、母材との密着性を高
めかつ膜応力の上昇を極力押さえ、欠落あるいは欠損と
いう現象を引き起さない、母材を保護する被覆膜の機能
の内、高い靭性を有しながら耐摩耗性を高くする様な積
層コーティングを施した被覆膜を有する積層被覆工具を
提供するものとなった。
はＴｉＣＮ膜を母材を保護する被覆膜の最上層に配置す
ることを特徴とし、ＴｉＣＮの効果を最大限利用したの
で、硬い被削材を切削する硬度の高い工具材料である高
速度工具鋼、超硬合金、サ−メット又はセラミックのい
ずれかを母材の材質とする工具に、母材との密着性を高
めかつ膜応力の上昇を極力押さえ、欠落あるいは欠損と
いう現象を引き起さない、母材を保護する被覆膜の機能
の内、高い靭性を有しながら耐摩耗性を高くする様な積
層コーティングを施した被覆膜を有する積層被覆工具を
提供するものとなった。
【図１】本発明の積層被覆工具の構成を示す説明図。
【図２】ＴｉＣＮ被覆膜の炭素濃度と 50gのマイクロヴ
ィッカ−ス硬さとの関係を示すグラフ。
ィッカ−ス硬さとの関係を示すグラフ。
【図３】工具に被覆する膜についてのロックウエルの圧
痕法による剥離判定結果を示す説明図。
痕法による剥離判定結果を示す説明図。
【図４】本発明の代表例ＴｉＣＮ積層被覆工具のＥＳＣ
Ａ分析を示す説明図。
Ａ分析を示す説明図。
【図５】表１の1.の他の従来品又は試作品であるＴｉＮ
＋ＴｉＣＮ積層膜被覆品と．の本発明品とのコーナー
摩耗量比較表を示すグラフ。
＋ＴｉＣＮ積層膜被覆品と．の本発明品とのコーナー
摩耗量比較表を示すグラフ。
【図６】本発明品のＴｉＣＮ被覆膜の処理で行った反応
ガス流量の導入及び減少量操作と得られた被膜構成とを
示す説明図。
ガス流量の導入及び減少量操作と得られた被膜構成とを
示す説明図。
【図７】ＨＣＤイオンプレ−ティングを用い高速度工具
鋼Ｓ４５Ｃ(HB250) の歯切工具であるホブに、本発明の
積層被覆と、他の従来品又は試作品であるＴｉＮ被覆及
びＴｉＣＮ単層被覆と、をそれぞれ施した各製品の切削
試験した結果を示すグラフ。
鋼Ｓ４５Ｃ(HB250) の歯切工具であるホブに、本発明の
積層被覆と、他の従来品又は試作品であるＴｉＮ被覆及
びＴｉＣＮ単層被覆と、をそれぞれ施した各製品の切削
試験した結果を示すグラフ。
【図８】超硬合金エンドミルにア−クイオンプレ−ティ
ングにより、他の従来品又は試作品であるＴｉＡｌＣＮ
単層膜被覆と、本発明のＴｉＡｌＣＮ積層被覆と、をそ
れぞれ施し、Ａｌ−Ｓｉ合金（１２原子比率％Ｓｉ）を
切削した試験結果を示すグラフ。
ングにより、他の従来品又は試作品であるＴｉＡｌＣＮ
単層膜被覆と、本発明のＴｉＡｌＣＮ積層被覆と、をそ
れぞれ施し、Ａｌ−Ｓｉ合金（１２原子比率％Ｓｉ）を
切削した試験結果を示すグラフ。
【図９】超硬合金ボールエンドミルにスパッタイオンプ
レ−ティングにより他の従来品又は試作品であるＴｉＮ
ｂＷＣＮ単層膜被覆品と、本発明のＴｉＮｂＷＣＮ積層
被覆と、をそれぞれ施した各製品の切削試験した結果を
示すグラフ。
レ−ティングにより他の従来品又は試作品であるＴｉＮ
ｂＷＣＮ単層膜被覆品と、本発明のＴｉＮｂＷＣＮ積層
被覆と、をそれぞれ施した各製品の切削試験した結果を
示すグラフ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 谷口 忍 富山県富山市石金20番地 株式会社不二越 内
Claims (3)
- 【請求項１】 高速度工具鋼、超硬合金、サ−メット又
はセラミックのいずれかを母材の材質とする工具におい
て次の（ａ）乃至（ｃ）の条件を満足させたことを特徴
とする積層被覆工具。 （ａ）被覆膜の成分がＴｉ、Ｃ、Ｎ又はＴｉ、Ｃ、Ｎ、
Ｏよりなる。 （ｂ）膜の成膜構成が３層構造からなり、前記被覆膜の
全体の膜厚が ２．０μｍ〜５．０μｍであり、原子比
炭素比率＝Ｃ／（Ｎ＋Ｃ）＝ｔとして、 膜厚が０．２μｍ〜１．０μｍの、ＴｉＮ又はＴｉＣＮ
（０≦ｔ＜０．２）の均一組織を前記母材に接する最下
層とし、 膜厚が０．５μｍ〜２．５μｍの、ＴｉＣＮ（０．３≦
ｔ≦０．７）層の均一組織を最上層とし、 膜厚が１．０μｍ〜３．０μｍの、ＴｉＣＮでかつ原子
比炭素比率＝Ｃ／（Ｎ＋Ｃ）＝ｔが０＜ｔ≦０．７を満
たす範囲で前記最下層から最上層に向けて連続又は断続
して増加する傾斜組成層を中間層とする。 （ｃ）その被覆工具もしくはそれと同時処理した同母材
種のテストピ−スが工具部材の機能要部と同等の被覆が
施されている部分の特性が（ｉ）母材は６０ＨＲＣ以上
の硬度を有し、５０ｇのマイクロヴィッカ−ス硬度計で
１９００以上、４０００ＨＶ以下、Ｒａ５μｍ以下の面
粗さとなる。（ii）前記被覆膜に通常のＣスケ−ルロッ
クウェル硬度計を用いて押圧した場合に生ずる圧痕を１
００倍の倍率で観察した結果、圧痕の外側周囲１ｍｍ以
上の範囲で膜の剥離が認められない。 - 【請求項２】 請求項１の金属成分Ｔｉに代わり、Ｔｉ
以外の金属元素Ｍを含むか、又はＴｉ＋Ｔｉ以外の金属
元素Ｍを含む積層被覆工具であって、ＭはＴｉを除く元
素周期律表のIVa,Va,VIaの金属元素、硼素、Ｓｉならび
にＡｌの内一種または二種以上の金属元素、であること
を特徴とする請求項１記載の積層被覆工具。 - 【請求項３】 前記被覆膜の最上層の平均組成比率とし
てガス成分比の２０％以下の酸素成分を含むＴｉＣＮＯ
被覆を有することを特徴とする請求項１又は請求項２記
載の積層被覆工具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6164952A JPH081412A (ja) | 1994-06-24 | 1994-06-24 | 積層被覆工具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6164952A JPH081412A (ja) | 1994-06-24 | 1994-06-24 | 積層被覆工具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH081412A true JPH081412A (ja) | 1996-01-09 |
Family
ID=15802987
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6164952A Pending JPH081412A (ja) | 1994-06-24 | 1994-06-24 | 積層被覆工具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH081412A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1160353A1 (en) * | 2000-05-31 | 2001-12-05 | Mitsubishi Materials Corporation | Coated cemented carbide cutting tool member and process for producing the same |
| US6638571B2 (en) | 2000-05-31 | 2003-10-28 | Mitsubishi Materials Corporation | Coated cemented carbide cutting tool member and process for producing the same |
| CN100389918C (zh) * | 2003-07-15 | 2008-05-28 | 复旦大学 | 一种多元复合镀层切削刀具及其制备方法 |
| JP2009078309A (ja) * | 2007-09-25 | 2009-04-16 | Mitsubishi Materials Corp | 表面被覆切削工具 |
| JP2009142972A (ja) * | 2007-12-18 | 2009-07-02 | Mitsubishi Materials Corp | 重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐欠損性を発揮する表面被覆切削工具 |
| JP2009202246A (ja) * | 2008-02-26 | 2009-09-10 | Mitsubishi Materials Corp | 硬質被覆層がすぐれた耐欠損性を発揮する表面被覆切削工具 |
| JP2010012541A (ja) * | 2008-07-02 | 2010-01-21 | Mitsubishi Materials Corp | 硬質被覆層がすぐれた耐欠損性を発揮する表面被覆切削工具 |
| JP2015127093A (ja) * | 2015-02-13 | 2015-07-09 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 表面被覆窒化硼素焼結体工具 |
| WO2018030329A1 (ja) * | 2016-08-09 | 2018-02-15 | 三菱マテリアル株式会社 | 耐溶着チッピング性と耐剥離性にすぐれた表面被覆切削工具 |
-
1994
- 1994-06-24 JP JP6164952A patent/JPH081412A/ja active Pending
Cited By (12)
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| CN109562461A (zh) * | 2016-08-09 | 2019-04-02 | 三菱综合材料株式会社 | 耐熔敷崩刀性及耐剥离性优异的表面包覆切削工具 |
| US11014168B2 (en) | 2016-08-09 | 2021-05-25 | Mitsubishi Materials Corporation | Surface-coated cutting tool with excellent adhesion-induced chipping resistance and peel resistance |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20020820 |