JPH08138630A - 誘電体バリア放電ランプ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 個々のランプおよびランプの軸方向位置によ
る光出力のばらつきの無い誘電体バリア放電ランプ装置
を提供する。 【構成】 少なくとも外形が概略円筒状である光透過性
の放電容器１の外面の少なくとも一部の全周に設けた導
電性網状電極４と、該放電容器の内部に該放電容器と概
略同軸に設けた内部電極５と、該放電容器内に充填され
た放電ガスからなる誘電体バリア放電ランプと、誘電体
バリア放電を行うための少なくとも一個の電源１０を備
えた誘電体バリア放電ランプ装置において、該放電容器
の軸方向に少なくとも一部において該導電性網状電極の
上に、該導電性網状電極に密着して導電性螺旋電極２０
を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば、光化学反応用
の紫外線光源として使用される放電ランプ装置の一種
で、誘電体バリア放電によってエキシマ分子を形成し、
該エキシマ分子から放射される光を利用するいわゆる誘
電体バリア放電ランプ装置の改良に関する。

【０００２】

【従来の技術】本発明に関連した技術としては、例え
ば、日本国公開特許公報平１−１４４５６０号があり、
そこには、放電容器にエキシマ分子を形成する放電用ガ
スを充填し、誘電体バリア放電（別名オゾナイザ放電あ
るいは無声放電。電気学会発行改定新版「放電ハンドブ
ック」平成１年６月再版７刷発行第２６３ページ参照）
によってエキシマ分子を形成せしめ、該エキシマ分子か
ら放射される光を利用するランプ、すなわち誘電体バリ
ア放電ランプ装置について記載されており、該放電容器
は円筒状であり、該放電容器の少なくとも一部は該誘電
体バリア放電の誘電体を兼ねており、該誘電体は光透過
性であり、該誘電体の少なくとも一部に導電性網状電極
が設けられた誘電体バリア放電ランプ装置が記載されて
いる。

【０００３】また、日本国公開特許公報平５−２６６８
６３号には、放電室と電極とが誘電率が１０以上である
液体を介して接続されている中空円筒型の誘電体バリア
放電ランプにおいて、ランプの照射特性を制御するため
に、放電の動作電圧または実効静電容量を局所的に変え
る部材を設けることが記載されている。

【０００４】以下、誘電体バリア放電ランプ装置の概略
図である図４を使用して、一般的な誘電体バリア放電の
概要について説明する。放電容器１は誘電体であるガラ
ス製で、内側管２、外側管３を同軸に配置して中空円筒
状にしたものである。外側管３の外面には光通過性の誘
電体バリア放電用の網状電極４が、内側管２の外面には
アルミニウムの蒸着によって形成した光反射膜を兼ねた
誘電体バリア放電用の電極５がそれぞれ設けられてい
る。前記電極５を機械的、化学的に保護するために、電
極５の上に窒化ほう素からなる保護膜９が設けられてい
る。また放電容器１の一端には、ゲッタ７を収納するゲ
ッタ室６が設けられている。

【０００５】電極４に対面した外側管３の内表面と電極
５に対面した内側管２の内表面の間には放電空間８が形
成される。なお、前記二つの内表面間の距離は、放電容
器１の加工精度によっては、必ずしも放電空間８の到る
ところで均一である訳ではない。従って、放電空間８の
放電ギャップ長も、放電空間８の到るところで均一とは
ならない。そこで中空円筒状である放電容器１の中心軸
と垂直であって、前記中心軸と交差する直線群のうち、
前記放電容器１の両端部からの距離が等しい直線を基準
線とし、前記基準線と中心軸方向に等間隔である複数の
直線を、前記基準線を中心として対称に、基準線を含み
７本以上前記直線群より選択し、選択した複数の直線が
前記二つの内表面と交差する地点での内表面間の距離を
加算平均したものを、放電空間８の平均放電ギャップ長
ｄとする。

【０００６】放電空間８に、誘電体バリア放電によって
エキシマ分子を形成する放電用ガスを充填し、交流電源
１０によって電極４，５に電圧を印加すると、外側管３
および内側管２、すなわち２枚の誘電体を介して放電空
間８に電圧が印加され、放電空間８に誘電体バリア放電
が安定に発生し、エキシマ光が放出される。外側管３お
よび内側管２の厚さがばらつくと、放電空間８に印加さ
れる電圧が管の位置によってばらつき、その結果、光出
力がばらつく。これは、誘電体バリア放電ランプ特有の
現象である。なお、ゲッタ７は放電空間８における不純
ガス（例えばＨ₂ Ｏ等）を除去し、放電を安定にする機
能を持つ。

【０００７】数十トール以上の中気圧または高気圧のア
ーク放電ランプなどで発生する通常のアーク放電におい
ては、放電空間に放電プラズマが一条だけ存在し、電極
面上には一個の小さな電極輝点が生じている。すなわ
ち、電極の面積を大きくしても実質的に電極としての役
割をしている部分は非常に小さい部分であり、放電プラ
ズマは一条だけ存在する。一方、前記放電ハンドブック
に記載されているように、誘電体バリア放電において
は、その放電路に誘電体が挿入されている。この誘電体
は放電プラズマが一条に収斂するのを阻止するので、プ
ラズマの直径が非常に小さく、かつ、放電の持続時間が
非常に短い微小な放電プラズマ（以後これをマイクロプ
ラズマと記す）が放電空間に多数存在することになる。

【０００８】並列に接続した複数個の誘電体バリア放電
ランプ装置を一個の電源で点灯することが出来るのは、
上記した多条のマイクロプラズマが存在するからであ
る。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】上記のような誘電体バ
リア放電ランプ装置は、従来のグロー放電ランプやアー
ク放電ランプには無い種々の特長を有しているため有用
である。特に、放電容器を概略円筒状にし、該放電容器
の内部に該放電容器と概略同軸に内部電極を設けた構造
にすると、市販のガラス管、セラミックス管等を流用す
る事が出来、かつ、構造も簡単になるので製作が容易に
なり、従って安価に誘電体バリア放電ランプ装置を提供
できるという利点が生じる。

【００１０】しかし、従来の誘電体バリア放電ランプ装
置は、以下のような欠点があることがわかった。市販の
ガラス管、セラミックス管等には、個々の管および１本
の管の軸方向位置において肉厚、管径などにばらつきが
あり、これが、個々のランプおよび１本のランプの軸方
向位置における光出力のばらつきを引き起こす。例え
ば、図４において、外側管３の肉厚がゲッタ７側の方の
位置で厚くなっているとすると、ゲッタ7 側において電
気入力が低下し、光出力が低下する。すなわち、ゲッタ
７側から遠い部分では十分な光出力が有るのに対して、
ゲッタ７側に近づくに連れて光出力が低下することにな
る。

【００１１】また、ある特定の一個の電源で１本の誘電
体バリア放電ランプを点灯する場合にも、個々のランプ
における放電容器の肉厚、放電ギャップがばらつくと、
個々のランプにおいて光出力がばらついてしまう。この
現象があると、ランプが寿命になり、新しいランプに取
り替えた場合などに光出力が変動してしまい、大きな不
具合となる。

【００１２】この欠点は、放電容器の管壁を誘電体バリ
ア放電の誘電体として使用している誘電体バリア放電ラ
ンプ装置独特のものである。

【００１３】上記した肉厚、管径などのばらつきによる
光出力のばらつきは、当然ながら該誘電体バリア放電ラ
ンプ装置の該導電性網状電極に対接した該放電容器の面
積が大きくなるに従って増大し、さらに、該管壁負荷の
減少に従って増大する。特に、該面積が１６０平方セン
チメートル以上で、かつ、該管壁負荷が０．５Ｗ／ｃｍ
² 以下の場合には、上記した肉厚、管径などのばらつき
および加工精度による放電ギャップ長のばらつきによる
光出力のばらつきが実用上無視できなくなった。

【００１４】該面積は、並列に接続した複数個の誘電体
バリア放電ランプ装置を一個の電源で点灯するばあいに
は、それぞれの誘電体バリア放電ランプ装置の該面積の
合計であることは自明である。

【００１５】誘電体バリア放電ランプ装置への電気入力
は、電気学会オゾナイザ専門委員会編、コロナ社発行
「オゾナイザーハンドブック」１９６０年発行第１１２
ページに記載されている、印加電圧とランプを流れる電
流の積分値、即ち電荷量（記号Ｑ）のリサジュ図の測定
から求めた。図５に、横軸に印加電圧をとり、縦軸に電
荷量をとったリサジュ図の一例を示す。直線ＡＢと直線
ＣＤが平行、直線ＢＣと直線ＡＤが平行な二等辺四辺形
が得られ、該二等辺四辺形の面積から放電ランプへの電
気入力が算出される。直線ＡＢおよび直線ＣＤが直線か
らややずれて曲線状になることも有ったが、この場合は
これらの曲線を直線で近似した。

【００１６】本発明は、以上のような事情に基づいて成
されたものであって、その課題は、外形が概略円筒状で
ある光透過性の放電容器と、該放電容器の外面の少なく
とも一部の全周に設けた導電性網状電極と、該放電容器
の内部に該放電容器と概略同軸に設けた内部電極と、該
放電容器内に充填された誘電体バリア放電によってエキ
シマ分子を形成する放電用ガスからなる誘電体バリア放
電ランプと、誘電体バリア放電を行うための少なくとも
一個の電源を備えた誘電体バリア放電ランプ装置におい
て、個々のランプおよびランプの軸方向位置による光出
力のばらつきの無い誘電体バリア放電ランプ装置を提供
することである。

【００１７】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の請求項１の発明は、少なくとも外形が概略
円筒状である光透過性の放電容器と、該放電容器の外面
の少なくとも一部の全周に設けた導電性網状電極と、該
放電容器の内部に該放電容器と概略同軸に設けた内部電
極と、該放電容器内に充填された誘電体バリア放電によ
ってエキシマ分子を形成する放電用ガスからなる誘電体
バリア放電ランプと、誘電体バリア放電を行うための少
なくとも一個の電源を備えた誘電体バリア放電ランプ装
置において、該放電容器の軸方向の少なくとも一部にお
いて該導電性網状電極の上に、該導電性網状電極に密着
して導電性螺旋電極を設けたものである。

【００１８】本発明の請求項２の発明は、請求項１の発
明において、該電性網状電極を軸方向に伸縮性を有する
円筒状導電性網で構成したものである。

【００１９】本発明の請求項３の発明は、請求項１の発
明または請求項２の発明において、該導電性螺旋電極の
管軸方向の長さを該導電性網状電極の長さ未満に構成し
たものである。

【００２０】本発明の請求項４の発明は、請求項１の発
明または請求項２の発明において、該導電性螺旋電極の
管軸方向の長さを該導電性網状電極の長さと概略同一に
構成したものである。

【００２１】本発明の請求項５の発明は、請求項１から
請求項４の発明において、該放電用ガスをキセノンを主
成分としたガスとし、１個の電源に接続されている該誘
電体バリア放電ランプの該導電性網状電極に対接した該
放電容器の面積の合計が１６０平方センチメートル以上
であり、該誘電体バリア放電ランプへの電気入力が該導
電性網状電極に対接した該放電容器の平方センチメート
ルで表した面積で除した値が０．５Ｗ以下になるように
規定したものである。

【００２２】本発明の請求項６の発明は、請求項１から
請求項５の発明において、２本以上の該誘電体バリア放
電ランプを並列に配置し、実質的な平面状光源を構成し
たものである。

【００２３】

【作用】本発明の請求項１の発明においては、少なくと
も外形が概略円筒状である光透過性の放電容器と、該放
電容器の外面の少なくとも一部の全周に設けた導電性網
状電極と、該放電容器の内部に該放電容器と概略同軸に
設けた内部電極と、該放電容器内に充填された誘電体バ
リア放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスか
らなる誘電体バリア放電ランプと、誘電体バリア放電を
行うための少なくとも一個の電源を備えた誘電体バリア
放電ランプ装置において、該放電容器の軸方向の少なく
とも一部において該導電性網状電極の上に、該導電性網
状電極に密着して該導電性螺旋電極を設けたことによ
り、該導電性螺旋電極によって該導電性網状電極が放電
容器に押しつけられるので、放電容器の外面と該導電性
網状電極との接触が良好になり、かつ、該導電性螺旋電
極が追加されたので、放電空間と直列に接続されている
実質的な静電容量を変化させることが出来る。その結
果、放電空間への電気入力を調整することが出来、光出
力のばらつきを低減する事が出来る。

【００２４】上記で説明した本発明の請求項１の発明の
機構は、完全に解明されたものではなく、不可解な部分
も多い。例えば、該導電性網状電極の上に導電性螺旋電
極を設けた事による静電容量の変化はかなり小さく、こ
の小さな静電容量の変化だけによって、光出力のばらつ
きを低減を説明するのは困難であると思われる。一つの
原因として、放電空間に於ける微小な電界強度分布の変
化が、マイクロプラズマの発生に関係し、放電空間への
電気入力を変えているものと考えられる。

【００２５】本発明の請求項２の発明においては、該導
電性網状電極を軸方向に伸縮性を有する円筒状導電性網
で構成したので、該導電性網状電極を放電容器に装着し
たのち軸方向に引っ張ることにより、該導電性網状電極
を放電容器にむらなく密着させることが容易になり、放
電空間への電気入力のばらつきが小さくなる。

【００２６】本発明の請求項３の発明においては、該導
電性螺旋電極の管軸方向の長さを該導電性網状電極の長
さ未満に構成したので、該誘電体バリア放電ランプの管
軸に沿って光出力が変化する場合には、光出力の大きい
と部分、或いは、光出力の小さい部分に該導電性螺旋電
極を設けることにより、管軸に沿って光出力が均一化出
来る。なお、該導電性螺旋電極を、光出力の大きいと部
分、或いは、光出力の小さい部分に設けるかは、ランプ
と電源との整合によって決まる。

【００２７】本発明の請求項４の発明においては、該導
電性螺旋電極の管軸方向の長さを該導電性網状電極の長
さと概略同一に構成したので、該導電性網状電極の両端
を固定する部材で該導電性螺旋電極を固定出来る。

【００２８】本発明の請求項５の発明においては、該放
電用ガスをキセノンを主成分としたガスとし、１個の電
源に接続されている該誘電体バリア放電ランプの該導電
性網状電極に対接した該放電容器の面積の合計が１６０
平方センチメートル以上であり、該誘電体バリア放電ラ
ンプへの電気入力が該導電性網状電極に対接した該放電
容器の平方センチメートルで表した面積で除した値が
０．５Ｗ以下に規定したので、波長１７２ｎｍに中心を
有する真空紫外線が高効率で得られ、さらに、コンパク
トな装置で比較的大きな被処理物を一括して照射出来る
という利点が生じ、かつ、放電容器の温度上昇が少な
く、従って、被照射物を過剰に加熱しないという利点が
生じる。さらに、放電容器単位面積への紫外線の入力が
小さくなるので、放電容器の劣化が少なくなり、長寿命
が得られるという利点が生じる。

【００２９】本発明の請求項６の発明においては、２本
以上の該誘電体バリア放電ランプを並列に配置し、実質
的な平面状光源を構成したので、高価な合成石英ガラス
板を多数使用する事が無いので、安価に平板状光源装置
が得られるという利点が生じる。

【００３０】

【実施例】本発明の第１の実施例である誘電体バリア放
電ランプ装置の概略図を図１に示す。放電容器１は全長
約３００ｍｍの合成石英ガラス製で、外径１６ｍｍ、肉
厚１ｍｍの内側管２、外径約２６．５ｍｍ、肉厚１ｍｍ
の外側管３を同軸に配置して中空円筒状にしたものであ
る。内側管２および外側管３の管軸方向の肉厚のばらつ
きは±０．１ｍｍである。外側管３は、誘電体バリア放
電の誘電体バリアと光取り出し窓部材を兼用しており、
その外面に光を透過する金属網からなる電極４が設けら
れている。

【００３１】該金属網４は、直径０．１５ｍｍの一本の
ステンレス線をメリヤス編みしたシームレスの円筒状網
であり、軸方向に伸縮性を有する。該金属網４の管軸方
向の長さは、２５０ｍｍである。すなわち、該網状電極
４に対接した該放電容器の面積は２０８平方センチメー
トルである。該網状電極４の両端は、網状電極固定部材
２１ａ，２１ｂによって固定されている。

【００３２】また、内側管２の外面にはアルミニウムの
蒸着によって形成した光反射膜を兼ねた誘電体バリア放
電用の内側電極５が設けられている。前記電極５を機械
的、化学的に保護するために、電極５の上に窒化ほう素
からなる保護膜９が設けられている。

【００３３】電極４に対面した外側管３の内表面と電極
５に対面した内側管２の内表面の間には放電空間８が形
成される。従って、放電空間６における放電ギャップ長
ｄは約０．４２５ｃｍである。放電容器１の一端に、放
電容器１の管壁を延長し、ゲッタ収容室６を設ける。ゲ
ッタ収容室６にバリウム合金からなるバリウムゲッタ７
を収納し、バリウムゲッタ７を高周波加熱してゲッタ収
容室内にバリウムの薄膜を形成した。

【００３４】螺旋のピッチ３ｍｍ、軸方向の長さ１００
ｍｍ、線径０．３ｍｍのニッケル線からなる導電性螺旋
電極２０を、軸方向の位置としては、放電容器１のゲッ
タ収容室６に近接して、該導電性網状電極４の上に密着
して設けた。該導電性螺旋電極２０の一端は、網状電極
固定部材２１ｂで固定し、他端は、該導電性網状電極４
に、くくりつけることによって固定されている。

【００３５】放電空間８に放電用ガスとして４０ｋＰａ
のキセノンガスを充填して、周波数が約１３ｋＨｚの電
源１０を使用してランプへの印加電圧をＶｐを約１２ｋ
Ｖにして点灯したところ、該誘電体バリア放電ランプの
表面積１平方センチメートルあたりの入力電力は０．３
ワットになり、キセノンのエキシマ分子から放射された
波長１７２ｎｍに最大値を有する波長１６０ｎｍから波
長１８０ｎｍの範囲の真空紫外線が、ランプの管軸方向
位置でばらつくこと無く、均一に、高効率で放出され
た。なお、導電性螺旋電極２０を設けない場合は、ゲッ
タ収容室６に近接した端部の光出力は、他端と比較する
と小さかった。

【００３６】本発明の第２の実施例の断面図を、図２に
示す。放電容器１、内側電極５は、第１の実施例と同一
である。外側電極４１は、シ−ムレスの円筒状ではな
く、シ−ト状の金網を放電容器１の全周にわたって巻き
付けた構成である。線径０．３ｍｍのニッケル線からな
る該導電性螺旋電極２０を、個々のランプの光出力のば
らつきに応じて、螺旋のピッチを３ｍｍから１５ｍｍの
間で調整して、シ−ト状の外側電極４１の外側に密着さ
せて巻き付けた。この実施例では、該導電性螺旋電極２
０はシ−ト状の金網電極４１を固定する部材を兼用して
いる。上記本発明の特徴ある構成によって、個々のラン
プにおける放電容器の肉厚、放電ギャップのばらつきに
よる個々のランプの光出力のばらつきが低減できた。

【００３７】本発明の第３の実施例の断面図を、図３に
示す。実施例２の同軸円筒型誘電体バリア放電ランプ４
本を、アルミニウムらなる冷却ブロック３４に並行して
設置した構成である。該同軸円筒型誘電体バリア放電ラ
ンプは、導電性螺旋電極２０を巻き付けた部分が冷却ブ
ロック３４に接触するように設置されている。ランプ１
ａ，１ｂは電源１０ａに並列接続されており、ランプ１
ｃ，１ｄは電源１０ｂに並列接続されている。３０ａ，
３０ｂ，３０ｃ，３０ｄは、冷却用流体を流す孔であ
る。誘電体バリア放電ランプ装置１ａ，１ｂ，１ｃ，１
ｄの外径は２６．５ｍｍ、放電ギャップ長は５ｍｍ、キ
セノンガスの封入圧力は５５ｋＰａ、ランプ一本当たり
の網電極の長さは２５０ｍｍである。一個の電源に接続
されているランプの該網状電極に対接した該放電容器の
面積の合計は、４１６平方センチメートルである。

【００３８】誘電体バリア放電ランプ１ａ，１ｂ，１
ｃ，１ｄは、合成石英ガラスからなる光取り出し窓３
１、冷却ブロック３４、側板３５ａ，３５ｂおよび図示
していないがランプの両端部方向に位置する側板によっ
て、密閉されている。光取り出し窓３１の有効面積は、
２４０ｍｍ×２４０ｍｍである。誘電体バリア放電ラン
プ１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄと合成石英ガラスからなる光
取り出し窓３１の間の空間は、不活性ガス導入口３２か
ら導入した窒素ガスで充満されている。尚、３３は不活
性ガス出口である。

【００３９】電源１０ａ，１０ｂのランプ印加電圧を
９．４ｋＶにしたところ、管壁負荷は０．２５Ｗ／ｃｍ
² になり、波長１７２ｎｍに最大値を有する波長１６０
ｎｍから波長１８０ｎｍの範囲の真空紫外線が、個々の
ランプによってばらつくことがなく、均一に、高効率で
放出された。その結果、光取り出し窓３１の表面におい
ては均一な放射照度がえられ、実質的な平面光源が安価
に得られた。

【００４０】本発明の第４の実施例は、第３の実施例に
おいて、ランプ１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄを一個の電源に
接続した構成である。第２の実施例と同等の効果が得ら
れ、さらに、電源部がコンパクトになるという利点が生
じる。

【００４１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明において
は、次の効果を得ることが出来る。本発明の請求項１の
発明においては、少なくとも外形が概略円筒状である光
透過性の放電容器と、該放電容器の外面の少なくとも一
部の全周に設けた導電性網状電極と、該放電容器の内部
に該放電容器と概略同軸に設けた内部電極と、該放電容
器内に充填された誘電体バリア放電によってエキシマ分
子を形成する放電用ガスからなる誘電体バリア放電ラン
プと、誘電体バリア放電を行うための少なくとも一個の
電源を備えた誘電体バリア放電ランプ装置において、該
放電容器の軸方向の少なくとも一部において該導電性網
状電極の上に、該導電性網状電極に密着して導電性螺旋
電極を設けたので、個々のランプおよび一本のランプの
管軸方向の位置における光出力のばらつきの小さな誘電
体バリア放電ランプ装置が得られる。また、放電容器と
して特別な材料を使用すること無く、市販の材料を使用
することが出来るので、安価に誘電体バリア放電ランプ
装置を得ることが出来ると言う利点が生じる。

【００４２】本発明の請求項２の発明においては、請求
項１の発明において、該導電性網状電極を軸方向に伸縮
性を有する円筒状導電性網で構成したしたので、光出力
のばらつが小さいという利点が生じる。

【００４３】本発明の請求項３の発明においては、請求
項１の発明または請求項２の発明において、該導電性螺
旋電極の管軸方向の長さを該導電性網状電極の長さ未満
に構成したので、該誘電体バリア放電ランプの管軸に沿
って光出力が変化する場合には、光出力の大きいと部
分、或いは、光出力の小さい部分に該導電性螺旋電極を
設けることにより、管軸に沿って光出力が均一化出来る
と言う利点が生じる。

【００４４】本発明の請求項４の発明においては、請求
項１の発明から請求項３の発明において、該導電性螺旋
電極の管軸方向の長さを該導電性網状電極の長さと概略
同一に構成したので、該導電性網状電極の両端を固定す
る部材で該導電性螺旋電極を固定出来、従って、該導電
性螺旋電極を堅牢に固定でき、高信頼の誘電体バリア放
電ランプ装置を得ることが出来ると言う利点が生じる。

【００４５】本発明の請求項５の発明においては、請求
項１の発明から請求項４の発明において、該放電用ガス
をキセノンを主成分としたガスとし、１個の電源に接続
されている該誘電体バリア放電ランプの該導電性網状電
極に対接した該放電容器の面積の合計が１６０平方セン
チメートル以上であり、該誘電体バリア放電ランプへの
電気入力が該導電性網状電極に対接した該放電容器の平
方センチメートルで表した面積で除した値が０．５Ｗ以
下に規定したので、波長１７２ｎｍに中心を有する真空
紫外線が高効率で得られ、さらに、コンパクトな装置で
比較的大きな被処理物を一括して照射出来るという利点
が生じ、かつ、放電容器の温度上昇が少なく、従って、
被照射物を過剰に加熱しないという利点が生じる。さら
に、放電容器単位面積への紫外線の入力が小さくなるの
で、放電容器の劣化が少なくなり、長寿命が得られると
いう利点が生じる。

【００４６】本発明の請求項６の発明においては、請求
項１の発明から請求項５の発明において、２本以上の該
誘電体バリア放電ランプを並列に配置し、実質的な平面
状光源を構成したので、高価な合成石英ガラス板を多数
使用する事が無いので、安価に平板状光源装置が得ら
れ、かつ、光出力の空間的なばらつきが小さく、かつ、
高効率である実質的な平面状光源装置を得ることが出来
るという利点が生じる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の誘電体バリア放電ランプ装置の実施例
の説明図である。

【図２】本発明の誘電体バリア放電ランプ装置の他の実
施例の説明図である。

【図３】本発明の誘電体バリア放電ランプ装置の他の実
施例の説明図である。

【図４】従来の誘電体バリア放電ランプ装置の説明図で
ある。

【図５】リサジュ図の説明図である。

【符号の説明】

１ 放電容器 １ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ 誘電体バリア放電ランプ ２ 内側管 ３ 外側管 ４ 網状電極 ５ 内側電極 ６ ゲッタ収容室 ７ ゲッタ ２０ 導電性螺旋電極 ２１ａ，２１ｂ 網電極固定部材 ３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄ 冷却用流体用孔 ３１ 光取り出し窓 ３２ 不活性ガス導入口 ３３ 不活性ガス出口 ３４ 冷却ブロック ３５ａ，３５ｂ 側板

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 五十嵐 龍志 兵庫県姫路市別所町佐土1194番地 ウシオ 電機株式会社内 (72)発明者 菱沼 宣是 兵庫県姫路市別所町佐土1194番地 ウシオ 電機株式会社内 (72)発明者 大西 安夫 兵庫県姫路市別所町佐土1194番地 ウシオ 電機株式会社内

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 外形が概略円筒状である光透過性の放電
   容器と、該放電容器の外面の少なくとも一部の全周に設
   けた導電性網状電極と、該放電容器の内部に該放電容器
   と概略同軸に設けた内部電極と、該放電容器内に充填さ
   れた誘電体バリア放電によってエキシマ分子を形成する
   放電用ガスからなる誘電体バリア放電ランプと、誘電体
   バリア放電を行うための少なくとも一個の電源を備えた
   誘電体バリア放電ランプ装置において、該放電容器の軸
   方向の少なくとも一部において該導電性網状電極の上
   に、該導電性網状電極に密着して導電性螺旋電極を設け
   たことを特徴とした誘電体バリア放電ランプ装置。
2. 【請求項２】 該導電性網状電極を軸方向に伸縮性を有
   する円筒状導電性網で構成したことを特徴とした請求項
   １に記載の誘電体バリア放電ランプ装置。
3. 【請求項３】 該導電性螺旋電極の管軸方向の長さを該
   導電性網状電極の長さ未満に構成したことを特徴とした
   請求項１から請求項２に記載の誘電体バリア放電ランプ
   装置。
4. 【請求項４】 該導電性螺旋電極の管軸方向の長さを該
   導電性網状電極の長さと概略同一に構成したことを特徴
   とした請求項１から請求項２に記載の誘電体バリア放電
   ランプ装置。
5. 【請求項５】 該放電用ガスをキセノンを主成分とした
   ガスとし、１個の電源に接続されている該誘電体バリア
   放電ランプの該導電性網状電極に対接した該放電容器の
   面積の合計が１６０平方センチメートル以上であり、該
   誘電体バリア放電ランプへの電気入力が該導電性網状電
   極に対接した該放電容器の平方センチメートルで表した
   面積で除した値が０．５Ｗ以下になるように規定したこ
   とを特徴とする請求項１から請求項４に記載の誘電体バ
   リア放電ランプ装置。
6. 【請求項６】 ２本以上の該誘電体バリア放電ランプを
   並列に配置し、実質的な平面状光源を構成したことを特
   徴とする請求項１から請求項５に記載の誘電体バリア放
   電ランプ装置。