JP3168848B2 - 誘電体バリア放電ランプ装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば、光化学反応用
の紫外線光源として使用される放電ランプ装置の一種
で、誘電体バリア放電によってエキシマ分子を形成し、
該エキシマ分子から放射される光を利用するいわゆる誘
電体バリア放電ランプ装置の改良に関する。

【０００２】

【従来の技術】本発明に関連した技術としては、例え
ば、日本国公開特許公報平１−１４４５６０号があり、
そこには、放電容器にエキシマ分子を形成する放電用ガ
スを充填し、誘電体バリア放電（別名オゾナイザ放電あ
るいは無声放電。電気学会発行改定新版「放電ハンドブ
ック」平成１年６月再版７刷発行第２６３ページ参照）
によってエキシマ分子を形成せしめ、該エキシマ分子か
ら放射される光を利用するランプ、すなわち誘電体バリ
ア放電ランプについて記載されており、該放電容器は円
筒状であり、該放電容器の少なくとも一部は該誘電体バ
リア放電の誘電体を兼ねており、該誘電体は光透過性で
あり、該誘電体の少なくとも一部に導電性網状電極が設
けられた誘電体バリア放電ランプが記載されている。

【０００３】以下、誘電体バリア放電ランプの概略図で
ある図１を使用して、一般的な誘電体バリア放電の概要
について説明する。放電容器１は誘電体であるガラス製
で、内側管２、外側管３を同軸に配置して中空円筒状に
したものである。外側管３の外面には光通過性の誘電体
バリア放電用の電極４が、内側管２の外面にはアルミニ
ウムの蒸着によって形成した光反射膜を兼ねた誘電体バ
リア放電用の電極５がそれぞれ設けられている。前記電
極５を機械的、化学的に保護するために、電極５の上に
窒化ほう素からなる保護膜９が設けられている。

【０００４】電極４に対面した外側管３の内表面と電極
５に対面した内側管２の内表面の間には放電空間８が形
成される。なお、前記二つの内表面間の距離は、放電容
器１の加工精度によっては、必ずしも放電空間８の到る
ところで均一である訳ではない。従って、放電空間８の
放電ギャップ長も、放電空間８の到るところで均一とは
ならない。そこで中空円筒状である放電容器１の中心軸
と垂直であって、前記中心軸と交差する直線群のうち、
前記放電容器１の両端部からの距離が等しい直線を基準
線とし、前記基準線と中心軸方向に等間隔である複数の
直線を、前記基準線を中心として対称に、基準線を含み
７本以上前記直線群より選択し、選択した複数の直線が
前記二つの内表面と交差する地点での内表面間の距離を
加算平均したものを、放電空間８の平均放電ギャップ長
ｄとする。

【０００５】放電空間８に、誘電体バリア放電によって
エキシマ分子を形成する放電用ガスを充填し、交流電源
１０によって電極４，５に電圧を印加すると、放電空間
８に誘電体バリア放電が安定に発生し、エキシマ光が放
出される。

【０００６】数十トール以上の中気圧または高気圧のア
ーク放電ランプなどで発生する通常のアーク放電におい
ては、放電空間に放電プラズマが一条だけ存在し、電極
面上には一個の小さな電極輝点が生じている。すなわ
ち、電極の面積を大きくしても実質的に電極としての役
割をしている部分は非常に小さい部分であり、放電プラ
ズマは一条だけ存在する。一方、前記放電ハンドブック
に記載されているように、誘電体バリア放電において
は、その放電路に誘電体が挿入されている。この誘電体
は放電プラズマが一条に収斂するのを阻止するので、プ
ラズマの直径が非常に小さく、かつ、放電の持続時間が
非常に短い微小な放電プラズマ（以後これをマイクロプ
ラズマと記す）が放電空間に多数存在することになる。

【０００７】並列に接続した複数個の誘電体バリア放電
ランプを一個の電源で点灯することが出来るのは、上記
した多条のマイクロプラズマが存在するからである。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】上記のような誘電体バ
リア放電ランプは、従来のグロー放電ランプやアーク放
電ランプには無い種々の特長を有しているため有用であ
る。特に、以下の構成の誘電体バリア放電ランプは、下
記のように種々の利点を有する。 （１）放電容器を概略円筒状にし、該放電容器の内側の
外面に該放電容器と概略同軸に内部電極を設けた構造に
すると、市販のガラス管、セラミックス管等を流用する
事が出来、かつ、構造も簡単になるので製作が容易にな
り、従って安価に誘電体バリア放電ランプを提供できる
という利点が生じる。 （２）１個の電源に接続されている該誘電体バリア放電
ランプの該導電性網状電極に対接した該放電容器の面積
の合計が１６０平方センチメートル以上であると、コン
パクトな装置で比較的大きな被処理物を一括して照射出
来るという利点が生じる。 （３）誘電体バリア放電ランプへの電気入力を該導電性
網状電極に対接した該放電容器の平方センチメートルで
表した面積で除した値を、以下、これを管壁負荷と記す
が、０．５Ｗ／ｃｍ²以下にすると、放電容器の温度上
昇が少なく、従って、被照射物を過剰に加熱しないとい
う利点が生じる。さらに、放電容器単位面積への紫外線
の入力が小さくなるので、放電容器の劣化が少なくな
り、長寿命が得られるという利点が生じる。

【０００９】誘電体バリア放電ランプへの電気入力は、
電気学会オゾナイザ専門委員会編、コロナ社発行「オゾ
ナイザーハンドブック」１９６０年発行第２３２〜２３
５ページに記載されている、印加電圧とランプを流れる
電流の積分値、即ち電荷量（記号Ｑ）のリサージュ図の
測定から求めた。図２に、横軸に印加電圧をとり、縦軸
に電荷量をとったリサージュ図の一例を示す。直線ＡＢ
と直線ＣＤが平行、直線ＢＣと直線ＡＤが平行な二等辺
四辺形が得られ、該二等辺四辺形の面積から放電ランプ
への電気入力が算出される。直線ＡＢおよび直線ＣＤが
直線からややずれて曲線状になることも有ったが、この
場合はこれらの曲線を直線で近似した。

【００１０】しかし、従来の誘電体バリア放電ランプ
は、以下のような欠点があることがわかった。市販のガ
ラス管、セラミックス管等には、個々の管および１本の
管の軸方向位置において肉厚、管径などにばらつきがあ
り、これが、個々のランプおよび１本のランプの軸方向
位置における光出力のばらつきを引き起こす。例えば、
図１において、外側管３の肉厚が図の左端で厚くなって
いるとすると、図の左端において電気入力が低下し、光
出力が低下する。すなわち、図の左端から遠い部分では
十分な光出力が有るのに対して、図の左端に近づくに連
れて光出力が低下することになる。この欠点は、放電容
器の管壁を誘電体バリア放電の誘電体として使用してい
る誘電体バリア放電ランプ独特のものである。

【００１１】上記した肉厚、管径などのばらつきによる
光出力のばらつきは、当然ながら該誘電体バリア放電ラ
ンプの該導電性網状電極に対接した該放電容器の面積が
大きくなるに従って増大し、さらに、該管壁負荷の減少
に従って増大する。特に、該面積が１６０平方センチメ
ートル以上で、かつ、該管壁負荷が０．５Ｗ／ｃｍ²以
下の場合には、上記した肉厚、管径などのばらつきおよ
び加工精度による放電ギャップ長のばらつきによる光出
力のばらつきが実用上無視できなかった。該面積は、並
列に接続した複数個の誘電体バリア放電ランプを一個の
電源で点灯するばあいには、それぞれの誘電体バリア放
電ランプの該面積の合計であることは自明である。

【００１２】本発明は、以上のような事情に基づいて成
されたものであって、その課題は、１個の電源に接続さ
れている該誘電体バリア放電ランプの該導電性網状電極
に対接した該放電容器の面積の合計が１６０平方センチ
メートル以上であり、該誘電体バリア放電ランプへの電
気入力を該導電性網状電極に対接した該放電容器の平方
センチメートルで表した面積で除した値が０．５Ｗ以下
である誘電体バリア放電ランプ装置において、個々のラ
ンプおよびランプの軸方向位置による光出力のばらつき
の無い誘電体バリア放電ランプ装置を提供することであ
る。

【００１３】

【問題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の請求項１の発明は、少なくとも外形が概略
円筒状である光透過性の放電容器と、該放電容器の外面
の少なくとも一部の全周に設けた導電性網状電極と、該
放電容器の内側の外面に該放電容器と概略同軸に設けた
内部電極と、該放電空間内に充填されたクリプトンと塩
素ガスを主成分とした放電用ガスからなる少なくとも１
個の誘電体バリア放電ランプと、誘電体バリア放電を行
うための少なくとも一個の電源を備え、１個の電源に接
続されている該誘電体バリア放電ランプの該導電性網状
電極に対接した該放電容器の面積の合計は１６０平方セ
ンチメートル以上であり、該誘電体バリア放電ランプへ
の電気入力を該導電性網状電極に対接した該放電容器の
平方センチメートルで表した面積で除した値が０．５Ｗ
／ｃｍ²以下である誘電体バリア放電ランプ装置におい
て、ボルトで表した放電開始電圧をＶｓ、ランプへの印
加電圧をＶｐとした時、誘電体バリア放電ランプの放電
ギャップ、ガス圧、電源の出力電圧、周波数等を調整す
ることにより、Ｖｓ／Ｖｐの値を０．５５以下に規定し
たものである。

【００１４】本発明の請求項２の発明は、請求項１の発
明において、ボルトで表した放電維持電圧をＶｍ、ｃｍ
で表した放電ギャップ長をｄ、キロパスカルで表したク
リプトンと塩素ガスの圧力をｐとした時、（Ｖｍ／ｄ）
／ｐの値を３５Ｖ／ｃｍ／ｋＰａから８０Ｖ／ｃｍ／ｋ
Ｐａの範囲に有るように構成したものである。

【００１５】本発明の請求項３の発明は、請求項１ある
いは請求項２の発明において、２本以上の該誘電体バリ
ア放電ランプを並列に配置することにより、実質的な平
面状光源を構成したものである。

【００１６】

【作用】少なくとも外形が概略円筒状である光透過性の
放電容器と、該放電容器の外面の少なくとも一部の全周
に設けた導電性網状電極と、該放電容器の内部に該放電
容器と概略同軸に設けた内部電極と、該放電容器内に充
填されたクリプトンと塩素ガスを主成分とした放電用ガ
スからなる少なくとも１個の誘電体バリア放電ランプ
と、誘電体バリア放電を行うための少なくとも一個の電
源を備え、１個の電源に接続されている該誘電体バリア
放電ランプの該導電性網状電極に対接した該放電容器の
面積の合計は１６０平方センチメートル以上であり、該
誘電体バリア放電ランプへの電気入力を該導電性網状電
極の平方センチメートルで表した面積で除した値が０．
５Ｗ以下である誘電体バリア放電ランプ装置において、
以下の事実を見いだした。

【００１７】すなわち、個々のランプおよび一本のラン
プにおける管軸方向の位置における光出力のばらつき
は、ランプへの印加電圧Ｖｐに対する放電開始電圧Ｖｓ
の割合に関係し、Ｖｓ／Ｖｐが小さくなるにつれて低下
することを見いだした。なお、上記した放電開始電圧Ｖ
ｓおよび印加電圧Ｖｐは、図２に示したリサージュ図か
ら求めたもので、それぞれ、ＤおよびＣを横軸に投影し
た値の二分の一である。

【００１８】ランプへの印加電圧Ｖｐに対する放電開始
電圧Ｖｓの割合が小さくなるに従って光出力のばらつき
が減少する機構は、以下のようであると推測される。図
２に示したリサージュ図において、ＡＤおよびＣＢ間は
放電が休止している期間であり、ＤおよびＢで放電が開
始し、ＤＣおよびＢＡ間で該マイクロプラズマの発生と
消滅が繰り返し行われる。

【００１９】放電開始電圧Ｖｓがばらつくと、ＤＣおよ
びＢＡ間における該マイクロプラズマの発生回数がばら
つくことになる。放電開始電圧Ｖｓに対して印加電圧Ｖ
ｐが十分に大きくない場合には、該マイクロプラズマの
発生回数が少なく、従って、放電開始電圧Ｖｓのばらつ
きによる光出力のばらつきの割合が大きくなる。しか
し、印加電圧Ｖｐに対する放電開始電圧Ｖｓの割合が小
さい場合には、例え、放電開始電圧Ｖｓがばらついたと
しても、該マイクロプラズマの発生回数が多いので光出
力のばらつきの割合が低下するものと考えられる。すな
わち、個々のランプおよび一本のランプにおける管軸方
向の位置における光出力のばらつきは、ランプへの印加
電圧Ｖｐに対する放電開始電圧Ｖｓの割合が小さくなる
に従って減少する傾向があり、特に、Ｖｓ／Ｖｐの値が
０．５５以下になると光出力のばらつきは急激に低下す
ることを見いだした。

【００２０】本発明の請求項１の発明においては、ラン
プへの印加電圧Ｖｐに対する放電開始電圧Ｖｓの割合、
Ｖｓ／Ｖｐの値を０．５５以下に限定したので、放電容
器の管壁の肉厚、外径あるいは放電ギャップ長がばらつ
いたとしても、個々のランプおよび一本のランプの管軸
方向の位置における光出力のばらつきが小さい誘電体バ
リア放電ランプ装置を得ることが出来る。

【００２１】本発明の請求項２の発明においては、ボル
トで表した放電維持電圧をＶｍ、ｃｍで表した放電ギャ
ップ長をｄ、キロパスカルで表したクリプトンと塩素ガ
スの圧力をｐとした時、（Ｖｍ／ｄ）／ｐの値を３５Ｖ
／ｃｍ／ｋＰａから８０Ｖ／ｃｍ／ｋＰａの範囲に規定
したので、光出力のばらつきが小さいという利点に加え
て、高効率の誘電体バリア放電ランプ得ることが出来
る。

【００２２】請求項２の発明において高効率が得られる
機構は、以下のようである。我々は、図１と類似の構造
の誘電体バリア放電ランプにおいて、放電ギャップ長ｄ
（ｃｍ）とクリプトンと塩素ガスの圧力ｐ（キロパスカ
ル）を種々に変えて、発光効率と放電の安定性を調べ
た。なお、本発明に置ける放電ギャップ長ｄは、放電空
間構造が電極−誘電体−放電空間−誘電体−電極の場合
は、放電空間を挟む誘電体内表面間の距離であり、放電
空間構造が電極−誘電体−放電空間−電極の場合は、放
電空間を挟む誘電体内表面と対向する電極内表面間の距
離である。また、クリプトンと塩素ガスの圧力ｐは２５
℃における値である。

【００２３】発光効率を支配する最も大きな因子は放電
プラズマ中の電子のエネルギーであると考えられる。こ
こでＶ／ｄをＥと置き替え、Ｅ／ｐを換算電界と呼ぶが
電子のエネルギーは換算電界Ｅ／ｐに強く依存する。発
光効率は、換算電界Ｅ／ｐが３５より小さい範囲では１
０％よりも低下し、誘電体バリア放電ランプの高効率化
の目的は得られなくなった。また、換算電界Ｅ／ｐが８
０を越えると、発光効率はかなり低下し、９０を越える
と、放電が不安定になり、光出力が不安定になった。即
ち、放電ギャップ長ｄとクリプトンと塩素ガスの圧力ｐ
を調整することにより、換算電界Ｅ／ｐを３５から８０
の範囲内にすると、発光効率が１０％を越え、さらに放
電も安定である誘電体バリア放電ランプが得られる。

【００２４】なお、放電維持電圧Ｖｍは、図２のリサー
ジュ図の測定から求めたもので、直線ＣＤが横軸と交わ
る点の電圧の二分の一に相当する。

【００２５】本発明の請求項３の発明においては、請求
項１あるいは請求項２の発明において、２本以上の該誘
電体バリア放電ランプを並列に配置することにより、光
出力の空間的なばらつきが小さく、かつ、高効率である
実質的な平面状光源装置を安価に得ることが出来る。

【００２６】

【実施例】本発明の第１の実施例である誘電体バリア放
電ランプ装置の概略図を図１に示す。放電容器１は全長
約３００ｍｍの石英ガラス製で、外径１６ｍｍ、肉厚１
ｍｍの内側管２、外径約３０ｍｍ、肉厚１．５ｍｍの外
側管３を同軸に配置して中空円筒状にしたものである。
内側管２および外側管３の管軸方向の肉厚のばらつきは
±０．１ｍｍである。外側管３は誘電体バリア放電の誘
電体バリアと光取り出し窓部材を兼用しており、その外
面に光を透過する金属網からなる電極４が設けられてい
る。金属網の管軸方向の長さは２５０ｍｍである。すな
わち、該網状電極４に対接した該放電容器の面積は２３
５平方センチメートルである。また、内側管２の外面
（放電容器の内側の外面）にはアルミニウムの蒸着によ
って形成した光反射膜を兼ねた誘電体バリア放電用の内
側電極５が設けられている。前記電極５を機械的、化学
的に保護するために、電極５の上に窒化ほう素からなる
保護膜９が設けられている。

【００２７】電極４に対面した外側管３の内表面と電極
５に対面した内側管２の内表面の間には放電空間８が形
成される。従って、放電空間８における放電ギャップ長
ｄは約０．６５ｃｍである。

【００２８】放電空間８に放電用ガスとして３３ｋＰａ
のクリプトンと塩素ガスを充填して、周波数が約１３ｋ
Ｈｚの電源１０を使用してランプへの印加電圧をＶｐを
約１２ｋＶにして点灯したところ、該誘電体バリア放電
ランプの表面積１平方センチメートルあたりの入力電力
は０．３ワット、換算電界Ｅ／ｐは７０Ｖ／ｃｍ／ｋＰ
ａ、Ｖｍ／Ｖｐは０．３６になり、クリプトン塩素のエ
キシマ分子から放射された波長２２２ｎｍに最大値を有
する紫外線が、ランプの管軸方向位置でばらつくこと無
く、均一に、高効率で放出された。

【００２９】本発明の第２の実施例の縦断面図を図３に
示す。実施例１の同軸円筒型誘電体バリア放電ランプと
類似の４本の誘電体バリア放電ランプ１ａ，１ｂ，１
ｃ，１ｄを、アルミニウムからなる冷却ブロック３４に
並行して設置した構成で、ランプ１ａ，１ｂは電源１０
ａに並列接続されており、ランプ１ｃ，１ｄは電源１０
ｂに並列接続されている。３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３
０ｄは、冷却用流体を流す孔である。誘電体バリア放電
ランプ１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄの外径は２６．５ｍｍ、
放電ギャップ長は５ｍｍ、クリプトンと塩素ガスの封入
圧力は３３ｋＰａ、ランプ一本当たりの網電極の長さは
２５０ｍｍである。一個の電源に接続されているランプ
の該網状電極に対接した該放電容器の面積の合計は、４
１６平方センチメートルである。

【００３０】誘電体バリア放電ランプ１ａ，１ｂ，１
ｃ，１ｄは、石英ガラスからなる光取り出し窓３１、冷
却ブロック３４、側板３５ａ，３５ｂおよび図示してい
ないがランプの両端部の方向に位置する側板によって密
閉されている。光取り出し窓３１の有効面積は、２４０
ｍｍ×２４０ｍｍである。誘電体バリア放電ランプ１
ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄと石英ガラスからなる光取り出し
窓３１の間の空間３６は、不活性ガス導入口３２から導
入した窒素ガスで充満されている。尚、３３は不活性ガ
ス排出口である。

【００３１】電源１０ａ，１０ｂのランプ印加電圧を
８．５ｋＶにしたところ、管壁負荷は０．２５Ｗ／ｃｍ
² 、Ｖｓ／Ｖｐは０．３８、Ｅ／ｐは７０Ｖ／ｃｍ／ｋ
Ｐａになり、波長２２２ｎｍに最大値を有する紫外線
が、ランプの管軸方向位置でばらつくこと無く、かつ、
個々のランプによってばらつくことがなく、均一に、高
効率で放出された。その結果、光取り出し窓３１の表面
においては均一な放射照度が得られ、実質的な平面光源
が安価に得られた。

【００３２】本発明の第３の実施例は、第２の実施例に
おいて、電源１０ａにランプ１ａ，１ｄを接続し、電源
１０ｂにランプ１ｂ，１ｄを接続した構成である。電源
１０ａの出力を調整することによって、光取り出し窓３
１の中央部と周辺部の放射照度の比を変えられるという
利点が生じる。

【００３３】本発明の第４の実施例は、第２の実施例に
おいて、ランプ１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄを一個の電源に
接続した構成である。第２の実施例と同等の効果が得ら
れ、さらに、電源部がコンパクトになるという利点が生
じる。

【００３４】上記したすべての例は、蛍光体を有しな
い、いわゆる誘電体バリア放電紫外線放射ランプであっ
たが、放電容器に蛍光体を設けたいわゆる誘電体バリア
放電蛍光ランプにも適用できることは自明である。

【００３５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明において
は、次の効果を得ることが出来る。本発明の請求項１の
発明においては、ランプへの印加電圧Ｖｐに対する放電
開始電圧Ｖｓの割合、Ｖｓ／Ｖｐの値を０．５５以下に
限定したので、放電容器の管壁の肉厚、外径あるいは放
電ギャップ長がばらついたとしても、個々のランプおよ
び一本のランプの管軸方向の位置における光出力のばら
つきが小さいという効果を有する。従って、放電容器と
して特別な材料を使用すること無く、市販の材料を使用
することが出来るので、安価に誘電体バリア放電ランプ
装置を得ることが出来ると言う利点が生じる。

【００３６】本発明の請求項２の発明においては、請求
項１の発明において、ボルトで表した放電維持電圧をＶ
ｍ、ｃｍで表した放電ギャップ長をｄ、キロパスカルで
表したクリプトンと塩素ガスの圧力をｐとした時、（Ｖ
ｍ／ｄ）／ｐの値を３５Ｖ／ｃｍ／ｋＰａから８０Ｖ／
ｃｍ／ｋＰａの範囲に規定したので、光出力のばらつき
が小さいという利点に加えて、高効率の誘電体バリア放
電ランプ装置を得ることが出来ると言う利点が生じる。

【００３７】本発明の請求項３の発明においては、請求
項１あるいは請求項２の発明において、２本以上の該誘
電体バリア放電ランプを並列に配置するので、光出力の
空間的なばらつきが小さく、かつ、高効率である実質的
な平面状光源装置を安価に得ることが出来る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の誘電体バリア放電ランプ装置の実施例
の説明図である。

【図２】リサージュ図の説明図である。

【図３】本発明の誘電体バリア放電ランプ装置の他の実
施例の説明図である。

【符号の説明】

１ 放電容器 １ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ 誘電体バリア放電ランプ ２ 内側管 ３ 外側管 ４ 網状電極 ５ 内側電極 ３１ 光取り出し窓 ３４ 冷却ブロック ３５ａ，３５ｂ 側板

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き 審査官 小島 寛史 (56)参考文献 特開 平６−215736（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01J 65/00

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】外形が概略円筒状である光透過性の放電容
   器と、該放電容器の外面の少なくとも一部の全周に設け
   た導電性網状電極と、該放電容器の内側の外面に該放電
   容器と概略同軸に設けた内部電極と、該放電空間内に充
   填されたクリプトンと塩素ガスを主成分とした放電用ガ
   スからなる少なくとも１個の誘電体バリア放電ランプ
   と、誘電体バリア放電を行うための少なくとも一個の電
   源を備え、１個の電源に接続されている該誘電体バリア
   放電ランプの該導電性網状電極に対接した該放電容器の
   面積の合計は１６０平方センチメートル以上であり、該
   誘電体バリア放電ランプへの電気入力を該導電性網状電
   極に対接した該放電容器の平方センチメートルで表した
   面積で除した値が０．５Ｗ／ｃｍ ² 以下である誘電体バ
   リア放電ランプ装置において、ボルトで表した放電開始
   電圧をＶｓ、ランプへの印加電圧をＶｐとした時、Ｖｓ
   ／Ｖｐの値を０．５５以下に規定したことを特徴とする
   誘電体バリア放電ランプ装置。
2. 【請求項２】 ボルトで表した放電維持電圧をＶｍ、ｃ
   ｍで表した放電ギャップ長をｄ、キロパスカルで表した
   クリプトンと塩素ガスの圧力をｐとした時、（Ｖｍ／
   ｄ）／ｐの値を３５から８０の範囲に規定したことを特
   徴とする請求項１に記載の誘電体バリア放電ランプ装
   置。
3. 【請求項３】 ２本以上の該誘電体バリア放電ランプを
   並列に配置し、実質的な平面状光源を構成したことを特
   徴とする請求項１もしくは請求項２に記載の誘電体バリ
   ア放電ランプ装置。