JPH08136225A - 寸法測定器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 正確な寸法測定を行うことができる携帯式の
寸法測定器を得る。 【構成】 スリット光１８の光束面が被測定面２０Ｂに
対して垂直である場合のみ、センサ３３Ａ、３３Ｂは同
一光量受光するので、演算装置４０は、センサ３３Ａ、
３３Ｂが同一光量受光した場合にのみ駆動回路１５Ｄが
出力する信号に基づいてスリット光１８の光束面が被測
定面２０Ｂに対して垂直であるか否かを判断することが
できる。そこで、演算装置４０は判断手段によりスリッ
ト光１８の光束面が被測定面２０Ｂに対して垂直であり
且つ輝線３８が連続していると判断された時の段差・隙
間寸法、即ち正しい段差・隙間寸法を求め、求めた正し
い段差・隙間寸法を液晶ディスプレイ１２に表示する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、寸法測定器に係り、よ
り詳しくは、射出したスリット光が被測定物に照射され
るようにケーシングが保持されることにより被測定物の
寸法を測定する寸法測定器に関する。

【０００２】

【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】従来よ
り、被測定物に対し所望の部位の寸法を測定する場合、
その簡便さからノギス等を用いて行うことが一般的であ
る。ノギスは小型軽量で携帯性に優れており、かつ所望
の部位に当接させることにより、所望の部位の寸法を容
易に測定できる。

【０００３】しかしながら、上記のようなノギス等を用
いた測定では、単一の被測定物に対し同一の部位を繰り
返し測定したとしても、そのときの被測定物に対するノ
ギス等の当接状態の違いや測定者の目の錯覚等に起因す
る誤差により、測定値が異なってしまうことが多々あっ
た。更に、被測定物の材質が軟質である場合には、ノギ
ス等を被測定物に接触させると被測定物に変形が生じる
ので、正確な測定は殆ど不可能であった。

【０００４】また、上記に関連して、被測定物に接触す
ることなく、被測定面にスリット状の光ビーム（以下、
スリット光という）を照射し、照射したスリット光の光
軸と所定の角度をもって設けられた光検出センサにて被
測定面からの反射光を受光し、その受光位置から三角測
量原理を用いて被測定面の形状を２次元又は３次元の座
標にて測定する形状測定装置が提案されている（特公昭
５０−３６３７４号公報、特開昭５６−１３８２０４号
公報、特開昭５７−２２５０８号公報、特開昭５８−５
２５０８号公報等参照）。しかし、上記の形状測定装置
では、測定を行うにあたって測定における座標系の基準
となる測定基準面上に被測定物を載置する必要があるた
め、サイズが大きすぎて載置不可能な物の寸法を測定す
ることができず、被測定物が限定されていた。更に、上
記の形状測定装置は大規模かつ高価であり、演算処理が
複雑であった。

【０００５】一方、被測定物の被測定面にスリット光を
照射し、照射したスリット光の反射光を受光し、その受
光位置から三角測量原理を用いて被測定面の隙間・段差
等の寸法を測定する、上記の形状測定装置よりも小型の
寸法測定器が存在する。但し、上記のように被測定面に
照射されたスリット光の反射光を受光し、その受光位置
から三角測量原理を用いて被測定面の隙間・段差等の寸
法を測定するには、寸法測定器と被測定面との距離を所
定の範囲内とし、スリット光の光軸を被測定面に対し略
垂直とし、更にスリット光の光束面（光束により形成さ
れる面）を被測定面に対し垂直とする必要があった。即
ち、寸法測定器と被測定面との距離が所定の範囲内でな
い場合又はスリット光の光軸が被測定面に対し略垂直で
ない場合、図７（Ａ）又は図８（Ｂ）に示すように信号
出力手段の受光面上に結像されるスリット像の一部が欠
落してしまい、正確な寸法測定ができなくなる。また、
スリット光の光束面が被測定面に対し垂直でない場合
も、図９（Ｂ）に示すようにスリット像において段差に
対応する線分３８Ｃが被測定面における段差に対応しな
くなり、正確な寸法測定ができなくなる。

【０００６】そこで、この寸法測定器で被測定面の隙間
や段差等の寸法を測定する際に、例えば図１１（Ａ）及
び図１１（Ｂ）に示す被測定面９２上に載置され柱状の
支持部９０Ａで寸法測定器１０のケーシング１１を支持
する治具９０を用いていた。この治具９０を用いること
により、寸法測定器１０は、射出されるスリット光１８
の光束面及び光軸が被測定面９２に対し垂直となり更に
被測定面９２とケーシング１１との距離Ｈが一定となる
ように位置決めされていた。

【０００７】ところで、大型の機械、自動車等の製品出
荷前の検査等において当該機械、自動車等の局部的な部
位の寸法を測定するケースがある。この場合被測定物の
形状が複雑であったり、被測定面が傾斜していたりして
測定のための位置決めや調整作業が困難である事があ
る。また、さほど精度を要求されない寸法測定では、上
記のような手間のかかる位置決めや調整作業等が非常に
煩雑であることもある。そのため、測定者が手で保持し
ながら簡単に寸法を測定できる携帯式の寸法測定器が待
望されていた。

【０００８】しかしながら、携帯式の寸法測定器を用い
る場合には当該寸法測定器を保持している測定者の手振
れの発生は避けられないので、寸法測定器を被測定面に
対して相対的に一定の位置に位置決め（固定）すること
は困難であった。このため、携帯式の寸法測定器では正
確な寸法測定を行うことは困難であった。

【０００９】そこで、本発明は上記事実を考慮し、正確
な寸法測定を行うことができる携帯式の寸法測定器を提
供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１記載の発明は、スリット光を被測定物に
向けて射出する射出手段と、被測定物からのスリット光
の反射光を受光し、被測定物表面上の輝線に対応した信
号を出力する信号出力手段と、がケーシングに収納され
て構成され、スリット光が被測定物に照射されるように
ケーシングが保持されることにより被測定物の寸法を測
定する寸法測定器であって、前記スリット光の光束面が
被測定物に対し垂直となるように照射された場合のみ該
被測定物からの反射光が各々同一の光量受光されるよう
に配置され、受光した光量に応じた大きさの信号を出力
する複数の光センサと、前記複数の光センサからの出力
信号に基づいて前記スリット光の光束面が被測定物に対
して垂直となるように照射されたか否かを判断すると共
に、前記信号出力手段から出力された被測定物上の輝線
を表す信号に基づいて輝線が連続しているか否かを判断
する判断手段と、前記判断手段により前記スリット光の
光束面が被測定物に対して垂直となるように照射された
と判断され且つ輝線が連続していると判断された場合
に、前記信号出力手段から出力された被測定物上の輝線
を表す信号に基づいて、輝線を構成する線分の各々に対
応する被測定物の部位の寸法を演算する演算手段と、前
記演算手段による演算結果を出力する出力手段と、を備
えている。

【００１１】また、請求項２記載の発明は、請求項１記
載の発明において、前記判断手段により前記スリット光
の光束面が被測定物に対して垂直となるように照射され
ていないと判断された場合には、前記スリット光の光束
面を被測定物に対して垂直とするためのケーシングの移
動方向及び回転方向を指示する指示手段を更に備えたこ
とを特徴とする。

【００１２】

【作用】請求項１記載の発明では、複数の光センサの各
々が、スリット光の光束面が被測定物に対し垂直となる
ように照射された場合のみ、該被測定物からの反射光を
同一の光量受光し同じの大きさの信号を出力するので、
判断手段は複数の光センサの各々からの出力信号の大き
さが同一である場合にスリット光の光束面が被測定物に
対し垂直となるように照射されたと判断することができ
る。

【００１３】従って、判断手段がスリット光の光束面が
被測定物に対して垂直となるように照射されたと判断し
且つ輝線が連続していると判断した場合に、演算手段が
信号出力手段から出力された被測定物上の輝線を表す信
号に基づいて、輝線を構成する線分の各々に対応する被
測定物の部位の寸法を演算することにより、適切な寸法
の演算結果が求められる。そして、出力手段が適切な寸
法の演算結果を出力するので、正しい寸法を得ることが
できる。

【００１４】これにより、寸法測定器を保持しているオ
ペレータの手振れ等により正確な寸法測定を行うことが
できないという問題が解消され、被測定物の正確な寸法
測定を容易かつ迅速に行うことができる。

【００１５】また、請求項２記載の発明では、指示手段
が、判断手段によりスリット光の光束面が被測定物に対
して垂直となるように照射されていないと判断された場
合にスリット光の光束面を被測定物に対して垂直とする
ためのケーシングの移動方向及び回転方向を指示するの
で、寸法測定器を用いて測定するオペレータはスリット
光の光束面を被測定物に対して垂直とするための調整作
業を容易かつ迅速に行うことができる。これにより被測
定物の寸法測定をより一層容易かつ迅速に行うことがで
きる。

【００１６】

【実施例】以下、図面を参照して、本発明の寸法測定器
の一実施例を説明する。なお、以下の実施例では図１に
示すように上面に深さが一定の溝部２０Ａが形成された
略直方体の被測定物２０を対象として、溝部２０Ａの段
差Ｌ及び隙間Ｑを測定する例を示す。なお、説明の便宜
上、図１に示す矢印Ｓに沿った方向をケーシング１１の
前後方向とし、そのうち矢印Ｓ方向を後ろ方向とする。
また、矢印Ｔに沿った方向をケーシング１１の左右方向
とし、そのうち矢印Ｔ方向を右方向とする。

【００１７】図１に示すように、寸法測定器１０は外形
が胴長の略直方体であるケーシング１１を備えており、
このケーシング１１のスリット光１８を射出する面（以
下、ヘッドと称す）と反対側の面（図１において上面）
には、寸法の測定結果等を表示する出力手段としての液
晶ディスプレイ１２及びケーシング１１の姿勢を調整す
べき方向をオペレータに指示するための左右姿勢指示部
１４及び前後姿勢指示部１５が設けられている。左右姿
勢指示部１４は、ケーシング１１の姿勢を右回り（ケー
シング１１における矢印Ｓ方向の回転軸１−１線を中心
とした矢印Ｊで示す回転方向）に傾けるように指示する
右ランプ１４Ａ、現状のまま維持するように指示する中
央ランプ１４Ｂ、及び左回りに傾けるように指示する左
ランプ１４Ｃを備えている。また、前後姿勢指示部１５
は、ケーシング１１の姿勢を後ろ（ケーシング１１にお
ける矢印Ｔ方向の回転軸２−２線を中心とした矢印Ｋで
示す回転方向）に傾けるように指示する後ろランプ１５
Ｃ、現状のまま維持するように指示する中央ランプ１５
Ｂ、及び前に傾けるように指示する前ランプ１５Ａを備
えている。

【００１８】また、ケーシング１１の側面には、ケーシ
ング１１と被測定物２０との距離を調整すべき方向をオ
ペレータに指示するための距離調整指示部１６が設けら
れている。距離調整指示部１６は、ケーシング１１を被
測定物２０に近づけるように指示する近ランプ１６Ｃ、
ケーシング１１と被測定物２０との距離を現状のまま維
持するように指示する中央ランプ１６Ｂ、及びケーシン
グ１１を被測定物２０から遠ざけるように指示する遠ラ
ンプ１６Ａを備えている。

【００１９】図２に示すように寸法測定器１０は、光源
としての半導体レーザー２６、球面レンズで構成された
コリメータレンズ２８、及び入射されたレーザービーム
を一方向にスリット状に発散させるロッドレンズ３０を
備えた光源装置２４と、光源装置２４から射出されたス
リット光を透過し被測定物２０からの反射光を反射する
ビームスプリッタ３１と、一対の光センサ３３Ａ、３３
Ｂを備えた二分割フォトセンサ３３と、受光レンズ３４
及び二次元ＣＣＤセンサ３６を備えた受光装置３２と、
二次元ＣＣＤセンサ３６に接続された演算装置４０と、
寸法測定器１０による寸法の開始又は停止を指示するた
めのスイッチ５８と、上述した液晶ディスプレイ１２
と、左右姿勢指示部１４と、前後姿勢指示部１５と、距
離調整指示部１６と、を備えており、これらは全て図１
のケーシング１１内に収納されている。なお、上記のう
ち、二次元ＣＣＤセンサ３６は本発明の信号出力手段
に、光源装置２４は本発明の射出手段に、左右姿勢指示
部１４、前後姿勢指示部１５及び距離調整指示部１６は
本発明の指示手段に、それぞれ対応している。

【００２０】この寸法測定器１０によれば、ロッドレン
ズ３０から射出されたスリット光が被測定物２０の被測
定面２０Ｂに照射される。この時、被測定面２０Ｂ上に
は輝線２２が生じる。被測定面２０Ｂに照射されて反射
されたスリット光は、受光レンズ３４によって、二次元
ＣＣＤセンサ３６の受光面（結像領域）に結像される。
従って、この二次元ＣＣＤセンサ３６の結像領域には、
被測定面２０Ｂ上の輝線２２の像（以下、スリット像と
いう）３８が結像される。また、二次元ＣＣＤセンサ３
６は、このスリット像３８の位置及び光強度に応じた電
気信号を演算装置４０に出力するようになっている。上
記の受光装置３２の光軸は光源装置２４の光軸と所定の
角度をもって設置されている。このため、輝線２２上の
点（以下、光点と称す）の位置が、段差や変位に応じて
光源装置２４の光軸方向（図２の矢印Ｒ方向）に変位す
ることにより、図７（Ｂ）に示したように二次元ＣＣＤ
センサ３６の結像領域に結像されるスリット像３８にお
いて前記変位した光点に対応する部分は、前記光点の変
位量に応じて所定方向（図７（Ｂ）のＺ軸方向）に変位
した位置に現れることとなる。

【００２１】演算装置４０は、増幅回路（ＡＭＰ）４２
を備えており、増幅回路４２の入力端は二次元ＣＣＤセ
ンサ３６に接続されている。増幅回路４２は二次元ＣＣ
Ｄセンサ３６から出力された信号を所定の増幅率で増幅
して出力する。増幅回路４２の出力端はアナログデジタ
ル変換器（以下、Ａ／Ｄ変換器と称す）４４の入力端に
接続されており、Ａ／Ｄ変換器４４の出力端は、被測定
面２０Ｂ上の光点の２次元座標値等の演算を行うマイク
ロコンピュータ（マイコン）４６に接続されている。こ
のマイコン４６は、ＣＰＵ５０、ＲＯＭ５２、ＲＡＭ５
４、及び外部の装置との入出力を行なう入出力ポート
（以下、Ｉ／Ｏと称す）４８を備えており、これらはバ
ス５６によって接続されデータ及びコマンドが相互にや
りとりが可能になっている。上記のＩ／Ｏ４８には上述
したスイッチ５８及び液晶ディスプレイ１２が接続され
ている。

【００２２】上述した左右姿勢指示部１４には、右ラン
プ１４Ａ、中央ランプ１４Ｂ及び左ランプ１４Ｃの各々
に接続されこれらの各ランプの点灯・消灯を駆動する駆
動回路１４Ｄが設けられており、この駆動回路１４Ｄは
Ｉ／Ｏ４８にも接続されている。また、距離調整指示部
１６には、近ランプ１６Ｃ、中央ランプ１６Ｂ及び遠ラ
ンプ１６Ａの各々に接続されこれらの各ランプの点灯・
消灯を駆動する駆動回路１６Ｄが設けられており、この
駆動回路１６ＤはＩ／Ｏ４８にも接続されている。

【００２３】また、上記のビームスプリッタ３１は、光
源装置２４のスリット光射出方向（矢印Ｒ方向）下流側
に配置され、光源装置２４から射出されたスリット光１
８を透過し、被測定物からの反射光を反射面３１Ａによ
り光源装置２４のスリット光射出方向の略垂直方向（矢
印Ｓ方向）に反射する。このビームスプリッタ３１によ
る反射方向（矢印Ｓ方向）下流側には、一対の光センサ
３３Ａ、３３Ｂを備えた二分割フォトセンサ３３が配設
されており、光センサ３３Ａ、３３Ｂは各々ビームスプ
リッタ３１により反射された光を受光し受光量に応じた
大きさの信号を出力する。更に、光センサ３３Ａ、３３
Ｂは以下のように配置されている。

【００２４】即ち、図３（Ａ）に示すようにスリット光
１８の光束面が被測定面２０Ｂに対し垂直となるように
スリット光１８が被測定面２０Ｂに照射され、スリット
光１８の被測定面２０Ｂによる反射光１９が反射面３１
Ａにより反射光１９の光束面に対し略垂直方向に反射さ
れた場合、図３（Ｂ）に示すように、一対の光センサ３
３Ａ、３３Ｂは３−３線で示す反射光１９の厚み方向
（矢印Ｒ方向）の中心面（図３（Ｂ）においては真横か
ら投影しているため直線で表示される）を中心として、
矢印Ｒ方向に反射光１９の厚さＤ１よりも小さい間隔Ｄ
２をあけて配置されている。

【００２５】図４に示すように、上記の光センサ３３
Ａ、３３Ｂの各々からの出力を受け取る前後姿勢指示部
１５は、前ランプ１５Ａ、中央ランプ１５Ｂ、後ろラン
プ１５Ｃ及びこれらの各ランプの点灯・消灯を駆動する
駆動回路１５Ｄを備えている。光センサ３３Ａ、３３Ｂ
の出力端にはそれぞれ光量電圧変換器１５Ｅ、１５Ｆが
接続されており、これらは光センサ３３Ａ、３３Ｂの各
々が出力した信号を受信しその受信信号の大きさに応じ
た電圧に変換する。光量電圧変換器１５Ｅ、１５Ｆの出
力端は共に差動アンプ１５Ｇの入力端及び加算アンプ１
５Ｈの入力端に接続されている。

【００２６】差動アンプ１５Ｇは、光量電圧変換器１５
Ｅの出力電圧Ｖ_E から光量電圧変換器１５Ｆの出力電圧
Ｖ_F を減算し、その減算した値を予め定められた増幅率
で増幅した電圧Ｖ₁ に変換する。また加算アンプ１５Ｈ
は光量電圧変換器１５Ｅの出力電圧Ｖ_E と光量電圧変換
器１５Ｆの出力電圧Ｖ_F とを加算し、その加算した値を
予め定められた増幅率で増幅した電圧Ｖ₂ に変換する。

【００２７】差動アンプ１５Ｇの出力端はウインドウコ
ンパレータ１５Ｉに接続されており、ウインドウコンパ
レータ１５Ｉは入力された差動アンプ１５Ｇの出力電圧
Ｖ₁の絶対値が予め定められた閾値Ｖ_a 未満の場合出力
端Ｙから所定の信号を出力し、差動アンプ１５Ｇの出力
電圧Ｖ₁ が正の値でありその絶対値が上記の閾値Ｖ_a以
上の場合出力端Ｘから所定の信号を出力し、差動アンプ
１５Ｇの出力電圧Ｖ₁が負の値でありその絶対値が上記
の閾値Ｖ_a 以上の場合出力端Ｚから所定の信号を出力す
る。上記の出力端Ｘ、Ｙ、Ｚはそれぞれ前ランプ１５
Ａ、中央ランプ１５Ｂ、後ろランプ１５Ｃに接続されて
おり、出力端Ｙは更に乗算器１５Ｋにも接続されてい
る。また、乗算器１５Ｋの出力端はＩ／Ｏ４８に接続さ
れている。

【００２８】加算アンプ１５Ｈの出力端はコンパレータ
１５Ｊに接続されており、コンパレータ１５Ｊは入力さ
れた加算アンプ１５Ｈの出力電圧Ｖ₂ が予め定められた
閾値Ｖ_b 以上である場合に所定の信号を出力する。コン
パレータ１５Ｊの出力端は前ランプ１５Ａ、中央ランプ
１５Ｂ、後ろランプ１５Ｃ及び乗算器１５Ｋに接続され
ている。

【００２９】前ランプ１５Ａ、中央ランプ１５Ｂ及び後
ろランプ１５Ｃの各々は、ウインドウコンパレータ１５
Ｉとコンパレータ１５Ｊとから共に所定の信号を受信し
た時のみランプが点灯するようになっている。また、乗
算器１５Ｋもウインドウコンパレータ１５Ｉとコンパレ
ータ１５Ｊとから共に所定の信号を受信した時のみ、ス
リット光１８の光束面が被測定面２０Ｂに対し垂直であ
ることを示す所定の信号（以下、垂直信号と称す）をＩ
／Ｏ４８へ送信するようになっている。

【００３０】以下、本実施例の作用として、被測定面２
０Ｂに形成された隙間及び段差の寸法を測定する場合に
関して説明する。

【００３１】図１に示すようにケーシング１１がそのヘ
ッドを被測定面２０Ｂに向けてオペレータにより保持さ
れ、寸法測定器１０のスイッチ５８がオンされると、半
導体レーザー２６からレーザービームが射出される。射
出されたレーザービームは、コリメータレンズ２８で平
行光束とされ、ロッドレンズ３０でスリット状に発散さ
れて、スリット光１８として被測定面２０Ｂに照射され
る。これにより、被測定面２０Ｂ上には輝線２２が現れ
る。被測定面２０Ｂで反射されたスリット光は、受光レ
ンズ３４により二次元ＣＣＤセンサ３６の結像領域に、
被測定面２０Ｂの凹凸に応じて変化する輝線２２の像
（スリット像３８）として結像される。そして、二次元
ＣＣＤセンサ３６はこのスリット像３８の位置及び光強
度に応じた検出信号を演算装置４０へ出力する。

【００３２】演算装置４０に入力されたスリット像３８
の検出信号は、増幅回路４２によって所定の増幅率で増
幅されてＡ／Ｄ変換器４４に入力される。そして、Ａ／
Ｄ変換器４４によって所定時間毎にサンプリングされて
デジタル信号に変換され、マイコン４６に出力される。

【００３３】ここでデジタル信号がマイコン４６に入力
されたことを、ＣＰＵ５０が検出することにより、ＣＰ
Ｕ５０により図５に示す制御ルーチンが開始される。

【００３４】以下、この制御ルーチンの流れを説明す
る。ステップ１０２において上記のデジタル信号、即ち
二次元ＣＣＤセンサ３６により出力されたスリット像３
８の位置及び光強度に応じた検出信号を増幅しアナログ
デジタル変換した信号を取り込む。次のステップ１０４
では図１０に示すように、取り込んだデジタル信号に基
づいて結像領域３５上の全ての走査線上のスリット像３
８の位置（矢印Ｚ方向の変位量）を求めることによりス
リット像３８を認識した上で、このスリット像３８が二
次元ＣＣＤセンサ３６の結像領域３５における被測定面
の段差方向に対応する方向（図７（Ａ）乃至（Ｃ）の矢
印Ｚ方向及びその反対方向）にずれて欠けているか否か
を判断する。

【００３５】ところで、ケーシング１１と被測定面２０
Ｂとが近すぎる、即ち図６に示す距離範囲Ａに被測定面
２０Ｂが位置する場合、図７（Ｃ）に示すように二次元
ＣＣＤセンサ３６の結像領域３５には、矢印Ｚ方向に反
射光がずれて照射され、実線で示す不連続な輝線を表す
スリット像３８が結像される。一方、ケーシング１１と
被測定面２０Ｂとが遠すぎる、即ち図６に示す距離範囲
Ｃに被測定面２０Ｂが位置する場合、図７（Ａ）に示す
ように結像領域３５には矢印Ｚと反対方向に反射光がず
れて照射され、実線で示す不連続な輝線を表すスリット
像３８が結像される。

【００３６】これにより、ケーシング１１と被測定面２
０Ｂとが近すぎる場合又は遠すぎる場合、ステップ１０
４で肯定判断されステップ１０８へ進み、スリット像３
８が二次元ＣＣＤセンサ３６の結像領域の矢印Ｚ方向に
ずれて欠けたか否かを判断する。ケーシング１１と被測
定面２０Ｂとが近すぎる場合、肯定判断されステップ１
１０へ進み遠ランプ１６Ａを点灯させるための選択信号
を駆動回路１６Ｄへ送信する。この選択信号を受信した
駆動回路１６Ｄは選択信号に従って遠ランプ１６Ａに所
定の電流を供給し、遠ランプ１６Ａを点灯させる。これ
によりオペレータは遠ランプ１６Ａが点灯したことを認
知し、ケーシング１１を被測定面２０Ｂから遠ざける。
一方、ケーシング１１と被測定面２０Ｂとが遠すぎる場
合、ステップ１０８では否定判断されステップ１１２へ
進み近ランプ１６Ｃを点灯させるための選択信号を駆動
回路１６Ｄへ送信する。この選択信号を受信した駆動回
路１６Ｄは選択信号に従って近ランプ１６Ｃに所定の電
流を供給し、近ランプ１６Ｃを点灯させる。これにより
オペレータは近ランプ１６Ｃが点灯したことを認知し、
ケーシング１１を被測定面２０Ｂに近づける。

【００３７】以上のようにしてケーシング１１と被測定
面２０Ｂとが近すぎる（被測定面２０Ｂが図６の距離範
囲Ａに位置する）場合又は遠すぎる（被測定面２０Ｂが
図６の距離範囲Ｃに位置する）場合には、被測定面２０
Ｂが図６の距離範囲Ｂに位置するようにケーシング１１
と被測定面２０Ｂとの距離が調整される。そして調整後
の状態で再度上述したステップ１０２以降の処理が行わ
れる。上記のような調整後の状態でも被測定面２０Ｂが
図６の距離範囲Ｂに位置しない場合には再びケーシング
１１と被測定面２０Ｂとの距離の調整が行われる。この
ような調整の繰り返しによりケーシング１１に対し被測
定面２０Ｂが図６の距離範囲Ｂに至る。

【００３８】ケーシング１１に対し被測定面２０Ｂが図
６の距離範囲Ｂに至ると、ステップ１０４で否定判断さ
れ、ステップ１０６へ進み距離調整指示部１６の中央ラ
ンプ１６Ｂを点灯させるための選択信号を駆動回路１６
Ｄへ送信する。この選択信号を受信した駆動回路１６Ｄ
は選択信号に従って中央ランプ１６Ｂに所定の電流を供
給し、中央ランプ１６Ｂを点灯させる。オペレータは中
央ランプ１６Ｂが点灯したことを認知し、ケーシング１
１と被測定面２０Ｂとの距離を現状のまま保持する。

【００３９】上記のようにケーシング１１と被測定面２
０Ｂとが近すぎる場合は遠ランプ１６Ａを、遠すぎる場
合は近ランプ１６Ｃを、近すぎることも遠すぎることも
ない場合は中央ランプ１６Ｂを、それぞれ点灯させるの
で、オペレータは点灯したランプを識別し当該ランプに
対応する距離調整を行うことにより、容易に距離調整を
行うことができる。

【００４０】次のステップ１１４では上記のステップ１
０４で認識したスリット像３８において段差の底部に対
応する部分が欠けているか否かを判断する。

【００４１】ところで、図８（Ａ）に示すようにスリッ
ト光１８の光軸１８Ａが被測定面２０Ｂに対し矢印Ｔと
反対方向（なお、図８（Ａ）乃至（Ｃ）の矢印Ｔ方向と
図１の矢印Ｔ方向とは一致する）に大きく傾いている場
合、段差の側面及び底面の一部にスリット光１８が照射
されない影の部分７４が生じるため、図８（Ｂ）に示す
ように結像領域３５において段差の底部に対応する部分
３８Ａの上側が欠ける。また、図８（Ｅ）に示すように
スリット光１８の光軸１８Ａが被測定面２０Ｂに対し矢
印Ｔ方向に大きく傾いている場合、段差の側面及び底面
の一部にスリット光１８が照射されない影の部分７６が
生じるため、図８（Ｆ）に示すように結像領域３５にお
いて段差の底部に対応する部分３８Ａの下側が欠ける。
但し、図８（Ｃ）に示すようにスリット光１８の光軸１
８Ａが被測定面２０Ｂに対し略垂直である場合、上記の
ようにスリット光１８が照射されない影の部分は生じな
いため、図８（Ｄ）に示すようにスリット像３８には欠
けた部分は生じない。

【００４２】これにより、スリット光１８の光軸１８Ａ
が被測定面２０Ｂに対し矢印Ｔ方向に傾きすぎている場
合又は矢印Ｔと反対方向に傾きすぎている場合、スリッ
ト像３８の段差の底部に対応する部分３８Ａに欠けた部
分が生じ、ステップ１１４で肯定判断されステップ１１
６へ進む。ステップ１１６では結像領域３５において段
差の底部に対応する部分３８Ａの上側が欠けているか否
かを判断する。スリット光１８の光軸１８Ａが被測定面
２０Ｂに対し矢印Ｔと反対方向に傾きすぎている場合、
肯定判断されステップ１２０へ進み右ランプ１４Ａを点
灯させるための選択信号を駆動回路１４Ｄへ送信する。
この選択信号を受信した駆動回路１４Ｄは選択信号に従
って右ランプ１４Ａに所定の電流を供給し、右ランプ１
４Ａを点灯させる。オペレータは右ランプ１４Ａが点灯
したことを認知し、ケーシング１１を右方向（図１の１
−１線を中心とした矢印Ｊ方向）へ回転させる。また、
スリット光１８の光軸１８Ａが被測定面２０Ｂに対し矢
印Ｔ方向に傾きすぎている場合、否定判断されステップ
１１８へ進み左ランプ１４Ｃを点灯させるための選択信
号を駆動回路１４Ｄへ送信する。この選択信号を受信し
た駆動回路１４Ｄは選択信号に従って左ランプ１４Ｃに
所定の電流を供給し、左ランプ１４Ｃを点灯させる。オ
ペレータは左ランプ１４Ｃが点灯したことを認知し、ケ
ーシング１１を左方向（図１の１−１線を中心とした矢
印Ｊと反対方向）へ回転させる。

【００４３】以上のようにスリット光１８の光軸１８Ａ
が被測定面２０Ｂに対し矢印Ｔ方向に傾きすぎている場
合又は矢印Ｔと反対方向に傾きすぎている場合、スリッ
ト光１８の光軸１８Ａが被測定面２０Ｂに対し垂直に近
くなるようにスリット光１８の光軸１８Ａの被測定面２
０Ｂに対する傾きが調整される。そして調整後の状態で
再度上述したステップ１０２以降の処理が行われる。調
整後の状態でもスリット像３８において段差の底部に対
応する部分３８Ａが欠けている場合には再び調整が行わ
れる。このような調整の繰り返しによりスリット光１８
の光軸１８Ａが被測定面２０Ｂに対し垂直に近くなるよ
うに調整され、スリット像３８において段差の底部に対
応する部分３８Ａは欠けることなく、連続した軌跡とな
る。

【００４４】スリット像３８が連続した軌跡になると、
ステップ１１４で否定判断され、ステップ１２２へ進み
左右姿勢指示部１４の中央ランプ１４Ｂを点灯させるた
めの選択信号を駆動回路１４Ｄへ送信する。この選択信
号を受信した駆動回路１４Ｄは選択信号に従って中央ラ
ンプ１４Ｂに所定の電流を供給し、中央ランプ１４Ｂを
点灯させる。オペレータは中央ランプ１４Ｂが点灯した
ことを認知し、ケーシング１１の姿勢を現状のまま保持
する。

【００４５】上記のようにスリット光１８の光軸１８Ａ
が被測定面２０Ｂに対し矢印Ｔと反対方向に傾きすぎて
いる場合は右ランプ１４Ａを、光軸１８Ａが被測定面２
０Ｂに対し矢印Ｔ方向に傾きすぎている場合は左ランプ
１４Ｃを、光軸１８Ａが被測定面２０Ｂに対し略垂直で
ありスリット像３８に欠けた部分が無い場合は中央ラン
プ１４Ｂを、それぞれ点灯させるので、オペレータは点
灯したランプを識別し当該ランプに対応する姿勢調整を
行うことにより、容易に姿勢調整を行うことができる。

【００４６】次のステップ１２４では前後姿勢指示部１
５の駆動回路１５Ｄから垂直信号を受信したか否かを判
断する。

【００４７】即ち、図３（Ｃ）に示すように、スリット
光１８の光束面が被測定面２０Ｂに対し垂直となるよう
にスリット光１８が被測定面２０Ｂに照射されていない
場合、スリット光１８の光束面とスリット光１８の被測
定面２０Ｂによる反射光１９の光束面とは重ならず、図
３（Ｄ）に示すようにビームスプリッタ３１の反射面３
１Ａにより反射された反射光１９の光路が３−３線から
ずれて、光センサ３３Ａ、３３Ｂは異なった光量の反射
光１９を受光する。

【００４８】例えば、図３（Ｄ）のように反射光１９が
光センサ３３Ｂにのみ受光され、光センサ３３Ａには受
光されない場合、光センサ３３Ｂは受光した反射光１９
の光量に応じた大きさの信号を出力し、光センサ３３Ａ
は信号を出力しないので、光量電圧変換器１５Ｆの出力
電圧Ｖ_F が光量電圧変換器１５Ｅの出力電圧Ｖ_E （実際
は値が「０」）よりも高くなる。これに伴い差動アンプ
１５Ｇは電圧Ｖ_E から電圧Ｖ_F を減算した値、「−
Ｖ_F 」を予め定められた増幅率で増幅した電圧Ｖ₁に変
換して出力する。この出力電圧Ｖ₁ はウインドウコンパ
レータ１５Ｉに入力され、ウインドウコンパレータ１５
Ｉは出力電圧Ｖ₁ が負の値でありその絶対値が予め定め
られた閾値Ｖ_a 以上であるので出力端Ｚから所定の信号
を後ろランプ１５Ｃへ出力する。

【００４９】一方、加算アンプ１５Ｈは光量電圧変換器
１５Ｅの出力電圧Ｖ_E と光量電圧変換器１５Ｆの出力電
圧Ｖ_F とを加算し、加算した値を予め定められた増幅率
で増幅した電圧Ｖ₂ に変換して出力する。この出力電圧
Ｖ₂ はコンパレータ１５Ｊに入力され、コンパレータ１
５Ｊは加算アンプ１５Ｈの出力電圧Ｖ₂ が予め定められ
た閾値Ｖ_b 以上であるので所定の信号を、前ランプ１５
Ａ、中央ランプ１５Ｂ、後ろランプ１５Ｃ及び乗算器１
５Ｋへ出力する。

【００５０】これにより、後ろランプ１５Ｃではウイン
ドウコンパレータ１５Ｉから出力された信号とコンパレ
ータ１５Ｊから出力された信号とが共に受信されるた
め、後ろランプ１５Ｃは点灯する。一方、前ランプ１５
Ａ及び中央ランプ１５Ｂではコンパレータ１５Ｊから出
力された信号は受信されるが、ウインドウコンパレータ
１５Ｉから出力された信号は受信されないため、前ラン
プ１５Ａ及び中央ランプ１５Ｂは点灯しない。更に、乗
算器１５Ｋでもコンパレータ１５Ｊから出力された信号
は受信されるが、ウインドウコンパレータ１５Ｉから出
力された信号は受信されないため、乗算器１５Ｋは垂直
信号をＩ／Ｏ４８へ送信しない。従って、ステップ１２
４では否定判断される。

【００５１】オペレータは後ろランプ１５Ｃが点灯した
ことを認知し、ケーシング１１を後ろ（図１の２−２線
を中心とした矢印Ｋ方向）に回転させる。

【００５２】その後ステップ１０２以降の処理が再び行
われ、上記のようにケーシング１１の姿勢の調整が繰り
返されると、スリット光１８の光束面が被測定面２０Ｂ
に対し垂直に近づいていく。

【００５３】なお、上記とは逆に反射光１９が図３
（Ｄ）において上側にずれて、光センサ３３Ａの受光光
量よりも光センサ３３Ｂの受光光量の方が多くなった場
合も、上記と同様にウインドウコンパレータ１５Ｉは出
力電圧Ｖ₁ が正の値でありその絶対値が予め定められた
閾値Ｖ_a 以上であるので出力端Ｘから所定の信号を前ラ
ンプ１５Ａへ出力し、コンパレータ１５Ｊは加算アンプ
１５Ｈの出力電圧Ｖ₂ が予め定められた閾値Ｖ_b 以上で
あるので所定の信号を、前ランプ１５Ａ、中央ランプ１
５Ｂ、後ろランプ１５Ｃ及び乗算器１５Ｋへ出力する。
これにより、後ろランプ１５Ｃ及び中央ランプ１５Ｂは
点灯せず、前ランプ１５Ａのみが点灯する。オペレータ
はこの前ランプ１５Ａが点灯したことを認知し、ケーシ
ング１１を前（図１の２−２線を中心とした矢印Ｋ方
向）に回転させる。また、乗算器１５Ｋは垂直信号をＩ
／Ｏ４８へ送信しないため、ステップ１２４では否定判
断され、ステップ１０２以降の処理が再び行われる。そ
の後、ケーシング１１の姿勢の調整が繰り返され、スリ
ット光１８の光束面が被測定面２０Ｂに対し垂直に近づ
いていく。

【００５４】そして、スリット光１８の光束面が被測定
面２０Ｂに対し垂直となった時、図３（Ａ）に示すよう
にスリット光１８の光束面とスリット光１８の被測定面
２０Ｂによる反射光１９の光束面とが重なり、スリット
光１８の被測定面２０Ｂによる反射光１９が反射面３１
Ａにより反射光１９の光束面に対し略垂直方向に反射さ
れ、図３（Ｂ）に示すようにビームスプリッタ３１の反
射面３１Ａにより反射された反射光１９の光路の中心線
が３−３線に一致し、光センサ３３Ａ、３３Ｂは同一の
光量の反射光１９を受光する。

【００５５】これにより、光センサ３３Ａ、３３Ｂは同
じ大きさの信号を出力するため、光量電圧変換器１５Ｆ
の出力電圧Ｖ_F と光量電圧変換器１５Ｅの出力電圧Ｖ_E
とは同じ大きさになる。従って、差動アンプ１５Ｇは出
力電圧Ｖ_E と出力電圧Ｖ_F との差「０」を検出し、差動
アンプ１５Ｇによる出力電圧Ｖ₁ は「０」となる。しか
し、実際には光量電圧変換器１５Ｆ、光量電圧変換器１
５Ｅ及び差動アンプ１５Ｇの作動誤差等により「０」に
近い微小な電圧Ｖ₁ が出力されることもある。この出力
電圧Ｖ₁ はウインドウコンパレータ１５Ｉに入力され、
ウインドウコンパレータ１５Ｉは出力電圧Ｖ₁ の絶対値
が予め定められた閾値Ｖ_a 未満であるので出力端Ｙから
中央ランプ１５Ｂ及び加算器１５Ｋへそれぞれ所定の信
号を出力する。

【００５６】一方、加算アンプ１５Ｈは光量電圧変換器
１５Ｆの出力電圧Ｖ_F と光量電圧変換器１５Ｅの出力電
圧Ｖ_E とを加算し、加算した値を予め定められた増幅率
で増幅した電圧Ｖ₂ に変換して出力する。この出力電圧
Ｖ₂ はコンパレータ１５Ｊに入力され、コンパレータ１
５Ｊは加算アンプ１５Ｈの出力電圧Ｖ₂ が予め定められ
た閾値Ｖ_b 以上であるので所定の信号を、前ランプ１５
Ａ、中央ランプ１５Ｂ、後ろランプ１５Ｃ及び乗算器１
５Ｋへ出力する。

【００５７】これにより、中央ランプ１５Ｂ及び乗算器
１５Ｋではウインドウコンパレータ１５Ｉから出力され
た信号とコンパレータ１５Ｊから出力された信号とが共
に受信されるため、中央ランプ１５Ｂは点灯し、乗算器
１５Ｋは垂直信号をＩ／Ｏ４８へ送信する。一方、前ラ
ンプ１５Ａ及び後ろランプ１５Ｃではコンパレータ１５
Ｊから出力された信号は受信されるが、ウインドウコン
パレータ１５Ｉから出力された信号は受信されないた
め、前ランプ１５Ａ及び後ろランプ１５Ｃは点灯しな
い。オペレータは中央ランプ１５Ｂが点灯したことを認
知し、ケーシング１１の姿勢を現状のまま保持する。

【００５８】上記のようにスリット光１８の光束面が被
測定面２０Ｂに対し垂直でない場合はスリット光１８の
光束面が被測定面２０Ｂに対し垂直となるように、スリ
ット光１８の光束面が被測定面２０Ｂに対し垂直である
場合はケーシング１１の姿勢を現状維持するように、前
ランプ１５Ａ、中央ランプ１５Ｂ、後ろランプ１５Ｃの
何れかのランプを点灯させることによりケーシング１１
の前後方向の姿勢の調整すべき方向を指示するので、オ
ペレータは点灯したランプを識別し当該ランプに対応す
る姿勢調整を行うことにより、容易に姿勢調整を行うこ
とができる。

【００５９】上述したように乗算器１５Ｋは垂直信号を
Ｉ／Ｏ４８へ送信し、その垂直信号がＩ／Ｏ４８により
受信されると、ステップ１２４では肯定判断され、ステ
ップ１２６へ進む。ステップ１２６ではスリット像３８
に基づいた段差及び隙間の寸法（以下、段差・隙間寸法
と称す）の演算を行う。この段差・隙間寸法の演算に関
して、以下に説明する。

【００６０】図１０（Ａ）に示すように二次元ＣＣＤセ
ンサ３６の結像領域３５に結像されたスリット像３８
は、被測定面２０Ｂの中央部に形成された凹部に対応し
て、Ｙ軸方向に沿った中央部のみＺ軸の負方向に変位し
た像となる。更に、そのＺ軸の負方向の変位量は上記の
凹部の段差の大きさと相関がある（正比例）。また、上
記のＺ軸の負方向に変位した部位（段差の底部に対応す
る部分）３８ＡのＹ軸方向の長さは上記の凹部の隙間の
大きさと相関がある（正比例）。

【００６１】一方、結像領域３５の図１０（Ａ）のＺ軸
方向に対応する任意の走査線３７Ａ、３７Ｂの出力信号
は、図１０（Ｂ）、（Ｃ）に示したようになる。二次元
ＣＣＤセンサ３６は、このような信号を演算装置４０に
出力する。この出力信号の振幅が大きい部位が走査線上
のスリット部分、即ちスリット像の位置になる。従っ
て、入力された信号に基づいて演算装置４０により結像
領域３５上の全ての走査線上のスリット像３８の位置を
求め、その求めた位置からスリット像３８におけるＺ軸
の負方向の変位量と上記の凹部の段差との相関関係及び
スリット像３８におけるＺ軸の負方向に変位した部位
（段差の底部に対応する部分）３８ＡのＹ軸方向の長さ
と上記の凹部の隙間との相関関係に基づいて、被測定面
２０Ｂの隙間及び段差を求めることができる。

【００６２】次のステップ１２８ではステップ１２６で
演算して得られた段差・隙間寸法を表形式にして液晶デ
ィスプレイ１２に表示させる。本実施例では段差・隙間
寸法は１組だけであるが、段差や隙間が複数形成された
被測定面を対象として測定した場合には、ケーシング１
１との相対的な位置関係において予め定められた方向か
ら順に第１の段差（又は隙間）、第２の段差（又は隙
間）、以下同様、というように複数の段差・隙間を識別
した上で、上記のように各々の段差・隙間寸法を表形式
にして液晶ディスプレイ１２に表示させる。オペレータ
は液晶ディスプレイ１２に表示された段差・隙間寸法を
見て、正しい段差・隙間寸法を得ることができる。

【００６３】そして、段差・隙間寸法を得たオペレータ
により寸法測定器１０のスイッチ５８がオフされると、
上述した制御ルーチンの実行は停止され、半導体レーザ
ー２６からのレーザービームの射出も停止される。

【００６４】以上説明したように、本実施例の寸法測定
器は、スリット光の光束面が被測定物に対して垂直であ
るか否かの判断、及び輝線が連続しているか否かの判断
を自動的に行い、スリット光の光束面が被測定物に対し
て垂直であり且つ輝線が連続している時の段差・隙間寸
法、即ち正しい段差・隙間寸法を求め、求めた正しい段
差・隙間寸法を液晶ディスプレイに表示するので、寸法
測定器を保持しているオペレータの手振れにより正確な
寸法測定を行うことができないという従来の問題を解消
し、段差・隙間の寸法測定を容易かつ迅速に行うことが
できる。

【００６５】なお、本実施例では被測定面の隙間または
段差を測定する例を示したが、本発明はそれら以外の局
部的な部位の寸法、例えば突起の高さや円孔の直径等の
測定にも適用でき、また微小な被測定物の外形寸法の測
定にも適用できる。

【００６６】また、本実施例では隙間または段差の測定
値を液晶ディスプレイ１２に表示する例を示したが、本
発明の出力手段はこれに限定されるものではなく、例え
ばプリンタ等により紙等の記録媒体に印刷することによ
って測定値の出力したり、スピーカ等の音声出力装置か
ら測定値を音声出力したり、寸法測定器に通信ケーブル
等を介して接続されたコンピュータシステムに設けられ
た端末ディスプレイ等に測定値を表示しても良い。

【００６７】また、本実施例ではケーシング１１に設け
た複数のランプの何れかのランプを点灯させることによ
りケーシングの向き又は被測定物に対するケーシングの
距離を変化させる指示を出力する例を示したが、本発明
の指示手段はこれに限定されるものではなく、例えばス
ピーカ等の音声出力装置から指示を音声出力したり、寸
法測定器に通信ケーブル等を介して接続されたコンピュ
ータシステムに設けられた端末ディスプレイ等に指示を
表示しても良い。

【００６８】また、本実施例ではロッドレンズを利用し
てスリット状の光を得る例について説明したが、スリッ
ト状の光を得る素子としてシリンドリカルレンズ、シリ
ンドリカルミラー等を用いることもでき、回転多面鏡等
のレーザービームをスキャンすることによりスリット状
の光を得ることもできる。

【００６９】また、本実施例では受光素子として二次元
ＣＣＤセンサを用いた場合について説明したが、二次元
ＣＣＤセンサに限定されるものではなく、１次元ＣＣＤ
センサ、撮像管を用いたテレビジョンシステムによる位
置検出方法を用いてセンサ上で２次元の位置を出力する
ことのできる素子を利用してもよい。

【００７０】

【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、寸法測定
器を保持しているオペレータの手振れ等により正確な寸
法測定を行うことができないという問題を解消し、被測
定物の寸法測定を容易かつ迅速に行うことができるとい
う優れた効果を有する。

【００７１】請求項２記載の発明によれば、オペレータ
はスリット光の光束面を被測定物に対して垂直とするた
めの調整作業を容易かつ迅速に行うことができ、これに
伴い被測定物の寸法測定をより一層容易かつ迅速に行う
ことができるという優れた効果を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例に係る寸法測定器の外観を示す
斜視図である。

【図２】寸法測定器の概略構成を示すブロック図であ
る。

【図３】（Ａ）はスリット光が被測定面に対し垂直に照
射された場合の反射光の光路を、（Ｃ）はスリット光が
被測定面に対し垂直より少しずれて照射された場合の反
射光の光路を、各々示す模式図であり、（Ｂ）、（Ｄ）
は、それぞれ（Ａ）、（Ｃ）の場合の光センサへの反射
光の照射状態を示す模式図である。

【図４】前後姿勢指示部の駆動回路の概要を示すブロッ
ク図である。

【図５】マイクロコンピュータによる制御ルーチンを示
すフローチャートである。

【図６】寸法測定器により測定可能な領域を説明する模
式図である。

【図７】（Ａ）は寸法測定器が被測定面に対し遠すぎる
場合の二次元ＣＣＤセンサの結像領域における反射光の
照射状態を、（Ｂ）は寸法測定器が被測定面に対し適度
な距離とされた場合の二次元ＣＣＤセンサの結像領域に
おける反射光の照射状態を、（Ｃ）は寸法測定器が被測
定面に対し近すぎる場合の二次元ＣＣＤセンサの結像領
域における反射光の照射状態を、各々示す線図である。

【図８】（Ａ）はスリット光の光軸が被測定面に対し矢
印Ｔと反対方向に傾きすぎている状態を、（Ｃ）はスリ
ット光の光軸が被測定面に対し略垂直である状態を、
（Ｅ）はスリット光の光軸が被測定面に対し矢印Ｔ方向
に傾きすぎている状態を、各々示す模式図であり、
（Ｂ）、（Ｄ）、（Ｆ）は、それぞれ（Ａ）、（Ｃ）、
（Ｅ）の場合の二次元ＣＣＤセンサの結像領域における
反射光の照射状態を示す線図である。

【図９】（Ａ）及び（Ｅ）はスリット光が被測定面に対
し傾いている状態を、（Ｃ）はスリット光が被測定面に
対し垂直である状態を、各々示す模式図であり、
（Ｂ）、（Ｄ）、（Ｆ）は、それぞれ（Ａ）、（Ｃ）、
（Ｅ）の場合の二次元ＣＣＤセンサの結像領域における
反射光の照射状態を示す線図である。

【図１０】（Ａ）は二次元ＣＣＤセンサの結像領域にお
けるレーザービームの照射状態を、（Ｂ）及び（Ｃ）は
二次元ＣＣＤセンサの出力信号を、各々示す線図であ
る。

【図１１】（Ａ）は従来寸法測定する際に用いられた治
具の正面図であり、（Ｂ）は（Ａ）に示された治具の側
面図である。

【符号の説明】

１０ 寸法測定器 １１ ケーシング １２ 液晶ディスプレイ（出力手段） １５ 前後姿勢指示部（指示手段） １８ スリット光 ２０ 被測定物 ２４ 光源装置（射出手段） ３６ 二次元ＣＣＤセンサ（信号出力手段）

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 スリット光を被測定物に向けて射出する
   射出手段と、被測定物からのスリット光の反射光を受光
   し、被測定物表面上の輝線に対応した信号を出力する信
   号出力手段と、がケーシングに収納されて構成され、ス
   リット光が被測定物に照射されるようにケーシングが保
   持されることにより被測定物の寸法を測定する寸法測定
   器であって、 前記スリット光の光束面が被測定物に対し垂直となるよ
   うに照射された場合のみ該被測定物からの反射光が各々
   同一の光量受光されるように配置され、受光した光量に
   応じた大きさの信号を出力する複数の光センサと、 前記複数の光センサからの出力信号に基づいて前記スリ
   ット光の光束面が被測定物に対して垂直となるように照
   射されたか否かを判断すると共に、前記信号出力手段か
   ら出力された被測定物上の輝線を表す信号に基づいて輝
   線が連続しているか否かを判断する判断手段と、 前記判断手段により前記スリット光の光束面が被測定物
   に対して垂直となるように照射されたと判断され且つ輝
   線が連続していると判断された場合に、前記信号出力手
   段から出力された被測定物上の輝線を表す信号に基づい
   て、輝線を構成する線分の各々に対応する被測定物の部
   位の寸法を演算する演算手段と、 前記演算手段による演算結果を出力する出力手段と、 を備えた寸法測定器。
2. 【請求項２】 前記判断手段により前記スリット光の光
   束面が被測定物に対して垂直となるように照射されてい
   ないと判断された場合には、前記スリット光の光束面を
   被測定物に対して垂直とするためのケーシングの移動方
   向及び回転方向を指示する指示手段を更に備えたことを
   特徴とする請求項１記載の寸法測定器。