JPH08132616A

JPH08132616A - インクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録装置

Info

Publication number: JPH08132616A
Application number: JP27211294A
Authority: JP
Inventors: Toshihiro Mori; 利浩森; Teruo Ozaki; 照夫尾崎; Masahiko Tonogaki; 雅彦殿垣; Masami Kasamoto; 雅己笠本
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1994-11-07
Filing date: 1994-11-07
Publication date: 1996-05-28

Abstract

(57)【要約】【目的】記録ヘッド用基体の集積回路の入出力部及び
配線部の静電放電による破壊を防止しする。【構成】発熱体の駆動用ドライバ、駆動制御用ロジッ
ク回路および記録信号の受け渡しを行う入出力回路等を
有する記録ヘッド用基体（１０１）を、導電性を有する
支持体（１００）上に接着剤（１１２）により接着して
なる記録ヘッドにおいて、接着剤（１１２）が導電性を
有することを特徴とするインクジェット記録ヘッド。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、インクを噴射すること
により記録を行うインクジェット記録ヘッド及びインク
ジェット記録装置に関する。なお、本発明において用い
る記録とは布や糸等へのプリントをも含む。

【０００２】

【従来の技術】インクジェット記録法（液体噴射記録
法）は、記録時における騒音の発生が無視し得る程度に
極めて小さいという点、及び高速記録が可能であり、し
かも所謂普通紙に定着という特別な処理を必要とせずに
記録を行える点において最近関心を集めている。

【０００３】その中で、例えば特開昭５４−５１８３７
号公報、ドイツ公開（ＤＯＬＳ）第２８４３０６４号公
報に記載されている液体噴射記録法は、熱エネルギーを
液体に作用させて、液滴吐出のための原動力を得るとい
う点において、他の液体噴射記録法とは異なる特徴を有
している。

【０００４】すなわち、上記の公報に開示されている記
録法は、熱エネルギーの作用を受けた液体が急峻な体積
の増大を伴う状態変化を起こし、該状態変化に基づく作
用力によって、記録ヘッド部先端のオリフィスより液体
が吐出されて、飛翔的液滴が形成され、該液滴が被記録
部材に付着し記録が行われるという特徴がある。

【０００５】殊に、ＤＯＬＳ第２８４３０６４号公報に
開示されている液体噴射記録法は、所謂ドロップオンデ
マンド（drop-on demand) 記録法に極めて有効に適用さ
れるばかりでなく、記録ヘッド部をフルライン（full l
ine)タイプで高密度マルチオリフィス化された記録ヘッ
ドが容易に具現化できるので、高密度、高品質の画像を
高速で得られるという特徴を有している。

【０００６】上記の記録法に適用される記録装置の記録
ヘッド部は、液体を吐出するために設けられたオリフィ
スと、該オリフィスに連通し、液滴を吐出するための熱
エネルギーが液体に作用する部分である熱作用部を構成
の一部とする液流路とを有する液吐出部と、熱エネルギ
ーを発生する手段としての電気熱変換体（発熱部）とを
具備している記録ヘッド基板とからなる。

【０００７】近年、その様な記録ヘッド用基板は、複数
の発熱体を基板上に構成するだけでなく、それぞれの発
熱体駆動ドライバーと、直列に入出力される画像データ
をそれぞれドライバーに並列に送るための発熱体と同一
ビット数のシフトレジスタと、シフトレジスタから出力
されるデータを一時記憶するラッチ回路とを同一基板内
に構成できるようになってきた。

【０００８】この回路構成例を図５に示す。５０１が発
熱体、５０２がパワートランジスタ、５０３がラッチ回
路、５０４がシフトレジスタである。他に、シフトレジ
スタを動かすためのクロック５０５、画像データ入力５
０６、パワートランジスタのオン時間を外部からコント
ロールするためのヒートパルス幅入力５０７、ロジック
電源５０８、ＧＮＤ５０９、及び発熱体駆動電源Ｖ_H ５
１０で構成されている。この回路構成において、画像デ
ータはシフトレジスタ５０４を使い、シリアルに入力さ
れる。このデータはラッチ回路５０３で一時記憶され、
その間に、ヒートパルス５０７からパルスが入力される
と、パワートランジスタ５０２がオンし、発熱体が駆動
される。

【０００９】本回路構成のように、発熱体と、駆動トラ
ンジスタ及びシフトレジスタと、ラッチからなる画像処
理ロジック回路を同一基板内に設けるメリットは次の２
つである。

【００１０】１．アセンブリ工数減従来の記録ヘッドは、ベースプレートと呼ばれる支持体
上に、発熱体が構成されている基板と、駆動トランジス
タ及びロジックＩＣが構成されているＩＣチップとを、
２チップ実装し、かつその間をワイヤーボンディングで
電気的接続を取っていた。例えば、６４エレメントの発
熱体の記録ヘッドの場合、従来の記録ヘッドではワイヤ
ーの総数は約１５０本であったが、一体化することで、
約２０本に減る。

【００１１】２．安定駆動化現在、インクジェット記録ヘッドは２〜５μｓｅｃのパ
ルスでインクを沸騰させ、その発泡力でインクを飛ばし
ているが、２チップ構成の場合、２チップ間の配線によ
る群遅延が発生し、数ｎｓｅｃ〜数１００ｎｓｅｃ遅れ
が生じ、パルス幅に入力信号に対する遅れや、記録ヘッ
ド間の誤差を生じている。これにより、記録品位や発熱
体の耐久性に影響を与える場合があるが、一体化するこ
とで解消できる。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】上述の様に、記録ヘッ
ド用基体へのドライバー回路、シフトレジスター、ラッ
チ等のロジック制御回路の集積化が近年進んでいる。し
かし、記録ヘッドは一般に交換可能なものなのでユーザ
ーが直接触れることができ、静電放電が記録ヘッドのパ
ッド、配線を通じて直接前記基体に印刷され、静電気に
弱い集積回路入出力部が破壊されるという問題が発生し
た。これは、一般的に発熱体の駆動を制御する前記ロジ
ック部はＭＯＳで形成されており、その入力ゲート部
は、特に静電気に弱いためである。そこで特願平０５−
２２３５９４号には、前記記録ヘッド用基体の入出力回
路部に拡散層を用いた抵抗を設けることにより、等価的
に前記基体（通常ＧＮＤ）もしくはＶ_dd電源と入出力回
路とをダイオード（Ｄｉ）で接続し、静電気の印加によ
る瞬間的大電流の流れる経路を新たに設け、配線部やポ
リシリコン等により形成されている抵抗を流れる電流密
度を下げ、溶断による断線等の破壊を防ぐ方法が開示さ
れている。

【００１３】従来の記録ヘッド用基体の入出力部に拡散
抵抗を用いた膜構成及び等価回路を図６に示す。ここで
図６（ａ）は、該基体の膜構成を示し、６００は支持
体、６０１はＰ型シリコン基板、６０２はＮ型エピタキ
シャル領域、６０３はＰ型埋込領域、６０４はＰ型拡散
領域、６０５ａ〜６０５ｃ及び６０６はそれぞれアルミ
ニウム（Ａｌ）とオーミックコンタクトを取るための高
濃度Ｐ型領域及び高濃度Ｎ型領域、６０７はフィールド
酸化膜、６０８は絶縁膜、６０９はＡｌ、６１０はＳｉ
Ｏ，ＳｉＮ等からなる保護膜、６１１は入出力パッド、
６１２は非導電性接着剤である。ここで、抵抗として使
用されるＰ型拡散領域６０４は高濃度Ｎ型領域６０６と
共にダイオードの端子となり、パッド６１１と直接接続
されている高濃度Ｐ型領域６０５ａと、この高濃度Ｐ型
領域６０５ａと離れて設けられた高濃度Ｐ型領域６０５
ｂとを接続するように設けられており、高濃度６０５ｂ
は、アルミニウム６０９を介してＰ型埋込領域６０３に
設けられた高濃度Ｐ型領域６０５ｃと接続されている。
これにより、Ｐ型拡散領域６０４は、Ｎ型エピタキシャ
ル領域６０２と共にダオードを構成し、かつ高濃度Ｐ型
領域６０５ａと高濃度Ｐ型領域６０５ｂとの間の抵抗と
して作用する。

【００１４】図６（ｂ）は前記膜構成の等価回路であ
り、１２１はＧＮＤ、１２２は拡散層を用いた抵抗、１
２３はパッド、１２４は寄生ダイオード（Ｄｉ）を示
す。同図に示すように、パッド１２３は、保護回路の
他、抵抗１２２を介してＧＮＤ１２１と、また、寄生ダ
イオード１２４を介してＶ_ddとそれぞれ接続されてい
る。

【００１５】図７は、図６の膜構成及び等価回路を用い
た従来の保護回路及び放電電流回路を示す。同図に示す
ように、Ｐ型拡散領域からなる抵抗１２２は、ポリシリ
コン抵抗７２２を含む保護回路を介してロジック部につ
ながる経路から分岐して設けられ、その他端はＧＮＤに
接続されている。また抵抗１２２をＰ層とする寄生ダイ
オード１２４のＮ層側はＶ_ddに接続している。これによ
り、ポリシリコン抵抗７２２を通る経路以外に、拡散ベ
ース抵抗１２２及び拡散ベース抵抗１２２による寄生ダ
イオード１２４を通る経路ができる。したがって、パッ
ド１２３に放電が生じると、静電放電による瞬間的大電
流は各経路に分散して流れ、ポリシリコン抵抗７２２の
電流密度を大幅に下げることができる。

【００１６】このような膜構成を用いた入出力部の静電
保護ダイオード１２４が設けられているにもかかわらず
集積回路入出力部が破壊されるという問題が発生するの
は、Ｖ_ddラインが静電放電による瞬間的大電流により、
発熱、溶断されてしまうためである。

【００１７】本発明はこのような事情に鑑み、記録ヘッ
ド用基体の集積回路の入出力部及び配線部の静電放電に
よる破壊を防止したインクジェット記録ヘッド及びイン
クジェット記録装置を提供することを目的とする。

【００１８】

【課題を解決するための手段】本発明の記録ヘッドは、
半導体基板上に、複数の発熱体、該発熱体を駆動するた
めのドライバ、前記発熱体の駆動を制御するためのロジ
ック回路、および装置本体と前記ロジック回路との間で
記録信号の受け渡しを行う入出力回路を有する記録ヘッ
ド用基板と、導電性を有する支持体上とを備え、該基板
は該支持体上に接着剤で固定されたインクジェット記録
ヘッドであって、前記接着剤が導電性を有することを特
徴とするインクジェット記録ヘッドである。

【００１９】本発明の記録装置は、記録媒体の被記録面
に対向してインクを吐出するインク吐出口が設けられて
いる本発明の記載の記録ヘッドと、該記録ヘッドを載置
するための部材とを少なくとも具備することを特徴とす
るインクジェット記録装置である。

【００２０】

【作用】本発明においては、導電性を有する支持体（ベ
ースプレート）と半導体の記録ヘッド用基体（ヒーター
ボード）との接着に用いられる接着剤を導電性とするこ
とにより、外部からの静電気の印加による瞬間的な大電
流の一部を支持体に流れていくようにする。これにより
配線部やポリシリコン等により形成されている抵抗及び
Ｖ_ddを流れる電流密度を下げ、溶断による断線等の破壊
を防止できる。

【００２１】

【実施例】以下、実施例にしたがって本発明を詳細に説
明する。

【００２２】図１は、本発明の特徴を表す記録ヘッドの
構成図及び等価回路である。ここで図１（ａ）は、該基
体の膜構成を示し、１００は支持体、１０１はＰ型シリ
コン基板、１０２はＮ型エピタキシャル領域、１０３は
Ｐ型埋込領域、１０４は抵抗として使用しているＰ型拡
散領域、１０５ａ〜１０５ｃ及び１０６はそれぞれアル
ミニウム（Ａｌ）とオーミックコンタクトをとるための
高濃度Ｐ型領域及び高濃度Ｎ型領域、１０７はフィール
ド酸化膜、１０８は絶縁膜、１０９はアルミニウム（Ａ
ｌ）、１１０はＳｉＯ，ＳｉＮ等からなる保護膜、１１
１は入出力パッドである。ここで抵抗として使用される
Ｐ型拡散領域１０４は、高濃度Ｎ型領域１０６と共にト
ランジスタの端子となり、パッド１１１と直接接続され
ている高濃度Ｐ型領域１０５ａと、高濃度Ｐ型領域１０
５ａと離れて設けられた高濃度Ｐ型領域１０５ｂとを接
続するように設けられており、高濃度Ｐ型領域１０５ｂ
は、アルミニウム１０９を介してＰ型埋込領域１０３に
設けられた高濃度Ｐ型領域１０５ｃと接続されていて、
Ｐ型シリコン基板１０１はＬＧＮＤ（ロジックＧＮＤ）
１２６に接続されている。これにより、Ｐ型拡散領域１
０４は、Ｎ型エピタキシャル領域１０２と、Ｐ型シリコ
ン基板１０１と共にトランジスタを構成し、かつ高濃度
Ｐ型領域１０５ａと高濃度Ｐ型領域１０５ｂとの間の抵
抗として作用する。

【００２３】記録ヘッド用基体（ヒーターボード）１０
１は、例えばＡｌ基板等のように導電性を有する材料で
構成される支持体（ベースプレート）１００上の所望の
位置にダイボンディングにより精度良く位置決めされ、
導電性を有する接着剤１１２により、接着剤厚さ２０〜
４０μｍで、記録ヘッド用基体１０１の下面（支持体と
接触する面）全面で接着される。この様に記録ヘッド用
基板１０１を構成するＳｉ基板全面から支持体１００
へ、導電性接着剤１１２を介して静電放電による電流の
一部が分散して流れるようになる。

【００２４】本発明で使用される接着剤は、静電気の印
加による瞬間的な大電流の一部を支持体に流れることを
可能とする程度の導電性を有すれば良く、所望により適
宜最適な導電性を有するものとすればよいが、具体的に
は、８×１０^-4Ω・ｃｍ以上程度の導電率のものが好ま
しい。また、接着層の厚さは、２０μｍ〜４０μｍ程度
が好ましい。

【００２５】本発明で使用される接着剤としては、例え
ば、１）バインダー樹脂，２）導電性フィラー，３）硬
化剤，４）希釈剤からなり、その他の要求性能に応じ
て、無溶剤のものやその他の添加剤等が配合される。バ
インダー樹脂としては、エポキシ，シリコーン，ウレタ
ン，ポリイミド等が使用されるが、主として、エポキシ
樹脂が使用される。導電性フィラーとしては、金属粒
子、導電性カーボン等の無機材料が使用される。金属粒
子としては、金，銀，銅，白金，アルミニウム，鉄，ニ
ッケル等が使用できるが、銀が価格および実績等から最
も好ましい。銀は、高温高湿下で高い直流電位をかけた
際、電気的な移行現象（マイグレーション）を起こすこ
とが知られているが、金より安価で、固有抵抗が低く、
又、銅やアルミなどに比べて、酸化に強いという利点が
ある。銀等の金属粒子は、一般的に平均粒径５μｍ以下
のフレーク状粉（及び樹枝状粉）の組み合わせで、３０
〜８５重量％の範囲で配合されるが、その粒度分布の調
製で、接着力，導電性を初め作業性まで変化する。硬化
剤としては、絶縁性エポキシ塗料・接着剤と同じ様にア
ミン系、酸無水物系、フェノール系等が使い分けられ、
必要に応じて適宜使用すればよい。又、一液型では一定
温度以上で活性化する潜在性が要求される。希釈剤とし
ては、作業性の改善、物性改質の為に有機溶剤または、
反応性希釈剤が使用されるが、これらは硬化の際にアウ
トガス、ボイドの原因となり、物性に悪影響をおよぼす
こともある。そのため、種類の選択と配合量の決定は用
途、作業性を考慮して使用する必要があり、更には、無
溶剤のものもある。

【００２６】この導電性接着剤としては、具体的には、
導電性エポキシ接着剤（商品名ＥＮ４０７２、日立化成
工業株式会社製）等が好適に使用できる。

【００２７】Ｓｉ基板１０１は、印加された静電放電を
効率良く支持体へと流せるように、例えば研摩等により
薄く加工するとより効果的である。基板の厚さは、基板
自体の強度を保てるように、かつ実使用時の駆動電流に
よる拡散層と支持体との短絡を防ぐためにも４００〜５
００μｍの厚さを確保するのが好ましい。

【００２８】支持体１００上には更に、装置との電気的
接続を行う圧着端子用電極パッドを有するプリント基板
（不図示）が載置され、記録ヘッド用基体１０１とボン
ディングワイヤーにより接続される。支持体１００はま
た、キャリッジ４２０を介して装置本体のＧＮＤ（不図
示）に接地されている。

【００２９】図１（ｂ）は前記膜構成の等価回路であ
り、１２１及び１２７はＧＮＤ、１２２は拡散層を用い
た抵抗、１２３はパッド、１２５は寄生トランジスタ、
１２６はＬＧＮＤ（ロジックＧＮＤ）、１００は支持体
を示す。同図に示すように、本実施例では、パッド１２
３は、従来の保護回路の他、抵抗１２２を介してＧＮＤ
１２１と、また、寄生トランジスタ１２５を介してＶ_dd
及びＬＧＮＤ１２６と、そしてさらに本発明の構成であ
る導電性接着剤１１２を介して支持体１００からＧＮＤ
１２７にそれぞれ接続されている。

【００３０】本発明の特徴を表す上記構成を用いてプル
ダウン抵抗とした入力保護等価回路例及び静電放電され
た場合の電流の流れる経路を図２に示す。同図に示すよ
うに、Ｐ型拡散領域からなる抵抗１２２（図１）は、ポ
リシリコン抵抗７２２を含む従来の保護回路を介してロ
ジック部につながる経路から分岐して設けられ、その他
端はＧＮＤに接続されている。また、抵抗１２２をＰ層
とする寄生トランジスタ１２５のＮ層側はＶ_ddに接続さ
れている。これにより、ポリシリコン抵抗７２２を通る
経路以外に、拡散ベース抵抗１２２及び拡散ベース抵抗
１２２による寄生トランジスタ１２５を通る経路ができ
る。したがって、パッド１２３に放電が生じると、従来
の保護等価回路（図７）では静電放電による瞬間的大電
流はポリシリコン抵抗７２２と、Ｖ_ddラインと、ＬＧＮ
Ｄ（ロジックＧＮＤ）１２６の各経路に流れていたが、
本発明の構成では、さらにＬＧＮＤ（ロジックＧＮＤ）
１２６への経路の途中から導電性接着剤１１２を介して
接地されている支持体１００へと流れる経路が新たに設
けられる。これにより、Ｖ_ddラインと、ＬＧＮＤ（ロジ
ックＧＮＤ）１２６の電流密度を大幅に下げることがで
きる。

【００３１】こうして構成された図１の記録ヘッド構成
を含むインクジェット記録ヘッドの一例を図３に示す。
図３に示すように記録ヘッド用基体３０１には、複数の
吐出口３０２に連通する液路３０３を形成するための液
路壁部材３０４と、インク供給口３０５を有する天板３
０６とが取り付けられており、各液路３０３とインク供
給口３０５とは、共通液室３０７を介して連通されてい
る。また、各液路３０３内には、基体３０１に設けられ
た吐出口３０２近傍の発熱部３０８とこの発熱部３０８
への配線３０９とが配置されている。このように構成さ
れたインクジェット記録方式の記録ヘッド３１０では、
インク供給口３０５から注入されるインクが内部の共通
液室３０７へ蓄えられて各液路３０３へ供給され、その
状態で基体３０１の発熱部３０８を駆動することで吐出
口３０２からインクの吐出がなされる。

【００３２】以上述べた構成の記録ヘッド３１０を装置
本体に装着して装置本体から記録ヘッド３１０に信号を
付与することにより、高速記録、高画質記録を行うこと
ができるインクジェット記録装置を得ることができる。

【００３３】次に、本発明の記録ヘッドを用いたインク
ジェット記録装置について図４を参照して説明する。図
４は、本発明が適用されるインクジェット記録装置４０
０の一例を示す外観斜視図である。

【００３４】記録ヘッド３１０は、駆動モータ４０１の
正逆回転に連動して駆動力伝達ギア４０２，４０３を介
して回転するリードスクリュー４０４の螺旋溝４２１に
対して係合するキャリッジ４２０と共にガイド４１９に
沿って矢印ａ，ｂ方向に往復移動される。図示しない記
録媒体供給装置によってプラテン４０６上に搬送される
記録用紙Ｐ用の紙押え板４０５は、キャリッジ移動方向
にわたって記録用紙Ｐをプラテン４０６に対して押圧す
る。

【００３５】４０７，４０８はフォトカプラであり、キ
ャリッジ４２０のレバー４０９のこの域での存在を確認
して駆動モータ４０１の回転方向切替等を行うためのホ
ームポジション検知手段である。４１０は前述の記録ヘ
ッド３１０の全面をキャップするキャップ部材４１１を
支持する支持部材で、４１２は前記キャップ部材４１１
内を吸引する吸引手段で、キャップ内開口４１３を介し
て記録ヘッド３１０の吸引回復を行う。４１４はクリー
ニングブレードで、４１５はこのブレードを前後方向に
移動可能にする移動部材であり、本体支持板４１６にこ
れらは支持されている。クリーニングブレード４１４
は、この形態でなく周知のクリーニングブレードが本例
に適用できることは言うまでもない。また、４１７は、
吸引回復の吸引を介するためのレバーで、キャリッジ４
２０を係合するカム４１８の移動に伴って移動し、駆動
モータ４０１からの駆動力がクラッチ切替等の公知の伝
達手段で移動制御される。前記記録ヘッド３１０に設け
られた発熱部３０８に信号を付与したり、前述した各機
構の駆動制御を司ったりする記録制御部は、装置本体側
に設けられている。なお、記録制御部の図示は省略す
る。

【００３６】上述のような構成のインクジェット記録装
置４００は、前記記録媒体給送装置によってプラテン４
０６上に搬送される記録用紙Ｐに対し、記録ヘッド３１
０が前記記録用紙Ｐの全幅にわたって往復移動しながら
記録を行うものであり、記録ヘッド３１０は、前述した
ような方法で製造したものを用いているため、高精度で
高速な記録が可能である。

【００３７】本発明は、特にインクジェット記録方式の
中でも、インク吐出を行わせるために利用されるエネル
ギーとして熱エネルギーを発生させる手段（例えば電気
熱変換体やレーザー光等）を備え、前記熱エネルギーに
よりインクの状態変化を起こさせる方式の記録ヘッド、
装置において優れた効果をもたらすものである。かかる
方式によれば記録の高密度化、高精細化が達成できるか
らである。

【００３８】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第４７２３１２９号明細書、同第４７４０
７９６号明細書に開示されており、本発明はこれらの基
本的な原理を用いて行うものが好ましい。この方式は所
謂オンデマンド型、コンティニュアス型のいずれにも適
用可能である。

【００３９】この記録方式を簡単に説明すると、液体
（インク）が保持されているシートや液路に対応して配
置されている電気熱変換体に、記録情報に対応して液体
（インク）に核沸騰現象を越え、膜沸騰現象を生じるよ
うな急速な温度上昇を与えるための少なくとも一つの駆
動信号を印加することによって、熱エネルギーを発生せ
しめ、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰を生じさせる。こ
のように液体（インク）から電気熱変換体に付与する駆
動信号に一対一に対応した気泡を形成できるため、特に
オンデマンド型の記録方法には有効である。この気泡の
成長、収縮により吐出口を介して液体（インク）を吐出
させて、少なくとも一つの滴を形成する。この駆動信号
をパルス形状とすると、即時適切に気泡の成長収縮が行
われるので、特に応答性に優れた液体（インク）の吐出
が達成でき、より好ましい。このパルス形状の駆動信号
としては、米国特許第４４６３３５９号明細書、同第４
３４５２６２号明細書に記載されているようなものが適
している。なお、上記熱作用面の温度上昇率に関する発
明の米国特許第４３１３１２４号明細書に記載されてい
る条件を採用すると、さらに優れた記録を行うことがで
きる。

【００４０】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出口、液流路、電気熱変換
体の組み合わせ構成（直線状液流路または直角液流路）
の他に、米国特許第４５５８３３３号明細書、米国特許
第４４５９６００号明細書に開示されているように、熱
作用部が屈曲する領域に配置された構成をもつものも本
発明に含まれる。

【００４１】加えて、複数の電気熱変換体に対して、共
通するスリットを電気熱変換体の吐出口とする構成を開
示する特開昭５９年第１２３６７０号公報や熱エネルギ
ーの圧力波を吸収する開孔を吐出部に対応させる構成を
開示する特開昭５９年第１３８４６１号公報に基づいた
構成においても本発明は有効である。

【００４２】さらに、本発明が有効に利用される記録ヘ
ッドとしては、装置が記録できる記録媒体の最大幅に対
応した長さのフルラインタイプの記録ヘッドがある。こ
のフルライン記録ヘッドは、上述した明細書に開示され
ているような記録ヘッドを複数組み合わせることによっ
てフルライン構成にしたものや、一体的に形成された一
個のフルライン記録ヘッドであってもよい。

【００４３】加えて、装置本体に装着されることで、装
置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給
が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あ
るいは記録ヘッド自体に一体的に設けられたカートリッ
ジタイプの記録ヘッドを用いた場合にも本発明は有効で
ある。

【００４４】また、本発明の記録装置に、記録ヘッドに
対しての回復手段、予備的な補助手段等を付加すること
は、本発明の記録装置を一層安定にすることができるの
で好ましいものである。これらを具体的に挙げれば、記
録ヘッドに対しての、キャッピング手段、クリーニング
手段、加圧あるいは吸収手段、電気熱変換体あるいはこ
れとは別の加熱素子、あるいはこれらの組み合わせによ
る予備加熱手段、記録とは別の吐出を行う予備吐出モー
ドを行う手段を付加することも安定した記録を行うため
に有効である。

【００４５】さらに、記録装置の記録モードとしては黒
色等の主流色のみの記録モードだけではなく、記録ヘッ
ドを一体的に構成したものか、複数個を組み合わせて構
成したものかのいずれでもよいが、異なる色の複色カラ
ーまたは、混色によるフルカラーの少なくとも一つを備
えた記録装置にも本発明は極めて有効である。

【００４６】以上説明した例においては、液体インクを
用いて説明しているが、本発明では室温で固体状である
インクであっても、室温で軟化状態となるインクであっ
ても用いることができる。上述のインクジェット記録装
置ではインク自体を３０℃以上７０℃以下の範囲内で温
度調整を行ってインクの粘性を安定吐出範囲にあるよう
に温度制御するものが一般的であるから、使用記録信号
付与時にインクが液状になるものであればよい。

【００４７】加えて、熱エネルギーによる記録ヘッドや
インクの過剰な昇温をインクの固形状態から液体状態へ
の状態変化のエネルギーとして使用せしめることで積極
的に防止するかまたは、インクの蒸発防止を目的として
放置状態で固化するインクを用いることもできる。いず
れにしても熱エネルギーの記録信号に応じた付与によっ
てインクが液化してインク液状として吐出するものや、
記録媒体に到達する時点では既に固化し始めるもの等の
ような、熱エネルギーの付与によって初めて液化する性
質をもつインクの使用も本発明では適用可能である。

【００４８】このような場合インクは、特開昭５４−５
６８４７号公報あるいは特開昭６０−７１２６０号公報
に記載されるような、多孔質シートの凹部または貫通孔
に液状または固形物として保持された状態で、電気熱変
換体に対して対向するような形態としてもよい。

【００４９】本発明において、上述した各インクに対し
て最も有効なものは、上述した膜沸騰方式を実行するも
のである。

【００５０】さらに加えて、本発明インクジェット記録
装置の形態としては、コンピュータ等の情報処理機器の
画像出力端末として用いられるものの他、リーダ等と組
み合わせた複写装置、さらには送受信機能を有するファ
クシミリ装置の形態を採るもの等であってもよい。

【００５１】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、記
録ヘッド用基体と支持体との接着に導電性を有する接着
剤を用いて電気的に導通させることにより、容易に静電
放電に対して強い構成とし、インクジェット記録ヘッド
及び記録装置の信頼性を向上できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例の記録ヘッドの断面（ａ）、及
びその等価回路（ｂ）を示す図である。

【図２】図１の構成を用いた保護回路の等価回路及び電
流経路を示す図である。

【図３】本発明の実施例の記録ヘッドを示す斜視図であ
る。

【図４】図３の印字ヘッドを用いた装置を示す斜視図で
ある。

【図５】ヘッド基体内の回路を示す図である。

【図６】従来技術に係る印字ヘッド基体の保護回路部膜
構成（ａ）、及びその等価回路（ｂ）を示す図である。

【図７】図６の構成を用いた保護回路の等価回路及び電
流経路を示す図である。

【符号の説明】１００支持体１０１Ｐ型シリコン基板１０２Ｎ型エピタキシャル領域１０３Ｐ型埋込領域１０４Ｐ型拡散領域１０５，１０５ａ，１０５ｂ，１０５ｃ高濃度Ｐ型
領域１０６高濃度Ｎ型領域１０７フィールド酸化膜１０８絶縁膜１０９アルミニウム（Ａｌ）１１０保護膜１１１入出力パッド１１２導電性接着剤１２１ＧＮＤ１２２拡散層を用いた抵抗１２３パッド１２４寄生ダイオード１２５寄生トランジスタ１２６ＬＧＮＤ（ロジックＧＮＤ）１２７ＧＮＤ（装置側）３０１基体３０２吐出口３０３液路３０４液路壁部材３０５インク供給口３０６天板３０７共通液室３０８発熱部３０９配線３１０記録ヘッド４００インクジェット記録装置４０１駆動モータ４０２，４０３駆動力伝達ギヤ４０４リードスクリュー４０５紙押え板４０６プラテン４０７，４０８フォトカプラ４０９レバー４１０支持部材４１１キャップ部材４１２吸引手段４１３キャップ内開口４１４クリーニングブレード４１５移動部材４１６本体支持板４１７レバー４１８カム４１９ガイド４２０キャリッジ４２１螺旋溝６１２非導電性接着剤

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者笠本雅己東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】半導体基板上に、複数の発熱体、該発熱
体を駆動するためのドライバ、前記発熱体の駆動を制御
するためのロジック回路、および装置本体と前記ロジッ
ク回路との間で記録信号の受け渡しを行う入出力回路を
有する記録ヘッド用基板と、導電性を有する支持体上と
を備え、該基板は該支持体上に接着剤で固定されたイン
クジェット記録ヘッドであって、前記接着剤が導電性を有することを特徴とするインクジ
ェット記録ヘッド。
【請求項２】前記入出力回路の一部を構成する半導体
層または導電膜層に前記記録信号をバイパスするように
拡散層を用いた抵抗を設けた請求項１記載のインクジェ
ット記録ヘッド。
【請求項３】記録媒体の被記録面に対向してインクを
吐出するインク吐出口が設けられている請求項１記載の
記録ヘッドと、該記録ヘッドを載置するための部材とを
少なくとも具備することを特徴とするインクジェット記
録装置。