JPH0776081A

JPH0776081A - 記録ヘッド用基体、記録ヘッドおよびインクジェット記録装置

Info

Publication number: JPH0776081A
Application number: JP22359493A
Authority: JP
Inventors: Yoshiyuki Imanaka; 良行今仲; Masaaki Izumida; 昌明泉田; Tatsuo Furukawa; 達生古川; Hiroyuki Maru; 博之丸; Shuichi Katao; 周一片尾; Fumio Murooka; 文夫室岡; Yuji Kamiyama; 雄次上山
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1993-09-08
Filing date: 1993-09-08
Publication date: 1995-03-20

Abstract

(57)【要約】【目的】記録ヘッド用基体の集積回路の入出力部の静
電放電による破壊を防止した記録ヘッドおよび記録装置
を提供する。【構成】基板と複数の発熱体と該発熱体を駆動するた
めのドライバと前記発熱体の駆動を制御するためのロジ
ック回路と前記発熱体をドライブするパワートランジス
タとを有する記録ヘッド用基体において、記録装置本体
と記録信号の受け渡しを行う入出力パッド１１１（１２
３）、Ｐ型拡散領域１０４を用いた抵抗１２２および寄
生ダイオード１２４を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、インクを噴射すること
により記録を行う記録ヘッド用基体、記録ヘドおよびイ
ンクジェット記録装置に関する。なお、本発明において
用いる記録とは布や糸等へのプリントをも含む。

【０００２】

【背景技術】インクジェット記録法（液体噴射記録法）
は、記録時における騒音の発生が無視し得る程度に極め
て小さいという点、および高速記録が可能であり、しか
も所謂普通紙に定着という特別な処理を必要とせずに記
録を行える点において最近関心を集めている。

【０００３】その中で、例えば特開昭５４−５１８３７
号公報、ドイツ公開（ＤＯＬＳ）第２８４３０６４号公
報に記載されている液体噴射記録法は、熱エネルギーを
液体に作用させて、液滴吐出のための原動力を得るとい
う点において、他の液体噴射記録法とは異なる特徴を有
している。

【０００４】すなわち、上記の公報に開示されている記
録法は、熱エネルギーの作用を受けた液体が急峻な体積
の増大を伴う状態変化を起こし、該状態変化に基づく作
用力によって、記録ヘッド部先端のオリフィスより液体
が吐出されて、飛翔的液滴が形成され、該液滴が被記録
部材に付着し記録が行われるという特徴がある。

【０００５】殊に、ＤＯＬＳ２８４３０６４号公報に開
示されている液体噴射記録法は、所謂ドロップオンデマ
ンド（ｄｒｏｐ−ｏｎｄｅｍａｎｄ）記録法に極めて
有効に適用されるばかりではなく、記録ヘッド部をフル
ライン（ｆｕｌｌｌｉｎｅ）タイプで高密度マルチオ
リフィス化された記録ヘッドが容易に具現化出来るの
で、高解像度、高品質の画像を高速で得られるという特
徴を有している。

【０００６】上記の記録法に適用される装置の記録ヘッ
ド部は、液体を吐出するために設けられたオリフィス
と、該オリフィスに連通し、液滴を吐出するための熱エ
ネルギーが液体に作用する部分である熱作用部を構成の
一部とする液流路とを有する液吐出部と、熱エネルギー
を発生する手段としての電気熱変換体（発熱体）とを具
備している記録ヘッド基体とからなる。

【０００７】近年、そうした記録ヘッド用基体は、複数
の発熱体を基板上に構成するだけでなく、それぞれの発
熱体駆動ドライバーと、直列に入出力される画像データ
をそれぞれドライバーに並列に送るための発熱体と同一
ビット数のシフトレジスタと、シフトレジスタから出力
されるデータを一時記憶するラッチ回路とを同一基板内
に構成できるようになってきた。

【０００８】この回路構成例を図６に示す。６０１が発
熱体、６０２がパワートランジスタ、６０３がラッチ回
路、６０４がシフトレジスタである。他に、シフトレジ
スタを動かすためのクロック６０５、画像データ入力６
０６、パワートランジスタのオン時間を外部からコント
ロールするためのヒートパルス幅入力６０７、ロジック
電源６０８、ＧＮＤ６０９、および発熱体駆動電源ＶＨ
６１０で構成されている。この回路構成において、画像
データはシフトレジスタ６０４を使い、シリアルに入力
される。このデータはラッチ回路６０３で一時記憶さ
れ、その間に、ヒートパルス６０７からパルスが入力さ
れると、パワートランジスタ６０２がオンし、発熱体が
駆動される。

【０００９】本回路構成のように、発熱体と、駆動トラ
ンジスタおよびシフトレジスタと、ラッチからなる画像
処理ロジック回路とを同一基板内に設けるメリットは次
の２つである。

【００１０】1. アセンブリ工数減。

【００１１】従来のヘッドは、ベースプレートと呼ばれ
る基板上に、発熱体が構成されている基体と、駆動トラ
ンジスタおよびロジックＩＣが構成されているＩＣチッ
プとを、２チップ実装し、かつその間をワイヤーボンデ
ィングで電気的接続を取っていた。例えば、６４エレメ
ントの発熱体のヘッドの場合、従来のヘッドではワイヤ
ーの総数は約１５０本であったが、一体化することで、
約２０本に減った。

【００１２】2. 安定駆動化。

【００１３】現在、液体噴射記録ヘッドは２〜５μｓｅ
ｃのパルスでインクを沸騰させ、その発泡力でインクを
飛ばしているが、２チップ構成の場合、２チップ間の配
線による群遅延が発生し、数ｎｓｅｃ〜数１００ｎｓｅ
ｃ遅れが生じ、パルス幅に入力信号に対する遅れや、ヘ
ッド間の機差を生じている。これにより、記録品位や発
熱体の耐久性に影響を与える場合がある。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】従来技術にあるように
記録ヘッド用基体へのドライバー回路、シフトレジス
タ，ラッチ等のロジック制御回路の集積化が進んでいる
が、記録ヘッドは、交換可能なものであることから、ユ
ーザーが直接触れることができるため、静電放電が記録
ヘッドのパッド，配線を通じて直接前記基体に印加さ
れ、静電気に弱い集積回路入出力部が破壊されるという
問題が発生した。これは、一般的に発熱体の駆動を制御
する前記ロジック部はＭＯＳで形成されており、その入
力ゲート部は、特に静電気に弱いためである。

【００１５】従来の記録ヘッド用基体の入出力部に拡散
抵抗を用いた膜構成、および等価回路を図７に示す。こ
こで図７（ａ）は、該基体の膜構成を示し、７０１はＰ
型シリコン基板、７０２はＮ型エピタキシャル領域、７
０３はＰ型埋込領域、７０４はＰ型拡散領域、７０５お
よび７０６はそれぞれアルミニウム（Ａｌ）とオーミッ
クコンタクトをとるための高濃度Ｐ型領域および高濃度
Ｎ型領域、７０７はフィールド酸化膜、７０８は絶縁
膜、７０９はＡｌ、７１０はＳｉＯ，ＳｉＮ等からなる
保護膜、７１１は入出力パッドである。そして、保護回
路における電流制限用の抵抗としてポリシリコン７２１
が設けられている。図７（ｂ）は前記膜構成の等価回路
であり、７２２はポリシリコン７２１で形成される抵
抗、７２３は上述した膜構成の静電保護ダイオード（Ｄ
ｉ）、７２４はパッドを示す。

【００１６】このような膜構成を用いた入出力部の静電
保護Ｄｉ７２３が設けられてるにもかかわらず集積回路
入出力部が破壊されるという問題が発生するのは、保護
回路における電流制限用のポリシリコン７２１で形成さ
れた抵抗７２２が静電放電による瞬間的大電流により、
発熱、溶断されてしまうためである。

【００１７】図８は、図７の膜構成および等価回路を用
いた従来の保護回路および放電電流回路を示す。同図に
示すように、パッド７２４に放電が生じると、抵抗７２
２に瞬間的大電流が流れ、抵抗７２２が発熱、溶断され
てしまう。

【００１８】本発明はこのような事情に鑑み、記録ヘッ
ド用基体の集積回路の入出力部の静電放電による破壊を
防止した記録ヘッド用基体、記録ヘッドおよび記録装置
を提供することを目的とする。

【００１９】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成する本発
明の記録ヘッド用基体は、半導体基板上に、複数の発熱
体と、該発熱体を駆動するためのドライバと、前記発熱
体の駆動を制御するためのロジック回路と、記録装置本
体と前記ロジック回路との間で記録信号の受け渡しを行
う入出力回路とを有する記録ヘッド用基体において、前
記入出力回路の一部を構成する半導体層あるいは導電膜
層に前記記録信号をバイパスするように拡散層を用いた
抵抗を設けたことを特徴とする。

【００２０】ここで、本発明の記録ヘッド用基体は、前
記拡散層を用いた抵抗がプルダウンまたはプルアップ抵
抗を構成するようにすることができる。

【００２１】また、本発明の記録ヘッド用基体では、前
記抵抗である前記拡散層を入出力パッドの直下におくこ
とができる。

【００２２】本発明の液体を加熱して記録を行う記録ヘ
ッドは、前記何れかの記録ヘッド用基体を用いて構成さ
れることを特徴とする。

【００２３】また、本発明の液体噴射記録装置は、前記
記録ヘッドを用いた液体噴射記録装置であって、前記液
体噴射記録ヘッドがキャリッジ上で交換可能であること
を特徴とする。

【００２４】

【作用】本発明では、前記記録ヘッド用基体の入出力回
路部に拡散層を用いた抵抗を設けることにより、等価的
に前記基体（通常ＧＮＤ）もしくはＶ_dd電源と入出力回
路部とをダイオード（Ｄｉ）で接続し、静電気の印加に
よる瞬間的大電流の流れる経路を新たに設ける。これに
より、配線部やポリシリコン等により形成されている抵
抗を流れる電流密度を下げ、溶断による断線等の破壊を
防ぐ。

【００２５】

【実施例】本発明を用いた実施例を以下に示す。

【００２６】図１に示すのは、本発明の特徴を表す記録
ヘッド用基体の入出力部に拡散抵抗を用いた膜構成、お
よび等価回路である。ここで図１（ａ）は、該基体の膜
構成を示し、１０１はＰ型シリコン基板、１０２はＮ型
エピタキシャル領域、１０３はＰ型埋込領域、１０４は
本実施例で抵抗として使用しているＰ型拡散領域、１０
５ａ〜１０５ｃおよび１０６はそれぞれアルミニウム
（Ａｌ）とオーミックコンタクトをとるための高濃度Ｐ
型領域および高濃度Ｎ型領域、１０７はフィールド酸化
膜、１０８は絶縁膜、１０９はＡｌ、１１０はＳｉＯ，
ＳｉＮ等からなる保護膜、１１１は入出力パッドであ
る。ここで、抵抗として使用されるＰ型拡散領域１０４
は、高濃度Ｎ型領域１０６とともにダイオードの端子と
なり、パッド１１１と直接接続されている高濃度Ｐ型領
域１０５ａと、この高濃度Ｐ型領域１０５ａと離れて設
けられた高濃度Ｐ型領域１０５ｂとを接続するように設
けられており、高濃度Ｐ型領域１０５ｂは、アルミニウ
ム１０９を介してＰ型埋込領域１０３に設けられた高濃
度Ｐ型領域１０５ｃと接続されている。これにより、Ｐ
型拡散領域１０４は、Ｎ型エピタキシャル領域１０２と
ともにダイオードを構成し、かつ高濃度Ｐ型領域１０５
ａと高濃度Ｐ型領域１０５ｂとの間の抵抗として作用す
る。

【００２７】図１（ｂ）は前記膜構成の等価回路であ
り、１２１はＧＮＤ、１２２は拡散層を用いた抵抗、１
２３はパッド、１２４は寄生ダイオード（Ｄｉ）を示
す。同図に示すように、本実施例では、パッド１２３
は、従来の保護回路の他、抵抗１２２を介してＧＮＤ１
２１と、また、寄生ダイオード１２４を介してＶ_ddとそ
れぞれ接続されている。

【００２８】本発明の特徴を表す上記膜構成を用いてプ
ルダウン抵抗とした入力保護等価回路例および静電放電
された場合の電流の流れる経路を図２に示す。同図に示
すように、Ｐ型拡散領域からなる抵抗１２２は、ポリシ
リコン抵抗７２２を含む従来の保護回路を介してロジッ
ク部につながる経路から分岐して設けられ、その他端は
ＧＮＤに接続されている。また、抵抗１２２をＰ層とす
る寄生Ｄｉ１２４のＮ層側はＶ_ddに接続されている。こ
れにより、ポリシリコン抵抗７２２を通る経路以外に、
拡散ベース抵抗１２２および拡散ベース抵抗１２２によ
る寄生Ｄｉ１２４を通る経路ができる。したがって、パ
ッド１２３に放電が生じると、従来の保護等価回路（図
８）では静電放電による瞬間的大電流はすべてポリシリ
コン抵抗７２２を流れていたが、この場合には、電流は
各経路に分散して流れ、ポリシリコン抵抗７２２の電流
密度を大幅に下げることができる。なお、このような作
用は拡散ベース抵抗をプルアップ抵抗として用いた場合
にもについてもあてはまることはいうまでもない。

【００２９】従来の図８の保護回路においては、静電印
加電圧１０ｋＶ（放電抵抗４００Ω、放電コンデンサ２
００ｐＦ）においてポリシリコン抵抗７２２が溶断し、
記録ヘッド用基体が動作不能となっていたが、本対策を
導入することにより２５ｋＶ（前記条件）の印加に対し
てもポリシリコン抵抗７２２が溶断することはなく、前
記基体を正常に動作させることができた。

【００３０】本発明の特徴である前記抵抗の拡散層を用
いた他の実施例を図３に示す。図３において、（ａ）は
膜構成を、（ｂ）は（ａ）の等価回路を示し、図１と同
一の層には同一符号を付して重複する説明は省略する。
ここでは、図３（ａ）に示すように、記録ヘッド用基体
のパッド１１１の直下に高濃度Ｐ型領域１０５を介して
Ｐ型拡散領域１０４を設けてダイオードを構成してい
る。すなわち、図３（ｂ）に示すように、パッド１２３
は、従来の保護回路の他、寄生ダイオード１２４を介し
てＶ_ddと接続される。これにより、静電放電によってポ
リシリコン抵抗，静電保護Ｄｉおよび各配線を流れる電
流を、寄生ダイオード１２４を介してさらに効果的に分
配することができ、静電放電時のポリシリコン抵抗の電
流密度を下げることができるので、より一層静電気放電
に対して強くなる。特に従来の保護抵抗，Ｄｉの面積に
対して、パッドの面積は２〜３倍を占めることから、電
流密度を下げる効果は大きい。

【００３１】以上説明した２つの実施例についてはＰ型
拡散層を用いて説明してきたが、Ｎ型拡散層を用いても
同様の効果があることは明確である。

【００３２】こうして構成された膜構成の保護回路を含
む図１または図３の記録ヘッド用基体を用いたインクジ
ェット記録ヘッドの一例を図４に示す。図４に示すよう
に、記録ヘッド用基体４０１には、複数の吐出口４０２
に連通する液路４０３を形成するための流路壁部材４０
４と、インク供給口４０５を有する天板４０６とが取り
付けられており、各液路４０３とインク供給口４０５と
は、共通液室４０７を介して連通されている。また、各
液路４０３内には、基体４０１に設けられた吐出口４０
２近傍の発熱部４０８とこの発熱部４０８への配線４０
９とが配置されている。このように構成されたインクジ
ェット記録方式の記録ヘッド４１０では、インク供給口
４０５から注入されるインクが内部の共通液室４０７へ
蓄えられて各液路４０３へ供給され、その状態で基体４
０１の発熱部４０８を駆動することで吐出口４０２から
インクの吐出がなされる。

【００３３】以上述べた構成の記録ヘッド４１０を記録
装置本体に装着して装置本体から記録ヘッド４１０に信
号を付与することにより、高速記録、高画質記録を行う
ことができるインクジェット記録装置を得ることができ
る。

【００３４】次に、本発明の記録ヘッドを用いたインク
ジェット記録装置について図５を参照して説明する。図
５は本発明が適用されるインクジェット記録装置５００
の一例を示す概観斜視図である。

【００３５】記録ヘッド４１０は、駆動モータ５０１の
正逆回転に連動して駆動力伝達ギア５０２，５０３を介
して回転するリードスクリュー５０４の螺旋溝５２１に
対して係合するキャリッジ５２０上に搭載されており、
前記駆動モータ５０１の動力によってキャリッジ５２０
とともにガイド５１９に沿って矢印ａ，ｂ方向に往復移
動される。図示しない記録媒体給送装置によってプラテ
ン５０６上に搬送される記録用紙Ｐ用の紙押え板５０５
は、キャリッジ移動方向にわたって記録用紙Ｐをプラテ
ン５０６に対して押圧する。

【００３６】５０７，５０８はフォトカプラであり、キ
ャリッジ５２０のレバー５０９のこの域での存在を確認
して駆動モータ５０１の回転方向切換等を行うためのホ
ームポジション検知手段である。５１０は前述の記録ヘ
ッド５１０の全面をキャップするキャップ部材５１１を
支持する支持部材で、５１２は前記キャップ部材５１１
内を吸引する吸引手段で、キャップ内開口５１３を介し
て記録ヘッド４１０の吸引回復を行う。５１４はクリー
ニングブレードで、５１５はこのブレードを前後方向に
移動可能にする移動部材であり、本体支持板５１６にこ
れらは支持されている。クリーニングブレード５１４
は、この形態でなく周知のクリーニングブレードが本例
に適用できることはいうまでもない。また、５１７は、
吸引回復の吸引を開始するためのレバーで、キャリッジ
５２０と係合するカム５１８の移動に伴って移動し、駆
動モータ５０１からの駆動力がクラッチ切換等の公知の
伝達手段で移動制御される。前記記録ヘッド４１０に設
けられた発熱部５０６に信号を付与したり、前述した各
機構の駆動制御を司ったりする記録制御部は、装置本体
側に設けられている。なお、記録制御部の図示は省略す
る。

【００３７】上述のような構成のインクジェット記録装
置５００は、前記記録媒体給送装置によってプラテン５
０６上に搬送される記録用紙Ｐに対し、記録ヘッド４１
０が前記記録用紙Ｐの全幅にわたって往復移動しながら
記録を行うものであり、記録ヘッド４１０は、前述した
ような方法で製造したものを用いているため、高精度で
高速な記録が可能である。

【００３８】以上の説明においては、基体をインクジェ
ット方式の記録ヘッドに採用した例について説明した
が、本発明により基体は、たとえば、サーマルヘッド用
基体にも応用できるものである。

【００３９】（その他）なお、本発明は、特にインクジ
ェット記録方式の中でも、インク吐出を行わせるために
利用されるエネルギとして熱エネルギを発生する手段
（例えば電気熱変換体やレーザ光等）を備え、前記熱エ
ネルギによりインクの状態変化を生起させる方式の記録
ヘッド、記録装置において優れた効果をもたらすもので
ある。かかる方式によれば記録の高密度化，高精細化が
達成できるからである。

【００４０】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第４７２３１２９号明細書，同第４７４０
７９６号明細書に開示されている基本的な原理を用いて
行うものが好ましい。この方式は所謂オンデマンド型，
コンティニュアス型のいずれにも適用可能であるが、特
に、オンデマンド型の場合には、液体（インク）が保持
されているシートや液路に対応して配置されている電気
熱変換体に、記録情報に対応していて核沸騰を越える急
速な温度上昇を与える少なくとも１つの駆動信号を印加
することによって、電気熱変換体に熱エネルギを発生せ
しめ、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰を生じさせて、結
果的にこの駆動信号に一対一で対応した液体（インク）
内の気泡を形成できるので有効である。この気泡の成
長，収縮により吐出用開口を介して液体（インク）を吐
出させて、少なくとも１つの滴を形成する。この駆動信
号をパルス形状とすると、即時適切に気泡の成長収縮が
行われるので、特に応答性に優れた液体（インク）の吐
出が達成でき、より好ましい。このパルス形状の駆動信
号としては、米国特許第４４６３３５９号明細書，同第
４３４５２６２号明細書に記載されているようなものが
適している。なお、上記熱作用面の温度上昇率に関する
発明の米国特許第４３１３１２４号明細書に記載されて
いる条件を採用すると、さらに優れた記録を行うことが
できる。

【００４１】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出口，液路，電気熱変換体
の組合せ構成（直線状液流路または直角液流路）の他に
熱作用部が屈曲する領域に配置されている構成を開示す
る米国特許第４５５８３３３号明細書，米国特許第４４
５９６００号明細書を用いた構成も本発明に含まれるも
のである。加えて、複数の電気熱変換体に対して、共通
するスリットを電気熱変換体の吐出部とする構成を開示
する特開昭５９−１２３６７０号公報や熱エネルギの圧
力波を吸収する開孔を吐出部に対応させる構成を開示す
る特開昭５９−１３８４６１号公報に基いた構成として
も本発明の効果は有効である。すなわち、記録ヘッドの
形態がどのようなものであっても、本発明によれば記録
を確実に効率よく行うことができるようになるからであ
る。

【００４２】さらに、記録装置が記録できる記録媒体の
最大幅に対応した長さを有するフルラインタイプの記録
ヘッドに対しても本発明は有効に適用できる。そのよう
な記録ヘッドとしては、複数記録ヘッドの組合せによっ
てその長さを満たす構成や、一体的に形成された１個の
記録ヘッドとしての構成のいずれでもよい。

【００４３】加えて、上例のようなシリアルタイプのも
のでも、装置本体に固定された記録ヘッド、あるいは装
置本体に装着されることで装置本体との電気的な接続や
装置本体からのインクの供給が可能になる交換自在のチ
ップタイプの記録ヘッド、あるいは記録ヘッド自体に一
体的にインクタンクが設けられたカートリッジタイプの
記録ヘッドを用いた場合にも本発明は有効である。

【００４４】また、本発明の記録装置の構成として、記
録ヘッドの吐出回復手段、予備的な補助手段等を付加す
ることは本発明の効果を一層安定できるので、好ましい
ものである。これらを具体的に挙げれば、記録ヘッドに
対してのキャッピング手段、クリーニング手段、加圧或
は吸引手段、電気熱変換体或はこれとは別の加熱素子或
はこれらの組み合わせを用いて加熱を行う予備加熱手
段、記録とは別の吐出を行なう予備吐出手段を挙げるこ
とができる。

【００４５】また、搭載される記録ヘッドの種類ないし
個数についても、例えば単色のインクに対応して１個の
みが設けられたものの他、記録色や濃度を異にする複数
のインクに対応して複数個数設けられるものであっても
よい。すなわち、例えば記録装置の記録モードとしては
黒色等の主流色のみの記録モードだけではなく、記録ヘ
ッドを一体的に構成するか複数個の組み合わせによるか
いずれでもよいが、異なる色の複色カラー、または混色
によるフルカラーの各記録モードの少なくとも一つを備
えた装置にも本発明は極めて有効である。

【００４６】さらに加えて、以上説明した本発明実施例
においては、インクを液体として説明しているが、室温
やそれ以下で固化するインクであって、室温で軟化もし
くは液化するものを用いてもよく、あるいはインクジェ
ット方式ではインク自体を３０℃以上７０℃以下の範囲
内で温度調整を行ってインクの粘性を安定吐出範囲にあ
るように温度制御するものが一般的であるから、使用記
録信号付与時にインクが液状をなすものを用いてもよ
い。加えて、熱エネルギによる昇温を、インクの固形状
態から液体状態への状態変化のエネルギとして使用せし
めることで積極的に防止するため、またはインクの蒸発
を防止するため、放置状態で固化し加熱によって液化す
るインクを用いてもよい。いずれにしても熱エネルギの
記録信号に応じた付与によってインクが液化し、液状イ
ンクが吐出されるものや、記録媒体に到達する時点では
すでに固化し始めるもの等のような、熱エネルギの付与
によって初めて液化する性質のインクを使用する場合も
本発明は適用可能である。このような場合のインクは、
特開昭５４−５６８４７号公報あるいは特開昭６０−７
１２６０号公報に記載されるような、多孔質シート凹部
または貫通孔に液状又は固形物として保持された状態
で、電気熱変換体に対して対向するような形態としても
よい。本発明においては、上述した各インクに対して最
も有効なものは、上述した膜沸騰方式を実行するもので
ある。

【００４７】さらに加えて、本発明インクジェット記録
装置の形態としては、コンピュータ等の情報処理機器の
画像出力端末として用いられるものの他、リーダ等と組
合せた複写装置、さらには送受信機能を有するファクシ
ミリ装置の形態を採るもの等であってもよい。

【００４８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明は、記録ヘ
ッド基体の入出力パッド部保護回路に拡散層を用いた抵
抗を設けることにより、容易に静電気放電に対して強い
構成とし、記録ヘッド基体、記録ヘッド、記録装置の信
頼性を向上するものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の記録ヘッド基体の保護回路
部膜構成（ａ）、およびその等価回路（ｂ）を示す図で
ある。

【図２】図１の構成を用いた保護回路の等価回路および
電流経路を示す図である。

【図３】他の実施例の記録ヘッド基体の保護回路部膜構
成（ａ）および等価回路（ｂ）を示す図である。

【図４】本発明の記録ヘッド基体を用いた記録ヘッドを
示す斜視図である。

【図５】図４の印字記録ヘッドを用いた記録装置を示す
斜視図である。

【図６】記録ヘッド基体内の回路例を示す図である。

【図７】従来技術に係る印字記録ヘッド基体の保護回路
部膜構成（ａ）、およびその等価回路（ｂ）を示す図で
ある。

【図８】図７の構成を用いた保護回路の等価回路および
電流経路を示す図である。

【符号の説明】

１０１Ｐ型シリコン基板１０２Ｎ型エピタキシャル領域１０３Ｐ型埋込領域１０５，１０５ａ，１０５ｂ，１０５ｃ高濃度Ｐ型領
域１０６高濃度Ｎ型領域１０７フィールド酸化膜１０８絶縁膜１０９アルミニウム（Ａｌ）１１０保護膜１１１入出力パッド１２１ＧＮＤ１２２拡散層を用いた抵抗１２３パッド１２４寄生ダイオード４０１基体４０２吐出口４０３液路４０４液路壁部材４０５インク供給口４０６天板４０７共通液室４０８発熱部４０９配線４１０記録ヘッド５００インクジェット記録装置５０１駆動モータ５０２，５０３駆動力伝達ギヤ５０４リードスクリュー５０５紙押え板５０６プラテン５０７，５０８フォトカプラ５０９レバー５１０支持部材５１１キャップ部材５１２吸引手段５１３キャップ内開口５１４クリーニングブレード５１５移動部材５１６本体支持板５１７レバー５１８カム５１９ガイド５２０キャリッジ５２１螺旋溝

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｂ４１Ｊ 2/16 Ｂ４１Ｊ 3/04 １０３Ｂ１０３Ｈ (72)発明者丸博之東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (72)発明者片尾周一東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (72)発明者室岡文夫東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (72)発明者上山雄次東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】半導体基板上に、複数の発熱体と、該発
熱体を駆動するためのドライバと、前記発熱体の駆動を
制御するためのロジック回路と、記録装置本体と前記ロ
ジック回路との間で記録信号の受け渡しを行う入出力回
路とを有する記録ヘッド用基体において、前記入出力回路の一部を構成する半導体層にあるいは導
電膜層に前記記録信号をバイパスするように拡散層を用
いた抵抗を設けたことを特徴とする記録ヘッド用基体。
【請求項２】請求項１における前記拡散層を用いた抵
抗がプルダウンまたはプルアップ抵抗を構成することを
特徴とする記録ヘッド用基体。
【請求項３】請求項１における前記抵抗である前記拡
散層を入出力パッドの直下におくことを特徴とする記録
ヘッド用基体。
【請求項４】請求項１〜３の何れかに記載された記録
ヘッド用基体を用いて構成された、液体を加熱して記録
を行う記録ヘッド。
【請求項５】請求項４の液体噴射記録ヘッドを用いた
インクジェット記録装置であって、前記液体噴射記録ヘ
ッドがキャリッジ上で交換可能であることを特徴とする
インクジェット記録装置。