JPH08129735A

JPH08129735A - 浮上型磁気ヘッド製造装置

Info

Publication number: JPH08129735A
Application number: JP26784594A
Authority: JP
Inventors: Kiyotaka Kuroda; 清隆黒田; Isao Takahashi; 高橋　　功
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1994-10-31
Filing date: 1994-10-31
Publication date: 1996-05-21

Abstract

(57)【要約】【目的】スライダの小型化に対応したスライダとサス
ペンションとの高い位置合わせ精度を確保する。【構成】表面に複数本の互いに略々平行な帯状の突条
部３８ａが形成されてなる支持ガラス３８を設けて上記
製造装置を構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えばハードディスク
に対して、情報信号の書込み或は読出しを行うのに好適
な浮上型磁気ヘッドの製造装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】コンピュータ等に組み込まれ、情報の記
録及び再生を行うハードディスクドライブ装置は、当然
のことながら、情報の記録媒体である磁気ディスクと、
これに情報の記録及び再生を行う磁気ヘッドより構成さ
れている。

【０００３】このとき、磁気ヘッド素子としては、磁気
ディスク表面との接触による摩耗損傷を避けるために、
起動時及び停止時には磁気ヘッド素子が磁気ディスク表
面に接した状態にあり、当該磁気ディスクの高速回転時
に磁気ディスク表面に発生する空気流によって磁気ヘッ
ド素子を磁気ディスク面より微小間隔（いわゆるフライ
ングハイト）を有して浮上走行させるように構成したい
わゆるコンタクト・スタート・ストップ（ＣＳＳ）型の
浮上型磁気ヘッドが用いられている。

【０００４】上記浮上型磁気ヘッド装置は、磁気ヘッド
素子の装着されたスライダと、このスライダに固着され
ている可撓性を有する板バネ状のジンバルバネと、この
ジンバルバネに一端が取り付けられている板バネ状の支
持部材であるサスペンションと、更にこのサスペンショ
ンの他端にベースプレートを介して取り付けられている
アームとを有して構成されている。なお、上記ジンバル
バネのスライダ固着部には、磁気ヘッド素子の装着され
たスライダのディスク表面からの浮上距離を規定する突
起であるディンプルが設けられている。

【０００５】上記スライダは、例えばＡｌ₂Ｏ₃−Ｔｉ
Ｏ等よりなる基板からなり、通常砥石による機械加工で
形成され、磁気ディスクに対してスライダを微小間隙を
もって安定した浮上姿勢で浮上させるための空気流入溝
と、この空気流入溝の両側に形成されたスライダレール
と、空気流入端側の端面上のスライダレール側に真空薄
膜形成技術によって作製された磁気ヘッド素子とを有し
て構成されている。

【０００６】上記各スライダレール上にはそれぞれ空気
潤滑面が形成され、これら空気潤滑面の空気流入端側に
は、角度１゜以下のごく緩やかな傾斜面であるテーパ部
が形成されている。上記各空気潤滑面に発生する空気圧
によって上記スライダは浮上せしめられる。

【０００７】また、上記磁気ヘッド素子は、基板上に下
層コアが形成され、この上に絶縁膜を介して導体コイル
及び上層コアが形成され構成されている。そして、上記
上層及び下層コアは、導体コイルを中央部に挟んでバッ
クギャップ及び磁気ギャップを介して磁気的に結合さ
れ、磁気回路部を形成する。

【０００８】上記の如き構造を有する浮上型磁気ヘッド
を作製するに際して、スライダとサスペンションの貼り
付けを行うときには、スライダとサスペンションの中心
位置をそれぞれ測定した後に、その測定結果に基づいて
両者を所定の治具上にて重ね合わせて貼り付ける。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】近時ではハードディス
クの高記録密度化への要請が高まり、この要請に答える
ために浮上型磁気ヘッドのスライダの小型化が進められ
ており、縦×横が２．０ｍｍ×１．６ｍｍサイズのいわ
ゆるナノスライダが提案されている。

【００１０】ところがこの場合、小型化に伴って浮上量
特性のばらつき精度の許容範囲が狭くなり、スライダと
サスペンションの貼り付け精度も非常に厳しいものとな
る。そのため、スライダの中心位置測定、サスペンショ
ンの中心位置測定、及び両者の貼り合わせをそれぞれ別
に行う場合では、スライダ及びサスペンションの中心位
置測定と両者の貼り合わせとの間にメカ的な移動を行う
ため、それに伴って必然的に両者の間に相対的な位置ず
れが生じることになる。また、両者の貼り付けの際には
中心位置測定を行うことが不可能であるため、貼り付け
時にも必然的に両者の間に相対的な位置ずれが生じる。
これらの位置ずれを補正することは極めて困難であり、
上記ナノスライダではスライダとサスペンションとの位
置合わせ精度は±１２μｍ以内であるにもかかわらず、
上記の方法では最大±３０μｍが限界である。

【００１１】このように、スライダの小型化に対応した
スライダとサスペンションとの位置合わせ精度を確保す
るための好適な手法は存在しないというのが現状であ
る。

【００１２】本発明は、上述の課題に鑑みてなされたも
のであり、その目的とするところは、スライダの小型化
に対応したスライダとサスペンションとの高い位置合わ
せ精度を確実に確保することを可能とする浮上型磁気ヘ
ッド製造装置を提供することにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明の対象となるもの
は、磁気ヘッド素子が設けられたスライダが支持部材に
より支持され、起動時及び停止時には磁気ヘッドが磁気
ディスク表面に接した状態にあり、当該磁気ディスクの
高速回転時に磁気ディスク表面に発生する空気流によっ
て磁気ヘッドを磁気ディスク面より微小間隔を有して浮
上走行させるように構成した浮上型磁気ヘッドの製造装
置である。

【００１４】本発明の上記製造装置は、スライダと支持
部材とを重ね合わせるための治具を有し、当該治具には
両者が重ね合わせられた状態で載置固定されるガラス材
等を材料とする透明な支持手段が設けられ、上記支持手
段の表面に複数本の互いに略々平行な帯状の突条部が形
成されてなることを特徴とするものである。すなわち、
上記重畳部のスライダが当該支持手段の突条部上に載置
固定されることになる。

【００１５】このとき、スライダと支持部材とが載置固
定された支持手段を下方から観察して位置測定を行う際
に、上記突条部の測定に与える影響を軽減させることを
考慮して、上記突条部を支持手段に載置固定されたスラ
イダに対して斜方向に形成することが望ましい。この場
合、具体的には、スライダ外形の１辺に対して４５゜±
１５゜以内の角度に各突条部を形成することが好まし
い。

【００１６】上記突条部について、具体的には、その
幅、高さ、及び各突条部間の距離をそれぞれ１２μｍ以
下、１０μｍ以下、及び２００μｍ以下とすることが好
ましい。なお、上記重畳部を観察してスライダと支持部
材との位置測定の精度としては±１２μｍ程度が要求さ
れているため、位置測定を行う際の画像処理の分解能は
±１２μｍ程度としている。したがって、突条部の幅
（及び高さ、各突条部間の距離）が上記各値より大であ
ると、位置測定に悪影響を及ぼす虞れがある。

【００１７】またこのとき、上記支持手段の耐久性及び
突条部の作製上の容易さを考慮して、突条部の幅、高
さ、及び各突条部間の距離をそれぞれ２０〜５０μｍ、
１０〜５０μｍ以下、及び１５０μｍ以上としてもよ
い。ここで、上記重畳部において、実際に支持手段表面
と接触するのはスライダのスライダレール表面（空気潤
滑面）である。したがって、上記位置測定を行う際に各
スライダレールの輪郭線を測定する必要上、後述の光学
手段の視野内で左右それぞれにおいて、上記突条部が交
差することのない輪郭線が少なくとも１本存在すること
が必須である。この輪郭線を用いて要求精度を保ちなが
ら各視野内における当該スライダの縦辺を直線化するこ
とが可能となる。したがって、この条件を満たすように
上記突条部の幅、高さ、及び各突条部間の距離及び突条
部の傾斜角を設定することが必要である。

【００１８】さらに、本発明においては、上記治具上の
スライダ及び／又は支持部材を所定方向に微動させて両
者の相対的な位置合わせを行うための位置合わせ手段
と、支持手段を通してスライダと支持部材との位置合わ
せ箇所を測定するための光学手段とを有してなり、前記
光学手段によりスライダと支持部材との位置合わせを同
一視野内にて行って両者を貼り合わせることを特徴とす
るものである。

【００１９】この場合、スライダと支持部材との位置合
わせ箇所を複数設けることが望ましい。

【００２０】それに伴って、スライダと支持部材との位
置合わせのための視野を複数設けることが好ましい。

【００２１】ここで、上記の手法によるスライダと支持
部材との位置合わせについて、１回の作業では所定の位
置合わせ精度の範囲内に収まらないときは、両者の位置
合わせ精度が所定の範囲内となるまで複数回位置合わせ
を行うようにすればよい。

【００２２】

【作用】本発明に係る浮上型磁気ヘッド製造装置におい
ては、スライダと支持部材とが重ね合わせられた重畳部
が透明な支持手段に載置固定され、当該支持手段の表面
に複数本の互いに略々平行な帯状の突条部が形成されて
いる。スライダのスライダレール表面（空気潤滑面）は
支持手段表面の突条部に接触する。このとき、当該空気
潤滑面全体に亘って各突条部が略々均一に接触すること
になり、安定にスライダが載置固定されるとともに、当
該突条部によって表面状態が極めて良好な上記空気潤滑
面と支持手段表面との間に間隙が形成されて光の干渉の
発生が防止されることになる。なおこの場合、各突条部
の幅、高さ、及び各突条部間の距離を適宜に設定する
（例えば、各突条部の幅を位置測定を行う際の画像処理
の分解能以下とする）ことにより、画像処理時に突条部
による影響を実質的に無視することが可能となる。

【００２３】さらに、治具上にて重ね合わせられたスラ
イダ及び支持部材に対して、光学手段によりスライダと
支持部材との位置合わせ箇所を同一視野内にて捉えなが
ら、位置合わせ手段により上記治具上のスライダ及び／
又は支持部材を所定方向に微動させて両者の相対的な位
置合わせを行って両者を貼り付ける。このように、スラ
イダと支持部材との位置合わせ作業と両者の貼り付け作
業とを上記光学手段において光の干渉作用を受けずに観
測しながら同一の治具上にて行うこととなるので、両者
の貼り付け状態を明確に確認することができるために所
望の位置合わせ精度の範囲内にて正確な貼り付けが可能
となる。

【００２４】なおこのとき、スライダと支持部材との位
置合わせ箇所を複数設け、それに伴い位置合わせのため
の光学手段における視野を複数設けることにより、測定
の際の分解能が向上し、より正確に両者の貼り付けが可
能となる。

【００２５】

【実施例】以下、本発明に係る浮上型磁気ヘッド製造装
置の実施例を図面を参照しながら詳細に説明する。

【００２６】本実施例に係る浮上型磁気ヘッドは、図１
に示すように、磁気ヘッド素子１が設けられたスライダ
２と、このスライダ２に取り付けられ、外部から加わる
外力を緩衝させるジンバルバネ３と、このジンバルバネ
３を介してスライダ２を支持する支持部材であるサスペ
ンション４と、サスペンション４の端部と接続されて当
該サスペンション４を回動駆動させるアクチュエータ１
４とから構成されている。

【００２７】上記スライダ２は、図２に示すように、例
えばＡｌ₂Ｏ₃−ＴｉＯ等の非磁性且つ導電性を有する
材料からなり、スライダ２の磁気ディスク５の対向面に
は、このスライダ２を磁気ディスク５に対して微小間隙
（いわゆるフライングハイト）をもって安定した浮上姿
勢で浮上させるための空気流入溝６が設けられている。
この空気流入溝６は、溝の深さ０．５〜１００μｍ程で
スライダ２の長手方向に形成されており、当該空気流入
溝６の左右長手方向にそれぞれスライダレール７ａ，７
ｂが突出形成されている。

【００２８】上記各スライダレール７ａ，７ｂ上にはそ
れぞれ空気潤滑面ａが形成され、これら空気潤滑面の空
気流入端１０ａ側には、角度１゜以下のごく緩やかな傾
斜面であるテーパ部８ａ，８ｂが形成されている。上記
各空気潤滑面ａに発生する空気圧によって上記スライダ
２は浮上せしめられる。

【００２９】上記磁気ヘッド素子１は、基板上に下層コ
アが形成され、この上に絶縁膜を介して導体コイル及び
上層コアが形成され構成されている。そして、上記上層
及び下層コアは、導体コイルを中央部に挟んでバックギ
ャップ及び磁気ギャップを介して磁気的に結合され、磁
気回路部を形成する。

【００３０】上記の如き構造を有する浮上型磁気ヘッド
を作製するに際して、特にスライダ２とサスペンション
４の貼り付けを行うときには、図３に示すような製造装
置を用いてスライダ２とサスペンション４との位置合わ
せ及び貼り付けを行う。

【００３１】この製造装置は、スライダ２とサスペンシ
ョン４を重ね合わせるための治具２１と、当該治具２１
を所定方向に微動させてスライダ２及びサスペンション
４の相対的な位置合わせを行うための位置合わせ手段２
２と、スライダ２とサスペンション４との位置合わせ箇
所を測定するための光学手段２３と、位置合わせ手段２
２の制御及び光学手段２３による画像の処理を行うため
の制御及び処理手段２４とが設けられ構成されている。

【００３２】上記治具２１は、基台３１と、この基台３
１上に設けられてなるサスペンション固定部３２と、基
台３１上に後述のＸＹΘ軸ステージ４１を介して設けら
れてなるスライダ固定部３３とから構成されている。サ
スペンション固定部３２にはその押え部３２ａにてサス
ペンション４が固定され、スライダ固定部３３にはスラ
イダ２がその端部にて固定されており、サスペンション
固定部３２が位置合わせの際に微動するときにスライダ
２を固定する役割をする。ここで、スライダ２とサスペ
ンション４との重畳部３４は、サスペンション固定部３
２に設けられた透明なガラス材よりなる支持手段である
支持ガラス３７上に載置固定される。そして、支持ガラ
ス３７の下部及び当該下部の鉛直下に相当する上記基台
３１の部分はそれぞれ空洞３５，３６が形成されてお
り、上記光学手段２３によりこれら空洞３５，３６を通
して支持ガラス３７上の重畳部３４が観察できるように
なされている。

【００３３】ところで、重畳部３４のスライダ２は、上
記支持ガラス３７の表面上にはスライダレール７ａ，７
ｂの各空気潤滑面ａが接触する。これら空気潤滑面ａは
表面状態が非常に滑らかに形成されているために、上記
の如く光学手段２３により空洞３５，３６を通して支持
ガラス３７上の重畳部３４を観察し位置合わせを行う際
に支持ガラス３７の表面と各空気潤滑面ａとの接触部位
に光の干渉が生じ、この干渉作用により正確な測定が困
難となる。そこで、支持ガラス３７の表面を粗したり、
図４及び図５（図４中、線分ａ−ａ’による断面図）に
示すように支持ガラス３７の表面中央部にエッチング乃
至はコーティングにより１本の帯状の載置部３７ａを形
成することが考えられる。

【００３４】しかしながら、支持ガラス３７の表面粗度
を増大させる場合は当然ながら位置測定の際の画像解像
度に大きなダメージを及ぼすために不都合が生じ、また
上記載置部３７ａを設ける場合は、スライダ２の各空気
潤滑面ａにおける載置部３７ａとの平衡度を保つことが
非常に困難であり、位置合わせの際に多くの工程を費や
すために値具２１が非常に高価なものとなる。また、載
置部３７ａをコーティング技術により形成する場合は耐
久性に欠けるという問題がある。

【００３５】そこで、本実施例においては、支持ガラス
３７に代わって、図６及び図７に示すように、表面に複
数本の互いに略々平行な帯状の突条部３８ａが形成され
てなる支持ガラス３８を設けて上記製造装置を構成す
る。なお、図６（及び後述の図１２）においては、便宜
上、支持ガラス３８上に載置固定された上記重畳部３４
のうちスライダ２のみを示す。

【００３６】ここで、各突条部３８ａは、スライダ２と
サスペンション４とが載置固定された支持ガラス３８を
下方から観察して位置測定を行う際に、上記突条部３８
ａの測定に与える影響を軽減させることを考慮して、上
記突条部３８ａは支持ガラス３８に載置固定されたスラ
イダ２に対して斜方向に形成されており、具体的には、
スライダ２の輪郭線の１辺に対して４５゜±１５゜以内
の角度に各突条部３８ａが形成される必要がある。

【００３７】各突条部３８ａは、幅ｗ、高さｈ、及び各
突条部３８ａ間の距離ｄがそれぞれ１２μｍ以下、１０
μｍ以下、及び２００μｍ以下とされることが好まし
く、ここでは、上記の各値として、それぞれ１０μｍ、
５μｍ、及び１００μｍとなるようにエッチングによっ
て各突条部３８ａを形成する。ここで、上記重畳部３４
を観察してスライダ２とサスペンション４との位置測定
の精度としては±１２μｍ程度が要求されているため、
位置測定を行う際の画像処理の分解能は±１２μｍ程度
としている。したがって、各突条部３８ａの各値を上記
の如く設定することにより、画像処理時に突条部３８ａ
の画像がぼやけて当該突条部３８ａによる影響を実質的
に無視することが可能となる。

【００３８】上記位置合わせ手段２２は、サスペンショ
ン４が固定されたサスペンション固定部３２の下部に設
けられ、図８に示すように当該サスペンション固定部３
２をＸ軸，Ｙ軸，Θ角方向にそれぞれ独立に微動させる
ためのＸＹΘ軸ステージ４１と、このＸＹΘ軸ステージ
４１を介してサスペンション固定部３２を各方向に所定
量だけ微動駆動させるためのモータ駆動回路４２とから
構成されている。

【００３９】上記光学手段２３は、一眼二視野の顕微鏡
４３と、この顕微鏡４３の焦点調整をするためのフォー
カスステージ４４と、顕微鏡４３の画像取り込みのため
の２台の固体撮像（ＣＣＤ）カメラ４５，４６とから構
成されている。ここで、顕微鏡４３に設けられたレンズ
４３ａを上記基台３１の空洞３５に向けて設置する。

【００４０】上記制御及び処理手段２４は、制御及び処
理部５１と、この制御及び処理部５１において処理した
画像をＣＣＤカメラ４５，４６に対応してリアルタイム
に表示する２台のモニタ５２，５３とから構成されてい
る。

【００４１】上記製造装置を用いてサスペンション４と
スライダ２との貼り付けを行うには、先ず、サスペンシ
ョン４をサスペンション固定部３２の押え部３２ａによ
りサスペンション固定部３２上に固定する。そして、ス
ライダ２をスライダ固定部３３上に固定し、図９に示す
ように、当該スライダ２の表面２ａに熱硬化型の接着剤
を塗布した後、このスライダ固定部３３によりサスペン
ション４と支持ガラス３７間にスライダ２を差し込み図
１０に示すように両者の各中心位置Ａ，Ｂがほぼ一致す
るように両者を重ね合わせる。

【００４２】次いで、光学手段２３の構成要素である顕
微鏡４３に設けられたレンズ４３ａを基台３１の上記空
洞３５に向けて設置し、フォーカスステージ４４を動か
して焦点をサスペンション４に合わせ、当該サスペンシ
ョン４の位置測定を行う。ここで、位置測定を行う際に
は、図１１に示すように、ＣＣＤカメラ４５，４６の各
視野Ｌ，Ｒ内の画像を見ながらサスペンション４の所定
位置ＳＬ，ＳＲの位置（座標）測定を行う。このときの
座標の取り方としては、各視野の左上の隅を原点して横
方向をＸ軸、鉛直下方をＹ軸とする。そして同様に、フ
ォーカスステージ４４を動かして焦点をスライダ２に合
わせ、ＣＣＤカメラ４５，４６の各視野Ｌ，Ｒ内の画像
を見ながらスライダ２の所定位置ＣＬ，ＣＲの位置測定
を行う。

【００４３】このとき、測定した所定位置ＳＬ，ＳＲ及
びＣＬ，ＣＲを基にして以下に示す各補正量ｄＸ，ｄ
Ｙ，ｄΘを規定する。

【００４４】（ｄＸＬ，ｄＹＬ）＝（（ＳＬ−ＣＬ）_X，（ＳＬ−ＣＬ）_Y）・・・（１）（ｄＸＲ，ｄＹＲ）＝（（ＳＲ−ＣＲ）_X，（ＳＲ−ＣＲ）_Y）・・・（２）（１），（２）式から、ｄＸ＝（ｄＸＬ＋ｄＸＲ）／２・・・（３）ｄＹ＝（ｄＹＬ＋ｄＹＲ）／２・・・（４）ｄΘ＝（ｄＹＬ−ｄＹＲ）／２・・・（５）そして、位置合わせ手段２２によりＸＹΘ軸ステージ４
１を駆動させて（３）〜（５）式に示す各補正量の分だ
け各方向に動かして位置補正を行う。このとき、位置補
正の結果、スライダ２とサスペンション４との位置合わ
せが±１２μｍの精度内に入らない場合は、当該精度内
に収まるまで再度上記の位置補正を行う。

【００４５】その後、上記図３に示すスライダ２及びサ
スペンション４の押え部３２ｂにより双方が動かないよ
うに固定してスライダ固定部３３を除去し、両者が載置
固定されたサスペンション固定部３２を恒温槽に入れて
接着剤を硬化させることにより、両者の貼り付け作業が
完了する。

【００４６】このように、本実施例の上記製造装置にお
いては、スライダ２とサスペンション４とが重ね合わせ
られた重畳部３４がガラス材よりなる支持ガラス３８に
載置固定され、当該支持ガラス３８の表面に複数本の互
いに略々平行な帯状の突条部３８ａが所定の斜方向に形
成されている。スライダのスライダレール７ａ，７ｂの
表面（空気潤滑面ａ）は支持ガラス３８の表面の突条部
３８ａに接触する。このとき、当該空気潤滑面ａの全体
に亘って各突条部３８ａが略々均一に接触することにな
り、安定にスライダ２が載置固定されるとともに、当該
突条部３８ａによって表面状態が極めて良好な上記空気
潤滑面ａと支持ガラス３８の表面との間に突条部３８ａ
の高さ分の間隙が形成されて光の干渉の発生が防止され
ることになる。

【００４７】さらに、治具２１上にて重ね合わせられた
スライダ２及びサスペンション４に対して、光学手段２
３によりスライダ２とサスペンション４との位置合わせ
箇所を同一視野内（ここでは２視野）にて捉えながら、
位置合わせ手段２２により上記治具２１のサスペンショ
ン固定部３２を所定方向に微動させてスライダ２及びサ
スペンション４の相対的な位置合わせを行って両者を貼
り付ける。このように、スライダ２とサスペンション４
との位置合わせ作業と両者の貼り付け作業とを上記光学
手段２３において観測しながら同一の治具上にて行うこ
ととなるので、両者の貼り付け状態を明確に確認するこ
とができるために所望の位置合わせ精度の範囲内、ここ
では±１２μｍ以内の精度にて正確な貼り付けが可能と
なる。

【００４８】ここで、本実施例に係る上記製造装置の変
形例について説明する。この変形例の製造装置は、上記
実施例のそれと略々同様の構成を有するが、各突条部の
幅ｗ、高さｈ、及び各突条部間の距離ｄが異なる点で相
違する。この場合、支持ガラス３８に代わって図１２に
示す支持ガラス３９を設けて上記製造装置を構成する。
なお、上記変形例の製造装置において、上記実施例のそ
れと対応する部材等については同符号を記して説明を省
略する。

【００４９】すなわち、この変形例の上記製造装置は、
支持ガラス３９の耐久性及び突条部の作製上の容易さを
考慮して、各突条部３９ａの上記各値がそれぞれ２０〜
５０μｍ、１０〜５０μｍ、及び１５０μｍ以上、ここ
ではそれぞれ３０μｍ、１０μｍ、及び２００μｍとな
るようにエッチングにより形成されている。

【００５０】ここで、上記重畳部において、実際に支持
手段表面と接触するのはスライダ２のスライダレール７
ａ，７ｂ表面（空気潤滑面ａ）である。したがって、上
記位置測定を行う際に各スライダレール７ａ，７ｂの輪
郭線６１及び６３、６２及び６４を測定する必要上、光
学手段２３の視野Ｌ，Ｒそれぞれにおいて、上記突条部
３９ａが交差することのない輪郭線が少なくとも１本存
在することが必須である。これらの輪郭線（ここでは輪
郭線６２、６３）を用いて要求精度を保ちながら各視野
Ｌ，Ｒ内における当該スライダ２の縦辺を直線化するこ
とが可能となる。したがって、この条件を満たすように
上記突条部３９ａの幅、高さ、及び各突条部３９ａ間の
距離及び突条部の傾斜角を設定することが必要である。

【００５１】またこの場合、より正確且つ容易に位置測
定を行うために、画像処理による前処理において、各突
条部３９ａの形成方向である斜方向から微分効果のある
フィルタリング処理を行うことが望ましい。

【００５２】上記変形例の製造装置においても、上記実
施例のそれと同様に、スライダ２とサスペンション４と
が重ね合わせられた重畳部３４がガラス材よりなる支持
ガラス３８に載置固定され、当該支持ガラス３９の表面
に複数本の互いに略々平行な帯状の突条部３８ａが所定
の斜方向に形成されている。スライダのスライダレール
７ａ，７ｂの表面（空気潤滑面ａ）は支持ガラス３９の
表面の突条部３９ａに接触する。このとき、当該空気潤
滑面ａの全体に亘って各突条部３９ａが略々均一に接触
することになり、安定にスライダ２が載置固定されると
ともに、当該突条部３８ａによって表面状態が極めて良
好な上記空気潤滑面ａと支持ガラス３９の表面との間に
突条部３９ａの高さ分の間隙が形成されて光の干渉の発
生が防止されることになる。

【００５３】しかも、本例の製造装置においては、上記
実施例のそれと比較して突条部の幅及び各突条部間の距
離が大きい設定としているために作製が容易であり、ま
た耐久性の点でも優れ、取り扱いも極めて容易となる。

【００５４】さらに、治具２１上にて重ね合わせられた
スライダ２及びサスペンション４に対して、光学手段２
３によりスライダ２とサスペンション４との位置合わせ
箇所を同一視野内（ここでは２視野）にて捉えながら、
位置合わせ手段２２により上記治具２１のサスペンショ
ン固定部３２を所定方向に微動させてスライダ２及びサ
スペンション４の相対的な位置合わせを行って両者を貼
り付ける。このように、スライダ２とサスペンション４
との位置合わせ作業と両者の貼り付け作業とを上記光学
手段２３において観測しながら同一の治具上にて行うこ
ととなるので、両者の貼り付け状態を明確に確認するこ
とができるために所望の位置合わせ精度の範囲内、ここ
では±１２μｍ以内の精度にて正確な貼り付けが可能と
なる。

【００５５】なお、本発明は上記実施例に限定されるこ
となく、支持手段である支持ガラスの材質としては、可
視光の透過率に優れた透明のものであればガラス材でな
くとも使用可能である。また、更に位置合わせ精度を向
上させるために測定位置の数を増やしてＣＣＤカメラを
３台以上設けるようにしてもよく、また、それほど高い
貼り付け精度が要求されない場合ではＣＣＤカメラを１
台として１視野内で測定してもよい。

【００５６】

【発明の効果】本発明によれば、スライダの小型化に対
応したスライダとサスペンションとの高い位置合わせ精
度を確実に確保することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】浮上型磁気ヘッドを模式的に示す斜視図であ
る。

【図２】浮上型磁気ヘッドの構成要素であるスライダを
模式的に示す斜視図である。

【図３】本実施例の浮上型磁気ヘッドの製造装置を示す
模式図である。

【図４】本実施例の比較例としての支持ガラス表面の状
態を模式的に示す平面図である。

【図５】図４中、線分ａ−ａ’による断面図である。

【図６】本実施例における支持ガラス表面の状態を模式
的に示す平面図である。

【図７】図６中、線分ｂ−ｂ’による断面図である。

【図８】サスペンションが固定されたサスペンション固
定部を微動させて位置合わせを行う際の移動方向（３方
向）を模式的に示す斜視図である。

【図９】スライダの表面に熱硬化型の接着剤を塗布する
様子を模式的に示す斜視図である。

【図１０】スライダとサスペンションとを貼り合わせる
際の、各々の貼り合わせ位置を模式的に示す平面図であ
る。

【図１１】スライダ及びサスペンションの位置測定を行
う様子を模式的に示す平面図である。

【図１２】本実施例の変形例における支持ガラス表面の
状態を模式的に示す平面図である。

【符号の説明】

１磁気ヘッド素子２スライダ３ジンバルバネ４サスペンション５磁気ディスク２１治具２２位置合わせ手段２３光学手段２４制御及び処理手段３４重畳部３８，３９支持ガラス３８ａ，３９ａ突条部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】磁気ヘッド素子が設けられたスライダが
支持部材により支持されてなる浮上型磁気ヘッドを作製
するための浮上型磁気ヘッド製造装置において、スライダと支持部材とを重ね合わせるための治具を有
し、当該治具には両者が重ね合わせられた状態で載置固
定される透明な支持手段が設けられ、上記支持手段の表面に複数本の互いに略々平行な帯状の
突条部が形成されてなることを特徴とする浮上型磁気ヘ
ッド製造装置。
【請求項２】突条部が支持手段に載置固定されたスラ
イダに対して斜方向に形成されていることを特徴とする
請求項１記載の浮上型磁気ヘッド製造装置。
【請求項３】支持手段がガラス材よりなることを特徴
とする請求項１記載の浮上型磁気ヘッド製造装置。
【請求項４】突条部の幅、高さ、及び各突条部間の距
離がそれぞれ１２μｍ以下、１０μｍ以下、及び２００
μｍ以下であることを特徴とする請求項１記載の浮上型
磁気ヘッド製造装置。
【請求項５】突条部の幅、高さ、及び各突条部間の距
離がそれぞれ２０〜５０μｍ以下、１０〜５０μｍ、及
び１５０μｍ以上であることを特徴とする請求項１記載
の浮上型磁気ヘッド製造装置。
【請求項６】治具上のスライダ及び／又は支持部材を
所定方向に微動させて両者の相対的な位置合わせを行う
ための位置合わせ手段と、支持手段を通してスライダと
支持部材との位置合わせ箇所を測定するための光学手段
とを有し、前記光学手段によりスライダと支持部材との位置合わせ
を同一視野内にて行って両者を貼り合わせることを特徴
とする請求項１記載の浮上型磁気ヘッド製造装置。
【請求項７】スライダと支持部材との位置合わせ箇所
が複数設けられていることを特徴とする請求項１記載の
浮上型磁気ヘッド製造装置。
【請求項８】スライダと支持部材との位置合わせのた
めの視野が複数設けられていることを特徴とする請求項
７記載の浮上型磁気ヘッド製造装置。
【請求項９】スライダと支持部材との位置合わせ精度
が所定の範囲内となるまで複数回位置合わせを行うこと
を特徴とする請求項１記載の浮上型磁気ヘッド製造装
置。